專利名稱：制造液晶顯示器面板的具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置的制作方法
本申請(qǐng)要求享有2002年3月25日遞交的韓國(guó)專利申請(qǐng)P2002-015968號(hào)的權(quán)益，該申請(qǐng)可供參考。
象素按矩陣形式布置在薄膜晶體管陣列襯底上。在一個(gè)單位象素中形成一個(gè)薄膜晶體管(TFT)，一個(gè)象素電極和一個(gè)電容。在彩色濾光器襯底上有公共電極，RGB彩色濾光器和黑底層矩陣的構(gòu)圖。
同時(shí)在彼此面對(duì)的薄膜晶體管陣列和彩色濾光器襯底的表面上形成對(duì)準(zhǔn)層。在對(duì)準(zhǔn)層上執(zhí)行研磨，按預(yù)定方向?qū)?zhǔn)液晶。在這種情況下，若在薄膜晶體管陣列襯底的各個(gè)單位象素的象素電極和彩色濾光器襯底整個(gè)表面上的公共電極之間加一個(gè)電場(chǎng)，液晶就會(huì)因介電各向異性而旋轉(zhuǎn)，由各個(gè)單位象素透射或是截?cái)喙饩€而顯示出字符或影像。
以下要簡(jiǎn)述制造液晶顯示器件的一種方法。
在第一母襯底上制備薄膜晶體管陣列襯底，并在第二母襯底上制備彩色濾光器襯底。
如上文所述，象素按矩陣形式布置在各個(gè)薄膜晶體管陣列襯底上。在一個(gè)單位象素中形成一個(gè)薄膜晶體管(TFT)，一個(gè)象素電極和一個(gè)電容。在各個(gè)彩色濾光器襯底上有公共電極，彩色濾光器和黑底層矩陣的構(gòu)圖。
接著在第一和第二母襯底上形成對(duì)準(zhǔn)層。然后在對(duì)準(zhǔn)層上執(zhí)行研磨。在這種情況下用研磨布以均勻的力和速度研磨各對(duì)準(zhǔn)層的表面，在預(yù)定方向上對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)層表面上的聚合物鏈來(lái)對(duì)準(zhǔn)液晶。
并且將第一和第二母襯底彼此粘接，使第一和第二母襯底表面上的對(duì)準(zhǔn)層彼此面對(duì)。在這種情況下在第一和第二母襯底之間插入墊片，在粘接的第一和第二母襯底之間提供均勻的單元間隙。
然后將形成在第一和第二母襯底上的液晶顯示器面板單獨(dú)切割成分開(kāi)的多個(gè)單位液晶顯示器面板。


圖1表示的示意性透視圖可以說(shuō)明按照現(xiàn)有技術(shù)在第一和第二母襯底上的對(duì)準(zhǔn)層的研磨方向。
如圖1所示，第一母襯底10表面上的對(duì)準(zhǔn)層的研磨方向12是從第一母襯底10的左上角到右下角，而第二母襯底20表面上的對(duì)準(zhǔn)層的研磨方向22是從第二母襯底20的左下角到右上角。
圖2表示的示意性透視圖可以說(shuō)明圖1所示的研磨方向12和22，將第一和第二母襯底10和20彼此粘接，使對(duì)準(zhǔn)層11和21彼此面對(duì)。
圖3表示按照現(xiàn)有技術(shù)對(duì)第一母襯底10表面上的對(duì)準(zhǔn)層11執(zhí)行研磨。
如圖3所示，當(dāng)?shù)谝荒敢r底10在與第一母襯底10的長(zhǎng)邊平行的方向上移動(dòng)時(shí)，相對(duì)于第一母襯底10的長(zhǎng)邊按預(yù)定角度θ傾斜安裝一個(gè)覆蓋有研磨布13的滾子14，并且在對(duì)準(zhǔn)層11上研磨而執(zhí)行研磨步驟。
在第一和第二母襯底10和20各自的對(duì)準(zhǔn)層11和21上執(zhí)行完研磨之后，需要將第一或第二母襯底10或20旋轉(zhuǎn)180°以便粘接。
圖4表示用來(lái)制造液晶顯示器面板的一種現(xiàn)有技術(shù)研磨裝置的方框圖。
參見(jiàn)圖4，用來(lái)制造液晶顯示器面板的現(xiàn)有技術(shù)研磨裝置包括第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元1和2，用來(lái)在第一和第二母襯底的相應(yīng)表面上形成對(duì)準(zhǔn)層，第一和第二研磨單元3和4，用來(lái)研磨分別形成在第一和第二母襯底表面上的對(duì)準(zhǔn)層，以及一個(gè)單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8，它通過(guò)第一輸送單元5從第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元1和2接收第一和第二母襯底，通過(guò)第二輸送單元6將母襯底輸送到第一和第二研磨單元3和4，并且通過(guò)第二輸送單元6接收被第一和第二研磨單元3和4研磨過(guò)的第一和第二母襯底，待旋轉(zhuǎn)之后通過(guò)第一輸送單元5放入一個(gè)盒7。
圖5表示按照現(xiàn)有技術(shù)的單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器的透視圖。
參見(jiàn)圖5，按照現(xiàn)有技術(shù)的單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器包括第一支架32，它具有彼此間按規(guī)則分開(kāi)的第一接頭31，用來(lái)在上面安裝第一母襯底，彼此間按規(guī)則分開(kāi)的第二接頭41，用來(lái)在上面安裝第二母襯底，以及連接到第一和第二支架32和42的對(duì)應(yīng)端的一個(gè)旋轉(zhuǎn)單元45，用來(lái)同時(shí)旋轉(zhuǎn)第一和第二支架32和42。
以下要參照?qǐng)D4和5具體說(shuō)明用來(lái)制造液晶顯示器件的具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的現(xiàn)有技術(shù)研磨裝置。
利用第一輸送單元5將在上面用第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元1和2形成了對(duì)準(zhǔn)層的第一和第二母襯底安裝到單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8的相應(yīng)的第一和第二支架32和42上。
接著，用第二輸送單元6將安裝在單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8的第一和第二支架32和42上的第一和第二母襯底輸送到第一和第二研磨單元3和4對(duì)其執(zhí)行研磨步驟。
然后，利用第二輸送單元6將用第一和第二研磨單元3和4完成了研磨步驟的第一和第二母襯底分別安裝到單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8的第一和第二支架32和42上。
然后，用單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8的旋轉(zhuǎn)單元8同時(shí)旋轉(zhuǎn)安裝在單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8的第一和第二支架32和42上的第一和第二母襯底，而后被第一輸送單元5交替輸送到盒7。同時(shí)將在其接收空間內(nèi)接收有第一和第二母襯底的盒輸送給執(zhí)行后續(xù)步驟的其他設(shè)備。
如上文所述，在研磨后的第一和第二母襯底之一與另一個(gè)研磨后的母襯底粘接之前應(yīng)將其旋轉(zhuǎn)180°。
因此，當(dāng)研磨后的第一和第二母襯底被安裝到單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器8相應(yīng)的第一和第二支架32和42上時(shí)，第一和第二支架32和42被旋轉(zhuǎn)180°。然后通過(guò)第一輸送單元5將第一和第二母襯底之一輸送到盒7。接著，在通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元45將第一和第二支架32和42旋轉(zhuǎn)180°之后，通過(guò)第一輸送單元5將剩下的母襯底輸送到盒7。
這樣的用來(lái)制造液晶顯示器面板的現(xiàn)有技術(shù)研磨裝置包括單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器，第一和第二母襯底被分別輸送到第一和第二研磨單元，并且同時(shí)旋轉(zhuǎn)研磨過(guò)的第一和第二母襯底，然后被交替輸送給盒。
然而，將研磨過(guò)的第一和第二母襯底輸送到盒需要很長(zhǎng)時(shí)間。這樣就會(huì)增加通過(guò)單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器將母襯底輸送到第一和第二研磨單元的等待時(shí)間。因而會(huì)降低產(chǎn)量。
本發(fā)明的另一目的是為了制造液晶顯示器件提供一種具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置，能夠迅速將具有對(duì)準(zhǔn)層的母襯底輸送到研磨單元，并將研磨過(guò)的母襯底輸送給盒。
以下要說(shuō)明本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點(diǎn)，一部分可以從說(shuō)明書中看出，或者是通過(guò)對(duì)本發(fā)明的實(shí)踐來(lái)學(xué)習(xí)。采用說(shuō)明書及其權(quán)利要求書和附圖中具體描述的結(jié)構(gòu)就能實(shí)現(xiàn)并達(dá)到本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為了按照本發(fā)明的意圖實(shí)現(xiàn)上述目的和其他優(yōu)點(diǎn)，以下要具體和廣泛地說(shuō)明，按照本發(fā)明用于液晶顯示器面板的一種旋轉(zhuǎn)緩沖器，包括在上面安裝第一母襯底的第一支架，旋轉(zhuǎn)第一支架的第一旋轉(zhuǎn)單元，在上面安裝第二母襯底的第二支架，以及旋轉(zhuǎn)第二支架的第二旋轉(zhuǎn)單元，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元被彼此分開(kāi)。
按照本發(fā)明的另一方案，制造液晶顯示器面板的研磨裝置包括第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元，在第一和第二母襯底表面上形成第一和第二對(duì)準(zhǔn)層，研磨第一和第二對(duì)準(zhǔn)層的第一和第二研磨單元，以及一個(gè)分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器，它通過(guò)第一輸送單元從第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元接收第一和第二母襯底，通過(guò)第二輸送單元分別輸送到第一和第二研磨單元，分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器通過(guò)第二輸送單元接收被第一和第二研磨單元研磨過(guò)的第一和第二母襯底，單獨(dú)旋轉(zhuǎn)研磨過(guò)的第一和第二母襯底，通過(guò)第一輸送單元將研磨過(guò)的第一和第二母襯底同時(shí)放入一個(gè)盒。
注意，以上的概述和下文的詳細(xì)說(shuō)明都是解釋性的描述，都是為了進(jìn)一步解釋所要求保護(hù)的發(fā)明。
在附圖中圖1是說(shuō)明按照現(xiàn)有技術(shù)在第一和第二母襯底上的對(duì)準(zhǔn)層的研磨方向的示意性透視圖；圖2是說(shuō)明圖1所示的研磨方向，將第一和第二母襯底彼此粘接，使對(duì)準(zhǔn)層彼此面對(duì)的示意性透視圖；圖3表示按照現(xiàn)有技術(shù)對(duì)第一母襯底表面上的對(duì)準(zhǔn)層執(zhí)行研磨的示意圖；圖4表示制造液晶顯示器面板的現(xiàn)有技術(shù)研磨裝置的方框圖；圖5表示按照現(xiàn)有技術(shù)的單體型旋轉(zhuǎn)緩沖器的透視圖；圖6表示按照本發(fā)明制造液晶顯示器面板的研磨裝置的方框圖；以及圖7表示圖6的分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器的透視圖。
圖6表示按照本發(fā)明用來(lái)制造液晶顯示器面板的研磨裝置的方框圖。
如圖6所示，按照本發(fā)明用來(lái)制造液晶顯示器面板的研磨裝置包括第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元101和102，用來(lái)在第一和第二母襯底表面上形成相應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)層，第一和第二研磨單元103和104，用來(lái)研磨分別在第一和第二母襯底表面上形成的對(duì)準(zhǔn)層，以及一個(gè)分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108，它通過(guò)第一輸送單元105從第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元101和102接收第一和第二母襯底，通過(guò)第二輸送單元106將母襯底分別輸送到第一和第二研磨單元103和104，并且通過(guò)第二輸送單元106接收被第一和第二研磨單元研磨過(guò)的第一和第二母襯底，單獨(dú)旋轉(zhuǎn)研磨過(guò)的第一和第二母襯底，通過(guò)第一輸送單元105將研磨過(guò)的第一和第二母襯底同時(shí)放入一個(gè)盒107中。
圖7表示圖6的分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器的透視圖。
如圖7所示，按照本發(fā)明的分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器包括第一支架112，它具有彼此間按規(guī)則分開(kāi)的多個(gè)第一接頭111，用來(lái)在上面安裝第一母襯底，在第一臺(tái)架113上用來(lái)旋轉(zhuǎn)第一支架112的第一旋轉(zhuǎn)單元114，第二支架122，它具有彼此間按規(guī)則分開(kāi)的多個(gè)第二接頭121，用來(lái)在上面安裝第二母襯底，以及第二臺(tái)架123上的第二旋轉(zhuǎn)單元124，用來(lái)旋轉(zhuǎn)第一支架122。
以下要參照?qǐng)D6和7來(lái)解釋按照本發(fā)明制造液晶顯示器件的具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置。
在上面用第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元101和102形成了對(duì)準(zhǔn)層的第一和第二母襯底分別被第一輸送單元105輸送并安裝到分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一和第二支架112和122上。
第一母襯底包括一個(gè)寬大的玻璃襯底，它具有單位液晶顯示器面板的多個(gè)薄膜晶體管陣列襯底。第二母襯底包括一個(gè)寬大的玻璃襯底，它具有單位液晶顯示器面板的多個(gè)彩色濾光器。或者是可以在第一母襯底上形成彩色濾光器襯底，而在第二母襯底上形成薄膜晶體管陣列襯底。
接著用第二輸送單元106將安裝在分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一和第二支架112和122上的第一和第二母襯底輸送到第一和第二研磨單元103和104在上面執(zhí)行研磨。
然后用第二輸送單元106分別將由第一和第二研磨單元103和104完成了研磨步驟的第一和第二母襯底安裝到分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一和第二支架112和122上。
然后，在用分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一或第二旋轉(zhuǎn)單元114或124將安裝在分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一和第二支架112和122上的第一和第二母襯底之一旋轉(zhuǎn)之后，用第一輸送單元105將第一和第二母襯底同時(shí)輸送給盒107。同時(shí)，將在接收空間內(nèi)接收第一和第二母襯底的盒107輸送到其他設(shè)備去執(zhí)行后續(xù)的步驟。
如上文所述，研磨過(guò)的第一和第二母襯底之一在與另一個(gè)研磨過(guò)的母襯底粘接之前應(yīng)該被旋轉(zhuǎn)180°。
這樣，當(dāng)研磨過(guò)的第一和第二母襯底分別被安裝到分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器108的第一和第二支架112和122上時(shí)，用第一或第二旋轉(zhuǎn)單元114或124將第一或第二支架112和122旋轉(zhuǎn)180°。然后通過(guò)第一輸送單元105同時(shí)將第一和第二母襯底輸送給盒107。
如此，在按照本發(fā)明用來(lái)制造液晶顯示器件的具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置中包括一分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器，具有對(duì)準(zhǔn)層的第一和第二母襯底被輸送到相應(yīng)的第一和第二研磨單元，并且旋轉(zhuǎn)研磨過(guò)的第一和第二母襯底之一，同時(shí)將研磨過(guò)的第一和第二母襯底輸送給盒。
這樣就能縮短將研磨過(guò)的第一和第二母襯底輸送給盒所需的時(shí)間，從而避免要等待另一組第一和第二母襯底通過(guò)分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器輸送到第一和第二研磨單元。本發(fā)明因而能提高產(chǎn)量。
本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠看出，無(wú)需脫離本發(fā)明的原理或范圍還能對(duì)按照本發(fā)明用來(lái)制造液晶顯示器件的具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置進(jìn)行各種各樣的修改和變更。因此，本發(fā)明應(yīng)該覆蓋屬于權(quán)利要求書及其等效物范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明的修改和變更。
權(quán)利要求
1.用于液晶顯示器面板的一種旋轉(zhuǎn)緩沖器包括在上面安裝第一母襯底的第一支架；旋轉(zhuǎn)第一支架的第一旋轉(zhuǎn)單元；在上面安裝第二母襯底的第二支架；以及旋轉(zhuǎn)第二支架的第二旋轉(zhuǎn)單元，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元被彼此分開(kāi)。
2.按照權(quán)利要求1的旋轉(zhuǎn)緩沖器，其特征是，第一和第二支架各自包括從第一和第二支架各自的表面上突出并且彼此分開(kāi)的多個(gè)接頭。
3.按照權(quán)利要求1的旋轉(zhuǎn)緩沖器，其特征是，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元是獨(dú)立操作的。
4.按照權(quán)利要求1的旋轉(zhuǎn)緩沖器，其特征是，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元將第一和第二支架旋轉(zhuǎn)180°。
5.制造液晶顯示器面板的研磨裝置包括第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元，用來(lái)在第一和第二母襯底表面上形成第一和第二對(duì)準(zhǔn)層；研磨第一和第二對(duì)準(zhǔn)層的第一和第二研磨單元；以及一個(gè)分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器，它通過(guò)第一輸送單元從第一和第二對(duì)準(zhǔn)層形成單元接收第一和第二母襯底，通過(guò)第二輸送單元分別輸送到第一和第二研磨單元，分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器通過(guò)第二輸送單元接收被第一和第二研磨單元研磨過(guò)的第一和第二母襯底，單獨(dú)旋轉(zhuǎn)研磨過(guò)的第一和第二母襯底，通過(guò)第一輸送單元將研磨過(guò)的第一和第二母襯底同時(shí)放入一個(gè)盒。
6.按照權(quán)利要求5的研磨裝置，其特征是，分體型旋轉(zhuǎn)緩沖器包括在上面安裝第一母襯底的第一支架；旋轉(zhuǎn)第一支架的第一旋轉(zhuǎn)單元；在上面安裝第二母襯底的第二支架；以及旋轉(zhuǎn)第二支架的第二旋轉(zhuǎn)單元，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元被彼此分開(kāi)。
7.按照權(quán)利要求5的研磨裝置，其特征是，第一和第二支架各自包括從第一和第二支架各自的表面上突出并且彼此分開(kāi)的多個(gè)接頭。
8.按照權(quán)利要求5的研磨裝置，其特征是，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元是獨(dú)立操作的。
9.按照權(quán)利要求5的研磨裝置，其特征是，、第一和第二旋轉(zhuǎn)單元將第一和第二支架旋轉(zhuǎn)180°。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了用來(lái)制造液晶顯示器件的一種具有旋轉(zhuǎn)緩沖器的研磨裝置。旋轉(zhuǎn)緩沖器包括在上面安裝第一母襯底的第一支架，旋轉(zhuǎn)第一支架的第一旋轉(zhuǎn)單元，在上面安裝第二母襯底的第二支架，以及旋轉(zhuǎn)第二支架的第二旋轉(zhuǎn)單元，第一和第二旋轉(zhuǎn)單元被彼此分開(kāi)。
文檔編號(hào)G02F1/1337GK1447174SQ0310540
公開(kāi)日2003年10月8日 申請(qǐng)日期2003年2月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月25日
發(fā)明者崔禎原, 姜秦錫 申請(qǐng)人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社