專(zhuān)利名稱(chēng)：玻璃膜的制造方法及玻璃膜的處理方法以及玻璃膜層疊體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器等平板顯示器、太陽(yáng)能電池、鋰離子電池、數(shù)字招牌、觸摸板、電子紙等裝置的玻璃基板、以及有機(jī)EL照明等裝置的防護(hù)玻璃或醫(yī)藥品包裝等中使用的玻璃膜的制造方法、以及通過(guò)支承玻璃支承的玻璃膜層疊體。
背景技術(shù)：
從節(jié)省空間化的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，近年來(lái)，正在普及液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī) EL顯示器、場(chǎng)致發(fā)射顯示器等平板顯示器來(lái)代替以往普及的CRT型顯示器。這些平板顯示器中，要求進(jìn)一步的薄型化。特別是在有機(jī)EL顯示器中，通過(guò)折疊或卷繞使攜帶變得容易， 同時(shí)要求不僅平面而且曲面也可以使用。另外，并不限于要求不僅平面而且曲面也可以使用的顯示器，如果能夠在例如汽車(chē)的車(chē)體表面或建筑物的屋頂、柱或外壁等具有曲面的物體的表面上形成太陽(yáng)能電池，或者形成有機(jī)EL照明，則其用途變廣泛。因此，對(duì)于這些裝置中使用的基板或防護(hù)玻璃要求進(jìn)一步的薄板化和高可撓性。有機(jī)EL顯示器中使用的發(fā)光體，通過(guò)接觸氧氣和水蒸氣等氣體而劣化。因此，對(duì)于有機(jī)EL顯示器中使用的基板要求高氣體阻隔性，因而期待使用玻璃基板。但是，在基板中使用的玻璃與樹(shù)脂膜不同，拉伸應(yīng)力弱，因此，可撓性低，通過(guò)彎曲玻璃基板而在玻璃基板表面施加拉伸應(yīng)力時(shí)，產(chǎn)生破損。為了對(duì)玻璃基板賦予可撓性，需要進(jìn)行超薄板化，提出了如下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中記載的厚度200 μ m以下的玻璃膜。對(duì)平板顯示器或太陽(yáng)能電池等電子裝置中使用的玻璃基板進(jìn)行加工處理、清洗處理等各種電子裝置制造相關(guān)的處理。但是，在進(jìn)行這些電子裝置中使用的玻璃基板的膜化時(shí)，由于玻璃為脆性材料，因此，通過(guò)略微的應(yīng)力變化而產(chǎn)生破損，在進(jìn)行上述各種電子裝置制造相關(guān)處理時(shí)，具有處理非常困難的問(wèn)題。此外，厚度200 μ m以下的玻璃膜的可撓性?xún)?yōu)良，因此，還具有在進(jìn)行處理時(shí)難以進(jìn)行定位、在形成圖形時(shí)產(chǎn)生錯(cuò)位等問(wèn)題。為了提高玻璃膜的處理性，提出了在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)2記載的層疊體。下述專(zhuān)利文獻(xiàn)2中提出了隔著即使通過(guò)反復(fù)使用支承玻璃基板和玻璃片也幾乎維持一定的粘合材料層進(jìn)行層疊的層疊體。由此，即使使用單體中不具有強(qiáng)度和剛性的玻璃片，也可以共用以往的玻璃用液晶顯示元件制造生產(chǎn)線(xiàn)來(lái)制造液晶顯示元件，在工序結(jié)束后，在不使玻璃基板破損的情況下能夠快速地剝離。另外，由于支承體的剛性高，因此，也難以產(chǎn)生處理時(shí)的定位時(shí)的錯(cuò)位等問(wèn)題?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2008-133174號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)平8-86993號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的問(wèn)題
但是，所述各種制造相關(guān)處理中存在透明導(dǎo)電膜的形成處理、或密封處理等伴隨加熱工序的處理。由于粘合劑層的耐熱性差，因此，在進(jìn)行伴隨加熱的處理時(shí)，由于粘合劑層的熔敷，玻璃膜有可能被污染。另外，也可以認(rèn)為，例如將由結(jié)晶化玻璃等構(gòu)成的燒結(jié)用調(diào)節(jié)器等用于玻璃膜的支承而不使用粘合劑層，但玻璃膜有可能在調(diào)節(jié)器上滑動(dòng)，再次產(chǎn)生難以進(jìn)行處理時(shí)的定位的問(wèn)題。因此，以往，關(guān)于玻璃膜的支承，無(wú)法出現(xiàn)以下情況能夠確定玻璃膜的適當(dāng)?shù)奈恢枚粫?huì)在支承構(gòu)件的表面上滑動(dòng)，并且在進(jìn)行伴隨加熱的處理后，能夠在潔凈的狀態(tài)下容易地剝離玻璃膜。本發(fā)明是為了解決如上所述的現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題而進(jìn)行的，其目的在于，提高對(duì)玻璃膜進(jìn)行裝置制造相關(guān)處理等時(shí)的處理性，能夠確定適當(dāng)?shù)奈恢茫⑶姨貏e是在伴隨加熱的處理后，將玻璃膜組裝到各種裝置中時(shí)等，能夠從支承玻璃容易地剝離玻璃膜，并且確實(shí)地防止在剝離后粘合劑等在玻璃膜上殘存，從而得到潔凈的玻璃膜。解決問(wèn)題的手段本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，將Ra為2. Onm以下的玻璃基板之間貼合，對(duì)貼合的面進(jìn)行加熱，由此，玻璃基板之間發(fā)生膠粘；在一個(gè)玻璃基板上形成無(wú)機(jī)薄膜時(shí)，即使進(jìn)行加熱，玻璃基板之間也不會(huì)發(fā)生膠粘；另外，在減小無(wú)機(jī)薄膜的表面粗糙度的情況下，玻璃基板之間隔著無(wú)機(jī)薄膜貼合，另一方面，即使進(jìn)行伴隨加熱的處理也不會(huì)膠粘，在加熱后能夠容易地剝離， 從而完成了本發(fā)明。本申請(qǐng)發(fā)明涉及一種玻璃膜的制造方法，其特征在于，包括第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下；第2工序，其中， 在使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜接觸于所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的狀態(tài)下進(jìn)行層疊， 從而作為玻璃膜層疊體；第3工序，其中，對(duì)所述玻璃膜層疊體進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4 工序，其中，在所述伴隨加熱的處理后，將所述玻璃膜從所述支承玻璃上剝離。本發(fā)明中，優(yōu)選所述無(wú)機(jī)薄膜為氧化物薄膜。另外，本發(fā)明中，可以得到如下結(jié)構(gòu)所述玻璃膜與所述支承玻璃在邊緣部的至少一部分設(shè)置高低差而進(jìn)行層疊。另外，本發(fā)明涉及一種玻璃膜的處理方法，其特征在于，包括第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下；第2工序，其中，使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜接觸于所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，從而作為玻璃膜層疊體；第3工序，其中，對(duì)所述玻璃膜層疊體進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4工序，其中，在所述伴隨加熱的處理后，將所述玻璃膜從所述支承玻璃上剝離。另外，本發(fā)明涉及一種玻璃膜層疊體，為在支承玻璃上層疊有玻璃膜的玻璃膜層疊體，其特征在于，在層疊所述玻璃膜的所述支承玻璃的表面形成有無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下，所述玻璃膜的至少層疊側(cè)的表面的表面粗糙度Ra為2. Onm 以下，所述玻璃膜層疊體是使所述無(wú)機(jī)薄膜的表面與所述玻璃膜的表面接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層置。本發(fā)明中，優(yōu)選所述玻璃膜的層疊側(cè)的表面與所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的GI值分別為lOOOpcs/m2以下。另外，優(yōu)選所述玻璃膜的厚度為300 μ m以下。優(yōu)選所述支承玻璃的厚度為400 μ m以上。另外，優(yōu)選所述玻璃膜與所述支承玻璃的30 380°C下的熱膨脹系數(shù)之差為5X10_7°C以下。本發(fā)明中的玻璃膜與支承玻璃通過(guò)溢出下拉法成形。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，在支承玻璃的表面形成的表面粗糙度為2. Onm以下的無(wú)機(jī)薄膜的表面上使表面粗糙度為2. Onm以下的玻璃膜在接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，構(gòu)成玻璃膜層疊體， 因此，玻璃膜與無(wú)機(jī)薄膜的密合性好，即使不使用粘合劑，也可以將玻璃膜與支承玻璃隔著無(wú)機(jī)薄膜固定并進(jìn)行層疊。由此，在裝置制造相關(guān)處理時(shí)等玻璃膜相對(duì)于支承玻璃不會(huì)錯(cuò)位移動(dòng)，能夠?qū)⒉Ａざㄎ挥谡_的位置。另外，即使受到伴隨加熱的處理，玻璃膜也不會(huì)與無(wú)機(jī)薄膜膠粘，因此，在處理后能夠?qū)⒉Ａ闹С胁Ａ?無(wú)機(jī)薄膜)上容易地剝離。并且，剝離后的玻璃膜成為沒(méi)有附著粘合劑等的潔凈的玻璃膜。另一方面，無(wú)機(jī)薄膜和玻璃膜的表面粗糙度Ra超過(guò)2. Onm時(shí)，二者的密合性降低， 無(wú)法將玻璃膜和支承玻璃在沒(méi)有粘合劑的條件下強(qiáng)固地固定并進(jìn)行層疊。作為上述無(wú)機(jī)薄膜，采用氧化物薄膜時(shí)，能夠?qū)⒉Ａず椭С胁ＡЦ€(wěn)定地固定并進(jìn)行層疊。另外，通過(guò)將所述玻璃膜與所述支承玻璃在邊緣部的至少一部分上設(shè)置高低差的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，玻璃膜從支承玻璃上突出的情況下，能夠?qū)⒉Ａず椭С胁ＡЦ菀撞⑶掖_實(shí)地剝離。另一方面，支承玻璃從玻璃膜上突出的情況下，能夠從擊打(打突)等中適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)玻璃膜的端部。將支承玻璃和玻璃膜隔著無(wú)機(jī)薄膜進(jìn)行層疊而成的本發(fā)明的玻璃膜層疊體，與玻璃膜單體相比操作性好，另外，即使在經(jīng)過(guò)伴隨加熱的裝置制造相關(guān)處理等后，也能夠從支承玻璃上將玻璃膜容易地剝離。另外，由于沒(méi)有使用粘合劑等，因此，玻璃膜在剝離后也沒(méi)有附著粘合劑等，是潔凈的。通過(guò)將無(wú)機(jī)薄膜的表面和玻璃膜的層疊側(cè)的表面的GI值分別設(shè)定為lOOOpcs/m2 以下，能夠?qū)⒉Ａず椭С胁ＡЦ鼜?qiáng)固地層疊固定。本發(fā)明通過(guò)厚度為300 μ m以下，適于操作更困難的超薄玻璃膜的制造以及處理。 另外，通過(guò)使支承玻璃的厚度為400 μ m以上，能夠確實(shí)地支承玻璃膜。另外，通過(guò)將玻璃膜和支承玻璃的30 380°C下的熱膨脹系數(shù)之差規(guī)定在 5X10_7°C以?xún)?nèi)，即使進(jìn)行伴隨加熱的處理，也能夠得到難以產(chǎn)生熱翹曲等的玻璃膜層疊體。本發(fā)明中的玻璃膜和支承玻璃通過(guò)溢出下拉法成形，由此，不需要研磨工序，也能夠得到表面精度極高的玻璃。由此，能夠在支承玻璃的表面上容易地形成表面精度高的無(wú)機(jī)薄膜。


圖1是本發(fā)明的玻璃膜層疊體的截面圖。圖2是玻璃膜、以及支承玻璃的制造裝置的說(shuō)明圖。圖3 (a)是將玻璃膜和支承玻璃在邊緣部設(shè)置高低差并層疊而成的玻璃膜層疊體的圖，是支承玻璃從玻璃膜突出的形式的圖。圖3 (b)是將玻璃膜和支承玻璃在邊緣部設(shè)置高低差并層疊而成玻璃膜層疊體的圖，是玻璃膜從支承玻璃突出的形式的圖。圖3(c)是在支承玻璃上設(shè)置有缺口部的形式的圖。圖4是本發(fā)明的玻璃膜制造方法的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下，關(guān)于本發(fā)明的玻璃膜的制造方法的優(yōu)選的實(shí)施方式，參照附圖的同時(shí)進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的玻璃膜的制造方法，如圖4所示，包括第1工序，通過(guò)成膜單元(8)，在支承玻璃(3)的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下；第2工序，在無(wú)機(jī)薄膜(4)的表面上使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜( 在接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，得到玻璃膜層疊體(1)；第3工序，通過(guò)處理單元(9)對(duì)玻璃膜層疊體(1)進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4工序，在所述伴隨加熱的處理后，將玻璃膜( 從支承玻璃(3)上剝離。圖1表示經(jīng)過(guò)上述第2工序制作的玻璃膜層疊體(1)。在支承玻璃(3)的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜，在無(wú)機(jī)薄膜(4)的表面上將玻璃膜( 在直接接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層疊固定。玻璃膜( 使用硅酸鹽玻璃，優(yōu)選使用二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃，最優(yōu)選使用無(wú)堿玻璃。在玻璃膜O)中含有堿成分時(shí)，在表面上發(fā)生陽(yáng)離子的脫落，產(chǎn)生所謂的碳酸鈉析出的現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)上變粗。此時(shí)，使玻璃膜(2)彎曲來(lái)使用時(shí)，有可能由于經(jīng)年劣化而變粗的部分而破損。另外，在此，無(wú)堿玻璃是實(shí)質(zhì)上不含有堿成分(堿金屬氧化物)的玻璃，具體而言是堿為IOOOppm以下的玻璃。本發(fā)明中的堿成分的含量?jī)?yōu)選為500ppm以下，更優(yōu)選為 300ppm 以下。玻璃膜⑵的厚度優(yōu)選為300 μ m以下，更優(yōu)選為5 μ m 200 μ m，最優(yōu)選為5 μ m
100 μ m。由此，使玻璃膜(2)的厚度更薄，能夠賦予適當(dāng)?shù)目蓳闲?，同時(shí)操作性困難，并且能夠?qū)σ桩a(chǎn)生定位錯(cuò)誤或形成圖形時(shí)的錯(cuò)位等問(wèn)題的玻璃膜O容易地進(jìn)行裝置制造相關(guān)處理等。玻璃膜⑵的厚度低于5μπι時(shí)，玻璃膜⑵的強(qiáng)度容易不足，從玻璃膜層疊體(1) 上將玻璃膜(2)剝離組裝到裝置中時(shí)，變得容易引起破損。支承玻璃C3)與玻璃膜( 同樣，使用硅酸鹽玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、無(wú)堿玻璃等。關(guān)于支承玻璃(3)，優(yōu)選使用與玻璃膜O)的30 380°C下的熱膨脹系數(shù)之差在5X10_7°C以?xún)?nèi)的玻璃。由此，即使在制造相關(guān)處理時(shí)進(jìn)行熱處理，也難以產(chǎn)生由于膨脹率之差引起的熱翹曲等，從而可以得到能夠維持穩(wěn)定的層疊狀態(tài)的玻璃膜層疊體(1)。最優(yōu)選支承玻璃C3)和玻璃膜( 使用具有相同組成的玻璃。支承玻璃(3)的厚度優(yōu)選為400 μ m以上。這是由于，如果支承玻璃(3)的厚度低于400 μ m，則以支承玻璃單體進(jìn)行處理的情況下，在強(qiáng)度方面有可能產(chǎn)生問(wèn)題。支承玻璃 (3)的厚度優(yōu)選為400 μ m 700 μ m,最優(yōu)選為500 μ m 700 μ m。由此，能夠確實(shí)地支承玻璃膜O)，同時(shí)可以有效地抑制將玻璃膜( 和支承玻璃C3)剝離時(shí)能夠產(chǎn)生的破損。另夕卜，在未圖示的調(diào)節(jié)器上載置玻璃膜層疊體(1)時(shí)，支承玻璃(3)的厚度可以低于400μπι。上述第1工序是在支承玻璃( 的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜(4)使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下的工序。由于在支承玻璃(3)的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜(4)，即使進(jìn)行熱處理等伴隨加熱的處理，也能夠防止支承玻璃C3)和玻璃膜( 發(fā)生膠粘。另外，由于無(wú)機(jī)薄膜(4)的表面粗糙度Ra為2. Onm以下，因此，不使用粘合劑等，也可以將玻璃膜(2)在接觸的狀態(tài)下層疊固定。在支承玻璃(3)上形成的無(wú)機(jī)薄膜⑷的表面粗糙度Ra優(yōu)選為1. Onm以下，更優(yōu)選為0. 5nm以下，最優(yōu)選為0. 2nm以下。如果能夠形成無(wú)機(jī)薄膜⑷使表面粗糙度Ra為2. Onm以下，則對(duì)支承玻璃(3)的表面粗糙度Ra沒(méi)有特別的限定。但是，支承玻璃C3)的表面粗糙時(shí)，對(duì)形成表面的凹凸后的無(wú)機(jī)薄膜(4)不產(chǎn)生影響，因此，有可能難以將無(wú)機(jī)薄膜(4)的表面粗糙度Ra形成為2. Onm 以下。因此，支承玻璃(3)的表面粗糙度Ra優(yōu)選為2. Onm以下，更優(yōu)選為1. Onm以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0. 5nm以下，最優(yōu)選為0. 2nm以下。無(wú)機(jī)薄膜(4)的厚度優(yōu)選為Inm lOOOOnm。為了控制成膜成本，膜厚越少越有禾丨J，更優(yōu)選為Inm lOOOnm，最優(yōu)選為Inm 200nm。無(wú)機(jī)薄膜(4)優(yōu)選由選自IT0、Ti、Si、Au、Ag、Al、Cr、Cu、Mg、Ti、Si0、Si02、Al203、
MgO J2O3、La2O3、Pr6O1 丄、Sc2O3、WO3、HfO2、In2O3、ITO、ZrO2、Nd2O3、Ta2O5、CeO2、Nb2O5、Ti0、TiO2、 Ti305、Ni0、Zn0中的1種或者2種以上形成。無(wú)機(jī)薄膜(4)更優(yōu)選為氧化物薄膜。氧化物薄膜熱穩(wěn)定。因此，通過(guò)在支承玻璃上設(shè)置氧化物薄膜，即使對(duì)玻璃膜層疊體(1)進(jìn)行伴隨加熱的處理，也能夠反復(fù)使用帶薄膜的支承玻璃⑶。作為氧化物薄膜，優(yōu)選使用SiCKSiO^Al^JgCKYWrLEiAJreOnjc^、 WO3、HfO2、In2O3、I TO、ZrO2、Nd2O3、Ta2O5, CeO2、Nb2O5、TiO、TiO2、Ti3O5、NiO、SiO 以及它們的組
口 O圖1中，在支承玻璃C3)上僅形成1層無(wú)機(jī)薄膜，但也可以由多層構(gòu)成無(wú)機(jī)薄膜G)。此時(shí)，最外層(與玻璃膜⑵接觸的層)優(yōu)選為氧化物薄膜。如上所述，這是由于氧化物薄膜是熱穩(wěn)定的。圖1中，僅在層疊玻璃膜O)的支承玻璃(3)的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜G)，但也可以為了使用支承玻璃(3)的兩面，在與上述表面相反側(cè)的表面上也可以形成無(wú)機(jī)薄膜G)。 另外，也可以在支承玻璃(3)的整個(gè)表面上形成無(wú)機(jī)薄膜G)。上述第1工序中，作為圖4所示的成膜單元(8)，可以使用公知的方法，可以使用濺射法、蒸鍍法、CVD法、溶膠凝膠法等。上述第2工序是在無(wú)機(jī)薄膜的表面上使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜( 在接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層疊并形成圖1所示的玻璃膜層疊體(1)的工序。無(wú)機(jī)薄膜的表面和玻璃膜O)的層疊側(cè)的表面的表面粗糙度Ra均為2. Onm 以下。Ra超過(guò)2. Onm時(shí)，玻璃膜⑵與支承玻璃(3)上的無(wú)機(jī)薄膜⑷的密合性降低，從而無(wú)法將玻璃膜( 與支承玻璃( 上的無(wú)機(jī)薄膜(4)在無(wú)膠粘劑的情況下強(qiáng)固地進(jìn)行層疊固定。玻璃膜O)的表面粗糙度Ra優(yōu)選為l.Onm以下，更優(yōu)選為0.5nm以下，最優(yōu)選為 0. 2nm以下。優(yōu)選玻璃膜( 的層疊側(cè)的表面以及支承玻璃C3)上的無(wú)機(jī)薄膜(4)的表面的GI 值分別為lOOOpcs/m2以下。由此，由于玻璃膜O)的層疊側(cè)的表面和支承玻璃C3)上的無(wú)機(jī)薄膜的表面為潔凈的，因此，不會(huì)損害表面的活性，即使不使用膠粘劑，也能夠?qū)⒉Ａ? 和支承玻璃C3)上的無(wú)機(jī)薄膜(4)更強(qiáng)固地穩(wěn)定地進(jìn)行層疊固定。本說(shuō)明書(shū)中，GI值是在Im2的區(qū)域內(nèi)存在的長(zhǎng)徑1 μ m以上的不純粒子的個(gè)數(shù)(pes)。更優(yōu)選玻璃膜O) 的層疊側(cè)的表面以及支承玻璃C3)上的無(wú)機(jī)薄膜的表面的GI值分別為500pCS/m2以下，最優(yōu)選為lOOpcs/m2以下。優(yōu)選本發(fā)明中使用的玻璃膜O)以及支承玻璃C3)通過(guò)下拉法成形。這是由于， 能夠使玻璃膜O)以及支承玻璃(3)的表面更光滑地成形。特別是圖2所示的溢出下拉法是在成形時(shí)玻璃板的兩面與成形構(gòu)件不接觸的成形法，在所得到的玻璃板的兩面(透光面)上難以產(chǎn)生損傷，即使不進(jìn)行研磨，也能夠得到高表面品位。在圖2所示的溢出下拉法中，從截面為楔形的成形體(6)的下端部(61)流下后的玻璃帶(G)通過(guò)冷卻輥(7)來(lái)限制寬度方向的收縮，同時(shí)向下方拉伸，變薄至規(guī)定的厚度。 接著，將達(dá)到所述規(guī)定厚度的玻璃帶(G)在徐冷爐(退火爐)中緩慢地冷卻，排除玻璃帶 (G)的熱變形，將玻璃帶(G)切割成規(guī)定尺寸，由此，形成玻璃膜O)以及支承玻璃(3)。上述第3工序是通過(guò)處理單元(9)對(duì)第2工序中制作的玻璃膜層疊體⑴進(jìn)行伴隨加熱的處理的工序。作為第3工序中的伴隨加熱的處理，例如在裝置、特別是電子裝置制造中，可以列舉利用濺射法等的成膜處理、密封元件等的密封處理、玻璃粉的燒結(jié)處理等。另外，在玻璃膜的制造中，可以列舉利用濺射法等的防反射膜、防透射膜等的成膜處理。第3工序中使用的處理單元(9)，可以由單一的處理單元構(gòu)成，也可以由多個(gè)相同或者不同的處理單元構(gòu)成。上述第4工序是在第3工序后將玻璃膜(2)從支承玻璃(3)上剝離的工序。由于通過(guò)第1工序在支承玻璃(3)的表面上形成無(wú)機(jī)薄膜(4)，因此，即使在第3工序中進(jìn)行伴隨加熱的制造相關(guān)處理，也能夠防止支承玻璃C3)和玻璃膜( 發(fā)生膠粘，從而可以容易地剝離玻璃膜O)。另外，在裝置制造相關(guān)處理后將玻璃膜( 組裝到各種裝置中時(shí)，如果從支承玻璃(3)上將玻璃膜(2)在1個(gè)部位上剝離，則之后能夠連續(xù)地將整個(gè)玻璃膜(2)容易地從支承玻璃(3)上剝離。另外，剝離后的玻璃膜(2)是粘合劑等完全沒(méi)有殘留的潔凈的膜。經(jīng)過(guò)上述第2工序制作的玻璃膜層疊體(1)，如圖3所示，優(yōu)選玻璃膜( 和支承玻璃C3)在邊緣部上設(shè)置高低差( 進(jìn)行層疊。在如圖3(a)所示的形式中，以支承玻璃 (3)比玻璃膜( 突出的方式設(shè)置高低差(51)。由此，能夠更加適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)玻璃膜O)的端部。另一方面，在如圖3(b)所示的形式中，在玻璃膜( 從支承玻璃C3)突出的狀態(tài)下設(shè)置高低差(52)。由此，在玻璃膜(2)與支承玻璃(3)的剝離開(kāi)始時(shí)，能夠容易地僅把持玻璃膜O)，并且能夠?qū)⒍吒菀撞⑶掖_實(shí)地剝離。在如圖3 (c)所示的形式中，在支承玻璃 (3)的邊緣部設(shè)置缺口部。高低差(5)只要在玻璃膜層疊體(1)的周邊部的至少一部分設(shè)置即可，例如，在玻璃膜層疊體(1)從平面上看為矩形狀的情況下，在4邊中至少1個(gè)邊上設(shè)置即可。另外，通過(guò)支承玻璃C3)或者玻璃膜O)的4個(gè)角的一部分上設(shè)置缺口(定向平面(才U 7，))，
可以設(shè)置高低差。在如圖3(b)所示的形式中，玻璃膜(3)的突出量?jī)?yōu)選為Imm 20mm。如果低于 1mm，則在剝離開(kāi)始時(shí)有可能難以把持玻璃膜O)的邊緣部，如果超過(guò)20mm，則在玻璃膜層疊體(1)的側(cè)邊緣部施加擊打等外力時(shí)，玻璃膜( 有可能破損。
另外，在玻璃膜層疊體⑴的端部設(shè)置從玻璃膜⑵的邊緣部使支承玻璃⑶的邊緣部突出而形成的高低差、和從支承玻璃(3)的邊緣部使玻璃膜O)的邊緣部突出而形成的高低差( 二者，由此，能夠分別同時(shí)把持玻璃膜( 和支承玻璃(3)，另外可以容易地使玻璃膜(2)剝離。上述二種高低差最優(yōu)選彼此接近地形成。另外，如圖3(c)所示，在玻璃膜O)比支承玻璃C3)小的情況下，優(yōu)選在支承玻璃 (3)的端部設(shè)置缺口部(31)。適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)玻璃膜O)的端部，并且在玻璃膜O)的剝離時(shí)能夠容易地把持在支承玻璃(3)的缺口部(31)露出的玻璃膜(2)，從而能夠容易地剝離玻璃膜( 。通過(guò)磨石等對(duì)支承玻璃C3)端部的一部分進(jìn)行研削，或者通過(guò)空心鉆等切掉端部的一部分，由此能夠形成缺口部(31)。本發(fā)明的玻璃膜的制造方法，可以連續(xù)地進(jìn)行圖4中示意表示的第1工序、第2工序、第3工序以及第4工序。支承玻璃(3)由于能夠再利用，因此，作為第1工序，也包括將已經(jīng)形成有無(wú)機(jī)薄膜的支承玻璃(3)投入剛要進(jìn)行第2工序前的生產(chǎn)線(xiàn)。另外，并不限于從第1工序至第4工序連續(xù)地進(jìn)行的構(gòu)成，例如，在第2工序后將所制造的玻璃膜層疊體(1)包裝、出貨，在另外制造相關(guān)處理設(shè)施中，也可以為進(jìn)行第3工序以及第4工序的構(gòu)成。實(shí)施例1以下，基于實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的玻璃膜的制造方法詳細(xì)地進(jìn)行說(shuō)明，但本發(fā)明并不限定于這些實(shí)施例。(層疊試驗(yàn))將縱250mm、橫250mm、厚度700 μ m的矩形狀的透明的玻璃板作為支承玻璃使用。 作為在支承玻璃上層疊的玻璃膜，使用縱230mm、橫230mm、厚度100 μ m的玻璃膜。支承玻璃和玻璃膜使用日本電氣硝子株式會(huì)社制造的無(wú)堿玻璃(制品名0A-10G、30 380°C下的熱膨脹系數(shù)38X10_7°C)。將通過(guò)溢出下拉法成形的玻璃在未研磨的狀態(tài)下直接使用，或者通過(guò)適當(dāng)控制研磨以及化學(xué)蝕刻的量來(lái)進(jìn)行Ra的控制。在支承玻璃上，如表1所示，作為無(wú)機(jī)薄膜將ITO以及Ti成膜50 200nm。成膜使用BOC公司制連續(xù)式濺射裝置進(jìn)行。 接著，使用Veeco公司制AFM(Nanoscope III a)在掃描尺寸10 μ m、掃描速度IHz、樣品生產(chǎn)線(xiàn)512的條件下測(cè)定支承玻璃上的無(wú)機(jī)薄膜的表面、以及玻璃膜的層疊側(cè)的表面的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra由測(cè)定范圍10 μ m見(jiàn)方的測(cè)定值計(jì)算出。測(cè)定后，在表1所示的試驗(yàn)區(qū)內(nèi)對(duì)支承玻璃以及玻璃膜進(jìn)行劃分。之后，根據(jù)各自表1所示的劃分，在支承玻璃上的無(wú)機(jī)薄膜的表面上直接重合玻璃膜。將支承玻璃和玻璃膜能夠強(qiáng)固地貼合并層疊的情況判定為〇，將無(wú)法貼合的情況判定為X。將結(jié)果示于表1。表 權(quán)利要求
1.一種玻璃膜的制造方法，其特征在于，包括第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到 2. Onm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜接觸于所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，從而作為玻璃膜層疊體；第3工序，其中，對(duì)所述玻璃膜層疊體進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4工序，其中，在所述伴隨加熱的處理后，將所述玻璃膜從所述支承玻璃上剝離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，所述無(wú)機(jī)薄膜為氧化物薄膜。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃膜的制造方法，其特征在于，所述玻璃膜與所述支承玻璃在邊緣部的至少一部分設(shè)置高低差而進(jìn)行層疊。
4.一種玻璃膜的處理方法，其特征在于，包括第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到 2. Onm以下；第2工序，其中，使表面粗糙度Ra為2. Onm以下的玻璃膜接觸于所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，從而作為玻璃膜層疊體；第3工序，其中，對(duì)所述玻璃膜層疊體進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4工序，其中，在所述伴隨加熱的處理后，將所述玻璃膜從所述支承玻璃上剝離。
5.一種玻璃膜層疊體，為在支承玻璃上層疊有玻璃膜的玻璃膜層疊體，其特征在于， 在層疊所述玻璃膜的所述支承玻璃的表面形成有無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2. Onm以下，所述玻璃膜的至少層疊側(cè)的表面的表面粗糙度Ra為2. Onm以下， 所述玻璃膜層疊體是使所述無(wú)機(jī)薄膜的表面與所述玻璃膜的表面接觸的狀態(tài)下進(jìn)行層置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，所述玻璃膜的層疊側(cè)的表面與所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的GI值分別為lOOOpcs/m2以下。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，所述玻璃膜的厚度為 300 μ m以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求5 7中任一項(xiàng)所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，所述支承玻璃的厚度為400 μ m以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求5 8中任一項(xiàng)所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，所述玻璃膜與所述支承玻璃的在30 380°C下的熱膨脹系數(shù)之差為5X10_7°C以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求5 9中任一項(xiàng)所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，所述玻璃膜與所述支承玻璃分別通過(guò)溢出下拉法成形。
全文摘要
玻璃膜的制造方法，包括第1工序，其中，在支承玻璃的表面形成無(wú)機(jī)薄膜，使成膜后的表面粗糙度Ra達(dá)到2.0nm以下；第2工序，其中，在使表面粗糙度Ra為2.0nm以下的玻璃膜接觸于所述無(wú)機(jī)薄膜的表面的狀態(tài)下進(jìn)行層疊，從而作為玻璃膜層疊體；第3工序，其中，對(duì)所述玻璃膜層疊體進(jìn)行伴隨加熱的處理；和第4工序，其中，在所述伴隨加熱的處理后，將所述玻璃膜從所述支承玻璃上剝離。
文檔編號(hào)G09F9/30GK102471129SQ20108002761
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2010年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月18日
發(fā)明者折口長(zhǎng)敏, 瀧本博司, 笘本雅博, 高谷辰彌 申請(qǐng)人:日本電氣硝子株式會(huì)社