專利名稱：曝光設(shè)備及傳送掩模和工件的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在諸如印刷電路板的板狀工件的曝光中使用的曝光設(shè)備，和傳送掩模和工件的方法。本發(fā)明尤其涉及一種曝光設(shè)備和曝光方法，用于在加載/卸載位置和曝光位置輪流地調(diào)整和曝光工件。
背景技術(shù)：
為了將電子電路的圖案的象圖轉(zhuǎn)印到諸如印刷電路板、液晶板和液晶濾色鏡的工件上，已有多種曝光設(shè)備用于通過輻射具有特定波長的紫外光對工件進(jìn)行曝光。這種曝光設(shè)備包括通過工人來手動加載和卸載工件的所謂的半自動曝光設(shè)備，和自動操作所述工件的加載和卸載的所謂的自動曝光設(shè)備。
日本專利申請公開No.8-43950(見(0043)至(0082)段)中公開了半自動曝光設(shè)備的示例之一，且參照

圖14對其進(jìn)行說明。圖14是常規(guī)的半自動曝光設(shè)備的示意圖。如圖14所示，半自動曝光設(shè)備100包括傳送機(jī)構(gòu)103，其在加載/卸載位置H1與曝光下方位置(under exposureposition)R1之間往復(fù)地傳送用于支撐工件的第一和第二工作臺101，102；升降機(jī)構(gòu)104，其在所述的工作臺101(102)被所述的傳送機(jī)構(gòu)103從加載/卸載位置H1傳送到曝光下方位置R1之后，將其上放置有工件W和掩模(mask)M的一個工作臺101(102)的支撐板101a(102a)提升到曝光位置R2，和將定位在所述的曝光位置R2的其上放置有工件W和掩模M的另一支撐板102a(101a)降低到曝光下方位置R1，以將所述的支撐板102a(101a)放置在所述的工作臺102(101)上；頂架105，其吸引和支撐被所述的升降機(jī)構(gòu)104提升的支撐板101a，102a的其中之一；光照射機(jī)構(gòu)107，其將諸如紫外線的光通過光學(xué)系統(tǒng)106輻射到所述的頂架105上；和設(shè)置在所述的加載/卸載位置H1處的成像裝置108、調(diào)整工作臺109和掩模支撐機(jī)構(gòu)110。
在所述的半自動曝光設(shè)備(下文稱為曝光設(shè)備)100的操作中，工人將工件W放置在定位在所述的加載/卸載位置H1的第一工作臺101的支撐板101a上，且同時，工人設(shè)置與該工件W相一致的掩模M。所述的成像裝置108拍攝(picture)所述掩模M和工件W的對準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)。當(dāng)所述的工件W被移動以對準(zhǔn)時，所述的掩模支撐機(jī)構(gòu)110吸住所述的掩模M并將該掩模M的至少一部分從所述的工件W移動一定距離，在該過程中所述的對準(zhǔn)工作臺109為了對準(zhǔn)的目的而移動所述的支撐板101a。然后下降所述的掩模支撐機(jī)構(gòu)110，將所述的掩模M疊置在所述的工件W上。如果由所述的成像裝置108拍攝(picture)的對準(zhǔn)標(biāo)記(未示出)都在允許的范圍內(nèi)的話，則所述掩模M和工件W的對準(zhǔn)操作完成。然后工人通過固定裝置，諸如膠帶，將所述的掩模M固定在所述的支撐板101a上。
接著，致動所述的傳送機(jī)構(gòu)103，以朝所述的曝光下方位置R1運送所述的處于加載/卸載位置H1的第一工作臺101，而朝所述的加載/卸載位置H1運送所述的處于曝光下方位置R1的第二工作臺102。所述的升降機(jī)構(gòu)104提升在所述的曝光下方位置R1被承載的第一工作臺101的支撐板101a，以使所述的支撐板101a在真空的作用下與設(shè)置在曝光位置的R2的頂架105緊密配合。然后所述的光照射機(jī)構(gòu)107通過所述的光學(xué)系統(tǒng)106將光輻射到所述的掩模M和工件W上，所述的掩模和工件夾在所述的頂架105和支撐板101a之間，以使所述掩模M的像圖轉(zhuǎn)印到所述的工件W上。
在所述的曝光操作完成之后，所述的頂架105與支撐板101a之間的真空密封解除，且所述的工件W和掩模M從所述的頂架105松開。所述的升降機(jī)構(gòu)104接收所述的工件W和掩模M以將它們放置在所述的支撐板101a上，通過所述升降機(jī)構(gòu)104的下降運動將所述的工件和掩模降至定位在所述的曝光下方位置R2處的第一工作臺101。
在曝光操作中，以與對所述的第一工作臺101執(zhí)行的對準(zhǔn)操作類似的方式在所述的加載/卸載位置H1處對所述的第二工作臺102執(zhí)行工件W和掩模M的對準(zhǔn)操作。
因此，在處于所述的加載/卸載位置H1的第一和第二工作臺101，102的其中之一處執(zhí)行所述的對準(zhǔn)操作，而在相對于定位在所述的曝光下方位置R1的第二和第一工作臺102，101中的另一個的曝光位置R2處執(zhí)行所述的曝光操作，因此所述的對準(zhǔn)操作和曝光操作被輪替且重復(fù)地執(zhí)行。應(yīng)注意所述的第一工作臺101和第二工作臺102在曝光下方位置R1處于不同高度處。但是，所述的第一和第二工作臺101，102的支撐板101a，102a通過改變所述升降機(jī)構(gòu)104的行程長度(升降距離)與所述的頂架105連接和脫離。
在另一種公知的曝光設(shè)備中，在半自動曝光設(shè)備100的曝光下方位置R1執(zhí)行曝光操作。在該曝光設(shè)備中，這樣構(gòu)造這兩個工作臺以使保持掩模的透光板打開和關(guān)閉，從而允許將工件設(shè)置在面對所述掩模的位置。在該曝光設(shè)備中，通過改變相應(yīng)工作臺的曝光時間，對在所述曝光下方位置的不同高度處的被輪流傳送的這兩個工作臺上的工件執(zhí)行適當(dāng)?shù)钠毓獠僮鳌?br> 但是，常規(guī)的曝光設(shè)備具有以下缺點(1)由于通過所述的升降機(jī)構(gòu)提升被第一和第二工作臺輪流傳送的且與所述的工作臺分離的支撐板，以將工件設(shè)置在曝光位置且使所述的工件與頂架配合，因此很困難保持所述的工具與掩模之間的對準(zhǔn)位置，直到將它們設(shè)置在曝光位置。而且，由于兩個工作臺被承載在所述加載/卸載位置的不同高度處，因此不得不在不同的高度執(zhí)行所述的對準(zhǔn)操作。這與在處于同一高度的對準(zhǔn)工作臺上執(zhí)行的對準(zhǔn)操作相比還需要進(jìn)一步的可操作的控制(operational control)。
(2)由于在與所述掩模相鄰的透光板的周圍設(shè)置金屬架，因此無論何時更換或開始設(shè)置所述的透光板都需要進(jìn)行所述透光板的設(shè)置操作。
(3)在所述掩模和工件的對準(zhǔn)操作的過程中，當(dāng)所述的掩模被所述的掩模支撐機(jī)構(gòu)110保持時，移動工件以進(jìn)行對準(zhǔn)。但是，這需要復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。另外，工人通過膠帶固定所述的掩模和工件，會導(dǎo)致工人的工作量增加。
(4)在對準(zhǔn)掩模與工件時，工人不得不設(shè)置所述的掩模和工件兩者，這使得加載/卸載操作復(fù)雜化。在這種曝光設(shè)備中，其中所述的透光板能夠打開和關(guān)閉以用于工件的放置，工人打開/關(guān)閉所述的透光板的操作需要極大的力量，還有，在透光板的打開/關(guān)閉動作的過程中不得不縮回所述的成像裝置，以避免碰撞所述的透光板。
(5)常規(guī)的曝光設(shè)備包括在所述的加載/卸載位置與曝光位置之間通過兩條傳送通道輪流運送兩個工作臺的機(jī)構(gòu)，所述的兩條通道中的一條設(shè)置在另一個的頂部；和從所述的傳送機(jī)構(gòu)分離所述的工作臺以在加載/卸載位置和曝光位置分別執(zhí)行對準(zhǔn)操作和曝光操作的機(jī)構(gòu)。因此，常規(guī)的曝光設(shè)備需要所述支撐板的豎直移動的控制以及移動所述支撐板所需的大的驅(qū)動力。
綜上所述，本發(fā)明提供一種曝光設(shè)備和曝光方法，其中工件的對準(zhǔn)位置與曝光位置處于大致相同的高度方向中，能省略圍繞所述透光板周圍的金屬架，且設(shè)置掩模的透光板的操作易于完成。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提供一種曝光設(shè)備，其包括第一工作臺和第二工作臺，每個工作臺都包括其上放置有工件的載物臺板(stage plate)和事先安裝有掩模的透光板，所述的第一和第二工作臺在加載/卸載位置與曝光位置之間被輪流傳送，其中在所述的加載/卸載位置加載/卸載所述的工件，以及在所述的曝光位置使所述的已對準(zhǔn)的工件和掩模曝光。
第一傳送通道和第二傳送通道，其設(shè)置在所述的加載/卸載位置與曝光位置之間的不同高度處，其中所述的第一傳送通道輪流傳送所述的第一工作臺和第二工作臺，而所述的第二傳送通道輪流傳送所述的第二工作臺和第一工作臺；升降機(jī)構(gòu)，其將所述的第一和第二工作臺的其中之一提升至所述的第一傳送通道，以及將所述的第二和第一工作臺的另一個下降至所述的第二傳送通道；
傳送機(jī)構(gòu)，其沿所述的第一和第二傳送通道傳送被所述的升降機(jī)構(gòu)提升或降低的第一和第二工作臺，將其中一個工作臺從所述的加載/卸載位置傳送到所述的曝光位置，和將另一個從所述的曝光位置傳送到所述的加載/卸載位置；對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)(alignment mechanism)，其將放置在被傳送到所述的加載/卸載位置的其中一個工作臺上的工件與所述的掩模對準(zhǔn)；和光照射機(jī)構(gòu)，其對放置在被傳送到所述曝光位置的另一個工作臺上的工件輻射光。
在所述的第一傳送通道位于所述的第二傳送通道的上方的情況下，基于具有這種結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備，在完成所述第一和第二工作臺的曝光操作和對準(zhǔn)操作之后，通過所述的升降機(jī)構(gòu)將所述的第一工作臺提升至所述的第一傳送通道和通過所述的升降機(jī)構(gòu)將所述的第二工作臺下降至所述的第二傳送通道。通過所述的傳送機(jī)構(gòu)將支撐所述掩模和工件的第一工作臺和第二工作臺的每一個輪流傳送至所述的加載/卸載位置和曝光位置。所述加載/卸載位置與曝光位置的其中之一可以設(shè)置在所述的第一傳送通道或第二傳送通道上，且另一個可以設(shè)置在第二傳送通道或第一傳送通道上。另外，由于所述的掩模被設(shè)置在每個工作臺的透光板上，因此所述的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)直接拍攝所述掩模和工件的對準(zhǔn)標(biāo)志。
在上述的曝光設(shè)備中，所述的升降機(jī)構(gòu)通過升降引導(dǎo)裝置分別與所述的第一和第二工作臺接合，和所述的傳送機(jī)構(gòu)通過與所述的升降引導(dǎo)裝置接合的驅(qū)動裝置傳送所述的第一和第二工作臺。
就上述結(jié)構(gòu)的曝光設(shè)備而言，工件被放置在位于所述的加載/卸載位置的第一工作臺的載物臺板上，和利用對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)使該工件與設(shè)置在所述透光板上的掩模對準(zhǔn)。當(dāng)這樣做的時候，在完成所述的對準(zhǔn)操作之后，通過所述的光照射機(jī)構(gòu)對已被傳送到所述的曝光位置的第二工作臺進(jìn)行曝光操作。在完成所述的第一工作臺的對準(zhǔn)操作和第二工作臺的曝光操作之后，利用所述的升降機(jī)構(gòu)且通過所述的升降引導(dǎo)裝置將所述的第一工作臺提升至所述的第一傳送通道，且利用所述的升降機(jī)構(gòu)且通過所述的升降引導(dǎo)裝置將所述的第二工作臺下降至所述的第二傳送通道。之后，利用由所述的傳送機(jī)構(gòu)的驅(qū)動裝置傳送的升起引導(dǎo)裝置沿相應(yīng)的傳送通道傳送所述的第一和第二工作臺，因此所述的第一工作臺被傳送到所述的曝光位置且所述的第二工作臺被傳送到所述的加載/卸載位置。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，提供一種傳送掩模和工件的方法，其中其上設(shè)置有掩模和工件的第一工作臺通過第一傳送通道從第一位置被傳送到第二位置，而其上設(shè)置有掩模和工件的第二工作臺通過第二傳送通道從第二位置被傳送到第一位置，所述的方法包括以下步驟對準(zhǔn)處于所述第一位置的第一工作臺上的掩模和工件，在第二位置通過所述的掩模對第二工作臺上的工件進(jìn)行曝光；和沿一個環(huán)路循環(huán)地傳送所述的第一工作臺和第二工作臺，該環(huán)路延伸穿過所述的第一和第二位置并包括所述的第一和第二傳送通道。
利用這種方法，沿所述的環(huán)路循環(huán)地傳送的第一工作臺和第二工作臺。這樣實現(xiàn)了所述曝光設(shè)備的有限內(nèi)部空間的有效利用并提供小尺寸的曝光設(shè)備。
簡要說明下面將通過示例的方式并參照附圖來說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的曝光設(shè)備的分解立體圖，示意地表示該曝光設(shè)備的整體構(gòu)造；圖2是表示所述曝光設(shè)備的第一工作臺(第二工作臺)的結(jié)構(gòu)的立體圖；圖3是表示處于所述曝光設(shè)備的加載/卸載位置的接合基準(zhǔn)位置的立體圖；圖4是表示所述的曝光設(shè)備的對準(zhǔn)工作臺的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖5是表示處于所述曝光設(shè)備的加載/卸載位置的對準(zhǔn)工作臺的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖6是表示所述的曝光設(shè)備的整體機(jī)構(gòu)的示意圖；圖7是表示所述曝光設(shè)備的兩條傳送通道的俯視圖；
圖8A至圖8E是說明所述曝光設(shè)備的對準(zhǔn)操作的示意圖；圖9A-1至9D-2是說明所述曝光設(shè)備的升降操作和傳送操作的示意圖；圖10A至10F是表示所述曝光設(shè)備的升降操作和傳送操作的示意圖；圖11A和11B是表示分別設(shè)置在所述的傳送通道中的曝光設(shè)備的兩個工作臺的示意圖；圖12A-1至12D-2是表示處于傳送通道中的工作臺的透光板和載物臺板的結(jié)構(gòu)的示意圖；圖13A至13G是表示所述曝光設(shè)備的工作臺的全部操作的示意圖；和圖14是表示常規(guī)的曝光設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)的示意圖。
具體實施例方式
下面參照附圖來說明本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例。這里，作為本發(fā)明的一個示例的曝光設(shè)備屬于使基板(substrate)的一側(cè)曝光的類型。
如圖1，2和6所示，曝光設(shè)備1設(shè)有作為第一位置的加載/卸載位置P1，其中工人在殼體2的前方將工件W加載在該處或者從該處卸載所述的工件，和作為第二位置的曝光位置P2，其中工件W在該位置處在殼體2的后方被曝光。
所述的曝光設(shè)備1包括第一傳送通道L1和第二傳送通道L2，這兩條通道設(shè)置在所述的加載/卸載位置P1與曝光位置P2之間的兩個不同高度處，以使所述的第一和第二傳送通道L1，L2形成經(jīng)過所述第一位置P1和第二位置P2的環(huán)路的一部分；第一工作臺10和第二工作臺10，以循環(huán)的方式沿所述的第一和第二傳送通道L1，L2分別傳送這兩個工作臺(圖6)；傳送機(jī)構(gòu)5，其沿所述的兩條傳送通道L1，L2分別傳送所述的兩個工作臺10，20；升降機(jī)構(gòu)6，其提升和下降分別位于所述的加載/卸載位置P1和曝光位置P2的兩個工作臺10，20，以切換它們的傳送通道；透光板滑動機(jī)構(gòu)9，當(dāng)工作臺10，20的其中之一從所述的曝光位置P2被傳送到所述的加載/卸載位置P1時，該透光板滑動機(jī)構(gòu)滑動地打開和關(guān)閉第一工作臺10(或第二工作臺20)的透光板11(21)和載物臺板12(22)；成像裝置3A和對準(zhǔn)工作臺4，作為對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3，設(shè)置在加載/卸載位置P1處；和光照射機(jī)構(gòu)8，其輻射包括紫外光在內(nèi)的光并設(shè)置在所述的曝光位置P2處。所述的透光板滑動機(jī)構(gòu)9包括滑動裝置9A，滑動致動裝置9B，和透光板引導(dǎo)裝置9C。如圖6所示，所述的環(huán)路為矩形，且所述的第一傳送通道L1設(shè)置在所述第二傳送通道L2的豎直上方。如圖6所示，所述第一工作臺10和第二工作臺20以循環(huán)的方式沿所述的環(huán)路移動。
第一工作臺10和第二工作臺20的結(jié)構(gòu)如下所述。由于所述的第一工作臺10和第二工作臺20的結(jié)構(gòu)大致相同，除了它們的右和左部分相對于工作臺的傳送方向為對稱設(shè)置之外，因此這里只描述第一工作臺10的結(jié)構(gòu)，省略第二工作臺20的描述。
如圖1和2所示，所述的第一工作臺10包括外形為U形的構(gòu)件16，其具有一中部空間(mid space)，用于定位工件W的對準(zhǔn)工作臺4通過該部分支撐所述的載物臺板12；由所述的透光板滑動機(jī)構(gòu)9和構(gòu)件16間接地且相對地支撐的透光板11和載物臺板12；滑動裝置9A，其相對所述的構(gòu)件16可滑動地支撐所述的透光板11；傳送滾筒14，其相對所述構(gòu)件16的傳送方向設(shè)置在右和左側(cè)的其中一側(cè)上；和連接部分16a，其設(shè)置在所述構(gòu)件16的側(cè)邊與所述的傳送滾筒14相對的位置處。
如圖1和2所示，所述的透光板11包括板件11a，其由允許傳輸特定波長的紫外線的材料制成，諸如丙烯酸板、石英玻璃板或有機(jī)玻璃板；前板支撐件11b，其設(shè)置在所述板件11a的前側(cè)(處于面對當(dāng)所述的板件11a從所述的曝光位置傳送到所述的加載/卸載位置時的前側(cè)的一側(cè))；和定位凸起11c，其固定在所述的前板支撐件11b上并從該支撐件水平延伸。所述上透光板11的定位凸起11c沿所述前板支撐件11b的長度等距設(shè)置。每個定位凸起11c都是由U形鋼架制成的，且在與下面將要描述的鄰接件2A鄰接的區(qū)域具有圓形的橫截面。
在本優(yōu)選實施例中設(shè)置了兩個定位凸起11c。但是，可以只設(shè)置一個定位凸起或多于三個的定位凸起。所述的定位凸起11c也可以用作手柄，因此工人可以抓握該手柄，從所述的第一工作臺10上卸下所述的透光板11。
如圖2所示，后板支撐件11d在板接收件9a4的后部固定到所述滑動裝置9A的板接收件9a4。所述的透光板11放置在板接收件9a4上且其后側(cè)(與所述的前板支撐件11b相對)與所述的后板支撐件11d接合。所述的后板支撐件11d向上彎曲成易于與所述透光板11a的后側(cè)接合的形狀。
所述的后板支撐件11d沿所述透光板11a的后側(cè)延伸。但是，只要所述的后板支撐件11d牢固地與所述的透光板11a接合并被放置在所述的板接收件9a4上，與所述透光板11a接合的所述后板支撐件11d的長度和深度可以不同。如圖4所示，所述的透光板11a的兩側(cè)沿工作臺的傳送方向由L形的限制件15引導(dǎo)。這樣構(gòu)造所述的透光板11以使工人能抓握定位凸起11c且能容易地從所述后板支撐件11d抽出所述的透光板11。
如圖2所示，所述的滑動裝置9A沿所述的傳送方向使所述的透光板11滑動，且所述的透光板11放置在該滑動裝置上。所述的滑動裝置9A包括作為滑動裝置設(shè)置在所述構(gòu)件16兩側(cè)的滑動凸起9a1；與所述的滑動凸起9a1相接合且可滑動引導(dǎo)該滑動凸起的滑動引導(dǎo)件9a2；滑動架9a3，所述的滑動引導(dǎo)件9a2固定在該滑動件上且所述的工件W和掩模N通過該滑動架進(jìn)行曝光；形成在所述滑動架9a3的頂面上且用于放置所述透光板11的板接收件9a4；相對于所述滑動架9a3的傳送方向橫向延伸的擋板9a5；和固定在所述板接收件9a4的后端上的后板支撐件11d。
如圖2和4所示，所述的滑動架9a3具有足夠的高度以使所述的透光板11相對于支撐在所述構(gòu)件16上的載物臺板12可滑動，且所述的掩模M和工件W被設(shè)置在所述的透光板11和載物臺板12上。
當(dāng)所述的擋板9a5抵靠在沿所述的第二傳送通道L2(圖6)設(shè)置的鄰接止擋9b1時，該擋板9a5沿所述的滑動凸起9a1使所述的滑動件9a3滑動。所述的擋板9a5相對于從所述曝光位置P2至加載/卸載位置P1的傳送方向設(shè)置在所述滑動架9a3的前側(cè)。所述擋板9a5的形狀和位置可以變化，只要其能使所述的滑動架9a3滑動即可。
如圖2和4所示，所述第一工作臺10的載物臺板12放置在在所述構(gòu)件16上形成的板支撐部分上且具有良好的平面特性。所述的載物臺板具有樹脂板12a，且在所述樹脂板12a的圓周部分上形成有凹槽部分12c。所述的載物臺板12放置在構(gòu)件16上并具有橫跨所述構(gòu)件16的前框架12b。所述的前框架12b限制所述載物臺板12的收縮。
所述載物臺板12的凹槽部分12c與引導(dǎo)銷(引導(dǎo)裝置)13接合，所述的引導(dǎo)銷從所述構(gòu)件16的板支撐部分上突出，從而使所述的載物臺板12總被保持在預(yù)定的位置處。如圖4所示，所述凹槽部分12c在其開口處具有傾斜的表面或者所述的引導(dǎo)銷13具有從最高點至圓周邊緣的傾斜表面。這樣在所述的曝光操作完成且所述載物臺板12對所述透光板11的真空吸引作用解除時，便于對所述載物臺板12進(jìn)行定位。當(dāng)所述的載物臺板12與所述的透光板11脫離且落在所述的構(gòu)件16上時，將所述的載物臺板12引導(dǎo)至預(yù)定的位置且所述的引導(dǎo)銷13插入所述的凹槽12c中。
如圖2和4所示，所述第一工作臺10的構(gòu)件16相對所述的透光板11間接地且相對地支撐所述的載物臺板12。所述的構(gòu)件16包括用于接收載物臺板12的板支撐部分16b。如圖9A-1所示，所述的構(gòu)件16沿所述傳送方向在一側(cè)邊的中心處具有連接部分16a。所述的連接部分16a與下面將要描述的升降機(jī)構(gòu)6的升降引導(dǎo)件7相接合，且所述升降機(jī)構(gòu)6的第一升降桿6f1固定在所述的連接部分16a上。
如圖2和7所示，所述的傳送滾筒14設(shè)置在與所述的連接部分16a相對的兩個沿所述的傳送方向?qū)?zhǔn)的位置處。每個傳送滾筒14都包括上滾筒14a和下滾筒14b，所述的上滾筒和下滾筒都由角板14c支撐。從圖11中可知，當(dāng)所述的下滾筒14b不接觸所述的第一傳送通道L1時，所述的上滾筒14a沿所述的第一傳送通道L1移動。同時，當(dāng)所述的上滾筒14a不接觸所述的第二傳送通道L2時，所述的下滾筒14b沿所述的第二傳送通道L2移動。
如圖8所示，吸引機(jī)構(gòu)18將所述載物臺板12上的工件W可分離地吸引抵靠設(shè)置在所述透光板11上掩模M。所述的吸引機(jī)構(gòu)18包括通過所述的透光板11、載物臺板12和周邊密封(密封橡膠)11e吸引所述掩模M和工件W的主吸引裝置18a，和將所述的工件W保持在載物臺板12上的工件吸引裝置18b。
當(dāng)工人將工件W設(shè)置在處于加載/卸載位置P1的所述載物臺板12上(圖9)時，所述的工件吸引裝置18b致動并吸引所述的工件W抵靠在所述的載物臺板12上。當(dāng)所述的掩模M和工件W以鄰接的方式被吸引時，所述的主吸引裝置18a致動。
參照圖2，下面將描述所述的透光板滑動機(jī)構(gòu)9，其包括滑動裝置9A，滑動致動裝置9B和透光板引導(dǎo)裝置9C。由于上文已經(jīng)描述了所述的滑動裝置9A，因此下面將對所述的滑動致動裝置9B和透光板引導(dǎo)裝置9C進(jìn)行描述。
如圖2所示，所述的滑動致動裝置9B包括鄰接止擋9b1，其沿所述的第二傳送通道L2(圖6)定位并伸入或遠(yuǎn)離所述擋板9a5的滑動軌跡(sliding locus)；和驅(qū)動部分9b2，用于朝所述擋板9a5或遠(yuǎn)離擋板9a5的方向移動所述的鄰接止擋9b1。所述的滑動致動裝置9B沿所述的第二傳送通道L2設(shè)置在某一位置，該位置與所述第一和第二工作臺10，20的傳送方向的一側(cè)相對應(yīng)。所述的擋板9a5在垂直于所述傳送滾筒14的傳送方向的方向中延伸并遠(yuǎn)離所述的傳送方向。
如圖2所示，所述的透光板引導(dǎo)裝置9C包括透光板傳送/驅(qū)動裝置9c1，其沿所述的第二傳送通道L2設(shè)置在沿所述的第二傳送通道L2傳送的第一工作臺10或第二工作臺20的下方；和透光板推動引導(dǎo)裝置9c2，其由所述的透光板傳送/驅(qū)動裝置9c1驅(qū)動并朝所述的加載/卸載位置P1引導(dǎo)所述的透光板11，且與所述透光板11的后板支撐件11d相接合。這里，透光板引導(dǎo)裝置9c的透光板推動引導(dǎo)裝置9c2也用作推動引導(dǎo)裝置，用于引導(dǎo)所述透光板11的定位凸起11c抵靠所述的鄰接件2A(圖3)。形成所述的透光板推動引導(dǎo)裝置9c2，以在其推動所述的后板支撐件11d時提升和在所述的推動/引導(dǎo)操作完成之后縮回。
參照圖1和2，下面將描述設(shè)置在所述的加載/卸載位置P1中作為對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3的成像裝置3A，對準(zhǔn)工作臺4和鄰接件2A。
所述的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3包括成像裝置3A，諸如CCD照相機(jī)；和對準(zhǔn)工作臺4，其計算由所述的成像裝置3A拍攝的掩模M和工件W的對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm的位置，以算出工件W為了對準(zhǔn)所需要的距離，然后移動所述的工件W以進(jìn)行對準(zhǔn)。為了確保所述標(biāo)記Mm，Wm的良好可見性，所述的成像裝置3A在拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm的方面采用不會加速曝光操作的亮度。所述的成像裝置3A優(yōu)選地發(fā)射激光束作為表示工件W放置在所述載物臺板12上的預(yù)定的位置的標(biāo)記。在所述的加載/卸載位置P1上方設(shè)置顯示器D，因此工人能視覺地檢查由所述的成像裝置3A拍攝的圖像。
如圖1和5所示，所述的對準(zhǔn)工作臺4包括用于放置載物臺板12的對準(zhǔn)/放置工作臺4a；吸墊(sucking pad)4b，其移動穿過所述對準(zhǔn)/放置工作臺4a的孔并在真空的作用下將所述的載物臺板12吸引至所述對準(zhǔn)/放置工作臺4a上；和對準(zhǔn)/驅(qū)動部分4c，其在Z軸線方向(向上/向下的方向)中，X和Y軸線方向(垂直于所述Z軸線的水平方向)，和θ方向(繞Z軸線的轉(zhuǎn)動方向)中移動被所述的吸墊4c吸引的且保持在所述對準(zhǔn)/放置工作臺4a上的載物臺板12。
如圖3所示，所述的鄰接件2A包括兩個鄰接定位部分2c，朝定位在第二傳送通道12的透光板11的定位凸起11c方向和朝遠(yuǎn)離所述的定位凸起的方向引導(dǎo)該鄰接定位部分；兩個基部2b，每個都支撐所述的鄰接定位部分2c；和兩個驅(qū)動部分2a，每個驅(qū)動部分都固定在所述的基部2b上且朝向相應(yīng)的定位凸起11c和遠(yuǎn)離相應(yīng)的定位凸起的方向引導(dǎo)所述的鄰接定位部分2c。每個定位部分2c具有兩個管狀表面，這兩個表面的其中之一設(shè)置在另一個的頂部，且由所述的基部2b可轉(zhuǎn)動地支撐。所述的定位部分2c可以具有任何公知的形狀，只要它們能將所述的定位凸起11c停止在預(yù)定的位置處。在該優(yōu)選實施例中，所述的鄰接件2A縮回直到所述的透光板11被傳送到所述加載/卸載部分P1(圖6)的結(jié)束位置為止，且在完成傳送所述的透光板11至所述的加載/卸載位置P1的操作時，由所述的驅(qū)動部分2a朝所述的定位凸起11c推動所述的鄰接件。
接著，下面將描述升降引導(dǎo)件7，傳送機(jī)構(gòu)5，和升降機(jī)構(gòu)6。
如圖1所示，所述的升降引導(dǎo)件7包括與所述的第一和第二工作臺10，20的接合部分16a，26a接合的且使工作臺10，20滑動的滑動部分7a；以及設(shè)置在滑動部分7a的相反側(cè)且與所述的傳送機(jī)構(gòu)5滑動接合的滑動連接部分7b。所述的升降引導(dǎo)件7連接到所述的驅(qū)動帶5b上的預(yù)定的位置處作為傳送機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動裝置。
如圖1和13所示，所述的傳送機(jī)構(gòu)5包括環(huán)繞所述加載/卸載位置P1和曝光位置P2的驅(qū)動帶5b；將所述的驅(qū)動帶5b支撐在預(yù)定的高度且引導(dǎo)所述驅(qū)動帶5b的移動的帶引導(dǎo)件5c；和傳送致動器5a，其夾持其中一個升降引導(dǎo)件7并使其往復(fù)運動以驅(qū)動所述的驅(qū)動帶5b。
所述的驅(qū)動帶5b是環(huán)形帶，其具有面對所述的帶引導(dǎo)件5c且以特定的間隔形成的粗糙表面(圖5)。每個帶引導(dǎo)件5c都具有與所述的驅(qū)動帶5b的粗糙表面相接合并引導(dǎo)所述的驅(qū)動帶5b的齒。線性引導(dǎo)件5d以與所述升降引導(dǎo)件7的滑動接合部分7b接合且往復(fù)地引導(dǎo)所述的升降引導(dǎo)件7的方式固定在所述殼體2的一位置處，該位置與所述的傳送致動器5a相對并遠(yuǎn)離該致動器。所述的傳送致動器5a可以是任何公知的機(jī)構(gòu)，諸如LM引導(dǎo)件，液壓缸，氣壓缸和螺旋進(jìn)給機(jī)構(gòu)，只要其夾持所述的升降引導(dǎo)件7并可靠地使其產(chǎn)生往復(fù)運動。
除了在所述工作臺10，20的傳送方向的一側(cè)提供傳送致動器5a之外，還可以同步或異步的方式在所述工作臺10，20的傳送方向的兩側(cè)都設(shè)置傳送致動器5a。在設(shè)置兩個傳送致動器5a的示例中，不需要驅(qū)動帶5b和帶引導(dǎo)件5c。
如圖7，10，11所示，所述的第一傳送通道L1平行于所述工作臺10，20的傳送方向延伸。所述的第一傳送通道L1具有設(shè)置在所述加載/卸載位置P1與曝光位置P2之間的右和左上滾筒引導(dǎo)軌道31；切缺部分(cutout)31a1，每個都形成在所述的上滾筒引導(dǎo)軌道31的傳送方向(縱向方向)的中心處；用于用輔助傳送通道向所述的切缺部分31a1進(jìn)行供給的輔助軌道機(jī)構(gòu)35，和定位在相應(yīng)的上滾筒引導(dǎo)軌道31的兩端且由所述的升降機(jī)構(gòu)6提升和下降的升降輔助軌道6g1，6g2。
如圖7和10所示，所述的上滾筒引導(dǎo)軌道31固定在所述的殼體2上。每個上滾筒引導(dǎo)軌道31具有一定的長度，從而當(dāng)工作臺10，20都定位在所述的架/卸載位置P1和曝光位置P2時，一個傳送滾筒14(24)放置在升降輔助軌道6g1(6g2)上且另一個滾筒14(24)放置在所述的切缺部分31a1(31a2)上。在這些上滾筒引導(dǎo)軌道中，右上和左上滾筒引導(dǎo)軌道31的其中之一用于引導(dǎo)所述第一工作臺10的傳送滾筒14，且右上和左上滾筒引導(dǎo)軌道31中的另一個用于引導(dǎo)所述第二工作臺20的傳送滾筒24。
另外，每個切缺部分31a1，31a2具有一定的長度，從而當(dāng)工作臺10，20都定位在所述的加載/卸載位置P1和曝光位置P2時，所述的傳送滾筒14的上滾筒14a和傳送滾筒24的上滾筒24a能放置在其上。
每個輔助軌道機(jī)構(gòu)35包括與所述上滾筒引導(dǎo)軌道31的切缺部分31a1，31a2處于同一平面的輔助軌道35b；和用于可縮回地驅(qū)動所述的輔助軌道35b的輔助軌道驅(qū)動部分35a。所述的輔助軌道機(jī)構(gòu)35與下面將要描述的升降機(jī)構(gòu)的升降輔助軌道6g1(6g2)同步操作。
所述的第二傳送通道L2在第一傳送通道L1的下方延伸，并包括有其橫向設(shè)置寬度小于第一傳送通道L1的右上和左上滾筒引導(dǎo)軌道31的寬度的右下和左下滾筒軌道32。在這些下滾筒引導(dǎo)軌道中，所述的右下和左下滾筒引導(dǎo)軌道32的其中之一用于引導(dǎo)所述第一工作臺10的下滾筒14b，且所述的右下和左下滾筒引導(dǎo)軌道32中的另一個用于引導(dǎo)所述第二工作臺20的下滾筒24b。
下面參照圖1和9來描述升降機(jī)構(gòu)6。所述的升降機(jī)構(gòu)6包括第一轉(zhuǎn)動中心桿6e1和第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2，它們從所述的加載/卸載位置P1延伸至曝光位置P2且沿工作臺10，20的傳送方向相互平行定位在所述的第一和第二工作臺10，20的下方；板狀第一連接件6c1和第二連接件6c2，它們分別固定在第一轉(zhuǎn)動中心桿6e1或第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2的端部；第一升降桿6f1和第二升降桿6f2，與所述的第一轉(zhuǎn)動中心桿6e1和第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2平行且分別與所述的第一連接件6c1和第二連接件6c2接合；接合桿6d，其與所述的第一連接件6c1和第二連接件6c2接合且同步操作這些連接件6c1，6c2；和連接驅(qū)動裝置6a和推桿6b，用于通過所述的接合桿6d繞第一轉(zhuǎn)動中心桿6e1和第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2以一定角度轉(zhuǎn)動所述的第一連接件6c1和第二連接件6c2。最佳如圖10所示，所述的升降機(jī)構(gòu)6也在第一和第二連接件6c1，6c2處與升降輔助軌道6g接合且與第一升降桿6f1和第二升降桿6f2相對，從而提升和下降所述的升降輔助軌道6g。
升降機(jī)構(gòu)6的第一升降桿6f1和第二升降桿6f2分別與設(shè)置在沿所述第一和第二工作臺10，20的傳送方向的一側(cè)的中心處的接合部分16a和接合部分26a接合。連接件6c1，6c2距離其轉(zhuǎn)動中心都具有一定的長度，以使第一和第二工作臺10，20從第一傳送通道L1轉(zhuǎn)換到第二傳送通道L2或者從第二傳送通道L2轉(zhuǎn)換到第一傳送通道L1。所述的連接件6c1(6c2)可以具有任意形狀、大小和結(jié)構(gòu)，只要其能與第一升降桿6f1(第二升降桿6f2)和升降輔助軌道6g接合，且第一轉(zhuǎn)動中心桿6e1(第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2)定位在其間。
參照附圖6，下面描述光照射機(jī)構(gòu)8。在該優(yōu)選實施例中，構(gòu)成所述的光照射機(jī)構(gòu)8以向工件W發(fā)射平行光線。但是也可以使用其他公知的用于曝光設(shè)備的光照射機(jī)構(gòu)，諸如發(fā)射散射光的金屬鹵化物燈。
所述的光照射機(jī)構(gòu)8包括諸如短弧燈(short-arc lamp)的放電燈8a，用于發(fā)射特定波長的紫外光；橢圓反射鏡8b，其從后側(cè)覆蓋所述的放電燈8a；復(fù)眼透鏡(fly-eye lens)8c，用于調(diào)節(jié)和平衡(equalizing)從所述的放電燈8a和橢圓反射鏡8b發(fā)射到所述發(fā)射表面的光的能量；反射鏡8d，用于反射來自復(fù)眼透鏡8c的發(fā)射光；和反射鏡8e，用于將來自反射鏡8d的發(fā)射光反射為平行光線作用在曝光位置P2。
將設(shè)置有放電燈8a的區(qū)域和設(shè)置有工件W的區(qū)域用分隔物分開，且優(yōu)選地設(shè)置諸如冷卻風(fēng)扇的冷卻機(jī)構(gòu)(未示出)，以冷卻設(shè)置有放電燈8a的區(qū)域。
下面將描述曝光設(shè)備1的不同操作，涉及加載/卸載操作，對準(zhǔn)操作，升降操作，傳送操作，曝光操作，透光板分離操作，和透光板滑動操作。
首先，參照圖6和13來描述曝光設(shè)備1的整個操作。
如圖6和13A所示，當(dāng)?shù)诙ぷ髋_20上的工件W在曝光位置P2進(jìn)行曝光時，在加載/卸載位置P1加載工件W并使其與第一工作臺10上的掩模M對準(zhǔn)。在曝光設(shè)備1的啟動時，由于工件W沒有被裝載在第二工作臺20上，因此不執(zhí)行曝光操作。如圖13B所示，在完成對準(zhǔn)操作和曝光操作之后，當(dāng)通過升降導(dǎo)引件7和升降機(jī)構(gòu)6，將第二工作臺20下降至第二傳送通道時，通過升降導(dǎo)引件7以及升降機(jī)構(gòu)6提升所述的第一工作臺10至第一傳送通道L1。
如圖13C所示，通過傳送機(jī)構(gòu)5沿第一傳送通道L1將第一工作臺10傳送到曝光位置P2。同時，通過傳送機(jī)構(gòu)5沿第二傳送通道L2將第二工作臺傳送至加載/卸載位置P1。當(dāng)這樣做時，所述第二工作臺20的透光板21通過透光板滑動機(jī)構(gòu)9在第二工作臺20的傳送方向的反向中從載物臺板22滑落，且載物臺板22被傳送至加載/卸載位置P1。同時，通過光照射機(jī)構(gòu)8對已經(jīng)傳送到曝光位置P2的第一工作臺10施加曝光操作。
如圖13D和6所示，當(dāng)工件W裝載在已傳送到加載/卸載位置P1的第二工作臺20的載物臺板22上時，所述的透光板滑動機(jī)構(gòu)9朝載物臺板12的方向滑動所述的透光板21，以通過對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3和對準(zhǔn)工作臺4完成對準(zhǔn)操作。如圖13E所示，將定位在加載/卸載位置P1并已經(jīng)對其施加對準(zhǔn)操作的所述的第二工作臺20，通過升降機(jī)構(gòu)6將其提升至第一傳送通道L1。同時，將定位在曝光位置P2并已經(jīng)對其施加曝光操作的第一工作臺10，通過升降機(jī)構(gòu)6將其下降至第二傳送通道L2。
如圖13F和6所示，然后通過傳送機(jī)構(gòu)5沿第二傳送通道L2將第一工作臺10傳送到加載/卸載位置P1。同時，通過傳送機(jī)構(gòu)5沿第一傳送通道L1將第二工作臺20傳送到曝光位置P2。這樣做時，第一工作臺10的透光板11通過透光板滑動機(jī)構(gòu)9在第一工作臺10的傳送方向的反方向中從載物臺板12滑落，且所述的載物臺板12被傳送至加載/卸載位置P1。然后工人將已曝光的工件W從所述的載物臺板12上卸除，并將另一工件W放置在所述的載物臺板12上。如圖13G和6所示，當(dāng)工件W被設(shè)置在第一工作臺10的載物臺板12上時，透光板滑動機(jī)構(gòu)9朝所述載物臺板12的方向滑動所述的透光板11，以通過對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3和對準(zhǔn)工作臺4完成所述的對準(zhǔn)操作。
所述的曝光設(shè)備利用重復(fù)進(jìn)行圖13A至13G所示的上述操作來輪流地對工件W執(zhí)行對準(zhǔn)操作和曝光操作。下面將詳細(xì)描述上述的每一個操作。
工件W的裝載操作如圖1和6所示，所述的第一工作臺10和第二工作臺20分別定位在加載/卸載位置P1和曝光位置P2，所述的加載/卸載位置和曝光位置設(shè)置在所述第一和第二傳送通道L1，L2的兩個傳送端。在加載/卸載位置P1，所述的第一工作臺10做好準(zhǔn)備，以利用從所述載物臺板22滑落的透光板11將工件W放置在載物臺板12上。為了確定工件W的對準(zhǔn)標(biāo)記Wm，對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3的未示出的激光發(fā)射裝置輻射紅外線激光束。工人將工件W放置在第一工作臺10的載物臺板12上與對準(zhǔn)標(biāo)記Wm對準(zhǔn)。
當(dāng)工件W被放置在載物臺板12上時，所述的曝光設(shè)備1操作以使吸引機(jī)構(gòu)18的工件吸引裝置18b致動并吸引載物臺板12上的工件W。同時，如圖12C-1至12D-2所示，所述透光板滑動機(jī)構(gòu)9的透光板傳送/驅(qū)動裝置9c1這樣操作，以使透光板推動引導(dǎo)裝置9c2推動所述透光板11的后板支撐件11d并沿所述的滑動凸起9a1使所述滑動架9a3滑動直到所述透光板11的掩模M面對所述載物臺板12的工件W為止。
當(dāng)所述的掩模M面對工件W時，曝光設(shè)備1致動鄰接件2A的驅(qū)動部分2a，以使所述的鄰接定位部分2c前進(jìn)來鄰接抵靠第一工作臺10的定位凸起11c，如圖3所示。這樣做時，所述的透光板推動引導(dǎo)裝置9c2(圖12D-2)連續(xù)地推動所述透光板11的后板支撐件11d，從而將所述的透光板11定位在預(yù)定的鄰接基準(zhǔn)位置。
對準(zhǔn)操作如圖8A和8B最佳地所示。當(dāng)定位已設(shè)置有掩模M的透光板11時，對準(zhǔn)工作臺4(圖5)的吸墊4b升高以吸引并保持所述的載物臺板12。同時，對準(zhǔn)/放置工作臺4a升高以使所述的載物臺板12升高遠(yuǎn)離構(gòu)件16的板支撐部分直到工件W與掩模M鄰接抵靠為止。當(dāng)掩模M和工件W相互鄰接在一起時，主吸引裝置18a致動以在真空的作用下保持所述的掩模M和工件W。
所述的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3拍攝掩模M和工件W的對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm(圖1)。如果所述的對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm不在允許的范圍內(nèi)，則所述的曝光設(shè)備1計算對準(zhǔn)所需的距離并向?qū)?zhǔn)工作臺4傳送信號。之后，如圖8C所示，所述的曝光設(shè)備1通過主吸引裝置18a解除對掩模M和工件W的保持作用。同時，曝光設(shè)備1致動所述的工件吸引裝置18b以吸引工件W抵靠在所述的載物臺板12上。所述的曝光設(shè)備1通過對準(zhǔn)/驅(qū)動部分4c降低對準(zhǔn)工作臺4并在X，Y或θ的方向中調(diào)整所述對準(zhǔn)工作臺4的位置，且保持工件W被吸引抵靠所述的載物臺板12。
如圖8D所示，所述的曝光設(shè)備1提升所述的對準(zhǔn)工作臺4，以使主吸引裝置18a再次吸引掩模M和工件W。所述的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3拍攝所述的對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm(圖1)，且如果所述的對準(zhǔn)標(biāo)記Mm，Wm在允許的范圍內(nèi)，則所述的對準(zhǔn)工作臺4下降，如圖8E所示，因此完成所述的對準(zhǔn)操作且所述的透光板11和載物臺板12在真空的作用下被吸住。
下面將描述利用升降機(jī)構(gòu)完成的升降操作。
如圖9A-1至9B-2所示，當(dāng)完成所述的對準(zhǔn)操作時，所述的第一工作臺10定位在處于第二傳送通道L2的一個傳送端的加載/卸載位置P1，且所述的第二工作臺20定位在處于第一傳送通道L1的另一傳送端的曝光位置P2。如圖9B-和9B-2所示，然后所述的升降機(jī)構(gòu)6轉(zhuǎn)換所述的第一和第二工作臺10，20的傳送通道。
更詳細(xì)地說，所述的升降機(jī)構(gòu)6致動所述的連接驅(qū)動裝置6a并使所述的推桿6b延長一定長度，因此所述的第一連接件6c1繞第一轉(zhuǎn)向中心桿6e1轉(zhuǎn)動一定角度且第二連接件6c2通過接合桿6d繞第二轉(zhuǎn)動中心桿6e2轉(zhuǎn)動一定角度。所述的升降機(jī)構(gòu)6提升所述的第一升降桿6f1和降低第二升降桿6f2，因此沿所述的升降引導(dǎo)件7將所述的第一工作臺10提升至第一傳送通道L1并沿所述的升降引導(dǎo)件7將所述的第二工作臺20下降至第二傳送通道L2。
在這種情況中，其上放置有第一工作臺10的上滾筒14a的升降輔助軌道6g1升高到與上滾筒引導(dǎo)軌道31相同的高度處，且其上放置有第二工作臺20的上滾筒24a的升降輔助軌道6g2下降。
在所述的升降操作中，第一工作臺10升高，且連接部分16a沿升降引導(dǎo)件7滑動。如圖10A，10B和7所示，當(dāng)?shù)谝贿B接件6c1轉(zhuǎn)動一定角度時，通過所述升降輔助軌道6g1的向上移動提升所述的前傳送滾筒14，其中所述的前傳送滾筒定位在相對于第一工作臺(10)的傳送方向的前側(cè)(處于面朝所述加載/卸載位置P1的一側(cè))，且所述的后傳送滾筒14從下往上經(jīng)過所述的切缺部分31a1。因此，所述的第一工作臺10從第二傳送通道L2升高至第一傳送通道L1。
同時，所述的第二工作臺20下降，且連接部分16a沿升降引導(dǎo)件7滑動。如圖10D，10E和7所示，當(dāng)所述的第二連接件6c2轉(zhuǎn)動一定角度時，通過升降輔助軌道6g2的向下運動使前傳送滾筒24下降，其中所述的前傳送滾筒定位在相對所述第二工作臺20的傳送方向中的前側(cè)(處于面朝曝光位置P2的一側(cè))，且后傳送滾筒24從上往下經(jīng)過所述的切缺部分31a2。因此，第二工作臺20從第一傳送通道L1下降至第二傳送通道L2。
如圖11A所示，當(dāng)定位在曝光位置P2的第二工作臺20下降時，所述的載物臺板22遠(yuǎn)離所述的透光板21。換句話說，在所述主吸引裝置18a的吸引操作解除之后，載物臺板22支撐在構(gòu)件26上。同時，如圖11B所示，當(dāng)所述的第一工作臺10升高至第一傳送通道L1時，以通過主吸引裝置18a吸引所述的載物臺板12抵靠在所述的透光板11的方式將所述的載物臺板12支撐在所述的構(gòu)件16上。
如圖9A-1至9D-2所示，所述的升降機(jī)構(gòu)6輪流提升和下降處于加載/卸載位置P1和曝光位置P2的第一和第二工作臺10，20，從而轉(zhuǎn)換工作臺10，20的傳送方向。
下面將描述傳送操作。
如圖1和12A-1至12C-2所示，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)5的傳送致動器5a致動所述第二工作臺20的升降引導(dǎo)件7并使其朝加載/卸載位置P1移動時，固定有升降引導(dǎo)件7的驅(qū)動帶5b被傳送且同時由所述的帶引導(dǎo)件5c引導(dǎo)。因此，與第一工作臺10接合的升降引導(dǎo)件7沿線性引導(dǎo)件被傳送到曝光位置P2且傳送滾筒14沿上滾筒引導(dǎo)軌道31被引導(dǎo)。
在這種情況中，如圖10B，10C和10D所示，由于設(shè)置在第一傳送通道L1的輔助軌道機(jī)構(gòu)35為切缺部分31a1提供輔助軌道35b以保持所述的傳送通道，第一工作臺10的上滾筒14a沿所述的上滾筒引導(dǎo)軌道31平滑移動。已傳送到曝光位置P2的第一工作臺10的前上滾筒14a被放置在升降軌道6g1上，如圖10D所示。
如圖1和12A-1至12C-2所示，當(dāng)傳送機(jī)構(gòu)5的傳送致動器5a致動所述第二工作臺20的升降引導(dǎo)件7并使其朝加載/卸載位置P1的方向移動時，所述第二工作臺20的下滾筒24b沿所述的下滾筒引導(dǎo)軌道32朝加載/卸載位置P1移動。
當(dāng)?shù)诙ぷ髋_20被傳送到加載/卸載位置P1時，所述的透光板21和載物臺板22被相互分離傳送。換句話說，通過驅(qū)動部分9b2提升設(shè)置在第二傳送通道L2的滑動致動裝置9B的鄰接止擋9b1并且該鄰接止擋鄰接抵靠所述的擋板9a5。如圖2和12B-1至12B-2所示，當(dāng)擋板9a5鄰接抵靠所述的鄰接止擋9b1時，滑動架9a3沿構(gòu)件26的滑動凸起9a1滑動，以使構(gòu)件26(載物臺板22)以遠(yuǎn)離所述的透光板21的方式被傳送到加載/卸載位置P1。
被傳送到加載/卸載位置P1的第二工作臺20的下滾筒24b沿第二傳送通道L2的下滾筒引導(dǎo)軌道32移動，且第二工作臺20的前上滾筒24a被放置在升降引導(dǎo)軌道692上。在已被傳送到加載/卸載位置P1的載物臺板22支撐已曝光的工件W的情況下，解除工件吸引裝置18b的操作并卸除已曝光的工件W。在這種情況中，由于所述的透光板21滑動打開，因此工人只卸除已曝光的工件W。
如上所述，然后工人將工件W放置在第二工作臺20的載物臺板22上。然后通過驅(qū)動部分9b2降低所述滑動致動裝置9B的鄰接止擋9b1。如圖2和12C-1至12D-2所示，透光板引導(dǎo)裝置9C的透光板推動引導(dǎo)裝置9c2操作所述的透光板傳送/驅(qū)動裝置9c1以推動透光板21的后板支撐件21d。然后所述的滑動架9a3沿構(gòu)件26的滑動凸起9a1滑動直到所述的透光板21面對所述的載物臺板22為止。在加載操作中，如上所述執(zhí)行對準(zhǔn)操作。
曝光操作當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_10被傳送到曝光位置P2時，所述的光照射機(jī)構(gòu)8的放電燈8a在預(yù)定長的時間段內(nèi)發(fā)射諸如紫外線的光，通過所述的光學(xué)系統(tǒng)(8b至8e)從而執(zhí)行所述的曝光操作。由于第一和第二工作臺10，20以相同的高度被傳送到所述的曝光位置P2，且所述的掩模M被事先固定在所述的透光板11，21上，因此能以一種穩(wěn)定且可靠的方式實現(xiàn)所述的曝光操作。
如上所述，所述的曝光設(shè)備1重復(fù)對準(zhǔn)操作、曝光操作、升降操作和傳送操作，因此所述的第一和第二工作臺10，20被輪流傳送到所述的曝光位置P2且其上設(shè)置的工件W依次進(jìn)行曝光處理。
雖然上文已參照本發(fā)明的具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)明白在不背離權(quán)利要求的情況下可對本發(fā)明作不同的變換和修改。
在該優(yōu)選實施例中，所述的曝光位置P2設(shè)置在第一傳送通道L1的一個傳送端而所述的加載/卸載位置P1設(shè)置在第二傳送通道L2的另一傳送端。但是，所述的加載/卸載位置P1可以設(shè)置在第一傳送通道L1，而所述的曝光位置P2可以設(shè)置在第二傳送通道L2。
另外，在上文所述的曝光設(shè)備1中，將所述的升降機(jī)構(gòu)6描述為連接機(jī)構(gòu)。但是，通過設(shè)置在所述加載/卸載位置P1和曝光位置P2的起模針升降機(jī)構(gòu)(lift pin hoist mechanism)(未示出)可以提升或下降所述的第一和第二工作臺10，20。在這種情況中，優(yōu)選地設(shè)置升降軌道7，7。在不設(shè)置升降軌道7，7的情況下，優(yōu)選地設(shè)置接合釘(engage nail)(未示出)，其沿所述的傳送通道可移動且可伸縮而不會妨礙第一和第二工作臺10，20的移動。
另外，在上述的曝光設(shè)備1中，已經(jīng)描述了傳送機(jī)構(gòu)5，其中利用驅(qū)動帶5b和帶引導(dǎo)件5c傳送所述的第一和第二工作臺10，20。但是，可以以同步的方式設(shè)置右和左傳送致動器5a。
上述的曝光設(shè)備1具有下列優(yōu)點(1)由于利用傳送機(jī)構(gòu)5和升降機(jī)構(gòu)6將第一和第二工作臺10，20輪流傳送到加載/卸載位置P1和曝光位置P2，因此能實現(xiàn)所述的曝光操作，并且所述的第一和第二工作臺10，20以相同的高度被傳送到所述的曝光位置。另外，通過減少由工人操作的處理過程的數(shù)量能準(zhǔn)確地完成所述的對準(zhǔn)操作和曝光操作。
在曝光設(shè)備1中，可以簡化透光板11和載物臺板12的結(jié)構(gòu)，且當(dāng)所述的載物臺板12離開構(gòu)件16，26時，與其中整個工作臺從傳送機(jī)構(gòu)被分別地提升和下降的現(xiàn)有技術(shù)的曝光設(shè)備不一樣，僅需要最小的驅(qū)動力來提升和降低所述的載物臺板12。
(2)由于利用所述的升降機(jī)構(gòu)6將所述的工作臺10，20通過所述的升降引導(dǎo)件7，7提升或下降至第一和第二傳送通道L1，L2，從而將所述的第一和第二工作臺10，20輪流傳送到所述的加載/卸載位置P1和曝光位置P2，因此所述的第一和第二工作臺10，20以相同的高度被傳送到所述的曝光位置P2以執(zhí)行曝光操作。另外，在曝光設(shè)備1中，在加載/卸載位置P1執(zhí)行對準(zhǔn)操作，且所述的掩模M和工件W相互面對。這樣能實現(xiàn)具有改善的對準(zhǔn)精確性的曝光操作。
(3)由于工人抓住設(shè)置在板件11a的前板支撐件11b的定位凸起11c，并從所述的工作臺10，20上卸除透光板11，因此所述的透光板11能容易地且順利地脫離工作臺10，20并離開工作臺。所述透光板11的結(jié)構(gòu)簡化。
(4)透光板引導(dǎo)裝置9C推動所述透光板11的后板支撐件11d，使其抵靠設(shè)置在加載/卸載位置P1的鄰接件2A，從而提高對準(zhǔn)操作的精確性。
(5)所述第一和第二工作臺10，20的構(gòu)件16，26每一個都相對所述的透光板11間接且相對地支撐載物臺板12。所述的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)3使得工件W在加載/卸載位置P1鄰接抵靠掩模M，且升降機(jī)構(gòu)6提升所述的工件和掩模，同時所述的工件W和掩模M受所述的吸引機(jī)構(gòu)18，28吸引，之后所述的傳送機(jī)構(gòu)5將工件W和掩模M傳送到曝光位置P2。在曝光位置P2中，所述的透光板11和其上放置有已曝光的工件W的載物臺板12在吸引機(jī)構(gòu)18，28的吸引作用解除之后由所述的構(gòu)件16，26間接地支撐。所述的升降機(jī)構(gòu)6降低所述的工件W和掩模M，且之后所述的傳送機(jī)構(gòu)5將它們傳送至加載/卸載位置P1。因此，通過實際地拍攝掩模M和工件W的對準(zhǔn)標(biāo)記，實現(xiàn)所述的對準(zhǔn)操作。由于所述的構(gòu)件16，26以分離的方式支撐所述的載物臺板12，因此所述的載物臺板12總是被引導(dǎo)至基準(zhǔn)位置。
(6)當(dāng)所述的吸引機(jī)構(gòu)18，28的操作在曝光位置P2處解除時，用于放置已曝光的工件W的載物臺板12與所述的透光板11分離，并通過從所述構(gòu)件16，26的板支撐部分突出的引導(dǎo)裝置13，23被引導(dǎo)至預(yù)定的位置。因此，即使所述的載物臺板12在對準(zhǔn)操作的過程中移動，所述的對準(zhǔn)操作總是能從相同的支撐基準(zhǔn)位置開始。
(7)所述的傳送機(jī)構(gòu)5將第二工作臺20(第一工作臺10)傳送至加載/卸載位置P1。當(dāng)所述的擋板9a5鄰接抵靠所述的鄰接止擋9b1時，所述的透光板11沿所述的滑動凸起9a1滑動遠(yuǎn)離所述的構(gòu)件26(16)，以使所述的載物臺板12定位在加載/卸載位置P1準(zhǔn)備卸除所述的曝光工件W。因此，所述的已曝光的工件W在所述的加載/卸載位置易于被另一工件W替換。另外，所述的透光板引導(dǎo)裝置9C推動所述的透光板11直到所述的透光板沿滑動凸起9a1滑動且面對所述的載物臺板12，從而起到推動引導(dǎo)裝置的作用，用于沿工作臺的傳送方向連續(xù)地推動所述的透光板11。這樣大大簡化了透光板11的結(jié)構(gòu)。
(8)通過所述的傳送機(jī)構(gòu)5沿第一和第二傳送通道L1，L2傳送第一和第二工作臺10，20。由于所述的傳送滾筒14，24沿所述的引導(dǎo)軌道31，32可滑動且接合部分16a，26a可與所述的升降引導(dǎo)件7連接，所以能穩(wěn)定且可靠地傳送第一和第二工作臺10，20。另外，由于每個接合部分16a，26a沿所述的升降引導(dǎo)件7被提升或降低且所述的傳送滾筒14，24通過所述引導(dǎo)軌道31，32的切缺部分31a1，31a2被提升或降低，所述的曝光設(shè)備1的尺寸變小，因此所述的工作臺10，20從傳送通道L1，L2中的一個轉(zhuǎn)換到傳送通道L2，L1中的另一個。
(9)由于設(shè)置驅(qū)動帶5b和帶引導(dǎo)件5c作為傳送機(jī)構(gòu)5的驅(qū)動裝置，因此能簡化所述傳送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)并準(zhǔn)確且同步地傳送第一和第二工作臺10，20。
(10)升降機(jī)構(gòu)6的連接驅(qū)動裝置6a使所述的第一和第二連接件6c1，6c2繞第一和第二轉(zhuǎn)動中心桿6e1，6e2轉(zhuǎn)動一定角度。因此，提升或下降所述的第一和第二升降桿6f1，6f2以引導(dǎo)第一和第二工作臺10，20。這導(dǎo)致需要更小的安裝空間且可靠實現(xiàn)第一和第二工作臺10，20在第一和第二傳送通道L1，L2之間的轉(zhuǎn)換操作。
(11)在加載/卸載位置P1，工人可以將已曝光的工件W從載物臺板12上卸下并替換另一工件W，而不需要操作所述的透光板11。另外，由于以相同的高度實現(xiàn)對準(zhǔn)操作和曝光操作，因此可以提高相應(yīng)操作的準(zhǔn)確性以及減小工人的工作負(fù)擔(dān)。
(12)根據(jù)傳送掩模M和工件W的方法，沿環(huán)路傳送所述的掩模M和工件W。這樣可以有效地利用所述曝光設(shè)備1的有限的內(nèi)部空間并減小曝光設(shè)備1的尺寸大小。
權(quán)利要求
1.一種曝光設(shè)備，其包括第一工作臺和第二工作臺，每個工作臺都包括其上放置有工件的載物臺板，和事先安裝有掩模的透光板，所述的第一和第二工作臺輪流在加載/卸載位置和曝光位置之間傳送，其中在加載/卸載位置上工件被加載/卸載并與所述的掩模對準(zhǔn)，在曝光位置上對已對準(zhǔn)的工件和掩模進(jìn)行曝光；第一傳送通道和第二傳送通道，它們設(shè)置在所述的加載/卸載位置與所述曝光位置之間的不同高度處，其中所述的第一傳送通道輪流傳送所述的第一工作臺和第二工作臺，而所述的第二傳送通道輪流傳送所述的第二工作臺和第一工作臺；升降機(jī)構(gòu)，其將所述的第一和第二工作臺中的一個提升至所述的第一傳送通道，且將所述的第二和第一工作臺中的另一個下降至所述的第二傳送通道；傳送機(jī)構(gòu)，其沿所述的第一和第二傳送通道傳送由所述的升降機(jī)構(gòu)提升或下降的第一和第二工作臺，將所述工作臺中的一個從所述的加載/卸載位置傳送到曝光位置，且將其中的另一個從所述的曝光位置傳送到加載/卸載位置；對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，其使放置在被傳送到所述加載/卸載位置的工作臺中的一個上的工件與該掩模對準(zhǔn)；和光照射機(jī)構(gòu)，其發(fā)射光至放置在被傳送到所述曝光位置的工作臺的另一個上的工件。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的升降機(jī)構(gòu)通過升降引導(dǎo)裝置分別與所述的第一和第二工作臺接合，且其中所述的傳送機(jī)構(gòu)通過與所述的升降引導(dǎo)裝置可接合的驅(qū)動裝置來傳送所述的第一和第二工作臺。
3.如權(quán)利要求2所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的透光板包括板件，其允許光傳輸且其上設(shè)置有所述的掩模；相對于所述的工作臺從所述曝光位置至加載/卸載位置的傳送方向設(shè)置在所述板件的前側(cè)的前板支撐件；從所述的前板支撐件延伸的定位凸起；和與所述的前板支撐件相對且固定在所述工作臺上從而與所述板件的后側(cè)可接合的后板支撐件。
4.如權(quán)利要求3所述的曝光設(shè)備，其特征在于，在所述的加載/卸載位置設(shè)置鄰接件，其朝著所述的透光板的定位凸起的方向和遠(yuǎn)離所述的定位凸起的方向移動，且其中設(shè)置透光板引導(dǎo)裝置來推動所述透光板的后板支撐件，以使所述的定位凸起鄰接抵靠所述的鄰接件。
5.如權(quán)利要求4所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的第一和第二工作臺中的每一個都包括一構(gòu)件，其用于相對所述的透光板間接且相對地支撐所述的載物臺板；和用于吸引所述的工件來抵靠所述掩模的吸引機(jī)構(gòu)。
6 如權(quán)利要求5所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的構(gòu)件具有引導(dǎo)裝置，用于將所述的載物臺板保持于預(yù)定的位置。
7.如權(quán)利要求5所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的第一和第二工作臺中的每一個都包括透光板滑動機(jī)構(gòu)，其滑動地與設(shè)置在所述構(gòu)件上的滑動裝置接合，因此所述載物臺板對著所述的透光板可滑動。
8.如權(quán)利要求7所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的第一和第二工作臺中的每一個都包括一擋板，其相對于從所述曝光位置延伸至加載/卸載位置的第二傳送通道橫向延伸，且設(shè)置有鄰接止擋，以朝所述擋板的滑動軌跡的方向和遠(yuǎn)離所述擋板的滑動軌跡的方向移動。
9.如權(quán)利要求2至8中任一項權(quán)利要求所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的第一和第二工作臺中的每一個都設(shè)置有位于沿所述的第一和第二傳送通道延伸的其中一個側(cè)邊上的傳送滾筒，以及在另一側(cè)邊上的與所述的升降引導(dǎo)裝置可接合的接合部分，其中在所述第一和第二傳送通道的兩側(cè)設(shè)置有引導(dǎo)軌道，因此所述的傳送滾筒沿所述引導(dǎo)軌道移動，且其中第一傳送通道的每個引導(dǎo)軌道都包括一切缺部分，所述的傳送滾筒通過所述的切缺部分被提升和下降；和一輔助軌道，其可朝所述切缺部分的方向和遠(yuǎn)離該切缺部分的方向移動。
10.如權(quán)利要求9所述的曝光設(shè)備，其特征在于，所述的驅(qū)動裝置設(shè)置成環(huán)繞所述的加載/卸載位置和曝光位置且其包括一驅(qū)動帶，所述的驅(qū)動帶與第一和第二工作臺的升降引導(dǎo)裝置可接合并沿所述的第一和第二傳送通道傳送所述的第一和第二工作臺；和用于引導(dǎo)所述驅(qū)動帶的帶引導(dǎo)件。
11.如權(quán)利要求9所述的曝光設(shè)備，其特征在于，其還包括通過所述的升降引導(dǎo)裝置在所述的加載/卸載位置和曝光位置與第一工作臺可接合的第一升降桿；通過所述的升降引導(dǎo)裝置在所述的加載/卸載位置和曝光位置與第二工作臺可接合的第二升降桿；第一轉(zhuǎn)動中心桿，其通過一第一連接件與所述的第一升降桿連接，且其在通過所述的第一連接件提升或下降第一升降桿時作為轉(zhuǎn)動支點；第二轉(zhuǎn)動中心桿，通過一第二連接件與所述的第二升降桿連接，且其在通過所述的第二連接件下降或提升所述的第二升降桿時作為轉(zhuǎn)動支點，和用于轉(zhuǎn)動地且同步地移動所述的第一和第二連接件的連接驅(qū)動裝置。
12.一種傳送掩模和工件的方法，其中其上設(shè)置有掩模和工件的第一工作臺通過第一傳送通道從第一位置被傳送到第二位置，而其上設(shè)置有掩模和工件的第二工作臺通過第二傳送通道從所述的第二位置被傳送到所述的第一位置，所述方法包括下列步驟對準(zhǔn)處于所述的第一位置的所述的第一工作臺上的所述掩模和工件，而在所述的第二位置通過所述掩模對所述第二工作臺上的工件進(jìn)行曝光；和沿一環(huán)路以環(huán)形的方式傳送所述的第一和第二工作臺，所述的環(huán)路延伸穿過所述的第一和第二位置并包括所述的第一和第二傳送通道。
13.如權(quán)利要求12所述的傳送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一位置和第二位置是平行的。
14.如權(quán)利要求12所述的傳送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一傳送通道和第二傳送通道相互之間垂直地定位。
15.如權(quán)利要求14所述的傳送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的第一傳送通道設(shè)置在所述第二傳送通道的頂部。
16.如權(quán)利要求12所述的傳送掩模和工件的方法，其特征在于，所述的環(huán)路為矩形。
全文摘要
一種曝光設(shè)備，其包括設(shè)置在加載/卸載位置與曝光位置之間處于不同高度的第一傳送通道和第二傳送通道；第一和第二工作臺，其中之一設(shè)置在所述的加載/卸載位置，而另一個設(shè)置在所述的曝光位置；升降機(jī)構(gòu)，其將所述第一和第二工作臺的其中之一提升至所述的第一傳送通道，并將所述第二和第一工作臺中的另一個下降至所述的第二傳送通道；和傳送機(jī)構(gòu)，其分別將所述的第一和第二工作臺傳送至所述的加載/卸載位置和曝光位置。所述的第一和第二工作臺中的每一都具有其上設(shè)置有工件的載物臺板和事先安裝有掩模的透光板。
文檔編號G03F7/20GK1493925SQ0315685
公開日2004年5月5日 申請日期2003年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月10日
發(fā)明者森田亮, 中沢朗 申請人:株式會社Orc制作所