專利名稱：貼合裝置以及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)貼合例如液晶模塊和覆蓋面板這樣的平板狀的工件的技術(shù)進(jìn)行改 進(jìn)的貼合裝置以及其控制方法。
背景技術(shù)：
一般來(lái)講，液晶面板通過(guò)層積液晶模塊、保護(hù)其表面的保護(hù)片和操作用的觸摸面 板等構(gòu)成。這些液晶模塊、保護(hù)片和觸摸面板等(以下稱為工件)組裝在液晶模塊的框體 中，為了避免由保護(hù)面板或觸摸面板的變形產(chǎn)生的與液晶玻璃的接觸，在相互之間形成空 間。但是，當(dāng)在液晶模塊、保護(hù)片、觸摸面板等(以下稱為工件)間進(jìn)入空氣的層時(shí)，由 外光反射使顯示面的視認(rèn)性降低。為了解決這個(gè)問題，利用雙面膠帶或粘接劑等的粘貼材 料進(jìn)行貼合，以便形成埋入工件間的層。為此，在制造液晶面板時(shí)，針對(duì)至少一個(gè)工件，準(zhǔn)備該粘貼材料，還需要進(jìn)行貼合 的貼合裝置。另外，為了防止在貼合的工件間混入氣泡等，理想的是在真空中進(jìn)行貼合。因 此，在貼合裝置中還需要設(shè)置真空腔等。作為這樣貼合工件的技術(shù)，例如提出了在專利文獻(xiàn)1 3所示的方案。專利文獻(xiàn) 1以及2所記述的技術(shù)，是在真空中貼合工件的方法。專利文獻(xiàn)3所記述的技術(shù)，是為了高 效地進(jìn)行貼合、由間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)使保持工件的裝置移動(dòng)并依次進(jìn)行處理的技術(shù)。先前技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本特開2004-170974號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2004-170975號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本專利第3595125號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題但是，為了使工件準(zhǔn)確定位，理想的是設(shè)置在平面上可在正交方向(X-Y方向)以 及旋轉(zhuǎn)方向(Θ方向)位移的X-Y-θ工作臺(tái)。但是，當(dāng)該X-Y-θ工作臺(tái)包含驅(qū)動(dòng)它的驅(qū)動(dòng) 源等時(shí)，會(huì)成為大型設(shè)備。為此，當(dāng)把X-Y-θ工作臺(tái)搭載于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)時(shí)，會(huì)牽涉裝置整體 的大型化，同時(shí)電源以及控制線的處理也變得復(fù)雜。進(jìn)而，當(dāng)包含驅(qū)動(dòng)源等在內(nèi)地把X-Y- θ 工作臺(tái)整體收納在真空腔內(nèi)、要保證密閉時(shí)，真空腔也會(huì)變大。這樣大型化的結(jié)果會(huì)增加裝 置的制造成本。本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題而提出的，其主要目的是提供可以使用旋 轉(zhuǎn)工作臺(tái)高效地進(jìn)行工件的定位和貼合、同時(shí)又廉價(jià)且小型的貼合裝置以及其控制方法。另外，本發(fā)明的另一目的是提供可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作、不會(huì)混入氣泡或灰塵等、可進(jìn)行 高精度貼合的貼合裝置以及其控制方法。
解決課題的手段為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的貼合裝置，其貼合構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件，其特征在 于，具有對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè)置多個(gè)、保持一 對(duì)工件的保持裝置，設(shè)置在所述保持裝置上、對(duì)一對(duì)工件中的至少一個(gè)進(jìn)行定位的定位部， 通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)施力來(lái)貼合一對(duì)工件的推壓裝置；驅(qū)動(dòng)所 述定位部的驅(qū)動(dòng)部設(shè)置成與所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)獨(dú)立且相對(duì)所述定位部裝脫自由。在以上的本發(fā)明中，在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)，可以把保持裝置從驅(qū)動(dòng)部分離，使其隨 著旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)而移動(dòng)。為此，不必在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上搭載驅(qū)動(dòng)部，也不需要電源以及控 制線。另外，由于可以搭載多臺(tái)保持裝置，所以可實(shí)現(xiàn)高速且高效的貼合。另外，由于可以 只在一處設(shè)置驅(qū)動(dòng)部，所以可廉價(jià)地構(gòu)成。進(jìn)而，由于可在定位后的保持裝置上進(jìn)行貼合， 所以可進(jìn)行精度高的貼合。另一方案的特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置裝脫自由地設(shè)置有剝離 裝置，該剝離裝置剝離貼附在至少一個(gè)工件上的雙面膠帶的剝離紙。在以上的發(fā)明中，因?yàn)橄鄬?duì)于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝脫自由地設(shè)置剝離裝置，所以可以更 換例如粘接劑的涂敷裝置那樣用于準(zhǔn)備粘貼材料的其它種類的裝置，由此可對(duì)應(yīng)多種產(chǎn)品。另一方案的特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置有剝離裝置，該剝離裝 置剝離貼附在至少一個(gè)工件上的雙面膠帶的剝離紙，所述剝離裝置具有向剝離紙推壓粘 接帶的剝離頭，向所述剝離頭供給粘接帶的供給部，纏繞來(lái)自所述剝離頭的粘接帶的纏繞 部，以從與所述剝離頭中的所述粘接帶的長(zhǎng)度方向不同的方向由所述供給部供給所述粘接 帶的方式、改變粘接帶的供給方向的改變部。在以上的發(fā)明中，因?yàn)閬?lái)自供給部的粘接帶的供給方向與剝離頭中的粘接帶的長(zhǎng) 度方向不同，所以可縮小該長(zhǎng)度方向的裝置空間。另一方案的特征在于，在從所述供給部到所述剝離頭之間以及從所述剝離頭到所 述纏繞部之間設(shè)置有引導(dǎo)粘接帶移動(dòng)的引導(dǎo)部件，對(duì)應(yīng)于剝離剝離紙的工件的位置，所述 剝離頭以及所述引導(dǎo)部件的配置不同的多個(gè)單元能夠進(jìn)行更換地構(gòu)成。在以上的發(fā)明中，能夠由改變部在與剝離頭中粘接帶的長(zhǎng)度方向不同的位置配置 供給部。為此，供給部以及纏繞部可以保持原樣地準(zhǔn)備剝離頭以及引導(dǎo)部件的配置不同的 多個(gè)單元，通過(guò)對(duì)其進(jìn)行更換，可對(duì)應(yīng)針對(duì)不同位置的工件的剝離紙的剝離。另一方案的特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置設(shè)置有分別檢測(cè)一對(duì)工 件中的方形的角部三點(diǎn)的檢測(cè)裝置，具有把構(gòu)成方形的對(duì)角線的兩端的兩點(diǎn)的中點(diǎn)作為 工件的重心進(jìn)行計(jì)算的重心計(jì)算部，基于構(gòu)成方形的邊的兩點(diǎn)計(jì)算工件的傾斜的傾斜計(jì)算 部，基于所述重心以及所述傾斜計(jì)算所述定位部的控制量的定位運(yùn)算部。另一方案是貼合裝置的控制方法，其通過(guò)由計(jì)算機(jī)或電路控制貼合裝置來(lái)貼合一 對(duì)工件，該貼合裝置具有對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè) 置多個(gè)、保持構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件的保持裝置，設(shè)置在所述保持裝置上、對(duì)一對(duì)工件中 的至少一個(gè)進(jìn)行定位的定位部，通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)施力來(lái)貼 合一對(duì)工件的推壓裝置；其特征在于，所述計(jì)算機(jī)或電路具有檢測(cè)部、重心計(jì)算部、傾斜 計(jì)算部和定位運(yùn)算部，所述檢測(cè)部檢測(cè)一對(duì)工件中的方形的角部三點(diǎn)，所述重心計(jì)算部把構(gòu)成方形的對(duì)角線兩端的兩點(diǎn)的中點(diǎn)作為工件的重心進(jìn)行計(jì)算，所述傾斜計(jì)算部基于構(gòu)成 方形的邊的兩點(diǎn)計(jì)算工件的傾斜，所述定位運(yùn)算部基于所述重心以及所述傾斜計(jì)算所述定 位部的控制量。在以上的發(fā)明中，因?yàn)榭赏ㄟ^(guò)檢測(cè)各個(gè)方形的三點(diǎn)來(lái)計(jì)算一對(duì)工件的重心和傾 斜，確定定位量，所以可將處理負(fù)擔(dān)抑制為最小限度，能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的定位。另一方案的特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置設(shè)置檢測(cè)一對(duì)工件的位 置的檢測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置具有對(duì)一個(gè)工件進(jìn)行攝像的第一照相機(jī)，插入在一對(duì)工件之 間、對(duì)另一個(gè)工件進(jìn)行攝像的第二照相機(jī)，在所述第二照相機(jī)中的與所述第一照相機(jī)相向 的面設(shè)置反射部。在以上的發(fā)明中，由于即使在工件發(fā)生彎曲等時(shí)，來(lái)自第一照相機(jī)側(cè)的照射光可 由第二照相機(jī)的反射面反射，在第一照相機(jī)中進(jìn)行受光，所以可切實(shí)地進(jìn)行檢測(cè)。另一方案的特征在于，所述推壓裝置具有可與所述驅(qū)動(dòng)部獨(dú)立地收納所述定位部 中的保持工件的部分的真空腔。在以上的發(fā)明中，由于用于進(jìn)行真空貼合的真空腔收納保持裝置的定位部中的保 持工件的部分，不收納驅(qū)動(dòng)部也可以，所以可達(dá)成小型化。另一方案的特征在于，具有與真空源連通的通氣路徑，具有使一個(gè)工件真空吸附 于所述定位部的吸附部，和把所述通氣路徑切換到真空源側(cè)和真空腔側(cè)的閥。在以上的發(fā)明中，由于在減壓真空腔而形成真空時(shí)通過(guò)切換閥，可以把用于真空 吸附工件的通氣路徑設(shè)置成壓力與真空腔內(nèi)部相同，所以可防止工件脫落。另一方案的特征在于，具有設(shè)于所述真空腔內(nèi)的真空計(jì)，存儲(chǔ)電壓值和用于計(jì)算 與其對(duì)應(yīng)的壓力的多個(gè)多項(xiàng)近似式的存儲(chǔ)部，基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中的電壓值以及多項(xiàng) 近似式來(lái)選擇與來(lái)自所述真空計(jì)的電壓值對(duì)應(yīng)的多項(xiàng)近似式的式選擇部，基于所選擇的多 項(xiàng)近似式計(jì)算壓力的壓力運(yùn)算部。另一方案是一種貼合裝置的控制方法，其通過(guò)由控制裝置控制貼合裝置來(lái)貼合一 對(duì)工件，該貼合裝置具有對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè) 置多個(gè)、保持構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件的保持裝置，設(shè)在所述保持裝置上、對(duì)一對(duì)工件中的 至少一個(gè)進(jìn)行定位的定位部，通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)施力來(lái)貼合 一對(duì)工件的推壓裝置，設(shè)于所述推壓裝置、可與所述驅(qū)動(dòng)部獨(dú)立收納保持所述定位部的工 件的部分的真空腔，設(shè)在所述真空腔內(nèi)的真空計(jì)；其特征在于，所述控制裝置具有存儲(chǔ)部、 式選擇部和壓力運(yùn)算部，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)電壓值和用于計(jì)算與其對(duì)應(yīng)的壓力的多個(gè)多項(xiàng)近 似式，所述式選擇部基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中的電壓值以及多項(xiàng)近似式來(lái)選擇與來(lái)自所述 真空計(jì)的電壓值對(duì)應(yīng)的多項(xiàng)近似式，所述壓力運(yùn)算部基于所選擇的多項(xiàng)近似式計(jì)算壓力。在以上的發(fā)明中，由于可對(duì)應(yīng)于由真空計(jì)檢測(cè)的電壓值選擇適當(dāng)?shù)亩囗?xiàng)近似式， 所以可用低次數(shù)的近似函數(shù)進(jìn)行高精度的壓力計(jì)算。另外，由于總是僅進(jìn)行由單純一個(gè)函 數(shù)形成的運(yùn)算處理即可，所以可減輕處理負(fù)擔(dān)。另一方案的特征在于，在所述定位部以及所述推壓部中至少一方的與工件的接觸 面上，設(shè)置在彈性部件上貼附有多孔質(zhì)片的保護(hù)部件。在以上的發(fā)明中，由于通過(guò)在彈性部件上貼附多孔質(zhì)片來(lái)構(gòu)成保護(hù)部件，所以可 吸收在貼合時(shí)對(duì)工件的沖擊，同時(shí)防止工件向彈性部件貼附。
另一方案的特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置，裝脫自由地設(shè)置在至 少一個(gè)工件上涂敷粘接劑的涂敷裝置。在以上的發(fā)明中，因?yàn)橄鄬?duì)于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)裝脫自由地設(shè)置涂敷裝置，所以可以更 換用于準(zhǔn)備粘貼材料的其它種類的裝置，所以可對(duì)應(yīng)多種產(chǎn)品。發(fā)明的效果如以上說(shuō)明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠使用旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)高效地進(jìn)行工件 的定位與貼合并且廉價(jià)且小型的貼合裝置以及其控制方法。另外，根據(jù)本發(fā)明，可提供能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的運(yùn)行、不會(huì)混入氣泡或灰塵等、可達(dá)成 高精度的貼合的貼合裝置以及其控制方法。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的整體構(gòu)成的概略平面圖。圖2是表示圖1的實(shí)施方式中的保持裝置的縱剖面圖。圖3是表示圖2的保持裝置中的保持部以及吸附部的立體圖。圖4是表示圖1的實(shí)施方式中的定位部的縱剖面圖。圖5是表示圖4的定位部中的X方向以及Y方向的定位的平面圖。圖6是表示圖4的定位部中的θ方向的定位的平面圖。圖7是表示圖4的定位部中的鎖定部的鎖定解除時(shí)的縱剖面圖。圖8是表示圖7的鎖定時(shí)的縱剖面圖。圖9是圖7的平面圖。圖10是表示圖1的實(shí)施方式中的壓接部的吸附時(shí)的縱剖面圖。圖11是表示圖10的壓接部的吸附開放時(shí)的縱剖面圖。圖12是表示圖10的三向閥(A)、圖11的三向閥⑶的縱剖面圖。圖13是表示圖1的實(shí)施方式中的剝離裝置(第一單元)的側(cè)面圖。圖14是圖13的平面圖。圖15是圖13的背面圖。圖16是表示圖1的實(shí)施方式中的剝離裝置(第二單元)的側(cè)面圖。圖17是表示由圖13的剝離裝置進(jìn)行的剝離的說(shuō)明圖。圖18是表示由圖16的剝離裝置進(jìn)行的剝離的說(shuō)明圖。圖19是表示由現(xiàn)有技術(shù)的剝離裝置進(jìn)行的下側(cè)剝離(A) (B)、上側(cè)剝離(C) (D)的 說(shuō)明圖。圖20是表示圖1的實(shí)施方式中的檢測(cè)裝置的立體圖。圖21是表示圖20的檢測(cè)裝置的側(cè)面圖。圖22是表示圖20的檢測(cè)裝置中的同軸反射照明的受光的說(shuō)明圖。圖23是表示圖1的實(shí)施方式中的推壓裝置的真空腔上升時(shí)的縱剖面圖。圖M是表示圖23的推壓裝置的真空腔下降時(shí)的縱剖面圖。圖25是表示圖23的推壓裝置的加壓頭下降時(shí)的縱剖面圖。圖沈是表示圖1的實(shí)施方式的控制裝置的功能方框圖。圖27是表示圖沈的真空運(yùn)算部的功能方框圖。
圖觀是表示圖1的實(shí)施方式中的定位次序的流程圖。圖四是表示圖1的實(shí)施方式中的定位次序的說(shuō)明圖。圖30是表示圖1的實(shí)施方式中的貼合次序的流程圖。圖31是表示由現(xiàn)有技術(shù)的真空計(jì)得到的檢測(cè)電壓和壓力的關(guān)系的表格的說(shuō)明 圖。圖32是表示將圖31的表格曲線化的說(shuō)明圖。圖33是表示由本實(shí)施方式中的真空計(jì)得到的檢測(cè)電壓和壓力的關(guān)系的曲線的說(shuō) 明圖。圖34是表示圖33的曲線的(1)段的說(shuō)明圖。圖35是表示圖33的曲線的(2)段的說(shuō)明圖。圖36是表示圖33的曲線的(3)段的說(shuō)明圖。圖37是表示使用本發(fā)明的粘接劑的涂敷裝置時(shí)的一個(gè)實(shí)施方式的簡(jiǎn)略平面圖。圖38是表示另一檢測(cè)裝置的一例的縱剖面圖。圖39是表示另一檢測(cè)裝置的一例的縱剖面圖。圖40是表示貼合的工件的一例的立體圖。圖41是表示圖40的對(duì)位例的說(shuō)明圖。圖42是表示圖40的實(shí)施方式中的定位次序的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式下表面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式(以下稱實(shí)施方式)進(jìn)行具體說(shuō)明。[A.構(gòu)成][1.整體構(gòu)成]首先，對(duì)本實(shí)施方式的貼合裝置(以下稱本裝置)的整體構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。如圖1 所示，本裝置是在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上搭載四臺(tái)保持裝置2的設(shè)備。旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1構(gòu)成為，由分 度機(jī)構(gòu)11與放入取出位置1A、粘貼材料準(zhǔn)備位置1B、定位位置IC和真空貼合位置ID對(duì)應(yīng) 地間歇旋轉(zhuǎn)。如圖2以及圖3所示，保持裝置2是使工件Sl以及工件S2上下相向地對(duì)其進(jìn)行 保持的裝置。在本實(shí)施方式中，作為工件S1、S2，例如使用液晶模塊和覆蓋面板這樣的長(zhǎng)方 形狀的基板。在工件S1、S2上，對(duì)應(yīng)于假想的長(zhǎng)方形或正方形的四個(gè)頂點(diǎn)，設(shè)置檢測(cè)用的標(biāo) 記Ml、M2。該保持裝置2具有使工件Si、S2的位置對(duì)位的定位部300等。在粘貼材料準(zhǔn)備位置1B，裝脫自由地設(shè)置剝離裝置3或涂敷裝置。如圖10 13 所示，剝離裝置3是將預(yù)先粘貼在工件Sl上的雙面膠帶Tl的剝離紙(剝離片等，不考慮材 質(zhì))F剝離的裝置。涂敷裝置沒有圖示，是在工件Sl上涂敷粘接劑的裝置。作為涂敷裝置， 可以使用周知的裝置。如圖17以及圖18所示，在定位位置1C，設(shè)置檢測(cè)工件Si、S2的位置的檢測(cè)裝置 4?；谟稍摍z測(cè)裝置4檢測(cè)的值，確定定位部300中的工件Sl相對(duì)工件S2的定位量。如圖2、圖20 22所示，在真空貼合位置1D，設(shè)置推壓裝置5。該推壓裝置5在真 空腔51內(nèi)的減壓空間中，將工件S2壓向工件Sl側(cè)推壓，由此可以把兩者貼合在一起。[2.保持裝置]
接著，對(duì)各部分進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，如圖2 9所示，保持裝置2具備保持部100、 支柱部200、定位部300、驅(qū)動(dòng)部400、吸附部500和鎖定部600。[2-1.保持部]如圖3所示，保持部100是保持工件S2的左右邊緣的大體二字形的框。[2-2.支柱部]支柱部200是在垂直方向豎立的兩根柱狀部件。由該支柱部200可升降地支承保 持部100。保持部100在初期位置，位于離開工件Sl的上方，把工件S2保持在水平方向。 另外，在貼合時(shí)，由推壓裝置5將保持部100與工件S2 —起向下方推壓而下降，進(jìn)行工件Sl 和工件S2的貼合。[2-3.定位部]如圖4所示，定位部300具有由固定在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上的架臺(tái)Ia支承的載置部 310、X軸部320、Y軸部330和θ軸部340等。[2-3-1.載置部]載置部310具有X-Y-θ工作臺(tái)311、軸部312、可動(dòng)臺(tái)313、波紋管314以及帶輪 315 οX-Y- θ工作臺(tái)311是用于定位工件Sl的水平的工作臺(tái)。該X-Y- θ工作臺(tái)311設(shè) 置成在水平面上可在正交的直線方向(X方向以及Y方向)移動(dòng)，且能以軸部312為中心轉(zhuǎn) 動(dòng)(Θ方向)。軸部312是垂直方向的柱狀部件。軸部312的上端可轉(zhuǎn)動(dòng)地與Χ_Υ_ θ工作臺(tái)311 連結(jié)。軸部312的下端貫穿旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1而固定在可動(dòng)臺(tái)313上。如后面敘述，可動(dòng)臺(tái)313 設(shè)置成可由X軸部320以及Y軸部330在X軸以及Y軸方向移動(dòng)。在可動(dòng)臺(tái)313與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1之間，安裝覆蓋軸部312的波紋管314。波紋管314 的安裝端的氣密得到確保。另外，波紋管314由于具有撓性，所以能對(duì)應(yīng)于可動(dòng)臺(tái)313的移 動(dòng)，在保持氣密的狀態(tài)下柔軟地位移。帶輪315固定在X-Y-θ工作臺(tái)311上。在該帶輪 315上掛設(shè)有后述的正時(shí)皮帶343。[2-3-2. X 軸部]X軸部320具有旋轉(zhuǎn)軸321、偏心輥322以及銜鐵323等。旋轉(zhuǎn)軸321是可由驅(qū)動(dòng) 部400旋轉(zhuǎn)的垂直方向的部件。偏心輥322安裝在旋轉(zhuǎn)軸321的上端。如圖5所示，該偏 心輥322插入在形成于可動(dòng)臺(tái)313的Y方向的槽313a中。為此，偏心輥322跟隨旋轉(zhuǎn)軸321的旋轉(zhuǎn)而對(duì)槽313a的內(nèi)壁施力，可使可動(dòng)臺(tái)313 在X方向移動(dòng)。此時(shí)，軸部312以及X-Y-θ工作臺(tái)311與可動(dòng)臺(tái)313—起在X方向移動(dòng)。銜鐵323安裝在旋轉(zhuǎn)軸321的下端。該銜鐵323可裝脫地設(shè)于后述的離合器420 上。通過(guò)銜鐵323與離合器420連接，可實(shí)現(xiàn)由驅(qū)動(dòng)部400對(duì)旋轉(zhuǎn)軸321的驅(qū)動(dòng)。[2-3-3. Y 軸部]Y軸部330具有旋轉(zhuǎn)軸331、偏心輥332以及銜鐵333等。旋轉(zhuǎn)軸331是可由驅(qū)動(dòng) 部400旋轉(zhuǎn)的垂直方向的部件。偏心輥332安裝在旋轉(zhuǎn)軸331的上端。如圖5所示，該偏 心輥332插入在形成于可動(dòng)臺(tái)313的X方向的槽31 中。為此，偏心輥332跟隨旋轉(zhuǎn)軸331的旋轉(zhuǎn)對(duì)槽31 的內(nèi)壁施力，可使可動(dòng)臺(tái)313 在Y方向移動(dòng)。此時(shí)，軸部312以及X-Y-θ工作臺(tái)311與可動(dòng)臺(tái)313—起在Y方向移動(dòng)。
銜鐵333安裝在旋轉(zhuǎn)軸331的下端。該銜鐵333可裝脫地設(shè)于后述的離合器430 上。通過(guò)銜鐵333與離合器430連接，可實(shí)現(xiàn)由驅(qū)動(dòng)部400對(duì)旋轉(zhuǎn)軸331的驅(qū)動(dòng)。[2-3-4. θ 軸部]θ軸部340具有上旋轉(zhuǎn)軸341、帶輪342、正時(shí)皮帶343、波紋管聯(lián)接器344、下旋轉(zhuǎn) 軸345以及銜鐵346等。上旋轉(zhuǎn)軸341是垂直方向的部件，在其上端固定帶輪342。在帶輪 342上掛設(shè)著正時(shí)皮帶343。由此，如圖6所示，當(dāng)上旋轉(zhuǎn)軸341轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，其轉(zhuǎn)動(dòng)經(jīng)由正時(shí)皮 帶343傳遞給帶輪315，所以，X-Y-θ工作臺(tái)311轉(zhuǎn)動(dòng)。上旋轉(zhuǎn)軸341的下端與波紋管聯(lián)接器344的上端連結(jié)。該波紋管聯(lián)接器344是由 吸收X方向以及Y方向的錯(cuò)位的撓性波紋管構(gòu)成的連結(jié)部件。在波紋管聯(lián)接器344的下端 連結(jié)下旋轉(zhuǎn)軸；345。下旋轉(zhuǎn)軸345是垂直方向的部件，其旋轉(zhuǎn)經(jīng)由波紋管聯(lián)接器344傳遞給 上旋轉(zhuǎn)軸;341。銜鐵346安裝在下旋轉(zhuǎn)軸345的下端。該銜鐵346可裝脫地設(shè)于后述的離合器 440上。通過(guò)銜鐵346與離合器420連接，可實(shí)現(xiàn)由驅(qū)動(dòng)部400對(duì)下旋轉(zhuǎn)軸345、上旋轉(zhuǎn)軸 341的驅(qū)動(dòng)。[2-4.驅(qū)動(dòng)部]驅(qū)動(dòng)部400具有固定工作臺(tái)410、離合器420、430、440、馬達(dá)450、460、470等。固 定工作臺(tái)410是固定于旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的下部的工作臺(tái)。在該固定工作臺(tái)410中對(duì)應(yīng)于X軸 部320、Y軸部330、θ軸部340的位置上，固定離合器420、430、440。另外，在離合器420、 430,440上分別連接傳遞旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)450、460、470。當(dāng)對(duì)線圈421、431、441通電時(shí)，離合器420,430,440由在轉(zhuǎn)子422、432、442和銜 鐵323、333、346之間產(chǎn)生的磁通，吸附銜鐵323、333、346。由此，馬達(dá)450,460,470的驅(qū)動(dòng) 力可傳遞給X軸部320、Y軸部330、θ軸部340。[2-5.鎖定部]如圖4、圖7 圖9所示，鎖定部350具有制動(dòng)器板351、制動(dòng)器352、升降軸353、 彈簧354、被推壓部355、缸356等。制動(dòng)器板351是固定在可動(dòng)臺(tái)313上的例如彈簧鋼板。 制動(dòng)器352是通過(guò)在與架臺(tái)Ia的一部分之間夾著制動(dòng)器板351進(jìn)行壓接來(lái)鎖定可動(dòng)臺(tái)313 的部件。對(duì)于制動(dòng)器352的與制動(dòng)器板351的接觸面，例如使用橡膠襯里等的防滑部件。升降軸353設(shè)置成可貫穿架臺(tái)Ia地進(jìn)行升降。在升降軸353的上端安裝制動(dòng)器 板351。彈簧3Μ是對(duì)升降軸353向下方施力的彈簧等的施力部件。被推壓部355安裝在 升降軸353的下端。缸356是固定在固定工作臺(tái)410上、通過(guò)對(duì)來(lái)到其上部的被推壓部355 施力而解除鎖定的機(jī)構(gòu)。另外，圖示的鎖定部350是與X軸部320對(duì)應(yīng)的部件，其它雖沒有 圖示，但與Y軸部330、θ軸部340對(duì)應(yīng)地分別設(shè)置有同樣結(jié)構(gòu)的鎖定部。[2-6.吸附部]如圖10以及圖11所示，吸附部500具有吸附板510、三向閥520、吸附泵530(參 照?qǐng)D26)等。吸附板510固定在X-Y-θ工作臺(tái)311上。在吸附板510上，安裝有在橡膠等 的彈性部件的表面上帖附了聚氨酯多孔質(zhì)膜制的片的保護(hù)部件511。在吸附板510以及保 護(hù)部件511，形成有未圖示的吸附孔。該吸附孔經(jīng)由形成于吸附板510內(nèi)的通氣路徑與配管 512的一端連接。三向閥520固定在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1。該三向閥520具有內(nèi)管部521、上側(cè)閥522、下側(cè)閥523、桿524以及被推壓部525等。內(nèi)管部521是在垂直方向連續(xù)的管。該內(nèi)管部521 貫穿旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1地在其上表面?zhèn)纫约跋卤砻鎮(zhèn)韧怀觥Ｔ谙蛐D(zhuǎn)工作臺(tái)1的上表面?zhèn)韧怀龅膬?nèi)管部521上連接上述的配管512的另一 端。由此，X-Y-θ工作臺(tái)311的吸附孔和內(nèi)管部521經(jīng)由通氣路徑連通。在向旋轉(zhuǎn)工作臺(tái) 1的下表面?zhèn)韧怀龅膬?nèi)管部521的側(cè)面連接配管526的一端。該配管526的另一端與作為 真空源的吸附泵530連接。另外，以即使旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1旋轉(zhuǎn)也可以確保吸附泵530和配管 526連通的方式，在吸附泵530和配管5 之間經(jīng)由未圖示的旋轉(zhuǎn)接頭連接。上側(cè)閥522是通過(guò)升降來(lái)開閉內(nèi)管部521的上端的閥。下側(cè)閥523是通過(guò)在內(nèi)管 部521內(nèi)升降來(lái)開閉與吸附泵530的連通的閥。桿5M設(shè)置成可在內(nèi)管部521內(nèi)升降。該 桿5M連結(jié)上側(cè)閥522和下側(cè)閥523。被推壓部525設(shè)于桿524的下端。該被推壓部525 通過(guò)由缸等構(gòu)成的推壓部527被向上方施力。推壓部527固定在固定工作臺(tái)410上。這樣的三向閥520在吸附工件Sl時(shí)，如圖12㈧所示連接將吸附孔和吸附泵530 連通的線路(參照黑箭頭線)。另外，如圖12(B)所示，當(dāng)由推壓部527推壓下端的被推壓 部525時(shí)，由于上側(cè)閥522打開，下側(cè)閥523關(guān)閉，所以，構(gòu)成為吸附孔與周圍成為相同氣 壓，同時(shí)關(guān)閉與吸附泵530的連通(參照黑箭頭線)。[3.剝離裝置]剝離裝置3是把帖附在工件Sl或工件S2上的雙面膠帶Tl的剝離紙F(tuán)帖附在粘接 帶T2上而進(jìn)行剝離的裝置。如圖13 15所示，該剝離裝置3具有供給部31、改變部32、 剝離部33以及纏繞部34等。供給部31具有送出卷軸31a以及卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)31b(參照?qǐng)D26)。送出卷軸31a 是纏繞供給的粘接帶T2的卷軸。卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)31b是控制未圖示的送出卷軸31a的制動(dòng) 的機(jī)構(gòu)。如圖14所示，改變部32是把粘接帶T2從供給部31的行進(jìn)方向改變成直角的銷 或輥。剝離部33具有剝離頭33a、缸33b、引導(dǎo)輥33c 3!3e等。剝離頭33a是通過(guò)從由 供給部31供給的粘接帶T2的貼附面的背面推壓它而將其推壓到工件Sl上的剝離紙F(tuán)的 輥。剝離頭33a以從工件Sl的端部開始?jí)航诱辰訋2的方式傾斜地設(shè)置。缸3 是使剝 離頭33a向前方向(圖中左方向)移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，在該動(dòng)作時(shí)，可解除供給部31a的制動(dòng)，拉 出粘接帶T2。引導(dǎo)輥33c 3 是引導(dǎo)粘接帶T2從改變部32向剝離頭33a、從剝離頭3 向纏繞部34移動(dòng)的輥(引導(dǎo)部件)。纏繞部34具有纏繞卷軸34a、卷軸升降機(jī)構(gòu)34b、卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3 (參照?qǐng)D26) 等。纏繞卷軸3 是纏繞來(lái)自剝離頭33a的粘接帶T2的卷軸。該纏繞卷軸34a的軸設(shè)置 在與供給部31的軸正交的方向上。卷軸升降機(jī)構(gòu)34b是例如通過(guò)進(jìn)給絲杠的旋轉(zhuǎn)等使纏 繞卷軸3 升降的機(jī)構(gòu)。卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3 是具有未圖示的驅(qū)動(dòng)源等、控制纏繞卷軸3 的旋轉(zhuǎn)以及制動(dòng)的機(jī)構(gòu)。另外，上述的剝離裝置3是安裝有用于從下側(cè)的工件Sl剝離剝離紙F(tuán)的第一單元 Ul的裝置。在該剝離裝置3中，如圖16所示，第一單元Ul設(shè)置成可與從上側(cè)的工件S2剝 離剝離紙F(tuán)的第二單元U2進(jìn)行更換。如圖13以及圖17所示，第一單元Ul設(shè)置有引導(dǎo)輥33c 33e，以便從剝離頭33a 的下側(cè)供給來(lái)自改變部32的粘接帶T2，使其經(jīng)過(guò)上側(cè)而引導(dǎo)向纏繞卷軸34a。第一單元Ul中的引導(dǎo)輥3 把經(jīng)過(guò)剝離頭33a的粘接帶T2的行進(jìn)方向改變?yōu)橄路?。另一方面，如圖16以及圖18所示，第二單元U2設(shè)置有引導(dǎo)輥33f、33g，以便從剝 離頭33a的上側(cè)供給來(lái)自改變部32的粘接帶T2，使其經(jīng)過(guò)下側(cè)而引導(dǎo)向纏繞卷軸34a。第 二單元U2中的引導(dǎo)輥33g把經(jīng)過(guò)剝離頭33a的粘接帶T2的行進(jìn)方向改變?yōu)橄路健＿M(jìn)而，第一單元Ul以及第二單元U2設(shè)置成可借助缸35升降。第一單元Ul在下 降時(shí)，可把剝離頭33a中的粘接帶T2壓向工件Sl的剝離紙F(tuán)。第二單元U2在上升時(shí)，可把 剝離頭33a中的粘接帶T2壓向工件S2的剝離紙F(tuán)。由該剝離裝置3進(jìn)行的剝離如以下方式進(jìn)行。即，如圖17 (A)、圖18 (A)所示，由缸 33b使剝離頭33a向前方移動(dòng)，同時(shí)將粘接帶T2從供給部31a拉出，由缸35使第一單元Ul 下降或使第二單元U2上升，從而把粘接帶T2壓向剝離紙F(tuán)，在卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)31b、3k使送 出卷軸31a以及纏繞卷軸34a的旋轉(zhuǎn)制動(dòng)的狀態(tài)下，由卷軸升降機(jī)構(gòu)34b使纏繞卷軸3 下降。這樣，如圖17 (B)、圖18 (B)所示，粘接帶T2被拉向下方，同時(shí)剝離頭33a把粘接帶 T2壓向剝離紙F(tuán)并后退。由此，剝離紙F(tuán)貼附在粘接帶T2上，從工件Sl或S2剝離。[4.檢測(cè)裝置]如圖20以及圖21所示，檢測(cè)裝置4具有兩臺(tái)CXD照相機(jī)41、42、支承它們的臂45、 46、照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)49 (參照?qǐng)D26)等。配置在上方的CCD照相機(jī)41是鏡頭面向下方、對(duì) 上方的工件S2的角部或標(biāo)記M2進(jìn)行攝像的照相機(jī)(第一照相機(jī))。配置在下方的CXD照 相機(jī)42是鏡頭面向下方、對(duì)下方的工件Sl的角部或標(biāo)記Ml進(jìn)行攝像的照相機(jī)(第二照相 機(jī))。照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)49是具有未圖示的驅(qū)動(dòng)源等、驅(qū)動(dòng)臂45、46的機(jī)構(gòu)(例如X-Y軸 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu))。臂45設(shè)置成通過(guò)由照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)49在水平方向(前后左右方向)移動(dòng)， 可使CXD照相機(jī)41相對(duì)工件S2的上方出入。同樣，臂46也設(shè)置成通過(guò)由照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 49在水平方向(前后左右方向)移動(dòng)，可使CXD照相機(jī)42相對(duì)工件Sl的上方出入。各CCD照相機(jī)41、42是通過(guò)檢測(cè)內(nèi)置的光源(同軸反射照明)的反射光來(lái)對(duì)檢測(cè) 對(duì)象進(jìn)行攝像的照相機(jī)。各CCD照相機(jī)41、42的攝像如后所述，由攝像控制部662控制。進(jìn) 而，在下部的CCD照相機(jī)42的上表面，設(shè)置用于反射來(lái)自上部的CCD照相機(jī)41的光的反射 面42a。該反射面4 例如可以由鋁帶等的簡(jiǎn)易部件制成。[5.推壓裝置]如圖2、圖23 25所示，推壓裝置5具有真空腔51、加壓頭52、升降機(jī)構(gòu)53以及 缸M等。真空腔51是覆蓋并密閉旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上的保持裝置2的腔。加壓頭52是設(shè)于 真空腔51內(nèi)、向下方對(duì)工件S2加壓的機(jī)構(gòu)。升降機(jī)構(gòu)53是由未圖示的驅(qū)動(dòng)源等使真空腔51與加壓頭52 —起升降的機(jī)構(gòu)。缸 M是由進(jìn)退的驅(qū)動(dòng)桿使加壓頭52升降的機(jī)構(gòu)。另外，在加壓頭52上，安裝在橡膠的表面貼 附了聚氨酯多孔質(zhì)膜制的片的保護(hù)部件52a。進(jìn)而，在真空腔51，經(jīng)由配管連接作為真空源的減壓泵55，同時(shí)設(shè)置用于檢測(cè)內(nèi) 部壓力的真空計(jì)56 (參照?qǐng)D26)。[6.控制裝置]旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1、保持裝置2、剝離裝置3、檢測(cè)裝置4、推壓裝置5等構(gòu)成部件各自的驅(qū)動(dòng)源、開關(guān)、電源等，通過(guò)由圖沈所示的控制裝置6進(jìn)行動(dòng)作而得到控制。該控制裝置6 能夠通過(guò)由例如專門的電路或以規(guī)定程序進(jìn)行動(dòng)作的計(jì)算機(jī)等實(shí)現(xiàn)以下的各功能而構(gòu)成。以下，參照作為假想功能方框圖的圖沈?qū)υ摽刂蒲b置6進(jìn)行說(shuō)明。另外，對(duì)于用 于供工作人員操作控制裝置6的開關(guān)、觸摸面板、鍵盤、鼠標(biāo)等的輸入裝置、用于確認(rèn)控制 裝置6的狀態(tài)的顯示器、信號(hào)燈、儀表等的輸出裝置省略說(shuō)明。即，控制裝置6具有工作臺(tái)控制部610、存儲(chǔ)部620、定時(shí)控制部630、輸入輸出界面 640、剝離控制部650、位置檢測(cè)部660、定位控制部670、真空控制部680等的功能。[6-1.工作臺(tái)控制部]工作臺(tái)控制部610是控制分度機(jī)構(gòu)11的間歇旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的機(jī)構(gòu)。[6-2.存儲(chǔ)部]存儲(chǔ)部620是存儲(chǔ)動(dòng)作定時(shí)、計(jì)算式、計(jì)算結(jié)果等各種設(shè)定或數(shù)據(jù)等的機(jī)構(gòu)。[6-3.定時(shí)控制部]定時(shí)控制部630是以預(yù)先設(shè)定的定時(shí)控制各部的動(dòng)作定時(shí)的機(jī)構(gòu)。[6-4.輸入輸出界面]輸入輸出界面640是控制作為控制對(duì)象的各部之間的信號(hào)的改變或輸入輸出的 機(jī)構(gòu)。[6-5.剝離控制部]剝離控制部650是控制剝離裝置3的動(dòng)作的機(jī)構(gòu)。該剝離控制部650具有頭控制 部651、旋轉(zhuǎn)控制部652、升降控制部653等。頭控制部651是控制驅(qū)動(dòng)剝離頭33a的缸33b、驅(qū)動(dòng)第一單元Ul或第二單元U2的 缸35的機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)控制部652是控制供給部31的卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3lb、纏繞部34的卷軸旋 轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)34c的機(jī)構(gòu)。升降控制部653是控制卷軸升降機(jī)構(gòu)34b的機(jī)構(gòu)。[6-6.位置檢測(cè)部]位置檢測(cè)部660是控制檢測(cè)裝置4的機(jī)構(gòu)。該位置檢測(cè)部660具有照相機(jī)驅(qū)動(dòng)部 661、攝像控制部662、三點(diǎn)抽取部663、重心計(jì)算部664、傾斜計(jì)算部665等。照相機(jī)驅(qū)動(dòng)部 661是控制使臂45 48移動(dòng)的照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)49的機(jī)構(gòu)。攝像控制部662是控制由CXD 照相機(jī)41 44進(jìn)行的攝像的機(jī)構(gòu)。三點(diǎn)抽取部663是從由CXD照相機(jī)41、42攝像得到的圖像抽取工件S1、S2的角部 或標(biāo)記M1、M2的三點(diǎn)的機(jī)構(gòu)。重心計(jì)算部664是由用三點(diǎn)抽取部663抽取的點(diǎn)計(jì)算重心的 機(jī)構(gòu)。傾斜計(jì)算部665是由用三點(diǎn)抽取部663抽取的點(diǎn)計(jì)算傾斜的機(jī)構(gòu)。[6-7.定位控制部]定位控制部670是控制定位部300的機(jī)構(gòu)。該定位控制部670具有離合器控制部 671、定位運(yùn)算部672、馬達(dá)控制部673等。離合器控制部671是通過(guò)控制對(duì)線圈421、431、 441的通電來(lái)使銜鐵323、333、346與離合器420、430、440進(jìn)行裝脫的機(jī)構(gòu)。另外，離合器控 制部671通過(guò)與對(duì)線圈421、431、441的通電同步地使缸356動(dòng)作，也進(jìn)行由鎖定部350進(jìn) 行的鎖定。定位運(yùn)算部672是基于由重心計(jì)算部664以及傾斜計(jì)算部665算出的工件Si、 S2的重心以及傾斜來(lái)計(jì)算X-Y- θ工作臺(tái)311的移動(dòng)量的機(jī)構(gòu)。[6-8.真空控制部]真空控制部680是控制吸附部500以及推壓裝置5的機(jī)構(gòu)。該真空控制部680具CN 102144250 A
說(shuō)明書
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有腔控制部681、減壓控制部682、真空運(yùn)算部683、閥控制部684、推壓控制部685以及吸附 控制部686等。腔控制部681是控制使真空腔51升降的升降機(jī)構(gòu)53的機(jī)構(gòu)。減壓控制部682是控制對(duì)真空腔51內(nèi)進(jìn)行減壓的減壓泵55的機(jī)構(gòu)。真空運(yùn)算部 683是基于真空計(jì)的檢測(cè)值來(lái)計(jì)算真空腔51內(nèi)的壓力的機(jī)構(gòu)。如圖27所示，真空運(yùn)算部683具有電壓判定部683a、式選擇部68 、壓力運(yùn)算部 683c等。電壓判定部683a是判定來(lái)自真空計(jì)56的模擬輸出(電壓值)處于設(shè)定在存儲(chǔ) 部620中的電壓范圍的哪一個(gè)的機(jī)構(gòu)。式選擇部68 是基于設(shè)定在存儲(chǔ)部620中的電壓 范圍和與其對(duì)應(yīng)的多項(xiàng)近似式來(lái)選擇對(duì)應(yīng)于由電壓判定部683a判定的電壓范圍的多項(xiàng)近 似式的機(jī)構(gòu)。壓力運(yùn)算部683c是基于判定的電壓值和選擇的多項(xiàng)近似式來(lái)計(jì)算壓力值的 機(jī)構(gòu)。閥控制部684是基于真空運(yùn)算部683的計(jì)算結(jié)果控制切換三向閥520開閉的推壓 部527的機(jī)構(gòu)。推壓控制部685是控制使加壓頭52升降的缸M的機(jī)構(gòu)。吸附控制部686 是控制用于在吸附板510上吸附工件Sl的吸附泵530的機(jī)構(gòu)。在此，參照?qǐng)D31 36對(duì)用上述的真空運(yùn)算部683進(jìn)行的計(jì)算例進(jìn)行說(shuō)明。即，考 慮來(lái)自一般真空計(jì)的模擬輸出和指示壓力具有圖31那樣的關(guān)系的情況。在該情況下，作為 由模擬值導(dǎo)出壓力的方法，有預(yù)先向存儲(chǔ)裝置內(nèi)存儲(chǔ)圖31那樣的表格(模擬數(shù)據(jù)表格)、逐 次比較該表格與當(dāng)前的模擬值的方法。但是，在該方法中，需要逐次檢索該數(shù)據(jù)，計(jì)算處理 程序變大，處理時(shí)間也變長(zhǎng)。另外，有將表格中的各數(shù)據(jù)間的變化量看成線性來(lái)進(jìn)行計(jì)算處理的方法。但是，為 了提高壓力導(dǎo)出結(jié)果的精度，當(dāng)增加存儲(chǔ)于存儲(chǔ)裝置的表格的數(shù)據(jù)數(shù)量時(shí)，計(jì)算處理裝置 內(nèi)的處理變慢。反之，當(dāng)抑制數(shù)據(jù)數(shù)量時(shí)，雖然壓力導(dǎo)出結(jié)果的精度變差，但計(jì)算處理變快。 即，精度和計(jì)算處理時(shí)間為相反關(guān)系。作為其它的方法，有使用多項(xiàng)近似式進(jìn)行計(jì)算的方法。但是，在表格復(fù)雜的情況 下，當(dāng)建立滿足必要精度的多項(xiàng)近似式時(shí)，近似函數(shù)的次數(shù)也增加，計(jì)算處理花費(fèi)大量的時(shí) 間。例如，在把上述的表格曲線化時(shí)，如圖32所示，電壓和壓力的關(guān)系是非線性的，要建立 在整個(gè)范圍得到高精度的多項(xiàng)近似式是困難的。另外，圖32也與圖33 36對(duì)應(yīng)，為了更 廣泛地表示壓力范圍，成為單對(duì)數(shù)曲線。在本實(shí)施方式中，把表格分成任意多個(gè)區(qū)間，建立對(duì)應(yīng)于各個(gè)區(qū)間的多項(xiàng)近似式。 另外，根據(jù)檢測(cè)的電壓值，選擇多項(xiàng)近似式中的任一項(xiàng)，進(jìn)行壓力計(jì)算運(yùn)算。例如，在來(lái)自真空計(jì)56的模擬的檢測(cè)電壓值和其所指示的壓力具有圖33的曲線 關(guān)系的情況下，把電壓值的范圍分成以下三段。(I)OV以上 不足3V以上 不足8V(3) 8V以上 IOV以下另外，對(duì)應(yīng)于這些(1) (3)的范圍，設(shè)定以下三個(gè)多項(xiàng)近似式。(a) PL = -36. 837V3+320. 94V2-1104. 9V+1724. 7 [Pa](b)Pm = -0. 8021V3+23. 787V2-240. 08V+832. 07 [Pa](c)Ph = -0. 6572V3+21. 162V2-231. 87V+859. 72 [Pa]各范圍的多項(xiàng)近似式用三次函數(shù)可滿足充分的精度。S卩，如圖34所示，當(dāng)對(duì)以(1)的范圍為基準(zhǔn)的曲線與運(yùn)算結(jié)果的曲線進(jìn)行比較時(shí)，成為大體一致的線。這在圖35以及圖 36所示的(2) (3)的范圍內(nèi)也同樣。另外，如圖27所示，在存儲(chǔ)部620中，設(shè)定成為用于由閥控制部684切換三向閥 520的閾值的閥用壓力值、成為用于由推壓控制部685使加壓頭52下降的閾值的推壓用壓 力值。為此，在由壓力運(yùn)算部683c算出的壓力值成為閥用壓力值時(shí)，切替三向閥520，在成 為推壓用壓力值時(shí)，加壓頭52下降。[B.作用]具有以上構(gòu)成的本實(shí)施方式的作用如以下所示。另外，按以下說(shuō)明的次序控制貼 合裝置的方法以及使控制裝置動(dòng)作的計(jì)算機(jī)程序也是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。[1.工件的安裝]首先，對(duì)工件Si、S2向保持裝置2的安裝進(jìn)行說(shuō)明。另外，在工件Sl貼附雙面膠 帶Tl的一個(gè)貼合面。此時(shí)，在雙面膠帶Tl的另一面上原樣地貼附著剝離紙F(tuán)。S卩，在圖1所示的放入取出位置1A，如圖2 4所示，工作人員把粘附有雙面膠帶 Tl的面朝上，把工件Sl置于吸附板510的保護(hù)部件511上。此時(shí)，吸附控制部686使吸附 泵530動(dòng)作，由吸附板510以及保護(hù)部件511的吸附孔吸附工件Si。另外，工作人員把工件 S2設(shè)于保持部100。另外，也可以不用人手放入工件，而是由自動(dòng)送料機(jī)等的供給機(jī)構(gòu)自動(dòng) 放入要處理等的工件。[2.剝離紙的剝離]如上所述，保持工件Si、S2的保持裝置2由旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的旋轉(zhuǎn)來(lái)到粘貼材料準(zhǔn) 備位置1B。在此，剝離裝置3剝離工件Sl的剝離紙F(tuán)。S卩，如圖13以及圖17(A)所示，頭 控制部651通過(guò)驅(qū)動(dòng)缸3 使剝離頭33a向前方移動(dòng)，同時(shí)通過(guò)驅(qū)動(dòng)缸35使第一單元Ul 上升，使剝離用的粘接帶T2與工件Sl的雙面膠帶Tl的剝離紙F(tuán)的邊緣抵接。通過(guò)由旋轉(zhuǎn)控制部652控制卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)31b、34c，在對(duì)送出卷軸31a以及纏繞 卷軸3 施加制動(dòng)的狀態(tài)下，升降控制部653使卷軸升降機(jī)構(gòu)34b動(dòng)作，使纏繞卷軸3 下 降。這樣，在粘接帶T2被拉向下方的同時(shí)，剝離頭33a后退。此時(shí)，如圖17(B)所示，與粘 接帶T2接合的剝離紙F(tuán)貼附在雙面膠帶Tl上而被剝離。另外，旋轉(zhuǎn)控制部652使卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)3 動(dòng)作而使纏繞卷軸34a旋轉(zhuǎn)，同時(shí)升降 控制部653使卷軸升降機(jī)構(gòu)34b動(dòng)作，使纏繞卷軸3 上升，從而恢復(fù)到從下一個(gè)工件Sl 剝離剝離紙F(tuán)的狀態(tài)。另外，在上面說(shuō)明了使用第一單元Ul從下側(cè)的工件Sl剝離剝離紙F(tuán)的情況，但在 使用第二單元U2從上側(cè)的工件S2剝離剝離紙F(tuán)的情況下，其基本的動(dòng)作次序也是同樣的 (參照?qǐng)D 18(A) (B))。[3.工件的定位]接著，保持工件Si、S2的保持裝置2由旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的旋轉(zhuǎn)而來(lái)到定位位置1C。 此時(shí)，通過(guò)由鎖定部350的缸356對(duì)被推壓部355施力，解除定位部300的鎖定(Χ、Υ、θ軸 全部)。這樣，進(jìn)行由檢測(cè)裝置4進(jìn)行的位置檢測(cè)、由定位部300進(jìn)行的定位。以下按照?qǐng)D 28的流程，參照?qǐng)D20 22、圖四的同時(shí)對(duì)該次序進(jìn)行說(shuō)明。[3-1.位置檢測(cè)]照相機(jī)驅(qū)動(dòng)部661通過(guò)使照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)49動(dòng)作來(lái)移動(dòng)臂45、46。由此，如圖20以及圖21所示，CXD照相機(jī)41移動(dòng)到工件S2的上方，CXD照相機(jī)42在工件Sl和工件S2 之間移動(dòng)(步驟101)。另外，CXD照相機(jī)41、42依次停止在與工件Si、S2的角部或標(biāo)記Ml、M2對(duì)應(yīng)的位 置(步驟10 。攝像控制部662在CXD照相機(jī)41依次對(duì)工件Sl以及工件S2的角部或標(biāo) 記Ml、M2進(jìn)行攝像(步驟10；3)。攝像得到的圖像被輸入控制裝置6 (步驟104)。另外，在上述攝像時(shí)，在工件S2為正常的情況下，如圖22(A)所示，由于由同軸反 射照明形成的來(lái)自工件S2的反射光回到CCD照相機(jī)41，所以可沒有問題地進(jìn)行攝像。但 是，如圖3所示，工件S2并不是如工件Sl那樣由吸附板510吸附，而是由保持部100保持 在空中。因此，如圖22(B)所示，工件S2容易產(chǎn)生彎曲、變形等，此時(shí)，來(lái)自工件S2的反射 光有可能回不到CCD照相機(jī)41。在本實(shí)施方式中，即使在這種情況下，如圖22 (C)所示，由于來(lái)自CCD照相機(jī)41的 照明由安裝在CCD照相機(jī)42上的反射面4 反射，切實(shí)地回到CCD照相機(jī)41，所以，可進(jìn)行 攝像。另外，在把標(biāo)記M1、M2作為檢測(cè)對(duì)象時(shí)，為了接受反射光，理想的是工件S2中相當(dāng)于 標(biāo)記M1、M2的部分具有透光的部位。如上所述，在對(duì)至少三點(diǎn)進(jìn)行攝像后(步驟105)，三點(diǎn)抽取部663由攝像得到的 圖像抽取工件Sl的角部或識(shí)別標(biāo)記Ml的三點(diǎn)，同時(shí)抽取與其對(duì)應(yīng)的工件S2的角部或標(biāo)記 M2的三點(diǎn)(步驟106)。另外，因?yàn)閺膱D像抽取點(diǎn)的處理可以用現(xiàn)有技術(shù)的一般圖像處理技 術(shù)實(shí)現(xiàn)，所以省略說(shuō)明。如圖四(A)所示，重心計(jì)算部664把各工件Si、S2的三點(diǎn)(用單點(diǎn)劃線的圓圍起 的點(diǎn))中的對(duì)角兩點(diǎn)的中點(diǎn)作為工件S1、S2的重心坐標(biāo)G1、G2計(jì)算(步驟107)。另外，傾 斜計(jì)算部665把各工件Si、S2的三點(diǎn)中的連結(jié)長(zhǎng)邊或短邊的兩點(diǎn)的直線的傾斜作為工件 S1、S2的傾斜計(jì)算(步驟108)。接著，定位控制部670中的定位運(yùn)算部672計(jì)算工件Sl的移動(dòng)量，以使兩工件Si、 S2的重心和傾斜一致(步驟109)。即，計(jì)算用于對(duì)合重心的X-Y方向的移動(dòng)量(旋轉(zhuǎn)軸 321、331的轉(zhuǎn)動(dòng)量)，同時(shí)計(jì)算用于對(duì)合傾斜的θ方向的轉(zhuǎn)動(dòng)量(下旋轉(zhuǎn)軸345的轉(zhuǎn)動(dòng)量)。離合器控制部671通過(guò)對(duì)線圈421、431、441通電，連接轉(zhuǎn)子422、432、442和銜鐵 323、333、346(步驟110)。另外，馬達(dá)控制部673使馬達(dá)450、460、470動(dòng)作，使旋轉(zhuǎn)軸321、 331、345轉(zhuǎn)動(dòng)(步驟111)。當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸321、331、345以算出的轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，馬達(dá)450、460、 470停止(步驟112)。進(jìn)而，離合器控制部671通過(guò)使鎖定部350的缸356動(dòng)作，解除對(duì)被推壓部355的 施力，由彈簧354的彈力使制動(dòng)器352下降，夾著制動(dòng)器板351進(jìn)行鎖定(步驟11；3)。這在 Χ、Υ、θ軸上都大體同時(shí)進(jìn)行。另外，離合器控制部671停止向線圈421、431、441通電，解 除由離合器420 440產(chǎn)生的X軸部320、Y軸部330以及θ軸部340與驅(qū)動(dòng)部400的連接。由此，為對(duì)合兩工件S1、S2的位置，調(diào)節(jié)X-Y- θ工作臺(tái)311的位置。例如，在工件 S1、S2出現(xiàn)圖^(A)所示的錯(cuò)位時(shí)，如圖29(B)所示，可由向X-Y方向的移動(dòng)使重心G1、G2 一致，如圖^(C)所示，可由旋轉(zhuǎn)使傾斜一致。另外，角部或標(biāo)記等的檢測(cè)對(duì)象在每個(gè)工件的偏差小的情況下，若檢測(cè)對(duì)角的兩 點(diǎn)，則通過(guò)使重心和對(duì)角線的傾斜一致就可以進(jìn)行對(duì)位。因此，在本實(shí)施方式中，也可以檢測(cè)工件Sl、S2的對(duì)角的兩點(diǎn)，通過(guò)向X-Y方向的移動(dòng)，使相互的重心Gl、G2對(duì)合，通過(guò)旋轉(zhuǎn)， 使對(duì)角線的傾斜一致。由此，可以減輕運(yùn)算處理的負(fù)擔(dān)。[4.真空貼合]接著，保持工件Sl、S2的保持裝置2由旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的旋轉(zhuǎn)來(lái)到真空貼合位置1D。 這樣，由推壓裝置5進(jìn)行真空貼合。根據(jù)圖30的流程，參照?qǐng)D2、圖10 12、圖23 25對(duì) 該次序進(jìn)行說(shuō)明。S卩，如圖23以及圖M所示，腔控制部681通過(guò)使升降機(jī)構(gòu)53動(dòng)作，使真空腔51 下降，密閉保持裝置2的周圍(步驟201)。另外，減壓控制部682使減壓泵55動(dòng)作，對(duì)真空 腔51內(nèi)減壓(步驟202)。真空計(jì)56向控制裝置輸出檢測(cè)到的電壓值(步驟20 。在真空運(yùn)算部683，電壓 判定部683a判定由真空計(jì)56檢測(cè)的電壓值在上述的(1) (3)中的哪個(gè)范圍內(nèi)(步驟 204)。根據(jù)該判定結(jié)果，式選擇部68 選擇多項(xiàng)近似式(步驟205-1 幻。壓力運(yùn)算部 683c基于檢測(cè)出的電壓值和選擇的多項(xiàng)近似式計(jì)算壓力(步驟206)。閥控制部684在判定出計(jì)算得到的壓力值在規(guī)定的閥用壓力以下時(shí)(步驟207)， 使推壓部527上升，對(duì)三向閥520的被推壓部525施力。這樣，如圖11以及圖12(B)所示， 三向閥520的桿5 上升，上側(cè)閥522開放內(nèi)管部521的上端，下側(cè)閥523成為關(guān)閉狀態(tài) (步驟208)。由此，吸附板510內(nèi)和真空腔51內(nèi)成為相同壓力，防止從吸附孔排出。進(jìn)而，推壓控制部685在判定出計(jì)算得到的壓力值為規(guī)定的推壓用壓力以下時(shí) (步驟209)，如圖25所示，使缸M動(dòng)作，使加壓頭52下降，把工件S2推向工件Sl (步驟 210)。其后，減壓控制部682使減壓泵55停止(步驟211)，腔控制部681使加壓頭52以及 真空腔51上升，向大氣開放(步驟212、213)。[5.工件的取出]如上所述，保持著貼合在一起的工件Si、S2的保持裝置2當(dāng)由旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的旋 轉(zhuǎn)而來(lái)到放入取出位置IA時(shí)，工作人員從保持部100取出工件Si、S2。另外，該作業(yè)也可 以由搬出機(jī)構(gòu)等實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。[C.效果]根據(jù)以上的本實(shí)施方式，可得到以下的效果。即，由于可以在一個(gè)位置進(jìn)行一對(duì)工 件S1、S2的供給，同時(shí)貼合后的工件S1、S2的取出也可在同一位置進(jìn)行，所以作業(yè)空間小也可以。由于剝離裝置3中的剝離頭33a傾斜，所以，可以從工件S1、S2的端部開始粘接帶 T2的壓接，可切實(shí)剝離剝離紙F(tuán)。另外，因?yàn)閯冸x頭33a是傾斜的，由改變部32從剝離部33 中的粘接帶T2的長(zhǎng)度方向使供給部31脫開，纏繞卷軸34a的移動(dòng)方向是上下的，所以，可 使進(jìn)深方向的所需空間減小。這樣的剝離裝置3的優(yōu)點(diǎn)，例如與如圖19(A) (D)所示配 置纏繞卷軸Li、送出卷軸L2、剝離頭L3而構(gòu)成為纏繞卷軸Ll在粘接帶T2的長(zhǎng)度方向移動(dòng) 的現(xiàn)有技術(shù)例相比是顯而易見的。另外，剝離裝置3通過(guò)更換單元Ul、U2，可容易對(duì)應(yīng)從下側(cè)工件Sl的剝離紙F(tuán)的 剝離和從上側(cè)工件S2的剝離紙F(tuán)的剝離。因?yàn)樵诶鐖D19 (A)⑶所示的用于下側(cè)工件Sl 的現(xiàn)有技術(shù)例和圖19(C) (D)所示的用于上側(cè)工件S2的現(xiàn)有技術(shù)例中，必須要改變纏繞卷 軸Li、送出卷軸L2的配置本身而難以單元化，所以，上述那樣的剝離裝置3的優(yōu)點(diǎn)是顯而易見的。另外，例如通過(guò)設(shè)置成如圖17、圖18所示的具有輥33c 33g的裝置，即使不形成單 元更換式，也可以如圖17或圖18所示進(jìn)行更換來(lái)使粘接帶T2對(duì)應(yīng)上側(cè)剝離用途和下側(cè)剝 離用途。另外，因?yàn)閯冸x裝置3形成為可與貼合裝置裝脫的獨(dú)立構(gòu)成，且不需要移載機(jī)等， 所以可防止附著灰塵等。進(jìn)而，由于可更換剝離裝置3和涂敷裝置，所以可對(duì)應(yīng)多種產(chǎn)品。由離合器420、430、440可以把旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上的Χ_Υ_ θ工作臺(tái)311從馬達(dá)450、 460、470分離，保持原樣地移動(dòng)。為此，在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上不必搭載驅(qū)動(dòng)源等，也不需要電源 以及控制線，可用簡(jiǎn)單的構(gòu)成實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的運(yùn)行。另外，由于可以把多臺(tái)保持裝置2搭載在旋 轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上，所以可實(shí)現(xiàn)高速且高效的貼合。另外，因?yàn)橹辉谝惶幵O(shè)置驅(qū)動(dòng)源等即可，所以可以廉價(jià)地構(gòu)成。另外，由于X-Y- θ 工作臺(tái)311是小型的就可以，所以也容易收納到真空中，可簡(jiǎn)單地防止混入氣泡等。進(jìn)而， 由于在定位后的X-Y- θ工作臺(tái)311上可以貼合工件Si、S2，所以可進(jìn)行精度高的貼合。特別是因?yàn)闄z測(cè)裝置4在三點(diǎn)進(jìn)行工件Si、S2的重心以及傾斜的檢測(cè)，所以可把 處理負(fù)擔(dān)設(shè)為最小限度來(lái)進(jìn)行準(zhǔn)確的檢測(cè)。另外，即使在工件S1、S2存在彎曲等的情況下， 由于來(lái)自CCD照相機(jī)41側(cè)的照射光由CCD照相機(jī)42的反射面42a反射，所以可進(jìn)行準(zhǔn)確 檢測(cè)。因此，可實(shí)現(xiàn)基于準(zhǔn)確檢測(cè)的高精度的貼合。由于可以在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1上的一個(gè)位置進(jìn)行真空貼合，所以可節(jié)省空間。另外，由 于不需要在真空腔51內(nèi)定位，所以可使裝置變小且簡(jiǎn)化。另外，在對(duì)真空腔51內(nèi)進(jìn)行減壓 時(shí)，可以利用三向閥520遮斷吸附部500中的吸附線路，同時(shí)可使壓力與真空腔51內(nèi)相同， 所以能防止由來(lái)自吸附孔的排出造成的工件Sl的脫落，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的運(yùn)行。另外，由于可 利用單一的三向閥520進(jìn)行切換，所以可以小型且廉價(jià)地進(jìn)行制造。由于在檢測(cè)真空腔51內(nèi)的壓力時(shí)，選擇對(duì)應(yīng)電壓值的適當(dāng)?shù)慕剖絹?lái)計(jì)算壓力， 所以可用低次數(shù)的近似函數(shù)計(jì)算高精度的壓力。另外，由于總是僅進(jìn)行由單純一個(gè)函數(shù)形 成的運(yùn)算處理即可，所以可減輕處理負(fù)擔(dān)。作為吸附部500的保護(hù)部件511以及推壓裝置5的保護(hù)部件52a，由于使用在彈性 部件貼合多孔質(zhì)片的構(gòu)成，所以可吸收對(duì)工件S1、S2的沖擊，同時(shí)防止工件S1、S2貼附在保 護(hù)部件511、5加上，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的貼合。另外，與對(duì)橡膠的表面用機(jī)械加工使之粗糙的情 況相比，滑動(dòng)性好，難以摩耗。另外，與對(duì)橡膠進(jìn)行低能量照射處理的情況相比，價(jià)格低廉。 進(jìn)而，在發(fā)生老化時(shí)，與更換橡膠整體的情況相比，容易進(jìn)行片的更換。[D.其它的實(shí)施方式]本發(fā)明不限于上述的實(shí)施方式。例如，如上所述，在替代剝離裝置使用粘接劑的涂 敷裝置時(shí)，作為粘接劑，可以使用現(xiàn)在或?qū)?lái)可利用的所有材質(zhì)的粘接劑?？梢赃m用如紫外 線硬化型或放射線硬化型樹脂那樣從外部照射廣義的電磁波而硬化的類型的，或者是如熱 硬化型樹脂那樣通過(guò)改變溫度而硬化的類型。作為涂敷裝置，如上所述，可以使用周知的裝 置。例如，可以考慮噴涂涂敷裝置、絲板印刷裝置、擠壓涂敷裝置、調(diào)合噴嘴涂敷裝置等，但 不限于這些。如圖37所示，在用涂敷裝置涂敷粘接劑時(shí)，作為旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)1的停止位置，考慮設(shè) 置粘接劑的硬化位置1E。此時(shí)，在硬化位置IE設(shè)置照射電磁波的裝置、加熱的裝置等，在貼 合后的工件來(lái)到硬化位置IE時(shí)，通過(guò)照射電磁波或進(jìn)行加熱，使粘接劑硬化。
另外，剝離裝置中的細(xì)部的構(gòu)成不限于上述實(shí)施方式所示的構(gòu)成。例如，剝離頭只 要是可移動(dòng)粘接帶同時(shí)可將其推壓到剝離紙上的構(gòu)成即可，其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)也只要是可使其與 剝離紙連接分離的構(gòu)成即可。另外，引導(dǎo)輥的配置位置或數(shù)目也是自由的。進(jìn)而，改變部的 改變角度只要是送出部從剝離頭的粘接帶的長(zhǎng)度方向脫離的角度的話，則也不限于直角。 另外，作為剝離裝置，也可以適用其他周知的裝置。對(duì)定位部和驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行裝脫的裝脫部件可適用周知的所有部件。例如，也可以是 不利用線圈勵(lì)磁的機(jī)械式離合器。作為聯(lián)接器、波紋管，只要是允許軸位移的結(jié)構(gòu)的連接部 件，則可以使用周知的所有部件。保護(hù)部件的材質(zhì)、厚度、硬度等也是自由的。例如，作為加壓頭側(cè)，考慮使用在硬度 40的聚氨酯橡膠上用雙面膠帶貼裝聚氨酯多孔質(zhì)膜制的片的類型，作為吸附板側(cè)，考慮使 用在硬度80的聚氨酯橡膠上貼裝聚氨酯多孔質(zhì)膜制的片的類型，但不限于這些。檢測(cè)裝置中的照相機(jī)的數(shù)目也不限于上述的數(shù)目。也可以只設(shè)一臺(tái)，也可以在水 平方向只設(shè)兩臺(tái)，或是在水平方向設(shè)三到四臺(tái)，使其在上側(cè)和下側(cè)依次移動(dòng)。另外，也可以 在上下各設(shè)兩臺(tái)，使之前后移動(dòng)。進(jìn)而，也可以在上下各設(shè)三至四臺(tái)，對(duì)上下三點(diǎn)同時(shí)進(jìn)行 攝像。首先，對(duì)對(duì)角的兩點(diǎn)進(jìn)行攝像，在存在不能由此抽取的點(diǎn)時(shí)，也可以對(duì)其他的點(diǎn)進(jìn)行 攝像。在對(duì)四個(gè)地方進(jìn)行攝像后，也可以從可抽取的或圖像良好的三處抽取三點(diǎn)。照相機(jī) 的數(shù)目越多，就越也可以簡(jiǎn)化驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，也可以進(jìn)行高速攝像。另外，也可以如圖38所示，在下側(cè)的CCD照相機(jī)42采用由棱鏡把來(lái)自光源的光可 向上下照射的構(gòu)成，由上側(cè)的CCD照相機(jī)41接收照射到上方的光。也可以如圖39所示，構(gòu) 成為下側(cè)的CCD照相機(jī)42可對(duì)上下進(jìn)行攝像，且可向上下照射來(lái)自光源的光，由反射面42a 反射上方的光。另外，作為反射面的材質(zhì)，考慮金屬、玻璃、樹脂等，但只要是可以反射照射 光的材質(zhì)，則什么樣的材質(zhì)均可。進(jìn)而，也可以把反射面與照相機(jī)的框體形成為一體。對(duì)于成為貼合對(duì)象的工件，覆蓋面板和液晶模塊(顯示面板、層積背燈的工件)是 典型例，但作為貼合顯示裝置構(gòu)成部件的裝置可以廣泛適用。因此，例如也可以適用于貼合 觸摸面板和液晶模塊的情況。用于定位的檢測(cè)對(duì)象也可根據(jù)工件的式樣適當(dāng)改變。例如，如圖40所示，在作為 液晶模塊的工件Sl上貼合作為覆蓋面板的工件S2時(shí)，也可以檢測(cè)通過(guò)印刷等方式形成在 工件S2上的框H的角部。此時(shí)，如圖41所示，理想的是進(jìn)行定位以使工件Sl (或是可顯示 領(lǐng)域，以下同樣)的邊和框H的邊一致。特別是因?yàn)榭騂的邊是購(gòu)入產(chǎn)品的使用者進(jìn)行視 認(rèn)的部分，所以當(dāng)框H相對(duì)工件Sl產(chǎn)生傾斜時(shí)，成為次品的可能性變高。為了防止這種情況，根據(jù)以下的理由，用三點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)的定位比用兩點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè) 的定位更為有效。即，為了使框H的尺寸或形狀由印刷等形成，有時(shí)會(huì)在每個(gè)工件S2產(chǎn)生 偏差。例如，如圖42(A)所示，在工件Sl和框H的形狀不一致時(shí)，即使檢測(cè)各自的對(duì)角的兩 點(diǎn)來(lái)使重心以及對(duì)角線的傾斜一致，如圖42(B)所示，也還是相對(duì)工件Sl以框H傾斜的狀 態(tài)完成定位。對(duì)此，與上述實(shí)施方式同樣，當(dāng)檢測(cè)三點(diǎn)而使重心以及長(zhǎng)邊的傾斜一致時(shí)，如圖 42(C)所示，工件Sl和框H的邊平行。由此，購(gòu)入產(chǎn)品的使用者所視認(rèn)的框H不會(huì)相對(duì)可顯 示區(qū)域發(fā)生傾斜，可防止次品的出現(xiàn)。附圖標(biāo)記說(shuō)明
1...旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，la...架臺(tái)，2...保持裝置，3...剝離裝置，4...檢測(cè)裝置，
5...推壓裝置，6...控制裝置，11...分度機(jī)構(gòu)，31...供給部，31a...送出卷軸，31b、 34c...卷軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，32...改變部，33...剝離部，33a...剝離頭，33b、35、M、356...缸， 33c 33g...引導(dǎo)輥，34...纏繞部，3 ...纏繞卷軸，34b...卷軸升降機(jī)構(gòu)，41 44. ..CCD照相機(jī)，43a、44a...反射面，45 48... #,49...照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，51...真空 腔，52...加壓頭，5加、511...保護(hù)部件，53...升降機(jī)構(gòu)，55...減壓泵，56...真空計(jì)， 100...保持部，200...支柱部，300...定位部，310...載置部，311. .. X-Y-θ工作臺(tái)，312、 320,330,340...軸部，313...可動(dòng)臺(tái)，313a、31!3b...槽，314···波紋管，315...帶輪，321、 331,345. · ·旋轉(zhuǎn)軸，322、332. · ·偏心輥，323、333、346. · ·銜鐵，；341. · ·上旋轉(zhuǎn)軸，342. · ·帶 輪，343...正時(shí)皮帶，344...波紋管聯(lián)接器，345...下旋轉(zhuǎn)軸，350...鎖定部，351...制動(dòng) 器板，352...制動(dòng)器，353...升降軸，3 ...彈簧，355、525...被推壓部，400...驅(qū)動(dòng)部， 410...固定工作臺(tái)，420、430、440...離合器，421、431、441...線圈，422、432、442...轉(zhuǎn) 子，450、460、470...馬達(dá)，500···吸附部，510...吸附板，512、5洸...配管，520...三向 閥，521...內(nèi)管部，522...上側(cè)閥，523...下側(cè)閥，5 ...桿，527···推壓部，530...吸附 泵，610···工作臺(tái)控制部，620...存儲(chǔ)部，6 ...計(jì)算部，630...定時(shí)控制部，640...輸 入輸出界面，650...剝離控制部，651...頭控制部，652...旋轉(zhuǎn)控制部，653...升降控 制部，660...位置檢測(cè)部，661...照相機(jī)驅(qū)動(dòng)部，662...攝像控制部，663...三點(diǎn)抽取 部，664...重心計(jì)算部，665...傾斜計(jì)算部，670...定位控制部，671...離合器控制部， 672. · ·定位運(yùn)算部，673. · ·馬達(dá)控制部，680. · ·真空控制部，681. · ·腔控制部，682. · ·減壓 控制部，683. · ·真空運(yùn)算部，683a. · ·電壓判定部，683b. · ·式選擇部，683c. · ·壓力運(yùn)算部， 684...閥控制部，685...推壓控制部。
權(quán)利要求
1.一種貼合裝置，該貼合裝置將構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件貼合在一起，其特征在于，具有旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置進(jìn)行間歇旋轉(zhuǎn)， 保持裝置，該保持裝置在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè)置多個(gè)，保持一對(duì)工件， 定位部，該定位部設(shè)置于所述保持裝置，對(duì)一對(duì)工件中的至少一個(gè)工件進(jìn)行定位，和 推壓裝置，該推壓裝置通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)工件施力，貼 合一對(duì)工件；驅(qū)動(dòng)所述定位部的驅(qū)動(dòng)部設(shè)置成與所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)獨(dú)立且相對(duì)所述定位部裝脫自由。
2.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置裝 脫自由地設(shè)有剝離裝置，該剝離裝置將貼附在至少一個(gè)工件上的雙面膠帶的剝離紙剝離。
3.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置設(shè) 有剝離裝置，該剝離裝置將貼附在至少一個(gè)工件上的雙面膠帶的剝離紙剝離，所述剝離裝置具有剝離頭，該剝離頭將粘接帶推壓到剝離紙， 供給部，該供給部向所述剝離頭供給粘接帶， 纏繞部，該纏繞部纏繞來(lái)自所述剝離頭的粘接帶，和改變部，該改變部以從與所述剝離頭中的所述粘接帶的長(zhǎng)度方向不同的方向由所述供 給部供給所述粘接帶的方式，改變粘接帶的供給方向。
4.如權(quán)利要求3所述的貼合裝置，其特征在于，在從所述供給部到所述剝離頭之間以 及從所述剝離頭到所述纏繞部之間，設(shè)有引導(dǎo)粘接帶移動(dòng)的引導(dǎo)部件，構(gòu)成為能夠?qū)?yīng)于將剝離紙剝離的工件的位置，更換所述剝離頭以及所述引導(dǎo)部件的 配置不同的多個(gè)單元。
5.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置設(shè) 有檢測(cè)裝置，該檢測(cè)裝置分別檢測(cè)一對(duì)工件中的方形的角部三點(diǎn)，所述貼合裝置具有重心計(jì)算部，該重心計(jì)算部將構(gòu)成方形的對(duì)角線的兩端的兩點(diǎn)的中點(diǎn)作為工件的重心 進(jìn)行計(jì)算，傾斜計(jì)算部，該傾斜計(jì)算部基于構(gòu)成方形的邊的兩點(diǎn)來(lái)計(jì)算工件的傾斜，和 定位運(yùn)算部，該定位運(yùn)算部基于所述重心以及所述傾斜來(lái)計(jì)算所述定位部的控制量。
6.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置設(shè) 有檢測(cè)一對(duì)工件的位置的檢測(cè)裝置，所述檢測(cè)裝置具有第一照相機(jī)，該第一照相機(jī)對(duì)一個(gè)工件進(jìn)行攝像，和第二照相機(jī)，該第二照相機(jī)插入于一對(duì)工件之間，對(duì)另一個(gè)工件進(jìn)行攝像；在所述第二照相機(jī)中的與所述第一照相機(jī)相向的面上設(shè)有反射部。
7.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，所述推壓裝置具有真空腔，該真空腔能 夠與所述驅(qū)動(dòng)部獨(dú)立地收納所述定位部中的保持工件的部分。
8.如權(quán)利要求7所述的貼合裝置，其特征在于，具有與真空源連通的通氣路徑，具有將一個(gè)工件真空吸附于所述定位部的吸附部，和將所述通氣路徑切換到真空源側(cè)和真空腔側(cè)的閥。
9.如權(quán)利要求7或8所述的貼合裝置，其特征在于，具有 真空計(jì)，該真空計(jì)設(shè)在所述真空腔內(nèi)，存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部存儲(chǔ)電壓值和用于計(jì)算與該電壓值對(duì)應(yīng)的壓力的多個(gè)多項(xiàng)近似式， 式選擇部，該式選擇部基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中的電壓值以及多項(xiàng)近似式，選擇與來(lái) 自所述真空計(jì)的電壓值對(duì)應(yīng)的多項(xiàng)近似式，和壓力運(yùn)算部，該壓力運(yùn)算部基于所選擇的多項(xiàng)近似式計(jì)算壓力。
10.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述定位部以及所述推壓部中至少 一方的與工件接觸的接觸面上，設(shè)有在彈性部件上貼附了多孔質(zhì)片的保護(hù)部件。
11.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的至少一個(gè)位置， 裝脫自由地設(shè)有對(duì)至少一個(gè)工件涂敷粘接劑的涂敷裝置。
12.—種貼合裝置的控制方法，通過(guò)由控制裝置控制貼合裝置來(lái)貼合一對(duì)工件，該貼合 裝置具有對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置進(jìn)行間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè)有多個(gè)且保 持構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件的保持裝置、設(shè)于所述保持裝置且對(duì)一對(duì)工件中的至少一個(gè)工 件進(jìn)行定位的定位部、和通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)施力來(lái)貼合一對(duì) 工件的推壓裝置；其特征在于，所述控制裝置具有檢測(cè)部、重心計(jì)算部、傾斜計(jì)算部和定位運(yùn)算部， 所述檢測(cè)部檢測(cè)一對(duì)工件中的方形的角部三點(diǎn)，所述重心計(jì)算部將構(gòu)成方形的對(duì)角線的兩端的兩點(diǎn)的中點(diǎn)作為工件的重心進(jìn)行計(jì)算， 所述傾斜計(jì)算部基于構(gòu)成方形的邊的兩點(diǎn)計(jì)算工件的傾斜， 所述定位運(yùn)算部基于所述重心以及所述傾斜計(jì)算所述定位部的控制量。
13.—種貼合裝置的控制方法，通過(guò)由控制裝置控制貼合裝置來(lái)貼合一對(duì)工件，該貼合 裝置具有對(duì)應(yīng)于多個(gè)位置進(jìn)行間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、在所述旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上設(shè)有多個(gè)且保 持構(gòu)成顯示裝置的一對(duì)工件的保持裝置、設(shè)于所述保持裝置且對(duì)一對(duì)工件中的至少一個(gè)工 件進(jìn)行定位的定位部、通過(guò)對(duì)所述保持裝置中的一對(duì)工件中的至少一個(gè)施力來(lái)貼合一對(duì)工 件的推壓裝置、設(shè)于所述推壓裝置且能夠與所述驅(qū)動(dòng)部獨(dú)立地收納所述定位部中的保持工 件的部分的真空腔、和設(shè)在所述真空腔內(nèi)的真空計(jì)；其特征在于，所述控制裝置具有存儲(chǔ)部、式選擇部和壓力運(yùn)算部，所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)電壓值和用于計(jì)算與該電壓值對(duì)應(yīng)的壓力的多個(gè)多項(xiàng)近似式， 所述式選擇部基于存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中的電壓值以及多項(xiàng)近似式，選擇與來(lái)自所述真 空計(jì)的電壓值對(duì)應(yīng)的多項(xiàng)近似式，所述壓力運(yùn)算部基于所選擇的多項(xiàng)近似式計(jì)算壓力。
全文摘要
本發(fā)明提供可使用旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)高效地進(jìn)行工件的定位和貼合且廉價(jià)而小型的貼合裝置以及其控制方法。在貼合一對(duì)工件(S1、S2)的貼合裝置中，具有對(duì)應(yīng)多個(gè)位置間歇旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(1)；在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(1)上設(shè)置多個(gè)、保持工件(S1、S2)的保持裝置(2)；設(shè)置于保持裝置(2)、對(duì)工件(S1)定位的定位部(300)；通過(guò)對(duì)保持裝置(2)中的工件(S2)施力、將其貼合于工件(S1)的推壓裝置(5)。驅(qū)動(dòng)定位部(300)的驅(qū)動(dòng)部(400)與旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(1)獨(dú)立地且相對(duì)定位部(300)裝脫自由地設(shè)置。
文檔編號(hào)G09F9/00GK102144250SQ200980134458
公開日2011年8月3日 申請(qǐng)日期2009年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月4日
發(fā)明者井田琢也, 橫田典之, 白川義廣 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司