檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置及方法、基板檢測(cè)裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種基板檢測(cè)裝置，包括：檢測(cè)傳感器、至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊；其中，所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器的水平度；所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。本發(fā)明還相應(yīng)地公開(kāi)了一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置及方法。通過(guò)本發(fā)明，能夠提高檢測(cè)效率、節(jié)省人力成本、且應(yīng)用范圍較大。
【專(zhuān)利說(shuō)明】檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置及方法、基板檢測(cè)裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置及方法、基板檢測(cè)
>J-U ρ?α裝直。
【背景技術(shù)】
[0002]在薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Thin Film Transistor, TFT)-液晶顯示器(LiquidCrystal Display, LCD)的檢測(cè)工藝中，基板檢測(cè)設(shè)備需要將檢測(cè)傳感器(Modulator)保持水平，以保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。具體的，基板檢測(cè)設(shè)備需要通過(guò)檢測(cè)傳感器模擬TFT-LCD的顯示原理在距離TFT基板上方15-20微米處進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)傳感器一般固定在具有調(diào)節(jié)功能的基板檢測(cè)裝置(Modulator Mount)上，在每次重新檢測(cè)TFT基板時(shí)，都要先進(jìn)行一次檢測(cè)傳感器的水平校正。[0003]目前，采用人工粗調(diào)和基板檢測(cè)裝置微調(diào)相結(jié)合的方式調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度，當(dāng)水平較差時(shí)首先需要人工進(jìn)行粗調(diào)，再由基板檢測(cè)裝置進(jìn)行微調(diào)。在進(jìn)行人工粗調(diào)時(shí)，將檢測(cè)傳感器下降到離TFT基板一定的高度再進(jìn)行檢測(cè)，信號(hào)加載設(shè)備對(duì)TFT基板加載信號(hào)，以給TFT基板內(nèi)部的像素進(jìn)行充電；之后，由檢測(cè)傳感器檢測(cè)TFT基板上三個(gè)預(yù)設(shè)區(qū)域的信號(hào)強(qiáng)度并進(jìn)行比較計(jì)算，然后展示計(jì)算結(jié)果；工程師根據(jù)此計(jì)算結(jié)果調(diào)節(jié)相應(yīng)的氣閥來(lái)控制水平，達(dá)到基板檢測(cè)裝置可自動(dòng)調(diào)節(jié)的范圍后，再由基板檢測(cè)裝置根據(jù)線性可變差動(dòng)變壓器的原理進(jìn)行微調(diào)。
[0004]但是，上述調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器水平度的方式存在以下兩個(gè)問(wèn)題:
[0005]I)檢測(cè)傳感器的水平度誤差超過(guò)基板檢測(cè)裝置自動(dòng)調(diào)節(jié)范圍時(shí)，需要人工先進(jìn)行粗調(diào)，尤其當(dāng)更換新的檢測(cè)傳感器時(shí)，由于檢測(cè)傳感器本身的差異，檢測(cè)傳感器所感知信號(hào)的強(qiáng)度也有差異，因此，每次更換都需要進(jìn)行一次人工粗調(diào)，耗費(fèi)人力資源，人力成本較高且檢測(cè)效率較低。
[0006]2)進(jìn)行人工粗調(diào)時(shí)，被檢測(cè)TFT基板必須能夠正常加載信號(hào)給像素充電，且被檢測(cè)區(qū)域不能有缺陷或無(wú)信號(hào)，這樣，才能保證檢測(cè)傳感器在三個(gè)預(yù)設(shè)區(qū)域獲取信號(hào)強(qiáng)度的準(zhǔn)確性，進(jìn)而保證人工粗調(diào)的準(zhǔn)確性；在檢測(cè)過(guò)程中，特別是在檢測(cè)小尺寸TFT產(chǎn)品時(shí)，經(jīng)常由于TFT基板有缺陷，不能正常加載信號(hào)，并且，檢測(cè)傳感器的面積要遠(yuǎn)大于內(nèi)部一個(gè)Panel面積，預(yù)設(shè)的檢測(cè)區(qū)域經(jīng)常在Panel外部，而設(shè)定預(yù)設(shè)的檢測(cè)區(qū)域又特別麻煩，并且在檢測(cè)不同尺寸產(chǎn)品時(shí)還會(huì)相互影響，從而導(dǎo)致檢測(cè)傳感器的檢測(cè)區(qū)域沒(méi)有信號(hào)或信號(hào)不準(zhǔn)確，進(jìn)而導(dǎo)致檢測(cè)傳感器水平度調(diào)節(jié)失敗或調(diào)節(jié)不準(zhǔn)確，不能對(duì)TFT基板進(jìn)行正常檢測(cè)，換言之，現(xiàn)有技術(shù)只適用于TFT基板被檢測(cè)區(qū)域無(wú)缺陷的場(chǎng)景，從而應(yīng)用范圍較小。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置及方法、基板檢測(cè)裝置，能夠提高檢測(cè)效率、節(jié)省人力成本、且應(yīng)用范圍較大。
[0008]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:[0009]一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，包括:至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊;其中，
[0010]所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)檢測(cè)傳感器的水平度；
[0011]所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊對(duì)所述檢測(cè)傳感器進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0012]該裝置具體包括兩個(gè)檢測(cè)模塊和三個(gè)調(diào)節(jié)模塊，分別為:第一檢測(cè)模塊、第二檢測(cè)模塊、第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊；其中，
[0013]所述第一檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度；
[0014]所述第二檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)與所述第一檢測(cè)模塊所檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度；
[0015]所述第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊，分別用于根據(jù)所述控制模塊的控制進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0016]所述檢測(cè)模塊為液體水平檢測(cè)儀。
[0017]所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)；或者，
[0018]所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0019]所述控制模塊，還用于在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)；
[0020]所述調(diào)節(jié)模塊通過(guò)電機(jī)或氣壓進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0021]一種基板檢測(cè)裝置，包括:檢測(cè)傳感器和檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置；其中，
[0022]所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；
[0023]所述檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，為上述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置。
[0024]一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)方法，包括:
[0025]獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果；
[0026]根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)所述檢測(cè)傳感器的水平度。
[0027]該方法具體包括:
[0028]獲取第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，所述第一檢測(cè)結(jié)果為檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度，所述第二檢測(cè)結(jié)果為與所述第一檢測(cè)結(jié)果所對(duì)應(yīng)的檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度；
[0029]根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊對(duì)檢測(cè)傳感器進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0030]所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)；或者，
[0031]所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0032]所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:
[0033]檢測(cè)結(jié)果的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；檢測(cè)結(jié)果小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)；以及，
[0034]通過(guò)電機(jī)或氣壓調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度。
[0035]本發(fā)明基板檢測(cè)裝置及檢測(cè)傳感器水平度調(diào)節(jié)方法，基板檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)傳感器、至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊；其中，所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器的水平度；所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。通過(guò)本發(fā)明，基板檢測(cè)裝置不需要人工進(jìn)行粗調(diào)，利用液體流動(dòng)性的特點(diǎn)，通過(guò)兩個(gè)方向的水平檢測(cè)儀對(duì)檢測(cè)傳感器的水平度進(jìn)行檢測(cè)，并通過(guò)控制模塊控制執(zhí)行模塊(如電機(jī))進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)，從而使檢測(cè)傳感器保持水平，提高檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量、節(jié)省人力成本。
[0036]另外，本發(fā)明所述的檢測(cè)傳感器水平度的調(diào)節(jié)不依賴(lài)于基板上像素的信號(hào)加載，所以，基板自身的缺陷并不會(huì)影響本發(fā)明對(duì)基板進(jìn)行正常檢測(cè)，所以應(yīng)用范圍較大。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0037]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提出的一種基板檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提出的另一種基板檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖3為本發(fā)明實(shí)施例實(shí)際應(yīng)用中的基板檢測(cè)裝置不意圖；
[0040]圖4為本發(fā)明一種基板檢測(cè)裝置在基板檢測(cè)設(shè)備中的位置示意圖；
[0041]圖5為本發(fā)明一實(shí)施例中液體水平檢測(cè)儀處于水平狀態(tài)的示意圖；
[0042]圖6為本發(fā)明一實(shí)施例中液體水平檢測(cè)儀處于非水平狀態(tài)的示意圖；
[0043]圖7為本發(fā)明實(shí)施例一種調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器水平度的流程示意圖；
[0044]圖8為電機(jī)調(diào)節(jié)模塊示意圖；
[0045]圖9為本發(fā)明實(shí)施例所述的檢測(cè)傳感器水平度調(diào)節(jié)方法流程示意圖。
[0046]附圖標(biāo)記說(shuō)明:1、檢測(cè)傳感器；2、檢測(cè)模塊；3、控制模塊；4、調(diào)節(jié)模塊；21、第一檢測(cè)模塊；22、第二檢測(cè)模塊；41、第一調(diào)節(jié)模塊；42、第二調(diào)節(jié)模塊；43、第三調(diào)節(jié)模塊；5、上下固定連接軸；6、設(shè)備運(yùn)動(dòng)軸；7、承載基臺(tái)；8、基板檢測(cè)裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0047]本發(fā)明的基本思想是:基板檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)傳感器、至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊；其中，所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器的水平度；所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0048]本發(fā)明實(shí)施例提出了一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，包括:至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊；其中，
[0049]所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)檢測(cè)傳感器的水平度；
[0050]所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊對(duì)所述檢測(cè)傳感器進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0051]可選的，該裝置具體包括兩個(gè)檢測(cè)模塊和三個(gè)調(diào)節(jié)模塊，分別為:第一檢測(cè)模塊、第二檢測(cè)模塊、第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊；其中，
[0052]所述第一檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度；
[0053]所述第二檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)與所述第一檢測(cè)模塊所檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度；
[0054]所述第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊，分別用于根據(jù)所述控制模塊的控制進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0055]可選的，所述檢測(cè)模塊為液體水平檢測(cè)儀。
[0056]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)；或者，
[0057]所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0058]可選的，所述控制模塊，還用于在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)；
[0059]所述調(diào)節(jié)模塊通過(guò)電機(jī)或氣壓進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0060]本發(fā)明實(shí)施例還提出一種基板檢測(cè)裝置，該基板檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)傳感器和檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置；其中，所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；所述檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，為上述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置。具體的，如圖1所示，該基板檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)傳感器
1、至少一個(gè)檢測(cè)模塊2、控制模塊3和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊4 ;其中，
[0061]檢測(cè)傳感器I，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)；
[0062]檢測(cè)模塊2，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器I的水平度；
[0063]控制模塊3，用于根據(jù)檢測(cè)模塊2的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊4進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0064]可選的，如圖2所示，該裝置具體包括兩個(gè)檢測(cè)模塊和三個(gè)調(diào)節(jié)模塊，分別為:第一檢測(cè)模塊21、第二檢測(cè)模塊22、第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43 ;其中，第一檢測(cè)模塊21，用于檢測(cè)檢測(cè)傳感器I 一個(gè)方向的水平度；第二檢測(cè)模塊22，用于檢測(cè)與第一檢測(cè)模塊21所檢測(cè)方向垂直的檢測(cè)傳感器I的另一個(gè)方向的水平度；第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43，分別用于根據(jù)控制模塊2的控制進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0065]需要說(shuō)明的是，如果基板檢測(cè)裝置中只包含一個(gè)檢測(cè)模塊，那么，該檢測(cè)模塊執(zhí)行第一檢測(cè)模塊21和第二檢測(cè)模塊22的功能，如果基板檢測(cè)裝置中只包含一個(gè)調(diào)節(jié)模塊，那么，該調(diào)節(jié)模塊執(zhí)行第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42和第三調(diào)節(jié)模塊43的功能。
[0066]可選的，檢測(cè)模塊2為液體水平檢測(cè)儀。
[0067]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器；
[0068]控制模塊3，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制調(diào)節(jié)模塊4進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。[0069]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀；
[0070]控制模塊3，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制調(diào)節(jié)模塊4進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0071]可選的，控制模塊3，還用于在檢測(cè)模塊2的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊4進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；在檢測(cè)模塊2的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊4進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)。
[0072]可選的，調(diào)節(jié)模塊4通過(guò)電機(jī)或氣壓進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0073]以圖2所示的基板檢測(cè)裝置為例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中，第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43，分別用于根據(jù)控制模塊3的控制，進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。優(yōu)選的，第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43呈等腰三角形或等邊三角形形態(tài)。
[0074]需要說(shuō)明的是，實(shí)際應(yīng)用中的基板檢測(cè)裝置應(yīng)是一個(gè)整體，如圖3所示，圖2為了使基板檢測(cè)裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)更加明晰，所以將基板檢測(cè)裝置分為上半部分和下半部分分別展示，如圖2所示，該基板檢測(cè)裝置還包括多個(gè)上下固定連接軸5，用于將基板檢測(cè)裝置的上半部分和下半部分固定連接在一起，固定連接軸應(yīng)保證下半部分不掉落，且可上下移動(dòng)一定的距離，從而保證可進(jìn)行水平調(diào)節(jié)。
[0075]在本發(fā)明實(shí)施例中，基板檢測(cè)裝置上半部分用于固定在基板檢測(cè)設(shè)備上，下半部分主要用于安裝檢測(cè)傳感器I，基板檢測(cè)裝置下半部分的水平度可調(diào)，且與檢測(cè)傳感器I的水平度保持一致，第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43具體通過(guò)調(diào)節(jié)基板檢測(cè)裝置下半部分的水平度來(lái)調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器I的水平度。
[0076]圖4為一種基板檢測(cè)裝置在基板檢測(cè)設(shè)備中的位置示意圖，圖4中，本發(fā)明所述的基板檢測(cè)裝置8安裝在設(shè)備運(yùn)動(dòng)軸6上；另外，圖4中標(biāo)號(hào)7指示承載基臺(tái)。
[0077]需要說(shuō)明的是，第一檢測(cè)模塊21、第二檢測(cè)模塊22、控制模塊3、第一調(diào)節(jié)模塊41、第二調(diào)節(jié)模塊42、第三調(diào)節(jié)模塊43的位置可以分別根據(jù)實(shí)際需求設(shè)置，并不限定于本發(fā)明實(shí)施例所示的位置。
[0078]可選的，所述第一檢測(cè)模塊21和/或第二檢測(cè)模塊22為液體水平檢測(cè)儀。
[0079]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，該容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，
[0080]控制模塊3，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0081]圖5為上述實(shí)施例中液體水平檢測(cè)儀處于水平狀態(tài)的示意圖，如圖5所示，當(dāng)檢測(cè)傳感器I水平時(shí)，液體水平檢測(cè)儀中內(nèi)置容器也是水平的，此時(shí)底部?jī)蓚?cè)的壓力傳感器距液面的距離相等(hi = h2)，根據(jù)液體中壓力的計(jì)算公式:F = P.g.h.S可知兩壓力傳感器所受到的壓力是相等的，其中，F(xiàn)為傳感器所受壓力，P為液體密度，g為重力常數(shù)，h為深度，s為傳感器接觸面積。
[0082]圖6為上述實(shí)施例中液體水平檢測(cè)儀處于非水平狀態(tài)的示意圖，如圖6所示，當(dāng)檢測(cè)傳感器I發(fā)生傾斜時(shí),液體水平檢測(cè)儀也會(huì)發(fā)生相應(yīng)的傾斜,根據(jù)液體流動(dòng)性特點(diǎn),液面始終會(huì)保持水平，此時(shí)，容器底部的壓力傳感器距液面的距離即發(fā)生變化(h'2)，壓力傳感器所受到的壓力也就不相等，所以控制模塊4可根據(jù)該壓力值進(jìn)行計(jì)算，并控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行調(diào)節(jié)。[0083]控制模塊3根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0084]圖7為本發(fā)明實(shí)施例一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)方法的流程示意圖，本實(shí)施例參考圖5所示結(jié)構(gòu)，如圖7所示，當(dāng)基板檢測(cè)裝置的水平度不好時(shí)(例如發(fā)生傾斜)，液體水平檢測(cè)儀也會(huì)發(fā)生相應(yīng)傾斜，首先Y方向的液體水平檢測(cè)儀中的壓力傳感器將檢測(cè)的壓力值傳遞給控制模塊6，控制模塊6對(duì)所接收到的信號(hào)進(jìn)行計(jì)算處理，并根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制模塊6控制Y方向的液體水平檢測(cè)儀兩端的兩個(gè)電機(jī)帶動(dòng)傳感器固定裝置進(jìn)行調(diào)節(jié)，直到Y(jié)方向保持水平，在調(diào)節(jié)過(guò)程中，Y方向的液體水平檢測(cè)儀實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋調(diào)節(jié)結(jié)果；同理，X方向的液體水平檢測(cè)儀里的壓力傳感器的壓力值也會(huì)發(fā)生變化，當(dāng)Y方向水平調(diào)節(jié)完后，再啟動(dòng)X方向的液體水平檢測(cè)儀進(jìn)行檢測(cè)，同樣把檢測(cè)結(jié)果傳遞給控制模塊，控制模塊6再根據(jù)計(jì)算結(jié)果調(diào)節(jié)另一個(gè)電機(jī)，直到X方向保持水平，這一過(guò)程和調(diào)節(jié)Y方向類(lèi)似。由于本實(shí)施例中的三個(gè)電機(jī)構(gòu)成一個(gè)等腰或等邊三角形，相當(dāng)于一個(gè)面中的三點(diǎn)，從而可以保證按此調(diào)節(jié)順序調(diào)節(jié)后使檢測(cè)傳感器I保持水平。
[0085]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，
[0086]所述控制模塊3，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0087]可選的，所述控制模塊3，還用于在第一檢測(cè)模塊21和/或第二檢測(cè)模塊22的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；在第一檢測(cè)模塊21和/或第二檢測(cè)模塊22的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)。
[0088]例如，首先設(shè)定一個(gè)比較閥值(液體水平檢測(cè)儀內(nèi)兩壓力傳感器檢測(cè)到的壓力值相比較)，當(dāng)水平度較差時(shí)，兩壓力值相差也較大，如果這個(gè)差值超過(guò)所設(shè)定的值，控制模塊3控制電機(jī)以較快的速度進(jìn)行粗調(diào)，直到這個(gè)差值在設(shè)定的范圍內(nèi)，再控制電機(jī)以較慢的速度進(jìn)行微調(diào)，使水平度更精準(zhǔn)。
[0089]可選的，所述第一調(diào)節(jié)模塊41、和/或第二調(diào)節(jié)模塊42、和/或第三調(diào)節(jié)模塊43通過(guò)電機(jī)或氣壓調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度。
[0090]在一實(shí)施例中，調(diào)節(jié)模塊為如圖8所示的電機(jī)調(diào)節(jié)模塊，基板檢測(cè)裝置上半部分頂部裝有三個(gè)電機(jī)，電機(jī)的連軸桿與下半部連接，用于控制下半部分的升降，并且三個(gè)電機(jī)呈等腰或等邊三角形形態(tài)(即:一個(gè)電機(jī)處于兩個(gè)電機(jī)的等分線上)，根據(jù)三點(diǎn)成面原理可以有效的調(diào)節(jié)基板檢測(cè)裝置下半部分的水平度；頂部還安裝有控制模塊3，主要接收用液體水平檢測(cè)儀(即檢測(cè)模塊)傳遞來(lái)的信號(hào)并進(jìn)行計(jì)算處理，根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制電機(jī)進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)；檢測(cè)傳感器I安裝固定在下半部分上，因此，將液體水平檢測(cè)儀固定安裝在基板檢測(cè)裝置的下半部分，保證其水平度與檢測(cè)傳感器I 一致，從而可以實(shí)時(shí)檢測(cè)檢測(cè)傳感器I的水平度，當(dāng)水平度不好時(shí)便自動(dòng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。具體的，可采用步進(jìn)電機(jī)，電機(jī)連軸桿固定在基板檢測(cè)裝置的下半部分，電機(jī)連軸桿內(nèi)固定有一與電機(jī)絲杠連接的軸承，當(dāng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)軸承與連軸桿可以帶動(dòng)基板檢測(cè)裝置的下半部分進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)。
[0091]本發(fā)明還相應(yīng)地提出了一種檢測(cè)傳感器水平度調(diào)節(jié)方法，圖9為本發(fā)明實(shí)施例所述的檢測(cè)傳感器水平度調(diào)節(jié)方法流程示意圖，如圖9所示，該方法包括:[0092]步驟901:獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果；
[0093]步驟902:根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)所述檢測(cè)傳感器的水平度。
[0094]可選的，該方法具體包括:
[0095]獲取第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，所述第一檢測(cè)結(jié)果為檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度，所述第二檢測(cè)結(jié)果為與所述第一檢測(cè)結(jié)果所對(duì)應(yīng)的檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度；
[0096]根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0097]所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，
[0098]所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0099]可選的，所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，
[0100]所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0101]可選的，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:
[0102]檢測(cè)結(jié)果的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；檢測(cè)結(jié)果小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)。
[0103]可選的，通過(guò)電機(jī)或氣壓調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度。
[0104]以圖2所示的基板檢測(cè)裝置調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器水平度為例，其中，上述方法中所述獲取是由控制模塊獲?。凰龅谝粰z測(cè)結(jié)果是第一檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，所述第二檢測(cè)結(jié)果是第二檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果；這里，所述第一檢測(cè)模塊用于檢測(cè)該檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度，所述第二檢測(cè)模塊用于檢測(cè)與所述第一檢測(cè)模塊所檢測(cè)方向垂直的該檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度；
[0105]具體的，控制模塊根據(jù)所述第一檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果、以及所述第二檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)，以保持該檢測(cè)傳感器水平。
[0106]可選的，所述獲取第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果。
[0107]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，
[0108]所述根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制第一調(diào)節(jié)模塊、和/或第二調(diào)節(jié)模塊、和/或第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0109]可選的，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，
[0110]所述根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制第一調(diào)節(jié)模塊、和/或第二調(diào)節(jié)模塊、和/或第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
[0111]可選的，所述根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)為:
[0112]所述第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制第一調(diào)節(jié)模塊、和/或第二調(diào)節(jié)模塊、和/或第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制第一調(diào)節(jié)模塊、和/或第二調(diào)節(jié)模塊、和/或第三調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)。
[0113]可選的，所述第一調(diào)節(jié)模塊、和/或第二調(diào)節(jié)模塊、和/或第三調(diào)節(jié)模塊通過(guò)電機(jī)或氣壓進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
[0114]本發(fā)明利用液體流動(dòng)性的特點(diǎn)，通過(guò)兩個(gè)方向(如圖1中所示的X和Y方向)的液體水平檢測(cè)儀對(duì)設(shè)備檢測(cè)裝置的水平度進(jìn)行檢測(cè)并通過(guò)控制模塊控制電機(jī)進(jìn)行水平自動(dòng)調(diào)節(jié)，從而使檢測(cè)傳感器始終保持水平，提高檢測(cè)效率和檢測(cè)質(zhì)量。
[0115]本發(fā)明所述的調(diào)節(jié)方式是獨(dú)立的，不需要人工進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)時(shí)與基板相分離，不需要根據(jù)基板上像素加載的信號(hào)情況進(jìn)行調(diào)節(jié)；同時(shí)，可根據(jù)檢測(cè)裝置的傾斜程度實(shí)現(xiàn)粗調(diào)和微調(diào)兩種方式，并且完全自動(dòng)進(jìn)行，大大加快了調(diào)節(jié)速度，減少由于水平調(diào)節(jié)失敗導(dǎo)致的設(shè)備宕機(jī)，提高了檢測(cè)效率，保證了設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性和檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性，能節(jié)省工程師更多的時(shí)間和精力。
[0116]以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括:至少一個(gè)檢測(cè)模塊、控制模塊和至少一個(gè)調(diào)節(jié)模塊；其中， 所述檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)檢測(cè)傳感器的水平度； 所述控制模塊，用于根據(jù)所述檢測(cè)模塊的檢測(cè)結(jié)果，控制調(diào)節(jié)模塊對(duì)所述檢測(cè)傳感器進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，該裝置具體包括兩個(gè)檢測(cè)模塊和三個(gè)調(diào)節(jié)模塊，分別為:第一檢測(cè)模塊、第二檢測(cè)模塊、第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊；其中， 所述第一檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)所述檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度； 所述第二檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)與所述第一檢測(cè)模塊所檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度； 所述第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊、第三調(diào)節(jié)模塊，分別用于根據(jù)所述控制模塊的控制進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)模塊為液體水平檢測(cè)儀。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)；或者， 所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，所述控制模塊，具體用于根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，其特征在于， 所述控制模塊，還用于在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；在檢測(cè)模塊的檢測(cè)值或基于檢測(cè)值的計(jì)算值小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，控制調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)； 所述調(diào)節(jié)模塊通過(guò)電機(jī)或氣壓進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
6.一種基板檢測(cè)裝置，其特征在于，該基板檢測(cè)裝置包括:檢測(cè)傳感器和檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置；其中， 所述檢測(cè)傳感器，用于對(duì)基板進(jìn)行檢測(cè)； 所述檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置，為權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)裝置。
7.—種檢測(cè)傳感器調(diào)節(jié)方法，其特征在于，該方法包括: 獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度進(jìn)行檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果； 根據(jù)所述檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)所述檢測(cè)傳感器的水平度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，該方法具體包括: 獲取第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，所述第一檢測(cè)結(jié)果為檢測(cè)傳感器一個(gè)方向的水平度，所述第二檢測(cè)結(jié)果為與所述第一檢測(cè)結(jié)果所對(duì)應(yīng)的檢測(cè)方向垂直的所述檢測(cè)傳感器的另一個(gè)方向的水平度； 根據(jù)獲得的第一檢測(cè)結(jié)果和第二檢測(cè)結(jié)果，控制第一調(diào)節(jié)模塊、第二調(diào)節(jié)模塊以及第三調(diào)節(jié)模塊對(duì)檢測(cè)傳感器進(jìn)行相應(yīng)水平度調(diào)節(jié)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為裝有液體的容器，所述容器底部設(shè)置有至少兩個(gè)壓力傳感器，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中壓力傳感器檢測(cè)的壓力值，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)；或者， 所述獲取對(duì)檢測(cè)傳感器水平度的檢測(cè)結(jié)果為:從液體水平檢測(cè)儀獲取，所述液體水平檢測(cè)儀為氣泡式液體水平檢測(cè)儀，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:根據(jù)所述液體水平檢測(cè)儀中氣泡的位置，進(jìn)行水平度調(diào)節(jié)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度為:檢測(cè)結(jié)果的計(jì)算值不小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行快速調(diào)節(jié)；檢測(cè)結(jié)果小于預(yù)設(shè)的閾值時(shí)，進(jìn)行緩慢調(diào)節(jié)；以及， 通過(guò)電機(jī)或氣壓調(diào) 節(jié)檢測(cè)傳感器的水平度。
【文檔編號(hào)】G09G3/00GK103915048SQ201310003756
【公開(kāi)日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2013年1月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月6日
【發(fā)明者】林子錦, 趙海生, 裴曉光, 馬海濤, 王耀偉 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司