面與致動板42、82中通過吐出通道51a的截面全體示出。
[0110]如圖8所示，本實施方式中的噴墨頭4的制造方法具有第I工序(SI)、第2工序
(S2)及第3工序(S3)。
[0111](第I工序)
在第I工序(SI)中，對于底板41、81、致動板42、82及蓋板43、83，進行接合前的預(yù)備。此外，在第I工序(SI)中，能夠并行進行底板41、81、致動板42、82及蓋板43、83各自的工序。另外，在以下的說明中，對于在第I頭片40A側(cè)及第2頭片40B側(cè)相同的工序，進行總括說明。
[0112]首先，作為各底板41、81的預(yù)備，在各底板41、81的一個主面41a、81a上對電極形成區(qū)域進行粗糙面化(Sll:粗糙面化工序)。具體而言，在第I底板41的一個主面41a上，對于成為第I引出電極71、72及第2個別引出電極80的連接盤部87的區(qū)域使用噴砂法等，設(shè)為能形成鍍敷覆膜120的表面粗糙度Ra。同樣如此，在第2底板81的一個主面81a上，將電極形成區(qū)域(成為第2個別引出電極80、90的引出部85、92的區(qū)域)，設(shè)為能形成鍍敷覆膜120的表面粗糙度Ra。此外，在粗糙面化工序(SII)中，不限于噴砂法，使用蝕刻、激光等來對底板41、81進行粗糙面化也無妨。
[0113]接著，如圖9所示，使用噴砂法等對于各底板41、81形成貫通孔84、91 (S12:貫通孔形成工序)。具體而言，在各底板41、81之中、對于貫通孔84a、84b、91a、91b的形成區(qū)域，從另一個主面41b、81b側(cè)形成沿著Y方向延伸的連通槽部102，并從一個主面41a、81a側(cè)形成與這些連通槽部102分別連通的貫通孔84a、84b、91a、91b。此外，通過利用噴砂法進行貫通孔形成工序(S12)，從而對各底板41、81之中的、貫通孔84a、84b、91a、91b內(nèi)表面、另一個主面41b、81b上的貫通孔84、91周邊進行粗糙面化直到能形成鍍敷覆膜120的表面粗糙度Ra。此外，貫通孔形成工序(S12)除了噴砂法以外通過蝕刻、鉆孔加工等進行也無妨。
[0114]另外，如10所示，作為致動板42、82的預(yù)備，對于致動板42、82的另一個主面42b、82b側(cè)形成成為偽通道51b的凹部103 (S13:凹部形成工序)。具體而言，通過使用切割的切削加工等，在Y方向上隔開間隔而形成沿著Z方向直線狀地延伸的凹部103。此外，凹部103，形成為在致動板42、82的Z方向上的兩端面開放。另外，凹部103的X方向上的深度，相當于上述的中央塊53及外側(cè)塊54的X方向上的高度。
[0115]而且，如圖8所示，作為蓋板43、83的預(yù)備，通過在蓋板43、83的一個主面43a、83a上經(jīng)由未圖示的掩模而進行蒸鍍、鍍敷等成膜法，形成連接布線65 (參照圖4) (S14:連接配線形成工序)。
[0116]接著，通過對于蓋板43、83實施噴砂等，在蓋板43、83形成共同墨室63及狹縫64(S15:共同墨室形成工序)。
[0117](第2工序)
如圖11、圖18所示，在第2工序(S2)中，首先將各底板41、81及各致動板42、82彼此分別粘合(S21:致動板接合工序)。此時，以致動板42、82的后端面和底板41、81中的驅(qū)動電極55?58的形成區(qū)域(圖18中的點區(qū)域)的前端緣在Z方向一致的方式將兩板41、42及81,82分別對位后，使用粘接劑等將兩板41,42及81,82貼合。此外，兩板41,42及81,82的對位中，致動板42、82的后端面和底板41、81中的驅(qū)動電極55?58的形成區(qū)域的前端緣不從Z方向離開也無妨。即，以致動板42、82的后端面和底板41、81中的驅(qū)動電極55?58的形成區(qū)域的前端緣在Z方向重疊的方式將兩板41、42及81、82對位也無妨。另外，此時，如圖11 (a)、圖18 (a)所示的，第I底板41及第I致動板42在Y方向上以凹部103與貫通孔84a、91a成為相同的位置的方式對位。另一方面，如圖11 (b)、圖18 (b)所示，第2底板81及第2致動板82在Y方向上，以貫通孔84b、91b位于凹部103間的方式對位。
[0118]接著，如圖12、圖19所示，利用砂輪機等磨削致動板42、82的一個主面42a、82a，使凹部103貫通(S22:磨削工序)。由此，將致動板42、82在中央塊53及外側(cè)塊54分別割斷，并且在各中央塊53間、中央塊53及外側(cè)塊54間形成偽通道51b。此外，在本實施方式中，致動板42、82的主面之中位于與底板41、81相反側(cè)的主面，在任何狀態(tài)下都是一個主面42a、82a。
[0119]接著，如圖13所示，在致動板42、82 (中央塊53及外側(cè)塊54)的表面之中，形成覆蓋驅(qū)動電極55?58及接地端子61的形成區(qū)域以外的區(qū)域的掩模108 (S23:掩模形成工序)。具體而言，首先在致動板42、82的一個主面42a、82a上，粘貼由感光性干蝕刻膜等構(gòu)成的掩模材料。接著，通過利用光刻技術(shù)構(gòu)圖掩模材料，除去掩模材料之中的相當于各端子56,58的形成區(qū)域的部分的掩模材料。
[0120]接著，如圖14所示，對于中央塊53的一個主面42a進行切割加工等切削加工，形成吐出通道51a (S24:吐出通道形成工序)。此外，在本實施方式中，對在掩模形成工序
(523)后進行吐出通道形成工序(S24)的方法進行說明，但不限于此，在吐出通道形成工序
(524)后進行掩模形成工序(S23)也無妨。但是，在先進行掩模形成工序(S23)的情況下，在吐出通道形成工序(S24)時所使用的對準標記等能夠相對于掩模108成批進行等方面是優(yōu)選的。
[0121]接著，使用砂輪機等磨削加工底板41、81中的另一個主面41b、81b整體，除去連通槽部102 (S25:底板磨削工序)。由此，形成遍及底板41、81的X方向整體貫通的貫通孔84a、84b、91a、91b。此外，底板磨削工序(S25)只要是在上述的貫通孔形成工序(S12)之后，就可以在任何的時機進行。但是，在即將進行后述的粘合工序(S31)之前進行從確保底板41、81的強度方面是優(yōu)選的。
[0122](第3工序)
如圖15所示，在第3工序中，首先，將第I底板41及第I致動板42的第I接合體IlOA和第2底板81及第2致動板82的第2接合體IlOB的底板41、81彼此粘合(S31:粘合工序)。具體而言，以在各底板41、81間將對應(yīng)的貫通孔84a、84b、91a、91b彼此連通的方式，粘合各底板41、81。由此，在各接合體11OA、11OB間，以吐出通道51 a彼此交錯配置的狀態(tài)，貼合各接合體110A、110B。
[0123]接著，對于各接合體110A、110B，成批形成驅(qū)動電極55?58、接地端子61及引出電極71、72、80、90 (S32:電極形成工序)。在本實施方式中，利用非電解鍍敷進行電極形成工序(S32)。
[0124]在電極形成工序(S32 )中，首先對于接合體110A、I1B之中的、形成驅(qū)動電極55?58、接地端子61及引出電極71、72、80、90的電極形成區(qū)域賦予催化劑。具體而言，首先進行將接合體110A、110B浸漬在氯化亞錫水溶液中，在接合體110A、110B的表面吸附氯化亞錫的敏化(sensitizing)處理。
[0125]接著，通過水洗等輕輕清洗接合體110A、110B。隨后，使接合體110A、IlOB浸漬于氯化鈀水溶液，使接合體110A、110B的表面吸附氯化鈀。于是，通過在接合體110A、110B的表面所吸附的氯化鈀與在上述的敏化處理中吸附的氯化亞錫之間發(fā)生氧化還原反應(yīng)，作為催化劑析出金屬鈕(激活(activating)處理)。
[0126]在此，在本實施方式中，接合體110A、110B之中、不僅致動板42、82中的表面整體、而且底板41、81的電極形成區(qū)域(一個主面41a、81a上及貫通孔84、91的內(nèi)表面)也由于固著效果而被賦予催化劑。另一方面，底板41、81之中、電極形成區(qū)域以外的區(qū)域(非形成區(qū)域)由于表面粗糙度Ra較小所以未被賦予催化劑。
[0127]接著，如圖16所示，通過將被賦予催化劑(金屬鈀)的接合體110A、110B浸漬于鍍敷液，在接合體110A、110B之中、在被賦予催化劑的部分析出鍍敷覆膜120。此外，在本實施方式中，非形成區(qū)域包含底板41、81的一個主面41a、81a上的位于中央塊53間的部分，所以在底板41、81之中構(gòu)成偽通道51b的底面的部分，未賦予催化劑。因此，在通過鍍敷形成個別電極57的情況下，能夠設(shè)定為:在偽通道51b的內(nèi)表面之中僅在側(cè)壁面(中央塊53的對置面)析出鍍敷覆膜120，在底面不析出鍍敷覆膜120。由此，由于不需要通過激光等后加工而除去例如在偽通道51b的底面析出的鍍敷覆膜120，所以能夠縮減制造成本、縮減在后工序中產(chǎn)生的垃圾，并且能夠可靠地抑制在偽通道51b的側(cè)壁面形成的個別電極57經(jīng)由底面而短路。
[0128]接著，如圖17、圖20所示，除去形成于各致動板42、82的一個主面42a、82a上的掩模108 (S33:剝離工序)。由此，在接合體110A、110B上成批形成驅(qū)動電極55?58、接地端子61及引出電極71、72、80、90。
[0129]然后，如圖4、圖5所示，在各致動板42、82的一個主面42a、82a上形成槽部62(S34:槽部形成工序)。具體而言，利用切割加工等切削加工，在致動板42、82的一個主面42a、82a上，以將共同端子56及個別端子58間分開的方式形成沿著Y方向延伸的槽部62。此外，在上述實施方式中，對致動板42、82的Y方向整體(中央塊53及外側(cè)塊54)形成于槽部62的情況進行了說明，但僅形成于至少中央塊53也無妨。
[0130]接著，在致動板42、82的一個主面42a、82a上，接合蓋板43、83 (S35:蓋板接合工序)。具體而言，以致動板42、82的吐出通道51a和蓋板43、83的狹縫64連通的方式將兩板42、43及82、83彼此對位。而且，在本實施方式中，以連接布線65之中、主布線68與槽部62在X方向重疊、且共同連接部66及接地連接部67與對應(yīng)的共同端子56及接地端子61分別連接的方式，將兩板42、43及82、83對位。而且，對位后，將兩板42、43及82、83用粘接劑等接合。
[0131]此外，在本實施方式中，如上所述那樣從蓋板43、83的X方向觀察的俯視外形與