專利名稱：多心金屬箍的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及為連接光學纖維等所使用的連接器或裝置等的主要零件金屬箍之中，特別是尺寸精度嚴格的多心用金屬箍的制造方法。
但是，在現在市場上出現的具有實用性的是以氧化鋯制的二心型的金屬箍作為限度，關于比這孔數多的多心金屬箍，由于不能獲得微米單位的極其嚴格的孔徑與孔位置精度，實際上制造是不可能的，這是實際狀況。
為說明上述實際狀況，例如

圖1是矩形的十二心型式的放大平面圖，實際上有要求φ0.126mm程度的孔1是0.25mm程度的孔距，厚度2.0mm程度的大小的設計的情形。
但是，對應該設計，盡管有關各公司想要用塑料成形品進行制造，進行了專心研究開發(fā)，但開發(fā)的結果所得到的試制品缺乏耐熱性、線膨脹系數高、產生中心銷彎曲等，怎么也沒有達到原來所要求的獲得微米單位的孔徑、孔位置等的尺寸精度的狀態(tài)。
本發(fā)明鑒于上述制造現場的實際狀況，目的在于提供一種金屬箍的制造方法，盡管以往制造實際上是不可能的多心用的金屬箍，也能比較容易地解決所尋求的嚴格的尺寸精度與耐熱性等基本問題。
圖2是表示在以本發(fā)明的光致抗蝕劑加工進行制造時，在金屬薄板上形成光致抗蝕劑被膜，通過曝光用圖形掩模以光線進行曝光的狀態(tài)的一實施例的概略放大剖面圖。
圖3是表示在以本發(fā)明的光致抗蝕劑加工進行制造時，處于將光致抗蝕劑被膜的曝光部溶解除去的狀態(tài)的實施形態(tài)的概略放大剖面圖。
圖4是表示在以本發(fā)明的光致抗蝕劑加工進行制造時，以腐蝕液將金屬薄板穿孔的狀態(tài)的概略放大剖面圖。
圖5是表示在以本發(fā)明的光致抗蝕劑加工的光成形加工法進行制造時，處于將光致抗蝕劑被膜的曝光部分以外的部分溶解除去的狀態(tài)的實施形態(tài)的概略放大剖面圖。
圖6是表示在以本發(fā)明的光成形加工法進行制造時，使導電性基板露出的狀態(tài)的概略放大剖面圖。
圖7是表示利用電鑄對于圖6的已露出的基板析出了金屬的狀態(tài)的概略放大剖面圖。
圖8是在以本發(fā)明的光成形加工法進行制造時，處于由電鑄后的金屬板剝離下來的狀態(tài)的孔附近的概略放大剖面圖。
圖9是表示在本發(fā)明的抗蝕劑膜的厚度薄時，電鑄金屬將抗蝕劑膜部分覆蓋地析出的現象的概略放大剖面圖。
圖10是表示在將本發(fā)明的抗蝕膜的厚度加厚時，電鑄金屬析出后的狀態(tài)的概略放大剖面圖。
圖11是表示在以本發(fā)明的電火花線加工法進行制造時，以連通槽將各孔連接起來，借此狀態(tài)進行穿孔的情形的放大平面圖。
圖12是表示將本發(fā)明的光學纖維接合后的實施形態(tài)的概略放大側剖面圖。
圖13是表示將本發(fā)明的已進行所要求尺寸的穿孔的金屬薄板層疊并固定好時的狀況的孔部分的概略放大剖面圖。
圖14是表示將本發(fā)明的金屬薄板層疊，由側面進行激光焊接的時的構成的放大剖面圖。
圖15是表示將本發(fā)明的金屬薄板層疊，由側面進行激光焊接的時的狀態(tài)的放大平面圖。
圖16是表示將本發(fā)明的已進行所要求尺寸的穿孔的金屬薄板層疊并固定時，將孔徑不同的金屬薄板由大孔到小孔地順次層疊并固定好的狀態(tài)的概略放大剖面圖。
實施發(fā)明的形態(tài)如上所述，本發(fā)明以下述2點作為基本構成a.將多片平面狀的金屬薄板層疊并且相互固定，b.將設置于各金屬薄上的多個的各孔相互連通，借此形成空洞。
再者，如上述a那樣，之所以使多片的平面狀金屬薄板(以下略稱“金屬薄板”。)層疊與固定，而不采用一層的金屬板，是由于金屬板具有一定以上的厚度的情況下，孔徑不能獲得良好的精度，以及加工顯著需要時間，并且成本顯著提高。
下面，根據上述a、b說明的實施形態(tài)。
本發(fā)明中使用的平板狀金屬薄板只要是腐蝕性、耐熱性、強韌性、耐水性、硬度、線膨脹良好，任何的金屬薄板都能使用。
例如鈦、不銹鋼、銅合金、鐵合金、鋁合金等制成的金屬薄板能適用于本發(fā)明，但鈦制成的金屬薄板、被稱為因瓦合金(殷鋼)的鐵合金與被稱為科瓦鐵鎳鈷合金的材料，由于線膨脹系數特別小，可選擇作為特別令人滿意的形態(tài)。
本發(fā)明所使用的金屬薄板，大致的情況如果是0.01～1.0mm程度的厚度即能使用。
并且，金屬薄板愈薄，愈易獲得孔的尺寸精度，但是由于強度不足以及在一個金屬箍的制造上需要多的片數，產生不經濟的問題，反之，隨著金屬薄板變厚，在光致抗蝕劑加工、沖孔等加工時難以獲得尺寸精度。
考慮到這些情況，有必要根據具體的制造方法選擇金屬薄板的厚度，在孔的加工方面，在后述那樣利用沖孔來進行的情況下，0.1～0.3mm程度是適宜的，在最能獲得精度的光致抗蝕劑法方面，在腐蝕法的情況下，0.05～0.1mm，成形法的情況下，0.1～0.5mm的厚度具有適應性高的傾向。
但是，根據多心用金屬箍的使用目的如何，也有尺寸精度不嚴格的情形，關于金屬薄板的厚度，并不存在一般的限制。
就是說，對于根據必要提高各孔的位置與孔徑精度的金屬薄板的厚度可根據制造方法適宜選擇。
關于上述金屬薄板的厚度的組合，不只是將同一厚度的金屬薄板進行層疊，不同厚度的金屬薄板的層疊當然也可能。
例如在最上與下兩方或某一方使用稍厚的金屬薄板2，借此能謀求提高強度、防止由平板狀態(tài)發(fā)生的變形引起的浮動、消除V锪孔加工方面的問題。
另外，金屬薄板的平面方向的形狀，可采用是同一的情形與不同的情形雙方，但作為實際使用的制品，同一的平面方向形狀的情形，作為使用是便利的情形較多。
在本發(fā)明中，作為制造在所希望的位置上具有多個孔的平面形狀的金屬薄板的方法，在各實施例中，如后述那樣，可采用光致抗蝕劑加工、光致抗蝕劑成形加工、沖孔加工、利用NC機床的鉆加工、激光加工、電火花(放電)加工及它們的組合，其中，采用光致抗蝕劑加工、光致抗蝕劑成形加工與電火花加工時能制造精度最高的制品。
下面，按照實施例進行說明。
實施例1實施例1是在具有多個孔的金屬薄板的成形上采用光致抗蝕劑加工的方法并且利用腐蝕穿孔。
光致抗蝕劑加工的加工技術自身例如特開平11-17091號等所示那樣，已采用于集成電路的制造，該采用是眾所周知的。
并且，在本發(fā)明的金屬薄板的孔的穿設方面，最初如圖2所示，在金屬薄板2上涂以光致抗蝕劑被膜3，利用印刷等形成，并且在使該被膜3干燥后，通過曝光用圖形掩模4照射激光束等光線5，形成曝光部6。
光致抗蝕劑部分一旦曝光，在光致抗蝕劑上即產生化學變化，能通過其他化學處理使光致抗蝕劑顯影。
例如，能使未暴光部分保留成為可溶性狀態(tài)，使已曝露部分成為不溶性，或對于特定的顯影劑成為非反應性，反之，根據光致抗蝕劑的使用，也能使已曝露的部分對于特定的顯影劑成為可溶性。
正片型的光致抗蝕劑的情況下，利用特定的溶劑附著于預定穿孔的各部位，將光致抗蝕劑被膜3的曝光部6溶解后，利用噴射工序將曝光部6除去，如圖3那樣使金屬薄板2露出后，如圖4那樣利用腐蝕液7以噴射法等進行腐蝕，能將孔1進行穿孔。
特別是，例如使用鈦作為金屬薄板2的情況下，使用稀釋氟化氫溶液作為腐蝕液，能穿孔，在使用銅合金的情況下，使用稀釋氯化鐵溶液，能有效地穿孔。
就是說，預先將圖1所示的平面形狀也設計在光制抗蝕劑的圖形上，在光致抗蝕劑加工時正確地制造具有圖1的平面形狀與該平面形狀內的十二個孔的薄板即可，并且，考慮經濟上的合理性，不是一片單位的平面形狀，而最好是使用考慮到多片單位的平面形狀所需要的大金屬薄板，采用通過一個循環(huán)的工序，一舉制造數十到數百個例如開有十二個孔的金屬薄板的方法。
另外，采用負片型的光致抗蝕劑的情況下，使曝光用圖形掩模與正片型的情形相反，即能制造同樣的金屬薄板。
實施例2實施例2是在具有多數個孔的金屬薄板的成形上采用由光致抗蝕劑實現的加工方法，但不采用如實施例1那樣利用腐蝕進行的孔的加工，而是采用所謂成形法，借此一舉進行金屬薄板的成形與穿孔。
在實施例1中，是如圖2所示那樣，在光致抗蝕劑膜3的下方配置金屬薄板2，與此不同，在實施例2中，是如圖5所示那樣，配置導電性的基板12。
并且，在采用正片型光致抗蝕劑之后，使光致抗蝕劑膜3的曝光部6的部分為不溶性，使曝光部6以外的部分為可溶性，并且特定的溶劑使其溶解之后，利用噴射工序將曝光部6以外的部分除去，如圖6那樣使導電性的基板12露出之后，進行起模處理。
其次，實施鎳、銅、鐵及其合金等的電鑄，如圖7所示那樣，通過電鑄，在基板12上形成金屬薄板2之后，將該金屬薄板2剝離，即能如圖8所示那樣，制成金屬薄板2，在該金屬薄板2的與曝光部6對應的位置上開有多個孔1。
另外，在采用負片型光致抗蝕劑的情況下，使曝光用圖形掩模與正片型的情形相反，即能制造同樣的金屬板。
一般，在抗蝕劑膜3的厚度為1μm～10μm這樣薄的情況下，如圖8所示，起因于電鑄金屬覆蓋抗蝕膜而析出，具有金屬薄板2的厚度愈增厚尺寸精度愈難取得的傾向。
并且，極端的情況下，如圖9所示那樣，處于電鑄狀態(tài)的金屬板的一部析出于光致抗蝕劑膜3上，發(fā)生將預定的孔的一部堵塞的現象，因此，甚至發(fā)生妨礙孔的尺寸精度的情形。
但是，將抗蝕劑膜3設定成數十μm～數mm那樣比通常顯著厚的情況下，則如圖10所示那樣，通過電鑄工序使金屬板2形成到比抗蝕劑膜3的細棒狀的母型低的位置，由此，能制造具有精度極為良好的孔的多心用金屬箍。
例如，將X射線硬化樹脂等電子束硬化樹脂使用于光致抗蝕劑膜，通過使用金、白金、鉛等重金屬制成的X射線圖形掩模等照射X射線等電子束，使孔部分的抗蝕劑膜成為不溶性，將其他部分溶解除去，因此，在制造電鑄用母型的情況下，由于電子束的透射性良好，能使用顯著厚的抗蝕劑膜，因此能使利用電鑄制成的金屬薄板2的厚度更厚，但極端加厚，在電鑄時過于費時間，會因應力而變形等，因而要有限度。
就是說，在上述方法的情況下，制造具有精度極其良好的孔的多心用金屬箍成為可能。
而且，在上述方法中，還存在能使在光致抗蝕劑法中屢屢成為問題塵埃等的影響全無的優(yōu)點。
在實施例2中的電鑄原材料的狀態(tài)，根據作為目的的電鑄金屬的材質各自不同，例如可能采用鎳或其合金、鐵或其合金、銅或其合金、鈷或其合金、鎢或其合金、微粒分散金屬等形成的電鑄金屬；可使用以氨基磺酸鎳、氯化鎳、硫酸鎳、氨基磺酸亞鐵、氟硼化亞鐵、焦磷酸銅、硫酸銅、氟硼化銅、氟硅酸銅、鈦氟化銅、鏈烷醇磺酸銅、硫酸高鈷、鎢酸鈉等水溶液為主要成分的水溶液或將碳化硅、碳化鎢、碳化硼、氧化鋯、氮化硅、氧化鋁、金剛石等微粉末分散在前述液中所得到的液體。
上述液體中，特別是以氨基磺酸鎳為主要成分的(鍍)液，在電鑄的操作容易、硬度等物性的多樣性、化學穩(wěn)定性、焊接的容易性等點上優(yōu)異。
電鑄液以過濾精度0.1～5μm程度過濾器進行高速過濾，并且加溫，溫度控制在±3℃程度的適宜溫度范圍內，時時進行活性碳處理以除去有機不純物，以鍍鎳的鐵制波紋板作為陽極，以碳作為陰板，以0.2A/dm2程度的低電流密度通電，以除去銅等金屬不純物與添加減少劑等，借此減小應力，因此，最好是以1～10dm2程度的電流密度實施變形小的電鑄。
實施例3實施例3是對已形成的金屬薄板在機床上進行沖孔加工而設置孔。
在利用這樣的沖孔加工進行制造時，有必要采用高尺寸精度與切斷面無毛口、飛刺、喇叭口、變形等缺陷的加工方法。
最好采用例如特開2000-108077號公報所述的方法等，該方法具備有呈沖孔形狀的切刃并上下對向地安裝的上下一對的切斷刃，配合安裝在上部切斷刃中并與切斷刃獨立地進行驅動的沖頭；其特征是使上部切斷刃下降，在上下切斷刃間將被加工材料切斷后，使沖頭下降，使被加工材料落料。
從生產的效率性考慮，最好通過一次操作，利用沖孔加工一次制造數十到數百個例如圖1所示的開有十二個孔的金屬薄板。
實施例4實施例4是利用NC機床加工進行穿孔。
利用這樣的NC機床加工進行制造的情況下，能采用12μm程度的鉆孔與線切割完成的加工等。126μm程度的鉆孔加工，能加工到1.5mm程度的厚度，另外，利用NC加工的鉆加工鉆孔的方法；利用線切割切除的方法；利用激光加工等開出適當大小的小孔之后，通以線切割的線，利用線切割，精度良好地開出孔徑與孔位置的方法等，能分別單獨或組合等隨意地采用。
實施例5為加工多個孔而采用電火花加工的方法。
所謂電火花加工，是利用隨著放電而產生的電極消耗現象的加工法，是與工件不直接接觸的所謂非接觸加工，因而適合于非常微細的加工。
并且，加工原理是使相當于工具的電極與工件對抗，在保持一定間隔的狀態(tài)下，使發(fā)生循環(huán)數多(數十～數十萬/秒)的脈沖狀的放電電流，一面使金屬等熔融一面進行加工。
具體地講，最初在加工液中的電極與工件之間通以脈沖高壓電而成為加載狀態(tài)，使極間發(fā)生火花放電。
由此而形成放電柱，轉變成過渡電弧放電，在所發(fā)生的一萬多℃的溫度下成為熔融狀態(tài)。
該熱，不只是工具電極與工件，還使周圍的各種油等加工液在瞬時氣化，由于這時的壓力，熔融狀態(tài)的金屬被吹跑，借此，放電加工在非接觸狀態(tài)下得以繼續(xù)。
把這一個循環(huán)叫作單發(fā)放電，該循環(huán)，在一秒間重復地連續(xù)放電數千次到數萬次，同時將加工電極送入工件，進行加工。
加工是由單發(fā)放電痕的累積而實現，有必要使每放電一次的放電能量小而實施花費時間的放電加工。
并且，加工間隔因加工條件、被加工材料的種類等而異，因而為提高尺寸精度，有必要通過極其慎重的多次的加工試驗決定電極的粗度等條件。
一般，電火花加工機床大致分成四種類。
就是說，有使用特定形狀的電極并投影加工其形狀的第一類的電火花型腔加工機床(EDM)、一面使細的電極高速回轉一面加工細孔的第二類電火花細孔加工機、一面卷繞線電極一面線鋸式地加工二維輪廓的第3類電火花線加工機床(W.EDM)、利用電火花線磨削加工法將細電極成形到直徑數μm，通過隨意動作其電極進行微細孔與三維加工的第四類。
并且，在這四類之中，第二、第三、第四電火花加工法適合于本發(fā)明。
關于利用第二類的一面使細的電極高速回轉一面加工細孔的電火花細孔加工機床的方法，在制造例如圖1所示的十二心的多心用金屬箍的情況下，準備2mm厚程度的切成規(guī)定尺寸的矩形板與通過試驗決定的細棒狀鎢電極，將矩形板安裝在電火花加工機床的載物臺上，以顯微鏡慎重地決定初點后，開始電火花加工，通過常常更換消耗電極，提高尺寸精度，利用NC加工機床一面使電極進行了3500rpm程度的高速回轉一面施加規(guī)定的高壓電，因而能將規(guī)定尺寸的孔開孔在規(guī)定的位置。
金屬薄板的厚度，薄者有獲得尺寸精度的傾向，厚度可能到2mm程度，但在尺寸精度方面，限度是0.3～0.5mm。
第三類的一面卷繞線電極一面線鋸式地加工二維輪廓的電火花線加工機床(W.EDM)的方法，準備板的情形與前述相同，關于電極，準備鎢等的φ0.03～0.08mm的線，卷繞在卷筒上，首先利用前述的電火花細孔加工機床的方法與激光照射等在規(guī)定的正確的位置上按概略尺寸開出前述線能進入程度的孔，將線穿入該孔內，一面使線卷繞，一面使載物臺移動，一個一個地開孔即可，也可在連通槽3將各孔1連接起來的狀態(tài)下開孔，這種方法在最初開一個孔，以后即能自動地制作，因此能使操作的勞力和時間顯著地少，是理想的方法。
關于第四類的利用電火花線磨削加工法將細電極成形到直徑數μm，通過使其電極隨意動作而進行微細孔與三維的加工的方法，與前述第二方法相同。
關于電極，可使用細線狀的銅、黃銅、鎢、鉬等。
本發(fā)明中使用的金屬，什么都可能使用，但最好是腐蝕性、耐熱性、強韌性、耐水性、硬度、線膨脹等物理、化學性能良好的材料，特別是在金屬中線膨脹系數小的叫作因瓦合金(invar)的鐵鎳合金、在電燈泡等中用于玻璃與金屬的密封等，叫作科瓦合金(kovar)的鐵鎳鈷合金等，由于溫度的影響引起的孔位置的變動小，適應性高。
利用電火花加工法等對金屬薄板進行穿孔，再層疊、固定、再進行光學纖維的接合的情況下，如圖12所示，關于層疊上端部的金屬薄板，穿設良好精度的孔，實現光學纖維的緊密固定狀態(tài)，關于形成該端部以外的層疊部分的金屬薄板的孔，穿設比原來精度上所要求的孔還要粗且直徑大的孔徑的孔，借此，也能實現與光學纖維的可靠的結合，采用這種方法，能謀求提高操作性、降低成本。
實施例6實施例6是關于金屬薄板的層疊與固定所采用的各種形態(tài)的方法。
通常，將切斷成規(guī)定尺寸的金屬薄板2正確地重合并如圖13那樣進行固定，根據金屬薄板2的厚度如何，層疊的片數不同，但在任何情況下都是比作為目的厚度稍許加厚。
這是由于象這樣，在進行稍厚的設計時，通過其后的磨削加工，就制品的外形、厚度等而言，能取得正確的尺寸。
固定前述金屬薄板2的方法，可采用點焊、激光等焊接方法與利用軟釬焊及粘合劑等進行的接合方法，但是，一般來說焊接的方法，從性能、操作性等考慮符合理想。
上述的焊接方法之中，激光焊接是最為適宜的方法。
順便說一下，如圖14所示，在臺8上由左右推，在使金屬薄板2正確對正的狀態(tài)下，用壓板9由上方加壓，由側面以激光光線10聚光，以1.5焦耳程度的輸出，以10次/S程度的脈沖，以1mm/S程度的速度，在由左右兩方同時照射一點的情況下，形成圖15所示的焊接部11，深度到0.3mm，能可靠的固定，使焊接位置為四處、八處或八處以上，因而能謀求防止金屬薄板2的浮動與提高強度。
在點焊焊接(電阻焊)的情況下，由于高的輸出，能進行厚度到2～3mm程度的金屬薄板的焊接，輸出過高時變形大，由于變形等，會對精度帶來妨礙，因此最好以0.5～1.0mm的厚度進行點焊焊接，也可將其正確地重疊，采用前述的實施側面激光焊接的方法。
制品側面是將金屬薄板2重疊并固定的狀態(tài)，因而在作為連接器使用時，為防止因摩擦而產生金屬粉與增加固定強度等，在將孔1覆蓋的狀態(tài)下，對側面實施氣相或液相的鍍覆而實現一體化，與此同時也可采用氮化處理等進行表面厚度調整的方法。
例如圖16所示，一面按孔1由大到小的順序進行調整一面將金屬薄板2重疊并固定，比采用形成插入光學纖維時所必要的V形锪孔狀的空間的方法，能省略零碎而且非常麻煩的V形锪孔的后加工工序。
采用本發(fā)明的方法，改善了以往使用于多心用光學纖維連接器、裝置等上面的金屬箍尺寸精度不足等原因造成的連接幾乎是不可能的情形。使連接成為可能和容易，將以往的樹脂成形品變?yōu)榻饘僦疲蚨茱@著提高耐熱性、線膨脹、硬度、焊接性等性能。
權利要求
1.一種多心金屬箍的制造方法，是將穿設有多個的同一數的孔的多片平面形狀的各金屬薄板層疊并相互固定而成，使尚未進行該層疊與固定的各金屬薄板上所穿設的該多個孔，通過相互連通，能分別形成空洞，多個的各孔的位置與孔徑根據設計所決定。
2.按權利要求1所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于在多片的金屬薄板上，各對應的孔的中心位置是相同的。
3.按權利要求1、2、3、4所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于將各金屬薄板的多個孔的中心位置設計成相同，將大直徑到小直徑的孔順次進行層疊。
4.按權利要求1所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于金屬薄板的平面方向的尺寸是相同的。
5.按權利要求1所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于各金屬薄板的厚度是相同的。
6.按權利要求1所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于各金屬薄板的厚度不是相同的。
7.按權利要求6所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于將各金屬薄板之中相對厚的金屬薄板使用于表面及背面的任何一方。
8.按權利要求1、7所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于在表面與背面的任何一方或雙方的金屬薄板上，穿設孔徑精度良好的孔；在位于表面與背面的任何一方或雙方以外的部位的金屬薄板上，穿設的孔的孔徑精度差，同時有比標準的孔徑稍大的孔徑。
9.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于在各金屬薄板的多個孔的穿設方面，在光致抗蝕劑的下部鋪設金屬薄板，在光致抗蝕劑被膜上，利用光線的照射設定多個孔的位置與孔徑后，利用腐蝕在金屬薄板上穿設該位置與孔徑所決定的孔。
10.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于在光致抗蝕劑膜的下部鋪設導電性基板后，將預定穿設規(guī)定位置與孔徑所決定的孔的領域以外的部位利用光的照射進行曝光，在導電性基板露出后，利用電鑄在該曝光部形成金屬薄板后，將該金屬薄板剝離。
11.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于從各金屬薄板上的多個孔的穿設來說，準備與多個的各孔的位置與孔徑對應的沖孔用的切刃，通過一次沖孔穿設多個孔。
12.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于從各金屬薄板上的多個孔的穿設來說，采用NC加工機床的鉆加工或線切割加工中之一加工各孔。
13.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于從各金屬薄板上的多個孔的穿設來說，預先利用激光加工使孔開口之后，采用NC加工機床的鉆加工或線切割加工。
14.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于從各金屬薄板上的多個孔的穿設來說，采用電火花加工的方法。
15.按權利要求14所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于利用電火花線加工進行開孔。
16.按權利要求14所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于利用一面使細的電極高速回轉一面加工細孔的電火花細孔加工進行開孔。
17.按權利要求14所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于利用電火花線磨削加工法將細電極成形到直徑數μm，通過使該電極隨意動作而進行微細加工。
18.按權利要求14、15、17所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于在以連接貫通槽(3)將孔連接起來的狀態(tài)下進行加工。
19.按權利要求14、15、16、17、18所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于使用因瓦合金作為金屬薄板的坯料。
20.按權利要求14、15、16、17、18所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于使用科瓦合金作為金屬薄板的坯料。
21.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、20所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于采用接合作為將穿設有多個孔的多片金屬薄板在層疊起來的狀態(tài)下進行固定的方法。
22.按權利要求21所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于采用軟釬焊、粘合劑中之一或雙方作為接合的方法。
23.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、20所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于采用焊接作為將穿設有多個孔的多片金屬薄板在層疊起來的狀態(tài)下進行固定的方法。
24.按權利要求23所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于采用從側面的激光焊接或點焊中之一或雙方作為焊接的方法。
25.按權利要求1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21、22、23、24所述的多心金屬箍的制造方法，其特征在于利用鍍覆法使金屬析出以作為將穿設有多個孔的多片金屬薄板在層疊起來的狀態(tài)下進行固定的方法。
全文摘要
是一種多心金屬箍的制造方法，是將穿設有多個的同一數的孔(1)的多片平面形狀的各金屬板(2)層疊與相互固定而成，并且為使尚未進行該層疊與固定的各金屬薄板(2)上所穿設的該多數孔(1)，通過相互連通，能分別形成空洞，各孔(1)的位置與孔徑是根據設定所決定，孔徑、孔位置等具有高精度，并且是能適用于多心用光連接器、裝置等的多心金屬箍的制造方法。
文檔編號G02B6/38GK1441919SQ01812553
公開日2003年9月10日 申請日期2001年7月10日 優(yōu)先權日2000年7月10日
發(fā)明者岡本真一 申請人:株式會社光技術