專利名稱：平面顯示器的制造方法、平面顯示器用玻璃基板的外表削減裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)液晶顯示器或等離子顯示器、有機(jī)電激發(fā)光顯示器等平面顯示器(以下稱為FPD)的制造。
背景技術(shù)：
液晶顯示器或等離子顯示器等FPD，是廣泛使用于計(jì)算機(jī)顯示裝置或TV受像器用、移動(dòng)電話顯示部用等各種電子機(jī)器。最今還進(jìn)行有為了自發(fā)光而不需背光的高速反應(yīng)性優(yōu)良的有機(jī)EL顯示器開發(fā)，且未來受到期望。
此種FPD所要求的課題之一就是薄型化。薄型化是伴隨其所裝載的電子機(jī)器的薄型化或小型化、輕量化而要求的。例如筆記本計(jì)算機(jī)或移動(dòng)電話中，是要求更加薄型化或輕量化，隨之FPD也要求更薄更輕量。
作為FPD的薄型化或輕量化的重要要素是玻璃基板。不論液晶顯示器、等離子顯示器、或是有機(jī)EL顯示器，都采用黏貼一對基板，在其內(nèi)面配置組件電極的構(gòu)造。玻璃的比重較重，又有確保機(jī)械性強(qiáng)度的必要性，故必須有一定程度的厚度。從而，玻璃基板的存在對于FPD的薄型化或輕量化會造成阻礙。
許多FPD制造工序中，是采用從較大的一對玻璃基板中生產(chǎn)多數(shù)FPD的工藝。一對玻璃基板，其區(qū)分為所生產(chǎn)的各FPD用途，于各區(qū)域分別形成組件電極。在黏貼等工序結(jié)束之后，一對玻璃基板會被切割為各區(qū)域，而進(jìn)入修飾工序。
此種從一對玻璃基板產(chǎn)生多數(shù)FPD的工藝，因?yàn)檫M(jìn)行工序的集簡化而有可降低制造成本的優(yōu)點(diǎn)，但是有玻璃基板變大的傾向。例如液晶顯示器的制造工藝中，是使用2000mm×1800mm左右大小的玻璃基板。處理這么大的玻璃基板時(shí)，若玻璃基板太薄，則容易斷裂，或因?yàn)楸旧碇亓慷蹚?。從而必須有一定程度的厚度?br> 另一方面，切斷為各區(qū)域之后者(半成品)或成為成品者，即使玻璃基板薄到一個(gè)程度，也因?yàn)槌叽巛^小而沒有問題。從這點(diǎn)來看，日本特開平5-249422號公報(bào)的發(fā)明中，是采用在進(jìn)行一對玻璃基板的黏貼后，蝕刻一邊的玻璃基板外面來打薄，之后切斷為各區(qū)域的工藝。

發(fā)明內(nèi)容
在上述公報(bào)所記載的發(fā)明中，蝕刻是進(jìn)行著利用浸泡到溶出液的方式。但是更進(jìn)一步，經(jīng)由本申請發(fā)明者的研究，在該方法的蝕刻中，對FPD來說，針對非常重要的要素的平坦性的特點(diǎn)而言，是沒辦法確保有足夠的品質(zhì)。關(guān)于這一點(diǎn)，說明于如下。
在前述公報(bào)揭示的發(fā)明中，由浸泡法所揭示的資料，是否使用這種蝕刻液，一切并無具體的說明。經(jīng)由本申請發(fā)明者的研究，考慮有使用氫氟酸來做為蝕刻液。但是更進(jìn)一步，對僅僅浸泡于氫氟酸的玻璃基板而言，進(jìn)行確保FPD所要求的平坦性的蝕刻是困難的。
將玻璃浸泡于氫氟酸后，玻璃表面與氫氟酸發(fā)生反應(yīng)，慢慢地軟化并進(jìn)行溶解。對于把蝕刻后的表面進(jìn)行平坦而言，把反應(yīng)后的蝕刻液置換掉的新鮮的(未反應(yīng)的)蝕刻液進(jìn)行均一地供給是為必要。但是，對浸泡法而言是困難的。通過與蝕刻液的反應(yīng)、把軟化掉的玻璃材料取除掉，于該下層供給新鮮的蝕刻液是必要的；因?yàn)榘衍浕芙獾舻牟ＡР牧暇坏匚g刻掉是很困難的緣故，使得蝕刻后的表面平坦性不佳。
但玻璃基板，其組成或是結(jié)晶的狀態(tài)并非為完全地均一，具有不均一處是無法避免的。在利用浸泡法的蝕刻上，因?yàn)閮H只有化學(xué)上的作用的原因，容易受到組成或是不均一性的影響。亦即，在局部難以蝕刻的組成或是結(jié)晶狀態(tài)的場合下，會在此留下沒有蝕刻到的痕跡，容易產(chǎn)生蝕刻量的不均。對于此點(diǎn)，在浸泡法上，容易讓平坦性惡化。通過上述浸泡法的蝕刻，不適合于實(shí)用上。
本申請的發(fā)明目的是為了解決上述技術(shù)問題而提供可達(dá)成FPD薄型化的實(shí)用技術(shù)方案。
本申請發(fā)明的一方面是提供一種平面顯示器的制造方法，其包含于一方或雙方為玻璃基板的一對基板中最少一方形成電極的電極形成工序，于電極形成工序后經(jīng)由密封材黏貼一對基板來密封內(nèi)部的密封工序，在密封工序之后將玻璃基板亦即一方或雙方的基板外面加以削減厚度來打薄的外面削減工序；其中所述外面削減工序，具有將溶出上述玻璃基板外面的溶出液，向著上述外面噴射，附加有比本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度，使溶出液往上述外面噴出并沖擊上述外面，利用溶出液造成的沖擊的物理作用再加上溶出液的化學(xué)作用，將玻璃外表溶出以進(jìn)行削減的構(gòu)造。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液是氫氟酸。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液造成所述外面的沖擊時(shí)的壓力是0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范圍。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是在溶出液噴射中是使所述外面成為垂直入射姿勢，以保持所述基板。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是將所述黏合后的一對玻璃基板的雙方外面，同時(shí)加以切削，以將整體厚度變薄。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液的噴射，是利用具有噴射孔的噴嘴來進(jìn)行，在削減開始時(shí)的噴嘴的噴射孔到所述基板外面為止的距離，是5mm以上100mm以下。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液的噴射，是利用具有噴射孔的噴嘴來進(jìn)進(jìn)行，各噴射孔是以等間隔來復(fù)數(shù)設(shè)置，且從各噴射孔到所述外面為止的距離是一定的。
本發(fā)明另一方面是提供一種外面削減裝置，是將平面顯示器用的玻璃基板外面做削減來打??；其特點(diǎn)是包括在內(nèi)部進(jìn)行外面削減處理的處理室，將所述玻璃基板保持于處理室內(nèi)特定位置的基板保持具，具有將溶出液、向著被所述基板保持具保持的所述玻璃基板的該外面噴射的噴射孔的噴嘴，和對噴嘴供給溶出液的溶出液供給系統(tǒng)；所述溶出液供給系統(tǒng)，是以附加有比本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度的溶出液，往所述外面吹附并沖擊所述外面，而可利用加上了溶出液的化學(xué)作用的沖擊所造成的物理作用來將所述外面溶出以進(jìn)行削減的壓力，來對所述噴嘴供給溶出液。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液是氫氟酸。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述溶出液供給系統(tǒng)，是使所述溶出液從所述噴嘴的噴射孔被噴射，以0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范圍的壓力沖擊所述玻璃基板外面地，對所述噴嘴供給所述溶出液。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述基板保持具，是在溶出液噴射中使所述外面成為垂直入射姿勢，來保持所述基板。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是所述噴嘴可將黏合后的一對玻璃基板的雙方外面同時(shí)加以削減地，設(shè)置在被基板保持具所保持的一對玻璃基板的兩側(cè)。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是在削減開始時(shí)，從所述噴嘴的噴射孔到所述玻璃基板外面為止的距離，是5mm以上100mm以下。
本發(fā)明的進(jìn)一步特點(diǎn)是各噴射孔是以等間隔來做復(fù)數(shù)設(shè)置，且從各噴射孔到所述外面為止的距離是一定的。
本發(fā)明又一方面的一種平面顯示器，形成有黏合后的一對玻璃基板，于內(nèi)部具有光透過控制部或是發(fā)光部；其構(gòu)成有一對玻璃基板的雙方外面，使溶出液向著所述外面噴射，以比本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度，使得溶出液進(jìn)行吹附?jīng)_擊的方式來進(jìn)行削減；具有最大粗糙度為0.1μm以下的平坦度。
采用本發(fā)明的上述方案，除了連續(xù)供給新的(沒有溶入外面的材料)溶出液之外，溶入有外面材料的溶出液也會因沖擊而連續(xù)流出，故可進(jìn)行效率佳且平均性優(yōu)良的削減。即使是外面中玻璃成分或結(jié)晶狀態(tài)不平均的場所，因?yàn)椴⒂糜形锢碜饔茫士沙浞制骄剡M(jìn)行削減。因此削減后的外面平坦性可提高，成為所生產(chǎn)的FPD的顯示性能也高。
本發(fā)明除了所述效果之外，因?yàn)橐匀艹鲆簺_擊所述外面時(shí)的壓力為0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范圍，故可充分供給新溶出液來進(jìn)行削減，同時(shí)也可充分利用物理作用，故即使是外面中玻璃成分或結(jié)晶狀態(tài)不平均的場所，亦可充分削減，而更確保較高平坦性。
本發(fā)明除了所述效果之外，因?yàn)樵谌艹鲆簢娚渲校桥c外面成為垂直入射姿勢地，故有促進(jìn)外面的溶出液替換的效果，而充分有效地進(jìn)行外面削減。
本發(fā)明除了所述效果之外，因?yàn)閷ず虾蟮囊粚ΣＡЩ宓碾p方外面同時(shí)加以削減，將整體厚度變薄，故除了可對黏貼面板的薄型化帶來貢獻(xiàn)之外，工藝生產(chǎn)性也較高。
本發(fā)明除了所述效果之外，因?yàn)樵谙鳒p開始時(shí)，從噴嘴的噴射孔到基板外面為止的距離是5mm以上100mm以下，故可確保沖擊的平均性(亦即削減平坦性)，并可成為實(shí)用的工藝。
本發(fā)明除了所述效果之外，因?yàn)楦鲊娚淇资且缘乳g隔來復(fù)數(shù)設(shè)置，且從各噴射孔到外面為止的距離是一定的，故容易使所噴射的溶出液造成的沖擊壓力平均，這點(diǎn)對平坦性較高的削減處理可帶來貢獻(xiàn)。
另外本發(fā)明因?yàn)榭商峁┍⌒突钠矫骘@示器的原因，對于所組裝的電子制品的薄型化或是輕量化可以有所增加貢獻(xiàn)；因?yàn)樘岣吡似教剐?，可以提供有顯示缺陷少、性能優(yōu)秀的制品。


圖1是表示實(shí)施方式中FPD的制造方法的概略圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施方式的外面削減裝置的正面概略圖；圖3是圖2所示的裝置的側(cè)面剖面概略圖；圖4是圖2及圖3所示的裝置中基板保持具的立體概略圖；圖5是表示圖3所示的噴嘴4的形狀的立體概略圖；圖6是表示從各噴射孔對黏貼基板外面平均噴出溶出液的點(diǎn)的概略圖；圖7是本發(fā)明實(shí)施方式中FPD的剖面概略圖。
具體實(shí)施例方式
以下，說明用以實(shí)施本申請發(fā)明的最佳方式(以下稱為實(shí)施方式)。
以下的說明中，作為FPD的一例，是采用液晶顯示器(以下稱為LCD)。
圖1是表示實(shí)施方式中FPD的制造方法的概略圖。圖1的方法，是例如移動(dòng)電話用的LCD制造方法。圖1所示的方法包含于雙方為玻璃基板的一對基板1中的一方，形成電極11的電極形成工序；于電極形成工序后經(jīng)由密封材12黏貼一對基板1，在內(nèi)部注入液晶13后來密封的密封工序；以及在密封工序之后，將雙方玻璃基板1的外面加以削減厚度來打薄的外面削減工序。
圖1所示的制造方法中，是從幾乎相同形狀大小的一對玻璃基板1來生產(chǎn)多數(shù)LCD。一對玻璃基板1，是區(qū)分為所生產(chǎn)的各LCD用途，而電極形成等工序，則對個(gè)別區(qū)域進(jìn)行。
電極形成工序，包含ITO等透明導(dǎo)電膜造成的透明電極形成工序；以等離子CVD法制作的低溫多結(jié)晶硅膜等所造成的驅(qū)動(dòng)電極或共通電極形成工序。各工序中，包含由曝光、顯影、蝕刻等所構(gòu)成的光微影法工序。
有關(guān)另一邊的玻璃基板1，是進(jìn)行有彩色濾光片形成工序。彩色濾光片形成工序，是于玻璃基板1上形成著色層或黑矩陣、透明電極等的工序。著色層，是將彩色畫像所需的顏料以特定圖案形成的工序；以光微影法、印刷法或電鍍法來進(jìn)行。黑矩陣，是了提高對比或防止混色，而沿著像素邊界形成的遮光膜；多數(shù)情況下是以濺鍍形成。透明電極，是多數(shù)情況下為ITO膜而以濺鍍來形成。
密封工序中，是于一方的玻璃基板1表面涂布密封材12。密封材12，是沿著所生產(chǎn)的各LCD的輪廓，涂布為外圍形狀。以密封材12包圍的內(nèi)側(cè)是以特定量滴下液晶13。之后配合必要來散布間隔物，一邊對準(zhǔn)另一方基板1，一邊覆蓋而用特定位置關(guān)系黏貼。
其次，進(jìn)行成為本實(shí)施方式的主要特征的外面削減工序。本實(shí)施方式的外面削減工序，是將溶出玻璃基板1外面的溶出液L向著外面噴射，借此由本身重量造成的重力加速度來附加較大加速度，使溶出液L往外面噴出來進(jìn)行。溶出液L吹附的結(jié)果，利用再加上溶出液L的化學(xué)作用的吹附造成的物理作用來將外面溶出。另外，單純散布溶出液L的話，溶出液L就只有附加本身重量造成的加速度，而與此不同。
另外本說明書中，將一對基板互相面對的面稱為「內(nèi)面」，與其相反側(cè)的面稱為「外面」。本實(shí)施方式的外面削減工序，是將黏貼的一對玻璃基板(以下稱為黏貼基板10)的雙方外面加以削減的工序。
如圖1所示，本實(shí)施方式中是保持黏貼基板10在垂直站立，從配置于其兩側(cè)的噴嘴4噴射溶出液L。作為溶出液L，是使用氫氟酸等強(qiáng)酸。氫氟酸的情況下，是例如對水100稀釋為10～50％左右(體積百分比)來使用。沖擊壓力在黏貼基板10的外面上為0.5kg/cm2～3.5kg/cm2。
從噴嘴4所噴射的溶出液L所沖擊的外面，會被溶出液L的化學(xué)作用而被溶出，且通過溶出液L的沖擊而流出。借此將外面做削減，而打薄玻璃基板1的厚度(也就是黏貼基板10整體的厚度)。
在削減之際，有不應(yīng)該使溶出液L碰觸的場所時(shí)，是黏貼遮蓋膠帶來預(yù)先保護(hù)。作為遮蓋膠帶，當(dāng)溶出液L為強(qiáng)酸時(shí)，可使用聚丙烯(PP)或鐵氟龍(Dupon公司注冊商標(biāo))等氟是樹脂的耐酸性薄膜，于背面涂布數(shù)十μm厚度的黏著劑者。例如日本日東電工股份有限公司制造的SPV-362M等。
在上述外面削減工序之后，是配合必要進(jìn)行洗凈外面的工序后，進(jìn)行分割工序。分割工序，是沿著所生產(chǎn)的各LCD輪廓，來切斷黏貼基板10的工序。
若依上述的本實(shí)施方式制造方法，則將溶出1玻璃基板外面的溶出液L向著外面噴射，藉此由本身重量造成的重力加速度來附加較大加速度，使溶出液L往外面噴出并沖擊外面，利用溶出液L造成的沖擊的物理作用，再加上溶出液L的化學(xué)作用將外面溶出以進(jìn)行削減；故除了連續(xù)供給新溶出液L之外，溶入有外面材料的溶出液L也會因沖擊而連續(xù)流出，因此可進(jìn)行效率佳且平均性優(yōu)良的削減。即使是外面中玻璃成分或結(jié)晶狀態(tài)不平均的場所，因?yàn)椴⒂糜形锢碜饔茫士沙浞制骄剡M(jìn)行削減。因此削減后的外面平坦性可提高，成為所生產(chǎn)的顯示性能也高。
接著，說明適用于上述制造方法的外面削減裝置。以下的說明，也是實(shí)施方式的外面削減裝置的說明。
圖2，是實(shí)施方式的外面削減裝置的正面概略圖，圖3是圖2所示的裝置的側(cè)面剖面概略圖。圖2及圖3所示的外面削減裝置，包括有在內(nèi)部進(jìn)行外面削減處理的處理室2，在處理室2內(nèi)特定位置保持玻璃基板1的基板保持具3，向著被基板保持具3保持的玻璃基板1外面、設(shè)置在噴射溶出液L的位置的噴嘴4，和對噴嘴4供給溶出液L的溶出液供給是5。本實(shí)施方式中，因?yàn)樵陴べN后進(jìn)行外面蝕刻，故基板保持具3會成為保持黏貼基板10的構(gòu)件。
處理室2中，包括有搬入黏貼基板10的搬入口21，和將外面削減處理后黏貼基板10搬出的搬出口22。搬入口21及搬出口22，是以封鎖閘23來開關(guān)。另外，開關(guān)是通過封鎖閘23在垂直于搬運(yùn)方向的水平方向(圖2的紙面垂直方向)移動(dòng)來進(jìn)行。
此裝置，是設(shè)置有通過搬入口21及搬出口22搬運(yùn)黏貼基板10的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30?；灞３志?，是設(shè)置為構(gòu)成搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30的構(gòu)件。圖4，是圖2及圖3所示的裝置中基板保持具3的立體概略圖。
如圖4所示，基板保持具3是將黏貼的基板10保持成稍稍垂直站立的構(gòu)件；基板保持具3是主要由水平姿勢的基底板31，和站立設(shè)置于基底板31的支柱32，和安裝于支柱32的緩沖具33所構(gòu)成。
支柱32，其分別設(shè)置于細(xì)長長方形的基底板31的邊角部份，總計(jì)設(shè)置4支。還設(shè)置有沿著基底板31的長邊方向延伸的梁構(gòu)件34，連接各支柱32上端來補(bǔ)強(qiáng)基板支撐具3。各支柱32，高度是比站立的黏貼基板10更高一點(diǎn)?；装?1短邊的兩支支柱32之間的間隔，比黏貼基板10的厚度大一點(diǎn)。基底板31長邊的兩支支柱32之間的間隔，比黏貼基板10的長度長一點(diǎn)。黏貼基板10，是插入此等支柱32所形成的空間而被保持。
緩沖具33，是直接接觸黏貼基板10的構(gòu)件，而不緊靠于黏貼基板10者。緩沖具33，是以對于溶出液L不會被腐蝕(有耐藥品性)的材料來形成，例如以鐵氟龍(Dupon公司注冊商標(biāo))等氟系樹脂來形成。
如圖4所示，緩沖具33是由在基底板31長邊方向兩端連接各支柱32下端而設(shè)置，和一樣在長邊方向兩端連接支柱32上端而設(shè)置所構(gòu)成。被保持的黏貼基板10，是接觸此等緩沖具33的各角部。接觸黏貼基板10的下端角部的下側(cè)緩沖具33，其短邊方向剖面形狀為凹狀，長邊方向剖面形狀為L字狀。接觸黏貼基板10的上端角部的上側(cè)緩沖具33，其短邊方向剖面形狀為橫向凹狀。如圖4所示，裝配黏貼基板10時(shí)，是從上方插入，落在各緩沖具33的凹部內(nèi)。
作為搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30，是例如由閂鎖與小齒輪機(jī)構(gòu)所構(gòu)成。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30構(gòu)成為閂鎖基底板31，以小齒輪301與其嚙合。小齒輪是沿著搬運(yùn)線以特定間隔多數(shù)設(shè)置。小齒輪301，是配置于處理室2內(nèi)外。另外，適當(dāng)設(shè)置有導(dǎo)引移動(dòng)的基板保持具3整體的導(dǎo)引構(gòu)件。
如圖3所示，噴嘴4是設(shè)置于被基板保持具3保持的黏貼基板10兩側(cè)位置，可向著黏貼基板10的兩側(cè)外面同時(shí)噴射溶出液L。圖5，是表示圖3所示的噴嘴4的形狀的立體概略圖。
如圖5所示，噴嘴4是具有噴射孔41的管狀構(gòu)件。如圖5所示，噴嘴4是延伸于垂直方向而配置，在黏貼基板10的長邊方向(搬運(yùn)方向)以均等間隔復(fù)數(shù)并排設(shè)置。噴射孔41，是設(shè)置于噴嘴4中面臨黏貼基板10的部分，在管的延伸方向(垂直方向)以均等間隔設(shè)置。另外作為噴嘴4的構(gòu)造，有并排比圖5所示還要更多(或更少)的情況，也有沿著水平方向或傾斜方向并列復(fù)數(shù)噴嘴的情況。又噴嘴4不需要為管狀，也可以是板狀或其它形狀。
溶出液供給系統(tǒng)5，是由貯存溶出液L的貯液部51，連接貯液部51與各噴嘴4的配管52，設(shè)置于配管52上的閥53或送液泵54等所構(gòu)成。從所供給的溶出液L中去除雜質(zhì)或垃圾等的過濾器或調(diào)壓用泵，則相應(yīng)需要來設(shè)置。
溶出液L是通過溶出液供給系統(tǒng)5對各噴嘴4，從各噴射孔41向著被基板保持具3保持的黏貼基板10的外面噴射。被噴射的溶出液L，會沖擊溶解外面而削減外面。
另外如圖2所示，處理室2的底部成為漏斗狀，而最下部設(shè)置有排出孔24。排出孔24連接有排出使用后的溶出液L的排出管25。如上所述，溶入有黏貼基板10的材料的溶出液L，會落下到處理室2底部，透過排出孔24及排出管25而被排出。
又處理室2的內(nèi)壁面，或處理室2內(nèi)各構(gòu)件的表面，是成為對溶出液L有耐藥品性的構(gòu)造。例如溶出液L為氫氟酸時(shí)，內(nèi)壁面或各構(gòu)件表面，是成為涂布覆蓋有鐵氟龍(Dupon公司注冊商標(biāo))等氟系樹脂的構(gòu)造。另外，開關(guān)搬入口21或搬出口22的封鎖閘23，是不使溶出液L流出地來進(jìn)行封鎖。
本實(shí)施方式的裝置，因?yàn)橐犹岣呦鳒p后外面的平坦性，故對于噴嘴4構(gòu)造要特別下工夫。以下針對這點(diǎn)，使用圖5及圖6來說明。圖6，是表示從各噴射孔41對黏貼基板10外面平均噴出溶出液L的點(diǎn)的概略圖。
如圖5所示，各噴射孔41是對于噴嘴4的管延伸方向(垂直方向)為傾斜45度方向的細(xì)長。從而，從各噴射孔41被噴射的溶出液L，是如圖5所示，在此傾斜方向擴(kuò)散為長錐狀(或是喇叭狀)。
圖6中表示從一個(gè)噴嘴4的各噴射孔41噴出的溶出液L。圖6右側(cè)，是表示從黏貼基板10高度方向看去，來自各噴射孔41的溶出液L的噴射量分布。此時(shí)，面臨并通過上下相鄰的兩個(gè)噴射孔41的正中間位置的外面上點(diǎn)P，會從該相鄰的兩個(gè)噴射孔41接受溶出液L的供給。此時(shí)，此點(diǎn)P位于推拔狀的溶出液L的擴(kuò)散端部，故如圖6右側(cè)所示，從一個(gè)噴射孔41接受的溶出液L的量，是其它點(diǎn)的1/2左右，而用上下相鄰的兩個(gè)噴射孔41來接收1個(gè)噴射孔41份量的溶出液L供給。從而，在黏貼基板10的高度方向，外面各點(diǎn)的溶出液L供給量是平均的。另外，不只是以圖5所示的剖面形狀來擴(kuò)散溶出液L的情況，也有用橢圓形、圓形、方形(正方形、長方形)、菱形、平行四邊形狀等剖面形狀來擴(kuò)散溶出液L的情況。
其次，說明上述裝置的動(dòng)作。
進(jìn)行有上述密封工序而完成后的黏貼基板10，是在處理室2外裝載于基板保持具3。裝載動(dòng)作，有用機(jī)器人進(jìn)行的情況，也有由作業(yè)員的手來進(jìn)行的情況。在對基板保持具3裝載之前，也有時(shí)會進(jìn)行遮蓋膠帶所造成的遮蓋。
搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30動(dòng)作，打開搬入口21的封鎖閘23，通過搬入口21使基板保持具3往處理室2內(nèi)移動(dòng)。基板保持具3，是在黏貼基板10位于兩側(cè)噴嘴4之間的特定位置的時(shí)間點(diǎn)，就停止。然后搬入口21的封鎖閘23會關(guān)閉。此狀態(tài)下，溶出液供給系統(tǒng)5的閥53會打開，送液泵54以特定壓力將溶出液L送到各噴嘴4。結(jié)果會從各噴嘴4的噴射孔41噴射溶出液，并以特定壓力沖擊黏貼基板10的外面。借此，黏貼基板10的外面會被削減。溶入有外面的材料的溶出液L，會落下而從排出孔24被排出。
進(jìn)行特定時(shí)間的溶出液L噴射后，停止送液泵54，關(guān)閉閥53。然后搬運(yùn)機(jī)構(gòu)30會動(dòng)作，使基板保持具3移動(dòng)，打開搬出口22的封鎖閘23將黏貼基板10搬出處理室2外。被搬出的黏貼基板10，是進(jìn)行純水等的洗凈液洗凈或遮蓋膠帶去除等作業(yè)。之后，來到下個(gè)分割工序。
上述裝置的動(dòng)作中，有時(shí)在溶出液L噴射中也會因應(yīng)必要而使黏貼基板10變位。黏貼基板10的外面上各點(diǎn)中，當(dāng)對各噴嘴4的各噴射孔41為最短距離的點(diǎn)其沖擊壓力過高時(shí)，則通過在溶出液L噴射中使黏貼基板10前后移動(dòng)，可以使時(shí)間平均后的各點(diǎn)的沖擊壓力平均化。借此，可更加提高削減后外面的平坦性。黏貼基板10的移動(dòng)，也有在上下方向進(jìn)行的。
又上述裝置的構(gòu)造中，送液泵54造成的送液壓力，是設(shè)定為外面的溶出液L造成的沖擊壓力為0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范圍。此時(shí)各噴嘴4的各噴射孔41與外面的距離(圖3以d表示)就成為重要因素。若距離d過大，則如果不提高送液泵54的送液壓力，就無法用上述范圍內(nèi)的壓力沖擊外面，而難以實(shí)用。又距離d較小時(shí)，雖然容易保持沖擊壓力的最佳值，但往噴射孔41的最短點(diǎn)的沖擊壓力會過高，在平均性觀點(diǎn)上會產(chǎn)生問題。為了作為確保沖擊的平均性(亦即削減平坦性)的實(shí)用結(jié)構(gòu)，距離d以5mm以上100mm以下為佳。另外溶出液L的削減在進(jìn)行中的過程，雖然從噴射孔41到外面為止的距離會稍微變長，但是5mm以上100mm以下是實(shí)際開始削減時(shí)的距離。
又若沖擊壓力比0.5kg/cm2小，則因?yàn)樾氯艹鲆篖的供給較少而無法進(jìn)行充分削減，此外物理作用也不充分，故玻璃成分或結(jié)晶狀態(tài)不平均的場所則無法充分削減，而有平坦性降低的問題。又若沖擊壓力比3.5kg/cm2大，則只有從噴嘴4的噴射孔41的最短點(diǎn)會被較多削減，這點(diǎn)會使平坦性惡化。因此，作為0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范圍的沖擊壓力為理想。
若依上述裝置，除了溶出液L的化學(xué)作用外，還利用所謂沖擊的物理作用來進(jìn)行外面削減，故可進(jìn)行高平坦性的削減；并且因?yàn)椴ＡЩ?的搬運(yùn)與削減處理都被自動(dòng)化，故生產(chǎn)性也高。
又噴嘴4的各噴射孔41是以均等間隔來設(shè)置，從各噴射孔41到外面為止的距離為一定，故容易使被噴射的溶出液L的沖擊壓力平均，這點(diǎn)對平坦性較高的削減處理會帶來貢獻(xiàn)。
又保持黏貼基板10為垂直的狀態(tài)來進(jìn)行溶解這點(diǎn)，有促進(jìn)外面的溶出液L替換的效果，而有以充分效率進(jìn)行外面削減的技術(shù)性意義。
而且噴嘴4設(shè)置于黏貼基板10的兩側(cè)，可將雙方外面同時(shí)作削減，故除了可對黏貼基板10的薄型化更有貢獻(xiàn)之外，生產(chǎn)性也較高。
上述各實(shí)施方式的構(gòu)造中，溶出液L所達(dá)成的外面削減，也可以被認(rèn)為是蝕刻的一種。但是，除了化學(xué)的作用外，也并用了物理性作用，與僅浸泡于蝕刻液或僅散布蝕刻液等蝕刻有實(shí)質(zhì)上的不同。
又上述實(shí)施方式中，雖在黏貼一對玻璃基板1之后進(jìn)行外面削減處理，但有時(shí)也會在黏貼前進(jìn)行外面削減處理。此時(shí)，是在進(jìn)行電極形成工序等之前來進(jìn)行外面削減，或在形成彩色濾光片之前進(jìn)行外面削減。此時(shí)基板保持具3，也會構(gòu)成僅保持一片玻璃基板1。當(dāng)玻璃基板1變薄雖然會產(chǎn)生強(qiáng)度問題，但若以氫氟酸等強(qiáng)酸來作削減，則強(qiáng)酸作用會有強(qiáng)化的副效果，即使變薄也不會有問題。更且，也有在分割工序之后進(jìn)行外面削減者。另外，也有時(shí)會同時(shí)保持復(fù)數(shù)黏貼基板10，來同時(shí)進(jìn)行外面削減處理。
上述實(shí)施方式的說明中雖采用LCD，但等離子顯示器或有機(jī)EL顯示器等情況也同樣適用。因?yàn)檫@些FPD不需要背光，故有時(shí)與射出側(cè)相反側(cè)的基板不是玻璃基板。亦即有時(shí)只有一邊是玻璃基板。又本申請發(fā)明中，可以對一對玻璃基板中的一邊進(jìn)行外面削減處理，此時(shí)也會得到本申請發(fā)明的效果。
其次，說明FPD的發(fā)明的實(shí)施方式。
圖7，是實(shí)施方式中FPD的剖面概略圖。圖7所示的FPD，是黏貼一對玻璃基板1而形成。圖7所示的是與上述實(shí)施方式相同，是作為FPD一例的液晶顯示器。一對玻璃基板的內(nèi)部，作為構(gòu)成光透過控制部，形成有于一邊玻璃基板1內(nèi)面的電極(組件電極、共通電極等)11，和被封存的液晶13。另一邊的玻璃基板1內(nèi)面，形成有彩色濾光片14。光透過控制部的構(gòu)造本身，是與一般液晶顯示器相同。
圖7所示的FPD的特征點(diǎn)，是一對玻璃基板1的雙方外面100，是通過外面削減處理來削減。外面削減處理與上述各實(shí)施方式的情況相同，故省略說明。此實(shí)施方式的FPD的主要特征點(diǎn)，是通過進(jìn)行上述外面削減處理，使外面100具有0.1μm以下的平坦性。
若說明平坦性，則如放大圖7所表示，在外面100中，將最頂部101與最低部102的距離作為平坦性。此值是相當(dāng)于表面粗糙度測定中測定最大粗糙度(Rmax)的情況。市售有來自數(shù)家公司的可測定最大粗糙度的表面粗糙度計(jì)，從其中適當(dāng)選擇即可測定上述外面100的平坦性。根據(jù)本申請發(fā)明者的研究，通過進(jìn)行上述外面削減處理，可將一片玻璃基板1的厚度t作為0.5mm左右，且使平坦性(Rmax)為0.1μm以下，而可提供達(dá)成薄型化、輕量化且無顯示不均的高性能FPD。另外此種平坦性，與進(jìn)行外面削減處理之前玻璃基板1的外面平坦性為相同程度，此時(shí)會得到不會因?yàn)橥饷嫦鳒p處理而損及平坦性的表現(xiàn)。
上述例子中，雖然以最大粗糙度作為平坦性，但也可用中心線平均粗糙度(Ra)作為平坦性。此時(shí)，是求出外面100的凹凸的平均高度，以其高度為基準(zhǔn)，球出各凹凸高度差異的絕對值。此時(shí)也市售有可測定中心線平均粗糙度(Ra)的比面粗糙度計(jì)，故使用該者。順帶一提，中心線平均粗糙度的情況下，若在0.03mm以下則可提供無顯示不均的FPD，此種平坦性亦可通過上述外面削減處理來達(dá)成。
另外上述構(gòu)造，即使是液晶顯示器之外的FPD也同樣適用。如有機(jī)EL顯示器般自發(fā)光的FPD的情況下，是取代光透過控制部而設(shè)置發(fā)光部。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示器的制造方法，所述方法包含于一方或雙方為玻璃基板的一對基板中、最少一方形成電極的電極形成工序，和于電極形成工序后、經(jīng)由密封材黏貼一對基板來密封內(nèi)部的密封工序，和在密封工序之后、將玻璃基板亦即一方或雙方的基板外面加以切削來打薄的玻璃基板外表削減工序；其特征在于所述玻璃基板外表削減工序，是將溶出所述玻璃基板外表的溶出液，向著所述外表噴射，來附加較本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度，使溶出液往所述外表噴出并沖擊所述外表，利用溶出液造成的沖擊的物理作用，再加上溶出液的化學(xué)作用，將玻璃外表溶出以進(jìn)行削減。
2.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液是氫氟酸者。
3.如權(quán)利要求1或2項(xiàng)所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液造成所述外表的沖擊時(shí)的壓力處于0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范圍。
4.如權(quán)利要求1至3之任一項(xiàng)所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，在溶出液噴射中，是使所述外表成為垂直入射姿勢，以保持所述基板。
5.如權(quán)利要求1至4之任一項(xiàng)所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，是將所述黏合后的一對玻璃基板的雙方外表，同時(shí)加以切削，以將整體厚度變薄。
6.如權(quán)利要求1至5之任一項(xiàng)所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液的噴射，是利用具有噴射孔的噴嘴來進(jìn)行；在削減開始時(shí)的噴嘴的噴射孔到所述玻璃基板外表為止的距離，是5mm以上100mm以下。
7.如權(quán)利要求1至5之任一項(xiàng)所述的平面顯示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液的噴射，是利用具有噴射孔的噴嘴來進(jìn)行；各噴射孔是以等間隔來復(fù)數(shù)設(shè)置，且從各噴射孔到所述外表為止的距離是一定的。
8.一種外面削減裝置，是將平面顯示器用的玻璃基板外面做削減來打??；其特征在于包括在內(nèi)部進(jìn)行外面削減處理的處理室；將所述玻璃基板保持于處理室內(nèi)特定位置的基板保持具；具有將溶出液、向著被所述基板保持具保持的所述玻璃基板的該外表噴射的噴射孔的噴嘴；以及對噴嘴供給溶出液的溶出液供給系統(tǒng)；所述溶出液供給系統(tǒng)，是將附加有比本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度的溶出液，往所述外表吹附并沖擊所述外表，而可利用加上了溶出液的化學(xué)作用的沖擊所造成的物理作用來將所述外表溶出以進(jìn)行削減的壓力，來對所述噴嘴供給溶出液。
9.如權(quán)利要求8所述的外表削減裝置，其特征在于，所述溶出液是氫氟酸。
10.如權(quán)利要求8或9所述的外表削減裝置，其特征在于，所述溶出液供給系統(tǒng)，是使所述溶出液從所述噴嘴的噴射孔被噴射，以0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范圍的壓力沖擊所述玻璃基板外表，對所述噴嘴供給所述溶出液。
11.如權(quán)利要求8至10之任一項(xiàng)所述的外面削減裝置，其特征在于，所述基板的保持具，是在溶出液噴射中使所述外表成為垂直入射姿勢，以保持所述基板。
12.如權(quán)利要求8至11之任一項(xiàng)所述的外面削減裝置，其特征在于，所述噴嘴可將黏合后的一對玻璃基板的雙方外面同時(shí)加以削減地設(shè)置在被基板保持具所保持的一對玻璃基板的兩側(cè)。
13.如權(quán)利要求8至12之任一項(xiàng)所述的外表削減裝置，其特征在于，在削減開始時(shí)，從所述噴嘴的噴射孔到所述玻璃基板外表為止的距離，是5mm以上100mm以下。
14.如權(quán)利要求8至13之任一項(xiàng)所述的外表削減裝置，其特征在于，各噴射孔是以等間隔來做復(fù)數(shù)設(shè)置，且從各噴射孔到所述外表為止的距離是一定的。
15.一種平面顯示器，形成有黏合后的一對玻璃基板，于內(nèi)部具有光透過控制部或是發(fā)光部；其特征在于一對玻璃基板的雙方外表是，使溶出液向著所述外表噴射，以較本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度，使得溶出液進(jìn)行吹附?jīng)_擊的方式來進(jìn)行削減；具有最大粗糙度為0.1μm以下的平坦度。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可達(dá)成FPD薄型化的實(shí)用技術(shù)，是于一對玻璃基板(1)的一邊形成電極(11)，經(jīng)由密封材(12)黏合玻璃基板(1)來密封內(nèi)部之后，進(jìn)行將玻璃基板(1)外面作切削來打薄厚度的外面削減工序。在外面削減工序中，從噴嘴(4)向著玻璃基板(1)的外面噴射由氫氟酸構(gòu)成的溶出液(L)，附加有比本身重量所造成的重力加速度還要大的加速度，以0.5kg/cm
文檔編號G09F9/00GK101063762SQ20061007990
公開日2007年10月31日 申請日期2006年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2006年4月27日
發(fā)明者柳澤真太郎 申請人:蔡孟廷