專利名稱：陣列測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)試玻璃面板的陣列測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
一般來說，液晶顯示器(IXD)、等離子顯示面板(rop)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)以及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)等是已研制出并使用的平板顯示器(FPD)的代表性實(shí)例。這種FPD的LCD是以向排列為矩陣形狀的液晶單元單獨(dú)地提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信號(hào)、并因此控制液晶單元的透光性的方式來顯示預(yù)期圖像的圖像顯示設(shè)備。由于IXD薄且輕并具有耗能低和操作電壓低等其它很多優(yōu)點(diǎn)，因此得到廣泛使用。下面將描述制造用在這種LCD中的液晶面板的典型方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色濾光片和共用電極。其后，在與上玻璃面板相對(duì)的下玻璃面板上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。之后，將配向?qū)臃謩e施加到上玻璃面板和下玻璃面板。其后，摩擦配向?qū)右员銥橐院笠谶@些配向?qū)又g形成的液晶層中的液晶分子提供預(yù)傾角和配向方位。其后，通過將密封膠以預(yù)定圖案施加到至少上玻璃面板或至少下玻璃面板來形成密封膠圖案，以保持玻璃面板彼此分隔開，阻止液晶泄漏，以及密封玻璃面板之間的空間。之后，在玻璃面板之間形成液晶層，因此完成液晶面板。在上述過程中，測(cè)試具有TFT和像素電極的下玻璃面板(下文稱作“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通過例如檢測(cè)柵極線或數(shù)據(jù)線是否中斷或者檢查像素單元是否顏色不佳而實(shí)施的。陣列測(cè)試裝置用于實(shí)施這種針對(duì)玻璃面板的測(cè)試。陣列測(cè)試裝置典型地包括測(cè)試玻璃面板的測(cè)試單元、將玻璃面板加載到測(cè)試單元上的加載單元、以及將已經(jīng)過測(cè)試的玻璃面板從測(cè)試單元卸載的卸載單元。測(cè)試單元包括光源、設(shè)置有電光材料層的調(diào)制器、以及拍攝調(diào)制器的圖像的攝像單元。測(cè)試玻璃面板的方法包括將玻璃面板加載到支撐板上、將預(yù)定電壓施加到調(diào)制器和玻璃面板、并將調(diào)制器設(shè)置于鄰近玻璃面板處。如果玻璃面板無缺陷，則在調(diào)制器和玻璃面板之間形成電場(chǎng)。然而，如果玻璃面板有缺陷，則在調(diào)制器和玻璃面板之間不形成電場(chǎng)、或電場(chǎng)幅度較小。陣列測(cè)試裝置測(cè)試調(diào)制器和玻璃面板之間的電場(chǎng)幅度，并利用測(cè)得的電場(chǎng)幅度來確定玻璃面板是否有缺陷。對(duì)于準(zhǔn)確測(cè)試玻璃面板較為重要的一個(gè)因素是玻璃面板與調(diào)制器之間的距離。為了準(zhǔn)確測(cè)試玻璃面板，必需維持玻璃面板與調(diào)制器之間的距離恒定以及維持在預(yù)定的最佳距離處。因此，在根據(jù)新近提出的技術(shù)的陣列測(cè)試裝置中，將氣體吹送到玻璃面板上，吹送的氣體的壓力使調(diào)制器懸浮于玻璃面板上方，因此維持玻璃面板與調(diào)制器之間的距離恒定。同時(shí)，玻璃面板在其上具有多個(gè)待測(cè)試區(qū)域。調(diào)制器連續(xù)地移至這些待測(cè)試區(qū)域，直到完成對(duì)玻璃面板上的所有區(qū)域的測(cè)試為止。為此，首先，調(diào)制器遠(yuǎn)離玻璃面板向上豎直移動(dòng)，使得玻璃面板與調(diào)制器之間的距離達(dá)到容許調(diào)制器水平移動(dòng)的距離(下文稱作“第一距離”)。其后，調(diào)制器相對(duì)于玻璃面板的上表面水平地(平行地)移動(dòng)，直到它被置于對(duì)應(yīng)的待測(cè)試區(qū)域之一上方為止。之后，調(diào)制器朝玻璃面板豎直地(向下)移動(dòng)并接近玻璃面板，使得玻璃面板與調(diào)制器之間的距離達(dá)到能夠使調(diào)制器測(cè)試玻璃面板的距離(下文稱作“第二距離”)。第一距離大于第二距離。所排出的用于將玻璃面板與調(diào)制器之間的距離調(diào)整為第一距離的氣體的壓力大于用于將玻璃面板與調(diào)制器之間的距離調(diào)整為第二距離的氣體壓力。優(yōu)選地，第二距離設(shè)定為可能的最小距離，使得可準(zhǔn)確地測(cè)量在玻璃面板與調(diào)制器之間所產(chǎn)生的電場(chǎng)幅度。換言之，優(yōu)選第二距離為盡可能地小，除調(diào)制器接觸玻璃面板以外。第一距離設(shè)定為可在調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)防止調(diào)制器接觸玻璃面板的距離。同時(shí)，當(dāng)調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)，加速力施加到調(diào)制器，因此使調(diào)制器傾斜。因而，調(diào)制器在其水平移動(dòng)時(shí)可能以預(yù)定角度傾斜。此外，當(dāng)水平移動(dòng)的調(diào)制器停止時(shí)，減速力施加到調(diào)制器，因此使調(diào)制器傾斜預(yù)定角度。在傳統(tǒng)陣列測(cè)試裝置中，第二距離設(shè)定得相對(duì)較大，使得即使在調(diào)制器傾斜時(shí)也能防止調(diào)制器接觸玻璃面板。因此，在傳統(tǒng)陣列測(cè)試裝置中，第一距離和第二距離之間存在相對(duì)較大的差異。這樣，因?yàn)榈谝痪嚯x和第二距離之間的差相對(duì)較大，因此傳統(tǒng)陣列測(cè)試裝置的問題在于，將玻璃面板與調(diào)制器之間的距離從第一距離改變到第二距離或從第二距離改變到第一距離耗時(shí)相對(duì)較長(zhǎng)。此外，由于當(dāng)調(diào)制器在水平移動(dòng)時(shí)加速或者當(dāng)水平移動(dòng)的調(diào)制器停止時(shí)調(diào)制器以預(yù)定角度傾斜，因此調(diào)制器水平移動(dòng)的速度不應(yīng)太快，以防止調(diào)制器接觸玻璃面板。也就是說，調(diào)制器的水平移動(dòng)速度僅可增加至有限的速度。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，且本發(fā)明的目的是提供一種陣列測(cè)試裝置，其可在調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)防止調(diào)制器傾斜。本發(fā)明的另一目的是提供一種陣列測(cè)試裝置，其可減少將調(diào)制器與玻璃面板之間的距離從容許調(diào)制器水平移動(dòng)的距離改變到能夠使調(diào)制器測(cè)試玻璃面板的距離所花費(fèi)的時(shí)間。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種陣列測(cè)試裝置，包括:調(diào)制器，其面對(duì)玻璃面板設(shè)置；固定塊，其繞所述調(diào)制器設(shè)置；移動(dòng)塊，其聯(lián)接到所述調(diào)制器，所述移動(dòng)塊由所述固定塊支撐以能被抬升；吹氣單元，其朝所述玻璃面板吹氣，使得所述調(diào)制器沿遠(yuǎn)離所述玻璃面板的第一方向移動(dòng)；以及外力提供單元，其設(shè)置在所述固定塊與所述移動(dòng)塊之間，所述外力提供單元沿與所述第一方向相反的第二方向?qū)⑼饬κ┘拥剿鲆苿?dòng)塊。


從結(jié)合附圖的以下詳述中將更清楚理解本發(fā)明的上述以及其它目的、特征以及優(yōu)點(diǎn)，其中:圖1是圖示根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的立體圖2是圖示圖1的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的示意圖；圖3是圖示圖1的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的另一示例的示意圖；圖4是示意性地圖示圖1的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的剖視圖；圖5是示意性地圖示圖1的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的另一示例的剖視圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的示意性仰視圖；圖7是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的剖視圖；圖8是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的另一示例的剖視圖；圖9是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的又一示例的剖視圖；圖10是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的剖視圖；圖11是示意性地示出圖10的測(cè)試模塊的一部分的放大剖視圖；圖12是示意性地示出圖10的測(cè)試模塊的另一實(shí)施例的一部分的放大剖視圖；圖13是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的剖視圖；圖14是示意性地示出圖13的測(cè)試模塊的一部分的放大剖視圖；圖15是示意性地圖示根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的剖視圖；圖16是示意性地示出圖15的測(cè)試模塊的一部分的放大剖視圖；以及圖17至20是示意性地示出根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試模塊的一部分的放大剖視圖。
具體實(shí)施例方式下文，將參照附圖詳述根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置的實(shí)施方式。如圖1至5所示，根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置10包括:加載單元20，其將玻璃面板P加載到陣列測(cè)試裝置上；測(cè)試單元30，其測(cè)試由加載單元20加載的玻璃面板P ;卸載單元40，其從陣列測(cè)試裝置卸載已經(jīng)過測(cè)試單元30測(cè)試的玻璃面板P ;以及控制單元50，其控制測(cè)試玻璃面板P的操作。加載單元20包括多個(gè)第一支撐板22，上述多個(gè)第一支撐板22設(shè)置于以預(yù)定間距彼此間隔的位置。第一支撐板22支撐待測(cè)試的玻璃面板P。卸載單元40包括多個(gè)第二支撐板42，上述多個(gè)第二支撐板42設(shè)置于以預(yù)定間距彼此間隔的位置。第二支撐板42支撐已經(jīng)過測(cè)試單元30測(cè)試的玻璃面板P。吹氣孔24和44分別穿透加載單元20的第一支撐板22和卸載單元40的第二支撐板42而形成?？諝馔ㄟ^吹氣孔24或44朝玻璃面板P的下表面排出以懸置玻璃面板P。此外，加載單元20和卸載單元40中的每一個(gè)具有玻璃面板輸送單元70，玻璃面板輸送單元70利用吸力保持玻璃面板P的下表面，并水平移動(dòng)以輸送玻璃面板P。測(cè)試單元30測(cè)試玻璃面板P是否有電缺陷。測(cè)試單元30包括透光支撐件31、測(cè)試模塊32以及探針組件33。將由加載單元20加載的玻璃面板P放置到透光支撐件31上。測(cè)試模塊32測(cè)試放置在透光支撐件31上的玻璃面板P是否有電缺陷。探針組件33向放置在透光支撐件31上的玻璃面板P的電極E施加電信號(hào)。測(cè)試模塊32設(shè)置在測(cè)試模塊輸送單元60上，測(cè)試模塊輸送單元60設(shè)置在透光支撐件31上方并沿X軸方向延伸預(yù)定長(zhǎng)度。測(cè)試模塊32能夠在X軸方向上沿著測(cè)試模塊輸送單元60移動(dòng)。測(cè)試模塊32可包括沿測(cè)試模塊輸送單兀60延伸的方向(X軸方向)設(shè)置的多個(gè)測(cè)試模塊32。如圖2所示，測(cè)試模塊32包括:光源321 ;半棱鏡322，其控制從光源321發(fā)射出的光的方向；調(diào)制器120，其位于玻璃面板P上方并面對(duì)玻璃面板P ；以及攝像單元90，其拍攝調(diào)制器120的圖像。調(diào)制器120包括反射層121、電光材料層122、調(diào)制器電極層123以及透光塊124。反射層121鄰近玻璃面板P定位。電光材料層122根據(jù)在玻璃面板P和調(diào)制器120之間所產(chǎn)生的電場(chǎng)幅度而改變光的透射性。調(diào)制器電極層123連接到電源(未示出)。透光塊124設(shè)置在調(diào)制器電極層123上方。反射層121可包括薄型反射膜，或者替代地它可包括反射玻璃層，例如涂覆有反射膜的玻璃制鏡。如果反射玻璃層用作反射層121，則其硬度比反射膜的硬度大。因此，可防止反射層121損壞，例如由于與玻璃面板P接觸而被刮擦。電光材料層122由如下材料形成:當(dāng)電信號(hào)施加到形成在玻璃面板P上的電極和調(diào)制器120的調(diào)制器電極層123時(shí)，所述材料的特定物理性質(zhì)由于在玻璃面板P與調(diào)制器120之間所產(chǎn)生的電場(chǎng)而改變。例如，電光材料層122可由根據(jù)電場(chǎng)幅度而改變透光性的LC(液晶)制成。替代地，電光材料層122可由根據(jù)電場(chǎng)幅度而沿預(yù)定方向定向并因此將入射光偏振到對(duì)應(yīng)角度的I3DLC(聚合物分散液晶)制成。在上述構(gòu)造中，當(dāng)電信號(hào)施加到玻璃面板P的電極和調(diào)制器120的調(diào)制器電極層123時(shí)，在玻璃面板P與調(diào)制器120之間形成電場(chǎng)。構(gòu)成電光材料層122的電光材料的特性由于電場(chǎng)而改變。由此，在光從光源321發(fā)射出并經(jīng)由半棱鏡322進(jìn)入調(diào)制器120之后由調(diào)制器120的反射層121反射的光量改變。此時(shí)，攝像單元90拍攝調(diào)制器120的圖像。之后，可通過利用由攝像單元90拍攝的調(diào)制器120的圖像而分析所述光量，來確定在玻璃面板P與調(diào)制器120之間所產(chǎn)生的電場(chǎng)幅度。如果玻璃面板P有缺陷，則在玻璃面板P與調(diào)制器120之間不形成電場(chǎng)、或該電場(chǎng)幅度小于正常情況下的電場(chǎng)幅度。這樣，可通過測(cè)量電場(chǎng)幅度而確定玻璃面板P是否有缺陷。同時(shí)，如上所述，測(cè)試單元30可根據(jù)光反射方法構(gòu)造，在所述光反射方法中光源321設(shè)置在測(cè)試模塊32中且反射層121設(shè)置在調(diào)制器120中。替代地，如圖3所示，測(cè)試單元30可根據(jù)如下的光透射方法構(gòu)造，在所述光透射方法中，將光源321設(shè)置在透光支撐件31下方，換言之，將光源321設(shè)置在透光支撐件31的與調(diào)制器120面對(duì)透光支撐件31的一側(cè)相對(duì)的一側(cè)，使得通過測(cè)量光從光源321發(fā)射出之后透過調(diào)制器120的光量來確定玻璃面板P是否有缺陷。在利用這種光透射方法的測(cè)試單元30中，放置有玻璃面板P的透光支撐件31由可透光的材料制成。另外，保護(hù)層125可設(shè)置在調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的一側(cè)上。這樣，本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置的測(cè)試單元30可根據(jù)光反射方法或透射方法構(gòu)造。圖4和5圖示可移離玻璃面板P的調(diào)制器120的構(gòu)造。如圖4和5所示，測(cè)試模塊32包括固定塊110、移動(dòng)塊130、吹氣單元140以及外力提供單元200。固定塊110繞調(diào)制器120設(shè)置。移動(dòng)塊130連接到調(diào)制器120，并由固定塊110支撐以能夠相對(duì)于玻璃面板P被抬升。吹氣單元140連接到移動(dòng)塊130，并朝玻璃面板P吹氣以相對(duì)于玻璃面板P懸置調(diào)制器120。外力提供單元200設(shè)置在固定塊110和移動(dòng)塊130之間，并向移動(dòng)塊130提供外力。移動(dòng)塊130由固定塊110的下端支撐以能夠抬升。由此，調(diào)制器120可由移動(dòng)塊130支撐在固定塊110內(nèi)以能夠抬升。攝像單元90位于固定塊110的上端處。吹氣單元140包括:排出端口 141，其設(shè)置在移動(dòng)塊130下并朝玻璃面板P開口 ；通道142，其與排出端口 141連通；以及供氣單元143，其與通道142連通，并通過通道142將氣體供應(yīng)到排出端口 141。排出端口 141可包括沿移動(dòng)塊130的周緣方向繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)排出端口 141。在這種情況下，期望這些排出端口 141以規(guī)則間距彼此間隔開，以在調(diào)制器120抬升時(shí)維持調(diào)制器120水平。通道142設(shè)計(jì)成使得通道142的至少一部分嵌入移動(dòng)塊130中。通道142的至少一部分由例如柔性管的軟性材料制成，以防止通道142妨礙調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的運(yùn)動(dòng)。供氣單元143由控制單元50控制?？晒?yīng)空氣或惰性氣體的吹風(fēng)機(jī)或壓縮機(jī)可用作供氣單元143。在具有上述構(gòu)造的吹氣單元140中，供氣單元143將氣體供應(yīng)進(jìn)通道142，使得氣體從排出端口 141朝玻璃面板P的上表面排出。然后，排出到玻璃面板P上表面的氣體的壓力使調(diào)制器120和移動(dòng)塊130遠(yuǎn)離玻璃面板P向上移動(dòng)。控制單元50調(diào)整從供氣單元143供應(yīng)到排出端口 141的氣體的壓力，使得可控制調(diào)制器120和移動(dòng)塊130抬升到的高度。由此，可將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離控制在容許調(diào)制器120水平移動(dòng)的第一距離與能夠使調(diào)制器120測(cè)試玻璃面板P的第二距離之間。外力提供單元200包括第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212，第一磁性構(gòu)件211設(shè)置在固定塊110的豎直面對(duì)移動(dòng)塊130的表面內(nèi)，第二磁性構(gòu)件212設(shè)置在移動(dòng)塊130的豎直面對(duì)固定塊Iio的表面內(nèi)。第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212在豎直方向上彼此面對(duì)。第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212可為電磁體。替代地，至少第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212可為電磁體，而另一個(gè)由諸如金屬等的可被磁體吸引的材料制成。圖4和5示出外力提供單元200的構(gòu)造，其中第一磁性構(gòu)件211是電磁體，且電源213連接到第一磁性構(gòu)件211。電源213可具有控制電路，上述控制電路可調(diào)整施加到第一磁性構(gòu)件211的電流強(qiáng)度?？刂茊卧?0控制上述控制電路使得可調(diào)整從電源213施加到第一磁性構(gòu)件211的電流強(qiáng)度。例如，如圖4和5所示，為了提供安裝第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212的部分，延伸部131繞移動(dòng)塊130的周緣向外延伸。容納部111設(shè)置在固定塊110的下端部。移動(dòng)塊130的延伸部131設(shè)置在容納部111的內(nèi)周緣內(nèi)以能豎直移動(dòng)。在一實(shí)施方式中，如圖4所示，第一磁性構(gòu)件211可安裝在固定塊110的容納部111的內(nèi)表面的頂部?jī)?nèi)，且第二磁性構(gòu)件212可安裝在移動(dòng)塊130的延伸部131的上表面內(nèi)。在這種構(gòu)造中，當(dāng)在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間產(chǎn)生排斥力時(shí)，調(diào)制器120和移動(dòng)塊130向下偏移。在此，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離變成容許調(diào)制器120水平移動(dòng)的第一距離時(shí),第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力可施加到第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212。由吹氣單元140朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿調(diào)制器120移離玻璃面板P的方向A(下文稱作“第一方向”)向調(diào)制器120施加力。第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力沿調(diào)制器120接近玻璃面板P的方向B (下文稱作“第二方向”)向調(diào)制器120施加力。沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力與沿第二方向B施加到調(diào)制器120的力和調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的重力之和平衡。這通過以下公式來表達(dá):Fll = F12+FL (I)其中，F(xiàn)ll表示當(dāng)調(diào)制器120位于第一距離時(shí)由朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力，F(xiàn)12是當(dāng)調(diào)制器120位于第一距離時(shí)由第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力沿第二方向B施加到調(diào)制器120的力，以及FL表示當(dāng)調(diào)制器120位于第一距離時(shí)沿第二方向B施加到調(diào)制器120的調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的重力。當(dāng)調(diào)制器120位于第一距離時(shí)，通過沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力Fll與沿第二方向B施加到調(diào)制器120的力F12+FL的平衡，換言之，通過在公式I中示出的力的平衡，將移動(dòng)塊130的位置保持在相對(duì)于固定塊110的預(yù)定位置。因此，即使在調(diào)制器120水平移動(dòng)和加速時(shí)、或即使在水平移動(dòng)的調(diào)制器120減速至停止時(shí)，也可防止位于第一距離的調(diào)制器120傾斜。調(diào)制器120在豎直方向上(第一方向A或第二方向B)的高度不僅可通過控制朝玻璃面板P排出的氣體的壓力來調(diào)整，而且也可通過控制第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度、例如通過控制施加到第一磁性構(gòu)件211的電流強(qiáng)度來調(diào)整。同時(shí)，即使在調(diào)制器120沿第二方向B移動(dòng)而使得玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力也可起作用。將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離包括將朝玻璃面板P排出的氣體的壓力減小為小于在第一距離的狀態(tài)時(shí)朝玻璃面板P排出的氣體的壓力，使得調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的重力沿第二方向B向下移動(dòng)調(diào)制器120。換言之，在從第一距離的狀態(tài)改變到第二距離的狀態(tài)時(shí)朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力，比為了維持第一距離而朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力Fll小。這由以下公式來表達(dá):F21 < Fll(2)其中，F(xiàn)21表示在從第一距離的狀態(tài)改變到第二距離的狀態(tài)時(shí)朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力。在從第一距離的狀態(tài)改變到第二距離的狀態(tài)時(shí)，因?yàn)檎{(diào)制器120由于調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的重力而沿第二方向B移動(dòng)，因此施加到調(diào)制器120的力的關(guān)系可由如下公式來表達(dá):F21 < FL(3)在此，如果加上由第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力沿第二方向B施加到調(diào)制器120的力F12，則施加到調(diào)制器120的力的關(guān)系可通過如下公式來表達(dá):F21 << F12+ FL (4)這樣，如果在從第一距離的狀態(tài)改變到第二距離的狀態(tài)時(shí)第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的排斥力存在，則沿第二方向B施加到調(diào)制器120的力F12+FL變得比沿第一方向A施加到調(diào)制器120的力F21大得多。因此，調(diào)制器120向下移動(dòng)的速度增加。因此，將調(diào)制器120從對(duì)應(yīng)于第一距離的位置移至對(duì)應(yīng)于第二距離的位置耗時(shí)少。同時(shí)，如圖5所示，第一磁性構(gòu)件211可安裝在固定塊110的容納部111的內(nèi)表面的底部?jī)?nèi)，而第二磁性構(gòu)件212可安裝在移動(dòng)塊130的延伸部131的下表面內(nèi)。在圖5的構(gòu)造中，在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間產(chǎn)生吸引力，以提供與圖4的構(gòu)造相同的操作和效果，換言之，以實(shí)現(xiàn)由公式I至4表達(dá)的施加到調(diào)制器120的力的關(guān)系。將圖5的構(gòu)造與圖4的構(gòu)造進(jìn)行比較，雖然在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212的安裝位置、以及第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間所產(chǎn)生的磁力形式(排斥力或吸引力)方面存在不同，但圖4的構(gòu)造和圖5的構(gòu)造之間的操作和效果相同。同時(shí)，本發(fā)明并不局限于圖4或5的構(gòu)造。例如，本發(fā)明可構(gòu)造為，使得延伸部從固定塊110的內(nèi)周緣向內(nèi)延伸，且容納固定塊110的延伸部的容納部繞移動(dòng)塊130設(shè)置。這樣，固定塊110和移動(dòng)塊130的形狀以及第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212的安裝位置可以多種方式改變，只要第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212分別安裝在固定塊110和移動(dòng)塊130內(nèi)并豎直地彼此面對(duì)以使外力可施加在移動(dòng)塊130與固定塊110之間而因此可靠地維持移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110位于預(yù)定位置即可。如上所述，在根據(jù)第一實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，提供外力提供單元200，外力提供單元200沿與第一方向A相反的第二方向B向移動(dòng)塊130施加外力，其中第一方向A是朝玻璃面板P排出的氣體的壓力將調(diào)制器120移離玻璃面板P所沿的方向。當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離為第一距離時(shí)，外力施加至移動(dòng)塊130。因此，可以可靠地維持移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110的位置，也就是調(diào)制器120的位置。因此，可防止當(dāng)調(diào)制器120水平移動(dòng)時(shí)調(diào)制器120搖晃，由此防止調(diào)制器120的搖晃引起調(diào)制器120的一部分與玻璃面板P碰撞。與考慮到調(diào)制器120的搖晃而將調(diào)制器120水平移動(dòng)的速度設(shè)定得相對(duì)較低的傳統(tǒng)技術(shù)相比而言，調(diào)制器120的水平移動(dòng)速度可顯著地增大。此外，與考慮調(diào)制器120的搖晃而將第一距離設(shè)定得相對(duì)較大的傳統(tǒng)技術(shù)不同，在本發(fā)明中第一距離可設(shè)定得適當(dāng)?shù)囟?。而且，在玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，因?yàn)榭裳卣{(diào)制器120接近玻璃面板P的第二方向B向調(diào)制器120施加外力，因此可減少將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離所需的時(shí)間。下文，將參照?qǐng)D6詳述根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第二實(shí)施方式的描述中，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)不與第一實(shí)施方式相同的部件，將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。在第二實(shí)施方式中，外力提供單元200可包括沿固定塊110和移動(dòng)塊130的周緣方向繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)外力提供單元200?？刂茊卧?0根據(jù)各個(gè)外力提供單元200的位置而不同地控制從外力提供單元200產(chǎn)生的外力強(qiáng)度。例如，如圖6所示，外力提供單元200的多個(gè)第一磁性構(gòu)件211和多個(gè)第二磁性構(gòu)件212可沿固定塊110和移動(dòng)塊130的周緣方向繞調(diào)制器120設(shè)置。優(yōu)選地，第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212以規(guī)則間距設(shè)置。第一磁性構(gòu)件211通過控制電路214連接到電源213?？刂茊卧?0可單獨(dú)地控制這些控制電路214。在控制單元50的控制下，各個(gè)控制電路214可單獨(dú)地控制從電源213供應(yīng)的電流，并將電流施加到對(duì)應(yīng)的第一磁性構(gòu)件211。因此，根據(jù)外力提供單元200的位置，第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212可在它們之間產(chǎn)生不同強(qiáng)度的排斥力(圖4的構(gòu)造中)或吸引力(圖5的構(gòu)造中)。當(dāng)測(cè)試模塊輸送單元60沿X軸方向移動(dòng)固定塊110、移動(dòng)塊130以及調(diào)制器120時(shí)，也即當(dāng)調(diào)制器120水平移動(dòng)以使其設(shè)置在與待測(cè)試玻璃面板P的目標(biāo)部分相對(duì)應(yīng)的位置時(shí)，加速力施加到調(diào)制器120和移動(dòng)塊130。當(dāng)水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，減速力施加到調(diào)制器120和移動(dòng)塊130。由于施加到調(diào)制器120和移動(dòng)塊130的加速力，向下的力施加到調(diào)制器120的相對(duì)于調(diào)制器120移動(dòng)方向的前部，且向上的力施加到調(diào)制器120的后部。此外，當(dāng)調(diào)制器120和移動(dòng)塊130減速時(shí)，向上的力施加到調(diào)制器120的相對(duì)于調(diào)制器120移動(dòng)方向的前部，且向下的力施加到調(diào)制器120的后部。因此，這種在加速或減速時(shí)施加到調(diào)制器120的力可使調(diào)制器120傾斜。在根據(jù)第二實(shí)施方式的構(gòu)造中，可響應(yīng)于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而控制由外力提供單元200提供的外力的強(qiáng)度，使得即使當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速或移動(dòng)的調(diào)制器120停止也可防止調(diào)制器120傾斜。例如，當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速時(shí)，控制單元50減小設(shè)置在調(diào)制器120的相對(duì)于調(diào)制器120移動(dòng)方向的前部的第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度，并增加設(shè)置在調(diào)制器120后部的第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度。這樣，可響應(yīng)于由加速力施加到調(diào)制器120的前部和后部的力之間的差異，而將不同強(qiáng)度的磁力施加到前部和后部。因此，可防止調(diào)制器120傾斜。另一方面，當(dāng)水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，控制單元50增加設(shè)置在調(diào)制器120的相對(duì)于調(diào)制器120移動(dòng)方向的前部的第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度，并減小設(shè)置在調(diào)制器120的后部的第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度。因?yàn)橐部身憫?yīng)于由減速力施加到前部和后部的力之間的差異而將不同強(qiáng)度的磁力施加到調(diào)制器120的前部和后部，故可防止調(diào)制器120傾斜。如上所述，在根據(jù)第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，外力提供單元200繞調(diào)制器120設(shè)置。根據(jù)外力提供單元200在水平移動(dòng)時(shí)加速或停止移動(dòng)，控制單元50控制外力提供單元200，使得由外力提供單元200施加到調(diào)制器120的外力強(qiáng)度不同。因此，在調(diào)制器120水平移動(dòng)時(shí)加速或停止移動(dòng)時(shí)可防止調(diào)制器120由于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而傾斜。當(dāng)然，在根據(jù)第二實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置中，如果調(diào)制器120在即使沒有加速力或減速力施加到調(diào)制器120時(shí)傾斜,則控制單元50單獨(dú)地控制施加到各個(gè)外力提供單元200的外力強(qiáng)度，使得可控制調(diào)制器120的定向以使調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的表面與玻璃面板P的上表面平行。下文，將參照?qǐng)D7至9詳述根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第三實(shí)施方式的描述中，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)不與第一和第二實(shí)施方式相同的部件，以及將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。如圖7和8所示，在根據(jù)第三實(shí)施方式的外力提供單元200中，第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212可包括永磁體。替代地，第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212可包括永磁體，而另一個(gè)可由能被磁體吸引的材料制成。在這種構(gòu)造中，在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間產(chǎn)生預(yù)定強(qiáng)度的磁力。這種磁力作用為當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離為第一距離時(shí)用于將調(diào)制器120保持在預(yù)定位置的力。此外，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離調(diào)整為第二距離時(shí)，磁力變?yōu)檎{(diào)制器120借助于其而沿接近玻璃面板P的第二方向移動(dòng)的力。圖7的構(gòu)造與圖4的構(gòu)造相似。在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間產(chǎn)生排斥力。類似地，圖8的構(gòu)造與圖5的構(gòu)造相似，其中在第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間產(chǎn)生吸引力?？刂频谝淮判詷?gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間所產(chǎn)生的磁力強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)當(dāng)調(diào)制器120位于第一距離時(shí)對(duì)調(diào)制器120的豎直位置的調(diào)整，或者當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離調(diào)整到第二距離時(shí)對(duì)施加到調(diào)制器120的力的調(diào)整。為此，可借助于固定螺釘、小型墊片環(huán)等手動(dòng)地控制第一磁性構(gòu)件211在固定塊110中的位置或第二磁性構(gòu)件212位于移動(dòng)塊130中的位置。替代地，磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置可用于自動(dòng)控制第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212的位置。在這種情況下，磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置連接到第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212，并沿第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212彼此接近或彼此移離的方向移動(dòng)第一磁性構(gòu)件211或第二磁性構(gòu)件212。如圖9所示，舉例而言，磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215包括:致動(dòng)器215a，其安裝在固定塊110中并產(chǎn)生線性驅(qū)動(dòng)力；連接桿215b，其將線性驅(qū)動(dòng)力從致動(dòng)器215a傳遞到第一磁性構(gòu)件211。詳細(xì)而言，在固定塊110的容納部111的上端部中形成通孔216。第一磁性構(gòu)件211以可滑動(dòng)的方式設(shè)置在通孔216中。致動(dòng)器215a可包括通過氣壓或液壓操作的缸。而且，本發(fā)明并不局限于這種構(gòu)造。例如，磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215的致動(dòng)器215a可包括轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)，而連接桿215b可包括絲杠。轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿215b，因此線性地移動(dòng)第一磁性構(gòu)件211，使得第一磁性構(gòu)件211的位置可改變。這樣，多種線性移動(dòng)裝置可用作磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215。磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215由控制單元50控制。因此，在控制單元50的控制下調(diào)整第一磁性構(gòu)件211的位置，使得可控制第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的磁力強(qiáng)度。同時(shí)，如圖9所示，雖然磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215圖示為僅連接到第一磁性構(gòu)件211，但本發(fā)明并不局限于這種構(gòu)造。磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置215可僅連接到第二磁性構(gòu)件212、或連接到第一磁性構(gòu)件211和第二磁性構(gòu)件212兩者。第三實(shí)施方式的操作和效果與第一實(shí)施方式相同。同時(shí)，根據(jù)第三實(shí)施方式的外力提供單元200可包括以與第二實(shí)施方式相同的方式繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)外力提供單元200。當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速或水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，控制單元50可單獨(dú)地控制外力提供單元200的第一磁性構(gòu)件211與第二磁性構(gòu)件212之間的距離，使得可單獨(dú)地控制它們之間的磁力強(qiáng)度。由此，可防止調(diào)制器120由于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而傾斜。另外，可控制調(diào)制器120的定向以使調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的表面與玻璃面板P的上表面平行。
下文，將參照?qǐng)D10至12詳述根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第四實(shí)施方式的描述中，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)不與第一至第三實(shí)施方式相同的部件，且將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。如圖10至12所示，根據(jù)第四實(shí)施方式的外力提供單元200包括彈性構(gòu)件220，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離在第一距離時(shí)，彈性構(gòu)件220對(duì)移動(dòng)塊130提供彈力。彈性構(gòu)件220的材料是具有彈性的合成樹脂。而且，本發(fā)明并不局限于此，諸如盤簧、板簧等不同種類的構(gòu)件均可用作彈性構(gòu)件220。如圖10和11所示，彈性構(gòu)件220可安裝在固定塊110的容納部111的上內(nèi)表面中，上述上內(nèi)表面面對(duì)移動(dòng)塊130的延伸部131的上表面。當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，彈性構(gòu)件220接觸移動(dòng)塊130，因此沿第二方向B向移動(dòng)塊130提供彈力。替代地，如圖12所示，彈性構(gòu)件220可安裝在移動(dòng)塊130的延伸部131的上表面中，上述上表面面對(duì)固定塊110的容納部111的上內(nèi)表面。當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，彈性構(gòu)件220接觸固定塊110，因此沿第二方向B向移動(dòng)塊130提供彈力。這樣，可以多種方式改變安裝在固定塊110與移動(dòng)塊130之間的彈性構(gòu)件220的種類、形狀或安裝位置，只要彈性構(gòu)件220可將彈力施加到移動(dòng)塊130即可。在第四實(shí)施方式中，彈性構(gòu)件220沿與第一方向A相反的第二方向B向移動(dòng)塊130提供外力(彈力)，其中第一方向A為調(diào)制器120由朝玻璃面板P排出的氣體的壓力而移離玻璃面板P所沿的方向。因此，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離位于第一距離時(shí)，由吹氣單元140朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A所產(chǎn)生的力，與由外力提供單元200的彈力沿第二方向B所產(chǎn)生的力，均施加到調(diào)制器120。由此，移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110的位置，換言之，調(diào)制器120相對(duì)于固定塊110的位置，能夠可靠地保持恒定。此外，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，彈性構(gòu)件220的彈力(例如盤簧的膨脹力)可沿第二方向B施加到移動(dòng)塊130，因此減少將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離所花費(fèi)的時(shí)間。第四實(shí)施方式的操作和效果與上述實(shí)施方式相同。下文，將參照?qǐng)D13和14詳述本發(fā)明第五實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)示與第一至第四實(shí)施方式相同的部件，且將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。如圖13和14所示，根據(jù)第五實(shí)施方式的外力提供單元200包括第一吹氣裝置230，第一吹氣裝置230連接到固定塊110并朝移動(dòng)塊130吹氣。第一吹氣裝置230包括；排氣端口 231，其形成在固定塊110的容納部111的上內(nèi)表面內(nèi)，并朝移動(dòng)塊130的延伸部131開口 ；通道232，其與排氣端口 231連通；以及供氣單元233，其與通道232連通，并通過通道232將氣體供應(yīng)到排氣端口 231。通道232的至少一部分由例如柔性管的軟性材料制成，以防止通道232妨礙移動(dòng)塊130的運(yùn)動(dòng)。供氣單元233由控制單元50控制?？晒?yīng)空氣或惰性氣體的吹風(fēng)機(jī)或壓縮機(jī)可用作供氣單元233。優(yōu)選地，如圖14所示，在延伸部131的面對(duì)排氣端口 231的上表面的一位置處形成凹部234，在所述位置處從排氣端口 231排出的氣體碰撞延伸部131的上表面。凹部234使得可以更加準(zhǔn)確地將從排氣端口 231排出的氣體的力施加到移動(dòng)塊130。
在具有上述構(gòu)造的第五實(shí)施方式中，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，第一吹氣裝置230的排氣端口 231朝移動(dòng)塊130吹氣，使得力沿第二方向B施加到調(diào)制器120。在第一距離保持恒定的狀態(tài)下，由吹氣單元140朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A所產(chǎn)生的力，與由第一吹氣裝置230朝移動(dòng)塊130排出的氣體的壓力沿第二方向B所產(chǎn)生的力，均施加到調(diào)制器120。由此，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110的位置,換言之,調(diào)制器120相對(duì)于固定塊110的位置，能夠可靠地保持恒定。此外，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，由第一吹氣裝置230朝移動(dòng)塊130排出的氣體的壓力用作沿調(diào)制器120接近玻璃面板P的第二方向B移動(dòng)調(diào)制器120的力。因此，可減少將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離所花費(fèi)的時(shí)間。根據(jù)第五實(shí)施方式的外力提供單元200可包括以與第二實(shí)施方式相同的方式繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)外力提供單元200。在這種情況下，當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速或水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，控制單元50單獨(dú)地控制由外力提供單元200的第一吹氣裝置230排出的氣體的壓力。由此，可防止調(diào)制器120由于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而傾斜。另外，可控制調(diào)制器120的定向以使調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的表面與玻璃面板P的上表面平行。第五實(shí)施方式的操作和效果與上述實(shí)施方式相同。下文，將參照?qǐng)D15和16詳述根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第六實(shí)施方式的描述中，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)不與第一至第五實(shí)施方式相同的部件，且將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。如圖15和16所示，根據(jù)第六實(shí)施方式的外力提供單元200包括第二吹氣裝置240，第二吹氣裝置240連接到移動(dòng)塊130，并朝固定塊110吹氣。第二吹氣裝置240包括:排氣端口 241，其形成在移動(dòng)塊130的延伸部131的上表面內(nèi)，并朝固定塊110的容納部111的上內(nèi)表面開口 ；通道242，其與排氣端口 241連通；以及供氣單元243，其與通道242連通，并通過通道242將氣體供應(yīng)到排氣端口 241。通道242的至少一部分由例如柔性管的軟性材料制成，以防止通道242妨礙移動(dòng)塊130的運(yùn)動(dòng)。供氣單元243由控制單元50控制?？晒?yīng)空氣或惰性氣體的吹風(fēng)機(jī)或壓縮機(jī)可用作供氣單元 243。優(yōu)選地，如圖16所示，在容納部111的面對(duì)排氣端口 241的上內(nèi)表面的一位置處形成凹部244，在所述位置處從排氣端口 241排出的氣體碰撞容納部111的上內(nèi)表面。凹部244使得可以更加準(zhǔn)確地將從排氣端口 241排出的氣體的力施加到固定塊110，使得氣體碰撞固定塊110時(shí)的排斥力可更可靠地施加到移動(dòng)塊130。在具有上述構(gòu)造的第六實(shí)施方式中，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，第二吹氣裝置240的排氣端口 241朝固定塊110吹氣，使得通過吹氣而產(chǎn)生的排斥力沿第二方向B施加到調(diào)制器120。在第一距離保持恒定的狀態(tài)下，由吹氣單元140朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A所產(chǎn)生的力，與由第二吹氣裝置240朝固定塊110排出的氣體的壓力沿第二方向B所產(chǎn)生的力，均施加到調(diào)制器120。由此，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110的位置，換言之，調(diào)制器120相對(duì)于固定塊110的位置，能夠可靠地保持恒定。此外，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，由第二吹氣裝置240朝固定塊110排出的氣體的壓力成為沿調(diào)制器120接近玻璃面板P的第二方向B移動(dòng)調(diào)制器120的力。因此，可減少將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離所花費(fèi)的時(shí)間。根據(jù)第六實(shí)施方式的外力提供單元200可包括以與第二實(shí)施方式相同的方式繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)外力提供單元200。在這種情況下，當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速或水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，控制單元50單獨(dú)地控制由外力提供單元200的第二吹氣裝置240排出的氣體的壓力，使得可防止調(diào)制器120由于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而傾斜。另外，可控制調(diào)制器120的定向以使調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的表面與玻璃面板P的上表面平行。第六實(shí)施方式的操作和效果與上述實(shí)施方式相同。下文，將參照?qǐng)D17至20詳述根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施方式的陣列測(cè)試裝置。在第七實(shí)施方式的描述中，相同參考標(biāo)號(hào)將用于標(biāo)不與第一至第六實(shí)施方式相同的部件，且將略去對(duì)這些相同部件的進(jìn)一步解釋。如圖17和18所示，根據(jù)第七實(shí)施方式的外力提供單元200包括設(shè)置在固定塊110與移動(dòng)塊130之間的膨脹構(gòu)件235。氣體可從第一吹氣裝置230供應(yīng)進(jìn)膨脹構(gòu)件235內(nèi)。詳細(xì)而言，膨脹構(gòu)件235內(nèi)的空間連接到排氣端口 231，使得從排氣端口 231供應(yīng)的氣體的壓力使膨脹構(gòu)件235膨脹，如圖18所示。膨脹構(gòu)件235由能膨脹的合成樹脂材料制成。優(yōu)選地，在延伸部131的面對(duì)排氣端口 231的上表面內(nèi)形成容納凹部236，使得膨脹的膨脹構(gòu)件235的一部分可容納進(jìn)容納凹部236內(nèi)，因此能夠可靠地將膨脹構(gòu)件235的膨脹力傳遞到移動(dòng)塊130。同時(shí)，與上述構(gòu)造不同，外力提供單元200可構(gòu)造為，使得膨脹構(gòu)件245設(shè)置在固定塊110與移動(dòng)塊130之間，如圖19和20所示。氣體可從第二吹氣裝置240供應(yīng)進(jìn)膨脹構(gòu)件245內(nèi)。膨脹構(gòu)件245內(nèi)的空間連接到排氣端口 241，使得從排氣端口 241供應(yīng)的氣體的壓力使膨脹構(gòu)件245膨脹，如圖20所示。膨脹構(gòu)件245由能膨脹的合成樹脂材料制成。優(yōu)選地，在容納部111的面對(duì)排氣端口 241的上內(nèi)表面內(nèi)形成容納凹部236，使得膨脹的膨脹構(gòu)件245的一部分可容納進(jìn)容納凹部246內(nèi)，因此能夠可靠地將膨脹構(gòu)件245的膨脹力傳遞到移動(dòng)塊130。在具有上述構(gòu)造的第七實(shí)施方式中，如圖18和20所示，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，第一吹氣裝置230或第二吹氣裝置240的排氣端口 231、241排出氣體，使得膨脹構(gòu)件235、245膨脹。膨脹構(gòu)件235、245的膨脹力施加到移動(dòng)塊130，使得調(diào)制器120沿第二方向B偏移。因此，在第一距離的狀態(tài)下，由吹氣單元140朝玻璃面板P排出的氣體的壓力沿第一方向A所產(chǎn)生的力、與由膨脹構(gòu)件235、245的膨脹力沿第二方向B所產(chǎn)生的力，均施加到調(diào)制器120。由此，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離是第一距離時(shí)，移動(dòng)塊130相對(duì)于固定塊110的位置，換言之，調(diào)制器120相對(duì)于固定塊110的位置，能夠可靠地保持恒定。
此外，當(dāng)玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，膨脹構(gòu)件235、245的膨脹力作用為沿調(diào)制器120接近玻璃面板P的第二方向B移動(dòng)調(diào)制器120的力。因此，可減少將玻璃面板P與調(diào)制器120之間的距離從第一距離改變到第二距離所花費(fèi)的時(shí)間。根據(jù)第七實(shí)施方式的外力提供單元200可包括以與第二實(shí)施方式相同的方式繞調(diào)制器120設(shè)置的多個(gè)外力提供單元200。在這種情況下，當(dāng)調(diào)制器120在水平移動(dòng)時(shí)加速或水平移動(dòng)的調(diào)制器120停止時(shí)，控制單元50單獨(dú)地控制膨脹構(gòu)件235、245膨脹的力，使得可防止調(diào)制器120由于施加到調(diào)制器120的加速力或減速力而傾斜。另外，可控制調(diào)制器120的定向以使調(diào)制器120的面對(duì)玻璃面板P的表面與玻璃面板P的上表面平行。 第七實(shí)施方式的操作和效果與上述實(shí)施方式相同。本發(fā)明的實(shí)施方式中所述的技術(shù)主旨可獨(dú)立地實(shí)施，或者可結(jié)合地實(shí)施。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的陣列測(cè)試裝置包括外力提供單元，上述外力提供單元沿與第一方向相反的第二方向施加外力到移動(dòng)塊，其中第一方向是調(diào)制器由朝玻璃面板排出的氣體的壓力而移離玻璃面板所沿的方向。當(dāng)玻璃面板與調(diào)制器之間的距離是容許調(diào)制器水平移動(dòng)的距離時(shí)，外力提供單元施加外力到移動(dòng)塊，使得移動(dòng)塊相對(duì)于固定塊的位置，換言之，調(diào)制器的位置，能夠可靠地保持恒定。因此，當(dāng)調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)，可防止調(diào)制器搖晃，因此防止由于調(diào)制器的搖晃而引起調(diào)制器的一部分與玻璃面板碰撞的情況。與考慮調(diào)制器的搖晃而將調(diào)制器水平移動(dòng)的速度設(shè)定得相對(duì)較低的傳統(tǒng)技術(shù)相比，可顯著地增大調(diào)制器的水平移動(dòng)速度。再者，與考慮調(diào)制器的搖晃而將第一距離設(shè)定得相對(duì)較大的傳統(tǒng)技術(shù)不同，在本發(fā)明中第一距離可設(shè)定得適當(dāng)?shù)囟?。此外，假定?dāng)調(diào)制器已移離玻璃面板以容許調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)玻璃面板與調(diào)制器之間的距離稱作第一距離，且當(dāng)調(diào)制器已接近玻璃面板以容許測(cè)試玻璃面板時(shí)玻璃面板與調(diào)制器之間的距離稱作第二距離，則當(dāng)玻璃面板與調(diào)制器之間的距離從第一距離改變到第二距離時(shí)，外力提供單元可沿調(diào)制器接近玻璃面板的方向施加外力到調(diào)制器。因此，可顯著地減少玻璃面板與調(diào)制器之間的距離從第一距離改變到第二距離所花費(fèi)的時(shí)間。雖然為了例示目的已公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，但本領(lǐng)域技術(shù)人員將了解，在不脫離所附權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和主旨的情況下可以進(jìn)行各種修改、添加和替代。
權(quán)利要求
1.一種陣列測(cè)試裝置，包括: 調(diào)制器，所述調(diào)制器面對(duì)玻璃面板設(shè)置； 固定塊，所述固定塊繞所述調(diào)制器設(shè)置； 移動(dòng)塊，所述移動(dòng)塊聯(lián)接到所述調(diào)制器，所述移動(dòng)塊由所述固定塊支撐以能被抬升； 吹氣單元，所述吹氣單元朝所述玻璃面板吹氣，使得所述調(diào)制器沿遠(yuǎn)離所述玻璃面板的第一方向移動(dòng)；以及 外力提供單元，所述外力提供單元設(shè)置在所述固定塊與所述移動(dòng)塊之間，所述外力提供單元沿與所述第一方向相反的第二方向?qū)⑼饬κ┘拥剿鲆苿?dòng)塊。
2.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述外力提供單元包括: 第一磁性構(gòu)件和第二磁性構(gòu)件，所述第一磁性構(gòu)件和所述第二磁性構(gòu)件設(shè)置在所述固定塊和所述移動(dòng)塊內(nèi)使得所述第一磁性構(gòu)件面對(duì)所述第二磁性構(gòu)件，所述第一磁性構(gòu)件和所述第二磁性構(gòu)件在所述固定塊與所述移動(dòng)塊之間產(chǎn)生磁力。
3.按權(quán)利要求2所述的陣列測(cè)試裝置，其中，至少所述第一磁性構(gòu)件或所述第二磁性構(gòu)件包括電磁體。
4.按權(quán)利要求2所述的陣列測(cè)試裝置，其中，至少所述第一磁性構(gòu)件或所述第二磁性構(gòu)件包括永磁體，并且 所述外力提供單元包括連接到至少所述第一磁性構(gòu)件或所述第二磁性構(gòu)件的磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置，所述磁性構(gòu)件移動(dòng)裝置沿所述第一磁性構(gòu)件和所述第二磁性構(gòu)件彼此接近或彼此遠(yuǎn)離的方向移動(dòng)至少所述第一磁性構(gòu)件或所述第二磁性構(gòu)件。
5.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，假定當(dāng)所述調(diào)制器已移離所述玻璃面板以容許所述調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第一距離，且當(dāng)所述調(diào)制器已接近所述玻璃面板以容許測(cè)試所述玻璃面板時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第二距離， 所述外力提供單元包括彈性構(gòu)件，當(dāng)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離是所述第一距離時(shí)，所述彈性構(gòu)件將彈力提供到所述移動(dòng)塊。
6.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述外力提供單元包括: 連接到所述固定塊的第一吹氣裝置，所述第一吹氣裝置朝所述移動(dòng)塊吹氣。
7.按權(quán)利要求6所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述移動(dòng)塊的由所述第一吹氣裝置吹出的氣體碰撞所述移動(dòng)塊的部分形成有凹部。
8.按權(quán)利要求6所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述固定塊和所述移動(dòng)塊之間設(shè)置有膨脹構(gòu)件，且從所述第一吹氣裝置吹出的氣體供應(yīng)進(jìn)所述膨脹構(gòu)件內(nèi)。
9.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述外力提供單元包括: 連接到所述移動(dòng)塊的第二吹氣裝置，所述第二吹氣裝置朝所述固定塊吹氣。
10.按權(quán)利要求9所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述固定塊的由所述第二吹氣裝置吹出的氣體碰撞所述固定塊的部分形成有凹部。
11.按權(quán)利要求9所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述固定塊和所述移動(dòng)塊之間設(shè)置有膨脹構(gòu)件，且從所述第二吹氣裝置吹出的氣體供應(yīng)進(jìn)所述膨脹構(gòu)件內(nèi)。
12.按權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的陣列測(cè)試裝置，其中，所述外力提供單元包括沿所述固定塊和所述移動(dòng)塊的周緣方向繞所述調(diào)制器設(shè)置的多個(gè)外力提供單元，并且從所述外力提供單元產(chǎn)生的外力的強(qiáng)度被單獨(dú)地控制。
13.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，假定當(dāng)所述調(diào)制器已移離所述玻璃面板以容許所述調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第一距離，且當(dāng)所述調(diào)制器已接近所述玻璃面板以容許測(cè)試所述玻璃面板時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第二距離，還包括: 控制單元，所述控制單元控制所述外力提供單元的操作，使得當(dāng)所述調(diào)制器沿所述第二方向移動(dòng)以使所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離從所述第一距離改變到所述第二距離時(shí)外力施加到所述移動(dòng)塊。
14.按權(quán)利要求1所述的陣列測(cè)試裝置，假定當(dāng)所述調(diào)制器已移離所述玻璃面板以容許所述調(diào)制器水平移動(dòng)時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第一距離，且當(dāng)所述調(diào)制器已接近所述玻璃面板以容許測(cè)試所述玻璃面板時(shí)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離稱作第二距離，還包括: 控制單元，所述控制單元控制所述外力提供單元的操作，使得當(dāng)所述玻璃面板與所述調(diào)制器之間的距離是所述第一距離 時(shí)外力施加到所述移動(dòng)塊。
全文摘要
本文公開一種陣列測(cè)試裝置，其可防止調(diào)制器搖晃或傾斜。
文檔編號(hào)G09G3/00GK103093715SQ201210184039
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月8日
發(fā)明者鄭東賢, 潘俊浩 申請(qǐng)人:塔工程有限公司