專利名稱：化學(xué)增強型正光刻膠組合物和锍鹽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種用于半導(dǎo)體精加工的化學(xué)增強型正光刻膠組合物。
通常使用光刻膠組合物的平版印刷工藝已在半導(dǎo)體精加工中采用。在平版印刷處理中，原則上如Rayleigh的有限衍射表達式表達的那樣，曝光波長越短，分辨力越高。如光波長436nm的g-線、波長365nm的i-線和波長248nm的KrF受激準分子激光已被用作在半導(dǎo)體生產(chǎn)中平版印刷的曝光光源。因而，曝光光源的波長一年比一年短。波長157nm的F2受激準分子激光作為下一代改進的曝光光源被認為很有前途，并且提出波長不超過13nm的軟X-射線(EUV)作為光源。
因為具有比g-線和i-線更短波長的光源，如ArF受激準分子激光，具有低的照明強度，要求提高光刻膠的靈敏性。出于這個原因，使用所謂的化學(xué)增強型光刻膠，這種光刻膠利用因曝光發(fā)生的酸催化作用，并包括一種具有通過酸的作用而裂解的基團的樹脂。
然而，用本領(lǐng)域己知的化學(xué)增強型光刻膠組合物，由于出現(xiàn)駐波惡化了線邊緣粗糙度等，即圖案側(cè)壁的光滑度。結(jié)果，出現(xiàn)了惡化線的均勻性的問題。
本發(fā)明的一個目標是提供一種化學(xué)增強型正光刻膠組合物，包括一種樹脂組分和酸發(fā)生劑，其適用于用ArF、KrF等的受激準分子激光平版印刷，其具有各種優(yōu)良的光刻膠性能如敏感性和分辨性，并特別改善了線邊緣粗糙度。
本發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)并提出下列事實。即，通過使用選自三苯锍和二苯基碘鎓鹽的至少一種鎓鹽和2-氧代锍的全氟烷基磺酸鹽如環(huán)己基甲基(2-氧代锍)全氟烷基磺酸鹽組合作為酸發(fā)生劑，可提高分辨率，也可改善在堿性基材或低反射基材上的輪廓(日本專利申請2000-060057)。然后，發(fā)現(xiàn)這種組合體系也可改善線邊緣粗糙度，并對其進行了研究。結(jié)果發(fā)現(xiàn)用特定锍鹽來代替組合中的2-氧代锍的全氟烷基磺酸鹽，可改善線邊緣粗糙度。由此，完成了本發(fā)明。
本發(fā)明提供一種事實上優(yōu)良的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，包括(A)一種酸發(fā)生劑，含有(a)由下式(I)表示的锍鹽 其中Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可還含有一個氧原子或硫原子的雜環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基；Q5SO3-表示有機磺酸根離子，條件是當Q5表示具有1至8個碳原子的全氟烷基時，排除Q1表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基、Q2表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，和Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基的情形；和(b)至少一種鎓鹽，選自由下式(IIa)表示的三苯基锍鹽和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓鹽 其中P1-P5各自獨立表示氫原子、羥基、1至6個碳原子的烷基或1至6個碳原子的烷氧基，P6SO3-和P7SO3-各自表示有機磺酸根離子，和(B)一種樹脂，該樹脂包括具有對酸不穩(wěn)定的基團的聚合單元，并且其本身不溶或微溶于堿，但通過酸的作用變?yōu)榭扇苡趬A。
本發(fā)明還提供了由下式(Ia)表示的锍鹽化合物 其中Q6表示1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基；當Q6表示1至8個碳原子的全氟烷基時，Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可還具有一個氧原子或硫原子的雜脂環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基；當Q6表示1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基時，Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可還具有一個氧原子或硫原子的雜脂環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基；或Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基。
用于化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物中的酸發(fā)生劑是通過采用輻射如光或電子束照射該組分本身或含有該組分的光刻膠組合物而分解產(chǎn)生酸的物質(zhì)。在本發(fā)明的樹脂組合物中，由上式(I)表示的锍鹽和選自由式(IIa)表示的三苯基锍鹽和由式(IIb)表示的二苯基碘鎓鹽的至少一個鎓鹽，一起用作酸發(fā)生劑。
在式(I)中，Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基。當它們每一個具有3個或更多的碳原子時，可以是直鏈或支鏈的。烷基和環(huán)烷基的具體例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、叔丁基、戊基、己基、環(huán)戊基和環(huán)己基。由Q1、Q2和與它們鍵合的硫原子一起形成的雜環(huán)基的例子包括亞乙基硫化物、三亞甲基硫化物、四氫噻吩、四氫噻喃、噻烷、二噻烷、四氫噻吩-3-酮、四氫噻吩-4-酮。其中，由于熱穩(wěn)定性，優(yōu)選由Q1、Q2和與其相鄰的硫原子一起形成的并還可含有氧原子和硫原子的雜環(huán)基。若熱穩(wěn)定性好，則可以升高烘焙溫度(PEB溫度)。
通常，隨著PEB溫度升高粗糙度得到改善。另外，Q3可表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基。作為Q4的烷基和環(huán)烷基的具體例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、叔丁基、戊基、己基和環(huán)己基。當Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基時，2-氧代環(huán)烷基的例子包括2-氧代環(huán)己基、2-氧代環(huán)戊基、樟腦基等。
在式(I)中，Q5SO3-表示磺酸根離子。例如，Q5可以是具有約1-12個碳原子的有機基團。作為Q5的有機基團的例子包括1-8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基。全氟烷基的具體例子包括三氟甲基、全氟丁基和全烷辛基。1至8個碳原子的烷基的例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、戊基、己基、環(huán)己基、辛基。芳香基的例子包括苯基、甲苯基、二甲苯、2，4，6-三甲苯基和萘苯基。
可根椐已知方法生產(chǎn)式(I)的脂族锍化合物。例如，可通過用J.V.Crivello等人在“聚合物科學(xué)雜志、聚合物化學(xué)版”(Joumal ofPolymerScience，Polymer Chemistry Edition)，第17卷，2877-2892(1979)所述方法按照下列流程生產(chǎn) 其中Q1、Q2、Q3、Q4和Q5定義如上，X表示鹵原子如溴和碘，M表示氫原子、堿金屬如鈉和鉀或銀。
換言之，將式(A2)的β-鹵代酮作用于式(A1)硫化物，得到式(B)的鹵化锍。接著與式Q5SO3M的磺酸或磺酸的金屬鹽進一步反應(yīng)。結(jié)果，可得到由式(I)表示的锍鹽。這些反應(yīng)在適當?shù)娜軇┤绫?、乙腈、硝基甲烷等中進行。相對于式(A2)的β-鹵代酮，所用的式(A1)的硫化物的摩爾比為0.7-1.5，更優(yōu)選為0.8-1.1mol。所用的Q5SO3M的磺酸或磺酸的金屬鹽的摩爾比為0.7-1.2mol，優(yōu)選0.8-1.0mol，以用于生產(chǎn)式(B)的鹵化锍的式(A1)的硫化物計。完成反應(yīng)后，可通過過濾等除去產(chǎn)生的金屬鹵化物鹽并對該溶液進行后處理如濃縮、重結(jié)晶等，得到锍鹽。
由式(I)表示的锍鹽的具體例子包括下列化合物二甲基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，叔丁基甲基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)三氟甲烷磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)全氟丁烷磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓全氟丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)全氟辛烷磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓全氟辛烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍丁烷磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，叔丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍丁烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍丁烷磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍丁烷磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)丁烷磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓丁烷磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍對甲苯磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍對甲苯磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，33-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓對甲苯磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)對甲苯磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，二甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二甲基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二甲基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二甲基锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，二乙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二乙基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二乙基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二乙基锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)锍樟腦磺酸鹽，二丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，二異丙基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基二異丙基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基二異丙基锍樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基二異丙基锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，叔丁基-(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍樟腦磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍樟腦磺酸鹽，叔丁基-(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丙基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代戊基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代己基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代庚基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(2-氧代辛基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基甲基-(3-甲基-2-氧代丁基)锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基(3，3-二甲基-2-氧代丁基)甲基锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)己基-2-氧代乙基)甲基锍樟腦磺酸鹽，環(huán)己基(2-環(huán)戊基-2-氧代乙基)甲基锍樟腦磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代丙基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代戊基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代己基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代庚基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代辛基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基噻環(huán)己烷鎓樟腦磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代戊基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-噻烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代丙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代戊基4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代己基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代庚基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，
2-氧代辛基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(4-氧代噻環(huán)己烷鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代丙基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代戊基1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代己基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代庚基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代辛基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，3-甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，3，3-二甲基-2-氧代丁基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)己基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-環(huán)戊基-2-氧代乙基(1，4-二噻鎓)樟腦磺酸鹽，2-氧代環(huán)己基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽，通過加入式(I)所示的锍鹽，可改善線邊緣粗糙度。單獨使用式(I)所示锍鹽作為酸發(fā)生劑的光刻膠組合物，難以得到有效的靈敏度和分辨率。然而，在本發(fā)明的光刻膠組合物中，組合使用選自式(IIa)和(IIb)的至少一種鎓鹽和式(I)的锍鹽作為酸發(fā)生劑。通過組合使用基于鎓鹽的酸發(fā)生劑，相比于單獨用式(I)的锍鹽基的酸發(fā)生劑，可以改善靈敏度和分辨率，并相比于單獨用選自式(IIa)和(IIb)的至少一種基于鎓鹽的酸發(fā)生劑，可以改善線邊緣粗糙度。
在分別表示三苯基锍鹽和二苯基碘鎓鹽的式(IIa)和(IIb)中，P1、P2、P3、P4和P5各自獨立表示氫原子、羥基、1至6個碳原子的烷基或1至6個碳原子的烷氧基。當這些烷基或烷氧基各自具有3個或更多的碳原子時，它們可以是直鏈或支鏈的。烷基的具體例子包括甲基、乙基、丙基、異丙基、丁基、叔丁基、戊基、己基。烷氧基的具體例子包括甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基。在式(IIa)和(IIb)中，每個形成陰離子的P6SO3-和P7SO3-表示有機磺酸根離子。P6和P7各自可以是具有1至8個碳原子的有機基團。其例子包括1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基。具有1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基的具體例子包括如上所述。
若可購得由式(IIa)表示的三苯基锍鹽或由式(IIb)表示的二苯基碘鎓鹽，可原樣加以使用。另外，它們也可根椐常規(guī)方法生產(chǎn)。生產(chǎn)三苯基锍鹽(IIa)的方法，可例舉下列方法一種將相應(yīng)的溴化三苯基锍與磺酸銀鹽反應(yīng)的方法，所述磺酸銀鹽具有與目標化合物的陰離子相同的陰離子；一種將相應(yīng)的二苯基亞砜與苯化合物和全氟鏈烷磺酸在三氟乙酸酐存在下反應(yīng)的方法(根椐Chem.Pharm.Bull.，Vol.29，3753(1981)中的描述)；一種將相應(yīng)的芳基Grignard試劑與亞硫酰氯反應(yīng)，然后將反應(yīng)產(chǎn)品與鹵化三有機甲硅烷基反應(yīng)制備鹵化三芳基锍，接著將該鹵化三芳基锍與磺酸銀鹽反應(yīng)的方法，所述磺酸銀鹽具有與目標化合物的陰離子相同的陰離子(根椐JP-A-8-311018)，等等。根椐JP-A-8-311018，其中P1、P2和/或P3為羥基的式(IIa)化合物可按如下生產(chǎn)用與三苯基锍鹽有相同陰離子的磺酸處理在苯環(huán)上具有叔丁氧基的三苯基锍鹽，以去除叔丁基。
而生產(chǎn)二苯基碘鎓鹽(IIb)的方法，可例舉下列方法如J.Am.Soc.，Vol.81，342(1959)中所述的硫酸碘酰鹽與相應(yīng)的芳基化合物反應(yīng)，接著加入與目標化合物具有相同陰離子的磺酸的方法；將碘和三氟乙酸加入乙酸酐和發(fā)煙硝酸的混合溶液中而得到的反應(yīng)產(chǎn)物與相應(yīng)的芳基化合物反應(yīng)，接著加入與目標化合物具有相同陰離子的磺酸的方法；將濃硫酸滴加到相應(yīng)的芳基化合物、乙酸酐和碘酸鉀的混合物中，接著加入與目標化合物具有相同陰離子的磺酸的方法，如JP-A-9-179302。
式(IIa)的三苯基锍鹽和式(IIb)的二苯基碘鎓鹽的例子包括下列化合物甲烷磺酸三苯基锍鹽，乙烷磺酸三苯基锍鹽，丁烷磺酸三苯基锍鹽，全氟丁烷磺酸三苯基锍鹽，對甲苯磺酸三苯基锍鹽，樟腦磺酸三苯基锍鹽，甲烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，乙烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，丁烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，對甲苯磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，樟腦磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，全氟丁烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，全氟丁烷磺酸4-羥基苯基二苯基锍鹽，全氟丁烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍鹽，全氟丁烷磺酸三(4-甲苯基)锍鹽，全氟丁烷磺酸三(4-甲氧苯基)锍鹽，全氟辛烷磺酸4-甲基苯基二苯基锍鹽，
全氟辛烷磺酸4-羥苯基二苯基锍鹽，全氟辛烷磺酸4-甲氧基苯基二苯基锍鹽，全氟辛烷磺酸三(4-甲苯基)锍鹽，全氟辛烷磺酸三(4-甲氧苯基)锍鹽，全氟丁烷磺酸二苯基碘鎓，全氟辛烷磺酸二(4-甲氧苯基)碘鎓，全氟辛烷磺酸二(4-叔-丁基苯基)碘鎓，甲烷磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓，乙烷磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓，丁烷磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓，苯烷磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓，對甲苯磺酸二(4-叔丁基苯基)碘鎓，和樟腦磺酸二(4-叔-丁基苯基)碘鎓。
然后，介紹構(gòu)成本發(fā)明的光刻膠組合物的樹脂組分。該樹脂包括具有對酸不穩(wěn)定的基團的聚合單元。用于化學(xué)增強型正光刻膠組合物的樹脂通常本身是堿不溶的或堿微溶的。然而，其中的一部分基團由于酸的作用而裂解，在裂解后該樹脂變?yōu)閴A可溶的。對酸不穩(wěn)定的基團還可為本領(lǐng)域已知的各種基團。對酸不穩(wěn)定的基團的例子包括各種羧酸酯。羧酸酯的例子包括烷基酯如甲基酯和叔丁基酯、縮醛型酯如甲氧甲基酯、乙氧基甲基酯、1-乙氧基乙基酯、1-異丁氧基乙基酯、1-異丙氧基乙基酯、1-乙氧基丙基酯、1-(2-甲氧基乙氧基)乙基酯、1-(2-乙酰氧基乙氧基)乙基酯、1-[2-(1-金剛烷氧基)乙氧基]乙基酯、1-[2-(1-金剛烷羰基氧基)乙氧基]乙基酯、四氫-2-呋喃基酯和四氫-2-吡喃酯，脂環(huán)族酯如異冰片基酯、2-烷基-2-金剛烷基酯和1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基酯等。導(dǎo)致具有這些具有羧酸酯的聚合單元的單體可為(甲基)丙烯酸類單體，如甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯，或其中羧酸酯基團鍵合到脂環(huán)族單體上的單體如降冰片烯羧酸酯、三環(huán)癸烯或四環(huán)癸烯羧酸酯。
在這些單體中，出于優(yōu)良的分辨率考慮，優(yōu)選使用具有包括脂環(huán)族基團如2-烷基-2-金剛烷基或1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基的大基團作為通過酸作用而裂解的基團的單體。這些含有大基團的單體的例子包括(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基酯、5-降冰片烯-2-羧酸2-烷基-2-金剛烷基酯和5-降冰片烯-2-羧酸1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基酯。其中，由于優(yōu)良的分辨率，優(yōu)選(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯。這些(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯的典型例子包括丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-甲基-2-金剛烷基酯、丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯和丙烯酸2-正丁基-2-金剛烷基酯等。其中，由于靈敏度和耐熱性的良好平衡，特別優(yōu)選使用(甲基)丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯。若需要，也可組合使用具有通過酸作用而裂解的基團的其它單體。
(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯可通過2-烷基-金剛烷醇或其金屬鹽與丙烯酸鹵化物或甲基丙烯酸鹵化物反應(yīng)而制備。
本發(fā)明所定義的樹脂除了具有如上所述的對酸不穩(wěn)定的基團的聚合單元外，還可包括通過酸的作用不分解或幾乎不分解的另外聚合單元。其中可包含的其它聚合單元的例子包括具有游離羧酸基如丙烯酸或甲基丙烯酸的聚合單元，脂族不飽和二羧酸酐如馬來酸酐或衣康酸酐的聚合單元，2-降冰片烯的聚合單元、(甲基)丙烯腈的聚合單元、各種(甲基)丙烯酸酯的聚合單元。由于吸光量大，不優(yōu)選把羥基苯乙烯的聚合單元用于ArF曝光，但優(yōu)選把其用于KrF曝光，原因在于其在光吸收中不出現(xiàn)問題。
特別是，考慮到光刻膠與基材的粘合性，優(yōu)選共聚至少一種選自下列的聚合單元對羥基苯乙烯的聚合單元、間羥基苯乙烯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元和其中丁內(nèi)酯環(huán)可被烷基取代的(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元、每一個用下式(IIIa)和(IIIb)表示的脂環(huán)內(nèi)酯的聚合單元等 其中R1和R2各自獨立表示氫或甲基，n表示1-3的一個數(shù)。
(甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯可商購。另外它們也可生產(chǎn)，如通過將相應(yīng)的羥基金剛烷與(甲基)丙烯酸或其鹵化物反應(yīng)而生產(chǎn)。其中，(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯可通過將內(nèi)酯環(huán)被烷基取代的α-或β-溴-γ-丁內(nèi)酯與丙烯酸或甲基丙烯酸反應(yīng)或?qū)?nèi)酯環(huán)被烷基取代的α-或β-溴-γ-丁內(nèi)酯與丙烯酰鹵或甲基丙烯酰鹵反應(yīng)而生產(chǎn)。關(guān)于形成每個由式(IIIa)和(IIIb)表示的脂環(huán)內(nèi)酯的聚合單元的單體，例如可提到如下所述的具有羥基的脂環(huán)內(nèi)酯的(甲基)丙烯酸酯、其混合物等。例如這些酯的制備可通過相應(yīng)的具有羥基的脂環(huán)內(nèi)酯與(甲基)丙烯酸反應(yīng)來進行(如JP-A-2000-26446)。 (甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯聚合單元、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元、β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元和(IIIa)和(IIIb)表示的脂環(huán)內(nèi)酯的聚合單元中任何一種都具有高極性。在樹脂中存在這些單元中的任何一種可改善含有其的光刻膠與基材的粘合性。另外，這些聚合物單元也有助于改善光刻膠的分辨率。
形成α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯聚合單元的單體的例子包括α-丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯，α-甲基丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯，α-丙烯酰氧基-β，β-二甲基-γ-丁內(nèi)酯，α-甲基丙烯酰氧基-β，β-二甲基-γ-丁內(nèi)酯，α-丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯，α-甲基丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯，β-丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯，β-甲基丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯，β-甲基丙烯酰氧基-α-甲基-γ-丁內(nèi)酯。
對于KrF受激準分子曝光，甚至把羥基苯乙烯聚合單元用作樹脂的聚合單元時，也可得到足夠的透光度。具體地，可提到下面所示的對或間羥基苯乙烯共聚物樹脂作為這些樹脂。每種這些共聚物樹脂可通過自由基聚合相應(yīng)的(甲基)丙烯酸酯單體、乙酰氧基苯乙烯、和苯乙烯，接著用酸脫乙酰化來制備。
在這些情況中，考慮耐干蝕刻性，用2-烷基-2-金剛烷基或1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基作為對酸不穩(wěn)定的基團是更有利的。
另外，含有2-降冰片烯的樹脂由于在主鏈上直接具有脂環(huán)結(jié)構(gòu)而具有很強的結(jié)構(gòu)。結(jié)果，具有優(yōu)良的抗干蝕性。例如，通過用相應(yīng)的2-降冰片烯和脂族不飽和二羧酸酐如馬來酸酐或衣康酸酐一起自由基聚合可將2-降冰片烯聚合單元引入主鏈中。因此，2-降冰片烯聚合單元是通過打開其中的雙鍵形成并可用式(IV)表示。此外，作為脂族不飽和二羧酸酐聚合單元的馬來酸酐聚合單元和衣康酸聚合單元，通過打開相應(yīng)的雙鍵而形成并可用式(V)和(VI)表示。 在式(IV)中，R3和R4各自獨立表示氫、1至3個碳原子的烷基、1至3個碳原子的羥烷基、羧基、氰基或基團-COOZ(其中Z是醇殘基)，或R3和R4可結(jié)合起來形成由-C(＝O)OC(＝O)-表示的羧酸酐殘基。當R3和/或R4是烷基時，其具體例子包括甲基、乙基和丙基。由R3或R4表示的羥烷基的具體例包括羥甲基和2-羥乙基。當R3和/或R4是-COOZ基時，作為對應(yīng)于Z的醇殘基，例如1至8個碳原子的可取代烷基，可提及2-oxooxolane-3-或-4-基等。這里，作為在烷基上的取代基，可列舉羥基、脂環(huán)烴殘基等。當R3和/或R4是由-COOZ表示的羧酸酯基時，其具體例子包括甲氧基羰基、乙氧基羰基、2-羥乙氧基羰基、叔丁氧基羰基、2-oxooxolane-3-基氧羰基、2-oxooxolane-4-基氧羰基、1，1，2-三甲基丙氧羰基、1-環(huán)己基-1-甲基乙氧基羰基、1-(4-甲基環(huán)己基)-1-甲基乙氧基羰基和1-(1-金剛烷基)-1-甲基乙氧基羰基。
形成式(IV)表示的2-降冰片烯的單體的例子包括2-降冰片烯、2-羥基-5-降冰片烯、5-降冰片烯-2-羧酸、5-降冰片烯-2-甲基羧酸酯、5-降冰片烯-2-叔丁基羧酸酯、5-降冰片烯-2-(1-環(huán)己基-1-甲乙基)羧酸酯、5-降冰片烯-2-[1-(4-甲基環(huán)己基-1-甲基乙基)]羧酸酯、5-降冰片烯-2-[1-(4-羥基環(huán)己基-1-甲基乙基)]羧酸酯、5-降冰片烯-2-[1-甲基-1-(4-氧代環(huán)己基)-乙基]羧酸酯、5-降冰片烯-2-[1-(1-金剛烷基)-1-甲基乙基]羧酸酯、5-降冰片烯-2-(1-甲基環(huán)己基)羧酸酯、5-降冰片烯-2-(2-甲基-2-金剛烷基)羧酸酯、5-降冰片烯-2-(2-乙基-2-金剛烷基)羧酸酯、5-降冰片烯-2-(2-羥基-1-乙基)羧酸酯、5-降冰片烯-2-甲醇和5-降冰片烯-2，3-二羧酸酐。
根椐用于成圖案曝光輻射的種類和對酸不穩(wěn)定基團的種類，通常優(yōu)選用于本發(fā)明的樹脂含有10-80％mol具有對酸不穩(wěn)定基團的聚合單元。特別是，當將(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯或(甲基)丙烯酸1-(1-金剛烷基)-1-烷基烷基酯用作對酸不穩(wěn)定的基團時，該單元的存在量以總樹脂計有利地為不小于15％mol。此外，除了具有對酸不穩(wěn)定基團的聚合單元，當其中存在另外的對酸作用幾乎不裂解的聚合單元，如(甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元、β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元、由式(IIIa)或(IIIb)表示的脂環(huán)內(nèi)酯聚合單元、羥基苯乙烯聚合單元、由式(IV)表示的2-降冰片烯聚合單元、由式(V)表示的馬來酸酐的聚合單元、由式(VI)表示的衣康酸酐的聚合單元作為脂族不飽和二羧酸酐時，優(yōu)選這些單元的存在量以總樹脂計為20-90％mol。
當2-降冰片烯和脂族不飽和二羧酸酐用作共聚單體時，由于其難以聚合，考慮這一點，優(yōu)選過量使用。
還已知通常在化學(xué)增強型正光刻膠組合物中，由于在曝光后與裂解相關(guān)的酸的減活化作用引起的性能的退化可通過加入堿性化合物，特別是加入堿性含氮的有機化合物如胺作為淬滅劑降低。在本發(fā)明中加入這樣的堿性化合物也是優(yōu)選的?？捎米鞔銣鐒┑膲A性化合物的實例包括下式代表的化合物 其中R11和R12可彼此相同或不同，表示氫、可非必要被羥基取代的環(huán)烷基、芳基或烷基；R13、R14和R15彼此相同或不同，表示氫、或可非必要被羥基取代的環(huán)烷基、芳基或烷基；R16表示可非必要被羥基取代的環(huán)烷基或烷基；A表示亞烷基、羰基、亞胺基。由R11至R17表示的烷基和由R13至R15表示的烷氧基可含有約1至6個碳原子。由R11至R16表示的環(huán)烷基可含有約5至10個碳原子和由R11至R15表示的芳基可含有約6至10個碳原子，由A表示的亞烷基可含有約1至6個碳原子并可是直鏈或支鏈的。
本發(fā)明的光刻膠組合物優(yōu)選含有80-99.9％重量的樹脂和0.1-20％重量的酸發(fā)生劑，以樹脂和酸發(fā)生劑的總量計。在本發(fā)明的光刻膠組合物，式(I)的脂族锍鹽與選自式(IIa)的三苯基锍鹽和式(IIb)的二苯基碘鎓鹽的鎓鹽的比例優(yōu)選約為9∶1-1∶9，更優(yōu)選為8∶2-2∶8。
當堿性化合物用作淬滅劑時，以光刻膠組合物的總量計，其優(yōu)選的量為0.01-0.1％重量。如果需要，該組合物還可含有少量各種添加劑如敏化劑、溶解抑制劑、其它樹脂、表面活性劑、穩(wěn)定劑和染料，只要不損害本發(fā)明的目的。
本發(fā)明的光刻膠組合物通常在其中上述組分溶解在待涂布在基材如硅片上的溶劑中旋轉(zhuǎn)涂布時變成光刻膠溶液。這里所用的溶劑可以是溶解每種組分的溶劑，具有適當?shù)母稍锼俾?，在蒸發(fā)溶劑后提供均勻和光滑的涂層，并可以是通常用在本領(lǐng)域中的溶劑。其例子包括二醇醚酯類如乙基溶纖劑乙酸酯、甲基溶纖劑乙酯酯和丙二醇單甲基醚乙酸酯；酯類如乳酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸戊酯和丙酮酸乙酯；酮類如丙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮和環(huán)己酮；和環(huán)酯如γ-丁內(nèi)酯。這些溶劑可單獨或以其兩種或多種組合使用。
涂布到基質(zhì)上并變干的光刻膠須經(jīng)曝光處理以形成圖案。然后，經(jīng)過熱處理以促進保護解封閉反應(yīng)，用堿性顯影劑進行顯影。此處使用的堿性顯影劑可是本領(lǐng)域使用的各種堿性水溶液。通常使用四甲基氫氧化銨或(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨(所謂的隆脊氫氧化物)的水溶液。
通過實施例更詳細說明本發(fā)明，但這并不解釋為對本發(fā)明范圍的限定。在實施例中的所有份數(shù)都是重量份，除非另有說明。重均分子量是通過使用聚苯乙烯作為參考標準的凝膠滲透色譜測定的值。
合成酸發(fā)生劑例1合成酸發(fā)生劑B1(1)向四頸燒瓶中加入70.17份四氫噻吩和750份丙酮，并向其中滴加150份1-溴特己酮，接著在室溫下攪拌24小時。沉積的晶體經(jīng)過濾收集、用100份叔丁基甲基醚洗滌并干燥，得到161.3份3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物。
(2)向四頸烘瓶中加入80份在(1)中制得的3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物和3200份乙腈，并向其加滴加56.33份三氟甲磺酸鉀，接著在室溫下在攪拌18小時。過濾收集沉淀的溴化鉀，并濃縮過濾物。向其中加入丙酮并在室溫攪拌16小時，過濾收集不溶物。進一步濃縮過濾物，并向其中加入丙酮。然后，向混合物中加入叔丁基甲基醚，從而得到94.73份目標物。經(jīng)1H-NMR(“GX-270”，由Nippon Denshi制造)發(fā)現(xiàn)該化合物是由下式表示的3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽。 1H-NMR(氯仿-d，內(nèi)標四甲基硅烷)δ(ppm)1.24(S，9H)；2.26-2.33(m，2H)；2.42-2.52(m，2H)；3.45-3.55(m，2H)；3.61-3.71(m，2H)；4.96(s，2H)。
合成酸發(fā)生劑例1-2合成酸發(fā)生劑B1(1)用與合成酸發(fā)生劑例1相同的方法，除了提高反應(yīng)規(guī)模外，得到3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物。
(2)向四頸燒瓶中加入169.58份在(1)中制得的3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物和3391.59份乙腈，將生成的混合物冷卻至5℃。向其加滴加100份三氟甲烷磺酸，接著在5℃下在攪拌1.5小時。然后，將反應(yīng)物濃縮至270份，向其中加入680份乙酸乙酯。向生成的混合物中，攪拌加入300份叔丁基甲基醚，過濾收集沉淀。將由此得到的濾餅溶于500份乙酸乙酯中，然后濃縮至420份。向其中攪拌加入50份叔丁基甲基醚，過濾收集沉淀物，干燥沉淀物，得到156.22份目標物。
合成酸發(fā)生劑例2和3合成酸發(fā)生劑B2和B3用與合成酸發(fā)生劑例1中步驟(2)相同的方法進行實驗，除了在合成酸發(fā)生劑例1中步驟(2)用全氟丁烷磺酸鉀和全氟辛烷磺酸鉀代替三氟甲烷磺酸鉀外，由此分別得到3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸丁烷磺酸鹽和3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸辛烷磺酸鹽。
3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸丁烷磺酸鹽的1H-NMR(二甲亞砜-d6，內(nèi)標四甲基硅烷)δ(ppm)1.15(s，9H)；2.13-2.23(m，4H)；3.33-3.38(m，2H)；3.47-3.54(m，2H)；4.85(s，2H)。
3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸辛烷磺酸鹽的1H-NMR(氯仿-d，內(nèi)標四甲基硅烷)δ(ppm)1.25(s，9H)；2.24-2.32(m，2H)；2.49-2.56(m，2H)；3.56-3.69(m，4H)；5.05(s，2H)。
酸發(fā)生劑的合成例4合成酸發(fā)生劑B4向四頸燒瓶中加入2.3份3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物和92份乙腈，并向其加滴加溶解2.4份對甲苯磺酸銀在7.2份乙腈中的溶液，接著在室溫下在攪拌22小時。過濾收集沉淀的溴化銀，并用30份乙腈洗滌。將濾液和洗液的混合物濃縮至3.3份。向其中加入30份乙腈，并在室溫攪拌2小時，并過濾收集不溶物。濃縮過濾物至2.75份。從乙酸乙酸和叔丁基甲基醚的混合溶劑中重結(jié)晶濃縮的殘余物，從而得到0.68份目標物。經(jīng)1H-NMR(“GX-270”，由Nippon Denshi制造)發(fā)現(xiàn)該化合物是由下式表示的3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽。 1H-NMR(二甲亞砜-d6，內(nèi)標四甲基硅)1.12(s，9H)；2.05-2.29(m，4H)；2.29(s，3H)；3.32-3.56(m，4H)；4.89(s，2H)；7.12(d，2H)；7.48(d，2H)。
酸發(fā)生劑的合成例5合成酸發(fā)生劑B5向四頸燒瓶中加入2.3份3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓溴化物和92份乙腈，并向其加滴加溶解2.9份對樟腦磺酸銀在8.8份乙腈中的溶液，接著在室溫下攪拌18小時。過濾收集沉淀的溴化銀，并用30份乙腈洗滌。將濾液和洗液的混合物濃縮至3.2份。向其中加入10份乙腈，并在室溫攪拌2小時，過濾收集不溶物。進一步濃縮過濾物至2.92份。從乙酸乙酸和叔丁基甲基醚的混合溶劑中重結(jié)晶濃縮的殘余物，從而得到2.46份目標物。經(jīng)1H-NMR(“GX-270”，由Nippon Denshi制造)發(fā)現(xiàn)該化合物是由下式表示的3，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽。 1H-NMR(二甲亞砜-d6，內(nèi)標四甲基硅)0.74(s，3H)；1.05(s，3H)；1.15(s，9H)；1.20-1.39(m，2H)；1.76-1.95(m，3H)；2.10-2.28(m，5H)；2.36(d，1H)；2.66-2.74(m，1H)；2.86(d，1H)；3.33-3.58(m，4H)；4.90(s，2H)。
樹脂合成例1(樹脂A1)以摩爾比5∶2.5∶2.5(20.0份∶9.5份∶7.3份)加入甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、甲基丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯和α-甲基丙烯酰氧基γ-丁丙酯。向其中加入量為總單體重量的兩倍的甲基異丁基酮，形成單體溶液。然后，加入基于單體總摩爾數(shù)的2％的偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑。接著在85℃加熱約8小時。冷卻反應(yīng)物質(zhì)后，將反應(yīng)溶液倒入大量庚烷中以引起沉淀。該沉淀操作重復(fù)三次，由此純化產(chǎn)品。得到分子量為約9200的共聚物。該共聚物稱為樹脂A1。
樹脂合成例2(樹脂A2)以摩爾比2∶2∶3∶3(10.0份∶9.0份∶5.7份∶5.9份)加入甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、降冰片烯和馬來酸酐。向其中加入量為總單體重量的兩倍的甲基異丁基酮，形成單體溶液，并將生成的溶液在氮氣氛下加熱至最高80℃。然后，加入基于單體總摩爾數(shù)的3％的偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑。在氮氣氛在80℃加熱約15小時。將反應(yīng)溶液倒入大量甲醇中以引起沉淀。該沉淀操作重復(fù)三次，由此純化產(chǎn)品。得到分子量為約12160、分子量分布為1.90的共聚物(17.1份)。該共聚物稱為樹脂A2。
樹脂合成例3(樹脂A3)以摩爾比2∶1∶1(11.1g5.0g3.8g)加入甲基丙烯酸2-乙基-2-金剛烷基酯、5-甲基丙烯酰氧基-2，6-降冰片烯內(nèi)酯和α-甲基丙烯酰氧基γ-丁丙酯，并加入50g 1，4-二噁烷，形成單體溶液。然后，加入0.30g偶氮二異丁腈作為引發(fā)劑，然后將該混合物加熱最高到85℃并攪拌約5小時。將反應(yīng)溶液倒入大量庚烷中以引起沉淀。該沉淀操作重復(fù)三次，由此純化產(chǎn)品。得到分子量為約9100、分子量分布為1.72的共聚物。該共聚物稱為樹脂A3。
樹脂合成例4(樹脂A4)向四頸燒瓶中加入10.5g(42mmol)丙烯酸-(1-金剛烷基)-1-甲基乙基酯、9.4g(42mmol)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、6.0g(63mmol)2-降冰片烯和6.2g(63mmol)馬來酸酐，將該混合物溶于64.2g甲基異丁基酮。向其中吹入氮鼓泡30分鐘，然后將溫度升至最高80℃。然后，向溶液中滴加1.0g(6.3mmol)的2，2′-偶氮二(異丁腈)在16.0g甲基異丁基酮中的溶液，并將溫度保持在80℃15小時。冷卻生成的反應(yīng)物，并加入1134g甲醇。結(jié)果，沉淀出白色晶體，并過濾收集晶體。用甲醇洗滌晶體，在30℃下減壓干燥15小時。由此制備的丙烯酸-(1-金剛烷基)-1-甲基乙基酯、丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯、降冰片烯和馬來酸酐的共聚物的量為16.4g，分子量為6900(按聚苯乙烯計)。該共聚物稱為樹脂A4。
樹脂合成例5(樹脂A5)(1)向四頸燒瓶中加入16.4g(0.07mol)甲基丙烯酸-2-甲基-2-金剛烷基酯、45.4g(0.28mol)對乙酰氧基苯乙烯和123.6g異丙醇。氮氣置換后，將溫度升至最高75℃。向溶液中滴加4.84g(0.021mol)的二甲基2，2-偶氮二(2-甲基丙酸酯)溶于9.7g異丙醇而制得的溶液，將該溶液在75℃下老化約0.5小時，并回流約11小時，然后用丙酮稀釋。將生成的溶液加入庚烷以促進結(jié)晶。干燥所得的晶體，得到的甲基丙烯酸-2-甲基-2-金剛烷基酯和對乙酰氧基苯乙烯的共聚物的量為54.2g。
(2)向燒瓶中加入53.0g(0.30mol，以單體單元計)如上制備的甲基丙烯酸-2-甲基-2-金剛烷基酯和對乙酰氧基苯乙烯(20∶80)的共聚物、5.3g(0.043mol)4-二甲基氨基吡啶和159.0g甲醇，接著在回流下老化20小時。冷卻后，用3.13g(0.052mol)冰乙酸中和該混合物，并向該混合物加入水使其結(jié)晶。然后過濾收集晶體。然后，將晶體溶于丙酮中，并向溶液中加入水使其結(jié)晶。然后過濾收集晶體。重復(fù)三次一系列操作，然后干燥所得的晶體。甲基丙烯酸-2-甲基-2-金剛烷基酯和對乙酰氧基苯乙烯的共聚物的量為37.8g。其重均分子量為約7900，分子量分布為1.72(GPC法，以聚苯乙烯為標準)。由核磁共振儀(13C-NMR)測定的共聚比為約20∶80。該共聚物稱為樹脂A5。
樹脂A64-羥基苯乙烯/苯乙烯/丙烯酸叔丁酯(60/20/20)共聚物，重均分子量11000(TSM4，由Maruzen Oil，Co.，Ltd.制造)用酸發(fā)生劑B1-B3、C1和C2制備光刻膠組合物，并對其進行評估。
酸發(fā)生劑酸發(fā)生劑B13，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓三氟甲烷磺酸鹽。
合成酸發(fā)生劑B23，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸丁烷磺酸鹽合成酸發(fā)生劑B33，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓全氟磺酸辛烷磺酸鹽。
酸發(fā)生劑B43，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓對甲苯磺酸鹽。
酸發(fā)生劑B53，3-二甲基-2-氧代丁基噻環(huán)戊烷鎓樟腦磺酸鹽。
酸發(fā)生劑C14-甲基苯基二苯基锍全氟辛烷磺酸鹽酸發(fā)生劑C2二(4-叔丁基苯基)碘鎓樟腦磺酸鹽實施例1-6和比較例1-4混合并溶解表1所示的樹脂、表1所示的酸發(fā)生劑和下面所列組分。用孔徑為0.2μm的氟樹脂過濾器過濾生成的溶液得到光刻膠溶液。
樹脂(其種類在表1中列出) 10份酸發(fā)生劑(量和種類在表1中列出)淬滅劑2，6-二異丙基苯胺(其量在表1中示出)溶劑丙二醇單甲基醚乙酸酯 57份γ-丁內(nèi)酯3份將Brewer Co.Ltd.生產(chǎn)的組合物“DUV-30J”涂布到硅片上并在215℃的條件下烘烤60秒，使得在硅片上形成的有抗反射層的厚度為1600埃。用旋轉(zhuǎn)涂布將上述制得的光刻膠溶液涂布到所述的硅片上，使得膜的厚度干燥后為0.335μm。涂布光刻膠溶液后，將該硅片在直接加熱板上、在表1、欄“PB”所示溫度下預(yù)烘60秒。
對其上如此形成光刻膠的硅片，通過使用KrF受激準分子分檔器(Nikon公司制造的“NSR 2205 EX12B”，NA＝0.55，σ＝0.8)逐步改變曝光量，使光通過線和空隙圖案對其進行曝光。將曝光后的硅片在熱板上在150℃下進行后曝光烘干(PEB)60秒。然后用2.38％的四甲基氫氧化銨水溶液對硅片進行劃槽顯影60秒。
用掃描電子顯微鏡觀察顯影后的圖案并用下列方法評估其有效靈敏度和分辨率。
有效靈敏度得到0.18μm的1∶1線和空間圖案的最小曝光量來表示。
分辨率用在有效靈敏度的曝光量下分離的線和空間圖案的最小尺寸表示。
線邊緣粗糙度(圖案壁的光滑度)用掃描電鏡觀察得到的線圖案壁。
O壁的光滑度好于比較例
×壁的光滑度幾乎同于比較例透過百分率將上述得到光刻膠溶液涂在石英玻璃硅片上以形成預(yù)烘烤后膜厚度為0.335μm的光刻膠膜。然后在上述相同條件下預(yù)烘烤以形成光刻膜。用分光光度計在193nm處光刻膠膜的透過率。結(jié)果如表2所示。
表1
表2
如表2所示，實施例的光刻膠具有好于比較例的線邊緣粗糙度(圖案壁的光滑度)。它們具有良好的靈敏度和分辨力，且沒有降低百分透過率。
實施例7-12和比較例5和6混合并溶解表3所示的樹脂、表3所示的酸發(fā)生劑和下面所列化合物。用孔徑為0.2μm的氟樹脂過濾器過濾生成的溶液得到光刻膠溶液。
樹脂(其種類在表3中列出) 13.5份酸發(fā)生劑(量和種類在表3中列出)淬滅劑三異丙基胺 0.07份溶劑乳酸乙酯60份將Brewer Co.Ltd.生產(chǎn)的組合物“DUV-30J”涂布到硅片上并在215℃的條件下烘烤60秒，使得在硅片上形成的有抗反射層的厚度為表3所示。用旋轉(zhuǎn)涂布將上述制得的光刻膠溶液涂布到所述的硅片上，使得膜的厚度干燥后為0.49μm。涂布光刻膠溶液后，將該硅片在直接加熱板上、在表3、欄“PB”所示溫度下預(yù)烘60秒。
對其上如此形成光刻膠的硅片，通過使用KrF受激準分子分檔器(Nikon公司制造的“NSR 2205 EX12B”，NA＝0.55，2/3環(huán)形照明)逐步改變曝光量，使光通過線和空隙圖案對其進行曝光。將曝光后的硅片在熱板上在表3所示的溫度下進行后曝光烘干(PEB)60秒。然后用2.38％的四甲基氫氧化銨水溶液對硅片進行劃槽顯影60秒。
用掃描電子顯微鏡觀察顯影后的圖案并用下列方法評估其有效靈敏度和分辨率。
有效靈敏度得到0.20μm的1∶1線和空間圖案的最小曝光量來表示。
分辨率用在有效靈敏度的曝光量下分離的線和空間圖案的最小尺寸表示。
線邊緣粗糙度(圖案壁的光滑度)用掃描電鏡觀察得到的線圖案壁。
O壁的光滑度好于比較例×壁的光滑度幾乎同于比較例透過百分率將上述得到光刻膠溶液涂在石英玻璃硅片上以形成預(yù)烘烤后膜厚度為0.49μm的光刻膠膜。然后在上述相同條件下預(yù)烘烤以形成光刻膜。用分光光度計在248nm處光刻膠膜的透過率。結(jié)果如表4所示。
表3
**防反射膜的厚度表4
如表4所示，實施例的光刻膠具有好于比較例的線邊緣粗糙度(圖案壁的光滑度)。它們具有良好的靈敏度和分辨力，且沒有降低百分透過率。
本發(fā)明化學(xué)增強型正光刻膠組合物提供了具有顯著改善線邊緣粗糙度的光刻膠圖案，并且其各種光刻膠性能如耐干蝕刻性、靈敏度和分辨力均優(yōu)良。因此，該組合物適宜于KrF受激準分子激光、ArF受激準分子激光下的平版印刷，從而可得到高性能的光刻膠圖案。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為包括(A)一種酸發(fā)生劑，含有(a)由下式(I)表示的锍鹽， 其中每一個Q1和Q2獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可含有一個氧原子或硫原子的雜環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基；Q5SO3-表示有機磺酸根離子，條件是當Q5表示具有1至8個碳原子的全氟烷基時，排除Q1表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基，Q2表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，和Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基的情形；和(b)至少一種鎓鹽，選自由下式(IIa)表示的三苯基锍鹽和由下式(IIb)表示的二苯基碘鎓鹽 其中P1-P5各自獨立表示氫原子、羥基、1至6個碳原子的烷基或1至6個碳原子的烷氧基，P6SO3-和P7SO3-各自表示有機磺酸根離子，p和q表示1至8的整數(shù)；和(B)一種樹脂，該樹脂包括具有對酸不穩(wěn)定的基團的聚合單元，并且其本身不溶或微溶于堿，但通過酸的作用變?yōu)榭扇苡趬A。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為Q1和Q2與其相鄰的硫原子一起形成雜脂環(huán)基。
3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為Q3、P6和P7各自獨立表示1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基，或6-12個碳原子的芳香基或樟腦基。
4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為式(I)表示的脂族锍鹽與選自式(IIa)的三苯基锍鹽和式(IIb)的二苯基碘鎓鹽的鎓鹽的比例約為9∶1-1∶9。
5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為以總樹脂量計，該樹脂含有10-80％mol的具有對酸不穩(wěn)定基的聚合單元。
6.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為該具有對酸不穩(wěn)定基團的聚合單元是(甲基)丙烯酸2-烷基-2-金剛烷基酯聚合單元或(甲基)丙烯酸1-金剛烷基-1-烷基烷基酯聚合單元。
7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為(B)樹脂還包括至少一種選自下列的聚合單元對羥基苯乙烯的聚合單元、間羥基苯乙烯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、(甲基)丙烯酸3，5-羥基-1-金剛烷基酯的聚合單元、其中丁內(nèi)酯可被烷基取代的(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的聚合單元、每一個用下式(IIIa)和(IIIb)表示的脂環(huán)內(nèi)酯的聚合單元 其中R1和R2獨立表示氫或甲基，n表示1-3的一個數(shù)。
8.如權(quán)利要求7所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為該樹脂還包括2-降冰片烯的聚合單元和脂族不飽和二羧酸酐的聚合單元。
9.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)增強型正光刻膠樹脂組合物，其特征為還含有胺作為淬滅劑。
10.由式(Ia)表示的锍鹽 其中Q6表示1至8個碳原子的全氟烷基、1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基；當Q6表示1至8個碳原子的全氟烷基時，Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可還含有一個氧原子或硫原子的雜脂環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基；當Q6表示1至8個碳原子的烷基、6-12個碳原子的芳香基或樟腦基時，Q1和Q2各自獨立表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基，或Q1和Q2與相鄰的硫原子一起形成可還含有一個氧原子或硫原子的雜脂環(huán)基；Q3表示氫原子，Q4表示1至6個碳原子的直鏈或支鏈烷基或3至10個碳原子的環(huán)烷基；或Q3和Q4與其相鄰的CHC(O)基一起形成2-氧代環(huán)烷基。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種化學(xué)增強型正光刻膠組合物,其提供了具有顯著改善了線邊緣粗糙度的光刻膠圖案,并且其各種光刻膠性能如耐干蝕刻性、靈敏度和分辨力均優(yōu)良,其包括:(A)一種酸發(fā)生劑,含有锍鹽和至少一種鎓鹽;(B)一種樹脂,該樹脂包括具有對酸不穩(wěn)定的基團的聚合單元,并且其本身不溶或微溶于堿,但通過酸的作用變?yōu)榭扇苡趬A。該組合物適宜于KrF受激準分子激光、ArF受激準分子激光下的平版印刷,從而可得到高性能的光刻膠圖案。
文檔編號G03F7/004GK1330289SQ0112951
公開日2002年1月9日 申請日期2001年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月23日
發(fā)明者上谷保則, 大橋賢治, 釜淵明 申請人:住友化學(xué)工業(yè)股份有限公司