專利名稱：顯示裝置、顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及顯示裝置及顯示裝置的制造方法。
背景技術(shù)：
目前，公知有將多個像素配置為矩陣狀，在每個該像素上有選擇
地顯示圖像的液晶顯示裝置、EL顯示裝置、等離子體顯示裝置等顯示 裝置。作為這些顯示裝置的驅(qū)動方式，公知的是有源矩陣驅(qū)動方式， 在有源矩陣驅(qū)動方式的顯示裝置中，柵極總線和源極總線在透明基板 上格子狀設(shè)置，在柵極總線和源極總線的交叉部附近，TFT等開關(guān)元 件設(shè)置于每個像素上。
例如，在TFT上設(shè)置有從柵極總線分支的柵極電極、從源極總線 分支的源極電極、與像素電極連接的漏極電極。另外，在與包含像素 電極的透明基板相對的位置，具備包含相對電極的透明基板。而且， 各個像素從柵極總線接收選擇信號時，利用從源極總線接收的信號對 像素電極和相對電極之間施加電壓，由此進行驅(qū)動。
在這種顯示裝置中，例如在向顯示裝置的Y方向延伸的外圍配線 和向X方向延伸的柵極總線等相互交叉的配線之間產(chǎn)生泄漏的情況 下，例如，在該柵極總線中在產(chǎn)生短路的部分之前信號不能正確傳遞， 因此，產(chǎn)生不能正確顯示的線狀區(qū)域(線缺陷)。于是，作為修正這種 配線彼此之間交叉部分的不良情況發(fā)生的方法，公知的有例如專利文 獻1及2記載的技術(shù)。
在專利文獻1中公示有下述技術(shù)，將柵極總線分支為多個配線， 將分支點的至少一方配置在與存儲電容總線總括電極重合的位置，在 該重合的部分設(shè)置開口部，由此，通過利用來自該開口部的激光等的 照射來切斷分支的配線，消除短路。另外，在專利文獻2中公示有下 述技術(shù)，在配線的交叉部分設(shè)置一個大的空孔區(qū)域，從該空孔區(qū)域的 兩端通過能量射束照射切斷配線，使短路部分孤立。但是，作為上述泄漏發(fā)生的原因，可以列舉混入具有導(dǎo)電性的異 物，并且絕緣膜的缺損導(dǎo)致接觸孔的產(chǎn)生。伴隨近年的顯示裝置的大 型化，在該顯示區(qū)域特別是顯示外區(qū)域，需要圍繞配置配線，因此， 形成的該配線長，伴隨該長線化，為了減小配線電阻，而使該配線的 線寬度較粗地形成。由于這樣增大配線的線寬度，異物的混入及絕緣 膜的缺損導(dǎo)致的接觸孔產(chǎn)生的概率相對增大。
該情況下，在專利文獻l公示的發(fā)明中，可切斷的配線數(shù)量有限，
泄漏發(fā)生部位超過該數(shù)量時變?yōu)椴豢尚拚Ａ硗?，在專利文獻2公示 的發(fā)明中，需要對每個泄漏發(fā)生部位進行射線照射，因此可能會大幅 降低制造效率。
專利文獻l:(日本)特開2003 — 156763公報
專利文獻2:(日本)特開平7—28076號公報

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于上述事情而開發(fā)的，其目的在于，提供一種顯示裝 置，在顯示外區(qū)域能夠高效且可靠地修正配線交叉部的泄漏發(fā)生部位， 另一 目的是提供這種顯示裝置的制造方法。
為解決上述課題，本發(fā)明的顯示裝置，其具備能夠顯示圖像的顯 示區(qū)域和設(shè)置于上述顯示區(qū)域的外側(cè)的顯示外區(qū)域，其特征在于，在 上述顯示外區(qū)域形成有第一配線、和相對于上述第一配線隔著絕緣層 配設(shè)的第二配線，并且形成有上述第一配線和上述第二配線交叉的交 叉部，在上述交叉部，上述第二配線具備分支的多個分支配線，而上 述第一配線具備與上述分支配線交叉的多個狹縫部。
根據(jù)這種顯示裝置，即使在第一配線和第二配線的交叉部產(chǎn)生泄 漏的情況下，首先通過比較簡單的分支配線(第二配線分支的配線) 的切斷就能夠消除泄漏。另外，例如通過重復(fù)修正，在分支配線剩余 一根的情況下，以設(shè)置于第一配線的狹縫部為基點，切除鄰接的配線， 由此能夠消除泄漏，能夠高效且可靠地修正泄漏發(fā)生部位。
但是，在大型化的顯示裝置尤其是顯示外區(qū)域，伴隨該大型化， 需要圍繞配置配線，因此，需要延長配線，另一方面，伴隨該長線化，為了減小配線電阻，需要加粗該配線的線寬度。伴隨這種配線寬度的 增大，在配線上異物的混入及絕緣膜的缺損導(dǎo)致的接觸孔產(chǎn)生的概率 相對增大，進而在配線的交叉部容易發(fā)生泄漏。為了在容易產(chǎn)生這種 泄漏的位置高效且可靠地消除該泄漏，本發(fā)明的顯示裝置實現(xiàn)了具備 多種修正單元的結(jié)構(gòu)。
艮口，在發(fā)生了泄漏的情況下，首先，通過將第二配線所分支的多 個分支配線中與泄漏發(fā)生部位相應(yīng)的一根分支配線切斷來消除泄漏。 該情況下，泄漏發(fā)生部位有時涉及多個，但是，這些泄漏發(fā)生部位作 用在該分支配線上的情況下，通過切斷一根分支配線就能夠消除全部 的泄漏，能夠進行非常高效良好的修正。
其次，在多個泄漏發(fā)生部位未作用在一根分支配線上的情況下， 依次切斷相應(yīng)分支配線。該情況下，若和以狹縫部為基點切斷鄰接的 配線的修正比較，則也是相對簡單的作業(yè)，能夠效率良好地進行修正。
這樣，通過重復(fù)修正，能夠大概消除泄漏，但是，也產(chǎn)生了即使 分支配線剩余一根也還不能完全消除泄漏的情況。該情況下，切斷最 后的分支配線時，該第二配線的連接被遮斷，成為產(chǎn)生顯示裝置的品 質(zhì)降低的一個原因。
于是，通過利用與該泄漏發(fā)生部位相應(yīng)的狹縫部進行配線的切除， 由此來消除泄漏。即，制成設(shè)置于第一配線的狹縫部和分支配線交叉 的結(jié)構(gòu)后，以狹縫部的端部為基點，切除鄰接的第一配線的一部分， 由此，使第一配線和分支配線可靠地絕緣，消除泄漏。該情況下，由 于設(shè)置有多個狹縫部，因此，通過以將它們相連接的方式進行配線的 切除，能夠進行與泄漏發(fā)生部位的大小相對應(yīng)的切除，能夠抑制配線 電阻增大至必要以上。
另外，在本發(fā)明的顯示裝置中，上述第二配線可以在夾著一至多 個上述第一配線的兩個部位具備分支的分支點，在該兩個分支點之間 形成上述多個分支配線。
這樣，通過在夾著第一配線的兩個部位配置第二配線的分支點， 該第二配線在與一至多個第一配線交叉的交叉部的前面配置分支點， 則能夠在該交叉部的前面切斷分支配線。其結(jié)果是，能夠抑制被切斷的分支配線與例如第一配線接觸而發(fā)生新的泄漏等修正不良。
另外，上述第一配線的寬度可以比上述第二配線的寬度大。
這樣，通過在相對寬度大的第一配線上設(shè)置狹縫部，能夠抑制伴
隨此的配線電阻的增大。另外，通過分支相對寬度小的第二配線而形
成分支配線，能夠效率良好地進行該分支配線的切斷。
另外，上述顯示外區(qū)域能夠形成為包圍上述顯示區(qū)域的邊框狀，
上述第一配線和上述第二配線的至少一方為沿該邊框狀的顯示外區(qū)域
的至少一邊圍繞配置的外圍配線。
這種圍繞邊框狀的顯示外區(qū)域的外圍配線，需要較長地形成其長
度，進而為了穩(wěn)定的供給信號需要設(shè)置得較粗。伴隨這種配線寬度的
增大，在配線上，異物的混入及絕緣膜的缺損導(dǎo)致的接觸孔產(chǎn)生的概
率相對增大，在配線的交叉部容易產(chǎn)生泄漏。
于是，在沿該邊框狀的顯示外區(qū)域的至少一邊圍繞配置的外圍配
線中，通過采用本發(fā)明的分支配線及狹縫部的結(jié)構(gòu)，能夠高效且可靠
地消除該泄漏。
另外，可以在上述顯示區(qū)域形成有薄膜晶體管，上述第一配線為， 圍繞上述顯示外區(qū)域，且用于向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號 的外圍配線，上述第二配線的至少一個由用于向上述薄膜晶體管的柵 極電極供給柵極信號的柵極配線構(gòu)成。
這樣，通過制成在外圍配線和柵極配線的交叉部配設(shè)分支配線及 狹縫部的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地消除該交叉部的泄漏，由此，能夠進行穩(wěn) 定的柵極信號的供給及電容形成用信號的供給，難以帶來顯示性能的 降低。
另外，在上述顯示區(qū)域形成有薄膜晶體管，上述第一配線為，圍 繞上述顯示外區(qū)域，且用于向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的 外圍配線，上述第二配線的至少一個由與上述外圍配線連接，且向與 該外圍配線交叉的方向延伸，并且向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用
信號的存儲電容線構(gòu)成。
這樣，通過制成在外圍配線和存儲電容線的交叉部配設(shè)分支配線 及狹縫部的結(jié)構(gòu)，能夠可靠地消除該交叉部的泄漏，由此，能夠進行穩(wěn)定的電容形成乃至驅(qū)動電壓的保持，因此，可制成難以帶來顯示性 能的降低的結(jié)構(gòu)。
另外，能夠上述第一配線形成有多個，上述分支配線跨越上述第 一配線的至少兩根以上而形成，上述第二配線在相鄰的上述第一配線 的間隙部具備將上述多個分支配線彼此連接的連接配線。
通過制成這種結(jié)構(gòu)，能夠進一步多樣地設(shè)定泄漏的消除單元，能 夠高效地消除泄漏。
例如，在各個不同的分支配線中產(chǎn)生了泄漏的情況下，也可以通 過連接配線電連接未產(chǎn)生泄漏的分支配線部分。
更具體地說，在并列的兩根第一配線和同樣并列的兩根分支配線 交叉的情況下，在第一個第一配線和第一個分支配線的交叉部發(fā)生泄 漏，進而在第二個第一配線和第二個分支配線的交叉部也發(fā)生泄漏的 情況下，通常(未設(shè)置連接配線的情況下)，需要在第一個分支配線中 夾著兩根第一配線的兩個部位切斷該第一個分支配線，另外，在第二 個第一配線和第二個分支配線的交叉部，需要以與泄漏發(fā)生部位相應(yīng) 的狹縫部的端部為基點切除第一配線這樣繁瑣的作業(yè)。
另一方面，通過設(shè)置本發(fā)明的連接配線，在第一個分支配線中， 在夾著第一個第一配線的兩個部位切斷該第一個分支配線，在第二個 分支配線中，在夾著第二個第一配線的兩個部位切斷該第二個分支配 線的情況下，分支配線通過連接配線連接第一個分支配線和第二個分 支配線，因此，也能夠成為可供給信號的狀態(tài)，能夠進行效率良好的 修正作業(yè)。
另外，上述狹縫部可以不跨越多個上述分支配線的全部，而是與 各分支配線獨立交叉。
從消除泄漏的觀點看，狹縫部只存在于第一配線和分支配線交叉 的部分，已經(jīng)足夠，另外，與跨過多個分支配線而設(shè)置狹縫部的情況 相比，能夠抑制配線電阻的增大。
另外，上述狹縫部能夠形成為，該狹縫部的除兩端部之外的內(nèi)側(cè) 部的寬度比該狹縫部的兩端部的寬度小。
這樣，在成為第一配線的切除基點的狹縫部的兩端部，通過使其
11寬度為相對寬的寬度而能夠進行穩(wěn)定的修正作業(yè)。另一方面，狹縫部 的內(nèi)側(cè)部不必要成為切除基點，因此，通過使其寬度比該狹縫部的兩 端部的寬度小，與簡單地以與兩端部相同的寬度設(shè)置均勻的狹縫部的 情況相比，能夠抑制配線電阻的增大，成為難以帶來顯示性能降低的 結(jié)構(gòu)。
另外，能夠在形成有上述狹縫部的上述第一配線上，與上述狹縫 部隔開規(guī)定間隔形成有切口部。
由此，通過切除存在于狹縫部和切口部之間的配線，能夠切除泄 漏發(fā)生部位，因此，能夠修正遍及比較大面積的不良部位。而且，與 只延長狹縫部的長度而實現(xiàn)可修正的面積的擴大的情況相比，能夠抑 制配線電阻的增大，成為難以帶來顯示性能的降低的結(jié)構(gòu)。
另外，本發(fā)明的顯示裝置，可以具備在一對基板之間夾持液晶層 的結(jié)構(gòu)，并且形成有上述液晶層的平面區(qū)域為上述顯示區(qū)域。
這種顯示裝置作為液晶顯示裝置，有各種用途，例如可適用于電 視及個人計算機的桌面畫面，適合于作為特大型畫面用。
其次，為解決上述課題，本發(fā)明提供一種本發(fā)明的顯示裝置的制 造方法，該顯示裝置具備能夠顯示圖像的顯示區(qū)域和設(shè)置于上述顯示 區(qū)域的外側(cè)的顯示外區(qū)域，該制造方法的特征在于，包括第一配線 形成工序，在上述顯示外區(qū)域形成第一配線；第二配線形成工序，相
對于上述第一配線隔著絕緣層形成第二配線；和修正工序，在上述各 配線交叉的交叉部存在不良情況時，修正該不良部位，其中，在上述 第一配線形成工序中，在上述交叉部，以具備多個狹縫部的形式形成 該第一配線，而在上述第二配線形成工序中，在上述交叉部，以具備 分支的多個分支配線的形式形成該第二配線，上述修正工序包括對上 述分支配線中包含上述不良部位的分支配線照射激光而切斷該分支配 線的工序，而且還包括在通過上述切斷而使上述分支配線剩余一根的 情況下，以與上述分支配線交叉的上述狹縫部的端部為基點對鄰接的 配線照射激光，切除上述不良部位的工序。
根據(jù)這種制造方法，能夠高效且可靠地修正不良部位。即，在第 一配線和第二配線的交叉部發(fā)現(xiàn)了不良部位的情況下，在修正工序中，首先，利用比較簡單的激光的照射進行分支配線(第二配線所分支的 配線)的切斷作業(yè)，由此可進行修正。另外，例如通過重復(fù)修正，在 分支配線剩余一根的情況下，以設(shè)置于第一配線的狹縫部的端部為基 點通過激光照射切除鄰接的配線，由此能夠切除不良部位，能夠高效 且可靠地修正第一配線和分支配線的交叉部的不良部位。
另外，在上述第二配線形成工序中，能夠在夾著一至多個上述第 一配線的兩個部位形成用于進行分支的分支點，在該兩個分支點之間， 以形成上述多個分支配線的形式形成該第二配線。
這樣，通過在夾著第一配線的兩個部位配設(shè)第二配線的分支點， 由此，在該第二配線與一至多個第一配線交叉的交叉部的前面配設(shè)分 支點，能夠在該交叉部的前面切斷分支配線。其結(jié)果，能夠抑制切斷 后的分支配線與例如第一配線接觸而發(fā)生新的泄漏等修正不良。
另外，在上述第一配線形成工序中，能夠?qū)⑸鲜龅谝慌渚€的寬度 形成為比上述第二配線的寬度大。
這樣，通過在相對寬度大的第一配線上設(shè)置狹縫部，能夠抑制伴 隨此的配線電阻的增大。另外，通過將相對寬度小的第二配線分支而 形成分支配線，在照射激光切斷該分支配線的情況下，也能夠高效良 好地進行切斷作業(yè)。
另外，可以將上述顯示外區(qū)域形成為包圍上述顯示區(qū)域的邊框狀， 在上述第一配線形成工序和上述第二配線形成工序的至少一方，沿上 述邊框狀的顯示外區(qū)域的至少一邊圍繞配置該配線。
這樣，圍繞邊框狀的顯示外區(qū)域的外圍配線需要使其長度形成得 較長，進而為了供給穩(wěn)定的信號需要形成得較粗。伴隨這種配線寬度 的增大，在配線上異物的混入及絕緣膜的缺損導(dǎo)致的接觸孔產(chǎn)生的概 率相對增大，在配線的交叉部容易產(chǎn)生泄漏。
于是，在沿該邊框狀的顯示外區(qū)域的至少一邊形成外圍配線的情 況下，通過采用本發(fā)明的分支配線及狹縫部的結(jié)構(gòu)，能夠高效且可靠 地消除該泄漏。
另外，可以包括在上述顯示區(qū)域形成薄膜晶體管的工序，并且在 上述第一配線形成工序中，在上述顯示外區(qū)域圍繞配置該第一配線，形成向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，在上述第二 配線形成工序中，至少形成向上述薄膜晶體管的柵極電極供給柵極信 號的柵極配線。
這樣，通過在外圍配線和柵極配線的交叉部形成分支配線及狹縫 部，能夠可靠地修正該交叉部的不良部位，由此能夠進行穩(wěn)定的柵極 信號及電容形成用信號的供給，難以帶來顯示性能的降低。
另外，可以包括在上述顯示區(qū)域形成薄膜晶體管的工序，在上述 第一配線形成工序中，在上述顯示外區(qū)域圍繞配置該第一配線，形成 向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，在上述第二配線 形成工序中，至少形成與上述外圍配線連接，且向與該外圍配線交叉 的方向延伸，并且向上述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的存儲電容 線。
這樣，通過在外圍配線和存儲電容線的交叉部形成分支配線及狹 縫部，能夠可靠地修正該交叉部的不良部位，由此能夠進行穩(wěn)定的電 容形成乃至驅(qū)動電壓的保持，因此，難以帶來顯示性能的降低。
另外，能夠在上述第一配線形成工序中，形成多個該第一配線， 在上述第二配線形成工序中，使上述分支配線跨越上述第一配線的至 少兩根以上，并且在相鄰的上述第一配線的間隙部，形成將上述多個 分支配線彼此連接的連接配線。
這樣，通過形成連接分支配線彼此的連接配線，能夠進一步多樣 地設(shè)定不良部位的修正單元，能夠效率良好地進行該修正作業(yè)。
例如，在各個不同的分支配線中產(chǎn)生了泄漏的情況下，也可以通 過連接配線電連接未產(chǎn)生泄漏的分支配線部分。
更具體地說，在第一配線和分支配線各兩根交叉的情況下，在第 一個第一配線和第一個分支配線的交叉部發(fā)生泄漏，另外在第二個第 一配線和第二個分支配線的交叉部也發(fā)生泄漏的情況下，通常(未形 成連接配線的情況下)，需要在第一個分支配線中夾著兩根第一配線的 兩個部位切斷該第一個分支配線，另外，在第二個第一配線和第二個 分支配線的交叉部，以與泄漏發(fā)生部位相應(yīng)的狹縫部的端部為基點切 除第一配線。
14另一方面，通過設(shè)置本發(fā)明的連接配線，在第一個分支配線中， 在夾著第一個第一配線的兩個部位切斷該第一個分支配線，在第二個 分支配線中，在夾著第二個第一配線的兩個部位切斷該第二個分支配 線的情況下，分支配線通過連接配線連接第一個分支配線和第二個分 支配線，因此，也能夠成為可供給信號的狀態(tài)，能夠進行效率良好的 修正作業(yè)。
另外，在上述第一配線形成工序中，形成上述狹縫部，使其以不 跨越多個上述分支配線的全部的形式與各分支配線獨立交叉。
這樣，通過只在第一配線和分支配線交叉的部分形成狹縫部，對 不良部位的修正已經(jīng)足夠，另外，與跨過多個分支配線而形成狹縫部 的情況相比，能夠抑制配線電阻的增大。
另外，在上述第一配線形成工序中，形成上述狹縫部，使該狹縫 部的除兩端部之外的內(nèi)側(cè)部的寬度比該狹縫部的兩端部的寬度小。
這樣，在狹縫部以相對的寬度大的端部為基點照射激光，由此能 夠不產(chǎn)生切斷痕跡來切除不良部位。另一方面，將狹縫部的內(nèi)側(cè)部的 寬度按照比該狹縫部的兩端部的寬度小的方式形成，由此與簡單地以 與兩端部相同的寬度形成均勻的狹縫部的情況相比，能夠抑制配線電 阻的增大，難以帶來顯示性能降低。
另外，在上述第一配線形成工序中，能夠以具備與上述狹縫部隔 開規(guī)定間隔的切口部的形式形成該第一配線。
由此，通過切除存在于狹縫部和切口部之間的配線，能夠切除不 良部位，因此，能夠修正遍及比較大面積的不良部位。而且，與只延 長狹縫部的長度而實現(xiàn)可修正的面積的擴大的情況相比，能夠抑制配 線電阻的增大，難以帶來顯示性能的降低。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種顯示裝置，在顯示外區(qū)域能夠高效且 可靠地修正配線交叉部的泄漏發(fā)生部位。
另外，能夠提供一種顯示裝置的制造方法，包括在顯示外區(qū)域能 夠高效且可靠地修正配線交叉部的泄漏發(fā)生部位的工序。


圖1是示意性地表示本發(fā)明實施方式的液晶顯示裝置的截面結(jié)構(gòu)
的圖2是表示圖1的液晶顯示裝置的像素的結(jié)構(gòu)的平面示意圖3是對圖1的液晶顯示裝置示意性地表示驅(qū)動電路及配線結(jié)構(gòu) 的平面圖4是圖3的局部放大平面圖； 圖5是圖4的局部放大平面圖； 圖6是圖5的A—A線截面圖； 圖7是圖5的B—B線截面圖； 圖8是圖4的局部放大平面圖； 圖9是圖8的C一C線截面圖； 圖10是圖8的D—D線截面圖11是表示本實施方式的液晶顯示裝置起到的作用效果的說明
圖12是表示本實施方式的液晶顯示裝置起到的作用效果的說明
圖13是表示本實施方式的液晶顯示裝置起到的作用效果的說明
圖14是示意性地表示狹縫部的不同的變形例的圖15是示意性地表示狹縫部及切口部的不同的變形例的圖16是示意性地表示切口部的不同的變形例的圖。
符號說明
I、 液晶顯示裝置(顯示裝置) 4、液晶層
II、 TFT (薄膜晶體管)
14、 外圍配線(第一配線)
15、 間隙部
17、柵極絕緣膜(絕緣層) 20、柵極配線(第二配線) 21A、 21B、分支點22、 23、分支配線
24、 連接配線
25、 交叉部
260A、 270A、狹縫部 260B、 270B、切口部
28、 端部
29、 內(nèi)側(cè)部
30、 存儲電容線(第二配線) 31A、 31B、分支點
32、 33、分支配線 35、交叉部 360A、 370A、狹縫部 360B、 370B、切口部
38、 端部
39、 內(nèi)側(cè)部 AA、顯示區(qū)域 PA、顯示外區(qū)域
具體實施例方式
利用圖1 圖13說明本發(fā)明的一個實施方式。在此，作為顯示裝 置的一個實施方式對液晶顯示裝置進行說明。
圖1是示意性地表示本實施方式的液晶顯示裝置的截面結(jié)構(gòu)的圖。 圖2是表示該液晶顯示裝置的像素的結(jié)構(gòu)的平面示意圖。圖3是示意 性地表示該液晶顯示裝置的驅(qū)動電路及配線結(jié)構(gòu)的平面圖。
如圖1所示，本實施方式的液晶顯示裝置1為在一對基板2、 3之 間夾持液晶層4的結(jié)構(gòu)，在形成為矩形的密封劑7的內(nèi)側(cè)區(qū)域充填有 液晶層4。
基板2是元件基板，作為開關(guān)元件包括TFT(薄膜晶體管)11 (參 照圖2)，且矩陣狀的具備與該TFT11連接的像素電極12。另一方面， 基板3是相對基板，具備在基板面上整面狀配設(shè)的共用電極6。另外，如圖3所示，液晶顯示裝置1具備形成有液晶層4的平
面區(qū)域即顯示區(qū)域AA、以包圍該顯示區(qū)域AA的外側(cè)的方式呈邊框狀 的顯示外區(qū)域PA。
在基板2的顯示外區(qū)域PA形成有自源極驅(qū)動器8向各像素供給 圖像信號的多個源極配線13、自柵極驅(qū)動器9向各像素的TFTll供給 柵極信號的多個柵極配線(第二配線)20、向各像素供給用于形成電 容的電信號的存儲電容線(第二配線)30。另外，形成有沿顯示外區(qū) 域PA的一邊圍繞配置，可將來自源極驅(qū)動器8的電信號供給存儲電容 線30的外圍配線(第一配線)14。另外，存儲電容線30經(jīng)由接觸孔
(后述)與連接于源極驅(qū)動器8的外圍配線14。
如圖2所示，在基板2的顯示區(qū)域AA，矩陣狀并排配設(shè)有多個像 素電極12，并且，源極配線13和柵極配線20以通過各像素電極12 的周圍并相互正交的方式設(shè)置。另外，像素電極12的中央部分構(gòu)成存 儲電容，在該中央部分隔著絕緣層設(shè)置有存儲電容線30。 TFT11接通
(ON)時，圖像信號(驅(qū)動電壓)寫入像素部，另一方面，在該像素 部配設(shè)有存儲電容線30，因此，TFT11斷開(OFF)后也通過存儲電 容保持該電壓。
另外，外圍配線14是用與源極配線13相同的工序形成的配線層， 與源極配線13同一層且由同一材料(例如Ti/Al)構(gòu)成。另一方面， 柵極配線20和存儲電容線30是用同一工序形成的配線層，相互為同 一層且由同 一材料(例如Ti/Al/TiN)構(gòu)成。
下面，利用圖4 圖7，對外圍配線14和柵極配線20的結(jié)構(gòu)以及 設(shè)置于該配線上的不良修正單元進行說明。
圖4是放大圖3的虛線部分的平面示意圖，圖5是圖4中的外圍 配線14和柵極配線20交叉部分的局部放大平面圖，圖6是圖5的A 一A線截面圖，圖7是圖5的B—B線截面圖。
如圖4 圖7所示，外圍配線14和柵極配線20存在隔著柵極絕緣 膜17交叉的位置關(guān)系，另外，外圍配線14的寬度設(shè)定為500.0um 600.0um (例如500.0 ym)，另一方面，柵極配線20的寬度設(shè)定為10 U m 30 li m (例如30.0 u m)，外圍配線14的寬度比柵極配線20的寬
18度大。
如圖4所示，柵極配線20在夾著并列的兩根外圍配線14的兩部 位具備分支點21A、 21B，從該一個分支點21A延伸的兩根分支配線 22、 23以跨兩根外圍配線14的方式與之交叉并收聚在另一個分支點 21B。
另外，在柵極配線20上，在兩根外圍配線14的間隙部15形成有 連接分支配線22、 23彼此的連接配線24。
另外，如圖5所示，在柵極配線20 (分支配線22、 23)和外圍配線 14的交叉部25配設(shè)有在發(fā)生了泄漏等不良情況時，作為用于對該不 良情況進行修正的不良修正單元的狹縫部260A、 270A、 261A、 271A、 262A、 272A……(以下、也總稱為狹縫部260A等、狹縫部270A等)，。
這些狹縫部260A等、270A等形成于外圍配線14上，其中，狹縫 部260A等與分支配線22交叉，狹縫部270A等與分支配線23交叉。 另外，狹縫部260A等成為不跨過分支配線23的狀態(tài)，狹縫部270A 等成為不跨過分支配線22的狀態(tài)。
狹縫部260A等、270A等成為多個狹縫部以等間隔并列的結(jié)構(gòu)， 其長度設(shè)定為35.0 n m 50.0 U m (例如40.0 u m)。關(guān)于該狹縫部260A 等、270A等的寬度，形成為與該狹縫部260A等、270A等的兩端部 28的寬度相比較，除去其兩端部28之外的內(nèi)側(cè)部29的寬度較小。具 體而言，該狹縫部260A等、270A等的兩端部28設(shè)定為各邊為6.0U m 10.0um (例如8.0um)的矩形，另外，具體地說制成正方形，另 一方面，除去該兩端部28之外的內(nèi)側(cè)部29的寬度制成4.0 ii m 6.0 u m (例如4.0ti m)o
另外，在該交叉部25，如圖5所示，在狹縫部260A、 270A、 261A、 271A、 262A、 272A……的長度方向，與該狹縫部260A、 270A、 261A、 271A、 262A、 272A……隔開規(guī)定間隔，形成有切口部260B、 270B、 261B、 271B、 262B、 272B (以下，也總稱為切口部260B等、切口
部270B等)。而且，該切口部260B等、270B等也作為用于修正不良情 況的不良修正單元的切口部而構(gòu)成，形成于外圍配線14上。
以上，對外圍配線14和柵極配線20的結(jié)構(gòu)進行了說明，下面，利用圖4以及圖8 圖10，對外圍配線14和存儲電容線30的結(jié)構(gòu)以 及設(shè)置于該配線上的不良修正單元進行說明。
圖8是圖4中的外圍配線14和存儲電容線30交叉的部分的局部 放大平面圖，圖9是圖8的C一C線截面圖，圖10是圖8的D—D線 截面圖。
如圖4以及圖8 圖10所示，外圍配線14和存儲電容線30存在 隔著柵極絕緣膜17交叉的位置關(guān)系，另外，外圍配線14的寬度設(shè)定 為500.0um 600.0um (例如500.0nm)，另一方面，存儲電容線30 的寬度設(shè)定為10um 30um (例如20.0um)，外圍配線14的寬度比 存儲電容線30的寬度大。
如圖4所示，存儲電容線30在夾著一根外圍配線14的兩部位具 備分支點31A、 31B，從該一個分支點31A延伸的兩根分支配線32、 33與一根外圍配線14交叉并收聚在另一個分支點31B。
另外，存儲電容線30經(jīng)由設(shè)置于外圍配線14的接觸孔16與該外 圍配線14連接。
另外，如圖8所示，在存儲電容線30 (分支配線32、 33)與外圍 配線14的交叉部35配設(shè)有在發(fā)生了泄漏等不良情況時，作為用于 修正該不良情況的不良修正單元的狹縫部360A、 370A、 361A、 371A、 362A、 372A……(以下、也總稱為狹縫部360A等、狹縫部370A等)。
這些狹縫部360A等、370A等形成于外圍配線14上，其中，狹縫 部360A等與分支配線32交叉，狹縫部370A等與分支配線33交叉。 另外，狹縫部360A等成為不跨過分支配線33的狀態(tài)，狹縫部370A 等成為不跨過分支配線32的狀態(tài)。
狹縫部360A等、370A等成為多個狹縫部以等間隔并列的結(jié)構(gòu)， 與形成于上述的柵極配線20和外圍配線14的交叉部25的狹縫部260A 等、270A等為同樣的形狀。即，狹縫部360A等、370A等，與其兩端 部38的寬度相比，除該兩端部38之外的內(nèi)側(cè)部39的寬度較小地形成。
另外，如圖8所示，在同樣的交叉部35，在狹縫部360A、 370A、 361A、 371A、 362A、 372A 的長度方向，形成有與該狹縫部360A、
370A、 361A、 371A、 362A、 372A……隔開規(guī)定間隔配設(shè)的切口部360B、370B、 361B、 371B、 362B、 372B……(以下，也總稱為切口部360B等、切口部370B等)。而且，該切口部360B等、370B等也作為用于修正不良情況的不良修正單元的切口部而構(gòu)成，形成于外圍配線14上。
另外，作為介于柵極配線20或存儲電容線30與外圍配線14之間的柵極絕緣膜17，除氧化硅之外，還可以采用由氧化硅與半導(dǎo)體材料的層疊膜、氧化硅與半導(dǎo)體材料與SOG (Spin On Glass:旋涂玻璃)的層疊膜、或者氧化硅與SOG (Spin On Glass:旋涂玻璃)的層疊膜等構(gòu)成的膜。另夕卜，如圖6及圖7以及圖9及圖IO所示，在外圍配線14上形成有由氧化硅等構(gòu)成的鈍化膜18。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)的液晶顯示器，能夠在各配線的交叉的位置發(fā)生泄漏等不良情況下，根據(jù)該不良部位的發(fā)生位置或其大小，進行高效且可靠的不良修正。
例如，在外圍配線14與將存儲電容線30分支的分支配線32、 33交叉的各位置，如圖11 (在此，狹縫部360A等、370A等及切口部360B等、370B等的圖示省略)所示，在混入異物40且在兩配線間發(fā)生泄漏等不良的情況下，也能夠進行適當?shù)牟涣夹拚?br> 具體而言，在分支配線32上，將存儲電容線30的分支點31A與外圍配線14之間的一點及分支點31B與外圍配線14之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用符號41及42表示激光照射部)而切斷。其結(jié)果是，分支配線32被絕緣，能夠修正因該分支配線32的泄漏等引起的不良情況。
在此，進而，在分支配線33上，利用與上述的修正方法同樣的方法進行修正時，存儲電容線30的連接被遮斷，成為液晶顯示裝置l產(chǎn)生品質(zhì)降低的一個原因。
于是，在分支配線33上，利用形成于外圍配線14的狹縫部370A等及切口部370B等進行不良修正。
具體而言，如圖12所示，按照狹縫部370A的端部38和切口部370B貫通的方式，將存在于這些狹縫部370A的端部38和切口部370B之間的配線14A (外圍配線14)通過基于激光照射的激光切割(用符號43表示激光照射部)而切斷，同樣，只要將存在于切口部370B和切口部371B之間的配線14B通過激光切割(激光照射部44)而切斷，將存在于切口部371B和狹縫部371A的端部38之間的配線14C通過激光切割(激光照射部45)而切斷，將存在于狹縫部371A的端部38和狹縫部370A的端部38之間的配線14D通過激光切割(激光照射部46)而切斷，則該不良部位即異物40就被電孤立，能夠修正泄漏等引起的不良情況。
這樣，在本實施方式中，在外圍配線14和存儲電容線30交叉的交叉部35，存儲電容線30為具備分支的兩根分支配線32、 33的結(jié)構(gòu)，因此，即使在該分支配線32、 33與外圍配線14分別交叉的位置混入異物40而發(fā)生了泄漏等不良的情況下，也能夠高效率地修正該不良部位。
艮P，在交叉部35，存儲電容線30分支為兩根分支配線32、 33，因此，在切斷一分支配線32的情況下，也能夠通過另一分支配線33保持存儲電容線30的連接。因此，在分支配線32和外圍配線14交叉的位置產(chǎn)生的不良，能夠通過比較簡單的該分支配線32的切斷，高效率地修正該不良部位。
另外，在外圍配線14上設(shè)置有與分支配線32、 33交叉的多個狹縫部360A等、370A等，因此，從存儲電容線30的連接保持的觀點考慮在不可切斷的分支配線33中，將與該分支配線33交叉的狹縫部370A的端部38作為基點，按照包圍異物40的方式切除外圍配線14，由此使異物40電孤立，能夠可靠地消除該不良情況。
另外，在本實施方式中，存儲電容線30在夾著外圍配線14的兩個部位具備分支點31A、31B，分支配線32、 33形成于這些分支點31A、31B之間。
這樣，通過在夾著外圍配線14的兩個部位配置分支點31A、 31B，存儲電容線30在與外圍配線14的交叉部35的前面配置有分支點31A、31B，則可以將分支配線32、 33在該交叉部35的前面切斷。其結(jié)果是，能夠抑制切斷后的分支配線32與外圍配線14接觸而產(chǎn)生新的泄漏等的修正不良。
另外，在本實施方式中，關(guān)于狹縫部360A等、370A等，形成在
22與存儲電容線30相比線寬度大的外圍配線14上，并且狹縫部360A等與分支配線32交叉，狹縫部370A等與分支配線33交叉，為狹縫部360A等、370A等分別獨立與各分支配線32、 33交叉的狀態(tài)。
這樣，通過在相對寬度大的外圍配線14上設(shè)置狹縫部360A等、370A等，能夠抑制與此相伴的配線電阻的增大。此外，通過使狹縫部360A等、370A等與各分支配線32、 33獨立交叉，由此與跨過多個分支配線設(shè)置狹縫部的情況相比，能夠抑制配線電阻的增大，成為難以帶來顯示性能降低的結(jié)構(gòu)。
另外，狹縫部360A等、370A等，與其兩端部38的寬度相比，除該兩端部38之外的內(nèi)側(cè)部39的寬度小。
這樣，成為外圍配線14的切除的基點的兩端部38，通過將其寬度設(shè)定為相對寬度大，能夠進行穩(wěn)定的修正作業(yè)。另一方面，內(nèi)側(cè)部39不需要設(shè)定為切除基點，因此，將其寬度設(shè)定為比兩端部38更小，由此，與僅以與兩端部38同樣的寬度設(shè)置均勻的狹縫部的情況相比，能夠減小其面積，因此，能夠抑制外圍配線14的電阻的增大，成為難以帶來顯示性能降低的結(jié)構(gòu)。
另外，在本實施方式中，在外圍配線14上，與狹縫部360A等、370A等隔開規(guī)定間隔設(shè)置有切口部360B等、370B等。
由此，制成通過切除存在于狹縫部370A等與切口部370B等之間的外圍配線14而可切除泄漏發(fā)生部位的結(jié)構(gòu)，因此，可修正遍及大面積的不良部位，即使混入比較大的異物40的情況下也能夠應(yīng)對。而且，與僅延長狹縫部370A等的長度來實現(xiàn)可修正的面積的擴大的情況相比，能夠抑制外圍配線14的電阻的增大，成為難以帶來顯示性能降低
的結(jié)構(gòu)。
另一方面，如圖4所示，柵極配線20在夾著并列的兩根外圍配線14的兩部位具備分支點21A、 21B，從該一個分支點21A延伸的兩根分支配線22、 23以跨過兩根外圍配線14的方式與之交叉并收聚在另一個分支點21B，并且，在兩根外圍配線14的間隙部具有連接分支配線22、 23彼此的連接配線24。
在此，例如圖13 (在此，狹縫部260A等、270A等及切口部260B等、270B等的圖示省略)所示，在由于在分支配線22與一方的外圍 配線14交叉的位置混入異物50，且在分支配線23與另一外圍配線14 交叉的位置混入異物51而在兩配線間產(chǎn)生了泄漏等不良的情況下，也 能夠進行適當?shù)牟涣夹拚?br> 具體而言，在分支配線22上，將柵極配線20的分支點21A與附 近設(shè)置的外圍配線14之間的一點、以及連接配線24與該外圍配線14 之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用符號52及53表示 的激光照射部)而切斷。另一方面，在分支配線23上，將柵極配線20 的分支點21B與附近設(shè)置的外圍配線14之間的一點、以及連接配線 24與該外圍配線14之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用 符號54及55表示的激光照射部)而切斷。其結(jié)果是，能夠修正由于 異物50、 51的混入而產(chǎn)生的泄漏等不良情況，并且，柵極配線20通 過連接配線24將分支配線22的未切斷部和分支配線23的未切斷部連 接，由此，能夠仍然保持該柵極配線20的連接。
這樣，通過在兩根外圍配線14的間隙部15設(shè)置連接分支配線22、 23彼此的連接配線24，在產(chǎn)生切斷兩根分支配線22、 23的需要的情 況下，由于由連接配線24也能夠保持柵極配線20的連接，因此，能 夠高效地進行不良部位的修正。
下面，對液晶顯示裝置1的制造方法進行說明。 在此，主要對包括修正工序的制造工序進行說明。 首先，準備由透光性的玻璃基板構(gòu)成的一對基板2、 3。 其次，對于基板2以lOum 30um (例如，柵極配線20為30 Pm、存儲電容線30為20pm)的寬度形成柵極配線20 (第二配線) 及存儲電容線30 (第二配線)。
在這些各配線上形成柵極絕緣膜17 (絕緣層)，再在該柵極絕緣膜 17上形成源極配線13及外圍配線14 (第一配線)。在此，對于外圍配 線14，將其寬度設(shè)定為500.0 um 600.0um (例如500.0 um)，以沿 后述的顯示外區(qū)域PA的一邊圍繞配置，并且與柵極配線20及存儲電 容線30分別交叉(交叉部25、 35)的方式形成(參照圖4)。
在形成上述的柵極配線20的工序中，在交叉部25，以具備分支的兩根分支配線22、 23的形式形成該柵極配線20。具體而言，如圖4 所示，在夾著兩根外圍配線14的兩部位形成分支點21A、 21B，在該 分支點21A、 21B之間形成分支配線22、 23。
進而，在相鄰的兩根外圍配線14的間隙部15形成連接分支配線 22、 23的連接配線24。
另外，在形成存儲電容線30的工序中，在交叉部35,以具備分支 的兩根分支配線32、 33的形式形成該存儲電容線30。具體而言，如圖 4所示，在夾著一根外圍配線14的兩部位形成分支點31A、 31B，在 該分支點31A、 31B之間形成分支配線32、 33。
進而，在形成外圍配線14的工序中，在交叉部25，通過使用光刻 法的掩模蝕刻形成圖5及圖6所示圖案的狹縫部260A等、270A等及 切口部260B等、270B等。
關(guān)于該狹縫部260A等、270A等，使狹縫部260A等與分支配線 22交叉、使狹縫部270A等與分支配線23交叉而形成。另外，狹縫部 260A等以不跨過分支配線33、狹縫部270A等以不跨過分支配線32 的方式形成，由此，狹縫部260A等和狹縫部270A等成為并列的形態(tài) (參照圖5)。
另外，關(guān)于狹縫部260A等、270A等的形狀，將狹縫部260A等、 270A等的兩端部28制成正方形，將內(nèi)側(cè)部29的寬度形成為比該兩端 部28的寬度小。
另一方面，在和狹縫部260A等的一端部28 (配設(shè)有狹縫部270A 等側(cè)的相反側(cè))隔開規(guī)定間隔的位置，與狹縫部260A等并列分別形成 正方形的切口部260B。以同樣的方式，與狹縫部270A等并列形成切 口部270B (參照圖5)。
另外，在外圍配線14和存儲電容線30的交叉部35，以和上述的 狹縫部260A等、270A等及切口部260B等、270B等同樣的方式，形 成狹縫部360A等、370A等及切口部360B等、370B等(參照圖8)。
另外，在基板2上形成TFT11，并且，形成像素電極12，在像素 電極12上形成取向膜(省略圖示)。
另一方面，在基板3上，根據(jù)需要形成彩色濾光片(省略圖示)，
25并且，形成共用電極6。另外，在共用電極6上形成取向膜(省略圖示)。
而且，在形成有這些電極等的各基板2、 3的至少任一方形成密封 劑7，通過向被該密封劑7包圍的內(nèi)側(cè)滴下液晶而形成液晶層4，并且 將各基板2、 3經(jīng)由密封劑7貼合，進一步形成偏振板等，制造圖l及 圖3所示的結(jié)構(gòu)的液晶顯示裝置1。另外，形成有上述液晶層4的平面 區(qū)域(即密封劑7所包圍的區(qū)域)為顯示區(qū)域AA，邊框狀地包圍該顯 示區(qū)域AA的外側(cè)的區(qū)域為顯示外區(qū)域PA (參照圖3)。
在此，在本實施方式的制造方法中，在上述分支配線32、 33 (即 存儲電容線30)與外圍配線14的交叉部35 (參照圖8)，混入圖11 (在 此，狹縫部370A等、370A等、以及切口部360B等、370B等的圖示 省略)那樣的異物40的情況下，進行用于修正產(chǎn)生于存儲電容線30 與外圍配線14之間的泄漏的修正工序。另外，在本實施方式中，包括 在進行修正工序之前檢査異物40等的存在的檢査工序。
在修正工序中，首先，在分支配線32上，將存儲電容線30的分 支點31A與外圍配線14之間的一點，以及分支點31B與外圍配線14 之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用符號41及42表示 激光照射部)而切斷。其結(jié)果是，分支配線32被絕緣，能夠修正因泄 漏等引起的不良情況。
其次，在分支配線33上，利用形成于外圍配線14的狹縫部370A 等及切口部370B等進行不良修正。
具體而言，如圖12所示，按照使狹縫部370A的端部38和切口部 370B貫通的方式，將存在于這些狹縫部370A的端部38和切口部370B 之間的配線14A (外圍配線14)通過基于激光照射的激光切割(用符 號43表示激光照射部)而切斷，同樣，只要將存在于切口部370B和 切口部371B之間的配線14B通過激光切割(激光照射部44)而切斷， 將存在于切口部371B和狹縫部371A的端部38之間的配線14C通過 激光切割(激光照射部45)而切斷，將存在于狹縫部371A的端部38 和狹縫部370A的端部38之間的配線14D通過激光切割(激光照射部 46)而切斷，則該不良部位即異物40被電孤立，能夠修正泄漏等引起 的不良情況。另外，在本實施方式的制造方法中，在使柵極配線20分支的分支 配線22、 23與外圍配線14的交叉部25 (參照圖5)，即使在混入了圖 13 (在此，狹縫部260A等、270A等、以及切口部260B等、270B等 的圖示省略)那樣的異物50、 51的情況下，也能夠進行用于修正產(chǎn)生 于柵極配線20和外圍配線14之間的泄漏的修正工序。
具體而言，在分支配線22上，將柵極配線20的分支點21A與附 近設(shè)置的外圍配線14之間的一點，以及連接配線24與該外圍配線14 之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用符號52及53表示 激光照射部)而切斷。另一方面，在分支配線23上，將柵極配線20 的分支點21B與附近設(shè)置的外圍配線14之間的一點，以及連接配線 24與該外圍配線14之間的一點分別通過基于激光照射的激光切割(用 符號54及55表示激光照射部)而切斷。其結(jié)果是，能夠修正異物50、 51的混入產(chǎn)生的泄漏等不良情況，并且由于柵極配線20由連接配線 24將分支配線22的未切斷部和分支配線23的未切斷部連接，由此， 能夠仍然保持該柵極配線20的連接。
根據(jù)包括以上的修正工序的本實施方式的制造方法，能夠提供可 靠性高的液晶顯示裝置。即，在外圍配線14、柵極配線20或存儲電容 線30的各個交叉部25、 35，形成分支配線22、 23或分支配線32、 33， 因此，即使在該交叉部產(chǎn)生了泄漏等不良的情況下，通過將與該不良 部位相應(yīng)的分支配線切斷而能夠進行高效且可靠的修正。
另外，在上述交叉部25、 35，形成與分支配線22、 23或分支配線 32、 33交叉的狹縫部260A等、270A等或狹縫部360A等、370A等， 因此，上述分支配線因用于不良部位修正的切斷而剩余一根的情況下， 通過切除存在于該狹縫部之間的外圍配線14，也能夠可靠地修正不良 部位。
另外，對于存儲電容線30，在夾著外圍配線14的兩個部位形成分 支點31A、 31B，在這些分支點31A、 31B之間形成分支配線32、 33 (參照圖8及圖11)。
這樣，通過在夾著外圍配線14的兩個部位配置分支點31A、 31B， 存儲電容線30在與外圍配線14的交叉部35的前面配置分支點31A、
2731B，可以將分支配線32、 33在該交叉部35的前面切斷。其結(jié)果是， 能夠抑制切斷后的分支配線32與外圍配線14接觸而產(chǎn)生新的泄漏等 修正不良。
另外，關(guān)于狹縫部360A等、370A等，形成在與存儲電容線30相 比線寬度大的外圍配線14上，并且使狹縫部360A等與分支配線32交 叉、使狹縫部370A等與分支配線33交叉，分別獨立地與各分支配線 32、 33交叉的狀態(tài)。
這樣，通過在相對寬度大的外圍配線14上設(shè)置狹縫部360A等、 370A等，能夠抑制與之相伴的配線電阻的增大。而且，狹縫部360A 等、370A等與各分支配線32、 33獨立交叉，由此，與跨過多個分支 配線而設(shè)置狹縫部的情況相比，配線電阻不會增大到必要以上。
另外，對于狹縫部360A等、370A等，與其兩端部38的寬度相比， 除該兩端部38之外的內(nèi)側(cè)部39的寬度小。
這樣，將成為外圍配線14的切除的基點的兩端部38的寬度設(shè)定 為相對寬度較大，由此，能夠提高基于激光的切斷精度，因此，不會 產(chǎn)生切斷痕跡而能夠進行穩(wěn)定的修正作業(yè)。另一方面，內(nèi)側(cè)部39不需 要設(shè)定為切除基點，因此，將其寬度設(shè)定為比兩端部38更小，由此， 與僅以與兩端部38同樣的寬度設(shè)置均勻的狹縫部的情況相比，能夠減 小其面積，因此，能夠抑制外圍配線14的電阻的增大，難以帶來顯示 性能的降低。
另外，在外圍配線14上，與狹縫部360A等、370A等隔開規(guī)定間 隔而形成切口部360B等、370B等。
由此，通過切除存在于狹縫部370A等與切口部370B等之間的外 圍配線14,能夠切除泄漏發(fā)生部位。因此，能夠修正遍及大面積的不 良部位，即使混入比較大的異物40的情況下也能夠應(yīng)對。而且，與僅 延長狹縫部370A等的長度來實現(xiàn)可修正的面積的擴大的情況相比，能 夠抑制外圍配線14的電阻的增大，難以帶來顯示性能的降低。
另外，在柵極配線20上，在相鄰的外圍配線14的間隙部15形成 有連接該柵極配線20所分支的分支配線22、 23的連接配線24。
由此，在外圍配線14與兩分支配線22、 23分別交叉的位置發(fā)生不良的情況下，不需要進行利用比較麻煩的狹縫部260A等、270A等的修 正。即，即使在連接配線24的前面切斷兩分支配線22、 23，通過連接 配線24也能夠保持柵極配線20的連接，因此，能夠高效率進行不良部 位的修正。
(其它實施例)
以上，對本發(fā)明的實施方式進行了例示，但是，本發(fā)明不限于根 據(jù)上述敘述及

的實施方式，例如下面的實施方式也包括在本 發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。
(1) 在上述實施方式中，在形成柵極配線20及存儲電容線30后， 隔著柵極絕緣膜17形成了外圍配線14，但是，也可以在形成外圍配線 14后，隔著柵極絕緣膜17形成柵極配線20及存儲電容線30。
(2) 在上述實施方式中，構(gòu)成為在夾著外圍配線14的兩個部位 設(shè)置柵極配線20及存儲電容線30分支的分支點，但是，也可以構(gòu)成 為分支點設(shè)置在與外圍配線的交叉部。
(3) 在上述實施方式中，柵極配線20的結(jié)構(gòu)為，在夾著兩根外 圍配線14的兩個部位設(shè)置分支點21A、 21B，但是，由分支點21A、 21B夾著的外圍配線14的數(shù)量可以是任意的，例如，也可以在夾著配 設(shè)的全部外圍配線的兩個部位設(shè)置分支點。
(4) 在上述實施方式中，存儲電容線30的結(jié)構(gòu)為，在夾著一根 外圍配線14的兩個部位設(shè)置分支點31A、 31B，但是，由分支點31A、 31B夾著的外圍配線14的數(shù)量可以是任意的，例如，也可以構(gòu)成為， 在夾著比經(jīng)由接觸孔連接的外圍配線更靠顯示區(qū)域側(cè)配設(shè)的所有的外 圍配線的兩個部位設(shè)置分支點。
(5) 在上述實施方式中，將柵極配線20及存儲電容線30分支為 兩根分支配線，但是，分支配線的數(shù)量只要是兩根以上就可以是任意 的。但是，在該情況下，必須考慮伴隨分支配線寬度的減小導(dǎo)致電阻 的增大等。
(6) 在上述實施方式中，將狹縫部設(shè)置為內(nèi)側(cè)部的寬度比其兩端 部的寬度小，但是，例如圖14所示，也可以設(shè)定為均勻?qū)挾鹊莫M縫部 600A、 610A等。(7) 在上述實施方式中，將狹縫部的兩端部及切口部設(shè)定為矩形， 但是，只要具備比激光的光幅充分大的開口直徑即可，例如圖15所示， 也可以設(shè)定為具備圓形的端部的狹縫部630A等、640A等以及圓形的 切口部630B等、640B等。
(8) 在上述實施方式中，對于狹縫部只在一端部側(cè)設(shè)置切口部， 但是，只要是配線電阻允許的范圍內(nèi)，則也可以在兩側(cè)，且以任意列 形成。例如，可以設(shè)定為圖16所示的圖案的切口部660B等、670B等。
(9) 在上述實施方式中，例示了液晶顯示裝置，但是，對于例如 EL顯示裝置、等離子體顯示裝置等也可以采用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1、一種顯示裝置，其具備能夠顯示圖像的顯示區(qū)域和設(shè)置于所述顯示區(qū)域的外側(cè)的顯示外區(qū)域，其特征在于在所述顯示外區(qū)域形成有第一配線、和相對于所述第一配線隔著絕緣層配設(shè)的第二配線，并且形成有所述第一配線與所述第二配線交叉的交叉部，在所述交叉部，所述第二配線具備分支的多個分支配線，而所述第一配線具備與所述分支配線交叉的多個狹縫部。
2、 如權(quán)利要求l所述的顯示裝置，其特征在于 所述第二配線在夾著一至多個所述第一配線的兩個部位具備分支的分支點，在該兩個分支點之間形成有所述多個分支配線。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的顯示裝置，其特征在于 所述第一配線的寬度比所述第二配線的寬度大。
4、 如權(quán)利要求1 3中任一項所述的顯示裝置，其特征在于 所述顯示外區(qū)域形成為包圍所述顯示區(qū)域的邊框狀，所述第一配線和所述第二配線的至少一方為沿該邊框狀的顯示外區(qū)域的至少一邊 圍繞配置的外圍配線。
5、 如權(quán)利要求1 4中任一項所述的顯示裝置，其特征在于 在所述顯示區(qū)域形成有薄膜晶體管，所述第一配線為，圍繞在所述顯示外區(qū)域，且用于向所述顯示區(qū) 域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，所述第二配線的至少一個由用于向所述薄膜晶體管的柵極電極供 給柵極信號的柵極配線構(gòu)成。
6、 如權(quán)利要求1 5中任一項所述的顯示裝置，其特征在于在所述顯示區(qū)域形成有薄膜晶體管，所述第一配線為，圍繞所述顯示外區(qū)域，且用于向所述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，所述第二配線的至少一個由與所述外圍配線連接，且向與該外圍 配線交叉的方向延伸，并且向所述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的 存儲電容線構(gòu)成。
7、 如權(quán)利要求1 6中任一項所述的顯示裝置，其特征在于-所述第一配線形成有多個，所述分支配線跨越所述第一配線的至少兩根以上而形成， 所述第二配線在相鄰的所述第一配線的間隙部具備將所述多個分~4~^H ,. Ii ,山J r - 、一 XA"上L 、 _LA> /. l、又目c珠攸w:迕伎tf、j迕伎目d珠。
8、 如權(quán)利要求1 7中任一項所述的顯示裝置，其特征在于所述狹縫部不跨越多個所述分支配線的全部，而是與各分支配線 獨立交叉。
9、 如權(quán)利要求1 8中任一項所述的顯示裝置，其特征在于 所述狹縫部形成為，該狹縫部的除兩端部之外的內(nèi)側(cè)部的寬度比該狹縫部的兩端部的寬度小。
10、 如權(quán)利要求1 9中任一項所述的顯示裝置，其特征在于 在形成有所述狹縫部的所述第一配線上，與所述狹縫部隔開規(guī)定間隔形成有切口部。
11、 如權(quán)利要求1 10中任一項所述的顯示裝置，其特征在于 其具備在一對基板之間夾持液晶層的結(jié)構(gòu)，并且 形成有所述液晶層的平面區(qū)域為所述顯示區(qū)域。
12、 一種顯示裝置的制造方法，該顯示裝置具備能夠顯示圖像的 顯示區(qū)域和設(shè)置于所述顯示區(qū)域的外側(cè)的顯示外區(qū)域，所述制造方法 的特征在于，包括第一配線形成工序，在所述顯示外區(qū)域形成第一配線；第二配線形成工序，相對于所述第一配線隔著絕緣層形成第二配線；禾口修正工序，在所述各配線交叉的交叉部存在不良情況時，修正該 不良部位，其中在所述第一配線形成工序中，在所述交叉部，以具備多個狹縫部 的形式形成該第一配線，而在所述第二配線形成工序中，在所述交叉部，以具備分支的多 個分支配線的形式形成該第二配線，所述修正工序包括對所述分支配線中包含所述不良部位的分支配 線照射激光而切斷該分支配線的工序，而且還包括在通過所述切斷而 使所述分支配線剩余一根的情況下，以與所述分支配線交叉的所述狹 縫部的端部為基點對鄰接的配線照射激光，切除所述不良部位的工序。
13、 如權(quán)利要求12所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于 在所述第二配線形成工序中，在夾著一至多個所述第一配線的兩個部位形成用于進行分支的分支點，在該兩個分支點之間，以形成所 述多個分支配線的形式形成該第二配線。
14、 如權(quán)利要求12或13所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在所述第一配線形成工序中，將所述第一配線的寬度形成為比所 述第二配線的寬度大。
15、 如權(quán)利要求12 14中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其 特征在于-將所述顯示外區(qū)域形成為包圍所述顯示區(qū)域的邊框狀， 在所述第一配線形成工序和所述第二配線形成工序的至少一方， 沿所述邊框狀的顯示外區(qū)域的至少一邊圍繞配置該配線。
16、 如權(quán)利要求12 15中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其 特征在于-包括在所述顯示區(qū)域形成薄膜晶體管的工序，并且在所述第一配線形成工序中，在所述顯示外區(qū)域圍繞配置該第一 配線，形成向所述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，在所述第二配線形成工序中，至少形成向所述薄膜晶體管的柵極 電極供給柵極信號的柵極配線。
17、 如權(quán)利要求12 16中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于包括在所述顯示區(qū)域形成薄膜晶體管的工序，并且 在所述第一配線形成工序中，在所述顯示外區(qū)域圍繞配置該第一配線，形成向所述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形成用信號的外圍配線，在所述第二配線形成工序中，至少形成與所述外圍配線連接，且 向與該外圍配線交叉的方向延伸，并且向所述顯示區(qū)域內(nèi)供給電容形 成用信號的存儲電容線。
18、 如權(quán)利要求12 17中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在所述第一配線形成工序中，形成多個該第一配線， 在所述第二配線形成工序中，使所述分支配線跨越所述第一配線的至少兩根以上，并且在相鄰的所述第一配線的間隙部，形成將所述多個分支配線彼此連接的連接配線。
19、 如權(quán)利要求12 18中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其 特征在于在所述第一配線形成工序中，形成所述狹縫部，使其以不跨越多 個所述分支配線的全部的形式與各分支配線獨立交叉。
20、 如權(quán)利要求12 19中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其特征在于在所述第一配線形成工序中，形成所述狹縫部，使該狹縫部的除 兩端部之外的內(nèi)側(cè)部的寬度比該狹縫部的兩端部的寬度小。
21、如權(quán)利要求12 20中任一項所述的顯示裝置的制造方法，其 特征在于在所述第一配線形成工序中，以具備與所述狹縫部隔開規(guī)定間隔 的切口部的形式形成該第一配線。
全文摘要
本發(fā)明涉及顯示裝置、顯示裝置的制造方法。本發(fā)明的顯示裝置(1)，其具備能夠顯示圖像的顯示區(qū)域(AA)和設(shè)置于所述顯示區(qū)域(AA)的外側(cè)的顯示外區(qū)域(PA)，其特征在于在所述顯示外區(qū)域(PA)形成有第一配線(14)、和相對于所述第一配線(14)隔著絕緣層(17)配設(shè)的第二配線(20)，并且形成有所述第一配線(14)和所述第二配線(20)交叉的交叉部(25)，在所述交叉部(25)，所述第二配線(20)具備分支的多個分支配線(22、23)，而所述第一配線(14)具備與所述分支配線(22、23)交叉的多個狹縫部(260A等、270A等)。
文檔編號G09F9/00GK101681569SQ20078005335
公開日2010年3月24日 申請日期2007年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月15日
發(fā)明者中川英俊 申請人:夏普株式會社