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隔離型nldmos器件及其制造方法技術資料下載

技術編號:8341306

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LDMOS(橫向擴散金屬氧化物半導體)由于具有耐高壓、大電流驅動能力、極低功耗以及可與CMOS集成等優(yōu)點,目前在電源管理電路中被廣泛采用。現有一種40V隔離型NLDMOS(N型橫向擴散金屬氧化物半導體)器件,如圖1所示,在P型硅襯底101上形成有N型深阱102,N型深阱102左部形成有P阱105,右部形成有N阱104 ;P阱105同N阱104之間有N型深阱102間隔區(qū),P阱105右部、N阱104左部及P阱105同N阱104之間的N型深阱102間隔區(qū)上方形成...
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