專利名稱：用于制造平板顯示器的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于制造平板顯示器的設(shè)備。
背景技術(shù)：
參考圖1和2，說明了一般的平板顯示器(FPD)制造設(shè)備。該FPD制造設(shè)備包括裝載鎖定室(load lock chamber)100、饋送室200和處理室300，它們串聯(lián)連接以處理用于FPD的基板。
裝載鎖定室100連接到外部站以接收要在FPD制造設(shè)備中處理的基板以便于裝載基板，或者排出已在FPD制造設(shè)備中完全處理的基板以便于卸載基板。裝載鎖定室100在真空狀態(tài)和大氣狀態(tài)之間重復(fù)切換，從而使裝載鎖定室100與外部站選擇性地連通。
饋送室200連接在裝載鎖定室100和處理室300之間。如圖2中所示，饋送室200帶有設(shè)置在饋送室200內(nèi)部的饋送自動(dòng)機(jī)210，從而饋送室200用作中間通道，用于在裝載鎖定室100和處理室300之間饋送基板，以便于裝載/卸載基板。饋送室200維持在真空環(huán)境，從而處理室300維持在真空環(huán)境。
如圖2中所示，處理室300裝配了處理裝置310以對(duì)在處理室300中裝載的基板執(zhí)行所需處理。例如，蝕刻處理在被建立于處理室300中的真空環(huán)境下進(jìn)行。
與此同時(shí)，最近FPD尺寸增加的趨勢(shì)需要放大FPD制造設(shè)備的每個(gè)室。結(jié)果，亦有必要增加其中安裝FPD制造設(shè)備的清潔間的尺寸。為此，F(xiàn)PD制造設(shè)備的安裝成本大大增加。
即使當(dāng)使用單個(gè)FPD制造設(shè)備時(shí)，考慮到高昂的安裝成本，為了減小用于FPD的基板的制造成本，有必要增加FPD制造設(shè)備的基板處理效率。
然而，隨著基板尺寸的增加，裝載/卸載每個(gè)基板所花費(fèi)的時(shí)間，即在裝載鎖定室100中裝載基板和在完成對(duì)基板的處理之后從裝載鎖定室100卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間亦增加。因此，非常需要減小裝載/卸載每個(gè)基板所花費(fèi)的時(shí)間。
與此同時(shí)，基板傳輸裝置400設(shè)置在裝載鎖定室100附近以將基板傳輸?shù)窖b載鎖定室100，如圖3中所示?；鍌鬏斞b置400在大氣壓力下被驅(qū)動(dòng)?；鍌鬏斞b置400被配置成將堆放在基板存儲(chǔ)箱500上的基板供應(yīng)到裝載鎖定室100中，所述基板存儲(chǔ)箱設(shè)置在基板傳輸裝置400的附近。
然而，在采用上述方式實(shí)現(xiàn)將基板供應(yīng)到裝載鎖定室100中的情況下，由于FPD制造設(shè)備的安裝面積增加，其中安裝FPD制造設(shè)備的清潔間的尺寸亦增加。結(jié)果，有一個(gè)問題是FPD制造設(shè)備的安裝成本增加。而且，采用所述FPD制造設(shè)備所制造的基板的制造成本亦增加。
最近，這樣的問題已變得更為嚴(yán)重，這是因?yàn)樵贔PD制造設(shè)備中包括的每個(gè)室的容積由于FPD尺寸增加的趨勢(shì)而增加。
盡管可將多個(gè)處理室300用于一個(gè)饋送室200以減小一個(gè)FPD制造設(shè)備所占用的面積，如圖4和5所示，該方法亦涉及的一個(gè)問題，即在裝載鎖定室100周圍存在未使用的空間。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種FPD制造設(shè)備，其包括能大大減小在裝載鎖定室中裝載/卸載基板和從裝載鎖定室卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間的裝載鎖定室。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種FPD制造設(shè)備，其中，在裝載鎖定室的一側(cè)設(shè)置了基板支持，以有效地使用FPD制造設(shè)備安裝處的空間。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種基板饋送裝置，其能在短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定地饋送大基板。
依照一個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種平板顯示器制造設(shè)備，其包括裝載鎖定室、饋送室和處理室，該設(shè)備進(jìn)一步包括基板入口，其設(shè)置在裝載鎖定室處以將裝載鎖定室與裝載鎖定室的外部連通；多個(gè)閘門，其設(shè)置在裝載鎖定室處以打開和關(guān)閉基板入口；以及基板支持組件，其分別耦合于所述閘門以允許基板放置在基板支持組件的上表面。
依照另一個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種平板顯示器制造設(shè)備，其包括裝載鎖定室、饋送室和至少一個(gè)連接到饋送室的處理室，該設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)或多個(gè)基板支持單元，其每個(gè)都設(shè)置在與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)面，從而每個(gè)基板支持單元都可通過與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)壁而進(jìn)出裝載鎖定室以將基板裝載到裝載鎖定室中并從裝載鎖定室卸載基板。
依照另一個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種平板顯示器制造系統(tǒng)，其包括至少一個(gè)裝載鎖定室，用于從裝載鎖定室的外部接收基板并將基板傳送到裝載鎖定室的外部，同時(shí)交替建立真空狀態(tài)和大氣狀態(tài)；兩個(gè)饋送室，其彼此間隔開并且維持在真空狀態(tài)，每個(gè)饋送室都從裝載鎖定室接收基板，將基板傳送到另一個(gè)饋送室，從另一個(gè)饋送室接收基板，并將基板傳送到裝載鎖定室；至少一個(gè)處理室，其連接到每個(gè)饋送室，并且設(shè)置有處理裝置，該裝置設(shè)置在處理室中以對(duì)在處理室中裝載的基板執(zhí)行預(yù)定處理；以及公用室，其插入在饋送室之間，并且分別在與饋送室相鄰設(shè)置的公用室的相對(duì)側(cè)壁處設(shè)置有閘門，以從饋送室接收基板并將基板排出到饋送室。
依照另一個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種使用平板顯示器制造系統(tǒng)來制造平板顯示器的方法，所述系統(tǒng)包括并列設(shè)置的至少兩個(gè)平板顯示器制造設(shè)備，每個(gè)平板顯示器制造設(shè)備都包括裝載鎖定室、饋送室和處理室，并且公用室設(shè)置在平板顯示器制造設(shè)備的饋送室之間，所述方法包括以下步驟a)檢查每個(gè)裝載鎖定室是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)；b)如果每個(gè)裝載鎖定室都正常運(yùn)轉(zhuǎn)，則將基板供應(yīng)到連接于每個(gè)裝載鎖定室的饋送室，從連接于每個(gè)裝載鎖定室的饋送室接收完全處理的基板，并且處理所接收的基板，而如果一個(gè)裝載鎖定室工作異常，則通過另一個(gè)裝載鎖定室將基板供應(yīng)到連接于另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室；c)根據(jù)連接到另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的操作將供應(yīng)到連接于另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的基板傳送到公用室；d)根據(jù)連接于工作異常的裝載鎖定室的饋送室的操作從公用室卸載基板并將所卸載的基板供應(yīng)到連接于工作異常的裝載鎖定室的饋送室所連接的處理室；e)根據(jù)連接于異常運(yùn)轉(zhuǎn)的裝載鎖定室的饋送室的操作從處理室卸載完全處理的基板，該處理室被連接于連接到工作異常的裝載鎖定室的饋送室，并且將所卸載的基板傳送到公用室；以及f)根據(jù)連接到另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的操作將完全處理的基板從公用室傳送到另一個(gè)裝載鎖定室。


在閱讀了結(jié)合附圖給出的以下詳述之后，本發(fā)明的以上目的以及其它特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將變得更為明顯，在附圖中圖1是示出常規(guī)FPD制造設(shè)備的示意平面圖；圖2是所述常規(guī)FPD制造設(shè)備的示意正視圖，示出了該常規(guī)FPD制造設(shè)備的構(gòu)成元件；圖3是所述常規(guī)FPD制造設(shè)備的示意平面圖，示出了該常規(guī)FPD制造設(shè)備的構(gòu)成元件的操作；圖4和5是分別示出依照本發(fā)明第一實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的不同設(shè)置的示意平面圖；圖6是依照本發(fā)明第一實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的示意平面圖，示出了在裝載鎖定室中安裝的閘門；圖7是依照本發(fā)明第一實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的示意立體圖，示出了耦合于每個(gè)閘門的基板支持組件；圖8是示出基板支持組件的操作的示意平面圖；圖9是示出一個(gè)閘門的示意正視圖，該閘門具有依照根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例修改的本發(fā)明實(shí)施例的多層基板支持組件結(jié)構(gòu)；
圖10和11是分別示出依照本發(fā)明第二實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的不同設(shè)置的示意平面圖；圖12是示出依照本發(fā)明第二實(shí)施例的閘門的示意立體圖；圖13是示出一個(gè)基板支持組件的示意立體圖，該組件耦合于依照本發(fā)明第二實(shí)施例的閘門；圖14是示出依照本發(fā)明第三實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的示意平面圖；圖15是示出依照本發(fā)明第三實(shí)施例的基板饋送裝置的一部分的立體圖；圖16是示出所述基板饋送裝置的示意正視圖；圖17是示出所述基板饋送裝置的操作的示意正視圖；圖18到20是分別示出依照本發(fā)明第四實(shí)施例的FPD制造設(shè)備的不同設(shè)置的示意平面圖；圖21是示出依照本發(fā)明用于操作平板顯示器制造系統(tǒng)的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式
以下將參照附圖來描述本發(fā)明的示例實(shí)施例。在以下描述中，將用相同的標(biāo)號(hào)來表示分別與圖1到3中的元件對(duì)應(yīng)的元件。
第一實(shí)施例參考圖4或5，說明了依照本發(fā)明第一實(shí)施例的FPD制造設(shè)備。如圖4或5中所示，F(xiàn)PD制造設(shè)備包括如圖1到3中所示的常規(guī)情況下的裝載鎖定室100和饋送室200。FPD制造設(shè)備還包括至少一個(gè)在操作上連接到饋送室200處理室300，優(yōu)選為包括至少兩個(gè)處理室300。在圖4的例子中，設(shè)置了兩個(gè)處理室300。在圖5的例子中，設(shè)置了三個(gè)處理室300。裝載鎖定室100包括成對(duì)設(shè)置的多個(gè)閘門，如圖6中所示。在所示出的例子中，包括兩個(gè)閘門110和120的一個(gè)閘門對(duì)被包括在裝載鎖定室100中。
基板入口130在與饋送室200相對(duì)的裝載鎖定室100的一個(gè)側(cè)壁處形成。閘門110和120打開和關(guān)閉基板入口130。閘門110和120的面積有比基板入口130的面積大，以完全覆蓋基片入口130，并由此隔離裝載鎖定室100的內(nèi)部與裝載鎖定室100的外部。這樣，通過完全關(guān)閉基板入口130，閘門110和120可將裝載鎖定室100的內(nèi)部維持在真空狀態(tài)。
如圖6中所示，第一和第二閘門110和120被安裝到形成有基板入口130的裝載鎖定室100的側(cè)壁，從而使閘門110和120重疊。具體而言，第一和第二閘門110和120被設(shè)置成當(dāng)?shù)诙l門120處于關(guān)閉基板入口130的狀態(tài)時(shí)，第一閘門110處于與基板入口130分離的狀態(tài)；并且當(dāng)?shù)诙l門120處于與基板入口130分離的狀態(tài)時(shí)，第一閘門110處于關(guān)閉基板入口130的狀態(tài)。
第一和第二閘門110和120分別在基板入口130處裝載鎖定室100的側(cè)壁的相對(duì)側(cè)向末端處可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地耦合于裝載鎖定室100，從而第一和第二閘門110和120可相互獨(dú)立地絞接，如圖6中所示。當(dāng)?shù)谝缓偷诙l門110和120之一，例如第一閘門110，關(guān)閉基板入口130時(shí)，第一和第二閘門110和120的另一個(gè)，例如第二閘門120，位于第二閘門120根據(jù)第二閘門120的絞接轉(zhuǎn)動(dòng)操作而打開基板入口130的位置。
優(yōu)選地，第一和第二閘門110和120的每個(gè)都通過絞鏈單元140可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地耦合于裝載鎖定室100的相關(guān)側(cè)向末端，如圖7中所示。
如圖7中所示，絞鏈單元140可包括絞鏈組件142，其安裝到形成有基板入口130的裝載鎖定室100的側(cè)壁。絞鏈組件142從裝載鎖定室100的側(cè)壁突出所需長度以使第一和第二閘門110和120的相關(guān)閘門可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)經(jīng)過180°或以上的角度，從而容易地實(shí)現(xiàn)對(duì)基板的裝載和卸載。根據(jù)該設(shè)置，當(dāng)?shù)谝缓偷诙l門110和120之一，例如第一閘門110關(guān)閉基板入口130時(shí)，第一和第二閘門110和120的另一個(gè)，例如第二閘門120可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)180°，由此允許基板通過基板入口130容易地裝載在裝載鎖定室100中。
如圖6和7中所示，平面基板支持組件150耦合于第一和第二閘門110和120的每個(gè)，以支持基板支持組件150上的基板。優(yōu)選地，基板支持組件150具有薄板結(jié)構(gòu)以支持其上的基板。多個(gè)基板接觸組件152設(shè)置在基板支持組件150上同時(shí)彼此均勻地間隔開，以使基板的接觸面積最小。
基板支持組件150還具有包括多個(gè)基板支持臂154的結(jié)構(gòu)，如圖6和7中所示。優(yōu)選地，基板支持臂154的長度逐漸增加，從而與耦合到裝載鎖定室100的相關(guān)閘門的部分間隔開最大距離的基板支持臂154具有最小的長度，而與耦合到裝載鎖定室100的相關(guān)閘門的部分間隔開最小距離的基板支持臂154具有最大的長度。
基板支持臂154具有這種長度的原因是基板支持臂154在耦合于閘門110和120的相關(guān)閘門的狀態(tài)下移動(dòng)。就是說，如果基板支持組件150在向前和向后的方向上可線性移動(dòng)，則即使當(dāng)基板支持臂154具有相同長度時(shí)，基板支持臂154亦不干擾基板支持組件150的運(yùn)動(dòng)。然而，在基板支持組件150在耦合于相關(guān)閘門110或120的狀態(tài)下可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地移動(dòng)的情況下，有必要給予基板支持臂154不同的長度，從而使每個(gè)基板支持臂154在遠(yuǎn)離基板支持組件150的絞鏈點(diǎn)時(shí)具有減小的長度。
閘門110和120的每個(gè)都可包括彼此豎直間隔開的多個(gè)基板支持組件150a、150b和150c，如圖9中所示。在此情況下，有可能使用一個(gè)閘門來同時(shí)裝載多個(gè)基板。
現(xiàn)在將描述在依照本發(fā)明的上述實(shí)施例的FPD制造設(shè)備中將基板裝載到裝載鎖定室100中以及從裝載鎖定室100中卸載基板的操作。
首先，如圖4中所示，在第一閘門110的打開狀態(tài)下，待處理的基板被放置在第一閘門110的基板支持組件150上。在該狀態(tài)下，第二閘門120維持在關(guān)閉狀態(tài)以關(guān)閉基板入口130。一旦待處理的基板被放置在第一閘門110的基板支持組件150上，則維持該狀態(tài)，直到在FPD制造設(shè)備中進(jìn)行的對(duì)該FPD制造設(shè)備中裝載的基板的處理完成。在完成該處理之后，在將完全處理的基板放置在第二閘門120上的狀態(tài)下，第二閘門120可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地移動(dòng)，以打開基板入口130。之后，其上放置了待處理的基板的第一閘門110與安裝到第一閘門110的基板支持組件150一起可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地移動(dòng)以將基板裝載到裝載鎖定室100中。第一閘門110的可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)被進(jìn)行直到第一閘門110接觸到基板入口130并由此關(guān)閉基板入口130。
當(dāng)基板入口130關(guān)閉時(shí)，進(jìn)行抽吸處理以將裝載鎖定室100維持在真空狀態(tài)。當(dāng)真空在裝載鎖定室100中建立起來時(shí)，安裝在裝載鎖定室100和饋送室200之間的第三閘門220打開。在第三閘門220的打開狀態(tài)下，裝配在饋送室200中的饋送自動(dòng)機(jī)210將放置在第一閘門110的基板支持組件150上的基板饋送到處理室300。當(dāng)基板在處理室300中被完全處理之后，饋送室200再次將基板從處理室300饋送到第一閘門110的基板支持組件150。
一旦將完全處理的基板放置在第一閘門110的基板支持組件150上，第三閘門220關(guān)閉。之后，裝載鎖定室100的內(nèi)部變?yōu)榫S持在大氣狀態(tài)。在裝載鎖定室200的大氣狀態(tài)下，第一閘門110可絞接轉(zhuǎn)動(dòng)地移動(dòng)以打開基板入口130。然后基板在被放置在第一閘門110的基板支持組件150上的狀態(tài)下從裝載鎖定室100被卸載。在上述基板處理操作期間，放置在第二閘門120上的基板從第二閘門120被去除，該第二閘門又在待處理的新基板被放置在第二閘門120的狀態(tài)下等待接下來的操作。因此，在緊接著第一閘門110的開啟之后，第二閘門120關(guān)閉，從而使新處理能夠開始。
這樣，裝載和卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間大大減小，因此FPD制造設(shè)備的基板處理效率大大提高。
第二實(shí)施例參考圖10或11，說明了依照本發(fā)明第二實(shí)施例的FPD制造設(shè)備。如圖10或11中所示，F(xiàn)PD制造設(shè)備包括裝載鎖定室100和饋送室200。FPD制造設(shè)備亦包括至少一個(gè)處理室300，優(yōu)選為包括至少兩個(gè)處理室300，其在操作上連接到饋送室200。在圖10的例子中，設(shè)置了兩個(gè)處理室300。
在圖11的例子中，設(shè)置了三個(gè)處理室300。
基板支持單元160設(shè)置在裝載鎖定室100的一側(cè)以使該基板支持單元160通過與饋送室200相對(duì)的裝載鎖定室100的一個(gè)側(cè)壁而延伸到裝載鎖定室100中或從其中縮回。對(duì)應(yīng)于此延伸和縮回，基板支持單元160將基板裝載到裝載鎖定室100中并且從裝載鎖定室100卸載基板。在常規(guī)情況下，門被設(shè)置在與饋送室200相對(duì)的裝載鎖定室100的側(cè)壁處以將基板裝載到裝載鎖定室100中，并且在串聯(lián)方向上通過饋送室200將所裝載的基板從裝載鎖定室100供應(yīng)到處理室300。然而，依照本發(fā)明，如圖10或11所示，基板支持單元160設(shè)置在于裝載鎖定室100和處理室300之間所限定的剩余空間，從而有可能使FPD制造設(shè)備的空間效率最大。
FPD制造設(shè)備可包括單個(gè)基板支持單元160以通過裝載鎖定室100的僅一個(gè)側(cè)壁來裝載/卸載基板，或者可包括兩個(gè)基板支持單元160以通過裝載鎖定室100的兩個(gè)相對(duì)側(cè)壁來裝載/卸載基板。
就是說，在如圖10中所示的包括兩個(gè)處理室的FPD制造設(shè)備中，單個(gè)基板支持單元160設(shè)置在裝載鎖定室100的一側(cè)以使基板支持單元160通過與饋送室200相對(duì)的裝載鎖定室100的一個(gè)側(cè)壁延伸到裝載鎖定室100中并從其中縮回。另一方面，在如圖11中所示的包括三個(gè)處理室的FPD制造設(shè)備中，兩個(gè)基板支持單元160分別設(shè)置在裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)以使基板支持單元160分別通過裝載鎖定室100的相關(guān)側(cè)壁延伸到裝載鎖定室100中并從其中縮回。
在設(shè)置兩個(gè)基板支持單元160的情況下，在裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)壁處形成兩個(gè)基板入口170，以允許基板支持單元160分別通過裝載鎖定室100的側(cè)壁延伸到裝載鎖定室100中并從其中縮回。而且，兩個(gè)門(未示出)分別設(shè)置在裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)壁處以關(guān)閉相關(guān)基板入口170。在此情況下，必須控制門使得當(dāng)驅(qū)動(dòng)基板支持單元160之一時(shí)，與基板支持單元160相對(duì)設(shè)置的門關(guān)閉在與基板支持單元160相關(guān)的裝載鎖定室100的側(cè)壁處形成的基板入口170。就是說，當(dāng)在裝載鎖定室100的一側(cè)驅(qū)動(dòng)一個(gè)基板支持單元160時(shí)，有必要密封裝載鎖定室100的另一側(cè)并由此在裝載鎖定室100的另一側(cè)建立真空。因此，優(yōu)選的是每個(gè)基板支持單元160在操作上與相對(duì)于該基板支持單元160而設(shè)置的門連接以使用該門來密封裝載鎖定室100。
基板支持單元160包括基板支持組件180，其具有支持表面以支持基板；以及饋送器190，其適合于沿裝載鎖定室100往復(fù)移動(dòng)基板支持組件180。依照該配置，基板支持單元160從裝載鎖定室100的外部接收基板，將基板裝載到裝載鎖定室100中，并且從裝載鎖定室100卸載基板。
優(yōu)選地，每個(gè)饋送器190都以滑動(dòng)方式操作。為了進(jìn)行這種滑動(dòng)操作，每個(gè)饋送器190都包括設(shè)置在裝載鎖定室100中的引導(dǎo)軌道192和可沿引導(dǎo)軌道192移動(dòng)的引導(dǎo)塊194。引導(dǎo)塊194與基板支持組件180耦合，以支持基板支持組件180，并由此饋送基板支持組件180。
在每個(gè)饋送器190都如上所述配置成以滑動(dòng)方式操作的情況下，有可能容易地控制基板支持單元160，這是因?yàn)榛逯С謫卧?60僅沿引導(dǎo)軌道192所設(shè)定的路徑移動(dòng)。而且，基板支持單元160的運(yùn)動(dòng)是簡單的，因此減小了在饋送操作期間損壞基板的可能性。另外，饋送基板所花費(fèi)的時(shí)間減小。
基板支持組件180具有的結(jié)構(gòu)包括多個(gè)基板支持臂182以穩(wěn)定地支持其上的基板?；逯С直?82彼此間隔開所需距離以使接觸基板的基板支持組件180的面積最小，并且防止放置在基板支持組件180上的基板在饋送操作期間移動(dòng)。
如圖13中所示，可使用彼此豎直間隔開的多個(gè)基板支持組件180。
以下將描述用于在基板支持單元160上裝載基板并從基板支持單元160卸載基板的方法。
在以成群排列(cluster arrangement)來安裝FPD制造設(shè)備的情況下，基板傳輸裝置400與裝載鎖定室100相鄰安裝以將基板或基板承載盒饋送到基板支持單元160。通過使用基板傳輸裝置400，有可能在基板支持單元160上裝載基板并從基板支持單元160卸載基板?；鍌鬏斞b置400可具有如圖3中所示的自動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)。例如，基板傳輸裝置400可包括多關(guān)節(jié)自動(dòng)機(jī)，多關(guān)節(jié)自動(dòng)機(jī)在其終端處具有末端執(zhí)行器(end effecter)。末端執(zhí)行器在其上表面設(shè)置有支持表面以支持基板。因此，有可能依照自動(dòng)機(jī)的操作來饋送基板。
另一方面，在以成行排列來安裝FPD制造設(shè)備的情況下，繞裝載鎖定室100設(shè)置基板饋送傳送器系統(tǒng)以在基板支持單元160上裝載基板并從基板支持單元160卸載基板。
由于依照本實(shí)施例的FPD制造設(shè)備適合于處理大尺寸的基板，優(yōu)選的是FPD制造設(shè)備是沉積裝置或蝕刻裝置。
第三實(shí)施例參考圖14，說明了依照本發(fā)明第二實(shí)施例的FPD制造設(shè)備。如圖14中所示，F(xiàn)PD制造設(shè)備包括裝載鎖定室100、饋送室200和處理室300?；逯С謫卧?60分別設(shè)置在與連接到饋送室200的裝載鎖定室100的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室100的側(cè)面，以使每個(gè)基板支持單元160都通過與連接到饋送室200的裝載鎖定室100的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室100的側(cè)壁而延伸到裝載鎖定室100中或從其中縮回。該FPD制造設(shè)備亦包括基板饋送裝置600，用于在每個(gè)基板支持單元160上裝載基板S(圖17)并從基板支持單元160卸載基板S。
每個(gè)基板支持單元160都具有能支持其上的基板的結(jié)構(gòu)。如圖14中所示，每個(gè)基板支持單元160都可通過與連接到饋送室200的裝載鎖定室100的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室100的相關(guān)側(cè)壁而延伸到裝載鎖定室100中并從其中縮回。盡管未示出，閘門被設(shè)置在裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)壁處以使基板支持單元160可分別通過所述閘門而往復(fù)移動(dòng)以進(jìn)出裝載鎖定室100。這樣，每個(gè)基板支持單元160都在基板被放置在基板支持單元160上的條件下將基板裝載到裝載鎖定室100中并從裝載鎖定室100卸載基板。
如圖14中所示，依照本實(shí)施例的基板饋送裝置600使用傳送器系統(tǒng)。在此，“傳送器系統(tǒng)”指的是一種用于在彼此間隔開一定距離的兩個(gè)位置之間連續(xù)饋送基板的系統(tǒng)?；屦佀脱b置600可包括基板饋送器，其延伸一定距離并可以以恒定速度連續(xù)移動(dòng)以饋送放置在其上的基板。
如圖15中所示，使用傳送器系統(tǒng)的基板饋送裝置600亦可包括輥支持條610和耦合在輥支持條610之間同時(shí)彼此均勻間隔開的多個(gè)輥620。每個(gè)輥620都具有比輥支持條610的厚度大的直徑以使輥620的上表面比輥支持條610高。因此，當(dāng)基板放置在基板饋送裝置600上時(shí)，基板由輥620支持，如圖17中所示。在該狀態(tài)下，可隨輥620旋轉(zhuǎn)而饋送基板。
輥620可獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，每個(gè)輥620都可在向前和相反的方向上旋轉(zhuǎn)，以將基板饋送到基板支持單元160，以便于對(duì)應(yīng)向前旋轉(zhuǎn)來裝載基板并對(duì)應(yīng)相反旋轉(zhuǎn)從基板支持單元160卸載基板。
如圖16中所示，基板饋送裝置600可豎直移動(dòng)以將基板從基板饋送裝置600傳送到基板支持單元160。
就是說，如圖17中所示，在基板支持組件180插入到基板饋送裝置600的輥620和基板S之間的空間中的條件下，當(dāng)基板饋送裝置600向下移動(dòng)時(shí)，有可能將基板S傳送到基板支持組件180。在該狀態(tài)下，基板支持單元160可操作以將基板S饋送到裝載鎖定室100中。
如以上所述，在一對(duì)基板支持單元160分別設(shè)置在與連接到饋送室200的裝載鎖定室100的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)的情況下，優(yōu)選的是FPD制造設(shè)備包括一對(duì)基板饋送裝置600，其分別設(shè)置在裝載鎖定室100的相對(duì)側(cè)以將基板S饋送到相關(guān)的基板支持單元160，如圖14中所示。而且，每個(gè)基板饋送裝置600必須至少延伸到一個(gè)位置，在此位置基板饋送裝置600與所述相關(guān)基板支持單元160沿著移動(dòng)的路徑重疊。該路徑將被稱為“基板支持單元運(yùn)動(dòng)路徑”。
特別地，如圖16和17中所示，優(yōu)選的是，在每個(gè)基板饋送裝置600的一端設(shè)置基板停止器630，從而防止被饋送到所需位置(例如上述重疊位置)的基板S進(jìn)一步移動(dòng)。當(dāng)沿基板饋送裝置600的上表面饋送的基板S到達(dá)所需位置時(shí)，基板S接觸到停止器630，該停止器又防止基板S的進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)。亦優(yōu)選的是在每個(gè)基板饋送裝置600的另一端設(shè)置另一個(gè)基板停止器630，以防止在基板卸載操作期間基板過度運(yùn)動(dòng)。
以下將描述使用基板饋送裝置600將基板S裝載到裝載鎖定室100中以及從裝載鎖定室100卸載基板S的過程。以下描述將結(jié)合包括兩個(gè)基板饋送單元的基板饋送裝置600而給出，所述兩個(gè)基板饋送單元即橫向基板饋送單元600a和縱向基板饋送單元600b。
當(dāng)需要裝載基板S時(shí)，縱向基板饋送單元600a首先向下移動(dòng)以允許基板支持單元160自由移動(dòng)。之后，已位于裝載鎖定室100中的基板支持單元160從裝載鎖定室100向外移動(dòng)以使基板支持單元160與縱向基板饋送單元600b重疊。在此狀態(tài)下，縱向基板饋送單元600b向上移動(dòng)以使基板支持組件180的每個(gè)部分都位于縱向基板饋送單元600b的相鄰輥之間，如圖17中所示。
接下來，縱向基板饋送單元600b從橫向基板饋送單元600a接收待處理的基板S，并將基板S饋送到縱向基板饋送單元600b與基板支持單元運(yùn)動(dòng)路徑重疊的重疊位置。當(dāng)基板S到達(dá)重疊位置時(shí)，縱向基板饋送單元600b向下移動(dòng)以將基板S傳送到基板支持單元160。
一旦基板S放置在基板支持組件180上，基板支持單元160操作以將基板S饋送到裝載鎖定室100中。這樣，完成了通過基板饋送裝置600將基板S裝載到裝載鎖定室100中的過程。
通過基板饋送裝置600從裝載鎖定室100卸載基板S的過程是以與上述裝載過程的順序相反的順序進(jìn)行的。就是說，基板支持單元160首先操作以在基板饋送裝置600上方移動(dòng)基板S。然后基板饋送裝置600向上移動(dòng)以將基板S從基板支持單元160傳送到縱向基板饋送單元600b。
之后，控制縱向基板饋送單元600b以使其輥反過來旋轉(zhuǎn)。結(jié)果，基板S沿縱向基板饋送單元600b被饋送到橫向基板饋送單元600a。之后，縱向基板饋送單元600b向下移動(dòng)，并且基板支持單元160縮回到裝載鎖定室100中。由此，完成卸載基板S。
第四實(shí)施例一般而言，F(xiàn)PD制造設(shè)備安裝在清潔間，中以防止待處理的基板被污染，并且實(shí)現(xiàn)處理基板的精度。
典型地，幾個(gè)FPD制造設(shè)備并列設(shè)置在清潔間中，如圖18中所示。在圖18的例子中，僅示出了兩個(gè)相鄰的FPD制造設(shè)備1a和1b。FPD制造設(shè)備1a和1b連接到唯一的外部基板供應(yīng)器400以形成FPD制造系統(tǒng)。就是說，至少兩個(gè)FPD制造設(shè)備并聯(lián)連接以形成FPD制造系統(tǒng)。FPD制造系統(tǒng)中所包括的所有FPD制造設(shè)備都獨(dú)立地操作。在此例子中，外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410設(shè)置在外部基板供應(yīng)器400處。在沿軌道道420移動(dòng)的同時(shí)，外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410將待處理的基板供應(yīng)到FPD制造設(shè)備1a和1b的裝載鎖定室100a和100b中，并將完全處理的基板分別傳送到接下來的處理站。
由于FPD制造設(shè)備1a和1b的裝載鎖定室100a和100b在重復(fù)且交替建立大氣狀態(tài)和真空狀態(tài)的同時(shí)執(zhí)行對(duì)基板的裝載和卸載，在裝載鎖定室100a和100b中建立真空狀態(tài)的抽吸裝置和在裝載鎖定室100a和100b中建立大氣狀態(tài)的通風(fēng)裝置可能頻繁地出故障。
就此而言，如以上所述，在FPD制造系統(tǒng)的FPD制造設(shè)備獨(dú)立操作的情況下，所存在的問題是，當(dāng)任何一個(gè)FPD制造設(shè)備出故障時(shí)，整個(gè)FPD制造系統(tǒng)必須停止，這是因?yàn)橹钡匠龉收系腇PD制造設(shè)備的裝載鎖定室被完全修復(fù)，不可能對(duì)基板執(zhí)行任何處理。
同時(shí)，如以上所述，由于清潔間的安裝成本高，有必要在有限的清潔間面積中處理更多數(shù)量的基板。特別是，在需要使用具有大尺寸的FPD制造設(shè)備來制造具有很大尺寸的FPD的情況下，清潔間中的空間的使用效率是很重要的。
為了滿足這樣的要求，依照本實(shí)施例，提供了一種FPD制造系統(tǒng)，其中，在相鄰FPD制造設(shè)備100a和100b的相應(yīng)饋送室120a和120b之間設(shè)置公用室150，以從饋送室120a和120b接收基板并將基板傳送到饋送室120a和120b。
例如，如圖19中所示，在FPD制造系統(tǒng)中的相鄰FPD制造設(shè)備100a和100b的相應(yīng)饋送室120a和120b之間設(shè)置分離的公用室700。公用室700用作用于傳送基板的中間位置，以從連接到公用室700的饋送室120a和120b之一接收基板并將基板傳送到另一個(gè)饋送室。
門閥720a和720b分別設(shè)置在公用室700和一個(gè)饋送室200a之間以及公用室和另一個(gè)饋送室200b之間以關(guān)閉饋送室120a和120b。在完成基板傳送之后，門閥720a和720b可靠地關(guān)閉相關(guān)的饋送室120a和120b，由此防止干擾在FPD制造設(shè)備1a和1b中進(jìn)行的其它處理。
裝載模具710設(shè)置在公用室700中以在公用室700中臨時(shí)裝載基板。當(dāng)通過設(shè)置在饋送室200a和200b之一(例如饋送室200a)中的饋送自動(dòng)機(jī)210a將基板傳送到公用室700時(shí)，需要在公用室700中臨時(shí)裝載基板以在隨后將基板傳送到另一個(gè)饋送室200b。因此，在公用室700中設(shè)置用來裝載至少一個(gè)基板的裝載模具701。
公用室700可用作能對(duì)基板獨(dú)立執(zhí)行某一處理的處理室。就是說，公用室700可以不僅用作用于基板傳送的簡單中間位置，亦可用作對(duì)基板獨(dú)立執(zhí)行某一處理的處理室。因此，當(dāng)FPD制造設(shè)備的裝載鎖定室之一出故障時(shí)，公用室從與出故障的FPD制造設(shè)備相鄰設(shè)置的正常FPD制造設(shè)備的裝載鎖定室通過所述正常FPD制造設(shè)備的饋送室來接收基板，并通過出故障的FPD制造設(shè)備的饋送室將該基板傳送到出故障的FPD制造設(shè)備的處理室。另一方面，在FPD制造設(shè)備的兩個(gè)裝載鎖定室均正常運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下，公用室用作一般的處理室。這樣，相鄰FPD制造設(shè)備之間所限定的空間被有效地使用。
而且，幾個(gè)處理室可連接到FPD制造設(shè)備的饋送室200a和200b的每個(gè)，如圖20中所示。在此情況下，有可能更大地提高其中安裝FPD制造設(shè)備的清潔間的空間的使用效率。
由于公用室700被包括在依照本實(shí)施例的FPD制造系統(tǒng)中，所以即使當(dāng)饋送室200a和200b中僅有一個(gè)連接到裝載鎖定室時(shí)，該FPD制造系統(tǒng)仍可運(yùn)轉(zhuǎn)。
以下將參考圖21來描述用于操作依照本實(shí)施例的FPD制造系統(tǒng)的方法。為便于描述，以下描述將結(jié)合包括兩個(gè)FPD制造設(shè)備的FPD制造系統(tǒng)而給出，所述兩個(gè)FPD制造設(shè)備為第一和第二FPD制造設(shè)備。
首先，描述當(dāng)兩個(gè)FPD制造設(shè)備均正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)FPD制造系統(tǒng)的操作。
設(shè)置在外部基板供應(yīng)器400中的外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410在移動(dòng)到設(shè)置FPD制造設(shè)備1a或1b的位置的同時(shí)，將基板供應(yīng)到FPD制造設(shè)備1a和1b的每個(gè)，并且接收已完全處理的基板。
例如，外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410首先將待處理的第一基板傳送到第一FPD制造設(shè)備1a的裝載鎖定室100a。在第一裝載鎖定室100a接收第一基板之后，第一門閥120a關(guān)閉。在該狀態(tài)下，抽吸第一裝載鎖定室100a以在其中建立真空環(huán)境。在真空環(huán)境被建立于第一裝載鎖定室100a之后，設(shè)置在第一裝載鎖定室100a和第一饋送室200a之間的第二門閥220a接收第一裝載鎖定室100a中裝載的第一基板，并將第一基板傳送到的第一處理室300a。
之后，在第一處理室300a中對(duì)第一基板執(zhí)行所需處理。
同時(shí)，外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410移動(dòng)到與第一FPD制造設(shè)備1a相鄰而設(shè)置的第二FPD制造設(shè)備1b，并將待處理的第二基板傳送到第二FPD制造設(shè)備1b的裝載鎖定室100b。與第二FPD制造設(shè)備1b相關(guān)的基板傳送操作與相關(guān)于第一FPD制造設(shè)備1a的基板傳送操作相同。在第二FPD制造設(shè)備1b的處理室300b中對(duì)第二基板執(zhí)行所需處理的同時(shí)，已在第一FPD制造設(shè)備1a中完全處理的第一基板被外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410拾取，該自動(dòng)機(jī)又將第一基板饋送到接下來的處理站。
在將公用室700設(shè)置為處理室的情況下，設(shè)置在饋送室200a和200b中的饋送自動(dòng)機(jī)210a和210b可將基板供應(yīng)到公用室700中，以允許在公用室700中處理該基板。
現(xiàn)在，將描述當(dāng)FPD制造設(shè)備之一異常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)FPD制造系統(tǒng)的操作。
為便于描述，以下描述將結(jié)合第一FPD制造系統(tǒng)的裝載鎖定室100a出故障的例子而給出。
外部基板供應(yīng)自動(dòng)機(jī)410首先將待處理的第一基板傳送到正常運(yùn)轉(zhuǎn)的第二裝載鎖定室100b。設(shè)置在第二饋送室200b中的第二饋送自動(dòng)機(jī)210b接收第一基板，并將第一基板傳送到第二處理室330b中。然后在第二處理室300b中對(duì)第一基板進(jìn)行所需處理。同時(shí)，另外將第二基板供應(yīng)到第二裝載鎖定室100b中。當(dāng)然，第二裝載鎖定室100b可處于已被供應(yīng)了多個(gè)基板的狀態(tài)。然后第二饋送自動(dòng)機(jī)210b從第二裝載鎖定室100b接收第二基板，并將第二基板傳送到公用室700。然后，設(shè)置在第一饋送室200a中的第一饋送自動(dòng)機(jī)210a接收公用室700中裝載的第二基板，并將第二基板傳送到第一處理室300a中，該處理室又對(duì)第二基板執(zhí)行所需處理。
當(dāng)在對(duì)第二基板進(jìn)行處理期間完成對(duì)第一基板進(jìn)行的處理時(shí)，第二饋送自動(dòng)機(jī)210b從第二處理室300b拾取第一基板，并通過第二裝載鎖定室100b在外部卸載第一基板。然后第二饋送自動(dòng)機(jī)210b將第三基板傳送到第二處理室300b。當(dāng)在第二處理室300b中進(jìn)行對(duì)第三基板的處理的同時(shí)，第一饋送自動(dòng)機(jī)210a從第一處理室300a卸載第二基板，并將第二基板饋送到公用室700。之后，第二饋送自動(dòng)機(jī)210b通過第二裝載鎖定室100b在外部卸載公用室700中裝載的第二基板，然后將第四基板供應(yīng)到公用室700中。
這樣，依照對(duì)上述操作的重復(fù)，即使當(dāng)任何一個(gè)裝載鎖定室中出現(xiàn)異常時(shí)亦可使用所有處理室。在FPD制造系統(tǒng)包括并列設(shè)置的多個(gè)FPD制造設(shè)備的情況下，F(xiàn)PD制造系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率可以提高，這是因?yàn)榧词巩?dāng)每個(gè)FPD制造設(shè)備中設(shè)置的處理室的數(shù)量不足以處理更多數(shù)量的基板或由于任何一個(gè)或一些處理室的故障而不足時(shí)，可通過使用在相鄰FPD制造設(shè)備中設(shè)置的處理室來消除這種不足。
如從以上描述可顯而易見的，本發(fā)明提供了各種優(yōu)點(diǎn)。
就是說，依照本發(fā)明的第一實(shí)施例，設(shè)置有兩個(gè)閘門的裝載鎖定室用來大大減小在大氣下裝載/卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間，因此有可能實(shí)現(xiàn)基板處理效率的提高。
在使用依照本發(fā)明第二實(shí)施例的基板支持單元的情況下，有可能減小將基板裝載到裝載鎖定室中和從裝載鎖定室卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間，并且簡化在饋送基板的過程中所使用的裝置的結(jié)構(gòu)。
依照本發(fā)明的第二實(shí)施例，有可能使安裝FPD制造設(shè)備的空間的效率最大，盡管FPD制造設(shè)備具有大尺寸。
依照本發(fā)明的第三實(shí)施例，在饋送基板的過程中使用的裝置是簡單的，因此有可能減小該裝置的制造成本，實(shí)現(xiàn)基板饋送效率的提高，并且減小饋送基板所花費(fèi)的時(shí)間，并由此實(shí)現(xiàn)基板生產(chǎn)效率的增加。
在依照本發(fā)明第四實(shí)施例的FPD制造系統(tǒng)中，公用室設(shè)置在相鄰的饋送室之間，使得與所述饋送室相關(guān)的FPD制造設(shè)備可通過該公用室來傳送基板。因此有可能減小FPD制造系統(tǒng)在清潔間中所占用的面積，同時(shí)實(shí)現(xiàn)FPD制造系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率的提高。
盡管已為了說明性目的而公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解，在如所附權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的精神和范圍之內(nèi)進(jìn)行各種修改、添加和替換是可能的。
權(quán)利要求
1.一種平板顯示器制造設(shè)備，其包括裝載鎖定室、饋送室和處理室，該設(shè)備進(jìn)一步包括基板入口，其設(shè)置在裝載鎖定室處以將裝載鎖定室與裝載鎖定室的外部連通；多個(gè)閘門，其設(shè)置在裝載鎖定室以打開和關(guān)閉基板入口；以及基板支持組件，其分別耦合于所述閘門以允許基板放置在基板支持組件的上表面上。
2.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中所述閘門成對(duì)地設(shè)置在形成基板入口的裝載鎖定室的側(cè)壁處，使得每個(gè)閘門對(duì)中包括的閘門重疊；并且每個(gè)閘門對(duì)中的閘門交替打開和關(guān)閉基板入口，使得當(dāng)每個(gè)閘門對(duì)的第二個(gè)閘門關(guān)閉基板入口時(shí)每個(gè)閘門對(duì)中的第一個(gè)閘門與基板入口分離而打開基板入口，并且當(dāng)?shù)诙l門與基板入口分離而打開基板入口時(shí)第一閘門關(guān)閉基板入口。
3.如權(quán)利要求2所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中第一和第二閘門耦合于裝載鎖定室的末端使得第一和第二閘門相互獨(dú)立地絞接。
4.如權(quán)利要求3所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中第一和第二閘門通過絞鏈組件而分別耦合于裝載鎖定室的末端。
5.如權(quán)利要求4所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中絞鏈組件分別耦合于從裝載鎖定室的末端突出的絞鏈支持組件。
6.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中每個(gè)基板支持組件都包括多個(gè)長度逐漸增加的基板支持臂，從而與耦合到裝載鎖定室的相關(guān)閘門的部分間隔開最大距離的基板支持臂具有最小的長度，而與耦合到裝載鎖定室的相關(guān)閘門的部分間隔開最小距離的基板支持臂具有最大的長度。
7.如權(quán)利要求1所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中每個(gè)基板支持組件都具有多層結(jié)構(gòu)，其具有多個(gè)基板支持層以同時(shí)支持多個(gè)基板。
8.一種平板顯示器制造設(shè)備，其包括裝載鎖定室、饋送室和至少一個(gè)連接到饋送室的處理室，該設(shè)備進(jìn)一步包括一個(gè)或多個(gè)基板支持單元，其每個(gè)都設(shè)置在與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)面，從而使每個(gè)基板支持單元都可通過與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)壁而進(jìn)出裝載鎖定室以將基板裝載到裝載鎖定室中并從裝載鎖定室卸載基板。
9.如權(quán)利要求8所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中兩個(gè)基板支持單元分別設(shè)置在與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的兩側(cè)，從而使每個(gè)基板支持單元都可分別通過與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)壁而進(jìn)出裝載鎖定室。
10.如權(quán)利要求8或9所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中每個(gè)基板支持單元都包括基板支持組件，其具有支持表面以支持基板；以及饋送器，其適合于沿裝載鎖定室往復(fù)移動(dòng)基板支持組件。
11.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中饋送器包括引導(dǎo)軌道，其設(shè)置在裝載鎖定室中；以及引導(dǎo)塊，其與基板支持組件耦合并可沿引導(dǎo)軌道移動(dòng)。
12.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中基板支持組件具有多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)具有多個(gè)基板支持層以同時(shí)支持多個(gè)基板。
13.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，進(jìn)一步包括基板傳輸裝置，其設(shè)置在裝載鎖定室附近以將基板或基板承載盒饋送到每個(gè)基板支持單元。
14.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，進(jìn)一步包括基板饋送傳送器系統(tǒng)，用于將基板傳送到每個(gè)基板支持單元并從基板支持單元接收基板，由此將基板裝載到基板支持單元中并從基板支持單元卸載基板。
15.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中平板顯示器制造設(shè)備是沉積設(shè)備或蝕刻設(shè)備。
16.如權(quán)利要求9所述的平板顯示器制造設(shè)備，進(jìn)一步包括基板入口，其在與連接到饋送室的裝載鎖定室的側(cè)壁相鄰的裝載鎖定室的側(cè)壁處形成，從而允許基板支持單元分別經(jīng)過基板入口；以及門，其分別設(shè)置在裝載鎖定室的側(cè)壁處以關(guān)閉相關(guān)的基板入口，其中所述門被控制使得當(dāng)驅(qū)動(dòng)第一個(gè)基板支持單元時(shí)，與第一基板支持單元相對(duì)設(shè)置的門關(guān)閉在與第一基板支持單元相關(guān)的裝載鎖定室的側(cè)壁處形成的基板入口。
17.如權(quán)利要求10所述的平板顯示器制造設(shè)備，進(jìn)一步包括基板饋送裝置，用于將基板饋送到裝載鎖定室的側(cè)壁，相關(guān)基板支持單元可通過該側(cè)壁進(jìn)出裝載鎖定室，其中基板饋送裝置包括傳送器系統(tǒng)。
18.如權(quán)利要求17所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中基板饋送裝置包括輥支持條；以及多個(gè)輥，其耦合于輥支持條之間同時(shí)彼此均勻地間隔開，每個(gè)輥都可獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。
19.如權(quán)利要求17所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中基板饋送裝置可豎直地移動(dòng)。
20.如權(quán)利要求17所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中基板饋送裝置延伸到一個(gè)位置，在此位置基板饋送裝置與相關(guān)的一個(gè)基板支持單元所沿著移動(dòng)的路徑重疊。
21.如權(quán)利要求18所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中每個(gè)輥都可在向前和相反的方向上旋轉(zhuǎn)，并且被控制成在裝載基板時(shí)向前旋轉(zhuǎn)，并且在卸載基板時(shí)反方向旋轉(zhuǎn)。
22.如權(quán)利要求19所述的平板顯示器制造設(shè)備，其中基板饋送裝置進(jìn)一步包括基板停止器，其設(shè)置在基板饋送裝置的一端處以防止基板饋送裝置將基板饋送得超出預(yù)定位置。
23.一種平板顯示器制造系統(tǒng)，其包括至少一個(gè)裝載鎖定室，用于從裝載鎖定室的外部接收基板并將基板傳送到裝載鎖定室的外部，同時(shí)交替建立真空狀態(tài)和大氣狀態(tài)；兩個(gè)饋送室，其彼此間隔開并且維持在真空狀態(tài)，每個(gè)饋送室都從裝載鎖定室接收基板，將基板傳送到另一個(gè)饋送室，從另一個(gè)饋送室接收基板，并將基板傳送到裝載鎖定室；至少一個(gè)處理室，其連接到每個(gè)饋送室并且設(shè)置有處理裝置，該處理裝置設(shè)置在處理室中以對(duì)處理室中裝載的基板執(zhí)行預(yù)定處理；以及公用室，其插入在饋送室之間，并且分別在與饋送室相鄰而設(shè)置的公用室的相對(duì)側(cè)壁處設(shè)置有閘門，以從饋送室接收基板并將基板排出到饋送室。
24.如權(quán)利要求23所述的平板顯示器制造系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)裝載鎖定室包括分別連接到饋送室的兩個(gè)裝載鎖定室。
25.如權(quán)利要求24所述的平板顯示器制造系統(tǒng)，其中公用室包括設(shè)置在公用室中的裝載模具以裝載從饋送室傳送的基板；并且公用室用作用于在饋送室之間傳送基板的中間位置。
26.如權(quán)利要求24所述的平板顯示器制造系統(tǒng)，其中公用室進(jìn)一步包括設(shè)置在公用室中的處理裝置和分別適合于關(guān)閉所述閘門的門閥；并且公用室用作處理室以對(duì)公用室中裝載的基板獨(dú)立執(zhí)行預(yù)定處理。
27.一種使用平板顯示器制造系統(tǒng)來制造平板顯示器的方法，所述系統(tǒng)包括至少兩個(gè)并列設(shè)置的平板顯示器制造設(shè)備，每個(gè)平板顯示器制造設(shè)備都包括裝載鎖定室、饋送室和處理室，以及設(shè)置在平板顯示器制造設(shè)備的饋送室之間的公用室，所述方法包括以下步驟a)檢查是否每個(gè)裝載鎖定室正常運(yùn)轉(zhuǎn)；b)如果每個(gè)裝載鎖定室都正常運(yùn)轉(zhuǎn)，則將基板供應(yīng)到連接于每個(gè)裝載鎖定室的饋送室，從連接于每個(gè)裝載鎖定室的饋送室接收完全處理的基板，并且處理所接收的基板，而如果一個(gè)裝載鎖定室工作異常，則通過另一個(gè)裝載鎖定室將基板供應(yīng)到連接于另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室；c)根據(jù)連接到另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的操作將供應(yīng)到連接于另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的基板傳送到公用室；d)根據(jù)連接于工作異常的裝載鎖定室的饋送室的操作從公用室卸載基板并將所卸載的基板供應(yīng)到連接到工作異常的裝載鎖定室的饋送室所連接的處理室；e)根據(jù)連接于工作異常的裝載鎖定室的饋送室的操作從連接到工作異常的裝載鎖定室的饋送室所連接的處理室卸載完全處理的基板，并且將所卸載的基板傳送到公用室；以及f)根據(jù)連接到另一個(gè)裝載鎖定室的饋送室的操作將完全處理的基板從公用室傳送到另一個(gè)裝載鎖定室。
全文摘要
一種平板顯示器(FPD)制造設(shè)備，其具有改進(jìn)的結(jié)構(gòu)，能減小將基板裝載到裝載鎖定室中和從裝載鎖定室卸載基板所花費(fèi)的時(shí)間，由此有效地處理大尺寸基板。
文檔編號(hào)G09F9/00GK1655209SQ200510007748
公開日2005年8月17日 申請(qǐng)日期2005年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月13日
發(fā)明者李榮鐘, 崔浚泳, 曹生賢, 安成一 申請(qǐng)人:愛德牌工程有限公司