液體噴射頭、液體噴射頭的制造方法及液體噴射裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液體噴射頭、液體噴射頭的制造方法及液體噴射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為向被記錄介質(zhì)吐出液滴狀的墨(以下，簡(jiǎn)稱為墨滴。)從而記載圖像、字符的裝置，存在著具備從多個(gè)噴嘴孔向被記錄介質(zhì)吐出墨滴的噴墨頭(液體噴射頭)的噴墨打印機(jī)(液體噴射裝置)。
[0003]作為上述的噴墨，例如如下述專利文獻(xiàn)I所示，構(gòu)成為:具備由玻璃等構(gòu)成的底板、以及在底板上排列的由壓電材料構(gòu)成的多個(gè)隔壁，并且在各隔壁間劃分容納墨的通道。在隔壁的側(cè)面形成驅(qū)動(dòng)電極，并與在底板上形成的引出電極電連接。而且，在引出電極的相對(duì)隔壁的外側(cè)處連接柔性基板。
[0004]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，在經(jīng)由柔性基板及引出電極向驅(qū)動(dòng)電極施加電壓時(shí)，由于隔壁變形，通道內(nèi)的壓力增高，在通道內(nèi)容納的墨通過噴嘴孔吐出。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2001 - 341298號(hào)公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]然而，在上述的專利文獻(xiàn)I的結(jié)構(gòu)中，需要分別進(jìn)行在底板上形成引出電極的工序和在隔壁的側(cè)面形成驅(qū)動(dòng)電極的工序，所以存在著與制造工序的增加、復(fù)雜化有關(guān)這一問題。
[0007]另外，如專利文獻(xiàn)I的結(jié)構(gòu)那樣，在將墨容納于各通道內(nèi)、從各通道依次吐出墨的所謂的3循環(huán)方式的噴墨頭中，在使用水性墨等具有導(dǎo)電性的墨時(shí)，各驅(qū)動(dòng)電極間經(jīng)由墨而短路。因此，在專利文獻(xiàn)I的結(jié)構(gòu)中，不能夠應(yīng)對(duì)多樣的墨，在提高便利性這方面存在改善的余地。
[0008]本發(fā)明鑒于這樣的情況而作成，其目的在于，提供能夠謀求制造工序的效率化、簡(jiǎn)化的液體噴射頭、液體噴射頭的制造方法及液體噴射裝置。
[0009]為了解決上述課題，本發(fā)明提供以下的方案。
[0010]本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的特征在于，具備:底板；致動(dòng)部，在所述底板上固定，并且并列設(shè)置有填充液體的噴射通道及未填充液體的偽通道；噴射孔板，在所述致動(dòng)部之中，配設(shè)于所述噴射通道及所述偽通道的延伸方向上的一端側(cè)，并將與所述噴射通道內(nèi)連通的噴射孔；驅(qū)動(dòng)電極，分別形成于所述噴射通道及所述偽通道的內(nèi)表面；以及引出電極，在所述底板上，相對(duì)于所述致動(dòng)部形成于延伸方向的另一端側(cè)，并與所述驅(qū)動(dòng)電極電連接，其中，所述底板之中，形成所述引出電極的電極形成區(qū)域比所述電極形成區(qū)域以外的區(qū)域的表面粗糙度大。
[0011]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的制造方法的特征在于，具有:粗糙面化工序，對(duì)所述底板的所述電極形成區(qū)域進(jìn)行粗糙面化；接合工序，在所述底板上固定所述致動(dòng)部；以及電極形成工序，對(duì)所述底板的所述電極形成區(qū)域、所述噴射通道的內(nèi)表面及所述偽通道的內(nèi)表面形成鍍敷覆膜。
[0012]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于底板之中、電極形成區(qū)域的表面粗糙度比其以外的區(qū)域大，所以在例如驅(qū)動(dòng)電極及引出電極通過鍍敷而形成的情況下，能夠使電極形成區(qū)域具有固著效果(anchor effect)。S卩，在電極形成工序中，能夠設(shè)定為:底板之中、僅在電極形成區(qū)域析出鍍敷覆膜，而不在電極形成區(qū)域以外的區(qū)域(非形成區(qū)域)析出鍍敷覆膜。由此，能夠在底板上的期望的區(qū)域選擇性地形成鍍敷覆膜。在該情況下，在將底板及致動(dòng)部接合后，能夠?qū)τ谶@些底板及致動(dòng)部通過鍍敷覆膜而成批形成驅(qū)動(dòng)電極及引出電極。其結(jié)果是，與分別形成底板上的引出電極及致動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)電極的情況相比，能夠謀求制造工序的效率化、簡(jiǎn)化。
[0013]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述驅(qū)動(dòng)電極及所述引出電極通過鍍敷覆膜而一體形成。
[0014]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，與分別形成底板上的引出電極及致動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)電極的情況相比，能夠謀求制造工序的效率化、簡(jiǎn)化。
[0015]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述電極形成區(qū)域的表面粗糙度Ra相對(duì)于所述電極形成區(qū)域以外的區(qū)域的表面粗糙度Ra為4倍以上。
[0016]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述電極形成區(qū)域的表面粗糙度Ra為400A以上。
[0017]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于能夠使電極形成區(qū)域具有充分的固著效果，所以能夠在電極形成區(qū)域上沒有不均勻地形成充分厚度的鍍敷覆膜。
[0018]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述底板由玻璃材料構(gòu)成。
[0019]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于底板由玻璃材料構(gòu)成，所以能夠?qū)⒎切纬蓞^(qū)域的表面粗糙度Ra抑制得較小。在該情況下，由于能夠抑制在非形成區(qū)域形成鍍敷覆膜，所以不需要鍍敷覆膜形成后的構(gòu)圖工序，能夠謀求制造工序的效率化，并且能夠謀求低成本化。
[0020]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述驅(qū)動(dòng)電極具備在所述噴射通道的內(nèi)表面形成的共同電極；所述致動(dòng)部之中，在相比所述噴射通道及所述偽通道的并列設(shè)置方向上位于最外端的所述偽通道位于更靠外側(cè)的部分，形成與所述引出電極連接的接地端子；在所述致動(dòng)部的與所述底板側(cè)相反的一側(cè)的主面上，配設(shè)具有與所述噴射通道內(nèi)連通的液體室的蓋板；在所述蓋板形成有將所述共同電極及所述接地端子間連接的連接布線。
[0021]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過經(jīng)由形成于蓋板的連接布線而連接共同電極及接地端子間，僅在致動(dòng)部接合蓋板，就能夠謀求共同電極及接地端子間的導(dǎo)通。由此，能夠謀求制造工序的進(jìn)一步效率化。
[0022]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述驅(qū)動(dòng)電極具備在所述偽通道的內(nèi)表面形成的個(gè)別電極；在所述致動(dòng)部的所述主面上，形成有將所述共同電極及所述個(gè)別電極間分開的槽部；所述連接布線配置于與所述槽部對(duì)應(yīng)的位置。
[0023]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于在與形成于致動(dòng)部的主面上的槽部對(duì)應(yīng)的位置配設(shè)連接布線，所以抑制連接布線與共同電極及個(gè)別電極的接觸，能夠抑制共同電極及個(gè)別電極間經(jīng)由連接布線的短路。由此，能夠提供可靠性優(yōu)異的液體噴射頭。
[0024]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，也可以是所述致動(dòng)部具備通道塊，所述通道塊沿著所述噴射通道及所述偽通道的并列設(shè)置方向隔開間隔而配置并且形成所述噴射通道；所述驅(qū)動(dòng)電極具備在劃分所述偽通道的所述通道塊的對(duì)置面形成的個(gè)別電極；通過相鄰的所述通道塊間及所述底板劃分所述偽通道；所述電極形成區(qū)域以外的區(qū)域包含所述底板之中劃分所述偽通道的部分。
[0025]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，底板之中，在劃分偽通道的部分(S卩，構(gòu)成偽通道的底面的部分)不析出鍍敷覆膜。因此，在通過鍍敷形成個(gè)別電極的情況下，能夠設(shè)定為:偽通道的內(nèi)表面之中、僅在側(cè)壁面(通道塊的對(duì)置面)析出鍍敷覆膜，不在底面(底板之中位于通道塊間的部分)析出鍍敷覆膜。由此，由于不需要通過激光等后加工除去在例如偽通道的底面析出的鍍敷覆膜，所以能夠縮減制造成本、縮減后工序中產(chǎn)生的垃圾，并且能夠可靠地抑制形成于偽通道的側(cè)壁面的個(gè)別電極經(jīng)由底面短路。
[0026]在上述本發(fā)明所涉及的液體噴射裝置中，其特征在于，具備:上述本發(fā)明的液體噴射頭；以及使所述液體噴射頭與被記錄介質(zhì)相對(duì)移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0027]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于具備上述本發(fā)明的液體噴射頭，所以能夠提供可靠性優(yōu)異的液體噴射裝置。
[0028]依據(jù)本發(fā)明，能夠謀求制造工序的效率化、簡(jiǎn)化。
【附圖說明】
[0029]圖1是實(shí)施方式中的噴墨打印機(jī)的立體圖。
[0030]圖2是噴墨頭的立體圖。
[0031 ] 圖3是從Z方向的一側(cè)觀察頭片的分解立體圖。
[0032]圖4是從Z方向的另一端側(cè)觀察頭片的立體圖。
[0033]圖5是相當(dāng)于圖3的A — A線的截面圖。
[0034]圖6是用于說明噴墨頭的制造方法的流程圖。
[0035]圖7是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖，是相當(dāng)于圖4的B — B線的截面圖。
[0036]圖8是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖，是相當(dāng)于圖4的B — B線的截面圖。
[0037]圖9是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖，是相當(dāng)于圖4的立體圖。
[0038]圖10是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖，是相當(dāng)于圖4的立體圖。
[0039]圖11是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖，是相當(dāng)于圖4的立體圖。
[0040][標(biāo)號(hào)說明]
I…噴墨打印機(jī)(液體噴射裝置)
2、3…輸送機(jī)構(gòu)(移動(dòng)機(jī)構(gòu))
4、4Y、4M、4C、4B…噴墨頭(液體噴射頭)