專利名稱：薄膜半導(dǎo)體基板及其制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將具有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上連續(xù)貼合所形成的薄膜半導(dǎo)體基板及其制造裝置。
背景技術(shù)：
作為各種電子設(shè)備的顯示裝置，有平板顯示器，該平板顯示器一般來(lái)說(shuō)具有薄型、 重量輕、低功耗、顏色顯示也較容易等特征，基于上述特征而被廣泛地作為個(gè)人電腦或各種移動(dòng)信息終端的顯示器來(lái)使用(專利文獻(xiàn)1)。對(duì)于上述平板顯示器，不僅具有液晶顯示面板，還具有將TFT作為像素開(kāi)關(guān)元件使用的EL顯示面板等。作為這樣的平板顯示器，具有與塑料基板對(duì)置地對(duì)薄膜半導(dǎo)體基板進(jìn)行組合的結(jié)構(gòu)。作為薄膜半導(dǎo)體基板，存在如下結(jié)構(gòu)使用薄膜半導(dǎo)體技術(shù)、在絕緣基板上形成TFT元件(TFT =ThinFilm ^Transistor)、接觸式傳感器(contact sensor)、光電轉(zhuǎn)換元件等的薄膜半導(dǎo)體陣列(專利文獻(xiàn)2)。作為這樣的薄膜半導(dǎo)體陣列，例如，為了制作有源矩陣驅(qū)動(dòng)液晶顯示元件，需要在基板上形成TFT元件、MIM元件(Metal Insulator Metal)等，且作為主流基板采用玻璃基板。但是，作為面向塑料基板的TFT元件的形成，由于需要通過(guò)高溫工序，因此存在基板的熱膨脹、熱收縮的問(wèn)題，從而難以大量生產(chǎn)，因此，存在作為單側(cè)基板而使用塑料基板、另一側(cè)使用形成TFT元件的玻璃基板、兩者通過(guò)密封材料進(jìn)行貼合的結(jié)構(gòu)(專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2001-296817專利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2005-51208專利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)2007-17655發(fā)明公開(kāi)發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題關(guān)于這樣的薄膜半導(dǎo)體基板，在例如規(guī)定大小的單板狀的絕緣基板上形成有薄膜半導(dǎo)體陣列，使具有該薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板與塑料基板對(duì)置并進(jìn)行組合， 來(lái)制造平板顯示器。在這種情況下，例如對(duì)于單板狀的絕緣基板，為了防止保管或搬運(yùn)過(guò)程中的破損，需要收納基板的箱子或盒子(cassette case) 0因此，需要對(duì)這些容器拿出或放入基板的時(shí)間、工時(shí)以及保管空間，成為成本變高的一個(gè)重要原因。并且，為了制造平板顯示器，需要將單板狀的絕緣基板1張1張迅速地配置到塑料基板上的規(guī)定的位置，配置單板狀的絕緣基板的機(jī)構(gòu)精度高并且復(fù)雜，大量生產(chǎn)比較困難， 因此制造成本增大。并且，在制造平板顯示器的工序中，對(duì)于單板狀的絕緣基板與塑料基板，基板尺寸越大則溫度變化所引起的熱膨脹及熱收縮的差導(dǎo)致的尺寸差異越大，從而存在成為不合格產(chǎn)品的問(wèn)題。并且，存在基板尺寸越大型化則生產(chǎn)設(shè)備也變得大型、設(shè)備投資額增大、并且還需要廣闊的設(shè)置面積等技術(shù)問(wèn)題
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述實(shí)際情況所做出的，因此，目的在于提供一種薄膜半導(dǎo)體基板及其制造裝置，使平板顯示器的大量生產(chǎn)成為可能，并且保管、搬運(yùn)容易且便宜。解決技術(shù)問(wèn)題所采用的手段為了解決上述技術(shù)問(wèn)題并達(dá)成目的，本發(fā)明采用了如下結(jié)構(gòu)。技術(shù)方案1中記載的發(fā)明為一種薄膜半導(dǎo)體基板，用于與塑料基板對(duì)置并組合來(lái)制作平板顯示器，其特征在于由具有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合而得。技術(shù)方案2中記載的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于 所述絕緣基板構(gòu)成為，以在所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行保護(hù)的方式來(lái)層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜。技術(shù)方案3中記載的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1或2所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜是與所述塑料基板材質(zhì)相同的塑料膜。技術(shù)方案4中記載的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1至3中任意一項(xiàng)所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于所述薄膜半導(dǎo)體陣列的厚度為0. Imm以下。技術(shù)方案5中所述的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案1至4中任一項(xiàng)所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于所述塑料基板為濾色器。技術(shù)方案6中記載的發(fā)明為一種薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置，制造薄膜半導(dǎo)體基板，該薄膜半導(dǎo)體基板用于與塑料基板對(duì)置并組合來(lái)制作平板顯示器，其特征在于具有貼合部，將貼合有用于保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列的保護(hù)膜的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合；剝離部，通過(guò)加熱或者紫外線照射將所述保護(hù)膜剝離；層壓部，對(duì)所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜來(lái)保護(hù)所述薄膜半導(dǎo)體陣列；和卷繞部，將層壓著所述縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜的所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜卷繞為輥狀。技術(shù)方案7中記載的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案6所述的薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置， 其特征在于所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜是與所述塑料基板材質(zhì)相同的塑料膜。技術(shù)方案8中記載的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案6或7所述的薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置，其特征在于所述薄膜半導(dǎo)體陣列的厚度為0. Imm以下。發(fā)明效果根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明具有以下效果。在技術(shù)方案1中記載的發(fā)明中，為具有薄膜半導(dǎo)體陣列的輥狀的薄膜半導(dǎo)體基板，能夠?qū)⑤仩畋∧ぐ雽?dǎo)體基板與塑料基板對(duì)置、并且迅速地組合到正確的位置從而做出平板顯示器，并能夠進(jìn)行平板顯示器的大量生產(chǎn)。另外，由于為具有薄膜半導(dǎo)體陣列的輥狀的薄膜半導(dǎo)體基板，因此不需要特別的收納容器或保管空間，保管、搬運(yùn)也容易。在技術(shù)方案2中記載的發(fā)明中，利用縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜保護(hù)絕緣基板，能夠防止輥狀的薄膜半導(dǎo)體基板成為不合格產(chǎn)品。在技術(shù)方案3中記載的發(fā)明中，由于使用事先形成有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板，因此能夠采用耐熱性比半導(dǎo)體陣列的制造過(guò)程的溫度更低的縱長(zhǎng)狀的塑料膜，能夠防止由溫度變化產(chǎn)生的熱膨脹和熱收縮的差導(dǎo)致的尺寸差的發(fā)生。在技術(shù)方案4中記載的發(fā)明是薄膜半導(dǎo)體陣列厚度為0. Imm以下的薄型薄膜半導(dǎo)體基板。在技術(shù)方案5中記載的發(fā)明中，塑料基板為濾色器，能夠做出可顯示顏色的平板
顯不器。在技術(shù)方案6中記載的發(fā)明中，通過(guò)采用事先形成有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板、并使其在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合，從而能夠便宜地制造能夠以輥狀卷繞的薄膜半導(dǎo)體基板。在技術(shù)方案7中記載的發(fā)明中，由于使用事先形成有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板，因此能夠采用耐熱性比半導(dǎo)體陣列的制造過(guò)程的溫度更低的縱長(zhǎng)狀塑料膜，通過(guò)在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合，能夠得到能夠以輥狀卷繞的薄膜半導(dǎo)體基板。在技術(shù)方案8中記載的發(fā)明中，能夠得到薄膜半導(dǎo)體陣列的厚度為0. Imm以下的薄型薄膜半導(dǎo)體基板。
具體實(shí)施例方式下面，對(duì)本發(fā)明的薄膜半導(dǎo)體基板及其制造裝置的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的實(shí)施方式是表示發(fā)明的最優(yōu)方式，但不限定于此。(薄膜半導(dǎo)體基板)圖1是薄膜半導(dǎo)體基板的概略結(jié)構(gòu)圖。本實(shí)施方式的薄膜半導(dǎo)體基板與塑料基板對(duì)置并進(jìn)行組合而用于制作平板顯示器，由具有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4 在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上連續(xù)貼合而成。該絕緣基板4構(gòu)成為，以用縱長(zhǎng)狀的塑料膜2進(jìn)行保護(hù)的方式層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6。圖2是說(shuō)明薄膜半導(dǎo)體基板的制造的圖。在本實(shí)施方式中，對(duì)于薄膜半導(dǎo)體基板的制造，如圖2(a)所示，使用具有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4。該薄膜半導(dǎo)體陣列3通過(guò)保護(hù)膜5得到保護(hù)。單板狀的絕緣基板4如圖2(b)所示，在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2 上被連續(xù)貼合。然后，如圖2(c)所示，將保護(hù)膜5進(jìn)行加熱或者紫外線照射，從單板狀的絕緣基板4上將保護(hù)膜5剝離。將該保護(hù)膜5剝離后，如圖2(d)所示，以用縱長(zhǎng)狀的塑料膜 2進(jìn)行保護(hù)的方式對(duì)絕緣基板4層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜41。在本實(shí)施方式中，作為單板狀的絕緣基板4，使用蝕刻并薄板化后的玻璃基板，例如在厚度0. 7mm的無(wú)堿性玻璃基板上，利用一般的低溫多晶硅技術(shù)形成薄膜半導(dǎo)體陣列3， 進(jìn)一步利用專利文獻(xiàn)4中所記載的方法，將玻璃基板較薄地蝕刻加工到厚度不滿0. Imm來(lái)使用。作為薄膜半導(dǎo)體陣列3，使用例如TFT元件、接觸式傳感器、光電轉(zhuǎn)換元件等。專利文獻(xiàn)4 日本特開(kāi)2008-13389縱長(zhǎng)狀的塑料膜2使用撓性樹(shù)脂基材?？v長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6、保護(hù)膜5由撓性樹(shù)脂基材與粘著劑層構(gòu)成。撓性樹(shù)脂基材能夠使用例如聚酯膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜、聚碳酸酯膜、聚苯乙烯膜、三乙酰纖維素(triacetylcellulose)膜等，其中，能夠優(yōu)選地使用容易得到更加平滑的表面并且生產(chǎn)性良好的二軸延伸聚酯膜。撓性樹(shù)脂基材的厚度優(yōu)選30 300 μ m，若比30 μ m更薄則膜強(qiáng)度不足、或發(fā)生容易引起褶皺等問(wèn)題，并且若比300 μ m更厚則具有膜本身價(jià)格變高等問(wèn)題，但不限于此。
另外，在用于縱長(zhǎng)狀的塑料膜2的撓性樹(shù)脂基材中，能夠使用具有透明性的基材， 全光線透過(guò)率為80 %以上，更加優(yōu)選為90%以上，通過(guò)具有透明性，能夠讀出具有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4的位置確定標(biāo)記從而確定位置并進(jìn)行貼合。作為構(gòu)成粘著劑層的粘著劑，是指例如，將丙烯酸丁酯、丙烯酸乙酯、2-乙基己酯等的低Tg單體作為主單體，與丙烯酸、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸羥乙酯、羥乙基丙烯酸酯、 丙烯酰胺、丙烯腈等的官能團(tuán)單體共聚合而得到的丙烯酸共聚合體利用異氰酸酯類、三聚氰胺類、環(huán)氧類等的交聯(lián)劑進(jìn)行交聯(lián)而能夠得到的。圖3是表示平板顯示器的概略結(jié)構(gòu)的圖。本實(shí)施方式的平板顯示器使用圖1中所示的薄膜半導(dǎo)體基板。對(duì)于薄膜半導(dǎo)體基板，單板狀的絕緣基板4被連續(xù)貼合到縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上并具有薄膜半導(dǎo)體陣列3，能夠便宜地制造輥(roll)狀的薄膜半導(dǎo)體基板。在該平板顯示器的制造中，如圖3(a)所示，剝離縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6，并如圖3(b)所示，將薄膜半導(dǎo)體基板4與塑料基板7對(duì)置并進(jìn)行組合來(lái)做成平板顯示器。薄膜半導(dǎo)體基板4的縱長(zhǎng)狀的塑料膜2是與塑料基板7材質(zhì)相同的塑料膜。并且，由于使用事先形成有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4，因此能夠使用耐熱性比半導(dǎo)體陣列3的制造過(guò)程的溫度更低的縱長(zhǎng)狀的塑料膜2。并且，塑料基板7為濾色器，能夠做成可顯示顏色的平板顯示器。這樣，能夠?qū)⑤仩畹谋∧ぐ雽?dǎo)體基板與塑料基板4對(duì)置， 并且迅速地組合到準(zhǔn)確的位置上來(lái)做出平板顯示器。(薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置)圖4是薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。本實(shí)施方式的薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置1是制造薄膜半導(dǎo)體基板的裝置，該薄膜半導(dǎo)體基板用于與塑料基板對(duì)置并進(jìn)行組合來(lái)做出平板顯示器。該薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置1具有放卷部10、貼合部20、剝離部30、層壓部40和卷繞部50。在放卷部10中，配置有卷繞著縱長(zhǎng)狀的塑料膜2的放卷筒11，從該放卷筒11送出縱長(zhǎng)狀的塑料膜2。在該縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上設(shè)置有用于貼合的對(duì)位標(biāo)記60。在貼合部20，配置有圖像識(shí)別裝置21、貼合用輥22，貼合用平臺(tái)23。圖像識(shí)別裝置21使用例如CCD照相機(jī)等。貼合用輥22使用例如硬質(zhì)橡膠輥、樹(shù)脂輥等。貼合用平臺(tái) 23使用例如利用具有平面的樹(shù)脂所形成的平臺(tái)。通過(guò)供給機(jī)構(gòu)M的驅(qū)動(dòng)，來(lái)提供具有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4，并且在單板狀的絕緣基板4上設(shè)置有用于貼合的對(duì)位標(biāo)記61。圖像識(shí)別裝置21配置在檢測(cè)縱長(zhǎng)狀的塑料膜2的對(duì)位標(biāo)記60的位置上，并讀出單板狀的絕緣基板3與縱長(zhǎng)狀的塑料膜2的各自的對(duì)位標(biāo)記60、61，并根據(jù)讀出的對(duì)位標(biāo)記 60,61的信息，按照使縱長(zhǎng)狀的塑料膜2的對(duì)位標(biāo)記60與單板狀的絕緣基板3的對(duì)位標(biāo)記 60 一致的方式控制供給機(jī)構(gòu)M的移動(dòng)，執(zhí)行縱長(zhǎng)狀的塑料膜2與單板狀的絕緣基板3之間的對(duì)位。貼合用輥22將縱長(zhǎng)狀的塑料膜2壓合到單板狀的絕緣基板4，并且在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上連續(xù)貼合單板狀絕緣基板4，該單板狀的絕緣基板4上貼合有用于保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列3的保護(hù)膜5。作為剝離部30，在與保護(hù)膜5對(duì)置的位置上配置有剝離機(jī)構(gòu)31。利用該剝離機(jī)構(gòu)31將保護(hù)膜5進(jìn)行加熱或紫外線照射，從單板狀的絕緣基板4將保護(hù)膜5剝離。在層壓部40，配置有卷繞著縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6的放卷筒41，從該放卷筒41送出縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6。使用層壓輥42在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜6來(lái)保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列3。在卷繞部50，配置有卷繞筒51，通過(guò)卷繞筒51將層壓了縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜41后的縱長(zhǎng)狀的塑料膜2以輥狀卷繞。這樣，薄膜半導(dǎo)體的制造包含以下工序?qū)⒕哂斜∧ぐ雽?dǎo)體陣列3的多個(gè)單板狀的絕緣基板4在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上進(jìn)行連續(xù)貼合來(lái)形成薄膜半導(dǎo)體基板的工序；和將薄膜半導(dǎo)體基板以輥狀進(jìn)行卷繞的工序，能夠便宜地制造具有薄膜半導(dǎo)體陣列3的輥狀的薄膜半導(dǎo)體基板，保管及搬運(yùn)變得容易。另外，由于使用事先形成有薄膜半導(dǎo)體陣列3的單板狀的絕緣基板4，因此，能夠使用耐熱性比半導(dǎo)體陣列3的制造過(guò)程溫度更低的縱長(zhǎng)狀的塑料膜2，通過(guò)在縱長(zhǎng)狀的塑料膜2上連續(xù)貼合單板狀的絕緣基板4，能夠得到可按輥狀卷繞的薄膜半導(dǎo)體基板。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明能夠適用于將具有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合而得到的薄膜半導(dǎo)體基板及其制造裝置，能夠進(jìn)行平板顯示器的大量生產(chǎn)，并且不需要特別的收納容器或保管空間，保管、搬運(yùn)也容易并且便宜。


[0065 [0066 [0067 [0068 [0069 [0070 [0071 [0072 [0073 [0074 [0075 [0076 [0077 [0078 [0079 [0080 [0081
圖1是薄膜半導(dǎo)體基板的概略結(jié)構(gòu)圖。 圖2是說(shuō)明薄膜半導(dǎo)體基板的制造的圖。 圖3是表示平板顯示器的概略結(jié)構(gòu)的圖。 圖4是薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。 符號(hào)說(shuō)明
1薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置 2縱長(zhǎng)狀的塑料膜 3薄膜半導(dǎo)體陣列 4單板狀的絕緣基板 5保護(hù)膜
6縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜
7平板顯示器的塑料基板
10放卷部
20貼合部
30剝離部
40層壓部
50卷繞部
權(quán)利要求
1.一種薄膜半導(dǎo)體基板，用于與塑料基板對(duì)置并組合來(lái)制作平板顯示器，其特征在于該薄膜半導(dǎo)體基板由具有薄膜半導(dǎo)體陣列的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合而得。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于所述絕緣基板構(gòu)成為，以通過(guò)所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜進(jìn)行保護(hù)的方式層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于 所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜是與所述塑料基板材質(zhì)相同的塑料膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于 所述薄膜半導(dǎo)體陣列的厚度為0. Imm以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的薄膜半導(dǎo)體基板，其特征在于 所述塑料基板為濾色器。
6.一種薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置，制造薄膜半導(dǎo)體基板，該薄膜半導(dǎo)體基板用于與塑料基板對(duì)置并組合來(lái)制作平板顯示器，其特征在于該薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置具有貼合部，將貼合有用于保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列的保護(hù)膜的單板狀的絕緣基板在縱長(zhǎng)狀的塑料膜上進(jìn)行連續(xù)貼合；剝離部，通過(guò)加熱或者紫外線照射將所述保護(hù)膜剝離；層壓部，對(duì)所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜來(lái)保護(hù)所述薄膜半導(dǎo)體陣列；和卷繞部，將層壓著所述縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜的所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜卷繞為輥狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置，其特征在于 所述縱長(zhǎng)狀的塑料膜是與所述塑料基板材質(zhì)相同的塑料膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的薄膜半導(dǎo)體基板的制造裝置，其特征在于 所述薄膜半導(dǎo)體陣列的厚度為0. Imm以下。
全文摘要
(課題)能夠進(jìn)行平板顯示器的大量生產(chǎn)，并且保管、搬運(yùn)容易且便宜。(解決手段)一種與塑料基板對(duì)置并進(jìn)行組合從而用于做出平板顯示器的薄膜半導(dǎo)體基板，由具有薄膜半導(dǎo)體陣列(3)的單板狀的絕緣基板(4)在縱長(zhǎng)狀的塑料膜(2)上連續(xù)貼合而得到。一種制造用于與塑料基板對(duì)置并進(jìn)行組合從而做出平板顯示器的薄膜半導(dǎo)體基板的裝置，具有貼合部(20)，將貼合有用于保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列(3)的保護(hù)膜(5)的單板狀的絕緣基板(4)在縱長(zhǎng)狀的塑料膜(2)上進(jìn)行連續(xù)貼合；剝離部(30)，通過(guò)加熱或者紫外線照射將保護(hù)膜(5)剝離；層壓部(40)，在縱長(zhǎng)狀的塑料膜(2)上層壓縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜(6)來(lái)保護(hù)薄膜半導(dǎo)體陣列(3)；和卷繞部(50)，將層壓有縱長(zhǎng)狀的保護(hù)膜(6)的縱長(zhǎng)狀的塑料膜(2)卷繞為輥狀。
文檔編號(hào)G09F9/00GK102224535SQ200980128840
公開(kāi)日2011年10月19日 申請(qǐng)日期2009年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月24日
發(fā)明者中正敏, 大內(nèi)潔, 大槻重義, 江口敏正, 竹知和重 申請(qǐng)人:住友電木株式會(huì)社, 日本電氣株式會(huì)社