專利名稱：光調(diào)節(jié)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照明設(shè)備。
背景技術(shù)：
通常的光照明設(shè)備包括一適用于照明一光敏材料的裝置。這樣的材料可以包括例如印刷板、適合于快速原形(rapid prototyping)的材料、膠卷等。照明的目的是為了獲得該照明材料特性的某些改變。這樣的照明因此可以例如在該照明材料或一特定構(gòu)造上建立影像。
為了獲得所需要的照明，必須調(diào)節(jié)光。調(diào)節(jié)傳送到光照表面的光的一現(xiàn)有技術(shù)方法是運用一個或多個在光照表面上進(jìn)行掃描時能進(jìn)行調(diào)節(jié)的光束激光。
照明一光照表面的另一種更新的方法是運用一所謂的空間光調(diào)節(jié)器。這樣的調(diào)節(jié)器的示例可以是DMD、LCD等等。所述空間光調(diào)節(jié)器適用于將一輸入光束調(diào)節(jié)為許多單獨的已調(diào)節(jié)光束。
該現(xiàn)有技術(shù)的一個問題是，結(jié)合采用的光調(diào)節(jié)器的性質(zhì)與一些應(yīng)用中的所需能量和照明速度，可獲得的照明速度受到一些限制。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及一種包括至少一曝光頭和至少兩個光調(diào)節(jié)設(shè)備的光照明設(shè)備。
所述兩個光調(diào)節(jié)裝置的每一個各包括一個空間光調(diào)節(jié)器和一通過所述空間光調(diào)節(jié)器用于照明一光照表面而布置的聯(lián)合光發(fā)射器。
所述兩個光調(diào)節(jié)裝置的每一個均為數(shù)字控制。
所述設(shè)備包括在所述至少一曝光頭和所述光照表面之間沿至少一個方向進(jìn)行相對運動的裝置。
根據(jù)本發(fā)明已經(jīng)實現(xiàn)，一可動曝光頭可以有利地包括兩個空間光調(diào)節(jié)器，由此便于在同一時間利用兩個調(diào)節(jié)器進(jìn)行掃描。
在本發(fā)明的一實施例中，所述光照明設(shè)備包括至少一曝光頭和至少兩個光調(diào)節(jié)裝置。
所述兩光調(diào)節(jié)裝置的每一個各包括一個空間光調(diào)節(jié)器和一通過所述空間光調(diào)節(jié)器用于照明一光照表面而布置的聯(lián)合光發(fā)射器。
所述兩個光調(diào)節(jié)裝置的每一個均為數(shù)字控制。
所述設(shè)備包括在所述至少一曝光頭和所述光照表面之間沿至少一個方向進(jìn)行相對運動的裝置。
在本發(fā)明的一實施例中，所述至少兩個光調(diào)節(jié)裝置布置在同一曝光頭上。
在本發(fā)明的一實施例中，所述相對運動為一掃描運動。
在本發(fā)明的一實施例中，通過相對于所述光照表面移動所述至少一個曝光頭來實現(xiàn)所述相對運動。
在本發(fā)明的一實施例中，通過相對于所述至少一個曝光頭移動所述光照表面來實現(xiàn)所述相對運動。
在本發(fā)明的一實施例中，至少一個曝光頭包括兩光調(diào)節(jié)裝置。因此，通過在一個曝光頭上設(shè)置兩個空間光調(diào)節(jié)裝置的方式建立了一有成本效益的照明光照表面的方法，從而獲得了以相對高速掃描運動照明所述光照表面的照明裝置。在上下文中注意的是，當(dāng)所述運動裝置的重量增加時，操作一曝光頭可能有一定難度。
在本發(fā)明的一實施例中，通過相對于所述至少一個曝光頭移動所述光照表面來實現(xiàn)所述相對運動。
在本發(fā)明的一實施例中，至少一個曝光頭包括兩光調(diào)節(jié)裝置。
在本發(fā)明的一實施例中，所述光調(diào)節(jié)裝置布置在至少兩個不同的曝光頭上，其中，所述曝光頭在所述光照表面上進(jìn)行掃描運動。當(dāng)運用兩個或更多的自由運行掃描曝光頭時，對所述光照表面的照明可以謹(jǐn)慎地最優(yōu)化，從而避免了所謂的“額外掃描”。原則上講，由于所述曝光頭進(jìn)行的掃描可以適應(yīng)以避免在所運用的曝光頭之間的任何沖突的運動，因此，可以避免任何多余的掃描或至少使其最小化。由于這樣的掃描運動確保一高速照明，而所述自由運行頭確保了如上所述的光照表面的照明最優(yōu)化，因此，多個自由運行曝光頭通過掃描來照明一光照表面在效率上是相當(dāng)有優(yōu)勢的。
根據(jù)上述自由運行曝光頭的又一個實施例，其數(shù)量可以超過兩個，例如總數(shù)為三個或更多。而且，每個曝光頭可以例如包括兩個或更多的例如圖2所描述的類型的照明裝置。
當(dāng)布置所述空間光調(diào)節(jié)器以照明兩個大體上分開的所述光照表面的子區(qū)域時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述空間光調(diào)節(jié)裝置對正使得兩個光調(diào)節(jié)器的行平行定向時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述空間光調(diào)節(jié)裝置對正使得所述兩空間光調(diào)節(jié)器的相鄰行大體上定位，以使得所述兩空間光調(diào)節(jié)器的兩相鄰行之間的距離(DN)大體上與單一光調(diào)整器的行之間的距離(DR)相同，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述兩空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離的“x向投影”(D1)小于200毫米，優(yōu)選小于150毫米，更優(yōu)選大致為120毫米時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述兩空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離的“y向投影”(D2)小于50毫米，優(yōu)選小于35毫米，更優(yōu)選是運用SXGA和XGA時大體上相應(yīng)為25.6毫米或20.5毫米時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述兩空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離小于121.73毫米(XGA)或122.70(SXGA)時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
根據(jù)本發(fā)明可以認(rèn)識到，所述光調(diào)節(jié)裝置相當(dāng)近的定位便于提高全面掃描的速度從而使有效掃描區(qū)域最優(yōu)化。因此距離最小化的結(jié)果是，在掃描線的末端，所述曝光頭的兩空間光調(diào)節(jié)器盡可能長地維持有效。
當(dāng)所述曝光頭包括冷卻裝置時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
冷卻裝置可以例如包括電驅(qū)動風(fēng)扇。
當(dāng)每個空間光調(diào)節(jié)裝置各包括獨立的冷卻裝置時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述大體上分離的子區(qū)域包括所述光照表面的鄰接表面時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述至少一個方向大體上橫向于所述光照表面的相對運動時，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述至少一個方向確立為利用所述空間光調(diào)節(jié)器至少兩個光調(diào)節(jié)器照明所述光照表面上的一個受照像素，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述至少一個方向確立為利用所述空間光調(diào)節(jié)器至少一個調(diào)節(jié)器行照明所述光照表面上的一個受照像素，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述曝光頭相對所述光照表面沿至少兩個方向可動，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光發(fā)射器包括一光源，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光發(fā)射器包括連接到一光源的一光導(dǎo)之至少一個光發(fā)射端，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光發(fā)射器包括一燈泡，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光發(fā)射器包括一LED矩陣，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述空間光調(diào)節(jié)器包括一DMD芯片，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
所述照明裝置的空間光調(diào)節(jié)陣列可以是一可傳送的微機(jī)械快門陣列(transmissive micro-mechanical shutter array)，其在WO98 47048和WO9847042中得到公開并在此作為參考。
另一類型的空間調(diào)節(jié)器可以是DMD調(diào)節(jié)器或例如是LCD光調(diào)節(jié)器。
當(dāng)所述空間光調(diào)節(jié)器包括一微機(jī)械可傳送光調(diào)節(jié)器(micro-mechanical transmissive light modulator)，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光照表面包括一印刷板，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。
當(dāng)所述光照表面包括一光敏材料，例如環(huán)氧樹脂，就得到本發(fā)明的一個有利實施例。還可以采用在本發(fā)明范圍內(nèi)的其它光敏材料，例如，絲網(wǎng)印刷用的感光乳劑、PCB感光乳劑，等等。
根據(jù)本發(fā)明，所述照明裝置可以適用于所謂的快速原形(rapidprototyping)。
而且，本發(fā)明涉及一種照明一光照表面的方法，藉此，在至少一個曝光頭上布置至少兩個光調(diào)節(jié)裝置，每一個各包括一利用掃描運動照明所述光照表面的空間光調(diào)節(jié)器。
在本發(fā)明一實施例中，所述至少兩光調(diào)節(jié)裝置布置在同一曝光頭上。
在本發(fā)明一實施例中，所述至少兩光調(diào)節(jié)裝置布置在不同的自由運行曝光頭上。
在本發(fā)明一實施例中，利用根據(jù)權(quán)利要求1-31中任何一項所述的一光照明設(shè)備進(jìn)行所述照明。


以下將參照附圖對發(fā)明進(jìn)行描述，其中，圖1示出根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例的曝光系統(tǒng)的視圖；圖2示出根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例的照明裝置的剖視圖；圖3a示出了一曝光頭相對一光照表面的一種掃描模式；以及圖3b示出了一曝光頭相對一光照表面的另一種掃描模式；圖4a示出了在所述曝光頭上的照明裝置的一有利定位；以及圖4b-4c示出了本發(fā)明的進(jìn)一步實施例。
具體實施例圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一優(yōu)選實施例的曝光系統(tǒng)的一些主要元件的視圖。
圖示的系統(tǒng)包括一具有兩個用于照明一光照表面15的照明裝置20的曝光頭12。所述曝光頭12懸掛在一懸架(未示出)上。所述懸架在適用的電子線路(未示出)的控制下輔助按箭頭方向的運動。
為了說明目的，通過布置在照明裝置20上的空間光調(diào)節(jié)器(例如DMD芯片)進(jìn)行照明的兩照明區(qū)域I1、I2在光照表面上指明。舉例來說，如果使用TI DMD芯片，所述照明區(qū)域I1，I2可以包括例如1024×768(XGA)像素或者1280×1024像素(SXGA)。如果采用掃描運動，經(jīng)調(diào)整的像素將會從行到行(或列到列)動態(tài)地轉(zhuǎn)換，從而采用若干個像素(例如空間光調(diào)節(jié)器的一整行)來照明所述光照表面上的單個像素。因此，對單一像素傳送的光學(xué)能量增大。
根據(jù)圖解的實施例，所述曝光頭在X方向上移動，所述光照表面15在Y方向上步進(jìn)式移動。
顯然，在本發(fā)明的范圍內(nèi)也可以采用其它相對移動方式。本發(fā)明另一有利的實施例可以是，例如，所述曝光頭12在X向和Y向雙向相對移動而所述光照表面保持靜止。
所述照明裝置的空間光調(diào)節(jié)陣列可以是一可傳送的微機(jī)械快門陣列(transmissive micro-mechanical shutter array)，其在WO98 47048和WO9847042中得到公開并在此作為參考。
空間調(diào)節(jié)器的另一類型可以是DMD調(diào)節(jié)器。
圖2示出了圖1中所述光調(diào)節(jié)裝置20之一的優(yōu)選實施例。所述裝置20的第一部分21產(chǎn)生一集中和均勻的光束。第一部分21包括一燈泡210、一燈泡驅(qū)動器211、一鼓風(fēng)機(jī)216和一風(fēng)扇217、一防護(hù)玻璃212、一快門213、一光匯集桿214和光束成形光學(xué)裝置215。
所述燈泡210的類型取決于將要曝光的板的類型。可能的類型包括常規(guī)的短弧燈泡、激光源、二極管陣列和更多。一優(yōu)選的常規(guī)燈泡可以具有270W的功率，但是本發(fā)明不受該值的限定，也不受上述燈泡類型的限定?？梢钥紤]如250W和350W的替換物。
來自所述燈泡210的光束穿過一濾光器(取決于應(yīng)用場合可以是例如IR或UV濾光器)212，其功能為干涉濾光器，并穿過一快門機(jī)械裝置213，其能關(guān)閉所述光束而不需要關(guān)閉所述燈泡。由于多數(shù)類型的燈泡在它們的光強(qiáng)度和光頻率穩(wěn)定之前均需要時間，因此這是重要的。鼓風(fēng)機(jī)216和風(fēng)扇217確保所述燈泡210的冷卻。
接著，所述光束穿過一光匯集桿214。籍此，所述光混合，使得所述光在整個光束中強(qiáng)度一致。這確保了光束外圍的強(qiáng)度與光束中心的強(qiáng)度一致。當(dāng)所述光離開所述光匯集桿214，由光束成形光學(xué)裝置215對其進(jìn)行聚焦。
所述裝置20的下一部分調(diào)節(jié)所述光束來電子反射存儲的圖像數(shù)據(jù)。其包括一光調(diào)節(jié)裝置22和一個把未調(diào)節(jié)的光束引導(dǎo)到所述光調(diào)節(jié)裝置22而不干擾其已調(diào)節(jié)光束的輸出的裝置224。
合適的光調(diào)節(jié)裝置22包括DMD調(diào)節(jié)器、包含LCD和微機(jī)械快門的可傳送的快門和其它。對圖2中的優(yōu)選實施例而言，使用了安裝在PCB221上的DMD光調(diào)制芯片220和冷卻板222以及溫度傳感器223。
所述光引導(dǎo)裝置224取決于所使用的光調(diào)節(jié)裝置22的類型。對可傳送的光調(diào)節(jié)裝置而言，未調(diào)節(jié)的光束被導(dǎo)向所述光調(diào)節(jié)裝置的一側(cè)，而已調(diào)節(jié)的光束從另一側(cè)射出。在這種裝置中，可以不使用所述光引導(dǎo)裝置224。
對DMD調(diào)節(jié)器而言，未調(diào)節(jié)的光束被導(dǎo)向與發(fā)射已調(diào)節(jié)光束相同的一點。這種情況需要使用光引導(dǎo)裝置224。在圖2的優(yōu)選實施例中，一TIR棱鏡作為光引導(dǎo)裝置使用。TIR是“Total Internal Reflection”(全內(nèi)反射)的縮寫。TIR棱鏡具有一表面225，該表面對來自一個方向的光(對本具體實施例而言是從左邊)充當(dāng)鏡子的作用，而讓來自另一方向的光(對本具體實施例而言是從上邊)筆直穿過。
所述裝置的最終部分聚焦從所述光調(diào)節(jié)裝置220中射出的多個已調(diào)節(jié)光束于一光照表面24(印刷板)。該部分包括一組透鏡/一位于外殼23內(nèi)的微距鏡230。
圖3a示出了有關(guān)照明的曝光頭掃描模式。
通過本發(fā)明的光照明裝置，例如圖2所描述的照明裝置，獲得的圖示掃描模式涉及一曝光頭30a的兩照明裝置31、32進(jìn)行相對一光照表面的相對移動。兩照明裝置31、32設(shè)置在同一個曝光頭30a上。
圖示的其中一個照明裝置31照明子區(qū)域SUB1，另一個照明裝置32照明子區(qū)域SUB2。
應(yīng)當(dāng)注意的是所述曝光頭30a通過已調(diào)節(jié)光在兩個方向上照明所述光照表面，包括在如水平箭頭所示的掃描運動和如豎直箭頭所示的以步階301在每個掃描運動之間的移動。
在這里，所述y軸運動是由兩光照明裝置一起以對應(yīng)于整個橫向掃描寬度的步階方式進(jìn)行。
圖3b示出了關(guān)于光照表面的曝光頭30b的另一個的掃描模式。
根據(jù)本發(fā)明圖示的實施例，一曝光頭30b包括兩個空間光調(diào)節(jié)器31、32(未示出帶有空間調(diào)節(jié)器的照明裝置)。所應(yīng)用的照明裝置31、32兩者均可以是如圖2中所示的照明裝置。根據(jù)圖示的實施例，設(shè)置僅在Y方向上位移的兩個空間光調(diào)節(jié)器31、32(或者圖1中的對應(yīng)光照表面I1、I2)。
所述曝光頭30b進(jìn)行X方向上的前后掃描運動。而且，所述光照表面或所述曝光頭進(jìn)行主要包括兩個不同步階(小步階302和大步階303)的在Y方向上的相對運動。
根據(jù)圖示的實施例，通過進(jìn)行所述小步階302照明八個子區(qū)域SUB1和八個子區(qū)域SUB2。其后，進(jìn)行一大步階303，通過進(jìn)一步進(jìn)行小步階302照明新的一組子區(qū)域SUB1和SUB2。
應(yīng)當(dāng)強(qiáng)調(diào)的是一些其它的掃描方法(模式)可以在本發(fā)明的范圍中應(yīng)用。
圖4a說明了在例如圖3a中所述曝光頭上的所述照明裝置(這里＝光學(xué)裝置)的一具有優(yōu)勢的定位。所述照明裝置20，例如可以是圖2中說明的一個，用虛線示出。
所述光學(xué)裝置的尺寸對機(jī)器的生產(chǎn)率和成本而言是相當(dāng)重要的。所述曝光頭的兩個照明裝置20布置的位置使可獲得的照明區(qū)域在y軸(不要與掃描和調(diào)節(jié)器的軸線混淆)的方向相鄰。這意味著，在x軸方向上所述光學(xué)裝置之間存在中心距，參見圖4a。
所述裝置之間在x軸方向上的相互距離意味著，需要比實際的板長度更長的曝光以使得所述兩曝光頭經(jīng)過整個板(光照表面)。這種多余的“額外掃描”是中心距D1的兩倍。該額外掃描降低了生產(chǎn)率，并且增加了x向位移從而增加了機(jī)器的寬度。因此所述中心距必須盡可能的小。例如，一種最小距離的示例可以是中心距，x軸D1＝120mm中心距，y軸D2＝(XGA)20.48±0.002mm和D2(SXGA)＝25.6±0.002mm該下限值通過光學(xué)裝置和例如圖2中的微距鏡230的進(jìn)一步照明裝置元件確定。一固定裝置(未示出)允許單獨調(diào)整所述光學(xué)裝置的照明面，即在x軸和y軸的調(diào)整和繞z軸的旋轉(zhuǎn)。這意味著，圖像必須精確平行于所述微距鏡外殼的凸緣以使得兩圖像在同一平面上。外殼的凸緣用于在z向?qū)⑼鈿す潭ǖ剿龉潭ㄑb置上。所述邊緣的底部限定焦點以使得所述光學(xué)裝置能抵靠一平坦表面安裝并因此在同一平面上具有焦點。
圖4b示出了本發(fā)明的進(jìn)一步實施例，其中，裝置包括四個安裝在一曝光頭50上的例如圖2所示類型的光調(diào)節(jié)裝置53、54、55、56。
由于安裝在同一曝光頭上，所述四個光調(diào)節(jié)裝置53、54、55和56一起運動?？梢杂脦追N不同的方法依照例如圖3a中說明的原理方便的進(jìn)行掃描。
圖4c說明了本發(fā)明的進(jìn)一步實施例，其中，裝置包括兩個例如圖2所示類型的光調(diào)節(jié)裝置62、63。
本發(fā)明說明的實施例具有這樣的優(yōu)勢當(dāng)例如以圖示的箭頭方向進(jìn)行掃描時能使照明謹(jǐn)慎地對所述光照表面最優(yōu)化，從而避免了上述的“額外掃描”。原則上講，由于可以改進(jìn)由曝光頭60、61進(jìn)行的掃描以避免在所述使用的曝光頭60、61之間的任何相沖突的運動，因此可以避免任何多余的掃描。
由于以此方式的掃描動作確保了高速照明，而同時自由運行曝光頭確保了如上所述的照明區(qū)域照明可以最優(yōu)化這一事實，因此，所說明的實施例，其特征是多個自由運行曝光頭通過掃描照明一光照表面，在效率方面具有相當(dāng)優(yōu)勢。
顯然，可以修改圖4c的實施例以進(jìn)一步整合入例如總體上為3個或更多的照明頭。
權(quán)利要求
1.一種包括至少一個曝光頭(12)和至少兩個光調(diào)節(jié)裝置(20)的光照明設(shè)備，所述兩光調(diào)節(jié)裝置(20)的每一個各包括一空間光調(diào)節(jié)器(31、32)和一通過所述空間光調(diào)節(jié)器(31、32)為照明一光照表面(15)而布置的聯(lián)合的光發(fā)射器，所述兩光調(diào)節(jié)裝置(20)的每一個均為數(shù)字式控制，所述設(shè)備包括在所述至少一個曝光頭和所述光照表面(15)之間沿至少一個方向(x；y)進(jìn)行相對運動的裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照明設(shè)備，其中，所述至少兩個光調(diào)節(jié)裝置布置在同一曝光頭(12)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光照明設(shè)備，其中，所述相對運動為一掃描運動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，通過相對于所述光照表面(15)移動所述至少一個曝光頭(12)來形成所述相對運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，通過相對于所述至少一個曝光頭(12)移動所述光照表面(15)來形成所述相對運動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，至少一個曝光頭(12)包括兩個光調(diào)節(jié)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光調(diào)節(jié)裝置布置在至少兩個不同的曝光頭(60、61)上，所述曝光頭(60、61)在所述光照表面上進(jìn)行掃描運動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，布置所述空間光調(diào)節(jié)器以照明所述光照表面(15)的至少兩個大致分開的子區(qū)域(SUB1、SUB2)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，對正所述空間光調(diào)節(jié)裝置(31、32)以使得兩光調(diào)節(jié)器的平行定向。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，對正所述空間光調(diào)節(jié)裝置(20)以使得所述至少兩空間光調(diào)節(jié)器的相鄰行大致定位成使在所述至少兩空間光調(diào)節(jié)器的至少兩相鄰行之間的距離(DN)與在所述單個光調(diào)節(jié)器的行之間的距離(DR)大致相等。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述至少兩個空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離的“x向投影”(D1)小于200毫米，優(yōu)選小于150毫米，更優(yōu)選為大致120毫米。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述兩個空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離的“y向投影”(D2)小于50毫米，優(yōu)選小于35毫米，當(dāng)分別使用SXGA和XGA時，更優(yōu)選的相應(yīng)大致是25.6毫米或20.5毫米。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，當(dāng)分別使用SXGA和XGA時，所述兩個空間光調(diào)節(jié)器中心之間的距離優(yōu)選相應(yīng)是122.7毫米或121.73毫米。
14.根據(jù)權(quán)利要求1至13中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述曝光頭包括冷卻裝置(216、217)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，每個空間光調(diào)節(jié)裝置包括單獨的冷卻裝置(216、217)。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述大體上分離的子區(qū)域(SUB1、SUB2)包括所述光照表面(15)的鄰接表面。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至16中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述至少一個方向大體上橫向于所述光照表面(15)的相對移動。
18.根據(jù)權(quán)利要求1至17中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述至少一個方向確立為利用所述空間光調(diào)節(jié)器之至少兩個光調(diào)節(jié)器來照明所述光照表面上的一個受照像素。
19.根據(jù)權(quán)利要求1至18中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述至少一個方向確立為利用所述空間光調(diào)節(jié)器之至少一個調(diào)節(jié)器行來照明所述光照表面上的一個受照像素。
20.根據(jù)權(quán)利要求1至19中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述曝光頭相對所述光照表面在至少兩個方向可動。
21.根據(jù)權(quán)利要求1至20中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光發(fā)射器包括一光源(210)。
22.根據(jù)權(quán)利要求1至21中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光發(fā)射器包括連接到一光源的一光導(dǎo)之至少一個光發(fā)射端。
23.根據(jù)權(quán)利要求1至22中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光發(fā)射器包括一燈泡。
24.根據(jù)權(quán)利要求1至23中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光發(fā)射器包括一LED矩陣。
25.根據(jù)權(quán)利要求1至24中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述空間光調(diào)節(jié)器包括一DMD芯片。
26.根據(jù)權(quán)利要求1至25任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述空間光調(diào)節(jié)器包括一微機(jī)械可傳送光調(diào)節(jié)器。
27.根據(jù)權(quán)利要求1至26中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光照表面包括一印刷板。
28.根據(jù)權(quán)利要求1至27中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述光照表面包括一光敏材料。
29.根據(jù)權(quán)利要求1至28中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述曝光頭適用于在兩橫向方向進(jìn)行正反向掃描。
30.根據(jù)權(quán)利要求1至29中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述空間光調(diào)節(jié)裝置中心之間x方向上小于150毫米，優(yōu)選小于121毫米。
31.根據(jù)權(quán)利要求1至30中任何一項所述的光照明設(shè)備，其中，所述空間光調(diào)節(jié)裝置中心之間x方向上基本上為0(零)。
32.一種照明一光照表面(15)的方法，其中，在至少一個曝光頭上布置至少兩個光調(diào)節(jié)裝置(20)，每一個各包括一個通過掃描運動照明所述光照表面(15)的空間光調(diào)節(jié)器(31、32)。
33.根據(jù)權(quán)利要求32所述的照明一光照表面的方法，其中，所述至少兩個光調(diào)節(jié)裝置(31、32)布置在同一曝光頭(30a)上。
34.根據(jù)權(quán)利要求32所述的照明一光照表面的方法，其中，所述至少兩光調(diào)節(jié)裝置(62、63)布置在不同的自由運行曝光頭(60、61)上。
35.照明一光照表面的方法，其中，利用根據(jù)權(quán)利要求1-31中任何一項所述的一光照明設(shè)備進(jìn)行所述照明。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種包括至少一曝光頭(12)和至少兩個光調(diào)節(jié)裝置(20)的光照明裝置。所述兩光調(diào)節(jié)裝置(20)的每一個包括一空間光調(diào)節(jié)器(31、32)和一通過所述空間光調(diào)節(jié)器(31、32)為照明一光照表面(15)布置的聯(lián)合光發(fā)射器。所述兩光調(diào)節(jié)裝置(20)的每一個均為數(shù)字控制。所述設(shè)備包括在所述至少一曝光頭和所述光照表面(15)之間沿至少一個方向(x；y)進(jìn)行相對運動的裝置。
文檔編號G03F7/20GK1646968SQ03807789
公開日2005年7月27日 申請日期2003年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月9日
發(fā)明者亨里克·格倫特-馬德森 申請人:迪康公司