專利名稱：制膜方法及其制膜裝置和器件制造方法及其器件制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用液滴噴頭來在工件表面上制造功能性材料膜體的制膜方法、制膜裝置、器件制造方法和器件制造裝置。
背景技術(shù)：
隨著電子器械如電子計(jì)算機(jī)或攜帶用情報(bào)器械終端機(jī)的發(fā)展，液晶顯示裝置、特別是彩色液晶顯示裝置的使用增多。為了顯示圖像的彩色化，這種液晶顯示裝置，利用濾色器。濾色器包括作為工件的基板，在這個(gè)基板上，作為涂敷液按規(guī)定模式(圖案)射準(zhǔn)R(紅)、G(綠)、B(蘭)色的油墨(液滴)而制膜。這樣的基板上射準(zhǔn)墨水的制膜方法有如噴墨方式的噴出液滴的方法。
采用液滴噴出方式時(shí)，作為噴出裝置的液滴噴頭對(duì)濾色器噴出規(guī)定量的液滴，但是此時(shí)，基板是安裝在Y軸臺(tái)子(Y軸上自由移動(dòng)的臺(tái)子)，液滴噴頭是安裝在X軸臺(tái)子(X軸上自由移動(dòng)的臺(tái)子)。于是，利用X軸臺(tái)子的驅(qū)動(dòng)，液滴噴頭定位在規(guī)定的位置后，利用Y軸臺(tái)子的驅(qū)動(dòng)，使基板一邊相對(duì)于液滴噴頭相對(duì)移動(dòng)(掃描)，一邊噴出液滴；利用這樣的方法，多個(gè)液滴噴頭向基板的規(guī)定位置射準(zhǔn)液滴。
在上述的液滴噴出方法中，對(duì)基板噴出液滴之前，為了防止噴頭內(nèi)液體的黏度增加和固形成分的析出，而進(jìn)行穩(wěn)定的液滴噴出，實(shí)施叫做沖洗的預(yù)噴。以往，這樣的預(yù)噴是如下進(jìn)行在Y軸臺(tái)子的兩側(cè)或一側(cè)端部上設(shè)置安裝海綿等部件的專用預(yù)噴區(qū)域，定位(停止)Y軸臺(tái)子，使預(yù)噴區(qū)域位于噴頭的下方。然后，進(jìn)行正常的液滴噴出，成分變化少的液體涂敷在基板上。
然而，上述的以往技術(shù)存在如下問題。在沖洗中，有必要單獨(dú)設(shè)置噴頭定位在預(yù)噴區(qū)域的工藝、噴頭的預(yù)噴工藝、進(jìn)而為了轉(zhuǎn)移平常噴出的Y軸臺(tái)子加速到規(guī)定速度的工藝。即、因?yàn)閷?duì)Y軸臺(tái)子還需要進(jìn)行加速-減速-停止-加速的控制，在包括沖洗的掃描中降低生產(chǎn)率(through-put)的問題。特別是在外套用途等的、噴出容易引起增加黏度或易堵孔傾向的液體時(shí)，有必要進(jìn)行頻繁的沖洗，想要提高制膜質(zhì)量也難免生產(chǎn)率的降低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明考慮上述問題所進(jìn)行的，其目的在于不會(huì)降低生產(chǎn)率而可以實(shí)施預(yù)噴的制膜方法、制膜裝置、器件制造方法和器件制造裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的制膜方法包括由噴頭預(yù)噴液滴的預(yù)噴工藝、上述噴頭與工件作相對(duì)移動(dòng)使從上述噴頭向上述工件表面噴出液滴的液滴噴出工藝，其特征在于上述液滴的預(yù)噴是在上述噴頭和上述工件的相對(duì)移動(dòng)中進(jìn)行的。
因此，本發(fā)明的制膜方法中，沒有必要單獨(dú)設(shè)置為了預(yù)噴暫停液滴噴出工藝中的噴頭和工件的相對(duì)移動(dòng)工藝，所以可以防止生產(chǎn)率的降低。
最好是在液滴噴出工藝的規(guī)定的相對(duì)移動(dòng)速度的加速中，進(jìn)行液滴的預(yù)噴。這樣，本發(fā)明中可以在液滴噴出工藝中可以實(shí)施預(yù)噴，因此，沒有必要單獨(dú)設(shè)置實(shí)施預(yù)噴的工藝，可以提高生產(chǎn)率。
另外，可以采用形成在工件一部分的液滴接收區(qū)域內(nèi)進(jìn)行預(yù)噴的次序。此時(shí)，在液滴接收區(qū)域可以回收·排出預(yù)噴的液滴，但是因?yàn)橐旱谓邮諈^(qū)域的一部分形成在工件上，可以縮短對(duì)于預(yù)噴和工件的液滴噴出之間的噴出間隔，可以抑制預(yù)噴后的液體的增加黏度化或固形成分的析出。
還有，本發(fā)明中，上述液滴噴出工藝之后，還可以采用振動(dòng)賦予工藝次序，給上述噴頭內(nèi)的液體賦予不會(huì)從上述噴頭噴出大小的振動(dòng)。如折回相對(duì)移動(dòng)方向而立即進(jìn)行對(duì)工件的液滴噴出時(shí)，有時(shí)，沒有必要進(jìn)行預(yù)噴，即使是在這樣的情況，也可以給噴頭內(nèi)的液體賦予振動(dòng)，從而可以抑制液體的增加黏度化或固形成分的析出，穩(wěn)定的液滴噴出成為可能。另外，即使是賦予振動(dòng)，液體不會(huì)噴出，所以可以防止液體的浪費(fèi)。
本發(fā)明的器件制造方法是從噴頭向工件表面上噴出液滴而形成膜體的器件制造方法，其特征在于利用上述的制膜方法在工件表面上制膜。因此，本發(fā)明中在工件上形成膜體時(shí)，也可以防止生產(chǎn)率的降低，有效制造器件。
本發(fā)明的器件制造方法可以適用于在作為工件的透鏡上制造膜體的透光性涂覆膜。這樣，在透鏡表面上容易、且有效地形成涂覆膜。另外，作為透鏡可以是眼鏡片。
另外，本發(fā)明的器件制造方法可以適用于利用基板上排列濾色元件的工件上，制造被覆濾色元件的外套膜的制膜。這樣，濾色元件表面上容易、有效形成外套膜。
還有，本發(fā)明的器件制造方法可以適用于包含EL(電發(fā)光)發(fā)光層的像素像元排列在基板作為工件，在EL發(fā)光層上的規(guī)定地點(diǎn)，制作對(duì)置電極膜。這樣，EL發(fā)光層上容易、有效制作對(duì)置電極膜。
另一方面，本發(fā)明的制膜裝置是使噴頭和工件相對(duì)移動(dòng)的方法，從噴頭向工件表面上噴出液滴而制膜的制膜裝置，其特征在于包括噴頭和工件的相對(duì)移動(dòng)中，從噴頭預(yù)噴液滴的控制裝置。
因此，本發(fā)明的制膜裝置在液滴噴出工藝中沒有必要單獨(dú)設(shè)置用于預(yù)噴的暫停噴頭與工件的相對(duì)移動(dòng)的程序，因此，可以防止降低生產(chǎn)率。
最好是在液滴噴出工藝的規(guī)定的相對(duì)移動(dòng)速度的加速中，進(jìn)行液滴的預(yù)噴。這樣，本發(fā)明中，可以在液滴噴出的相對(duì)移動(dòng)中可以實(shí)施預(yù)噴，因此，沒有必要單獨(dú)設(shè)置實(shí)施預(yù)噴的工藝，可以提高生產(chǎn)率。
另外，本發(fā)明最好是采用形成在工件一部分的接收預(yù)噴液滴的接收區(qū)域的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，在液滴接收區(qū)域可以回收·排出預(yù)噴的液滴，但是因?yàn)橐旱谓邮諈^(qū)域的一部分形成在工件上，可以縮短對(duì)于預(yù)噴和工件的液滴噴出之間的噴出間隔，可以抑制預(yù)噴后的液體的增加黏度化或固形成分的析出，可以提高生產(chǎn)率。
還有，本發(fā)明中，液滴噴在工件表面之后，還可以采用給上述噴頭內(nèi)的液體賦予不會(huì)從上述噴頭噴出之大小的振動(dòng)的結(jié)構(gòu)。例如折回相對(duì)移動(dòng)方向而立即進(jìn)行對(duì)工件的液滴噴出時(shí)，有時(shí)，沒有必要進(jìn)行預(yù)噴，這樣的情況下，也可以給噴頭內(nèi)的液體賦予振動(dòng)，可以抑制液體的增加黏度化或固形成分的析出，穩(wěn)定的液滴噴出成為可能。另外，即使是賦予振動(dòng)，液體不會(huì)噴出，可以防止液體的浪費(fèi)。
還有，本發(fā)明的器件制造裝置是從噴頭向工件表面上噴出液滴而形成膜體的器件制造裝置，其特征在于利用上述的制膜裝置在工件上制膜。因此，本發(fā)明中，在工件上形成膜體時(shí)，也可以防止生產(chǎn)率的降低，有效制造部件。
本發(fā)明的器件制造裝置可以適用于在作為工件的透鏡上制造作為膜體的透光性涂覆膜。這樣，在透鏡表面上容易、有效形成涂覆膜。另外，作為透鏡可以利用眼鏡片。
另外，本發(fā)明的器件制造裝置可以適用于利用基板上排列濾色元件的工件上制造濾色元件被覆的外套膜的制膜。這樣，濾色元件表面上容易、有效形成外套膜。
還有，本發(fā)明的器件制造裝置可以適用于包含EL發(fā)光層的像素像元排列在基板的工件上，在EL發(fā)光層上的規(guī)定地點(diǎn)制作對(duì)置電極膜。這樣，EL發(fā)光層上容易、有效制作對(duì)置電極膜。


圖1是本發(fā)明實(shí)施方式的圖，表示液滴噴出裝置基本構(gòu)成的模式圖。
圖2(a)是安裝噴頭之后的支架的外形立體圖，(b)是安裝噴頭之前的支架的外形立體圖。
圖3是構(gòu)成同一個(gè)液滴噴出裝置的廢功能液積存裝置周圍的縱向剖面圖。
圖4是同一個(gè)廢功能液積存裝置的外形立體圖。
圖5是表示加速中噴頭與液滴接收區(qū)域位置關(guān)系的圖。
圖6是表示減速中噴頭與液滴接收區(qū)域位置關(guān)系的圖。
圖7是利用本實(shí)施方式器件制造方法制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖8是利用本實(shí)施方式器件制造方法制造的有機(jī)EL裝置的剖面圖。
圖中，W、工件 1、液滴噴出裝置(制膜裝置) 6、控制裝置
21、功能液噴頭(噴頭) 41a、液滴接收區(qū)域 411、基板422、外套層(外套膜，膜體) 501、玻璃基板(基板) 503、對(duì)置電極(對(duì)置電極膜、膜體)具體實(shí)施方式
下面，結(jié)合圖1至圖8說明本發(fā)明的制膜方法、制膜裝置、器件制造方法和器件制造裝置。
這里，本發(fā)明的制膜裝置適用于制造眼鏡片的液滴噴出裝置，利用UV(紫外線)切斷劑、防霜?jiǎng)┑饶んw來涂覆眼鏡片為例，說明裝入功能液的液滴噴頭向功能液噴出對(duì)象的眼鏡片(工件)噴出功能液，利用功能材料膜涂覆(硬套)工件的情況。
圖1是器件制造裝置的液滴噴出裝置基本構(gòu)成的模式圖。如圖1所示，該液滴噴出裝置(制膜裝置)1包括把功能液噴射到功能液噴出對(duì)象——工件W的液滴噴出裝置2、把工件W安裝在制膜裝置的安裝裝置3、存積工件W中溢出的功能液的廢功能液積存裝置4、清洗廢功能液積存裝置4的功能液污染的清洗裝置5。還有，這些裝置分別連接在控制裝置6(參考圖3)，控制裝置6聯(lián)系各個(gè)裝置并進(jìn)行總括控制。
另外，雖然圖中省略，這個(gè)液滴噴出裝置1還附帶圖像識(shí)別(攝象)工件W的工件識(shí)別相機(jī)、圖像識(shí)別噴頭部件11(噴嘴23)的噴頭識(shí)別相機(jī)、各種指示器等，這些也連接在控制裝置6。
液滴噴出裝置1是使液滴噴出裝置2的噴頭部件11一邊掃描一邊對(duì)安裝在安裝裝置3的工件W的表面噴出含有功能液的液滴，在工件W表面形成功能材料膜體，利用功能材料涂覆工件W的裝置。這樣，液滴噴出裝置1中，為了在工件W的整個(gè)表面上均勻涂覆功能材料，噴頭部件11對(duì)工件W的任何部位均勻地，即對(duì)工件W的邊緣部位和工件W的中央部位同樣噴出功能液。如果對(duì)工件W的邊緣部位和工件W的中央部位同樣噴出功能液，則功能液部分地溢出工件W，為此，設(shè)置接收溢出功能液的廢功能液積存裝置4。另外，因?yàn)楣δ芤菏菑墓ぜ溢出的，沒有必要進(jìn)行對(duì)工件W的安裝位置的嚴(yán)密定位。
如圖1所示，液滴噴出裝置2包括裝有功能液噴頭(噴頭)21的噴頭部件11、懸掛支撐噴頭部件11的主架13和通過安裝裝置把工件W向主掃描方向(X軸方向)移動(dòng)的同時(shí)，使噴頭部件11向副掃描方向(Y軸方向)自由移動(dòng)的X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)14。
如圖2(a)所示，噴頭部件11由多個(gè)功能液噴頭21和裝有這些的支架12所構(gòu)成。功能液噴頭21由具有噴頭基板或功能液引入部的支架安裝部件(圖中省略)、具有噴出功能液的噴嘴23的噴頭主體22等所構(gòu)成。這樣，噴頭主體22的噴嘴面24上分別形成兩列由多個(gè)噴嘴23組成的噴嘴列；功能液噴頭21安裝(固定)在支架12，以便使噴嘴面24向下噴出(為了方便在圖2中上下倒示)。
為了安裝功能液噴頭21，在支架12上設(shè)有兩列安裝開口12a(參照圖2(b))，每一列上有六個(gè)安裝開口。即一列的安裝開口上安裝六個(gè)功能液噴頭21，支架12上一共裝有十二個(gè)功能液噴頭21。另外，安裝開口定位功能液噴頭21的安裝位置，并且，功能液噴頭21的配置，為了保證對(duì)工件W的充分的涂覆密度，對(duì)主掃描方向傾斜規(guī)定的角度。
主架13由懸掛支撐噴頭部件11的托架主體(圖中省略)、支撐托架主體的同時(shí)，在Y軸臺(tái)子16的副掃描方向(Y軸方向)上滑動(dòng)支承的噴頭托座(圖中省略)所構(gòu)成。托架主體圍繞θ軸(圍繞Z軸方向)可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)，使托架主體圍繞θ方向自由轉(zhuǎn)動(dòng)的方法，可以調(diào)整噴頭主體22的噴嘴面24相對(duì)于θ軸方向的適當(dāng)位置。另外，θ軸方向的調(diào)整是根據(jù)噴頭識(shí)別相機(jī)(圖中省略)的識(shí)別圖像進(jìn)行。
X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)14由固定安裝工件W的安裝裝置的X軸臺(tái)子15、正交于X軸臺(tái)子15的同時(shí)，通過噴頭托架支撐噴頭部件11的Y軸臺(tái)子16所構(gòu)成。另外，X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)14，為了工件W表面噴出適當(dāng)?shù)墓δ芤?，與功能液噴頭21的驅(qū)動(dòng)同步，使噴頭部件11和工件W交替移動(dòng)。即，液滴噴出裝置1中，反復(fù)進(jìn)行由X軸臺(tái)子15的工件W的主掃描方向(X軸方向)移動(dòng)和由Y軸臺(tái)子16的工件W的副掃描方向(Y軸方向)移動(dòng)；工件W向主掃描方向移動(dòng)時(shí)，噴出功能液，在工件W的全表面上形成功能材料膜體。
另外，本實(shí)施方式中是把工件W向主掃描方向、使噴頭部件11向副掃描方向移動(dòng)的，但是，也可以只使噴頭部件11相對(duì)于工件W進(jìn)行主掃描方向移動(dòng)，也可以采用噴頭部件11在主掃描方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。另外，固定工件W，使噴頭部件11向主掃描方向和副掃描方向兩個(gè)方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，也是可以的。
下面，說明安裝裝置3。如圖3所示，安裝裝置3具有固定在X軸臺(tái)子15的底座平板31，底座平板31上支撐工件W的θ軸方向補(bǔ)正的θ臺(tái)子33和用于安裝工件W的吸引臺(tái)34，并組成一體。即，θ臺(tái)子33和吸引臺(tái)34構(gòu)成工作臺(tái)32。
底座平板31支承θ臺(tái)子33，使其圍繞θ軸方向旋轉(zhuǎn)自由的同時(shí)，通過θ臺(tái)子33支撐吸引臺(tái)34。θ臺(tái)子33根據(jù)工件識(shí)別相機(jī)的識(shí)別圖像，通過吸引臺(tái)34把工件W可以圍繞θ軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)，由此，補(bǔ)正工件W的θ軸方向，以便相對(duì)于噴頭部件11安裝在適當(dāng)?shù)奈恢?。另外，吸引臺(tái)34上形成吸引孔35(參考圖4)，吸引孔35吸引工件W，把工件W吸引在吸引臺(tái)34。另外，因?yàn)棣扰_(tái)子33和吸引臺(tái)34的水平面小于工件W，從工件W表面溢出的功能液不會(huì)污染工作臺(tái)32。
下面，結(jié)合圖3和圖4說明廢功能液積存裝置4。廢功能液積存裝置4由接收從工件W溢出的功能液的功能液接收器41、支撐功能液接收器41的多個(gè)支撐托架42、為了積存功能液接收器41排出的功能液的廢功能液箱子43、連接功能液接收器41和廢功能液箱子43的排出管44所構(gòu)成。
功能液接收器41是斷面為U字型的導(dǎo)水筒，外周面的上部往里彎曲。這樣，更有效積存從工件W溢出的功能液，功能液接收器41形成適應(yīng)于工件W的平面形狀的環(huán)狀。即，功能液噴頭21噴出的功能液經(jīng)過一端(一部分)形成在工件W、另一端形成在功能液接收器41的液滴接收區(qū)域41(a)，接收在功能液接收器41的結(jié)構(gòu)。另外，功能液接收器41底部具有排出功能液的排出口51，排出口51上安裝有連接排出管44的排出口接頭52。另外，功能液接收器41的外周上端部位設(shè)有連接清洗液排出管62和清洗液供應(yīng)管65的連接口53。
如圖3所示，支撐托架42支撐功能液接收器41，以便在安裝裝置3的θ臺(tái)子33的側(cè)面環(huán)狀固定的功能液接收器41總是靠近被安裝的工件W的邊緣部位。還有，多個(gè)支撐托架42均勻布置在θ臺(tái)子33的圓周方向。另外，為了使功能液接收器41迅速排出功能液，支撐托架42支撐功能液接收器41，使其傾斜于排出口51。
廢功能液箱子43通過排出管(硅管)44連接在功能液接收器41，積存從工件W溢出的功能液。另外，廢功能液箱子43充滿功能液時(shí)，可以簡單更換。另外，廢功能液箱子43上設(shè)有檢測充滿液體的功能液充滿檢測器54，控制裝置6控制功能液噴頭21的驅(qū)動(dòng)，可以使功能液不會(huì)從廢功能液箱子43溢出。另外，廢功能液箱子43可以利用不銹鋼、樹脂或玻璃制品。
排出管44的一端連接在功能液接收器41的排出口接頭52，另一端連接在廢功能液箱子43，利用管子連接功能液接收器41和廢功能液箱子43。排出管44上設(shè)有功能液關(guān)閉閥門55，以關(guān)閉從功能液接收器41到廢功能液箱子43的功能液流動(dòng)。
如圖3和圖4所示，清洗裝置5由積存用于功能液接收器41清洗的可以溶解功能液的清洗液的清洗液箱子61、把清洗液排放到功能液接收器41的清洗液放出管62、用管子連接清洗液箱子61和清洗液放出管62的清洗液供應(yīng)管子65所構(gòu)成。另外，清洗液箱子61上設(shè)有清洗液減少量檢測器66，可以檢測出清洗液箱子61的減少液體狀態(tài)。
清洗液放出管62連接在功能液接收器41的外周上端的連接口53的同時(shí)，沿著功能液接收器41彎曲部分內(nèi)側(cè)，環(huán)狀布置的。這樣，清洗液放出管62通過連接口53連接在清洗液供應(yīng)管子65(硅管)，由清洗液供應(yīng)管子65連接在清洗液箱子61。清洗液放出管62上近似均勻間隔設(shè)有多個(gè)清洗液排出孔63，清洗液均勻排出到功能液接收器41。另外，清洗液排出孔63面向功能液接收器41的外周面，清洗液有效排出到該外周面。
還有，為了每隔規(guī)定時(shí)間清晰功能液接收器41，在清洗液供應(yīng)管子65上端設(shè)有連接在控制裝置6的電磁閥66，定時(shí)器控制電磁閥66，每隔規(guī)定時(shí)間開閉電磁閥66。但是，電磁閥66的開閉可以不用定時(shí)器而可以用手動(dòng)操作。
上述的液滴噴出裝置1的各個(gè)裝置由控制裝置6來控制，控制裝置6總括控制液滴噴出裝置1全體，以便給定條件下對(duì)工件W進(jìn)行功能液的噴出。
下面，結(jié)合圖5和圖6說明上述結(jié)構(gòu)的液滴噴出裝置1的工作。
另外，對(duì)工件W的表面噴出功能液液滴時(shí)，工件W相對(duì)于功能液噴頭21作相對(duì)移動(dòng)，但是，為了方便，在這里是功能液噴頭21相對(duì)于工件W相對(duì)移動(dòng)來圖示。
首先，由X·Y移動(dòng)機(jī)構(gòu)14驅(qū)動(dòng)X軸臺(tái)子15和Y軸臺(tái)子16，把工件W和功能液噴頭21定位在開始掃描位置。然后，開始液滴噴出工藝，驅(qū)動(dòng)X軸臺(tái)子15的方法，工件W加速到功能液從噴頭21噴出功能液液滴時(shí)的工件W與功能液噴頭21的相對(duì)移動(dòng)速度(掃描速度)。如圖5所示，工件W的加速中，液滴接收區(qū)域41a到達(dá)功能液噴頭21正下位置時(shí)，控制裝置6對(duì)功能液噴頭21輸出沖洗波形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。由此，功能液噴頭21預(yù)噴功能液滴，通過液滴接收區(qū)域41a對(duì)功能液接收器41進(jìn)行沖洗(預(yù)備噴出工藝)。
另外，控制裝置6輸出沖洗波形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的時(shí)間和噴出液滴通過液滴接收區(qū)域41a的時(shí)間需要一致，因此，驅(qū)動(dòng)信號(hào)的輸出和噴出液滴通過的時(shí)間不一致時(shí)，考慮這個(gè)時(shí)間差異，也可以在液滴接收區(qū)域41a到達(dá)功能液噴頭21正下方之前，輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)。另外，圖5中表示功能液噴頭21的所有噴嘴沖洗液滴也不會(huì)帶來障礙大小開口的液滴接收區(qū)域41a，但是，在液滴接收區(qū)域41a開口小時(shí)，比如對(duì)多個(gè)噴頭列進(jìn)行每隔一列的沖洗，或每隔一列噴嘴列進(jìn)行沖洗，也是可以的。
總之，通過控制裝置6的控制，根據(jù)液滴接收區(qū)域41a開口大小、噴嘴列和排列間隔大小，進(jìn)行選擇性的沖洗也是可以的。具體地，對(duì)每一個(gè)列進(jìn)行沖洗時(shí)，對(duì)到達(dá)液滴接收區(qū)域41a正下方的噴頭列依次輸出沖洗波形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；對(duì)每一個(gè)噴嘴列進(jìn)行沖洗時(shí)，對(duì)到達(dá)液滴接收區(qū)域41a正下方的噴嘴列依次輸出沖洗波形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)就可以。
完了加速中的沖洗之后，掃描速度穩(wěn)定在等速時(shí)，對(duì)工件W表面的規(guī)定地點(diǎn)實(shí)施功能液滴的噴出(參照圖3)。然后，完了這個(gè)掃描的對(duì)工件W表面的功能液滴的噴出，如圖6所示，工件W離開功能液噴頭21下方位置時(shí)，結(jié)束液滴噴出工藝或?yàn)榱讼乱粋€(gè)掃描，通過X軸臺(tái)子15減速工件W。這個(gè)工件W的減速中，控制裝置6對(duì)功能液噴頭21輸出微振動(dòng)波形的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。一輸出這個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則功能液噴頭21內(nèi)的功能液受到不從功能液噴頭21內(nèi)出來的振動(dòng)(賦予振動(dòng)工藝)，詳細(xì)地，噴嘴中的液面的凹凸表面的微振動(dòng)。由此，可以抑制噴嘴的功能液的增加黏度化和固形成分的析出。
另外，這個(gè)賦予微振動(dòng)不限于減速中，可以在結(jié)束對(duì)工件W的液滴噴出之后的等速移動(dòng)中實(shí)施。同樣，上述加速中的沖洗也可以在對(duì)工件W的液滴噴出開始之前的等速移動(dòng)中實(shí)施。
于是，通過上述功能液的預(yù)噴或?qū)ぜ邊緣部的液滴噴出，積存功能液，而充滿廢功能液箱子43時(shí)，功能液充滿檢測器54檢測出廢功能液箱子43的充滿狀態(tài)，向控制裝置6輸出充滿液體信號(hào)。這樣的話，控制裝置6使表示廢功能液箱子43的充滿狀態(tài)的指示燈發(fā)亮，通知廢功能液箱子43的充滿狀態(tài)。這樣，完了形成薄膜中的工件W的薄膜形成之后，停止液滴噴出裝置2，避免廢功能液箱子43中溢出功能液。然后，更換充滿狀態(tài)的廢功能液箱子43，沒有了充滿液體信號(hào)時(shí)，控制裝置6關(guān)閉表示廢功能液箱子43的充滿狀態(tài)的指示燈的同時(shí)，液滴噴出裝置2重新工作。另外，通知廢功能液箱子43充滿狀態(tài)的手段可以利用指示器，但是，不限于這些，可以利用音聲來通知。
另外，根據(jù)清洗液箱子61的清洗液減少到規(guī)定量的清洗液減少量檢測器66的信號(hào)，控制裝置6打開清洗液減少量(獤中未視出)指示燈。
這樣，本實(shí)施方式中，沒有必要暫停X軸臺(tái)子15，在工件W表面的液滴噴出工藝的相對(duì)移動(dòng)中實(shí)施沖洗，因此，沒有必要單獨(dú)設(shè)置實(shí)施沖洗的工藝，可以省去沖洗時(shí)間，從而提高生產(chǎn)率。還有，本實(shí)施方式中，把用于工件W邊緣部的液滴噴出的功能液接收器41利用在沖洗，因此，沒有必要設(shè)置單獨(dú)的沖洗區(qū)域或吸收部件，可以作到裝置的小型化和廉價(jià)化。
另外，本實(shí)施方式中，進(jìn)行沖洗的液滴接收區(qū)域41a形成在工件W自體，可以縮短沖洗的液滴噴出和對(duì)工件W的液滴噴出之間的間隔。因此，可以抑制沖洗之后的功能液增加黏度化和固形成分的析出，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件W的穩(wěn)定的液滴噴出。特別是，本實(shí)施方式中，在工件W的液滴噴出之后，多功能液噴頭21內(nèi)的功能液賦予微振動(dòng)，因此，即使是不進(jìn)行沖洗也可以抑制功能液增加黏度化和固形成分的析出。并且，本實(shí)施方式中，即使是賦予振動(dòng)，功能液不會(huì)從噴頭21噴出，因此，可以防止功能液的浪費(fèi)。
另外，本發(fā)明的液滴噴出裝置1不僅可以利用于眼鏡片的涂覆，還可以進(jìn)行作為部件的各種光學(xué)儀器的透鏡的涂覆，也可以利用于各種平面顯示板的制造。這里簡單說明液滴噴出裝置1的制造方法利用于液晶顯示裝置的制造和有機(jī)EL裝置的制造方法的例子。
圖7是液晶顯示裝置的剖面圖。如圖所示，液晶顯示裝置(彩色)450是在偏光板462與467之間，組合濾色器400和對(duì)置基板466，兩者之間封入液晶組成物465。另外，濾色器400和對(duì)置基板466之間構(gòu)成定向膜461、464，一側(cè)的對(duì)置基板466的內(nèi)側(cè)面由TFT(薄膜晶體管)元件和像素電極463形成矩陣形狀。
濾色器400具有矩陣狀排列的像素(濾色元件)，像素與像素之間的境目由隔板(存儲(chǔ)元件)413所劃分。各個(gè)像素里引入紅(R)、綠(G)、蘭(B)色的液狀材料(濾光材料)。即，濾色器400具有透光性基板411和透光性隔板413。沒有形成隔板413的部分構(gòu)成上述像素。引入在這個(gè)像素的各顏色的液狀材料構(gòu)成顏色層421。隔板413和顏色層421的上表面作為被覆材料形成外套層422和電極層423。
這樣，本實(shí)施方式中，在隔板413劃分所形成的像素內(nèi)，利用液滴噴出方式充填上述R、G、B色的液狀材料。即，利用功能液噴頭21把上述R、G、B色的液滴選擇性地噴在顏色層的形成區(qū)域。接著，干燥涂覆的液狀材料，獲得顏色層421。同樣，利用液滴噴出方式形成作為膜體的外套層422。
本實(shí)施方式中，在形成上述的顏色層421時(shí)，適當(dāng)改變·調(diào)整功能液噴頭21的傾斜角度，使各個(gè)噴嘴23的間隔和像素的間隔一致；在形成上述的外套層422時(shí)，適當(dāng)改變功能液噴頭21的傾斜角度，可以調(diào)整其膜的厚度。
同樣，結(jié)合圖8說明作為部件的有機(jī)EL裝置及其制造方法。如圖8所示，有機(jī)EL裝置500是在玻璃基板501上疊層電路元件部502，在電路元件部502上疊層作為主體的有機(jī)EL元件504而構(gòu)成。另外，有機(jī)EL元件504的上面隔惰性氣體空間設(shè)有密封基板505。
有機(jī)EL元件504上由無機(jī)物隔板層512a和疊加在這個(gè)的有機(jī)物隔板層512b來形成隔板512，由這個(gè)隔板512形成矩陣狀像素(像素像元)。然后，各個(gè)像素內(nèi)從下面開始疊層像素電極511、R、G、B的發(fā)光層510b和空穴注入/輸送層510a，并且，整體由多個(gè)Ca、Al薄膜層疊層的對(duì)置電極(對(duì)置電極膜)503來覆蓋。
這樣，本實(shí)施方式中，利用上述的液滴噴出方式形成R、G、B的發(fā)光層510b和空穴注入/輸送層510a。另外，形成空穴注入/輸送層510a之后，同樣利用液滴噴出方式形成Ca、Al等液狀金屬材料的膜體的對(duì)置電極503。另外，密封性良好的樹脂來替代密封基板505時(shí)，最好是利用液滴噴出方式來形成為好。
本實(shí)施方式中，在形成發(fā)光層510b和空穴注入/輸送層510a時(shí)，也可以適當(dāng)改變·調(diào)整功能液噴頭21的傾斜角度，使各個(gè)噴嘴的間隔和像素的間隔一致；在形成對(duì)置電極503時(shí)，適當(dāng)改變功能液噴頭21的傾斜角度，調(diào)整其膜的厚度就可以。
如上說明，本發(fā)明中，不僅可以防止生產(chǎn)率的降低，還可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化和廉價(jià)化。另外，本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的穩(wěn)定的液滴噴出，可以獲得高質(zhì)量的部件。
權(quán)利要求
1.一種制膜方法包括噴頭預(yù)噴液滴的預(yù)噴工藝、使上述噴頭與工件之間作相對(duì)移動(dòng)，從上述噴頭向上述工件表面噴出液滴的液滴噴出工藝的制膜方法，其特征在于上述液滴的預(yù)噴是在上述噴頭和上述工件的相對(duì)移動(dòng)中進(jìn)行的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜方法，其特征在于上述液滴的預(yù)噴是在上述液滴噴出工藝所規(guī)定的相對(duì)移動(dòng)速度的加速運(yùn)動(dòng)中進(jìn)行的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制膜方法，其特征在于上述預(yù)噴是在工件一部分中所形成的液滴接收區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任意1項(xiàng)所述的制膜方法，其特征在于上述液滴噴出工藝之后，還包括振動(dòng)賦予工藝，給上述噴頭內(nèi)的液體賦予不會(huì)從上述噴頭噴出大小的振動(dòng)。
5.一種器件的制造方法，是從噴頭向工件表面噴出液滴而形成膜體的器件制造方法，其特征在于采用根據(jù)權(quán)利要求1至4的任意1項(xiàng)所述的制膜方法，在上述工件上制膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件制造方法，其特征在于上述工件是透鏡，上述膜體是被覆在上述透鏡的涂覆膜。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件制造方法，其特征在于上述工件是排列濾色元件的基板，上述膜體是被覆在上述濾色元件的外套膜。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件制造方法，其特征在于上述工件是排列包含EL發(fā)光層像素像元的基板，上述膜體是上述EL發(fā)光層上的固定地點(diǎn)形成的對(duì)置電極膜。
9.一種制膜裝置，使噴頭和工件作相對(duì)移動(dòng)，從上述噴頭向上述工件表面噴出液滴而制膜的制膜裝置，其特征在于包含上述噴頭和上述工件的相對(duì)移動(dòng)中，從上述噴頭預(yù)噴上述液滴的控制裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制膜裝置，其特征在于上述控制裝置使上述噴頭在規(guī)定的相對(duì)移動(dòng)速度的加速運(yùn)動(dòng)中預(yù)噴上述液滴。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或根據(jù)權(quán)利要求10所述的制膜裝置，其特征在于具有一部分形成在上述工件并接收上述預(yù)噴液滴的液滴接收區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求9至11的任意1項(xiàng)所述的制膜裝置，其特征在于上述控制裝置在向上述工件表面的上述液滴噴出工藝之后，給上述噴頭內(nèi)的液體賦予不會(huì)從上述噴頭噴出大小的振動(dòng)。
13.一種器件制造裝置，是從噴頭向工件表面上噴出液滴而形成膜體的器件制造裝置，其特征在于采用根據(jù)權(quán)利要求9至12的任意1項(xiàng)所述的制膜裝置來在上述工件上制膜。
全文摘要
本發(fā)明可以提高預(yù)噴時(shí)的生產(chǎn)率。本發(fā)明的方法包括噴頭21進(jìn)行預(yù)噴液滴的預(yù)噴工藝、使噴頭21與工件W之間作相對(duì)移動(dòng)，噴頭21對(duì)工件W表面噴出液滴的液滴噴出工藝。液滴的預(yù)噴是在噴頭21和工件W的相對(duì)移動(dòng)中進(jìn)行。
文檔編號(hào)G02B1/10GK1485205SQ0315439
公開日2004年3月31日 申請日期2003年8月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月27日
發(fā)明者小山實(shí) 申請人:精工愛普生株式會(huì)社