專利名稱：面板檢測裝置及面板檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示器制造領(lǐng)域用的面板檢測裝置及面板檢測方法。
背景技術(shù)：
通常，在執(zhí)行完薄膜晶體管液晶顯示器面板組裝段(TFT-LCD cell)工序 后，需利用面板檢測裝置(也稱，點燈測試機(jī))來檢驗貼合完成的液晶顯示面 板的成像顯示狀況及是否有不良瑕疵。執(zhí)行該種4企測的基本步驟為:將待測 的液晶顯示面板精定位，并設(shè)置一個背光源(如燈箱)向該液晶顯示面板提供 照明光源；以精細(xì)的探針組(Probe Unit)接觸該液晶顯示面板上的各個IC信 號傳輸點；然后將各種需測試的顯示信號傳輸給液晶顯示面板，此工作過程 即稱之為點燈或是點亮(Light-On);再由檢測人員目測或自動監(jiān)測系統(tǒng)(AOI， Automated Optical Inspection System)來進(jìn)4亍結(jié)果判讀，以;險定該液晶顯示面 板是否有顯示瑕疵，并判定其產(chǎn)品等級。面板;險測裝置以其工作端口 (Port)來區(qū)分，可分成單端口 (One port)及雙 端口 (Two ports)等設(shè)計。其中，單端口設(shè)計是一種相對較簡單的設(shè)計方式， 液晶顯示面板的取放與檢測工作在同 一端口進(jìn)行，因此單片檢測所需時間較 長，生產(chǎn)效率較差。對于雙端口設(shè)計，是指在面板檢測裝置上設(shè)置一個面板 取放部及一個面板檢測部，也即面板取放部與面板檢測部分離。該種雙端口 設(shè)計使得取放與檢測工作可分開并同時進(jìn)行，從而可將單片檢測所需時間縮 短。如圖l所示，雙端口設(shè)計之面板檢測裝置通常包栝 一個本體12,設(shè) 置在該本體12上的一個取放部20和一個4企測部30, —個設(shè)置在取放部20 處的輔助臺50, —個設(shè)置在檢測部30處的檢測臺32，以及兩個分上下兩層 設(shè)置的傳送機(jī)構(gòu)60。為便于操作員在取放部20處的作業(yè)，通常該本體12 的整個表面以預(yù)定的角度例如60°傾斜安裝。該種雙端口設(shè)計之面板檢測 裝置的基本操作過程為裝載于取放部20處輔助臺50上的待測液晶顯示面 ^反通過所述傳送才幾構(gòu)60的任一者送至4全測臺32位置進(jìn)行點燈測試，在該點 燈測試期間，可在輔助臺50上裝載新的待測液晶顯示面板；當(dāng)檢測臺32上 的液晶顯示面板被檢測完畢后，可由所述傳送機(jī)構(gòu)60的任一者將其送回至 輔助臺50，而所述傳送機(jī)構(gòu)60的另一者將裝載在輔助臺50上的新的待測 液晶面板運送至檢測臺32位置進(jìn)行點燈測試。反復(fù)進(jìn)行如此步驟，可連續(xù) 地進(jìn)行液晶顯示面板的纟僉測。然而，上述雙端口設(shè)計之面板檢測裝置，因其具有兩個傳送機(jī)構(gòu)，導(dǎo)致 其在取放端口與檢測端口處均需要多個高度方向(也即基本垂直于傳送機(jī)構(gòu) 的傳送方向)的定位點，且雙傳送4幾構(gòu)較占空間，才幾構(gòu)排配也較復(fù)雜，并且， 每個傳送機(jī)構(gòu)均需設(shè)置至少兩對夾具用以對面板進(jìn)行夾持定位；進(jìn)而使得該 種雙端口設(shè)計之面板檢測裝置的設(shè)備成本較高。發(fā)明內(nèi)容下面將以實施例說明一種面板4全測裝置及面板檢測方法，該面板檢測裝 置具有簡化的機(jī)構(gòu)設(shè)計，有利于其設(shè)備成本之降低。一種面板檢測裝置，用以對面板進(jìn)行檢測，其包括取放部及檢測部；該 面板檢測裝置還包括 一個設(shè)置在該取放部的預(yù)夾機(jī)構(gòu)， 一個設(shè)置在該檢測 部的檢測臺， 一個緩沖機(jī)構(gòu)，以及一個傳送機(jī)構(gòu)。所述緩沖機(jī)構(gòu)設(shè)置在該檢 測部，用以夾持由該檢測臺傳送來的已檢測完的面板；所述傳送機(jī)構(gòu)用以將將由該檢測部的緩沖機(jī)構(gòu)夾持的已檢測完的面板傳送至取放部。 以及， 一種面板檢測方法，包括以下步驟(1)提供一面板檢測裝置，其包括一個取放部， 一個檢測部， 一個位于 該取放部的預(yù)夾機(jī)構(gòu)， 一個設(shè)置在該檢測部的檢測臺， 一個設(shè)置在該檢測部 的緩沖機(jī)構(gòu)，以及一個傳送機(jī)構(gòu)，該檢測臺處于一檢測位置且承載有一處于 檢測狀態(tài)的一第一面板；(2)將一第二面板裝載在該預(yù)夾機(jī)構(gòu)上；(3)待檢測 臺上的第一面板檢測完畢，該檢測臺將已檢測完的第一面板傳送給該緩沖機(jī) 構(gòu)；(4)該檢測臺移動至一收片位置等待收片；(5)該傳送機(jī)構(gòu)將該第二面板 傳送給處于收片位置的檢測臺；(6)緩沖機(jī)構(gòu)將該已檢測完的第 一面板傳送給 該傳送機(jī)構(gòu)；(7)該傳送機(jī)構(gòu)將該已檢測完的第一面板回傳至該取放部；(8) ;險測臺移動至才全測位置以對該第二面板進(jìn)行檢測。
相對于現(xiàn)有技術(shù)，所述面板#r測裝置及面板4企測方法是經(jīng)由設(shè)置單個傳 送機(jī)構(gòu)配合一個緩沖機(jī)構(gòu)來實現(xiàn)面板檢測裝置的面板輸送功能的；且該種單 個傳送機(jī)構(gòu)的設(shè)置，使得該面板檢測裝置的取放部的高度方向定位點簡化為 2個。因此，該種面板;險測裝置及面板檢測方法可達(dá)成簡化機(jī)械設(shè)計之目的， 有利于其設(shè)備成本的降低。


圖l是現(xiàn)有的面板檢測裝置的立體示意圖。圖2是本發(fā)明實施例面板檢測裝置的立體示意圖，該面板檢測裝置包括 殼體及收容在該殼體內(nèi)的預(yù)夾機(jī)構(gòu)，檢測臺，檢測機(jī)構(gòu)，緩沖機(jī)構(gòu)與傳送機(jī) 構(gòu)。圖3是圖2所示面板檢測裝置收容在其殼體內(nèi)的預(yù)夾機(jī)構(gòu)，檢測臺，檢測機(jī)構(gòu)，緩沖機(jī)構(gòu)與傳送機(jī)構(gòu)的組裝示意圖。圖4是圖2所示面板檢測裝置沿剖線IV-IV的局部剖視圖。 圖5是圖2所示面板檢測裝置的預(yù)夾機(jī)構(gòu)，檢測臺，緩沖機(jī)構(gòu)與傳送機(jī)構(gòu)的相對運動軌跡示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明實施例作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 參見圖2,本發(fā)明實施例提供的面板檢測裝置100，其包括一個殼體110 和設(shè)置在該殼體110上的一個耳又放部120與一個檢測部130,以及收容在該 殼體110內(nèi)的一個預(yù)夾機(jī)構(gòu)122, —個檢測臺132， 一檢測機(jī)構(gòu)134, —個緩 沖機(jī)構(gòu)136,以及一個傳送機(jī)構(gòu)160。該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122設(shè)置在取放部120。該 檢測臺132，檢測機(jī)構(gòu)134與緩沖機(jī)構(gòu)136設(shè)置在檢測部130。參見圖3及圖4，所述預(yù)夾機(jī)構(gòu)122可沿與所述傳送機(jī)構(gòu)160的面板傳 送方向(如圖3中雙向箭頭所示)基本垂直的方向作升降運動，用以將待檢測 的面板輸送至該傳送機(jī)構(gòu)160或接收由傳送機(jī)構(gòu)160從檢測部130回傳的已 檢測完的面板。該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122包括一基座1222用以承載面板，及設(shè)置在 該基座1222頂部的一對夾具1224。該對夾具1224在該基座1222的頂部可
位。通常，該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122的升降運動的執(zhí)行可經(jīng)由設(shè)置在其基座1222底 部的驅(qū)動源，如汽缸1226來實施。所述檢測臺132可沿與所述傳送機(jī)構(gòu)160的面板傳送方向基本垂直的方 向作升降運動，用以將已檢測完的面板移送至該緩沖機(jī)構(gòu)136夾持以及接收 該傳送機(jī)構(gòu)160從取放部120傳送至該檢測部130的待檢測的面板。該檢測 臺132包括一基座1322用以承載面板，及設(shè)置在該基座1322頂部的一固持 件，如一對夾具1324。該對夾具1324用于對待檢測的面板進(jìn)行固持。該檢 測臺132的升降運動的執(zhí)行可經(jīng)由設(shè)置在其基座1322底部的驅(qū)動源，如汽 缸1328來實施。通常，在該檢測臺132的基座1322的底部設(shè)置有一背光模 組1326，該背光模組1326用于在待檢測的面板的檢測期間向其提供照明光， 該照明光可透過所述檢測臺132的基座1322照射由該檢測臺132承載的待 4企測的面4反。當(dāng)然，可以理解的是，該檢測臺132也可采用其它方法，如真空吸附方 法對待檢測的面板進(jìn)行固持；對應(yīng)的，可在基座1322的頂部設(shè)置吸附槽， 而無需設(shè)置該對夾具1324。另外，為實現(xiàn)對該檢測臺132承載的待檢測的面 板進(jìn)行精確定位，通常該檢測臺132還配置有其它驅(qū)動機(jī)構(gòu)以使其能在平行 于所述傳送機(jī)構(gòu)160的面板傳送方向的平面內(nèi)作水平運動和旋轉(zhuǎn)運動。所述檢測機(jī)構(gòu)134通常設(shè)置在檢測臺132的基座1322的頂部(如圖3及 圖4所示)。該檢測機(jī)構(gòu)134包括一探針組1342。該探針組1342用于與待檢 測的面板上的電極形成電接觸以向該待檢測的面板提供需測試的顯示信號， 來檢定該待檢測的面板是否有顯示瑕瘋。所述緩沖機(jī)構(gòu)136可沿與所述傳送機(jī)構(gòu)160的面板傳送方向基本垂直的 方向作升降運動，用以夾持由該檢測臺132移送來的已檢測完的面板，并將 該已檢測完的面板移送至傳送機(jī)構(gòu)160。該緩沖機(jī)構(gòu)136包括一本體1362, 及與該本體1362滑動連接的一對夾持臂1364。該對夾持臂1364中的兩個夾 持臂分別設(shè)置在所述檢測臺132的相對的兩側(cè)，用于對檢測臺132移送來的 已檢測完的面板進(jìn)行夾持。該緩沖機(jī)構(gòu)136的升降運動的執(zhí)行可經(jīng)由與其本 體1362機(jī)械耦合的驅(qū)動源，如汽缸1366來實施。所述傳送機(jī)構(gòu)160用以將該取放部120的待檢測的面板傳送至該檢測部 130，并將該檢測部130已檢測完的面板回傳至該取放部120。該傳送機(jī)構(gòu)160包括一本體162，以及滑動設(shè)置在該本體162上的一對夾持臂164。該本 體162的兩端部與一對移送螺桿180機(jī)械連接，經(jīng)由該對移送螺桿180的正 反轉(zhuǎn)，可驅(qū)動該傳送機(jī)構(gòu)160在取》文部120與4全測部130之間來回移動。該 對夾持臂164可沿與該傳送機(jī)構(gòu)160的面板傳送方向基本垂直的方向以相互即該對夾持臂164的夾持方向與預(yù)夾機(jī)構(gòu)122的夾具1224的夾持方向基本 垂直。該對夾持臂164與該對夾具1224的協(xié)同作用可對面板進(jìn)行精確預(yù)夾 持定位。當(dāng)然，可以理解的是，該對移送螺桿180也可為其它移送機(jī)構(gòu)，如一對 滑軌。相應(yīng)的，所述傳送機(jī)構(gòu)160的本體162的兩端與該對滑軌滑動連接。參見圖5，下面將具體描述所述面板檢測裝置100的一工作過程，其順 次包括以下步驟(1) (10):(1) 將一待檢測的面板，如液晶顯示面板裝載至取放部120的預(yù)夾機(jī)構(gòu) 122的基座1222頂部的夾具1224的夾持區(qū)域。該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122將被其驅(qū)動 源激勵而沿圖5所示雙向箭頭1221所指方向下降至傳送機(jī)構(gòu)160的夾持臂 164的夾持區(qū)域。(2) 傳送機(jī)構(gòu)160的夾持臂164與預(yù)夾機(jī)構(gòu)122的夾具1224沿基本相互 垂直的方向?qū)υ摯?全測的面板進(jìn)行夾持定位。待對該待檢測的面板夾持定位 后，該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122的夾具1224松開對該未檢測的面板的夾持。(3) 傳送機(jī)構(gòu)160將該待4全測的面板沿圖5雙向箭頭161所指方向傳送至 檢測部130的處于收片位置的檢測臺132上。該檢測臺132固持住該未檢測 的面板并沿圖5所示箭頭1323所指方向上升至檢測位置。該未檢測的面板 被精確定位后與所述4全測才幾構(gòu)134的4笨針組1342形成電連接以接受^r測， 如點燈測試。(4) 在該待檢測面板的檢測期間，重復(fù)一次步驟(1) (2),以在該傳送機(jī)構(gòu) 160上裝載一新的待檢測的面板并處于待命狀態(tài)。(5) 待檢測臺132上的待檢測的面板已檢測完畢，該檢測臺132沿圖5 所示箭頭1321a所指方向下降至該緩沖機(jī)構(gòu)D6位置并將該已檢測完的面板 傳送給該緩沖機(jī)構(gòu)136夾持。(6) 該檢測臺132沿圖5所示箭頭1321b所指方向繼續(xù)下降至所述移送螺
桿180的下方位置，也即收片位置等待收片。(7) 傳送機(jī)構(gòu)160沿如圖5所示雙向箭頭161所指方向?qū)⑸鲜鲂碌拇龣z測 的面板傳送至處于收片位置的檢測臺132。該檢測臺132上的夾具1324將該 新的待檢測的面板固持住。(8) 緩沖機(jī)構(gòu)136沿圖5所示雙向箭頭1361所指方向從其初始位置開始 下降一預(yù)定距離后，將其夾持的已檢測完的面板傳送給該傳送機(jī)構(gòu)160。該 傳送機(jī)構(gòu)160的夾持臂164將該已檢測完的面板夾持住。之后，該緩沖機(jī)構(gòu) 136;^開對該已^:測完的面板的夾持，并沿圖5所示雙向箭頭1361所指方向 上升至其初始位置。(9) 傳送^U構(gòu)136沿圖5所示雙向箭頭161所指方向?qū)⒁褭z測完的面板傳 回至取放部120。該已被傳送至取防部120的已檢測完的面板可先由預(yù)夾機(jī) 構(gòu)122的基座1222承載住，待該預(yù)夾機(jī)構(gòu)122沿圖5所示雙向箭頭1221上 升至其初始位置后可由才喿作員從該取放部120處取出。(10) 該檢測臺132收片后沿圖5所示箭頭1323所指方向上升至檢測位 置。該檢測臺132固持住的新的待檢測的面板被精確定位后與檢測機(jī)構(gòu)134 的揭:針組1342形成電連4妄以4妾受#企測。如此反復(fù)進(jìn)行步驟(4) (10),即可連續(xù)地對面板進(jìn)行檢測，如點燈測試。 另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可于本發(fā)明精神內(nèi)做其它變化，如適當(dāng)改變預(yù) 夾機(jī)構(gòu)，傳送機(jī)構(gòu)，緩沖機(jī)構(gòu)或/及檢測臺的機(jī)械結(jié)構(gòu)等以用于本發(fā)明等設(shè)計， 只要其不偏離本發(fā)明的技術(shù)效果均可。這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都 應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種面板檢測裝置，用以對面板進(jìn)行檢測，其包括取放部及檢測部，其特征在于，該面板檢測裝置還包括一個預(yù)夾機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在該取放部；一個檢測臺，其設(shè)置在該檢測部；一個緩沖機(jī)構(gòu)，其設(shè)置在該檢測部，用以夾持由該檢測臺移送來的已檢測完的面板；以及一個傳送機(jī)構(gòu)，用以將位于該取放部的由預(yù)夾機(jī)構(gòu)承載的待檢測的面板傳送至檢測臺進(jìn)行檢測，并將由該檢測部的緩沖機(jī)構(gòu)夾持的已檢測完的面板回傳至該取放部。
2. 如權(quán)利要求1所述的面板檢測裝置，其特征在于，該面板檢測裝置還包括 部之間進(jìn)4亍面寺反傳送。
3. 如權(quán)利要求2所述的面板檢測裝置，其特征在于，該移送機(jī)構(gòu)包括一對相 對設(shè)置的移送螺桿或 一對相對設(shè)置的滑軌。
4. 如權(quán)利要求2所述的面板檢測裝置，其特征在于，所述傳送機(jī)構(gòu)包括一個 與所述移送機(jī)構(gòu)活動連接的第一本體，以及滑動設(shè)置在第一本體上的一對第 一夾持臂，該對第 一 夾持臂用以沿與該傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行面板傳送的方向基本垂 直的方向?qū)γ姘暹M(jìn)行夾持。
5. 如權(quán)利要求4所述的面板檢測裝置，其特征在于，所述預(yù)夾機(jī)構(gòu)包括一個 可沿與所述傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行面板傳送的方向基本垂直的方向作升降運動的第 一基座以及一對設(shè)置在該第一基座的第一夾具，該對第一夾具可沿與所述傳 送機(jī)構(gòu)的進(jìn)行面板傳送的方向基本平行的方向?qū)γ姘暹M(jìn)行夾持。
6. 如權(quán)利要求2, 4或5所述的面板檢測裝置，其特征在于，所述緩沖機(jī)構(gòu)包 括一個可沿與所述傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行面板傳送的方向基本垂直的方向作升降運 動的第二本體，以及一對與該第二本體滑動連接的第二夾持臂，該對第二夾 持臂中兩個夾持臂分別設(shè)置在所述檢測臺的相對的兩側(cè)用以夾持由該檢測 臺移送來的已檢測完的面板。
7. 如權(quán)利要求6所述的面板4全測裝置，其特征在于，所述4全測臺包括一個可 沿與所述傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行面板傳送的方向基本垂直的方向作并降運動的第二 基座，以及設(shè)置在該第二基座上的用于固持面板的固持件。
8. —種面板;險測方法，其包括以下步驟提供一面板檢測裝置，其包括一個取放部， 一個檢測部， 一個位于該取 放部的預(yù)夾機(jī)構(gòu)， 一個設(shè)置在該檢測部的檢測臺， 一個設(shè)置在該檢測部的緩 沖機(jī)構(gòu)，以及一個傳送機(jī)構(gòu)，該檢測臺處于一檢測位置且固持有一處于檢測 狀態(tài)的一第一面板；將一第二面板裝載在該預(yù)夾機(jī)構(gòu)上；待檢測臺上的第 一面板檢測完畢，該檢測臺將已檢測完的第 一面板傳送 給該緩沖機(jī)構(gòu)；該檢測臺移動至 一 收片位置等待收片； 該傳送機(jī)構(gòu)將該第二面板傳送給處于收片位置的檢測臺； 緩沖機(jī)構(gòu)將該已4全測完的第 一 面板傳送給該傳送機(jī)構(gòu)； 該傳送機(jī)構(gòu)將該已檢測完的第 一面板回傳至該取放部； 檢測臺移動至檢測位置以對該第二面板進(jìn)行檢測。
9. 如權(quán)利要求8所述的面板檢測方法，其特征在于，在該傳送機(jī)構(gòu)將該第二 面板傳送給處于收片位置的檢測臺的步驟之前，還包括步驟該預(yù)夾機(jī)構(gòu)沿靠近該傳送機(jī)構(gòu)的方向移動；該預(yù)夾機(jī)構(gòu)和該傳送機(jī)構(gòu)分別沿相互垂直的一第一方向和一第二方向 對該第二面板進(jìn)行夾持定位，該第 一方向與所述傳送機(jī)構(gòu)傳送第二面板的方 向基本平行；該預(yù)夾機(jī)構(gòu)松開對已夾持定位的第二面板的夾持。
10. 如權(quán)利要求8或9所述的面板檢測方法，其特征在于，所述待檢測臺上的 第 一 面板檢測完畢，該檢測臺將已檢測完的第 一 面板傳送給該緩沖機(jī)構(gòu)的步 驟包括以下分步驟該;險測臺沿 一 靠近該緩沖機(jī)構(gòu)的第三方向移動； 該緩沖機(jī)構(gòu)固持住該已檢測完的第 一面板； 該檢測臺松開對該已檢測完的第 一面板的固持。
11. 如4又利要求10所述的面斧反檢測方法，其凈爭4正在于，所述檢測臺抽j亍移動 至收片位置等待收片的步驟時，其移動方向與該第三方向一致。
12. 如權(quán)利要求8或9所述的面板檢測方法，其特征在于，在該傳送機(jī)構(gòu)將該 已檢測完的第一面板回傳至該取放部的步驟之后，還包括步驟該傳送機(jī)構(gòu)將該已檢測完的第 一面板傳送給該預(yù)夾機(jī)構(gòu)； 該預(yù)夾機(jī)構(gòu)沿 一 遠(yuǎn)離該傳送機(jī)構(gòu)的方向移動。
13. 如權(quán)利要求8所述的面板檢測方法，其特征在于，所述緩沖機(jī)構(gòu)將該已檢 測完的第一面板傳送給該傳送機(jī)構(gòu)的步驟包括以下分步驟該緩沖機(jī)構(gòu)沿 一 靠近該傳送機(jī)構(gòu)的方向移動； 該傳送機(jī)構(gòu)夾持住該已^r測完的第 一面板；該緩沖機(jī)構(gòu)松開對該已檢測完的第 一面板的夾持，并沿一遠(yuǎn)離該傳送機(jī) 構(gòu)的方向回移至其初始位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板顯示器制造領(lǐng)域用的面板檢測裝置，其包括取放部及檢測部。該面板檢測裝置還包括一個設(shè)置在該取放部的預(yù)夾機(jī)構(gòu)，一個設(shè)置在該檢測部的檢測臺，一個緩沖機(jī)構(gòu)，以及一個傳送機(jī)構(gòu)。所述緩沖機(jī)構(gòu)設(shè)置在該檢測部，用以夾持由該檢測臺傳送來的已檢測完的面板；所述傳送機(jī)構(gòu)用以將位于取放部的由預(yù)夾機(jī)構(gòu)承載的未檢測的面板傳送至檢測臺以進(jìn)行檢測，并將由該檢測部的緩沖機(jī)構(gòu)夾持的已檢測完的面板傳送至取放部。本發(fā)明還提供一種采用該種面板檢測裝置的面板檢測方法。
文檔編號G09G3/00GK101165751SQ20061006316
公開日2008年4月23日 申請日期2006年10月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年10月18日
發(fā)明者伍家賢, 蔡升富, 邱義君, 黃俊凱 申請人:富士邁半導(dǎo)體精密工業(yè)(上海)有限公司;沛鑫半導(dǎo)體工業(yè)股份有限公司