專利名稱：對準(zhǔn)及制造元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的一個(gè)方面一般來說涉及測試裝置，更具體地說，涉及一種分布式測試系統(tǒng)，它提供對多個(gè)場所的多個(gè)光學(xué)元件進(jìn)行測試的能力。本發(fā)明的另一個(gè)方面涉及使用基于處理器控制的自動對準(zhǔn)器的光學(xué)元件的對準(zhǔn)和制造。
有若干測試光學(xué)元件的損失和其他特性的方式。例如，能向元件發(fā)射已知波長和振幅的單個(gè)光信號，并且能根據(jù)在裝置的輸出測量的信號來推斷損失。可選擇地，能向裝置順序地發(fā)射多個(gè)信號，并且對各個(gè)波長進(jìn)行類似的測量。在制造和生產(chǎn)環(huán)境中，優(yōu)選地在感興趣的波長范圍內(nèi)盡可能快地測試裝置。一般來說，測試光學(xué)元件的測試站要求非常昂貴的可調(diào)諧激光器。在操作中，這些激光器調(diào)諧到多個(gè)波長，一次一個(gè)，并且使它們的輸出信號供給在測試中裝置(DUT)。在預(yù)定波長范圍內(nèi)以各種波長對DUT提供信號的目的，是為了探測在感興趣的各個(gè)或若干波長下通過DUT的損失。當(dāng)然，將會有可能從若干分立激光器對DUT提供信號，然而，在生產(chǎn)環(huán)境中，這樣的方案將不見得實(shí)際。當(dāng)使用如上所述的可調(diào)諧激光器時(shí)，優(yōu)選地設(shè)置電子電路，以在特定瞬間及時(shí)地使DUT的輸出響應(yīng)與傳過裝置的特定波長光相關(guān)。
目前已知各種使用可調(diào)諧激光器的系統(tǒng)，其中調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)在各待測試波長停止。然而，當(dāng)測量大量(即＞100)的波長時(shí)，這個(gè)過程需要若干分鐘。波長精確性受到調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的機(jī)械公差的限制。
本部分繼續(xù)申請的特別重要的一個(gè)方面涉及元件的制造。
雖然元件的測試具有相對高的重要性，但是在制造期間進(jìn)行元件的測試能帶來相當(dāng)大的成本節(jié)省。例如，通過在制造階段相對地調(diào)諧元件，更具體地說自動地改變它們的相對對準(zhǔn)，有可能消除對不滿足要求規(guī)范的元件丟棄的習(xí)慣。
更進(jìn)一步，在施加如環(huán)氧樹脂那樣的粘合劑，或熱固化的粘合劑之前和之后，調(diào)諧或?qū)?zhǔn)元件具有相當(dāng)大的優(yōu)越性。例如，發(fā)現(xiàn)首先使兩個(gè)元件對準(zhǔn)，以便它們對傳過它們之間的光信號提供最佳耦合，然后執(zhí)行施加粘合劑的最后步驟，則通常提供假的結(jié)果。隨著粘合劑固化，它趨于收縮，并且拉動元件失去對準(zhǔn)。
用于控制對準(zhǔn)階段的基于軟件控制的系統(tǒng)需要致動器，以按希望方式使兩個(gè)元件相對定位。由于待對準(zhǔn)元件設(shè)計(jì)成以它們的結(jié)合通過或反射光，所以提供一個(gè)測試信號，并且一個(gè)或多個(gè)探測器向適當(dāng)編程的處理器提供對準(zhǔn)狀態(tài)的指示。相同處理器或與其耦合的一個(gè)處理器控制對準(zhǔn)階段，以根據(jù)從元件中一個(gè)或兩個(gè)傳過或反射的探測信號，提供最佳對準(zhǔn)。如果這種類型的系統(tǒng)使用一種顫動調(diào)諧方法來確定光通過元件之后的最大強(qiáng)度信號，并且調(diào)節(jié)元件的相對對準(zhǔn)，則由于在所掃描的波長范圍之內(nèi)有若干強(qiáng)度峰值，可能會出現(xiàn)誤差。因此，在用適當(dāng)波長的測試光進(jìn)行測試的第一組通道之內(nèi)，可能有一個(gè)或多個(gè)峰值，而在用適當(dāng)波長的測試光進(jìn)行測試的第二組通道之內(nèi)，可能有一個(gè)或多個(gè)其他峰值。
根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)，通過首先確定感興趣波長帶內(nèi)的最大峰值來消除這些可能誤差。
因此，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種系統(tǒng)，其中能在制造期間對光學(xué)元件自動地對準(zhǔn)和測試。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種系統(tǒng)，其中在施加粘合劑之后，通過自動對準(zhǔn)器能對以最佳位置附加的光學(xué)元件對準(zhǔn)、測試和再對準(zhǔn)。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種處理器驅(qū)動的系統(tǒng)，以在施加粘合劑之前和之后控制元件的相對對準(zhǔn)，以在對準(zhǔn)狀態(tài)下附加元件。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種設(shè)備，以在調(diào)諧可調(diào)諧激光器信號的同時(shí)，確定它的波長，以便調(diào)諧機(jī)構(gòu)無需在各個(gè)波長下停止，從而加速測量。波長精確性不受調(diào)諧機(jī)構(gòu)的機(jī)械公差的影響。
本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種中央系統(tǒng)，它產(chǎn)生多個(gè)信號，以對遠(yuǎn)離中央系統(tǒng)的多個(gè)測試站處的光學(xué)裝置進(jìn)行測試。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種系統(tǒng)，用于同時(shí)測試和/或制造多個(gè)裝置。
本發(fā)明的又一個(gè)目的是提供一種設(shè)備，它響應(yīng)可變波長的輸入信號，以對多個(gè)位置處的多個(gè)裝置進(jìn)行測試。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種制造裝置的方法，其中要求在至少兩個(gè)元件之間的相對對準(zhǔn)，以便從一個(gè)元件傳到另一個(gè)元件的光得到有效地耦合，該方法依次包括如下步驟a)使光束發(fā)射通過元件中的至少一個(gè)，以至少照射第二元件；b)探測光束通過元件中至少一個(gè)之后的特性；c)根據(jù)步驟b)結(jié)果，使用適當(dāng)編程的處理器，確定兩個(gè)元件是否最佳地對準(zhǔn)，同時(shí)使兩個(gè)元件相互之間相對移動或定向，以使它們的相對對準(zhǔn)最佳；d)對兩個(gè)元件中的至少一個(gè)施加粘合劑，以便使得已經(jīng)確定為光學(xué)對準(zhǔn)的元件固定；e)探測光束通過元件中至少一個(gè)之后的特性；f)根據(jù)步驟e)結(jié)果，使用適當(dāng)編程的處理器，確定在施加粘合劑之后，并且在所施加的粘合劑固化時(shí)候的至少某一持續(xù)時(shí)間期間，兩個(gè)元件是否最佳地對準(zhǔn)，而且在粘合劑完全固化之前，使兩個(gè)元件相互之間相對移動或定向，以使它們的相對對準(zhǔn)最佳。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種制造光學(xué)元件的方法，該方法包括步驟向多個(gè)適合于裝配光學(xué)元件的裝配臺提供多個(gè)光學(xué)測試信號，各裝配臺具有一個(gè)自動對準(zhǔn)裝置，以根據(jù)傳過兩個(gè)光學(xué)元件的多個(gè)測試信號中的至少一個(gè)，使這兩個(gè)光學(xué)元件至少部分地自動相對對準(zhǔn)。
根據(jù)本發(fā)明，還提供一種制造光學(xué)元件的方法，該方法包括如下步驟向一個(gè)適合于裝配光學(xué)元件的裝配臺提供多個(gè)光波長，該裝配臺具有一個(gè)自動對準(zhǔn)裝置，以根據(jù)光波長中的至少某些，使兩個(gè)光學(xué)元件至少部分地自動相對對準(zhǔn)；以測試波長的形式向至少兩個(gè)元件提供光波長中的至少一個(gè)，并且用自動對準(zhǔn)裝置自動地調(diào)節(jié)相對對準(zhǔn)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種制造光學(xué)元件的方法，該方法包括步驟使光通過至少兩個(gè)待對準(zhǔn)的光學(xué)元件，以確定信號響應(yīng)；使用適當(dāng)編程的處理器，把輸出響應(yīng)與存儲在存儲器中的希望的輸出響應(yīng)比較；以及使用自動對準(zhǔn)裝置，以調(diào)節(jié)兩個(gè)元件之間的相對對準(zhǔn)，以從調(diào)節(jié)對準(zhǔn)的元件產(chǎn)生一個(gè)與存儲在存儲器中的響應(yīng)較接近的輸出響應(yīng)。
根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種自動對準(zhǔn)器，以在制造光學(xué)裝置的元件期間，使它們自動地對準(zhǔn)，該對準(zhǔn)器包括至少一個(gè)輸入通道，以根據(jù)發(fā)射通過光學(xué)裝置的元件中的至少一個(gè)的光束的特性，接收輸入信號；一個(gè)基于微處理器的控制器，以接收至少一個(gè)輸入信號，并且根據(jù)輸入信號提供至少一個(gè)控制信號，以使至少兩個(gè)光學(xué)元件相對之間移動；以及至少一個(gè)輸出通道，以向至少一個(gè)調(diào)節(jié)塊發(fā)射控制信號，以根據(jù)控制信號使至少兩個(gè)光學(xué)元件相對之間移動。
現(xiàn)在將連同附圖敘述本發(fā)明的示范實(shí)施例，其中

圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施例的示意方塊圖，其中第一激光信號和定時(shí)信號發(fā)生器方塊向一個(gè)測試光學(xué)裝置的測試站方塊提供信號；圖2是本發(fā)明的第二實(shí)施例的示意方塊圖，其中第一激光信號和定時(shí)信號發(fā)生器方塊向多個(gè)測試站提供信號；圖3是表示纖維光柵的輸出特性的曲線圖；圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的標(biāo)準(zhǔn)具的輸出特性的曲線圖；圖5是本發(fā)明的一個(gè)選擇實(shí)施例的方塊電路圖，它包括對定時(shí)信號進(jìn)行FM調(diào)制和解調(diào)的電路；圖6是和圖5類似的方塊電路圖，并且包括用于得到與掃描激光器輸出信號波長有關(guān)的同步信息的裝置；圖7a是用于得到同步信息，并且用波長信息對掃描激光器輸出信號進(jìn)行調(diào)制的電路的詳細(xì)方塊電路圖；圖7b是描繪兩個(gè)過濾器的波長對振幅的輸出響應(yīng)的曲線圖；圖8是用于得到同步信息，并且用波長信息對掃描激光器輸出信號進(jìn)行調(diào)制的一個(gè)選擇電路的詳細(xì)方塊電路圖；圖9是根據(jù)本發(fā)明的包括自動對準(zhǔn)器的裝配臺的示意圖；圖10是根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器的示意方塊圖；圖11是根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器的操作的流程圖；圖12是說明根據(jù)本發(fā)明的范圍掃描和最佳掃描的曲線圖；以及圖13是夾具位置指示器的示意圖。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖1，所示為測試系統(tǒng)8的高層方塊圖，它表示本發(fā)明的第一實(shí)施例，其中光學(xué)電路和元件的第一方塊30提供可變波長光信號，以發(fā)射到第二方塊40a之內(nèi)的DUT 26。在第一方塊30中，取可調(diào)諧激光信號SL形式的可變波長光信號與定時(shí)信號ST結(jié)合，以確定與可調(diào)諧激光信號SL有關(guān)的波長信息。把電路分為這兩個(gè)方塊30和40a的目的，是為了隔離和分開兩個(gè)主要功能首先，和關(guān)聯(lián)定時(shí)信號一起產(chǎn)生可變波長光信號，以提供與可變波長光信號有關(guān)的定時(shí)信息的功能，其次，連同提供必要的電路以測試感興趣的裝置或元件，以響應(yīng)兩個(gè)信號SL和ST進(jìn)行測試的功能。此外，分為這兩個(gè)方塊還有相當(dāng)大的成本節(jié)省。例如，通過使用分裂器43把可變波長光信號連同其對應(yīng)的定時(shí)信號分成兩個(gè)相同的信號，能對另一個(gè)與方塊40a相同的測試站40b(未示出)提供測試和定時(shí)信號。由于整個(gè)系統(tǒng)8的最昂貴部分是在包含可調(diào)諧激光器的方塊30中，所以本系統(tǒng)消除了需要提供重復(fù)的可調(diào)諧激光器來對兩個(gè)或多個(gè)分開的測試站提供測試信號。
現(xiàn)在更詳細(xì)地參考系統(tǒng)8，方塊30包括一個(gè)能夠在1520nm到1570nm的感興趣的波長范圍進(jìn)行調(diào)諧的可調(diào)諧激光器10?？烧{(diào)諧激光器10重復(fù)地改變其輸出，從1520nm開始連續(xù)地增加到1570nm。在達(dá)到1570nm之后，它返回到1520nm，并且再次從1520nm開始繼續(xù)。因此激光器掃過波長范圍，并且重復(fù)地繼續(xù)。設(shè)置一個(gè)5％分接頭12，以接收激光器的輸出信號SL，把光信號SL的5％傳給定時(shí)信號產(chǎn)生器14，并且把它的95％傳給把這個(gè)信號與定時(shí)信號ST結(jié)合的裝置16。定時(shí)信號產(chǎn)生器根據(jù)輸出信號SL的小部分，確定信號SL在預(yù)定波長的時(shí)間，例如其波長在1520nm的時(shí)間。于是定時(shí)信號產(chǎn)生器14產(chǎn)生定時(shí)信號ST，它指示信號SL在1520nm的波長。在隨后時(shí)間，當(dāng)激光波長達(dá)到下一個(gè)感興趣波長，例如1520.01nm時(shí)，在定時(shí)信號中發(fā)送一個(gè)指示1520.01nm的隨后脈沖。由于信號SL和ST兩者都由耦合裝置16結(jié)合，所以務(wù)必保證定時(shí)信號是在和信號SL不同的波長，以便信號SL的數(shù)據(jù)內(nèi)容不受影響。實(shí)質(zhì)上，定時(shí)信號用作能由方塊40a使用的標(biāo)記或指示，更具體地說，用作確定波長信息20的裝置，以在與定時(shí)信號相對應(yīng)的特定時(shí)間校準(zhǔn)信號SL的波長。方便地設(shè)置一個(gè)分裂器43，以把信號SL和ST分裂成能送到一個(gè)或多個(gè)其他測試站40b、40c…等(未示出)的其他信號SL和ST。當(dāng)然，可選擇地，定時(shí)信號可以是由電裝置分配的電信號。
第二方塊40a包括取波長分割(WD)過濾器18形式的裝置，它適合于分割或結(jié)合波長，以把合成信號SL和ST分成兩個(gè)分開信號。信號ST被提供給用于確定波長信息20的裝置，該裝置還從探測器22和24接收信息。大致上過濾器18輸出的全部信號SL提供給DUT 26，10％的小部分提供給探測器24。DUT 26的輸出信號引到探測器22。在操作中，探測器24相對地確定DUT 26的輸入信號的強(qiáng)度，并且把這個(gè)信息提供給裝置20。在DUT 26的輸出測量的實(shí)際密度或功率由探測器22提供給相同裝置20，因此裝置20能計(jì)算通過DUT 26的損失，并且能根據(jù)定時(shí)信號，確定對于這個(gè)特定損失計(jì)算的信號SL的對應(yīng)波長。由于定時(shí)信號指示信號SL在1520nm波長的瞬間，所以在其他瞬間能及時(shí)對信號SL的波長做出確定。實(shí)現(xiàn)這種功能的實(shí)施例將參考圖2更詳細(xì)地?cái)⑹觥?br> 現(xiàn)在參考圖2，可調(diào)諧激光器10的輸出信號SL的一小部分被5％光分接頭12、12b和12c分接，以提供三個(gè)分接信號STa、STb和STc，這三個(gè)信號提供給定時(shí)信號產(chǎn)生電路14。在這個(gè)電路14之內(nèi)，固定標(biāo)準(zhǔn)具31、纖維光柵(FBG)32和電子電路33提供一種產(chǎn)生脈沖調(diào)制信號SM的裝置，該信號包括一系列脈沖，它們具有信號SL波長下的0.01nm遞增。該系列脈沖中的第一脈沖從FGB 32的輸出端和固定標(biāo)準(zhǔn)具31的輸出端得到，它對應(yīng)于在1520nm波長下的信號SL；第二脈沖對應(yīng)于在1520.01nm波長下的信號SL；第三脈沖對應(yīng)于在1520.02nm波長下的信號SL；等等，并且該系列脈沖中的最后脈沖對應(yīng)于在1570nm波長下的信號SL。由于固定標(biāo)準(zhǔn)具的輸入信號ST波長變化，并且標(biāo)準(zhǔn)具選擇為在1520nm到1570nm的范圍內(nèi)具有1.25GHz或約0.01nm的自由光譜范圍，所以固定標(biāo)準(zhǔn)具31的輸出信號是周期信號。圖4表示標(biāo)準(zhǔn)具31的希望輸出特性。標(biāo)準(zhǔn)具反射表面之間的距離如下計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)具FSR[nm]=λ2/2nd標(biāo)準(zhǔn)具FSR[GHz]=c/2nd其中c=光速，n=反射表面之間的材料的折射率，d=標(biāo)準(zhǔn)具反射表面之間的距離。
FBG 32設(shè)計(jì)成當(dāng)輸入信號的波長為1520nm時(shí)反射輸入信號，因此向電路提供與脈沖系列中的開始點(diǎn)相對應(yīng)的指示。這種情況在圖3中說明，其中在閾值反射水平下，開始指示為1520nm。電子電路20響應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)具31的周期輸出，以及信號SL在1520nm波長時(shí)的指示，產(chǎn)生提供給1310nm激光器34的調(diào)制信號SM。響應(yīng)信號SM，激光器產(chǎn)生一系列脈沖，波長為1310nm波長，按時(shí)間隔開，對應(yīng)于可調(diào)諧激光信號ST的0.01nm增量。因此，調(diào)制信號轉(zhuǎn)換成1310nm激光脈沖信號SSP，它和在1520nm與1570nm之間變化的信號SL具有相當(dāng)不同的波長。在信號SLP和SL結(jié)合之前，信號SL被涂鉺纖維放大器(EDFA)放大。EDFA對于保證在各測試站有足夠的光強(qiáng)來執(zhí)行對DUT的損失測量可能是必須的?？烧{(diào)諧過濾器17跟蹤激光波長，發(fā)射激光信號，但是阻止EDFA的自然發(fā)射，或波長與該激光波長不同的激光。
波長分割多路調(diào)制器16把放大信號SL和信號SLP結(jié)合成合成信號SLSLP，它被供給1×8的分裂器43，從而提供8個(gè)測試信號。因此，能對建筑物內(nèi)不同位置處的8個(gè)測試信站40a、40b…40h提供測試光學(xué)裝置的要求信號和信號信息。使用圖2所示裝置，為了在1520nm到1570nm的多個(gè)波長下，按照對應(yīng)于約5000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)的約0.01nm的遞增，則測試DUT需要約1秒。
在圖2的電路14所示的實(shí)施例中，標(biāo)準(zhǔn)具用作提供周期信號，以用作在1520nm到1570nm之間的輸入信號掃描的裝置。當(dāng)然，標(biāo)準(zhǔn)具可以用其他適當(dāng)?shù)母缮鎯x裝置代替。此外，F(xiàn)BG 32用作獲得其輸入信號在1520nm的相對精確的指示的裝置。再一次，能設(shè)想各種其他裝置來指示輸入信號在1520nm的時(shí)間。在該優(yōu)選實(shí)施例中，固定標(biāo)準(zhǔn)具和FBG是在考慮成本和可用性之后選擇的。優(yōu)選地，設(shè)置溫度穩(wěn)定裝置29，以保證標(biāo)準(zhǔn)具的特性的輸出盡可能保持恒定。
定時(shí)信號ST不需要與可調(diào)諧激光信號SL結(jié)合。代替可用第二光導(dǎo)纖維或?qū)Ь€把定時(shí)信號發(fā)射到各測試站。在本優(yōu)選實(shí)施例中，信號被結(jié)合，以簡化信號在測試站之間的分配，或者可選擇地，可調(diào)諧激光器本身能調(diào)制發(fā)射定時(shí)信號。
激光信號SL能分配到多于8個(gè)測試站。限制因素是在探測器22和24存在足夠的光強(qiáng)來執(zhí)行損失測量。如果必要，激光信號SL能在17之后分裂，并且再放大和再分裂。這樣能由一個(gè)可調(diào)諧激光器(對它提供多個(gè)定時(shí)信號ST)操作無限個(gè)測試站。
在圖2中，示出一個(gè)可選偏振狀態(tài)控制器23，以控制發(fā)射到DUT的激光信號SL的偏振狀態(tài)。通過使用這個(gè)控制器23，本系統(tǒng)能測量各波長下隨偏振而定的損失(PDL)?？刂破?3設(shè)置為4個(gè)偏振狀態(tài)中的一個(gè)，并且進(jìn)行一個(gè)波長掃描，測量在各波長下DUT的損失。然后把控制器23設(shè)置為第二偏振狀態(tài)，并且進(jìn)行第二波長掃描。在各波長，能用4個(gè)偏振狀態(tài)來計(jì)算平均損失(對于所有偏振狀態(tài))和PDL。一種測量隨偏振而定的損失的系統(tǒng)和方法能在以本申請人名義的美國專利5,371,597中找到。控制器23能直接布置在可調(diào)諧過濾器17之后，從而進(jìn)一步節(jié)省和消除在各站需要具有偏振狀態(tài)控制器23。
現(xiàn)在參考圖5，示出本發(fā)明的一個(gè)選擇實(shí)施例，其中可調(diào)諧激光器50具有一個(gè)用于接收或提供同步控制信號的端口53， 和一個(gè)以可調(diào)諧激光信號SL的形式提供可變波長光信號的輸出端口51。頻率合成器55響應(yīng)可調(diào)諧激光器50提供的同步控制信號。在接收到起動脈沖時(shí)，電路55開始對調(diào)制器提供頻率合成信號，以用可調(diào)諧激光信號調(diào)制，從而通過提供取頻率斜坡形式的編碼或頻率調(diào)制激光信號SLM，指示激光信號SL的變化波長。信號SLM然后提供給具有輸出60a至60n的1xN分裂器60。如圖所示，輸出60a提供給一個(gè)在測試中裝置(DUT)62，之后對傳過在測試中裝置的輸出信號進(jìn)行分析。首先使信號解調(diào)，除去臨界波長信息或瞬時(shí)波長標(biāo)記，并且從解調(diào)信號SL中恢復(fù)有關(guān)測試信息。可選擇地，信號SLM能在提供給DUT 62之前解調(diào)。進(jìn)一步可選擇地并且優(yōu)選地，可以不需要解調(diào)，并且例如使用頻率分辨探測器來探測調(diào)制信號中編碼的波長信息，該頻率分辨探測器包括測量瞬時(shí)頻率的頻率計(jì)數(shù)器?？蛇x擇地，可以使用本地振蕩器和混合器，把調(diào)制頻率轉(zhuǎn)換成DC電壓。
在圖6中，示出了裝置56，它安排在激光器50與頻率合成器55之間，以根據(jù)可調(diào)諧激光器50提供的波長與信號SL的波長相對應(yīng)的信號，對頻率合成器55得到和提供波長信息。
現(xiàn)在參考圖7a，說明圖6所示系統(tǒng)的一部分，這里圖6所示裝置56實(shí)施如下。在可調(diào)諧掃描激光器50的輸出，由分接頭耦合器70抽取信號SL的一小部分。兩個(gè)匹配過濾器72a和72b安排為從一個(gè)50∶50分裂器70接收分接信號SLT的相同部分，并且兩個(gè)探測器74a和74b分別安排為從過濾器72a和72b接收輸出信號。使用具有相對(負(fù)和正)斜坡的過濾器的區(qū)域。電耦合一個(gè)微分放大器76，以從探測器74a和74b接收輸出信號，并且向調(diào)制器57提供一個(gè)與信號SL的瞬時(shí)波長成比例的信號。如果需要，可以在微分放大器76與調(diào)制器57之間安排一個(gè)線性化網(wǎng)絡(luò)78。
圖7b說明兩個(gè)光過濾器72a和72b的輸出響應(yīng)，并且所示兩條垂直虛線之間的過濾器的區(qū)域用于實(shí)現(xiàn)本實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)。
在操作中，圖7a的電路按下列方式工作。從可調(diào)諧激光器輸出信號SL分接信號SLT，并且分接信號SLT在兩個(gè)過濾器72a和72b之間大致相等地分裂。由探測器74a和74b探測的功率提供給微分放大器76，微分放大器76提供一個(gè)大致上與信號SL的波長成比例的輸出信號。如果需要，這個(gè)輸出信號可以線性化，然后提供給一個(gè)系統(tǒng)，以用信號SL調(diào)制波長比例信號。這個(gè)包括其接近瞬時(shí)波長信息的調(diào)制掃描激光信號SLM然后被提供給在測試中的裝置。可選擇地，如至此所述，能使用數(shù)字或模擬調(diào)制技術(shù)，把波長信息結(jié)合到另一個(gè)選擇波長的光載波。
現(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖8，設(shè)置一個(gè)提供波長信息的電子合成的電路，以把掃描或變化信號SL的幾乎瞬時(shí)的波長信息提供給一個(gè)未示出的光接收器。在本實(shí)施例中，信號SL被分接，并且分接信號SLT提供給一個(gè)FabryPerot標(biāo)準(zhǔn)具，它對探測器產(chǎn)生光脈沖。必須選擇標(biāo)準(zhǔn)具的自由光譜范圍。電子計(jì)數(shù)器86從波長掃描的已知開始點(diǎn)對脈沖數(shù)計(jì)數(shù)。頻率合成器88響應(yīng)計(jì)數(shù)器86中的計(jì)數(shù)值，把計(jì)數(shù)器存儲的脈沖數(shù)轉(zhuǎn)換成與信號SL的頻率相對應(yīng)的幾乎瞬時(shí)的頻率。如至此所述，這個(gè)信號能用作調(diào)制，能使用數(shù)字或模擬調(diào)制技術(shù)，把波長信息結(jié)合到另一個(gè)選擇波長的光載波。
至此詳細(xì)敘述主要關(guān)于測試光學(xué)元件的測試系統(tǒng)，然而現(xiàn)在將要敘述的本發(fā)明的一個(gè)方面關(guān)于光學(xué)元件在它們制造期間的制造和測試。
現(xiàn)在參考圖9，示出了根據(jù)本發(fā)明的裝配臺900，它用來使用粘合劑909結(jié)合光學(xué)裝置的三個(gè)分開元件。在制造期間，特別是當(dāng)粘合劑909固化的時(shí)候，測試元件的對準(zhǔn)。在制造過程期間，使用粘合劑909分別把兩個(gè)管905a和905b附加到一個(gè)光學(xué)元件906，它包括兩個(gè)透鏡和一個(gè)過濾器。管905b包含第一光導(dǎo)纖維908，以從提供不同波長激光的激光源發(fā)射光，和第二光導(dǎo)纖維912，以發(fā)射在過濾器反射的光。管905a包含光導(dǎo)纖維910，以發(fā)射通過過濾器的光。元件905a和905b各分別安裝在夾具臂903a和903b上。夾具臂903各包括一個(gè)對元件905加熱的加熱器904，以便加速粘合劑909的固化。夾具臂903各與一個(gè)細(xì)調(diào)節(jié)塊902連接。各細(xì)調(diào)節(jié)塊902可移動地安裝在一個(gè)粗調(diào)節(jié)塊901上。調(diào)節(jié)塊901和902允許光學(xué)元件905a和905b相對元件906調(diào)節(jié)。用粗調(diào)節(jié)塊901a和901b分別實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件905a和905b相對元件906在x、y和z坐標(biāo)系統(tǒng)中，沿x、y和z軸的粗調(diào)節(jié)。粗調(diào)節(jié)通過手動使元件905a和905b相對元件906按預(yù)定距離中心對中心對準(zhǔn)來執(zhí)行?？蛇x擇地，粗調(diào)節(jié)塊901a和901b由電動機(jī)驅(qū)動。此外，粗調(diào)節(jié)塊901a和901b包括使元件905a和905b相對元件906旋轉(zhuǎn)的致動器。
元件905a和905b相對元件906的細(xì)調(diào)節(jié)由細(xì)調(diào)節(jié)塊902提供。細(xì)調(diào)節(jié)塊902在x、y和z坐標(biāo)系統(tǒng)中沿x、y和z軸提供元件905的細(xì)調(diào)節(jié)，并且對各方向各由線性電動機(jī)驅(qū)動。線性電動機(jī)由根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器920控制。自動對準(zhǔn)器920包括一個(gè)處理器，以根據(jù)輸入信號確定控制信號，并且把該控制信號提供給線性電動機(jī)。輸入信號由與光導(dǎo)纖維910和912連接的探測器922a和922b提供，以捕獲通過光學(xué)元件906至探測器922a發(fā)射，或在光學(xué)元件906至探測器922b之內(nèi)反射的光束的強(qiáng)度。捕獲的光強(qiáng)度用功率表924a和924b顯示。在操作中，根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器根據(jù)探測器922提供的輸入信號，相對元件906調(diào)節(jié)元件905，以便捕獲的光強(qiáng)度最大。調(diào)節(jié)是由自動對準(zhǔn)器920在施加粘合劑909之前和之后執(zhí)行的。
可選地，細(xì)調(diào)節(jié)塊902包括在z方向移動元件905和/或相對元件906旋轉(zhuǎn)元件905的致動器。
選擇地，為了調(diào)節(jié)元件，可以探測除強(qiáng)度外的其他光特性。例如，為了制造對偏振敏感的光學(xué)裝置，優(yōu)選地相對于偏振使元件的對準(zhǔn)最佳，并且使PDL減小。
進(jìn)一步選擇地，使用自動對準(zhǔn)器調(diào)節(jié)元件，以便調(diào)節(jié)對準(zhǔn)的元件的輸出響應(yīng)更接近存儲在存儲器中的希望響應(yīng)。
如本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見，可以對臺900進(jìn)行更改，以用于大量其他光學(xué)裝置的制造，例如，把一個(gè)或多個(gè)光導(dǎo)纖維附加在管內(nèi)，用于連接器的制造。
而且，根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器可以用于結(jié)合使用透明化以代替粘合劑的光學(xué)元件。
在另一個(gè)實(shí)施例中，從一個(gè)激光源對具有根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器的多個(gè)裝配臺提供多個(gè)測試信號，以根據(jù)傳過光學(xué)元件的測試信號中的至少一個(gè)，使光學(xué)元件相對對準(zhǔn)。例如為了測試元件，其中光是根據(jù)波長發(fā)射或反射的，測試信號包括多個(gè)不同波長。而且，測試信號可以包括多個(gè)不同偏振狀態(tài)，以便對準(zhǔn)偏振敏感的元件。
現(xiàn)在參考圖10，示出了根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器的方塊圖。指示由探測器922捕獲的激光束強(qiáng)度的信號，例如使用邏輯放大器來放大。然后用A/D轉(zhuǎn)換器使放大信號數(shù)字化。數(shù)字化探測器信號然后提供給基于微處理器的控制器。根據(jù)探測器信號，控制器提供控制信號，以控制細(xì)調(diào)節(jié)塊902，并且控制加熱器904的定時(shí)?？刂破鲗?xì)調(diào)節(jié)塊的各線性電動機(jī)提供一個(gè)控制信號。各控制信號被轉(zhuǎn)換成模擬信號，用于調(diào)節(jié)恒定電流源，以便根據(jù)控制信號對線性電動機(jī)提供恒定電流。而且，放大和數(shù)字化探測器信號提供給用于顯示的功率表924，以便幫助操作員。自動對準(zhǔn)器的操作將在后文連同圖11所示的流程圖敘述。
可選擇地，根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器包括對兩個(gè)以上調(diào)節(jié)塊自動對準(zhǔn)的裝置，以便使多于圖9所示的元件對準(zhǔn)。自動對準(zhǔn)器也可以包括接收兩個(gè)以上探測器信號的裝置。而且，自動對準(zhǔn)器提供控制信號，以使元件沿坐標(biāo)系統(tǒng)的兩個(gè)以上軸對準(zhǔn)，并且/或者使元件相對之間旋轉(zhuǎn)。
現(xiàn)在將連同圖11所示流程圖，敘述一種使用自動對準(zhǔn)器制造根據(jù)本發(fā)明的裝置的方法。在把管905附加到夾具臂903之后，管相對光學(xué)元件906居中，并且使用粗調(diào)節(jié)塊901調(diào)節(jié)元件之間的間隙。例如，使用夾具臂903和夾具之內(nèi)的V形槽，使管保持就位。粗調(diào)節(jié)可以手動進(jìn)行，或使用操作員控制的電動機(jī)進(jìn)行。具有預(yù)定波長的光束，例如具有使反射側(cè)與元件905b和906對準(zhǔn)而在過濾器反射的波長的光，發(fā)射到待裝配的裝置，并且初始化自動對準(zhǔn)器系統(tǒng)。在系統(tǒng)初始化之后，自動對準(zhǔn)器執(zhí)行范圍掃描，以便找到元件905b與906之間的相對位置，其中由反射光束的探測器922b捕獲的光為最大強(qiáng)度。范圍掃描為多峰值探測掃描，以在多峰值光響應(yīng)中找到最高峰值。如圖12所示，范圍掃描使用細(xì)調(diào)節(jié)塊902b，以4000步掃描60μ的細(xì)范圍。在掃描整個(gè)細(xì)范圍，并且找到峰值之后，夾具臂903b的定位器鎖定在找到的最大值。范圍掃描可以如下在水平方向和垂直方向執(zhí)行從中心開始到范圍的右/上限，并且返回到中心；從中心開始到范圍的左/下限，并且返回到中心；以及從中心開始到找到強(qiáng)度峰值的位置。
然后，使發(fā)射通過過濾器的具有不同預(yù)定波長的光束射過裝置。然后重復(fù)對準(zhǔn)過程，以調(diào)節(jié)元件905a與906之間的相對位置。在范圍掃描結(jié)束之后，OK LED接通。這個(gè)掃描僅執(zhí)行一次，但是如果需要可以再次起動。
選擇地，范圍掃描可以在大于如上所述的兩個(gè)坐標(biāo)方向執(zhí)行。
接著范圍掃描然后是最佳化掃描，一般由操作員起動。首先在反射側(cè)執(zhí)行最佳化和隨后粘合劑909的施加，并且在粘合劑909固化之后，對發(fā)射側(cè)重復(fù)該過程。最佳化掃描以和范圍掃描相同的方式執(zhí)行，但是在如圖12所示的先前找到的峰值位置附近，按±2μ的范圍執(zhí)行。最佳化掃描在制造期間連續(xù)地執(zhí)行，直到粘合劑909開始稠化為止。當(dāng)粘合劑稠化時(shí)，細(xì)調(diào)節(jié)塊對于夾具臂903的移動經(jīng)受阻力增加，并且當(dāng)達(dá)到預(yù)定水平的阻力時(shí)，自動對準(zhǔn)器停止最佳化掃描。選擇地，最佳化掃描由操作員停止。當(dāng)峰值位置由于光學(xué)或機(jī)械原因而移動，例如由于固化粘合劑909的收縮引起力作用在元件905和906上而移動時(shí)，受自動對準(zhǔn)器控制的定位器跟蹤峰值，因此保持對準(zhǔn)。在制造期間，操作員能夠在四個(gè)LED上監(jiān)視進(jìn)行中的最佳化掃描。四個(gè)LED具有相同亮度或接近亮度，指示夾具臂903近似定位在細(xì)調(diào)節(jié)范圍的中心。如圖13所示，不對稱亮度指示峰值位置接近一側(cè)。在這種情況下，必須手動移動夾具臂903，直到所有四個(gè)LED具有相同亮度，以使定位器居中。而且，閃爍綠光指示最佳化掃描操作接近細(xì)調(diào)節(jié)范圍的極限，而閃爍紅光指示達(dá)到極限。建議在這種情況下不使粘合劑固化，因?yàn)楣袒澈蟿┛赡芤疬M(jìn)一步漂移。并且因此引起超過范圍的情況。
當(dāng)然，有無數(shù)其他指示夾具臂的位置的可能性。
為了使粘合劑固化，在各夾具臂903上附加一個(gè)加熱器904。加熱器904是在找到最佳相對位置之后由操作員起動的。在加熱器904起動3或4分鐘之后，即當(dāng)粘合劑開始稠化時(shí)，自動關(guān)斷最佳化掃描。當(dāng)固化時(shí)候，粘合劑稠化，因此增加對任何移動的阻力，并且禁止細(xì)調(diào)節(jié)塊進(jìn)一步移動。在細(xì)調(diào)節(jié)塊被禁止任何進(jìn)一步移動的時(shí)候，“GLUE”LED接通，并且10秒之后關(guān)斷最佳化掃描。加熱器繼續(xù)停留另7分鐘，以便完成粘合劑的固化，然后自動關(guān)斷。在接通加熱器之后，但在“GLUE”LED接通之前，操作員能夠調(diào)節(jié)間隙，以便獲得最小損失。在“GLUE”LED接通之后，不可能有調(diào)節(jié)?？蛇x擇地，加熱器能由操作員在任何時(shí)候關(guān)斷和接通。“CHANNEL”裝置確定將加熱哪一側(cè)，是反射側(cè)還是發(fā)射側(cè)。如果通道設(shè)置為“反射”，則如果按下“加熱器”按鈕，將起動反射側(cè)的加熱器。如果隨后通道轉(zhuǎn)換到“發(fā)射”，“反射”加熱器將仍然保持。這樣允許在加熱一側(cè)時(shí)，同時(shí)使另一側(cè)最佳化。
加熱器904的定時(shí)隨包括不同元件和/或不同粘合劑的不同施加而改變。而且，有些加熱器不需要加熱。
在施加粘合劑之前和之后使元件對準(zhǔn)有重要優(yōu)點(diǎn)。例如，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)首先使兩個(gè)元件對準(zhǔn)，以便它們對通過其中的光信號提供最佳耦合，然后執(zhí)行施加粘合劑的最后步驟，則通常提供假結(jié)果。隨著粘合劑固化，它趨于收縮并拉動元件失去對準(zhǔn)。因此，在粘合劑固化期間使用根據(jù)本發(fā)明的自動對準(zhǔn)器自動地對準(zhǔn)光學(xué)元件，是非常有利的，因?yàn)橄藢Σ粷M足要求規(guī)范的元件丟棄的習(xí)慣，從而為制造無數(shù)類型的光學(xué)裝置帶來相當(dāng)大的成本節(jié)省。
當(dāng)然，在不違反本發(fā)明的精神和范圍下，能展望無數(shù)其他實(shí)施例。
權(quán)利要求
1．一種制造一個(gè)裝置的方法，其中要求在至少兩個(gè)元件之間的相對對準(zhǔn)，以便有效地耦合地從一個(gè)元件傳到另一個(gè)元件的光，該方法依次包括如下步驟a)使光束發(fā)射通過元件中的至少一個(gè)，以至少照射在第二元件上；b)探測光束通過元件中的至少一個(gè)之后的特性；c)根據(jù)步驟b)結(jié)果，使用適當(dāng)編程的處理器，確定兩個(gè)元件是否最佳地對準(zhǔn)，同時(shí)使兩個(gè)元件相互之間相對地移動或定向，以使它們的相對對準(zhǔn)最佳；d)對兩個(gè)元件中的至少一個(gè)施加粘合劑，以便使已經(jīng)確定為光學(xué)對準(zhǔn)的元件相對固定；e)探測光束通過元件中的至少一個(gè)之后的特性；f)根據(jù)步驟e)結(jié)果，使用適當(dāng)編程的處理器，確定在施加粘合劑之后，并且在所施加的粘合劑固化時(shí)候的至少某一持續(xù)時(shí)間期間，兩個(gè)元件是否最佳地對準(zhǔn)，而且在粘合劑完全固化之前，使兩個(gè)元件相互之間相對移動或定向，以使它們的相對對準(zhǔn)最佳。
2．如權(quán)利要求1限定的制造方法，其中步驟a)包括使光束發(fā)射通過兩個(gè)元件。
3．如權(quán)利要求2限定的制造方法，其中特性是強(qiáng)度。
4．如權(quán)利要求3限定的制造方法，其中通過確定通過兩個(gè)元件的光是否為最大強(qiáng)度，執(zhí)行步驟c)。
5．如權(quán)利要求2限定的制造方法，其中通過首先找到感興趣波長范圍內(nèi)的最大強(qiáng)度峰值，以便消除強(qiáng)度比最大強(qiáng)度峰值小的強(qiáng)度峰值，執(zhí)行步驟c)。
6．如權(quán)利要求2限定的制造方法，還包括在執(zhí)行步驟c)或f)的時(shí)候，自動地改變通過兩個(gè)元件的光的偏振的步驟。
7．如權(quán)利要求6限定的制造方法，還包括自動地旋轉(zhuǎn)元件的相對位置，以減小兩個(gè)元件的偏振敏感性的步驟。
8．如權(quán)利要求6限定的制造方法，還包括在執(zhí)行步驟d)之后，自動地旋轉(zhuǎn)元件的相對位置，以減小兩個(gè)元件的偏振敏感性的步驟。
9．如權(quán)利要求1限定的制造方法，其中由一個(gè)自動對準(zhǔn)裝置根據(jù)反饋信號來執(zhí)行兩個(gè)元件相互之間相對移動或定向的步驟，以使它們的相對對準(zhǔn)最佳。
10．一種制造光學(xué)元件的方法，包括步驟對多個(gè)適合于裝配光學(xué)元件的裝配臺提供多個(gè)光學(xué)測試信號，各裝配臺具有一個(gè)自動對準(zhǔn)裝置，以根據(jù)傳過兩個(gè)光學(xué)元件的多個(gè)測試信號中的至少一個(gè)，使這兩個(gè)光學(xué)元件至少部分地自動相對對準(zhǔn)。
11．如權(quán)利要求10限定的制造光學(xué)元件的方法，其中光學(xué)測試信號各向自動對準(zhǔn)裝置提供多個(gè)測試波長，以使兩個(gè)光學(xué)元件至少部分地自動相對對準(zhǔn)。
12．如權(quán)利要求10限定的制造光學(xué)元件的方法，其中光學(xué)測試信號向自動對準(zhǔn)裝置提供具有多個(gè)測試偏振狀態(tài)的光，以使兩個(gè)光學(xué)元件自動地相對對準(zhǔn)。
13．如權(quán)利要求12限定的制造光學(xué)元件的方法，其中光學(xué)測試信號其中帶有一個(gè)標(biāo)記，及時(shí)指示在特定瞬間信號的波長。
14．如權(quán)利要求13限定的制造光學(xué)元件的方法，其中在測試站對于自動對準(zhǔn)裝置提供標(biāo)記，以確定在該站的光學(xué)信號的波長。
15．一種制造光學(xué)元件的方法，包括步驟對一個(gè)適合于裝配光學(xué)元件的裝配臺提供多個(gè)光學(xué)波長，該裝配臺具有一個(gè)自動對準(zhǔn)裝置，以根據(jù)光波長中的至少某些，使兩個(gè)光學(xué)元件至少部分地自動相對對準(zhǔn)；以測試波長的形式向至少兩個(gè)元件提供光波長中的至少一個(gè)，并且用自動對準(zhǔn)裝置自動地調(diào)節(jié)相對對準(zhǔn)。
16．如權(quán)利要求15限定的方法，其中對于通過兩個(gè)元件的預(yù)定波長光，在確定信號響應(yīng)之后，自動對準(zhǔn)裝置調(diào)節(jié)兩個(gè)元件的相對對準(zhǔn)，以改變對該預(yù)定波長的信號響應(yīng)。
17．如權(quán)利要求16限定的方法，其中在自動對準(zhǔn)裝置調(diào)節(jié)相對對準(zhǔn)之后，施加粘合劑。
18．如權(quán)利要求17限定的方法，其中對自動對準(zhǔn)裝置編程，以在施加粘合劑之后，繼續(xù)調(diào)節(jié)兩個(gè)元件的相對對準(zhǔn)。
19．如權(quán)利要求18限定的方法，其中對自動對準(zhǔn)裝置編程，以在施加粘合劑之后，并且在粘合劑固化時(shí)候的時(shí)間間隔期間，繼續(xù)調(diào)節(jié)兩個(gè)元件的相對對準(zhǔn)。
20．一種制造光學(xué)元件的方法，包括步驟使光通過待對準(zhǔn)的至少兩個(gè)光學(xué)元件，以確定信號響應(yīng)；使用適當(dāng)編程的處理器，以把輸出響應(yīng)與存儲在存儲器中的希望輸出響應(yīng)比較；以及使用自動對準(zhǔn)裝置調(diào)節(jié)兩個(gè)元件之間的相對對準(zhǔn)，以使調(diào)節(jié)對準(zhǔn)的元件產(chǎn)生與存儲在存儲器中的響應(yīng)較接近的輸出響應(yīng)。
21．如權(quán)利要求20限定的制造光學(xué)元件的方法，還包括在對兩個(gè)元件中的至少一個(gè)施加粘合劑之后，使用自動對準(zhǔn)裝置調(diào)節(jié)兩個(gè)元件之間的相對對準(zhǔn)的步驟。
22．如權(quán)利要求20限定的制造光學(xué)元件的方法，其中隨著對測量的記錄，改變通過至少兩個(gè)元件的光的偏振。
23．如權(quán)利要求22限定的制造光學(xué)元件的方法，其中通過自動對準(zhǔn)器改變對準(zhǔn)，以便使至少兩個(gè)元件的PDL減小。
24．如權(quán)利要求23限定的制造光學(xué)元件的方法，其中在施加粘合劑之后，改變相對對準(zhǔn)，以產(chǎn)生希望的輸出響應(yīng)。
25．如權(quán)利要求23限定的制造光學(xué)元件的方法，其中在施加粘合劑之后，改變相對對準(zhǔn)，以隨著粘合劑固化改變裝置的PDL。
26．一種自動對準(zhǔn)器，在制造光學(xué)裝置的元件期間使元件自動地對準(zhǔn)，它包括至少一個(gè)輸入通道，以根據(jù)發(fā)射通過光學(xué)裝置的元件中的至少一個(gè)的光束的特性，接收輸入信號；一個(gè)基于微處理器的控制器，以接收至少一個(gè)輸入信號，并且根據(jù)輸入信號確定至少一個(gè)控制信號，以使至少兩個(gè)光學(xué)元件相對之間移動；以及至少一個(gè)輸出通道，以向至少一個(gè)調(diào)節(jié)塊發(fā)射控制信號，以根據(jù)控制信號使至少兩個(gè)光學(xué)元件相對之間移動。
27．如權(quán)利要求26限定的在制造光學(xué)裝置的元件期間使元件自動地對準(zhǔn)的自動對準(zhǔn)器，其中特性是強(qiáng)度。
28．如權(quán)利要求27限定的在制造光學(xué)裝置的元件期間使元件自動地對準(zhǔn)的自動對準(zhǔn)器，其中提供控制信號，以便使發(fā)射通過元件的光束為最大強(qiáng)度。
29．如權(quán)利要求26限定的在制造光學(xué)裝置的元件期間使元件自動地對準(zhǔn)的自動對準(zhǔn)器，其中控制器提供控制信號，以控制至少一個(gè)加熱器。
全文摘要
公開一種在制造期間使光學(xué)裝置的元件自動地對準(zhǔn)的方法和裝置。使光束發(fā)射通過光學(xué)裝置中的至少一個(gè)元件。在光束通過元件的中的至少一個(gè)之后,探測它的特性。一個(gè)自動對準(zhǔn)器根據(jù)光束的探測特性,向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)提供控制信號,以便使至少兩個(gè)元件相對對準(zhǔn)。在為使元件相對固定而施加粘合劑之后,自動對準(zhǔn)器控制對準(zhǔn)機(jī)構(gòu),以使元件相互之間相對移動,以使它們的對準(zhǔn)最佳。
文檔編號G02B27/62GK1288153SQ00127008
公開日2001年3月21日 申請日期2000年9月14日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月14日
發(fā)明者瓦西爾·普魯內(nèi), 羅伯特·S·泰勒, 保羅·克爾布內(nèi) 申請人:Jds尤尼費(fèi)斯公司