貼合器件的制造裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種相對于例如液晶顯示器(IXD)、有機(jī)EL顯示器(OLED)、等離子顯示器(PDP)、柔性顯示器等平板顯示器(FPD)或傳感器設(shè)備、或者例如觸控面板式FPD、3D(三維)顯示器或電子書籍等的液晶模塊(LCM)或柔性印刷電路板(FPC)等板狀工件，再貼合一張如觸控面板、覆蓋玻璃、覆蓋膜或FPD等板狀工件的貼合器件的制造裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種貼合器件的制造裝置，有如下基板重疊裝置，即沿著設(shè)置于上側(cè)基板保持件及下側(cè)基板保持件的貫穿孔，分別以能夠上下移動的方式設(shè)置上側(cè)基板及下側(cè)基板的交接用升降銷，在大氣壓下搬入時，通過以從上側(cè)基板保持件及下側(cè)基板保持件的表面突出的方式上下移動的升降銷分別接收由搬運機(jī)器人的臂保持并搬運的上側(cè)基板及下側(cè)基板，接著，升降銷進(jìn)行反向移動，將上側(cè)基板及下側(cè)基板分別交接到上側(cè)基板保持件及下側(cè)基板保持件的表面(例如，參考專利文獻(xiàn)I)。交接基板之后，上側(cè)基板保持件與下側(cè)基板保持件靠近移動而使兩者之間的真空容器內(nèi)成為真空狀態(tài)，然后，重疊上側(cè)基板與下側(cè)基板并臨時固定，待真空容器內(nèi)成為大氣壓之后，通過升降銷將被貼合的基板交接到搬運機(jī)器人的臂并搬出。
[0003]而且，在專利文獻(xiàn)I中記載的、上側(cè)基板保持件及下側(cè)基板保持件的貫穿孔與升降銷之間設(shè)置如O型環(huán)那樣的密封部件，并使其可滑動地與升降銷接觸，由此維持真空容器內(nèi)的密封狀態(tài)。
[0004]并且，作為其他例子，還有如下基板貼合裝置，即遍及設(shè)有貫穿孔的腔室與上側(cè)基板及下側(cè)基板的交接用升降銷地設(shè)置波紋管等可彈性變形的密封部件，與升降銷可上下移動地連結(jié)，由此維持腔室內(nèi)的密封狀態(tài)(例如，參考專利文獻(xiàn)2)。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-229471號公報
[0007]專利文獻(xiàn)2:國際公開第2008/114337號小冊子

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]發(fā)明要解決的課題
[0009]然而，就這種現(xiàn)有的貼合器件的制造裝置而言，在O型環(huán)等密封部件可滑動地與升降銷接觸的專利文獻(xiàn)I中，升降銷每次移動時均與O型環(huán)等摩擦，因此從這些滑動部位產(chǎn)生由O型環(huán)等的一部分變成的廢物，給工件的貼合帶來不良影響，并且O型環(huán)等磨損而壽命變短，存在需要定期更換零件的問題。如果為了抑制廢物的產(chǎn)生而對滑動部分供給滑動潤滑脂等潤滑劑，則不僅要擔(dān)憂真空中氣體的產(chǎn)生或揮發(fā)，在維護(hù)性上也存在問題。
[0010]而且，當(dāng)被O型環(huán)等密封部件密封的密閉空間變化為大氣壓和真空時，由于這些壓力差的變化，會產(chǎn)生輕微的變形，因此有時也會由于該變形而在升降銷移動時施加過大的負(fù)荷，在最嚴(yán)重的情況下還有可能出現(xiàn)升降銷被削減或由于移動不良而發(fā)生意外事故。
[0011]并且，在升降銷通過波紋管等可彈性變形的密封部件可移動地被連結(jié)的專利文獻(xiàn)2中，波紋管等的能夠隨著升降銷的移動而伸縮的沖程被限制，如果超過其范圍則導(dǎo)致波紋管等的壽命降低。因此，為了增大升降銷的移動沖程，需要將波紋管等密封部件本身的大小向升降銷的移動方向延長，存在裝置整體隨之大型化而成本變高的問題。
[0012]本發(fā)明將解決這種問題作為課題，其目的在于提供一種在變壓室或貫穿孔與交接部件之間不使用密封部件就能夠使交接部件無接觸且無限制地移動的密封結(jié)構(gòu)等。
[0013]用于解決課題的手段
[0014]為了實現(xiàn)這種目的，本發(fā)明是一種貼合器件的制造裝置，所述裝置將被搬入到變壓室的第一工件及第二工件分別交接到第一保持部件及第二保持部件，并在被減壓的所述變壓室中使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或雙方相對靠近移動，從而貼合所述第一工件與所述第二工件，其特征在于，所述裝置具備:所述變壓室，取放自如地容納所述第一工件及所述第二工件；所述第一保持部件及所述第二保持部件，設(shè)置成在所述變壓室中朝向工件貼合方向相互對置；貼合用驅(qū)動部，使所述第一保持部件或所述第二保持部件中的任意一方或雙方以向所述工件貼合方向相對靠近或遠(yuǎn)離的方式移動；工件交接用交接部件，設(shè)置成穿過設(shè)置于所述變壓室的貫穿孔而向所述工件貼合方向移動自如；閉鎖部件，設(shè)置成以氣密狀地開閉所述變壓室的所述貫穿孔的方式移動自如；及控制部，對所述貼合用驅(qū)動部、所述交接部件的交接用驅(qū)動部及所述閉鎖部件的閉鎖用驅(qū)動部分別進(jìn)行動作控制，所述控制部控制為，在搬入工件時使所述閉鎖部件進(jìn)行打開移動，以使所述貫穿孔開口，并且為了交接工件而移動所述交接部件，在貼合工件時，從所述貫穿孔拔出所述交接部件，并使所述閉鎖部件進(jìn)行關(guān)閉移動，以使所述貫穿孔被以氣密狀閉鎖。
[0015]發(fā)明效果
[0016]具有前述特征的本發(fā)明中，在向變壓室搬入工件時，通過控制部使閉鎖部件進(jìn)行打開移動，從而使變壓室的貫穿孔開口，由此交接部件變得能夠移動，以交接部件接收第一工件或第二工件中的任意一方或雙方，并且從交接部件交接到第一保持部件或第二保持部件中的任意一方或雙方。之后，通過控制部從變壓室的貫穿孔拔出交接部件之后，閉鎖部件進(jìn)行關(guān)閉移動而使貫穿孔以氣密狀閉鎖，由此能夠?qū)⒆儔菏覝p壓至成為高度真空狀態(tài)，第一工件與第二工件被貼合。
[0017]因此，能夠提供一種在變壓室或貫穿孔與交接部件之間不使用密封部件就能夠使交接部件無接觸且無限制地移動的密封結(jié)構(gòu)。
[0018]其結(jié)果，與O型環(huán)等密封部件可滑動地與升降銷接觸的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比，由于是沒有滑動部位的密封結(jié)構(gòu)，因此能夠防止廢物的產(chǎn)生對工件的貼合帶來的不良影響、伴隨磨損的零件的更換、及壓力差的變化引起的密封部件的變形，可實現(xiàn)經(jīng)長期而穩(wěn)定的運轉(zhuǎn)。
[0019]而且，與升降銷通過波紋管等可彈性變形的密封部件可移動地被連結(jié)的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)相比，由于能夠自由地移動交接部件，因此能夠防止零件的壽命降低及裝置整體的大型化，并可減少成本。
【附圖說明】
[0020]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的貼合器件的制造裝置的整體結(jié)構(gòu)的說明圖，圖1(a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖1(b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0021]圖2是表示腔室的變形例的說明圖，圖2(a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖2 (b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0022]圖3是表示第二保持部件的變形例的說明圖，圖3(a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖3(b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0023]圖4是表示閉鎖部件的驅(qū)動部的一例的說明圖，圖4 (a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖4 (b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0024]圖5是表示閉鎖部件的變形例的說明圖，圖5 (a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖5(b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0025]圖6是表示本發(fā)明的實施例1所涉及的貼合器件的制造裝置的整體結(jié)構(gòu)的說明圖，圖6(a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖6(b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0026]圖7是表示本發(fā)明的實施例2所涉及的貼合器件的制造裝置的整體結(jié)構(gòu)的說明圖，圖7(a)是搬入工件時的縱剖主視圖，圖7(b)是減壓時的縱剖主視圖。
[0027]圖8是表示本發(fā)明的實施例3所涉及的貼合器件的制造裝置的整體結(jié)構(gòu)的說明圖，圖8(a)是搬入工件時的縮小縱剖主視圖，圖8(b)是對位后的縮小縱剖主視圖，圖8(c)是減壓時的縮小縱剖主視圖。
【具體實施方式】
[0028]以下，根據(jù)附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實施方式。
[0029]如圖1?圖8所示，本發(fā)明的實施方式所涉及的貼合器件W的制造裝置A為如下真空貼合裝置:將從外部朝向變壓室I被搬入的第一工件Wl及第二工件W2分別交接給在變壓室I中相對配置的第一保持部件2及第二保持部件3，之后，在被減壓的變壓室I中使第一保持部件2或第二保持部件3中的任意一方或雙方向所述相對方向相對地靠近移動，由此第一工件Wl與第二工件W2被貼合(粘合)，從而制作貼合器件W。
[0030]詳細(xì)地說明，本發(fā)明的實施方式所涉及的貼合器件W的制造裝置A具備以下部分作為主要的構(gòu)成要素:變壓室I，第一工件Wl及第二工件W2取放自如地收容于該變壓室I ;第一保持部件2及第二保持部件3，設(shè)置成在變壓室I中朝向所述工件貼合方向(第一工件Wl及第二工件W2的貼合方向)彼此相對；貼合用驅(qū)動部4，使第一保持部件2或第二保持部件3中的任意一方或雙方以向所述貼合方向相對地靠近或遠(yuǎn)離的方式移動；工件交接用的交接部件5，穿過設(shè)置于變壓室I的貫穿孔12并向所述貼合方向移動自如地設(shè)置；閉鎖部件6，以氣密狀地開閉貫穿孔12的方式移動自如地設(shè)置在變壓室I的貫穿孔12的附近；及控制部7，設(shè)置成與貼合用驅(qū)動部4、交接部件5的交接用驅(qū)動部及閉鎖部件6的閉鎖用驅(qū)動部6D電連通并分別對它們進(jìn)行動作控制。
[0031]貼合器件W是多個構(gòu)成零件被一體地組裝的薄板狀結(jié)構(gòu)體，例如FPD或傳感器設(shè)備等。通過使例如觸控面板、覆蓋玻璃或覆蓋膜等的第二工件W2以覆蓋第一工件Wl的方式粘接，從而構(gòu)成FPD或傳感器設(shè)備等。
[0032]而且，在第一工件Wl及第二工件W2的由膜面等構(gòu)成的貼合面Wlf、W2f中的任意一方或雙方，利用點膠機(jī)等定量吐出噴嘴涂布有密封材料(未圖示)。作為密封材料，優(yōu)選使用UV固化性光學(xué)透明樹脂(OCR)等光固化型粘接劑，其通過吸收紫外線等光能進(jìn)行聚合來固化，從而體現(xiàn)粘接性。并且，作為其他的例子，還可以使用通過熱能的吸收進(jìn)行聚合來固化的熱固化型粘接劑、兩