一種納米印章的制備工藝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種納米印章的制備工藝，包括以下步驟：(1)對(duì)母板進(jìn)行表面處理；(2)在母板上進(jìn)行聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的制備；(3)聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的脫模。本發(fā)明具有工藝簡(jiǎn)單，效率高，能對(duì)母板上的圖案進(jìn)行高保真復(fù)制的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
一種納米印章的制備工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及微加工領(lǐng)域，具體涉及一種納米印章的制備工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的電子束加工納米壓印印章，刻蝕時(shí)去除速率慢，樣品會(huì)受到一定程度的損傷，同時(shí)產(chǎn)率低，制備出來的產(chǎn)品不理想。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種納米印章的制備工藝，具有工藝簡(jiǎn)單，效率高，能對(duì)母板上的圖案進(jìn)行高保真復(fù)制的優(yōu)點(diǎn)。
[0004]技術(shù)方案:一種納米印章的制備工藝，包括以下步驟:
[0005](I)對(duì)母板進(jìn)行表面處理:將母板放入丙酮中，在超聲池中振動(dòng)4-6min，將母板取出，放入乙醇中，在超聲池中再振動(dòng)4-6min，將母板取出，最后放入去離子水中，在超聲池中再振動(dòng)2-4m i η，取出母板；
[0006](2)在母板上進(jìn)行聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的制備:在母板上刷上脫模劑，待脫模劑成膜后，將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3_6min，脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h;聚二甲基硅氧烷與固化劑按8-12:1的質(zhì)量比混合，攪拌均勻，在真空條件下脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在聚二甲基硅氧烷納米片上形成聚二甲基硅氧烷預(yù)聚體，固化40-45h;將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3_6min，脫氣25_35min后，饒到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，在聚二甲基硅氧烷片上再次形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h，形成聚二甲基硅氧烷復(fù)合片；
[0007](3)聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的脫模:將聚二甲基硅氧烷復(fù)合片從母板上揭開，即得聚二甲基硅氧烷印章。
[0008]進(jìn)一步的，脫模劑為二甲基硅油。
[0009]進(jìn)一步的，步驟(2)中母板旋轉(zhuǎn)均通過用膠臺(tái)進(jìn)行，轉(zhuǎn)速為1000-1200r/min。
[0010]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明提供的納米印章的制備工藝無需逐行掃描刻蝕，只需曝光一次，即可在大面積上形成圖案，降低了制造成本；同時(shí)操作步驟簡(jiǎn)單，使用方便、靈活，提高壓印效率，有利于推廣應(yīng)用;采用二甲基硅油為脫模劑，具有良好的潤(rùn)滑性和防韌性能，具有良好的噴出性并能使脫模部件的表面具有良好的光潔性;采用甩膠臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)工作，可以較好的控制轉(zhuǎn)速，同時(shí)使得聚二甲基硅氧烷在離心力的作用下加速流動(dòng)，使其充分填充母板上的空腔，從而能對(duì)母板上的圖案進(jìn)行高保真復(fù)制。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為了加深本發(fā)明的理解，下面我們將對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述，以下實(shí)施例僅用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明保護(hù)范圍的限定。
[0012]—種納米印章的制備工藝，其特征在于:包括以下步驟:
[0013](I)對(duì)母板進(jìn)行表面處理:將母板放入丙酮中，在超聲池中振動(dòng)4-6min，將母板取出，放入乙醇中，在超聲池中再振動(dòng)4-6min，將母板取出，最后放入去離子水中，在超聲池中再振動(dòng)2-4m i η，取出母板；
[0014](2)在母板上進(jìn)行聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的制備:在母板上刷上脫模劑，待脫模劑成膜后，將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3_6min，脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h;聚二甲基硅氧烷與固化劑按8-12:1的質(zhì)量比混合，攪拌均勻，在真空條件下脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在聚二甲基硅氧烷納米片上形成聚二甲基硅氧烷預(yù)聚體，固化40-45h;將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3_6min，脫氣25_35min后，饒到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，在聚二甲基硅氧烷片上再次形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h，形成聚二甲基硅氧烷復(fù)合片；
[0015](3)聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的脫模:將聚二甲基硅氧烷復(fù)合片從母板上揭開，即得聚二甲基硅氧烷印章。
[0016]其中，脫模劑為二甲基硅油，步驟(2)中母板旋轉(zhuǎn)均通過甩膠臺(tái)進(jìn)行，轉(zhuǎn)速為1000-1200r/mino
[0017]本發(fā)明提供的納米印章的制備工藝無需逐行掃描刻蝕，只需曝光一次，即可在大面積上形成圖案，降低了制造成本；同時(shí)操作步驟簡(jiǎn)單，使用方便、靈活，提高壓印效率，有利于推廣應(yīng)用;采用二甲基硅油為脫模劑，具有良好的潤(rùn)滑性和防韌性能，具有良好的噴出性并能使脫模部件的表面具有良好的光潔性;采用甩膠臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)工作，可以較好的控制轉(zhuǎn)速，同時(shí)使得聚二甲基硅氧烷在離心力的作用下加速流動(dòng)，使其充分填充母板上的空腔，從而能對(duì)母板上的圖案進(jìn)行高保真復(fù)制。
[0018]上述【具體實(shí)施方式】，僅為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思和結(jié)構(gòu)特征，目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的相關(guān)人士能夠據(jù)以實(shí)施，但以上內(nèi)容并不限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡是依據(jù)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)所作的任何等效變化或修飾，均應(yīng)落入本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種納米印章的制備工藝，其特征在于:包括以下步驟: (1)對(duì)母板進(jìn)行表面處理:將母板放入丙酮中，在超聲池中振動(dòng)4-6min，將母板取出，放入乙醇中，在超聲池中再振動(dòng)4-6min，將母板取出，最后放入去離子水中，在超聲池中再振動(dòng)2-4min，取出母板； (2)在母板上進(jìn)行聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的制備:在母板上刷上脫模劑，待脫模劑成膜后，將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3_6min，脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h;聚二甲基硅氧烷與固化劑按8-12:1的質(zhì)量比混合，攪拌均勻，在真空條件下脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在聚二甲基硅氧烷納米片上形成聚二甲基硅氧烷預(yù)聚體，固化40-45h;將聚二甲基硅氧烷生膠，在其中加入納米中間體和溶劑，進(jìn)行超聲震蕩3-6min，脫氣25-35min后，澆到母板上，用針尖去除氣泡，將母板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而在母板上形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，在聚二甲基硅氧烷片上再次形成聚二甲基硅氧烷納米預(yù)聚體，固化20-26h，形成聚二甲基硅氧烷復(fù)合片; (3)聚二甲基硅氧烷復(fù)合片的脫模:將聚二甲基硅氧烷復(fù)合片從母板上揭開，即得聚二甲基硅氧烷印章。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種納米印章的制備工藝，其特征在于:所述脫模劑為二甲基硅油。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種納米印章的制備工藝，其特征在于:所述步驟(2)中母板旋轉(zhuǎn)均通過用膠臺(tái)進(jìn)行，轉(zhuǎn)速為I OOO-ι 200r/min。
【文檔編號(hào)】B41C1/00GK106079845SQ201610430455
【公開日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年6月17日
【發(fā)明人】王晶
【申請(qǐng)人】無錫英普林納米科技有限公司