專利名稱：多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為關(guān)于一種液晶顯示器(Liquid Crystal Display)的反射板結(jié)構(gòu)及其制造方法，特別是有關(guān)于一種多角度傾斜狀反射板(Multi-Slants Reflector)的結(jié)構(gòu)及其制造方法。
液晶顯示器在1970年首先應用在電子計算機與數(shù)位鐘表上，目前則應用在筆記型電腦(Notebook)、電視與文書處理器上，并且迅速普及。目前使用最廣的電子顯像器為影像管(CRT)，而影像管卻有重量過重、體積過大及耗電量大以及其在尺寸上的缺點存在。
而液晶顯示器的問題之一在于其反射率(Reflectivity)過低，一般報紙反射率約為標準白板的55％，而扭曲向列(Twisted Nematic，TN)型黑白液晶顯示器反射率通常低于25％，雖然其對比率(ContrastRatio)可達到5∶1以上，卻由于低反射率的關(guān)系，使用者操作時會有反射光亮度過弱與視角狹隘的缺點，甚不方便。
請參照

圖1，圖1所示為鏡面反射板結(jié)構(gòu)中入射與反射的光線反射示意圖，其中入射光線32以和垂直法線30夾角θ的角度照射，在基材36上的反射板38的平面與重直法線30垂直狀態(tài)下，反射光線34與垂直法線30的夾角α1會與θ相同。
請參照圖2，圖2所示為習知具鏡面(Mirror)反射板與擴散板的液晶顯示器結(jié)構(gòu)圖，其中為改善反射強度(Intensity)分散過弱的缺點，習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)在液晶層58下方加上鏡面反射板56，利用金屬鏡面可使入射光線50反射至反射光線52的方向。根據(jù)前述的光線反射原理得知，光線入射角度等于反射角度，若只依靠鏡面反射板56的結(jié)構(gòu)，會造成反射光線集中在某特定角度的缺點使其他角度的反射光線過低，如圖3所示。根據(jù)圖3所示的習知反射強度與反射角度函數(shù)圖，其中曲線A即代表液晶顯示器加入鏡面反射板后所呈現(xiàn)的反射強度與反射角度函數(shù)。當入射光由-30度角入射時，其反射角度多集中在30度，證明習知液晶顯示器若只加入鏡面反射板，則反射角度確實只會集中在某特定角度，則此液晶顯示器會因亮度過低的缺點而無法在其他角度觀看。
因此，衍生出另一種習知結(jié)構(gòu)在偏光板(Polarizer)68和位相差板(Retardation Film)66的下方加入一層擴散板(Diffuser)64，此擴散板可使反射強度稍趨于緩和，如圖3所示。根據(jù)圖3所示的習知反射強度與反射角度函數(shù)圖，其中曲線B即代表加入擴散板后的反射強度與反射角度函數(shù)曲線，此擴散板64具有分散光線強度的功能，因此利用擴散板結(jié)構(gòu)可改善反射強度集中約30度的缺點，使反射強度與反射角度函數(shù)曲線稍趨于緩和。
由于液晶顯示器也廣泛應用在如手提電腦與個人數(shù)位助理(PDA)等數(shù)位產(chǎn)品中，若液晶顯示器只使用鏡面反射板與擴散板結(jié)構(gòu)，會造成使用者在操作時視線必須保持在反射光線角度上，否則無法看清顯示面板的內(nèi)容，在操作上相當不便。因為事實上，使用者在使用手提電腦或PDA等數(shù)位產(chǎn)品時，視線通常保持在接近與顯示面板垂直的方向，即視線角度應在反射光線角度與重直法線夾角之間為改善此一缺點，再衍生出另一習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)是應用具單一角度的傾斜狀反射板來改變反射光線的角度，使反射光線較偏向于垂直法線的方向。
請參照圖4，圖4所示為傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)中入射與反射的光線反射原理，其中入射光線42以和垂直法線40夾角θ的角度照射，若基材46上的反射板48的垂直法線與垂直法線40呈夾角Φ，此夾角Φ中即為單一角度傾斜狀反射板所具有的傾斜角度(Slope Angle)Φ中，則反射光線44與垂直法線40的夾角α2會等于|θ-2Φ|，而使得反射光線較偏向于垂直法線40的方向。
利用上述光線反射原理所制造的習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)如圖5所示，除了保留原有的液晶顯示器結(jié)構(gòu)。如擴散板84，其中更包含了單一角度的傾斜狀反射板76。請參照圖5，其中此單一角度的傾斜狀反射板76可使反射光線72，較圖2中的反射光線52偏向垂直法線方向，由此可知傾斜狀反射板的功能。
習知結(jié)構(gòu)中保留的擴散板結(jié)構(gòu)，是用來分散特定角度的反射強度而使視差較不明顯。若不加入此擴散板結(jié)構(gòu)，所呈現(xiàn)的強度與反射角度函數(shù)圖如圖9所示。圖9所示為習知液晶顯示器中具鏡面反射板與具不同單一角度傾斜狀反射板的反射強度與反射角度函數(shù)圖，其中曲線G代表液晶顯示器中只加入鏡面反射板結(jié)構(gòu)而不加入擴散板結(jié)構(gòu)，曲線H1、H2、H3、H4則分別代表單獨加入各不同的單一角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)。當光線于-30度角入射后，由具鏡面反射板的液晶顯示器所反射的光線強度曲線較尖銳且集中于30度，如曲線G所示；若使反射板微傾斜若干角度，則反射光線會微偏向垂直法線，如曲線H1所示；當反射板傾斜角度增大，反射光線偏向垂直法線的現(xiàn)象越明顯，如曲線H4所示；換言之，曲線H1、H2、H3、H4分別代表傾斜狀反射板的角度越來越大的情況下，所造成的反射強度與反射角度曲線，但是，曲線H1、H2、H3、H4都仍有反射強度集中的現(xiàn)象產(chǎn)生。由此可知，不加入擴散板結(jié)構(gòu)會保有光線集中在一特定角度，而視差過于明顯的的缺點，這是不論利用何種角度的單一角度傾斜狀反射板都無法改善。因此就習知的液晶顯示器結(jié)構(gòu)而言，欲改變液晶顯示器中的反射板結(jié)構(gòu)，仍需再加上擴散板結(jié)構(gòu)才行。
此單一角度反射板對光線反射的影響，如圖6所示。圖6所示為習知具擴散板的液晶顯示器中，亦具有鏡面反射板或具有單一角度傾斜狀反射板兩者比較的反射強度與反射角度函數(shù)圖，其中曲線B代表液晶顯示器中加入鏡面反射板與擴散板后所呈現(xiàn)出的強度與反射角度函數(shù)圖，而曲線F則代表液晶顯示器中加入單一角度傾斜狀反射板與擴散板后所呈現(xiàn)出的強度與反射角度函數(shù)圖。由兩曲線的比較可知單一角度的傾斜狀反射板的確使反射角度變小，與垂直法線較為靠近。
至于習知制造單一角度傾斜狀反射板的方法多使用光罩來制作，例如一種為使用半頻(Half-tone)光罩，對涂布的反射板層進行不同深淺程度的蝕刻，如圖7所示；另一種則為利用移動光罩(Mask shift)的位置來控制不同深淺的蝕刻效果。使用光罩來定義傾斜狀反射板的圖形，需注意曝光與微影最小間距距離，對傾斜角度的定義較不精確。換句話說，此光罩制程只適合使用在僅具有單一傾斜角度的傾斜狀反射板。
習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)中所使用的單一角度傾斜狀反射板雖加入擴散板而使反射強度較緩和地分布，但由于其反射角度大多集中在單一角度，且擴散板會分散光源，仍然有反射強度范圍狹隘與亮度不均的缺點存在。根據(jù)第6圖中的曲線F可知，反射強度仍集中在約20度，使用者在操作時仍需控制顯示面板與視線保持此一特定角度才能達到較良好的觀看效杲。
對標準白板而言，其反射強度與反射角度的關(guān)系如圖8的曲線C所示，即在所有的反射角的反射強度均相同；而理想的反射板需能將入射光線集中在特定范圍內(nèi)反射且在此范圍內(nèi)的反射光強度足夠且均勻，如曲線D與E所示。如此，才能使液晶顯示器有更全的使用角度及亮度。
鑒于上述習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)所產(chǎn)生光線反射強度集中在某特定角度的缺點，因此本發(fā)明的目的為提供一種具多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)的液晶顯示器，并使得此液晶顯示器具有理想化的反射強度與反射角度。
本發(fā)明另一目的為提供多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)可改善反射光線，不僅使反射角度位在使用者較常操作的視線范圍內(nèi)，更由于省略擴散板結(jié)構(gòu)，不必再次分散光線而使反射亮度較習知結(jié)構(gòu)為強。
另外，本發(fā)明的再一目的為提供與一般液晶顯示器的薄膜電晶體制程相容的多角度傾斜狀反射板的制造方法，在制造薄膜電晶體元件的同時，可制造出反射板的多角度傾斜狀結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明的上述目的，本發(fā)明提供一種具有復數(shù)個傾斜角度的反射板結(jié)構(gòu)，包括復數(shù)個用于制造薄膜電晶體元件的沉積層位在一基材上；一有機層位于這些沉積層上；一金屬層位于有機層上，其中上述的傾斜角度系指金屬層的上表面與基材的上表面的夾角。另外，本發(fā)明更提供一種液晶顯示器，包括基材；與依序位于基材上的多角度傾斜狀反射板；液晶層；透明導電膜；彩色濾光器元件；位相差板以及偏光板。
根據(jù)本發(fā)明的上述目的，本發(fā)明提供一種多角度傾斜狀反射板的制造方法，是利用液晶顯示器元件中的制造薄膜電晶體所需的沉積層，如閘極(Gate)層、非晶矽(a-Si)層、金屬層與絕緣層等堆疊組合所構(gòu)成的傾斜狀結(jié)構(gòu)，并在此傾斜結(jié)構(gòu)上涂布有機層，隨后經(jīng)烘烤平滑化，再以例如金屬濺鍍方式涂布反射層，便形成本發(fā)明的多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的一特點是利用沉積不同層數(shù)的堆疊結(jié)構(gòu)以定義出傾斜狀結(jié)構(gòu)的不同傾斜角度，使反射光線偏向重直法線的程度不同，達到反射強度的多樣化。
本發(fā)明的再一特點是利用薄膜電晶體制程中涂布與微影步驟的操作，同步定義出多角度傾斜狀結(jié)構(gòu)，亦即利用同步制造的沉積層如閘極層、非晶矽層，金屬層或絕緣層等，作為反射層的傾斜狀結(jié)構(gòu)。之后，在此傾斜狀結(jié)構(gòu)涂布的有機層具熔融特性，烘烤(Baking)后可獲得平滑(Smooth)表面，使單一傾斜的反射角度變寬而使反射光得有效分散。
附面說明圖1 為鏡面反射板結(jié)構(gòu)中入射與反射的光線反射示意圖；圖2 為習知具鏡面反射板與擴散板的液晶顯示器結(jié)構(gòu)圖；圖3 為習知當入射角為30度時，具鏡面反射板與再加上擴散板的液晶顯示器兩者比較反射強度與反射角度函數(shù)圖；圖4 為傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)中入射與反射的光線反射示意圖；圖5 為習知液晶顯示器中具單一角度傾斜狀反射板的結(jié)構(gòu)圖；圖6 為習知當入射角為30度時，具鏡面反射板與具單一角度傾斜狀反射板的液晶顯示器兩者比較反射強度與反射角度函數(shù)圖；圖7 為習知反射板傾斜狀結(jié)構(gòu)的制造方法；圖8 為液晶顯示器中理想傾斜狀反射板與標準白板比較的反射強度與角度函數(shù)圖；圖9 為習知具鏡面反射板與具不同單一角度傾斜狀反射板的液晶顯示器兩者比較反射強度與反射角度函數(shù)圖；圖10 為本發(fā)明具多角度傾斜狀反射板的彩色液晶顯示器結(jié)構(gòu)圖；圖11 為本發(fā)明具多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器強度與反射角度的一實施例的函數(shù)圖；圖12 為本發(fā)明具多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器強度與反射角度的一實施例的函數(shù)圖；圖13至圖18 為本發(fā)明具多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器制造流程圖。
圖號對照說明30垂直法線 32入射光線34反射光線 36基材38反射板40垂直法線42入射光線 44反射光線46基材 48反射板50入射光線 52反射光線54基材 56鏡面反射板58液晶層60透明導電膜
62透光基材 64擴散板66位相差板 68偏光板70射光線 72反射光線74基材 76單一角度傾斜狀反射板78液晶層 80透明導電膜82可透光基材 84擴散板86位相差板 88偏光板90入射光線 90反射光線94基材 96多角度傾斜狀反射板98液晶層 100透明導電膜102彩色濾光器103基材104位相差板 106偏光板110光罩 112反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)200基材 202閘極層204閘極層206閘極層208閘極層210絕緣層212非晶矽層 213N+矽層214非晶矽層 214a非晶矽層215N+矽層 216非晶矽層216a非晶矽層 217N+矽層218非晶矽層 218a非晶矽層219N+矽層 220金屬層222金屬層224金屬層226蝕刻區(qū)228有機層230反射金屬層232接觸窗開口234斷路開口 240薄膜電晶體元件
242傾斜狀結(jié)構(gòu)244傾斜狀結(jié)構(gòu)246傾斜狀結(jié)構(gòu)曲線A 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線B 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線C 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線D 反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線E 反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線F 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線G 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線H 習知反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線I 本發(fā)明反射強度與反射角度函數(shù)曲線曲線J 本發(fā)明反射強度與反射角度函數(shù)曲線下面結(jié)合實施例及附圖詳細說明本發(fā)明如下習知液晶顯示器結(jié)構(gòu)是使用單一角度的傾斜狀反射板，所以反射光線角度只能集中在某一角度，使視角局限于狹隘的范圍中，導致使用反射式液晶顯示器時的視角較小、亮度較低。
為達到理想的使用狀態(tài)，根據(jù)統(tǒng)計液晶顯示器光線反射強度與角度關(guān)系應如圖8的曲線D或E所示，亦即在特定角度范圍內(nèi)的反射強度足夠且均勻，才能讓使用者操作顯示面板有較佳的視角及較大的反射強度。
本發(fā)明所提供的具有多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器，其結(jié)構(gòu)如圖10所示。本發(fā)明的液晶顯示器結(jié)構(gòu)包括基材94，材質(zhì)可例如為玻璃，此基材94表面依序具有多角度傾斜狀反射板96、液晶層98、透明導電膜100、彩色濾光器元件102、基材103、位相差板104以及偏光板106。其中，多角度傾斜狀反射板96具有不同的傾斜角度中Φ1、Φ2、與Φ3，且傾斜角度范圍約介于0度與10度之間。值得注意的一點是，本發(fā)明多角度傾斜狀反射板的傾斜角度并不限于Φ1、Φ2、與Φ3三種，此傾斜角度可具有更多樣變化角度與范圍，可視實際或所需的情況而定。
本發(fā)明的特點在于多角度傾斜狀反射板96為在薄膜電晶體制程中，同步沉積的傾斜狀結(jié)構(gòu)，可具有不同的高度與傾斜角度Φ1、Φ2、與Φ3。當入射光線90照射多角度傾斜狀反射板96后，不僅可改善反射光線92的原有反射角度，使反射光線偏向垂直法線方向，且不同傾斜角度造成的反射效果更可使反射角度具有多樣化。
另外，習知制程中必須加入一層擴散板結(jié)構(gòu)，因此在分散光源反射強度的同時，也減低光源反射強度，亦使強度分布不均勻。本發(fā)明的特點之一為利用多角度傾斜狀反射板的平滑表面來達到平均各反射角度與反射強度的目的，既使省去擴散板結(jié)構(gòu)，并不會減低原有反射光線強度。請參照圖10，其中反射光線92與圖5的反射光線72比較本發(fā)明多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)可使反射強度較為平均。
本發(fā)明的一實施例是提供一種多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)是利用液晶顯示器制程中，制造薄膜電晶體所需的沉積層，例如是選自于閘極線、共通線、絕緣層、非晶矽層、N+矽層、源極層、汲極層與保護層所組成的一族群及其任意組合來作為傾斜狀結(jié)構(gòu)的一部份。接著，濺鍍上反射金屬層即可形成本發(fā)明多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)。此多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)具有不同傾斜角度，使反射光線偏向垂直法線的程度不同，可達到同一液晶顯示器中具多樣化的反射強度分布，其結(jié)果如圖11所示。圖11所示為本發(fā)明的一實施例中，具多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器強度與反射角度的函數(shù)圖，其中在反射角度30度內(nèi)的強度分布規(guī)律，不僅只局限在單一角度而已。
而本發(fā)明的另一較佳實施例中，是提供一種經(jīng)平滑化的多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)同樣利用液晶顯示器制程中，制造薄膜電晶體所需的沉積層，例如是選自于閘極線、共通線、絕緣層、非晶矽層、N+矽層、源極層、汲極層、與保護層所組成的一族群及其任意組合來作為傾斜狀結(jié)構(gòu)的一部份。接著，涂布一層具熔融(Melt)特性的有機層，利用烘烤(Baking)熔融后，使多角度傾斜狀反射板具有平滑表面。平滑化后，傾斜狀反射板的表面具有多個不同角度的切線平面，當光線照射時，可反射更多樣化的角度，并減少大角度反射而使反射光線分布更均勻。本發(fā)明此較佳實施例可使同一液晶顯示器的強度分布更理想化，其結(jié)果如圖12所示。圖12所示為本發(fā)明多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器強度與反射角度的一實施例的函數(shù)圖，其中在反射角度30度內(nèi)的強度不僅增加，且均勻，可表現(xiàn)出本發(fā)明改善習知結(jié)構(gòu)的特點。
由圖12中本發(fā)明的較佳實施例所得的反射強度曲線J，與圖8中代表理想反射曲線E兩者比較可知，利用本發(fā)明多角度傾斜狀反射板的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，所得的反射強度與反射角度函數(shù)結(jié)果非常接近理想狀態(tài)，可不需加入習知擴散板結(jié)構(gòu)。
另外，本發(fā)明也提供具多角度傾斜狀反射板的制造方法如圖13至圖18所示。圖13至圖18所示為本發(fā)明利用一般液晶顯示器的薄膜電晶體制程，同步制造出多角度傾斜狀反射板的一實施例流程圖。
請參照圖13所示，首先在基材200上沉積一層閘極層再以微影方式，同步定義出薄膜電晶體元件的閘極層202，以及兩相鄰薄膜電晶體元件間，本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)的閘極層204、206與208。此同步定義形成的閘極層204、206與208即是作為本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)中的一層，在本發(fā)明此一實施例中，籍由微影步驟使得閘極層204的寬度大于閘極層206；并且使得閘極層208的寬度又大于閘極層204，藉此可定義出不同寬度傾斜狀反射板。上述的寬度與位置順序關(guān)系僅是舉例說明，本發(fā)明更可依照實際制程與需求利用微影步驟來選擇閘極層的寬度與位置。
接著，請參照圖14所示，再涂布上一層絕緣層210覆蓋圖13所示的結(jié)構(gòu)，此絕緣層210作為薄膜電晶體元件中位于閘極層202上方的絕緣材料，也同時作為本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)之一。其中，此絕緣層210的材料為熟悉習知薄膜電晶體制程的人員所了解，且非本發(fā)明的重點，故不再贅述。
接著，請參照圖15所示，依序涂布制作薄膜電晶體元件所需要的非晶矽材料與N+矽材料覆蓋圖14所示的結(jié)構(gòu)，并利用另一微影步驟定義出薄膜電晶體元件中的非晶矽層212與N+矽層213，同一步驟中，也定義出本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)的非晶矽層214、216與218，以及N+矽層215、217與219。其中，本發(fā)明此一實施例是定義本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)的非晶矽層與N+矽層覆蓋閘極層的三分之二的寬度，在同一沉積厚度下，可定義出不同的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)。上述的寬度與位置僅是舉例說明，本發(fā)明更可依照實際制程與需求，利用微影步驟來選擇非晶矽層與N+矽層的寬度與位置。
隨后，請參照圖16所示，再涂布一層金屬材料，利用微影方式定義出薄膜電晶體元件中的金屬層220與222，此金屬層220與222是作為薄膜電晶體元件的源極與汲極同時，亦定義出本發(fā)明反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)的金屬層224。在本發(fā)明此一實施例的不同角度傾斜狀反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)中，只選擇在N+矽層219上覆蓋此金屬層224，使金屬層224的寬度約等于N+矽層219寬度的三分之二，如此定義出不同高度的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)。上述的寬度與位置僅是舉例說明，本發(fā)明更可依照實際制程與需求，利用微影步驟來選擇金屬層的寬度與位置。
請參照圖17所示，由于制作薄膜電晶體所需，利用金屬層220與222，即源極與汲極作為光罩，對部分N+矽層213與非晶矽層212進行蝕刻，形成一蝕刻區(qū)226。而蝕刻步驟進行時，沒有被金屬層224覆蓋的N+矽層215、217與部分的N+矽層219，同步被去除，只遺留下部分的N+矽層219a。并且，部分的非晶矽層214、216與218，也被去除而剩下部分的非晶矽層214a、216a與218a，造成不同角度傾斜狀反射板的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)彼此間的高度差異更大。
進行到此階段，本發(fā)明的不同角度傾斜狀反射板內(nèi)自傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)已大致完成，其特點在于利用制作薄膜電晶體的涂布與微影步驟，同步制作本發(fā)明不同角度傾斜出反射板的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)。前述的寬度與位置僅是舉例本發(fā)明更可依照實際制程與需求，選擇是否沉積前述傾斜狀結(jié)構(gòu)的閘極層、非晶矽層、N+矽層與金屬層，并可利用微影步驟來定義其位置與寬度，如此可定義出多樣的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)。
請參照圖18，制作完薄膜電晶體元件以及不同角度傾斜狀反射板242、244與246的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)后，在其上涂布一層具熔融特性的有機層228覆蓋如圖18的結(jié)構(gòu)，再進行烘烤步驟以平滑傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)，接著利用微影方式，制造出接觸窗開口232。隨后，以例如金屬濺鍍方式涂布一層反射金屬層230，即完成本發(fā)明的多角度傾斜狀反射板242、244與246的制作。另外，可再進行蝕刻反射金屬層的步驟，形成斷路開口234以定義出畫素。因為這些后續(xù)步驟為此技藝者所熟知，故此處不再贅述。
上述步驟中，具熔融特性的有機層228可為具熔融特性的保護層，進行烘烤與蝕刻步驟后，涂布反射金屬層(制造傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)；或利用保護層上涂布具熔融特性的有機光阻層，蝕刻完接觸窗后，不將此有機光阻層去除，而是直接進行烘烤步驟以平滑化，再涂布反射金屬以制造傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)。
另外，上述步驟中，涂布具熔融特性的有機層，目的在于利用有機層烘烤后熔融，使不同角度傾斜狀反射板242、244與246具有較平滑的表面，以利光線反射。此烘烤步驟與蝕刻接觸步驟可相互對調(diào)，本發(fā)明不限于此。
值得注意的是，本發(fā)明兩薄膜電晶體間不限于只具有三個傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)，更可依照實際制程與需求，在兩薄膜電晶體元件間，利用制造薄膜電晶體所需的沉積層，制作一或多個具有不同高度與寬度的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)。另外本發(fā)明三種不同角度傾斜狀反射板242、244與246的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)也僅為舉例，本發(fā)明不限于此。
本發(fā)明的優(yōu)點在于提供多角度傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，此多角度傾斜狀反射板具有不同傾斜角度、寬度與高度，使反射光線偏向垂直法線的程度不同，達到反射強度的多樣化；并利用有機層的熔融特性，使多角度傾斜狀反射板具有平滑表面，使反射光的強度分散且均勻；如此，可取代習知單一角度傾斜狀反射板與擴散板結(jié)構(gòu)，以制造較佳的液晶顯示器元件。另外，本發(fā)明亦提供此一多角度傾斜狀反射板的制造方法，可在一般液晶顯示器制造薄膜電晶體的制程中，定義多角度傾斜狀反射板的傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)，并利用制造薄膜電晶體元件結(jié)構(gòu)，如閘極層、共通層、絕緣層、非晶矽層、N+矽層、金屬層、源極層與汲極層等制程，同步堆疊出多角度傾斜狀反射板的傾斜狀結(jié)構(gòu)，如此不僅與習知薄膜電晶體制程相容，亦達到簡化步驟與時間的功效。
如熟悉此技術(shù)的人員所了解的，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并非用以限定本發(fā)明的申請專利范圍；凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在下述的申請專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種多角度傾斜狀反射板的制造方法，至少包括提供一基材；形成一薄膜電晶體，且同步形成復數(shù)個傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)于該基材上，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)具有兩種以上相異的傾斜角度；涂布一有機層于該薄膜電晶體與該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)上；進行一烘烤步驟以平滑化該有機層；以及形成一第一金屬層在該有機層上，其中該些傾斜角度是指該第一金屬層的上表面與該基材的上表面的夾角。
2.如權(quán)利要求1所述的多角度傾斜狀反射板的制造方法，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)分別具有兩種以上相異的結(jié)構(gòu)高度與結(jié)構(gòu)底邊寬度。
3.如權(quán)利要求1所述的多角度傾斜狀反射板的制造方法，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)更包括復數(shù)個大堆疊層，而該些大堆疊層至少具有兩種以上的相異寬度。
4如權(quán)利要求3所述的多角度傾斜狀反射板的制造方法，其中該些大堆疊層是選自于一絕緣層、一閘極層、一非晶矽層、一N+矽層、一第二金屬層所組成的一族群及其任意組合。
5.如權(quán)利要求1所述的多角度傾斜狀反射板的制造方法，其中該些大堆疊層更包括選自于一閘極線、一共通線、一絕緣層、一非晶矽層、一N+矽層、一第二金屬層、一源極層、一汲極層、一保護層、與一有機層所組成的一族群及其任意組合。
6.如權(quán)利要求1所述的多角度傾斜狀反射板的制造方法，其中該些傾斜角度可為0度至10度。
7.一種用于液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，至少包括復數(shù)個傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)、一有機層、與一第一金屬層，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)至少具有兩種以上相異的傾斜角度。
8.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)是與一薄膜電晶體同步形成。
9.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜角度可為0度至10度。
10.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)分別具有兩種以上相異的結(jié)構(gòu)高度與結(jié)構(gòu)底邊寬度。
11.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)更包括復數(shù)個大堆疊層，而該些大堆疊層至少具有兩種以上的相異寬度。
12.如權(quán)利要求11所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些大堆疊層是選自于一絕緣層、一閘極層、一非晶矽層、一N+矽層、一第二金屬層所組成的一族群及其任意組合。
13.如權(quán)利要求7所述的液晶顯示器的傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)，其中該些大堆疊層更包括選自于一閘極層、一共通層、一絕緣層、一非晶矽層、一N+矽層、一第二金屬層、一源極層、一汲極層、一保護層與一有機層所組成的一族群及其任意組合。
14.一種液晶顯示器結(jié)構(gòu)，至少包括一第一基材；一反射板位于該第一基材上，其中該反射板具有復數(shù)個傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)，而該傾斜狀反射板結(jié)構(gòu)至少具有兩種以上相異的傾斜角度一第二基材，且該第二基材是由一可透光材料所構(gòu)成；一透明導電膜位于該第二基材面向該第一基材的一側(cè)上；以及一液晶層位于該第一基材與該透明導電膜之間。
15.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中更包括一位相差板位于所述的第二基材上，且該位相差板與該透明導電膜分別位于該第二基材的不同側(cè)。
16.如權(quán)利要求15所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中更包括一偏光板位于該位相差板上。
17.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜角度可為0度至10度。
18.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)分別具有兩種以上相異的結(jié)構(gòu)高度與結(jié)構(gòu)底邊寬度。
19.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中該些傾斜狀堆疊結(jié)構(gòu)更包括復數(shù)個大堆疊層，而該些大堆疊層至少具有兩種以上的相異寬度。
20.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中該些大堆疊層是選自于一絕緣層、一閘極層、一非晶矽層、一N+矽層、一金屬層所組成的一族群及其任意組合。
21.如權(quán)利要求14所述的液晶顯示器結(jié)構(gòu)，其中該些大堆疊層更包括選自于一間極線、一共通線、一絕緣層、一非晶矽層、一N+矽層、一金屬層、一源極層、一汲極層、一保護層、與一有機層所組成的一族群及其任意組合。
全文摘要
本發(fā)明提供一種多角度傾斜狀反射板(Multi－Slants Reflector)的結(jié)構(gòu)及其制造方法。并且利用制造液晶顯示器(Liquid Crystal Display)時形成薄膜電晶體(Thin FilmTransistor)的制程,同步定義出多角度的傾斜狀反射板(multi－Slants Reflector)結(jié)構(gòu)。其中,各個傾斜狀反射板的高度與其傾斜角度具有多種變化性,而使得入射光線能以不同角度反射而達到理想化的反射強度與角度分布關(guān)系。當本發(fā)明的多角度傾斜狀反射板運用于液晶顯示器時,藉由不同傾斜角度反射板的作用即可有效地避免光亮度過度集中于單一特定反射角度,換言之,本發(fā)明不需透過擴散板(Diffuser)裝置即可使反射光亮度更均勻地分布于較寬廣的行定視角內(nèi)。
文檔編號G09G3/36GK1378195SQ01110
公開日2002年11月6日 申請日期2001年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月4日
發(fā)明者劉中元 申請人:奇美電子股份有限公司