專利名稱：感光性導(dǎo)電膠、導(dǎo)體圖形形成法和陶瓷多層構(gòu)件制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及主要在制造電路部件和陶瓷多層構(gòu)件等時(shí)，在基板表面和構(gòu)成陶瓷多層構(gòu)件的各個(gè)陶瓷層上形成所需要的導(dǎo)體圖形(電路圖形和電極圖形等)時(shí)所使用的感光性導(dǎo)電膠，以及用該膠制作導(dǎo)體圖形的方法和制造多層陶瓷構(gòu)品的方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，伴隨著移動(dòng)通訊設(shè)備，衛(wèi)星發(fā)射接收設(shè)備、計(jì)算機(jī)等小型化，其中使用的高頻電子構(gòu)件也向小型化、高性能化發(fā)展，導(dǎo)致對(duì)高頻電子線路構(gòu)件的布線圖形也能強(qiáng)烈要求相應(yīng)的高密度化和信號(hào)傳送高速化。為了達(dá)到高頻電子線路構(gòu)件布線圖形的高密度化和信號(hào)傳送高速化，必需使布線圖形細(xì)微化，增大膜厚(厚膜化)。
在形成高頻電子部件的布線圖形時(shí)，一般使用的方法是使用將銅等多價(jià)金屬粉末和由有機(jī)粘合劑和有機(jī)溶劑形成的有機(jī)載體混合的導(dǎo)電膠，在絕緣性基板上形成圖形，接著，將其干燥后，進(jìn)行燒成，形成規(guī)定的布線圖形。
而在形成布線圖形中，一般使用絲網(wǎng)印刷法，在利用該方法形成細(xì)微化布線圖形時(shí)，很難將布線圖形的布線寬度和布線與布線的間距(布線間距)形成在50μm以下，一般認(rèn)為50μm的布線寬度和布線間距是利用絲網(wǎng)印刷法形成細(xì)微化的界限。
與其相反，在特開平5-287221號(hào)公報(bào)，特開平8-227153號(hào)公報(bào)中，提出一種使用感光性導(dǎo)電膠的光刻法形成細(xì)微的，膜厚大的布線方法。這些方法是利用光刻法形成圖形的方法，而該光刻法包括將由導(dǎo)電性金屬粉末，側(cè)鏈上具有羥基和乙烯性不飽和基的丙烯酸系共聚物、光反應(yīng)性化合物、光聚合引發(fā)劑等形成的感光性導(dǎo)電膠，涂布在絕緣性基板上，干燥后，曝光處理和顯像處理。
特開平6-224538號(hào)、特開平8-335757號(hào)公中，公開了一種使用含有玻璃粉末的感光性導(dǎo)電膠的光刻法，形成細(xì)微的，大厚膜布線的方法。這些方法是在感光性導(dǎo)電膠中添加了玻璃粉末，提高了導(dǎo)體圖形與陶瓷的粘接性。
近年來(lái)在使用感光性導(dǎo)電膠的光刻法中，考慮到對(duì)環(huán)境的影響，最好用水或堿水溶液的顯像的，為此，使用了具有羥基等的帶有質(zhì)子游離性的酸性官能基的有機(jī)粘合劑。
然而，使用這種有機(jī)粘合劑時(shí)，作為感光性導(dǎo)電膠中的導(dǎo)體成分，多價(jià)金屬，如選擇銅時(shí)，在膠溶液部分(主要是由有機(jī)溶劑形成的部分)中溶出的銅離子，與質(zhì)子游離后生成的有機(jī)沾合劑的陰離子反應(yīng)，由離子交聯(lián)形成3維網(wǎng)絡(luò)，產(chǎn)生凝膠化。當(dāng)感光性導(dǎo)電膠形成凝膠時(shí)，出現(xiàn)的問(wèn)題是不僅難以涂布、而且，即使能涂布，也出現(xiàn)不穩(wěn)定現(xiàn)象。
使用上述的含有側(cè)鏈上具有乙烯性不飽和基的丙烯酸系共聚物的感光性導(dǎo)電膠時(shí)，對(duì)曝光感度升高，特別是當(dāng)側(cè)鏈上附加乙烯性不飽和基時(shí)，在使用這種不飽和縮水甘油基的化合物的場(chǎng)合，存在的問(wèn)題是由于產(chǎn)生了促進(jìn)凝膠化的羥基，所以更容易產(chǎn)生凝膠化。
作為防止凝膠化的方法，例如在特開平9-218509號(hào)公報(bào)中公開的將磷酸等含磷化合物作為凝膠化抑制劑而含有的感光性導(dǎo)電膠，在特開平9-218508號(hào)公報(bào)中將具有苯并三唑等結(jié)構(gòu)的化合物，特開平9-222723號(hào)公報(bào)中將具有醋酸等羥基的有機(jī)化合物，分別作凝膠化抑制劑而含有的感光性導(dǎo)電糊。
然而，含有這些凝膠化抑制劑的方法，實(shí)際情況是只不過(guò)多少延遲了感光性導(dǎo)電膠形成凝膠的時(shí)間而已，即使含有這些凝膠化抑制劑，也不能解決使用感光導(dǎo)電膠產(chǎn)生的難題。
特開平10-171107號(hào)公報(bào)中，作為有機(jī)溶劑通過(guò)使用3-甲基-3-甲氧丁醇，可防止凝膠化。因此，有時(shí)出現(xiàn)的問(wèn)題是在干燥狀態(tài)的膠中出現(xiàn)好像凝膠化的現(xiàn)象，即，由于離子交聯(lián)形成3維網(wǎng)絡(luò)引起實(shí)質(zhì)上分子量增高的現(xiàn)象，在顯像液中不會(huì)溶出未曝光部分。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為解決這種課題而提供一種難以產(chǎn)生凝膠化，保存穩(wěn)定性優(yōu)良，而且與基板的粘合力高，能夠形成細(xì)微且大厚膜的導(dǎo)體圖形和感光性導(dǎo)電膠，以及使用該導(dǎo)電膠的導(dǎo)體圖形制造方法和多層陶瓷構(gòu)件的制造方法等。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明感光性導(dǎo)電糊的特征是含有(a)實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末、
(b)具有酸性官能基的有機(jī)粘合劑、(c)感光性有機(jī)成分、(d)和存在于上述濺金屬粉末表面上的金屬氫氧化物反應(yīng)，形成微凝膠體的物質(zhì)。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，由于含有實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末，和與存在于賤金屬粉末表面上的金屬氧化物反應(yīng)形成微凝膠體的物質(zhì)。所以在涂布前的膠狀態(tài)和涂布干燥后的涂膜狀態(tài)任何一種狀態(tài)下都能充分抑制產(chǎn)生凝膠化。因此，能有效形成細(xì)微的大厚膜的導(dǎo)體圖形(例如，電路和電極等)。
據(jù)推測(cè)本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠能抑制凝膠化發(fā)生的原因如下(1)賤金屬粉末經(jīng)過(guò)表面氧化處理，降低了賤金屬粉末表面存在金屬氫氧化物的活性、(2)和賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成的微凝膠物質(zhì)，與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物進(jìn)行終合形成微凝膠，這種微凝膠形成立體障礙，阻礙了賤金屬粉末和有機(jī)粘合劑中的酸性官能基相結(jié)合。
發(fā)明的實(shí)施形態(tài)如上述，本發(fā)明的感光性導(dǎo)電糊含有實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末，具有酸性官能基的有機(jī)粘合劑、感光性有機(jī)成分、和與存在于上述賤金屬粉末表面的金屬氫氧化物反應(yīng)形成的微凝膠。
此處，賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物是由賤金屬粉末的表面經(jīng)過(guò)氧化處理形成的金屬氧化物和空氣中的水分反應(yīng)所形成的。例如，賤金屬粉末為Cu粒子時(shí)，其表面經(jīng)過(guò)氧化處理，Cu粒子的表面形成CuO和Cu2O的金屬氧化物，這樣，與環(huán)境中存在的H2O反應(yīng)，Cu粒子表面的金屬氧化物形成為CuOH和Cu(OH)2等金屬氫氧化物。
根據(jù)本發(fā)明，該金屬氫氧化物，與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成的微凝膠物質(zhì)進(jìn)行絡(luò)合，形成微凝膠。這樣該微凝膠形成立體障礙，阻礙了有機(jī)粘合劑中的酸性官能基和賤金屬粉末的凝膠化。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，所說(shuō)的具有酸性官能基的有機(jī)粘合劑是一種廣義概念，是指由具有羥基、羥基、磺酸基等有質(zhì)子游離性質(zhì)官能基的物質(zhì)形成的有機(jī)粘合劑或含有具有該官能基物質(zhì)的有機(jī)粘合劑，酸性官能基的具體種類沒(méi)有特別限制。
本發(fā)明感光導(dǎo)電膠中使用的感光性有機(jī)成分是以前公知的光聚合性或光變性化合物，例如以下所示化合物。
(1)具有不飽和基等反應(yīng)性官能基的單體和低聚物，和芳香族羰基化合物等光游離基發(fā)生劑的混合物，(2)芳香族二疊氮化物和甲醛的縮合物等所謂的重氮樹脂，(3)環(huán)氧化合物等加成聚合性化合物和二烯丙基碘鹽等光酸發(fā)生劑的混合物，(4)荼醌二疊氮化物系化合物。
這些感光性有機(jī)成分中，特別好的是具有不飽和基等反應(yīng)性官能基的單體和低聚物，和芳香族羰基化合物等光游離基發(fā)生劑的混合物。
作為上述光游離基發(fā)生劑。有芐基、安息香乙醚、安息香異丁醚、安息香異丙醚、苯酰苯、苯甲?；蚕⑾闼帷⒈郊柞；蚕⑾闼峒柞?、4-苯甲?；?4′-甲基二苯基硫化物、芐基二甲酮縮醇、2-n-丁氧-4-二甲氨基苯甲酸酯、2-氯硫雜蒽、2，4-二乙基硫雜蒽、2，4-二異丙基硫雜蒽、異丙基硫雜蒽，2-二甲氨基苯甲酸酯、P-二甲氨基安息香酸乙酯、P-二甲氨基安息香酸異戊酯、3，3′-二甲基-4-甲氧苯酰苯、2，4-二甲基硫雜蒽、1-(4-十二苯基)-2-羥基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧-1，2-二苯基乙烷-1-酮、羥環(huán)己基苯酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧)-苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、甲基苯甲酰甲酸鹽、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(O-乙氧羰基)肟、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-1-丁酮、二(2，6-二甲氧苯甲?；?2，4，4-三甲基戊基磷化氫氧化物、二(2，4，6-三甲基苯甲?；?苯基磷化氫氧化物等。
作為上述含有反應(yīng)性官能性基的單體和低聚物，例如有乙二醇三丙烯酸酯、三丙烯乙二醇三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、硬脂?；┧狨ァ⑺臍溥秽┧狨?、月桂基丙烯酸酯、2-苯氧乙基丙烯酸酯、異癸基丙烯酸酯、異辛基丙烯酸酯、十三烷基丙烯酸酯、己內(nèi)酯丙烯酸酯、乙氧化壬酚基丙烯酸酯、1，3-丁二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、二乙烯乙二醇丙烯酸酯、四乙烯乙二醇二丙烯酸酯、三乙烯乙二醇二丙烯酸酯、乙氧化雙酚A二丙烯酸酯、丙氧化新戊基乙二醇二丙烯酸酯、三(2-羥乙基)異三聚氰酸酯三丙烯酸酯、乙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇丙烯酸酯、丙氧化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油基三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、二季戊四醇羥基五丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、四氫呋喃基甲丙烯酸酯、環(huán)己基甲基丙烯酸酯、異癸基甲基丙烯酸酯、月桂基甲基丙烯酸酯、三乙烯乙二醇二甲基丙烯酸酯、乙烯乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙烯乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、二乙烯乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、新戊基乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，3-丁烯乙二醇二甲基丙烯酸酯、己氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯等。
在本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中最好含有紫外線吸收劑。通過(guò)含有紫外線吸收劑，可將光散射引發(fā)的曝光不良抑制到最小限度。作為紫外線吸收劑，例如有偶氮系紅色顏料、胺系紅色染料等。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，為提高與基板的粘接性，可添加玻璃粉末和陶瓷粉末等無(wú)機(jī)成分。作為玻璃粉末，可使用硼硅酸系玻璃等公知的玻璃粉末，作為陶瓷粉末，可使用以氧化鋁和氧化鋯等為主的結(jié)晶化玻璃系陶瓷、玻璃復(fù)合系陶瓷、非玻璃系陶瓷等公知的低溫?zé)Y(jié)陶瓷粉末。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，進(jìn)而根據(jù)需要，還可當(dāng)添加聚合抑制劑等保存穩(wěn)定劑、防氧化劑、染料、顏料、消泡劑、表面活性劑等。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，和存在于賤金屬粉末表面的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)，最好是1個(gè)分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇。
通過(guò)含有這種多價(jià)醇，可促進(jìn)微凝膠形成，抑制、防止感光性導(dǎo)電膠形成凝膠化。
作為上述多價(jià)醇，有1，2，3，4-丁烷四醇、丁四醇、阿拉伯醇、木糖醇、核糖醇、戊五醇、山梨醇、甘露醇、艾杜糖醇、塔羅糖醇、半乳糖醇、麥芽糖醇(マリト一ル)、鱷梨糖醇、庚七醇等。
在本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，與存在于賤金屬粉末表面的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)，最好是聚醚酯型表面活性劑。
通過(guò)含有聚醚酯型表面活性劑，可促進(jìn)微凝膠的形成，和抑制防止感光性導(dǎo)電糊的凝膠化。
這時(shí)，上述聚醚酯型表面活性劑，相對(duì)于賤金屬粉末100重量份，含有0.05～2重量份。
聚醚酯型表面活性劑的含量低于0.05重量份時(shí)，不可能獲得防凝膠化的效果。而超過(guò)2重量份時(shí)，微凝膠增大，感光性導(dǎo)電膠形成凝膠化。
在感光性導(dǎo)電膠中，同時(shí)添加上述1個(gè)分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇和上述聚醚酯型表面活性劑時(shí)，能更有效地防止凝膠化。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，賤金屬粉末最好是Cu、Mo、Ni、W以及至少含有它們中1種的合金中選出的至少1種。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，作為賤金屬粉末，可使用各種賤金屬粉末，其中，Cu、Mo、Ni、W及含有它們中至少1種的合金最容易產(chǎn)生凝膠化。即使這種情況，根據(jù)本發(fā)明，仍能充分抑制凝膠化的發(fā)生，確實(shí)能獲得可形成細(xì)微的大厚膜圖形的感光性導(dǎo)電膠。
上述賤金屬粉末最好是球狀的，最好是平均粒徑d50為1～5μm，比面積為0.1～2.0m2/g的。若平均粒徑和比面積超出上述范圍，很難形成圖形。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，作為賤金屬粉末，最好是在含氧的環(huán)境中將賤金屬粉末加熱到室溫以上的溫度，實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末。
通過(guò)在含氧環(huán)境中加熱到室溫以上溫度，對(duì)賤金屬粉末表面進(jìn)行氧化處理，可有效獲得賤金屬粉末，可更好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
作為對(duì)賤金屬粉末實(shí)施表面氧化處理的方法，最好是在含氧環(huán)境中加熱的方法，該方法，很容易控制賤金屬粉末表面的賤金屬氧化物的狀態(tài)，可在賤金屬粉末的表面上形成致密的賤金屬氧化物膜。
在本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，賤金屬粉末中的氧含量最好為0.4～1.2重量％。
當(dāng)氧含量低于0.4重量％時(shí)，賤金屬粉末表面沒(méi)有充分被氧化物被覆，有時(shí)得到不到防凝膠化的效果。而氧含量超過(guò)1.2重量％時(shí)，賤金屬氧化物膜變得很脆、得不到防凝膠化的效果。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，具有酸性官能基的有機(jī)粘合劑，最好是具有羥在的丙烯酸系共聚物。
作為有機(jī)粘合劑，通過(guò)使用具有羥基的丙烯酸系共聚物，不僅能抑制凝膠化發(fā)生，而且也能利用水或堿水溶液進(jìn)行顯像。這樣的有機(jī)粘合劑也可以用作感光性有機(jī)粘合劑。
具有羥基的丙烯酸系共系物(有機(jī)粘合劑)，例如，可通過(guò)將不飽和羥酸和乙烯性不飽和化合物進(jìn)行共聚制造。作為不飽和羥酸，有丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來(lái)酸、富馬酸、乙烯醋酸及其酐等。作為乙烯性不飽和化合物，有丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯等丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯等甲基丙烯酸酯、富馬酸單乙酯等的富馬酸酯等。
作為丙烯酸系共聚物，也可使用以下形態(tài)的導(dǎo)入不飽和鍵的。
(1)在上述丙烯酸系共聚物側(cè)鏈的羥基上，加成上與其可反應(yīng)的，如環(huán)氧基等具有官能基的丙烯酸系單體的。
(2)在導(dǎo)入環(huán)氧基取代側(cè)鏈羥基形成的上述丙烯酸系共聚物中，使不飽和單羧酸反應(yīng)后，再導(dǎo)入飽和或不飽和多價(jià)羧酸酐的。
具有該酸性官能基的有機(jī)粘合劑是具有羧基的丙烯酸系共聚物，最好在該羧基上，通過(guò)加成不飽和縮水甘油基化合物的反應(yīng)，導(dǎo)入不飽和鍵的。
使用具有羧基的丙烯酸系共聚物的，通過(guò)在該羧基上加成不飽和縮水甘油基化合物的反應(yīng)導(dǎo)入不飽和鍵的有機(jī)粘合劑時(shí)，可提高對(duì)曝光的感度，更能有效實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
然而，在以前的感光性導(dǎo)電膠中，存在的問(wèn)題是使用不飽和縮水甘油基化合物時(shí)，由于產(chǎn)生促進(jìn)凝膠化的羥基，所以更容易產(chǎn)生凝膠化，降低了保存穩(wěn)定性。與其相反，本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，作為賤金屬粉末使用了表面實(shí)施氧化處理的，同時(shí)配合了像4價(jià)以上多價(jià)醇那樣的，與金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)，所以可抑制感光性導(dǎo)電膠的凝膠化，確保了充分的保存穩(wěn)定性，也在存在上述保存穩(wěn)定性隨時(shí)間降低的問(wèn)題。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，可與丙烯酸共聚物加成的含有不飽和基的縮水甘油基化合物的量，沒(méi)有特殊限制，最好丙烯酸共聚物是堿可溶的(即可溶于顯像液)，加成反應(yīng)后，仍殘存有羧基。
通過(guò)在羧基上加成不飽和縮水甘油基化合物的反應(yīng)，導(dǎo)入不飽和鍵時(shí)，作為不飽和縮水甘油基化合物，可使用特開2000-204130號(hào)公報(bào)中記載的含有不飽和基的脂環(huán)式縮水甘油基化合物等。作為這種含不飽和基的脂環(huán)式縮水甘油基化合物，好的是3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基甲基丙烯酸酯或3，4-環(huán)氧環(huán)己基丙烯酸酯、或它們的己內(nèi)酯變性物，其中更好是3，4-環(huán)氧環(huán)己基甲基丙烯酸酯。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，最好進(jìn)一步添加二醇化合物。
在添加二醇化合物時(shí)，二醇化合物與存在于賤金屬粉末表面的金屬氫氧化物形成氫鍵，阻礙了金屬氫氧化物和有機(jī)粘合劑中的酸性官能基結(jié)合，進(jìn)一步可抑制凝膠化發(fā)生。
作為最好的二醇，例如有乙烯乙二醇、丙烯己二醇、三甲撐乙二醇、丁烯乙二醇、四甲撐乙二醇、五甲撐乙二醇、丁二醇、六甲撐乙二醇、戊二醇、辛二醇、壬二醇、癸二醇、二乙烯乙二醇、二丙烯乙二醇、三乙烯乙二醇、三丙烯乙二醇等。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠中，進(jìn)進(jìn)一步添加陰離子吸附性物質(zhì)。
在感光性導(dǎo)電膠中含有多價(jià)金屬成分時(shí)，它與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基反應(yīng)，產(chǎn)生凝膠化，陰離子吸附性物質(zhì)與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基結(jié)合，由于阻礙了金屬氫氧化物和有機(jī)粘合劑中的酸性官能基結(jié)合，所以能進(jìn)一步抑制凝膠化發(fā)生。
陰離子吸附性物質(zhì)可采用無(wú)機(jī)微粒子和有機(jī)微粒子的形態(tài)。作為無(wú)機(jī)微粒子，最好是羥基磷灰石、水滑石、磷酸鋯、含水氧化銻等。作為有機(jī)微粒子，可使用陰離子交換性樹脂等，例如(1)將二乙烯苯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物作母體，作為離子交換基，導(dǎo)入了1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)或4級(jí)氨基的、(2)將乙烯苯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物作母體，作為離子交換基，導(dǎo)入了1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)或4級(jí)氨基的、(3)將三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物作為母體、作為離子交換基導(dǎo)入1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)或4級(jí)氨基的、等(4)將乙二醇、二甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或丙烯腈的共聚物作母體，作為離子交換基，導(dǎo)入了1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)或4級(jí)氨基的。
陰離子吸附性物質(zhì)，最好是從羥基磷灰石、水滑石、磷酸鋯和含水氧化銻中至少選出1種。
如上述，作為陰離子吸附性物質(zhì)可使用各種物質(zhì)，但通過(guò)使用從羥基磷灰石、水滑石、磷酸鋯和含水氧化銻中至少選出的1種，可有效控制多價(jià)金屬成分和有機(jī)粘合劑中酸性官能基的反應(yīng)，并能進(jìn)一步抑制凝膠化。
本發(fā)明的導(dǎo)體圖形形成方法，包括對(duì)本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像形成所要求導(dǎo)體圖形的工序。
通過(guò)使用本發(fā)明的難以產(chǎn)生凝膠化的感光性導(dǎo)電膠形成導(dǎo)體圖形(通常是涂布感光性導(dǎo)電膠，經(jīng)過(guò)進(jìn)行曝光、顯像工序，燒成形成的圖形)，可得到使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不可能實(shí)現(xiàn)的，具有高精度、高密度導(dǎo)體圖形(例如電路和電極等)的電路基板。
本發(fā)明中，所說(shuō)的導(dǎo)體圖形是包括電路和電極等在內(nèi)的廣義概念，對(duì)其具體的形狀和功能等，沒(méi)有特別限制。
本發(fā)明的導(dǎo)體圖形形成方法包括將本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠涂布在支撐體上的工序、對(duì)上述感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像，在上述支撐體上形成規(guī)定圖形的工序、將上述支撐體上形成的上述圖形復(fù)制在基板上的工序、和將上述圖形進(jìn)行燒成的工序。
在該導(dǎo)體圖形的形成方法中，由于使用了本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，所以能抑制感光性導(dǎo)電膠的凝膠化和涂布干燥后涂膜的凝膠化，并能利用復(fù)制法在基板上形成所要求的圖形，并能有效地制造出使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不能實(shí)現(xiàn)的、具有高精度、高密度導(dǎo)體圖形(例如電路和電極等)的電路基板。
本發(fā)明的電路另件是使用本發(fā)明的導(dǎo)體圖形形成方法制造的電路另件。
這種電路基板具有形狀精度和尺寸精度高、大厚膜的圖形，也可提供小型高性能的電路另件(例如，在混合的IC等中使用的電路基板)。
本發(fā)明的多層陶瓷另件的制造方法，包括將本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像、形成所要求導(dǎo)體圖形的工序。
即，通過(guò)使用本發(fā)明的難以產(chǎn)生凝膠化的感光性導(dǎo)電膠形成導(dǎo)體圖形(通常是涂布感光性導(dǎo)電膠，經(jīng)過(guò)曝光、顯像工序，燒成形成的圖形)，可有效制造出使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不能實(shí)現(xiàn)的具有高精度、高密度導(dǎo)體圖形(如電路和電極等)的多層陶瓷另件。
本發(fā)明的多層陶瓷制品的制造方法包括將本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠涂布在支撐體上的工序。
對(duì)上述感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像，在上述支撐體上形成規(guī)定圖形的工序。
將上述支撐體上形成的上述圖形復(fù)制在未燒結(jié)的陶瓷片上的工序、
將復(fù)制了上述圖形的未燒結(jié)陶瓷片進(jìn)行層疊，形成層疊體的工序、和將上述層疊體進(jìn)行燒成工序。
根據(jù)該多層陶瓷另件的制造方法，由于使用了本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠。所以能抑制感光性導(dǎo)電膠的凝膠化和涂布干燥后涂膜的凝膠化、并能利用復(fù)制法，在未燒結(jié)的陶瓷片上形成規(guī)定圖形，通過(guò)將該未燒結(jié)的陶瓷片上進(jìn)行層疊，對(duì)形成的層疊體進(jìn)行燒成，可高效地制成使用以前感光性導(dǎo)電膠時(shí)不能實(shí)現(xiàn)的，具有高精度、高密度導(dǎo)體圖形(如電路和電極等)的多層陶瓷另件。
以下對(duì)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，經(jīng)過(guò)形成規(guī)定圖形工序制造的電路另件進(jìn)行說(shuō)明。此處作為電路另件以片狀線圈為例，參照?qǐng)D1和圖2進(jìn)行說(shuō)明。
該片狀線圈(圖1)，如圖2所示，其構(gòu)造是由分別形成內(nèi)部電極4a、4b、4c和4d的氧化鋁形成的絕緣體層2a、2b、2c、2d，和同樣由氧化鋁形成的保護(hù)絕緣體層2e依次層疊形成層疊體(層疊基板)2(圖1)，在其側(cè)面設(shè)置外部電極3a、3b(圖1)。
即，在層疊基2的內(nèi)部，在絕緣體層2a-絕緣體層2b之間、絕緣體層26-絕緣體層2c之間、絕緣體層2c-絕緣體層2d之間，絕緣體層2d-絕緣體層2e之間，分別設(shè)置形成線圈圖形的內(nèi)部電極4a、4b、4c和4d，設(shè)在絕緣體層2a-絕緣體層2b之間的內(nèi)部電極4a與外部電極3a(圖1)連接，設(shè)在絕緣體層2d-絕緣體層2e之間的內(nèi)部電極4d與外部電極3b(圖1)連接。
設(shè)在絕緣體層2a-絕緣體層2b之間的內(nèi)部電極4a，通過(guò)絕緣體層2b上形成的柱狀孔(ビァホ一ル)與設(shè)在絕緣體層2b-絕緣體層2c之間的內(nèi)部電極4b進(jìn)行電連接，同樣，內(nèi)部電極4b和內(nèi)部電極4c，及內(nèi)部電極4c和內(nèi)部電極4d，分別通過(guò)在絕緣體層2c、2d上形成的柱狀孔(未圖示)進(jìn)行電連接。
以下對(duì)芯狀線圈的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
(1)首先，使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠(例如上述實(shí)施形態(tài)的感光性導(dǎo)電膠)，利用感光性膠法，在氧化鋁等絕緣體層(絕緣性基板)2a上形成所要求的導(dǎo)電圖形。
接著，脫脂處理后，例如空氣中，850℃下燒成1小時(shí)，形成螺線狀內(nèi)部電極4a。
(2)接著，使用玻璃粉末作為無(wú)機(jī)粉末的感光性絕緣體膠，利用感光性膠法，在形成內(nèi)部電極4a的絕緣性基板2a上形成絕緣體膠層。在該絕緣體膠層上，利用感光性膠法形成如直徑50μm的柱狀孔用圖形。再在大氣中規(guī)定的溫度下燒成，形成具有柱狀貫通孔(圖示省略)的絕緣體層2b。
(3)此后，在柱狀貫通孔中填充導(dǎo)電膠，干燥，形成連接內(nèi)部電極4a一端和內(nèi)部電極b-端的柱狀孔(圖示省略)后，以和上述(1)中形成內(nèi)部電極4a方法相同的方法，形成螺線狀的內(nèi)部電極4b。
(4)接著，同樣形成絕緣體層2c、內(nèi)部電極4c、絕緣體層2d、內(nèi)部電極4d。同樣形成保護(hù)絕緣體層2e，進(jìn)而通過(guò)設(shè)置外部電極3a和3b、得到如圖1所示的具有內(nèi)部電極和絕緣體層形成層疊構(gòu)造的片狀線圈1。
本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，由于難以產(chǎn)生凝膠化，對(duì)曝光的感度良好，如上述，通過(guò)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠形成導(dǎo)電圖形，所以可形成形狀精度優(yōu)良的，致密導(dǎo)電圖形(如電路和電極等)，可有效地制造小型、高性能的電路另件。
本發(fā)明并不僅限于片狀線圈，也適用于片狀電容器、片狀LC過(guò)濾器等高頻電路用電子部件，或高頻組件(例如，VCO(Voltage Controll ed Oscillator)和PLL(Pkase Locked Loop)等)一類的高頻電路另件等。
以下參照?qǐng)D3，對(duì)使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠形成的多層陶瓷另件進(jìn)行說(shuō)明。
圖3所示的多層陶瓷基板11是由絕緣體層12a、12b、12c、12d及12e，和電介質(zhì)層13a和13b進(jìn)行層疊的多層陶瓷電路另件所形成的基體。在多層陶瓷基板11的內(nèi)部，由內(nèi)層導(dǎo)體圖形14a、14b、14c和柱狀孔15，形成電容器圖形、線圈圖形、帶狀線等。在多層陶瓷基板11的一個(gè)主面上，設(shè)置半導(dǎo)體IC17、片狀電容器等片狀另件18，厚膜電阻體19等，分別與表層導(dǎo)體圖形16和內(nèi)層導(dǎo)體圖形14a、14b、14c等連接。
以下對(duì)制造多層陶瓷基板11的方法進(jìn)行說(shuō)明。
(1)此時(shí)，首先，通過(guò)使用了導(dǎo)電性無(wú)機(jī)粉末的感光性導(dǎo)電膠，以感光性膠法，制作形成規(guī)定圖形的未燒結(jié)的絕緣體陶瓷片和未燒結(jié)的電介體陶瓷片。
(2)隨后，將形成導(dǎo)體圖形和柱狀孔的未燒結(jié)陶瓷片進(jìn)行重疊，壓實(shí)后，在規(guī)定溫度下進(jìn)行燒成。
(3)接著，和上述情況一樣，利用感光性膠法，形成表層導(dǎo)電圖形16后，再裝載片狀另件18、半導(dǎo)體IC17，印刷厚膜電阻體19。
這樣得到具有圖3所示構(gòu)造的多層陶瓷基板11。
根據(jù)上述制造方法，形成內(nèi)層導(dǎo)電圖形14a、14b、14c和表層導(dǎo)電圖形16，由于使用感光性膠法和本發(fā)明圖形形成方法，所以可得到具有均勻、細(xì)微導(dǎo)體圖形的多層陶瓷制品。
多層陶瓷另件，并不限于上述的多層陶瓷基板、和片狀電容器、片狀LC過(guò)濾器等高頻電路用電子另件，也適用于像高頻組件(例如，VCO(VoltagcComtrolled Oscillator)和PLL(Phase Locked Loop)一類的高頻線路基板。
本發(fā)明并不限于上述實(shí)施形態(tài)，在本發(fā)明的范圍之內(nèi)，可適用于各種應(yīng)用和變形。


圖1是本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)的電路基板(片狀線圈)示意圖。
圖2是本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)的電路基板(片狀線圈)構(gòu)成斜視示意圖。
圖3是本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)的多層陶瓷基板示意剖面圖。
實(shí)施例以下根據(jù)具體實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明。
實(shí)施例1作為賤金屬粉末(銅粉末)、有機(jī)粘合劑、含反應(yīng)性官能基的單體、光聚合引發(fā)劑、有機(jī)溶劑、多價(jià)醇、紫外線吸收劑、及陰離子吸附性微粒子，作如下準(zhǔn)備。
<賤金屬粉末>
(a)銅粉末A將銅粉末于空氣中、200℃·70RH％的條件下放置10小時(shí)，對(duì)表面進(jìn)行氧化處理等。
(氧含量0.5重量％、平均粒徑3μm、球狀)(b)銅粉末B通過(guò)向表面吹附粒徑0.1μm以下的CuO粉末，由CuO被覆的，(氧含量0.5重量％、平均粒徑3μm、球狀)(c)銅粉末C不進(jìn)行氧化處理的(氧含量0.2重量％、平均粒徑3μm、球狀)(d)銅粉末D將銅粉末在含氧環(huán)境中，200℃·70RH％的條件下放置，進(jìn)行表面氧化處理的(氧含量0.3重量％、平均粒徑3μm、球狀)
(e)銅粉末E在和銅粉末C相同的條件下，進(jìn)行表面氧化處理的(氧含量1.0重量％、平均粒徑3μm、球狀)(f)銅粉末F在和銅粉末C相同的條件下，進(jìn)行表面氧化處理的(氧含量1.5重量％、平均粒徑3μm、球狀)<有機(jī)粘合劑>
聚合物以重量基準(zhǔn)，共聚比率25/75(甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯)，將甲基丙烯酸和甲基丙烯酸甲酯共聚后，對(duì)甲基丙烯酸，加成O2倍摩爾量的環(huán)氧環(huán)己基甲基丙烯酸酯的丙烯酸系共聚物(重量平均分子量Mw＝20000、酸價(jià)＝118)<含反應(yīng)官能基單全>
單體三羥甲基丙烷三丙烯酸酯<光聚合引發(fā)劑>
引發(fā)劑A2-甲基-1-[4-(甲硫代)苯基]-2-嗎啉代丙烷引發(fā)劑B2，4-二乙基硫雜蒽<有機(jī)溶劑>
有機(jī)溶劑A戊甲撐乙二醇(二醇化合物)有機(jī)溶劑B乙基卡必醇乙酸酯<多價(jià)醇>
多價(jià)醇A山梨醇(1分子中6個(gè)羥基)多價(jià)醇B1，2，3，4-丁烷四醇(1分子中4個(gè)羥基)多價(jià)醇C甘油醇(1分子中3個(gè)羥基)<紫外線吸收劑>
紫外線吸收劑疊氮系紅色顏料<陰離子吸附性微粒子>
羥基磷灰石將上述各材料按下述表1所示組成，稱量、混合，利用3輥混合機(jī)混練，制作成感光性導(dǎo)電膠試料1～12。
接著，將感光性導(dǎo)電膠試料1-12，用旋轉(zhuǎn)涂布器涂布在氧化鋁基板上，將其在100℃下干燥1小時(shí)，形成20μm厚的涂膜。
此后，將得到的涂膜放置24小時(shí)后，進(jìn)行曝光處理。在該實(shí)施例1中，通過(guò)描繪線和間距的比(線/間距(L/S))＝20/20(μm)的圖形的掩膜，用高壓水銀燈以250mJ/cm2的曝光量照射光線。
之后，利用碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯像處理，得到L/S＝20/20(μm)的圖形。
實(shí)施脫脂處理后，在900℃，N2環(huán)境中燒成，形成L/S＝10/30(μm)的導(dǎo)體圖形(銅圖形)。
對(duì)于上述各試料，在20℃的空氣中，觀察制作后，1天后、3天后、1周后、2周后、3周后、4周后、5周后、6周后各時(shí)刻的保存狀態(tài)(有無(wú)凝膠化發(fā)生)。測(cè)定各試料中產(chǎn)生凝膠化的天數(shù)(凝膠化天數(shù))。結(jié)果示于表1。
表1

如表1所示，在試料1-5、8、10～12中，使用了實(shí)施表面氧化處理的銅粉末(賤金屬粉末)，同時(shí)，添加了1分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇，增長(zhǎng)了膠的壽命。
試料1，從制作后，經(jīng)過(guò)6周的任何時(shí)刻，利用旋轉(zhuǎn)涂布器涂在絕緣性基板上，而且利用光刻法形成圖形。但是，超過(guò)6周后，認(rèn)為會(huì)發(fā)生凝膠化。
與其相反，在試料6、7中，由于不包含1分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇，在試料9中，由于不含有實(shí)施表面氧化處理的銅粉末(賤金屬粉末)，所以膠壽命大幅度縮短。
試料2，4，5，由于不含有二醇化合物，與試料1相比，膠壽命縮短。試料3，由于不含有陰離子吸附性微粒子，與試料1相比，膠壽命縮短。
當(dāng)比較試料1，10～12和試料8時(shí)，將銅粉末在含氧處理環(huán)境中室溫以上溫度進(jìn)行加熱的，可知防凝膠化效果很高。當(dāng)比較試料1，11和試料10、12比較時(shí)，銅粉末中氧含量為0.4～1.2重量％范圍中，可知防凝膠化的效果很高。
由試料4和試料7的比較、及試料2和試料5的比較，可知使用1分子中只有3個(gè)羥基的多價(jià)醇，不可能獲得防凝膠化的效果。
實(shí)施例2作為賤金屬粉末(銅粉末)有機(jī)粘合劑、含反應(yīng)性官能基的單體、光聚合引發(fā)劑、有機(jī)溶劑、多價(jià)醇、紫外線吸收劑、及陰離子吸附性微粒子，作和實(shí)施例1相同的準(zhǔn)備，進(jìn)一步準(zhǔn)備玻璃粉末、有機(jī)溶劑、分散劑、及有機(jī)系觸變劑。
玻璃粉末SIC-Bi2O3-B2O3玻璃(平均粒徑3μm、球狀)有機(jī)溶劑C二丙烯乙二醇單甲醚分散劑丙烷G600(菜榮社化學(xué)制)觸變劑A聚醚酯型表面活性劑(楠木化成制，ディスパロン3600N)觸變劑B脂肪酸酰胺醋(楠木化成制，ディスパロン6900-20X)將上述各材料，按下述表2和表3所示組成，稱量、混合，用3輥混合機(jī)混練，制作感光性導(dǎo)電膠試料12～33。
以下對(duì)各試料進(jìn)行和實(shí)施例1相同的評(píng)價(jià)，結(jié)果示于表2和表3。
表2

表3

如表2、3所示，在試料13，15～20、22、24～33中，由于使用了實(shí)施表面氧化處理的銅粉末(賤金屬粉末)，同時(shí)添加了聚醚酯型表面活性劑，所以延長(zhǎng)了膠的壽命。
特別是試料32，除了添加聚醚酯型表面活性劑外，還添加了二醇化合物、及1分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇，所以更加延長(zhǎng)了膠的壽命。
與其相反，在試料14、21中，不含有聚醚酯型表面活性劑，在試料23中，不含有實(shí)施表面氧化處理的銅粉末(賤金屬粉末)，所以膠壽命大幅度縮短。
試料15、20，相對(duì)于100重量份銅粉末，聚醚型表面活性劑的含量不足0.05重量份，或超過(guò)2重量份，與試料13，16～19相比，膠壽命大大縮短。
當(dāng)比較試料13，24～26和試料22時(shí)，可知將銅粉末在含氧環(huán)境中室溫以上溫度加熱的，防凝膠化效果很高。
當(dāng)比較試料13、25和試料24，26時(shí)，可知銅粉末中的氧含量好的在0.3～1.5重量％的范圍內(nèi)，更好在0.4～1.2重量％范圍內(nèi)，可獲得很高的防凝膠化效果。
由試料28和試料30的比較，及試料28和試料31的比較，可知使用1個(gè)分子中只有3個(gè)羥基的多價(jià)醇，是不可能獲得防凝膠化效果的。
當(dāng)比較試料27和試料33時(shí)，可知由于含有了陰離子吸附性微粒子，所以提高了防凝膠化的效果。
如上所述，本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，由于含有實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末，同時(shí)與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)而形成微凝膠的物質(zhì)，所以在涂布前的膠狀態(tài)及涂布干燥后的涂膜狀態(tài)下，都能充分抑制凝膠化的產(chǎn)生。因此，使用本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，可有效地形成細(xì)微且大厚膜的導(dǎo)電圖形。
作為與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)，使用1個(gè)分子中具有4個(gè)以上羥基的多價(jià)醇時(shí)，促進(jìn)了微凝膠的形成，所以可防止感光性導(dǎo)電膠的凝膠化產(chǎn)生。
作為與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)，使用了聚醚酯型表面活性劑時(shí)，促進(jìn)了微凝膠的形成，所以能防止感光性導(dǎo)電膠的凝膠化產(chǎn)生。
將聚醚酯型表面活性劑的含量取為0.5～2重量份時(shí)，可加大微凝膠形成，所以很容易防止感光性導(dǎo)電膠產(chǎn)生凝膠化，并能獲得充分的防凝膠化效果。
本發(fā)明中，作為賤金屬粉末，可使用各種金屬，但其中，Cu、Mo、Ni、W及至少含有它們中1種的合金，很容易產(chǎn)生凝膠化。根據(jù)本發(fā)明，即使是這種情況，也能充分抑制凝膠化產(chǎn)生，并能獲得可形成細(xì)微且大厚膜導(dǎo)體圖形的感光性導(dǎo)電膠。
通過(guò)使用在含氧環(huán)境中室溫以上溫度進(jìn)行加熱處理的賤金屬粉末，可獲得含有表面確實(shí)被氧化處理的賤金屬粉末的具有所要特性的感光性導(dǎo)電膠，并實(shí)際有效地實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明。
作為對(duì)賤金屬粉末進(jìn)行表面氧化處理的方法，最好是在含氧環(huán)境中加熱的方法，可很容易控制賤金屬粉末表面的金屬氧化物狀態(tài)，在賤金屬粉末表面上形成致密的賤金屬氧化物膜。
通過(guò)將賤金屬粉末中的氧含量取為0.4～1.2重量％范圍，由于氧含量不會(huì)過(guò)多，所以不會(huì)導(dǎo)致賤金屬氧化物膜的脆弱化，賤金屬粉末表面充分被氧化物被覆，確實(shí)可獲得防凝膠化的效果。
作為有機(jī)粘合劑，通過(guò)使用具有羧基的丙烯酸共聚物，不僅能抑制凝膠化發(fā)生，而且也能實(shí)現(xiàn)水或堿水溶液的顯像。這樣的有機(jī)粘合劑也可用作感光性有機(jī)粘合劑。
在具有羧基的丙烯酸系共聚物的該羧基上，加成不飽和縮水甘油基化合物，導(dǎo)入不飽和鍵，使用這樣的有機(jī)粘合劑時(shí)，可提高對(duì)曝光的感度，并能更有效地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。
添加二醇化合物時(shí)，二醇化合物與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物形成氫鍵，由于抑制了金屬氫氧化物與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基的結(jié)合，所以能進(jìn)一步抑制凝膠化產(chǎn)生。
感光性導(dǎo)電糊中含有多價(jià)金屬成分時(shí)，有時(shí)與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基反應(yīng)，產(chǎn)生凝膠化，但陰離子吸附性物質(zhì)與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基結(jié)合，由于阻礙了金屬氫氧化物與有機(jī)粘合劑中的酸性官能基的結(jié)合，所以能進(jìn)一步抑制凝膠化產(chǎn)生。
作為陰離子吸附性物質(zhì)，使用從羥基磷灰石，水滑石、磷酸鋯和含水氧化銻中選出的至少1種時(shí)，可有效抑制多價(jià)金屬成分和有機(jī)粘合劑中的酸性官能基的反應(yīng)，并進(jìn)一步抑制凝膠化產(chǎn)生。
本發(fā)明導(dǎo)電圖形的形成方法，由于使用本發(fā)明的難以產(chǎn)生的凝膠化的感光性導(dǎo)電膠，形成導(dǎo)電圖形，所以能獲得使用以前的感光性導(dǎo)電膠不能實(shí)現(xiàn)的，具有高精度、高密度導(dǎo)電圖形(如電路和電極等)的電路另件。
本發(fā)明的其他導(dǎo)電圖形形成方法，由于使用了本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，所以能抑制感光性導(dǎo)電膠的凝膠化和涂布干燥后涂膜的凝膠化，并能利用復(fù)制法在基板上形成所要求的圖形，可有效制造出使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不可能實(shí)現(xiàn)的，具有高精度、高密度導(dǎo)電圖形(如電路和電極等)的電路另件。
本發(fā)明的電路另件是利用本發(fā)明的導(dǎo)電圖形形成方法制造的，可提供形狀精度和尺寸精度高的，具有大厚膜圖形的，小型高性能的電路另件。
本發(fā)明的多層陶瓷另件的制造方法，由于使用了本發(fā)明的難以產(chǎn)生凝膠化的感光性導(dǎo)電膠，形成導(dǎo)電圖形，所以能有效制造使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不能實(shí)現(xiàn)的，具有高精度，高密度導(dǎo)體圖形(如電路和電極等)的多層陶瓷另件。
進(jìn)而，本發(fā)明的多層陶瓷另件的制造方法，由于使用了本發(fā)明的感光性導(dǎo)電膠，所以能抑制感光性導(dǎo)電膠的凝膠化和涂布干燥后涂膜的凝膠化，利用復(fù)制法在未燒結(jié)的陶瓷片上形成所要求的圖形，通過(guò)將該未燒結(jié)的陶瓷片進(jìn)行層疊形成的層疊體進(jìn)行燒成，可有效制造出使用以前的感光性導(dǎo)電膠時(shí)不能實(shí)現(xiàn)的，人有高精度、高密度導(dǎo)體圖形(如電路和電極等)的多層陶瓷制品。
權(quán)利要求
1.一種感光性導(dǎo)電膠，其特征是，含有(a)經(jīng)過(guò)表面氧化處理的賤金屬粉末，(b)具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑，(c)感光性有機(jī)成分，(d)與上述濺金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述與上述賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)是1個(gè)分子中有4個(gè)以上羥基的多元醇。
3.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述與上述賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成微凝膠的物質(zhì)是聚醚酯型表面活性劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求3記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述聚醚酯型表面活性劑相對(duì)于100重量份上述賤金屬粉末，為0.05-2重量份。
5.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述賤金屬粉末為選自Cu、Mo、Ni、W及含有它們中的至少1種的合金中的至少1種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述賤金屬粉末是于含氧氣氛中在室溫以上的溫度被加熱過(guò)的經(jīng)表面氧化處理的賤金屬粉末。
7.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述賤金屬粉末的含氧量為0.4-1.2重量％。
8.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑是具有羧基的丙烯酸系共聚物。
9.根據(jù)權(quán)利要求8記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述具有酸性官能團(tuán)的有機(jī)粘合劑是具有羧基的丙烯酸系共聚物，且通過(guò)在該羧基上加合不飽和縮水甘油基化合物而導(dǎo)入了不飽和鍵。
10.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，還添加了二醇化合物。
11.根據(jù)權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，還添加了陰離子吸附性物質(zhì)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11記載的感光性導(dǎo)電膠，其特征是，所述陰離子吸附性物質(zhì)是選自羥基磷灰石、水滑石、磷酸鋯和含水氧化銻中的至少1種。
13.一種導(dǎo)體圖形的形成方法，其特征是，將權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像，形成所要求的導(dǎo)體圖形。
14.一種導(dǎo)體圖形的形成方法，它包括將權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠涂布在支撐體上的工序，將上述感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像、在上述支撐體上形成規(guī)定圖形的工序，將在上述支撐體上形成的圖形轉(zhuǎn)印到基板上的工序，將上述圖形進(jìn)行燒成的工序。
15.一種電路另件，其特征在于，它是用權(quán)利要求13或14記載的導(dǎo)體圖形形成方法制造的。
16.一種多層陶瓷另件的制造方法，其特征在于，它具有下述工序?qū)?quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像，形成所要求的導(dǎo)電圖形。
17.一種多層陶瓷另件的制造方法，其特征是，它包括將權(quán)利要求1記載的感光性導(dǎo)電膠涂布在支撐體上的工序，將上述感光性導(dǎo)電膠進(jìn)行曝光、顯像、在支撐體上形成規(guī)定圖形的工序，將在上述支撐體上形成的圖形轉(zhuǎn)印到未燒結(jié)的陶瓷片上的工序，將上述圖形轉(zhuǎn)印于其上面的未燒結(jié)陶瓷片進(jìn)行層疊、形成層疊的工序，將上述層疊體進(jìn)行燒成的工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種難以產(chǎn)生凝膠化，保存穩(wěn)定性優(yōu)良的，而且，與基板的接合力很高的，能形成細(xì)微、大厚膜圖形的感光性導(dǎo)電膠。在含有賤金屬粉末、具有酸性官能基的有機(jī)粘合劑、和感光性有機(jī)成分的感光性導(dǎo)電膠中，使用了實(shí)施表面氧化處理的賤金屬粉末，同時(shí)添加了4價(jià)以上多價(jià)醇的與賤金屬粉末表面存在的金屬氫氧化物反應(yīng)形成凝膠的物質(zhì)。
文檔編號(hào)G03F7/40GK1403874SQ0214191
公開日2003年3月19日 申請(qǐng)日期2002年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月7日
發(fā)明者久保田正博 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所