專利名稱：用于有機(jī)發(fā)光顯示屏制作中的對(duì)板技術(shù)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于有機(jī)發(fā)光顯示屏制作中的對(duì)板技術(shù)。
有機(jī)電致發(fā)光器件具有自發(fā)光、視角寬、高效率、低能耗、成本低等優(yōu)點(diǎn)，因此非常適合用來制作平面顯示器，經(jīng)過十幾年的發(fā)展，有機(jī)電致發(fā)光顯示屏已經(jīng)逐步走向了商業(yè)化。目前用來制作矩陣尋址的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的比較常用的方法是掩模蒸鍍方法，此方法中的對(duì)板步驟通常是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，非常難以完成，特別是當(dāng)有機(jī)發(fā)光顯示屏象素的分辨率達(dá)到一毫米三條線時(shí)，要在真空室內(nèi)通過移動(dòng)掩模板來完成對(duì)板，要求移動(dòng)掩模板的精度在0．13毫米以內(nèi)，這是極為困難的，這需要在真空室內(nèi)添加微動(dòng)設(shè)備，顯微設(shè)備，使整套設(shè)備變的極為昂貴，并且在高真空狀態(tài)下隔著真空室壁使真空室內(nèi)的掩膜板精確移動(dòng)即費(fèi)時(shí)又費(fèi)力，還不容易對(duì)準(zhǔn)，成品率低。
本發(fā)明的目的是提供一種在真空室外對(duì)板的技術(shù)，解決在真空室內(nèi)對(duì)板所帶來的困難。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是首先直接將基板置于真空室內(nèi)，在真空條件下，利用掩模蒸鍍的方法在基板上蒸鍍上一層金屬條。之后從真空室內(nèi)取出基板，將光刻好的鍍有錫銦氧化物(一種透明的導(dǎo)電物質(zhì))的導(dǎo)電玻璃固定在基板上，通過顯微鏡和微動(dòng)裝置使需要搭接金屬電極的錫銦氧化物條和基板上的金屬電極條搭接好，從而完成在真空室外對(duì)板的流程，然后將基板置于真空室內(nèi)，在真空條件下蒸鍍完有機(jī)薄膜，輪到蒸鍍金屬電極時(shí)，將蒸鍍金屬電極的掩模板還置于上次蒸鍍的固定位置，使蒸鍍金屬電極的掩模板和基板的相對(duì)位置保持不變，這樣蒸鍍?cè)阱a銦氧化物導(dǎo)電玻璃上的金屬電極和基板上的金屬電極的位置完全吻合，從而和作為引線的錫銦氧化物條很好地搭接上了。
采用真空室外對(duì)板技術(shù)后，由于是在真空室外操作，不需要在真空室內(nèi)添加移動(dòng)掩模板的裝置和顯微設(shè)備，降低了設(shè)備成本，并且可以在顯微鏡下利用微動(dòng)裝置對(duì)板，解決了高精度對(duì)板的難題，并且簡(jiǎn)單易行，縮短了工作時(shí)間，提高了產(chǎn)品的成品率。
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式

對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。


圖1是用來固定錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃的基板。
圖2是沒有固定錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃在真空室內(nèi)蒸鍍完金屬電極后的基板。
圖3是光刻好的錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃。
圖4是將圖3所示的光刻好的錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃固定在圖2所示的基板上。
圖5是利用掩模蒸鍍方法在錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃上蒸鍍上一層有機(jī)薄膜。
圖6是利用掩模技術(shù)繼續(xù)蒸鍍上金屬電極。
將圖1所示的基板置于真空室內(nèi)，在真空條件下利用掩模蒸鍍的方法在基板上蒸鍍上一層金屬條如圖2所示，圖2中的金屬條1的大小、尺寸、間距以及金屬條的個(gè)數(shù)根據(jù)需要制作的器件的大小和分辨率來確定。然后從真空室取出基板。
圖3為光刻好的錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃，1是錫銦氧化物條，其大小、尺寸、間距以及個(gè)數(shù)由需要制作的器件的大小和分辨率來確定，2是玻璃襯底。
將圖3所示的光刻好的錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃根據(jù)預(yù)先蒸鍍?cè)诨迳系慕饘匐姌O的位置固定在圖2所示的基板上，使錫銦氧化物條2與金屬電極條1對(duì)齊，這一步是在真空室外顯微鏡下完成的，是我們的真空室外對(duì)板技術(shù)的關(guān)鍵步驟，如圖4所示。
之后利用掩模蒸鍍方法在真空條件下在錫銦氧化物導(dǎo)電玻璃上蒸鍍上一層有機(jī)薄膜，如圖5所示，其中1是壓在縱向錫銦氧化物條上的有機(jī)薄膜。
然后利用掩模技術(shù)繼續(xù)蒸鍍上金屬電極，將蒸鍍金屬電極的掩模板還置于上次蒸鍍的固定位置，使蒸鍍金屬電極的掩模板和基板的相對(duì)位置保持不變，金屬電極和作為引線的兩側(cè)的錫銦氧化物條就會(huì)搭接上，利用封裝技術(shù)將金屬電極和有機(jī)薄膜與空氣隔絕，有機(jī)發(fā)光顯示器件就做好了，如圖6所示，使金屬電極和兩側(cè)的錫銦氧化物條搭接的技術(shù)就是對(duì)板技術(shù)。
只要是預(yù)先在基板上蒸鍍上金屬電極或是其它能夠在基板上留下痕跡的材料，然后在真空室外根據(jù)預(yù)先蒸鍍上的金屬或是其它材料的位置進(jìn)行對(duì)板的技術(shù)均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1．一種用于有機(jī)發(fā)光顯示屏制作中的對(duì)板技術(shù)，其特征在于預(yù)先在基板上蒸鍍上金屬電極，然后在真空室外根據(jù)預(yù)先蒸鍍上的金屬電極的位置進(jìn)行對(duì)板。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)板技術(shù)，其特征在于預(yù)先蒸鍍?cè)诨迳系慕饘匐姌O條的尺寸大小以及金屬電極條的個(gè)數(shù)根據(jù)需要制作的器件的大小和分辨率來確定。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種在有機(jī)電致發(fā)光顯示器件制作過程中的真空室外的對(duì)板技術(shù),它是在基板上預(yù)先蒸鍍上金屬電極,然后在真空室外根據(jù)預(yù)先蒸鍍上的金屬電極的位置進(jìn)行對(duì)板,這樣只要真空室內(nèi)的金屬掩模板的位置保持不變,蒸鍍出的金屬電極的位置就和基板上預(yù)先蒸鍍的金屬電極的位置吻合。
文檔編號(hào)G09F9/30GK1289997SQ00131359
公開日2001年4月4日 申請(qǐng)日期2000年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月1日
發(fā)明者李峰, 趙毅, 楊開霞, 劉式墉 申請(qǐng)人:吉林大學(xué)