專利名稱：:偏振光照射裝置的制造方法【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種偏振光照射裝置。實(shí)施方式的偏振光照射裝置包括：照射部，沿第1方向延伸，且具有照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光的光源；濾波器部，具有使規(guī)定波長的光透射的濾波器，且設(shè)置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第1基臺(tái)、第1偏振元件及第1移動(dòng)部，且設(shè)置在所述濾波器部的下方，所述第1偏振元件設(shè)置于所述第1基臺(tái)且與所述濾波器相對(duì)，所述第1移動(dòng)部使所述第1基臺(tái)朝所述第1方向移動(dòng)。所述第1移動(dòng)部維持所述第1基臺(tái)在與所述第1方向正交的第2方向、及在與所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。所述偏振光照射裝置能夠提高偏振元件更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，并能夠抑制偏振軸偏離的發(fā)生?！緦＠f明】偏振光照射裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
[0001]本實(shí)用新型的實(shí)施方式涉及一種偏振光照射裝置。【
背景技術(shù)：
】[0002]在對(duì)液晶顯示元件的取向膜或視角補(bǔ)償薄膜(film)的取向膜等實(shí)施取向處理時(shí)，要對(duì)取向膜照射規(guī)定波長的偏振光。[0003]此種取向處理方法被稱作光取向法。[0004]一般而言，取向膜材料的靈敏度波長為254nm、313nm、365nm0[0005]此時(shí)，具有包含氧化鈦的線狀體的線柵(wiregrid)型偏振元件對(duì)于具有254nm附近的波長的光，具有良好的偏振性能。具有包含鋁的線狀體的線柵型偏振元件對(duì)于具有300nm附近的波長的光，具有良好的偏振性能。[0006]但是，具有包含氧化鈦的線狀體的線柵型偏振元件對(duì)于具有300nm以上的波長的光，偏振性能變差。具有包含鋁的線狀體的線柵型偏振元件對(duì)于具有300nm以下的波長的光，偏振性能變差。[0007]因此，當(dāng)使用這些偏振元件時(shí)，需要用于限制波長范圍的濾波器(filter)。[0008]而且，作為光源的萊燈是照射254nm?365nm的波長的光。封入有萊與各種金屬的金屬鹵化物燈被用于想要使365nm附近的波長的光增大的情況下。[0009]因此，當(dāng)在相同的偏振光照射裝置中對(duì)靈敏度波長不同的取向膜進(jìn)行取向處理時(shí)，有時(shí)必須更換偏振元件、濾波器及光源中的至少任一者。[0010]偏振元件、濾波器及光源的更換需要時(shí)間。[0011]因此，提出有一種技術(shù)，S卩:從偏振光照射裝置中拉出設(shè)置有多個(gè)偏振元件的偏振單元。[0012]但是，若簡單地從偏振光照射裝置拉出偏振單元，則有可能會(huì)因上下左右方向的晃動(dòng)而發(fā)生偏振軸偏尚。[0013]若發(fā)生偏振軸偏離，則再調(diào)整需要很多的時(shí)間。[0014]因此，期望開發(fā)出一種技術(shù)，能夠提高偏振元件更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，并能夠抑制偏振軸偏尚的發(fā)生。[0015]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)[0016]專利文獻(xiàn)[0017]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2013-218197號(hào)公報(bào)【
實(shí)用新型內(nèi)容】[0018][實(shí)用新型所要解決的問題][0019]本實(shí)用新型所要解決的問題在于提供一種偏振光照射裝置，能夠提高偏振元件更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，并能夠抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0020][解決問題的技術(shù)手段][0021]實(shí)施方式的偏振光照射裝置包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光的光源;濾波器部，具有使規(guī)定波長的光透射的濾波器，且設(shè)置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基臺(tái)、第I偏振元件及第I移動(dòng)部，且設(shè)置在所述濾波器部的下方，所述第I偏振元件設(shè)置于所述第I基臺(tái)且與所述濾波器相對(duì)，所述第I移動(dòng)部使所述第I基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0022]所述第I移動(dòng)部維持所述第I基臺(tái)在與所述第I方向正交的第2方向、及在與所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。[0023]實(shí)施方式的偏振光照射裝置中，所述偏振部還可包括固定部，所述固定部對(duì)所述第I基臺(tái)在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置進(jìn)行固定。[0024]實(shí)施方式的偏振光照射裝置中，所述照射部還可包括:第2基臺(tái)，設(shè)置有所述光源；以及第2移動(dòng)部，使所述第2基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0025]實(shí)施方式的偏振光照射裝置中，所述濾波器部還可包括:第3基臺(tái)，設(shè)置有所述濾波器;以及第3移動(dòng)部，使所述第3基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0026]實(shí)施方式的偏振光照射裝置還可包括:第2偏振元件，使透射過所述第I偏振元件的光入射;第4移動(dòng)部，使所述第2偏振元件朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)；以及檢測部，接收透射過所述第2偏振元件的光，并輸出與接收的光的光量相應(yīng)的電信號(hào)，所述偏振光照射裝置還包括:偏振光測定部，設(shè)置在所述偏振部的下方。[0027]實(shí)施方式的偏振光照射裝置中，所述第I偏振元件可以是使波長為240nm以上且400nm以下的光偏振的線柵型偏振元件。[0028]實(shí)施方式的偏振光照射裝置中，所述第I偏振元件可具有線狀體，所述線狀體可包含選自由鉻(Cr)、鋁(Al)、鉬硅合金(MoSix)及硅(Si)所構(gòu)成的群組中的至少一種。[0029](實(shí)用新型的效果)[0030]根據(jù)本實(shí)用新型的實(shí)施方式，可提供一種偏振光照射裝置，能夠提高偏振元件更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，并能夠抑制偏振軸偏離的發(fā)生?！靖綀D說明】[0031]圖1是用于例示本實(shí)施方式的偏振光照射裝置I的示意立體圖。[0032]圖2(a)是圖1中的A部的示意圖。圖2(b)是用于例示另一實(shí)施方式的偏振部2的示意剖面圖。[0033]圖3是圖2(a)中的B-B線剖面圖。[0034]圖4是用于例示另一實(shí)施方式的偏振光測定部16的示意立體圖。[0035]圖5是用于對(duì)偏振光照射裝置I生成偏振光Lp、及偏振光測定部6測定偏振光Lp的偏振方向的情況進(jìn)行例示的示意立體圖。[0036][符號(hào)的說明][0037]1:偏振光照射裝置[0038]2、61:偏振部[0039]3:濾波器部[0040]4:照射部[0041]5:搬送部[0042]6:偏振光測定部[0043]7、65:控制部[0044]16:偏振光測定部[0045]21、61a:偏振元件[0046]22:框部[0047]22a、22b、23al:凹部[0048]22c:中心線[0049]23:基部[0050]23a、33、43:基臺(tái)[0051]23b:支撐部[0052]23c:彈性部[0053]23cl、23dl、61b:保持部[0054]23c2:盤簧[0055]23d:調(diào)整部[0056]23d2:突出部[0057]24、34、44、61。、63、64、163:移動(dòng)部[0058]24a、34a、44a:輥[0059]24b、24c、34b、44b:導(dǎo)軌[0060]25:固定部[0061]31:濾波器[0062]32、42:反射部[0063]41:光源[0064]62、62a?62c:檢測部[0065]200:處理物[0066]A:部[0067]B、C、X、Y、Z:方向[0068]D:突出長度[0069]L:光[0070]Lp:偏振光[0071]Lpp:偏振光[0072]α:斜率/角度【具體實(shí)施方式】[0073]實(shí)施方式的實(shí)用新型是一種偏振光照射裝置，其包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光的光源;濾波器部，具有使規(guī)定波長的光透射的濾波器，且設(shè)置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基臺(tái)、第I偏振元件及第I移動(dòng)部，且設(shè)置在所述濾波器部的下方，所述第I偏振元件設(shè)置于所述第I基臺(tái)且與所述濾波器相對(duì)，所述第I移動(dòng)部使所述第I基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0074]所述第I移動(dòng)部維持所述第I基臺(tái)在與所述第I方向正交的第2方向、及在與所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。[0075]根據(jù)該偏振光照射裝置，能夠提高第I偏振元件的更換作業(yè)及第I偏振元件的調(diào)整作業(yè)時(shí)的作業(yè)性，并能夠抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0076]而且，所述偏振部能夠還包括固定部，所述固定部對(duì)所述第I基臺(tái)在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置進(jìn)行固定。[0077]這樣，能夠進(jìn)一步抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0078]而且，所述照射部能夠還包括:第2基臺(tái)，設(shè)置有所述光源；以及第2移動(dòng)部，使所述第2基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0079]這樣，能夠提高光源更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0080]而且，所述濾波器部能夠還包括:第3基臺(tái)，設(shè)置有所述濾波器；以及第3移動(dòng)部，使所述第3基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。[0081]這樣，能夠提高濾波器更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0082]而且，所述偏振光照射裝置能夠包括:第2偏振元件，使透射過所述第I偏振元件的光入射;第4移動(dòng)部，使所述第2偏振元件朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)；以及檢測部，接收透射過所述第2偏振元件的光，并輸出與所述接收的光的光量相應(yīng)的電信號(hào)，所述偏振光照射裝置能夠還包括:偏振光測定部，設(shè)置在所述偏振部的下方。[0083]這樣，能夠提高第I偏振元件的調(diào)整精度。[0084]而且，所述第I偏振元件能夠采用使波長為240nm以上且400nm以下的光偏振的線柵型偏振元件。[0085]這樣，在進(jìn)行靈敏度波長不同的取向膜的處理時(shí)，不再需要更換第I偏振元件。[0086]而且，所述第I偏振元件能夠具有線狀體，所述線狀體包含選自由鉻(Cr)、鋁(Al)、鉬硅合金(MoSix)及硅(Si)所構(gòu)成的群組中的至少一種。[0087]這樣，在進(jìn)行靈敏度波長不同的取向膜的處理時(shí)，能夠減少更換第I偏振元件的頻率。[0088]以下，參照附圖來對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行例示。另外，各附圖中，對(duì)于同樣的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的符號(hào)，并適當(dāng)省略詳細(xì)說明。[0089]另外，圖中的箭頭X、Y、Z表示彼此正交的X方向(相當(dāng)于第2方向的一例)、Y方向(相當(dāng)于第I方向的一例)及Z方向(相當(dāng)于第3方向的一例)。[0090]而且，處理物200例如可設(shè)為液晶顯示元件或視角補(bǔ)償薄膜等具有取向膜者。[0091]但是，處理物200并不限定于例示者，只要是可通過光取向法來實(shí)施取向處理的處理物即可。[0092]圖1是用于例示本實(shí)施方式的偏振光照射裝置I的示意立體圖。[0093]圖2(a)是圖1中的A部的示意圖。圖2(b)是用于例示另一實(shí)施方式的偏振部2的示意剖面圖。[0094]圖3是圖2(a)中的B-B線剖面圖。[0095]如圖1及圖2(a)所示，在偏振光照射裝置I中，設(shè)置有偏振部2、濾波器部3、照射部4、搬送部5、偏振光測定部6及控制部7。[0096]如圖2(a)及圖3所示，偏振部2具有偏振元件21(相當(dāng)于第I偏振元件的一例)、框部22、基部23、移動(dòng)部24(相當(dāng)于第I移動(dòng)部的一例)及固定部25。[0097]偏振元件21使從光源41照射的光成為具備特定偏振方向的偏振光Lp。[0098]偏振元件21例如可采用線柵型偏振元件。[0099]偏振元件21例如可采用如下所述的偏振元件，S卩，其具有:包含石英等的基板；以及多個(gè)直線狀的線狀體，以呈彼此平行的方式設(shè)置于基板上。[0100]此時(shí)，多個(gè)線狀體是等間隔地設(shè)置。線狀體的間距尺寸(pitchsize)可設(shè)為所入射的光的波長以下。線狀體的間距尺寸優(yōu)選設(shè)為所入射的光的波長的1/3以下。[0101]線狀體的材料例如可采用包含鉻(Cr)或鋁(Al)等金屬、鉬硅合金(MoSix)或非晶娃(amorphoussilicon)(a_Si)等含娃(Si)的材料等。[0102]此處，偏振元件21優(yōu)選采用在盡可能廣的波長區(qū)域內(nèi)具有良好的偏振性能的偏振元件。[0103]如后所述，從光源41照射出波長處于紫外線波長區(qū)域(例如200nm以上且400nm以下的波長區(qū)域)內(nèi)的光。[0104]因此，當(dāng)使用使波長為450nm以下的光透射的濾波器31時(shí)，優(yōu)選采用具有包含非晶娃(a-Si)等娃(Si)的線狀體的偏振元件21。[0?05]這樣，在取向膜材料的靈敏度波長為254nm、313nm、365nm等的情況下，不再需要更換偏振元件21。[0106]進(jìn)而，若采用使波長為240nm以上且400nm以下的光偏振的線柵型偏振元件21，則在進(jìn)行靈敏度波長不同的取向膜的處理時(shí)，不再需要更換偏振元件21。[0107]例如，若采用具有包含鋁(Al)或鉬硅合金(MoSix)的線狀體的偏振元件21，則至少能夠在波長為240nm以上且400nm以下的范圍內(nèi)獲得良好的偏振性能。[0108]因此，若采用具有包含鋁(Al)或鉬硅合金(MoSix)的線狀體的偏振元件21，則在進(jìn)行靈敏度波長不同的取向膜的處理時(shí)，不再需要更換偏振元件21。[0109]框部22呈框狀，保持偏振元件21的周緣。[0110]偏振元件21的基板是由石英等形成，因此偏振元件21的端部等容易發(fā)生破損。因此，框部22是為了保護(hù)偏振元件21而設(shè)置。[0111]另外，在偏振元件21難以產(chǎn)生缺損等的情況下，無須設(shè)置框部22。[0112]在框部22的其中一個(gè)端面的中央部分，設(shè)置有剖面形狀為半圓狀的凹部22a。[0113]在框部22的與設(shè)有凹部22a的端面相對(duì)的端面，設(shè)置有剖面形狀為矩形狀的凹部22bο凹部22b被設(shè)置在從中央部分偏離的位置(例如框部22的角部附近)。[0114]長度長的偏振元件21難以制造。因此，偏振元件21及框部22是沿著光源41所延伸的方向(Y方向)而排列有多組。[0115]另外，在多個(gè)框部22彼此之間設(shè)置有規(guī)定的間隙，從而能夠?qū)崿F(xiàn)后述的斜率調(diào)整(偏振方向的調(diào)整)。[0116]基部23具有基臺(tái)23a(相當(dāng)于第I基臺(tái)的一例)、支撐部23b、彈性部23c及調(diào)整部23d?；_(tái)23a沿著光源41所延伸的方向(Y方向)延伸?；_(tái)23a具有凹部23al。凹部23al沿著光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在凹部23al的內(nèi)部，設(shè)置有多個(gè)框部22。在凹部23al的底面設(shè)置有孔，以使偏振光Lp能夠透射。[0117]支撐部23b、彈性部23c及調(diào)整部23d相對(duì)于I個(gè)框部22而設(shè)置有I組。[0118]支撐部23b呈圓柱狀，且與凹部22a接觸。[0119]彈性部23c利用彈性力將框部22按壓至支撐部23b。[0120]彈性部23c具有保持部23cl及盤簧(coilspring)23c2。[0121]保持部23cl是設(shè)置于基臺(tái)23a上。保持部23cl被設(shè)置在與凹部22b相對(duì)的位置。[0122]盤簧23c2是設(shè)置在保持部23cl與凹部22a之間。[0123]調(diào)整部23d是與彈性部23c隔開地設(shè)置。[0124]調(diào)整部23d例如可設(shè)置在相對(duì)于框部22的中心線22c而與彈性部23c成線對(duì)稱的位置。[0125]調(diào)整部23d具有保持部23dl及突出部23d2。[0126]保持部23dl是設(shè)置于基臺(tái)23a上。[0127]突出部23d2是設(shè)置于保持部23dl上。突出部23d2從保持部23dl突出。突出部23d2的前端與框部22接觸。突出部23d2能夠使從保持部23dl突出的突出長度D發(fā)生變化。換言之，通過使突出長度D發(fā)生變化，從而能夠使偏振元件21的斜率α變化。[0128]突出部23d2例如具有梯級(jí)性地突出的機(jī)構(gòu)或螺絲機(jī)構(gòu)，能夠基于偏振光測定部6的測定結(jié)果來使突出長度D發(fā)生變化。[0129]此時(shí)，若采用具有螺絲機(jī)構(gòu)的突出部23d2，則能夠?qū)崿F(xiàn)無級(jí)調(diào)整，因此比起梯級(jí)性地突出的突出部，容易進(jìn)行微調(diào)。[0130]另外，作業(yè)員既可操作突出部23d2來使突出長度D發(fā)生變化，也可通過設(shè)置于突出部23d2的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)突出部23d2以使突出長度D發(fā)生變化。[0131]通過I組支撐部23b、彈性部23c及調(diào)整部23d來三點(diǎn)支撐I個(gè)框部22。[0132]如圖3所示，只要使突出部23d2的突出長度D發(fā)生變化，便能夠以支撐部23b為支點(diǎn)來使框部22、甚而使偏振元件21朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。只要使偏振元件21朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)，便能夠使設(shè)置于偏振元件21的線狀體所延伸的方向發(fā)生變化。[0133]因此，通過基于偏振光測定部6的測定結(jié)果來使突出長度D發(fā)生變化，從而能夠針對(duì)多個(gè)偏振元件21的每一個(gè)來進(jìn)行偏振方向的調(diào)整。[0134]移動(dòng)部24使基臺(tái)23a朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)。[0135]移動(dòng)部24維持基臺(tái)23a在X方向及Z方向上的位置。[0136]移動(dòng)部24具有輥(roller)24a、導(dǎo)軌(rail)24b及導(dǎo)軌24c。[0137]輥24a例如可采用呈圓筒狀且具有滾動(dòng)軸承者。[0138]多個(gè)輥24a設(shè)置在X方向上的基臺(tái)23a兩側(cè)的側(cè)面。多個(gè)輥24a沿著基臺(tái)23a所延伸的方向(Y方向)而排列設(shè)置。[0139]而且，如圖2(b)所示，輥24a也可設(shè)置在基臺(tái)23a的內(nèi)部，且導(dǎo)軌24b側(cè)的端部從基臺(tái)23a露出。[0140]導(dǎo)軌24b沿著Y方向延伸。導(dǎo)軌24b與輥24a的下端接觸。導(dǎo)軌24b經(jīng)由輥24a來支撐基臺(tái)23a。[0141]而且，導(dǎo)軌24b與輥24a的和基臺(tái)23a側(cè)為相反側(cè)的側(cè)面接觸。導(dǎo)軌24b經(jīng)由輥24a來維持基臺(tái)23a在X方向上的位置。[0142]導(dǎo)軌24c沿著Y方向延伸。導(dǎo)軌24c被設(shè)置在導(dǎo)軌24b的上方。導(dǎo)軌24c是與導(dǎo)軌24b相對(duì)。[0143]輥24a是設(shè)置在導(dǎo)軌24b與導(dǎo)軌24c之間。因此，輥24a、導(dǎo)軌24b及導(dǎo)軌24c協(xié)同維持基臺(tái)23a在Z方向上的位置。[0144]此時(shí)，基臺(tái)23a能夠沿Y方向移動(dòng)。即，能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)23a。因此，設(shè)置于基臺(tái)23a的偏振元件21、框部22及調(diào)整部23d等也能夠從偏振光照射裝置I拉出。其結(jié)果，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行偏振元件21的更換或偏振元件21的斜率調(diào)整，因此能夠提高偏振元件21的更換作業(yè)等時(shí)的作業(yè)性。[0145]既可在導(dǎo)軌24c與輥24a的上端之間設(shè)置有間隙，也可使導(dǎo)軌24c與輥24a的上端接觸。[0146]若在導(dǎo)軌24c與輥24a的上端之間設(shè)置有間隙，則輥24a的旋轉(zhuǎn)將變得平滑。另一方面，導(dǎo)軌24c與輥24a的上端之間的間隙越大，則Z方向(上下方向)的晃動(dòng)將越大，因而偏振軸偏離有可能變大。[0147]因此，優(yōu)選在導(dǎo)軌24c與輥24a的上端之間設(shè)置微小的間隙。[0148]這樣，能夠使輥24a的旋轉(zhuǎn)變得平滑，且能夠抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0149]另外，例示了具有輥24a、導(dǎo)軌24b及導(dǎo)軌24c的移動(dòng)部24，但并不限定于此。[0150]移動(dòng)部24只要是能夠使基臺(tái)23a朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)，且能夠維持基臺(tái)23a在X方向及Z方向上的位置即可。[0151]例如，移動(dòng)部24也可采用具備滑動(dòng)導(dǎo)軌(sliderail)、滑動(dòng)單元(slideunit)、直動(dòng)軸承與引導(dǎo)件(guide)者，具備滑動(dòng)軸承與引導(dǎo)件者等。[0152]固定部25對(duì)偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置進(jìn)行固定。[0153]固定部25是設(shè)置于導(dǎo)軌24b上。多個(gè)固定部25沿著導(dǎo)軌24b所延伸的方向(Y方向)而排列設(shè)置。[0154]固定部25朝向?qū)к?4c側(cè)按壓基臺(tái)23a。由于基臺(tái)23a由固定部25予以上抬，因此輥24a的上端與導(dǎo)軌24c接觸。[0155]另外，圖2(a)與圖2(b)表示通過固定部25進(jìn)行按壓之前的狀態(tài)(在導(dǎo)軌24c與輥24a的上端之間存在間隙的狀態(tài))。[0156]若棍24a的上端與導(dǎo)軌24c接觸，貝Ij無Z方向(上下方向)的晃動(dòng)。而且，偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置得以固定。因此，能夠進(jìn)一步抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0157]固定部25例如可采用具有螺絲機(jī)構(gòu)者。螺絲機(jī)構(gòu)例如既可如翼形螺絲等般由作業(yè)者進(jìn)行操作，也可通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行操作。[0158]另外，固定部25并不限定于具有螺絲機(jī)構(gòu)者。[0159]固定部25例如也可為氣缸(aircylinder)、液壓缸、螺線管(solenoid)、鉸接夾(toggleclamp)等。[0160]而且，固定部25也能夠設(shè)置于導(dǎo)軌24c或其他構(gòu)件上。在固定部25被設(shè)置于導(dǎo)軌24c的情況下，固定部25朝向?qū)к?4b側(cè)按壓基臺(tái)23a。由于棍24a被按壓至導(dǎo)軌24b上，因此無Z方向(上下方向)的晃動(dòng)。而且，偏振元件21在X方向、Y方向及Z方向上的位置得以固定。因此，能夠進(jìn)一步抑制偏振軸偏離的發(fā)生。[0161]而且，例示了按壓基臺(tái)23a的固定部25，但也可為經(jīng)由其他構(gòu)件來按壓基臺(tái)23a的固定部25、按壓輥24a的固定部25等。[0162]而且，固定部25也可為吸引基臺(tái)23a或輥24a等。例如，固定部25也可為電磁鐵等。[0163]S卩，固定部25只要是能夠?qū)ζ裨?1在X方向、Y方向及Z方向上的位置進(jìn)行固定即可。[0164]而且，也可在偏振部2上設(shè)置使偏振光透射的窗材等。[0165]此時(shí)，窗材也可由對(duì)紫外光進(jìn)行反射/遮光的反射材或遮光材來予以支撐。[0166]窗材例如可由合成石英玻璃等形成。[0167]濾波器部3是設(shè)置在偏振部2的上方。[0168]濾波器部3具有濾波器31、反射部32、基臺(tái)33(相當(dāng)于第3基臺(tái)的一例)及移動(dòng)部34(相當(dāng)于第3移動(dòng)部的一例)。[0169]濾波器31是設(shè)置于基臺(tái)33上。[0170]濾波器31使規(guī)定波長的光透射。[°171]濾波器31例如可采用帶通濾波器(bandpassfilter)。[0172]濾波器31可采用具備規(guī)定的透射率分布者。[0173]濾波器31例如可采用使波長為254nm的光透射90%以上，而不使波長為313nm及365nm的光透射者。[0174]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為254nm的光照射至處理物200，而不使波長為313nm及365nm的光照射至處理物200。[0175]濾波器31例如可采用使波長為313nm的光透射90%以上，而不使波長為254nm及365nm的光透射者。[0176]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為313nm的光照射至處理物200，而不使波長為254nm及365nm的光照射至處理物200ο[0177]濾波器31例如可采用使波長為365nm的光透射90%以上，而不使波長為254nm及313nm的光透射者。[0178]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為365nm的光照射至處理物200，而不使波長為254nm及313nm的光照射至處理物200。[0179]濾波器31例如可采用使波長為254nm及313nm的光透射90%以上，而不使波長為365nm的光透射者。[0180]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為254nm及313nm的光照射至處理物200，而不使波長為365nm的光照射至處理物200。[0181]濾波器31例如可采用使波長為313nm及365nm的光透射90%以上，而不使波長為254nm的光透射者。[0182]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為313nm及365nm的光照射至處理物200，而不使波長為254nm的光照射至處理物200。[0183]濾波器31例如可采用使波長為254nm的光透射70%以上，使波長為313nm的光透射80%以上，使波長為365nm的光透射90%以上者。[0184]若采用具備此種透射率分布的濾波器31，則能夠?qū)⒉ㄩL為254nm、313nm及365nm的光照射至處理物200。[0185]反射部32是設(shè)置于基臺(tái)33上。[0186]反射部32是以包圍濾波器31的方式設(shè)置。[0187]反射部32具有一側(cè)開口的槽形狀，且沿基臺(tái)33所延伸的方向(Y方向)延伸。[0188]反射部32的剖面形狀除了圓形、橢圓、拋物線等彎曲形狀以外，也可采用平面形狀。[0189]反射部32的內(nèi)面成為反射鏡。[0190]反射部32將從光源41出射并朝向?yàn)V波器31附近的光反射向照射部4的反射部42。被反射部32反射并入射至照射部4的反射部42中的光朝向?yàn)V波器31。[0191]另外，反射部32也可為將入射的光以朝向?yàn)V波器31的方式予以反射者。[0192]反射部32并非必需，但若設(shè)置反射部32，則能夠提高從光源41出射的光的利用效率。[0193]而且，例示了反射部32被設(shè)置于基臺(tái)33的情況，但反射部32也可設(shè)置于照射部4，還可設(shè)置于其他構(gòu)件。[0194]基臺(tái)33沿光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在基臺(tái)33上設(shè)置有凹部，在凹部內(nèi)設(shè)置有濾波器31。在凹部的底面設(shè)置有孔，以使透射過濾波器31的光入射至偏振元件21。[0195]移動(dòng)部34使基臺(tái)33朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)。[0196]移動(dòng)部34維持基臺(tái)33在X方向上的位置。[0197]移動(dòng)部34具有輥(roller)34a及導(dǎo)軌34b。[0198]輥34a例如可采用呈圓筒狀且具有滾動(dòng)軸承者。[0199]多個(gè)輥34a設(shè)置在X方向上的基臺(tái)33兩側(cè)的側(cè)面。多個(gè)輥34a沿著基臺(tái)33所延伸的方向(Y方向)而排列設(shè)置。[°20°]導(dǎo)軌34b沿Y方向延伸。導(dǎo)軌34b與棍34a的下端接觸。導(dǎo)軌34b經(jīng)由棍34a來支撐基臺(tái)33。[0201]而且，導(dǎo)軌34b與輥34a的和基臺(tái)33側(cè)為相反側(cè)的側(cè)面接觸。導(dǎo)軌34b經(jīng)由輥34a來維持基臺(tái)33在X方向上的位置。[0202]此時(shí)，基臺(tái)33能夠沿Y方向移動(dòng)。即，能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)33。因此，設(shè)置于基臺(tái)33的濾波器31等也能夠從偏振光照射裝置I拉出。[0203]其結(jié)果，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行濾波器31的更換，因此能夠提高濾波器31的更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0204]另外，例示了具有輥34a及導(dǎo)軌34b的移動(dòng)部34，但并不限定于此。[0205]移動(dòng)部34只要是能夠使基臺(tái)33朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)者即可。[0206]例如，移動(dòng)部34也可采用具備滑動(dòng)導(dǎo)軌、滑動(dòng)單元、直動(dòng)軸承與引導(dǎo)件者，具備滑動(dòng)軸承與引導(dǎo)件者等。[0207]照射部4是設(shè)置在濾波器部3的上方。[0208]照射部4具有光源41、反射部42、基臺(tái)43(相當(dāng)于第2基臺(tái)的一例)及移動(dòng)部44(相當(dāng)于第2移動(dòng)部的一例)。[0209]光源41是設(shè)置于基臺(tái)43上。[0210]光源41具有呈直線狀延伸的形態(tài)。[0211]光源41以沿與搬送處理物200的方向(X方向)正交的方向(Y方向)延伸的方式設(shè)置。[0212]光源41照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光。[0213]從光源41照射的光是具有各種振動(dòng)方向成分的所謂的非偏振的光。[0214]光源41例如可采用照射出波長為254nm的光的汞燈、照射出波長為313nm的光的汞燈、照射出波長為313nm的光的金屬鹵化物燈、照射出波長為365nm的光的金屬鹵化物燈等。[0215]而且，光源41也可為照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光的熒光燈或發(fā)光元件(例如發(fā)光二極管(lightemittingd1de)、激光二極管(laserd1de)、有機(jī)發(fā)光二極管等)等。另外，在使用作為點(diǎn)光源的發(fā)光元件的情況下，只要將多個(gè)發(fā)光元件排列成直線狀而設(shè)為仿真線狀光源即可。[0216]反射部42是設(shè)置于基臺(tái)43上。[0217]反射部42是以包圍光源41的方式設(shè)置。[0218]反射部42具有一側(cè)開口的槽形狀，且沿基臺(tái)43所延伸的方向(Y方向)延伸。[0219]反射部42的剖面形狀可設(shè)為拋物線或橢圓的一部分。[0220]反射部42的內(nèi)面成為反射鏡。[0221]反射部42將從光源41出射并朝向反射部42的內(nèi)面的光反射向?yàn)V波器31。[0222]若設(shè)置反射部42，則能夠提高從光源41出射的光的利用效率。[0223]而且，例示了反射部42被設(shè)置于基臺(tái)43的情況，但反射部42也可設(shè)置于濾波器部3，還可設(shè)置于其他構(gòu)件。[0224]基臺(tái)43沿光源41所延伸的方向(Y方向)延伸。在基臺(tái)43上設(shè)置有凹部，在凹部的內(nèi)部設(shè)置有反射部42與光源41。[0225]移動(dòng)部44使基臺(tái)43朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)。[0226]移動(dòng)部44維持基臺(tái)43在X方向上的位置。[0227]移動(dòng)部44具有輥(roller)44a及導(dǎo)軌44b。[0228]輥44a例如可采用呈圓筒狀且具有滾動(dòng)軸承者。[0229]多個(gè)輥44a設(shè)置在X方向上的基臺(tái)43兩側(cè)的側(cè)面。多個(gè)輥44a沿著基臺(tái)43所延伸的方向(Y方向)而排列設(shè)置。[0230]導(dǎo)軌44b沿Y方向延伸。導(dǎo)軌44b與棍44a的下端接觸。導(dǎo)軌44b經(jīng)由棍44a來支撐基臺(tái)43。[0231]而且，導(dǎo)軌44b與輥44a的和基臺(tái)43側(cè)為相反側(cè)的側(cè)面接觸。導(dǎo)軌44b經(jīng)由輥44a來維持基臺(tái)43在X方向上的位置。[0232]此時(shí)，基臺(tái)43能夠沿Y方向移動(dòng)。即，能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)43。因此，設(shè)置于基臺(tái)43的光源41等也能夠從偏振光照射裝置I拉出。[0233]其結(jié)果，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行光源41的更換，因此能夠提高光源41的更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0234]另外，例示了具有輥44a及導(dǎo)軌44b的移動(dòng)部44，但并不限定于此。[0235]移動(dòng)部44只要是能夠使基臺(tái)43朝光源41所延伸的方向(Y方向)移動(dòng)者即可。[0236]例如，移動(dòng)部44也可采用具備滑動(dòng)導(dǎo)軌、滑動(dòng)單元、直動(dòng)軸承與引導(dǎo)件者，具備滑動(dòng)軸承與引導(dǎo)件者等。[0237]此處，在對(duì)設(shè)置于處理物200上的取向膜實(shí)施取向處理時(shí)，根據(jù)取向膜材料的靈敏度波長來選定適當(dāng)?shù)墓庠?1、濾波器31及偏振元件21。[0238]當(dāng)偏振光照射裝置I中未設(shè)有適當(dāng)?shù)墓庠?1時(shí)，要更換光源41。[0239]基臺(tái)43能夠沿Y方向移動(dòng)，因此能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)43。因此，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行光源41的更換，因此能夠提高光源41的更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0240]而且，當(dāng)偏振光照射裝置I中未設(shè)有適當(dāng)?shù)臑V波器31時(shí)，要更換濾波器31。[0241]基臺(tái)33能夠沿Y方向移動(dòng)，因此能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)33。因此，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行濾波器31的更換，因此能夠提高濾波器31的更換作業(yè)時(shí)的作業(yè)性。[0242]而且，在偏振光照射裝置I中未設(shè)有適當(dāng)?shù)钠裨?1的情況下、或需要進(jìn)行后述的偏振元件21的斜率調(diào)整的情況下，要進(jìn)行偏振元件21的更換或偏振元件21的斜率調(diào)整。[0243]基臺(tái)23a能夠沿Y方向移動(dòng)，因此能夠從偏振光照射裝置I拉出基臺(tái)23a。因此，在偏振光照射裝置I的外側(cè)，作業(yè)員能夠進(jìn)行偏振元件21的更換或偏振元件21的斜率調(diào)整，因此能夠提高偏振元件21的更換作業(yè)等時(shí)的作業(yè)性。[0244]而且，如前所述，若采用至少在波長為240nm以上且400nm以下的范圍內(nèi)具有良好的偏振性能的偏振元件21(具有包含鋁(Al)或鉬硅合金(MoSix)的線狀體的偏振元件21)，則在進(jìn)行靈敏度波長不同的取向膜的處理時(shí)，不再需要更換偏振元件21。[0245]此時(shí)，基臺(tái)43及基臺(tái)33能夠分別獨(dú)立地沿Y方向移動(dòng)，因此在光源41或?yàn)V波器31的更換時(shí)，偏振元件21的位置不會(huì)發(fā)生偏離。[0246]而且，基臺(tái)43、基臺(tái)33及基臺(tái)23a能夠從偏振光照射裝置I的同一面?zhèn)妊豗方向拉出，因此能夠從相同位置進(jìn)行各作業(yè)。因此，能夠進(jìn)一步提高作業(yè)性。[0247]搬送部5是設(shè)置在偏振部2的下方。[0248]搬送部5沿與光源41所延伸的方向正交的方向(X方向)搬送處理物200。[0249]搬送部5以處理物200通過偏振部2下方的方式來搬送處理物200。[0250]搬送部5例如可采用具備保持處理物200的保持裝置與單軸機(jī)器人(robot)等搬送裝置者。[0251]偏振光測定部6是設(shè)置在偏振部2的下方。[0252]偏振光測定部6是設(shè)置在相較于處理物200的搬送位置的更下方。[0253]偏振光測定部6具有偏振部61、檢測部62、移動(dòng)部63、移動(dòng)部64及控制部65。[0254]偏振部61具有偏振元件61a(相當(dāng)于第2偏振元件的一例)、保持部61b及移動(dòng)部61c(相當(dāng)于第4移動(dòng)部的一例)。[0255]透射過偏振元件21的偏振光Lp入射至偏振元件61a。[0256]偏振元件61a是在對(duì)偏振光Lp的偏振方向進(jìn)行測定時(shí)使用。偏振元件61a有時(shí)也被稱作檢偏器。[0257]偏振元件61a僅使偏振光Lp的朝規(guī)定方向振動(dòng)的成分透射，而成為偏振光Lpp。[0258]偏振元件61a可采用線柵型偏振元件。[0259]偏振元件61a例如可采用與前述的偏振元件21具有同樣的構(gòu)成者。[0260]保持部61b例如可采用呈圓筒狀者。[0261]保持部61b保持偏振元件61a。透射過偏振元件61a的光通過保持部61b的內(nèi)部而入射至檢測部62。[0262]移動(dòng)部61c以從光源41朝向檢測部62的軸為中心，而使保持部61b朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。通過保持部6Ib朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)，從而偏振元件6Ia朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。因此，能夠使設(shè)置于偏振元件61a的線狀體所延伸的方向發(fā)生變化。[0263]檢測部62是設(shè)置在偏振部61的下方。[0264]檢測部62接收透射過偏振元件61a的光，并輸出與所接收的光的光量相應(yīng)的電信號(hào)。檢測部62例如可采用具備光電二極管(photod1de)等光電轉(zhuǎn)換元件者。[0265]而且，也可根據(jù)所檢測的光的波長來設(shè)置多種檢測部62a?62c。[0266]例如，可設(shè)置對(duì)波長為254nm的光進(jìn)行檢測的檢測部62a、對(duì)波長為313nm的光進(jìn)行檢測的檢測部62b、對(duì)波長為365nm的光進(jìn)行檢測的檢測部62c。[0267]移動(dòng)部63保持檢測部62a?62c，并使其朝Y方向移動(dòng)。[0268]S卩，移動(dòng)部63根據(jù)所檢測的光的波長來進(jìn)行檢測部62a?62c的切換。[0269]移動(dòng)部63例如可設(shè)為如下所述者，S卩，其具備用于使檢測部62a?62c朝規(guī)定方向移動(dòng)的引導(dǎo)件、伺服馬達(dá)(servomotor)或氣缸等驅(qū)動(dòng)設(shè)備、對(duì)檢測部62a?62c的位置進(jìn)行檢測的位置檢測器等。[0270]移動(dòng)部64保持移動(dòng)部63，并使其朝Y方向移動(dòng)。[0271]S卩，移動(dòng)部64使移動(dòng)部63移動(dòng)，以使偏振部61及檢測部62位于成為測定對(duì)象的偏振元件21的下方。[0272]移動(dòng)部64例如可采用與移動(dòng)部63具有同樣的構(gòu)成者。[0273]控制部65對(duì)偏振光測定部6中所設(shè)的各要素的動(dòng)作進(jìn)行控制。[0274]例如，控制部65對(duì)移動(dòng)部63進(jìn)行控制，以使所需的檢測部62a?62c位于偏振元件61a的下方。[0275]控制部65對(duì)移動(dòng)部61c進(jìn)行控制，以使偏振元件61a繞偏振元件61a的中心軸旋轉(zhuǎn)移動(dòng)規(guī)定角度。[0276]而且，控制部65基于來自控制部7的指令，進(jìn)行偏振光Lp的測定。[0277]例如，控制部65基于來自檢測部62的輸出與來自移動(dòng)部61c的旋轉(zhuǎn)位置信息，對(duì)偏振光Lp的偏振方向進(jìn)行運(yùn)算。[0278]運(yùn)算出的偏振光Lp的偏振方向既可輸出至未圖示的顯示裝置等，也可向控制部7輸出。[0279]而且，控制部65控制移動(dòng)部64來使移動(dòng)部63移動(dòng)，以使偏振部61及檢測部62位于成為測定對(duì)象的偏振元件21的下方。[0280]另外，控制部65既可與控制部7—體地設(shè)置，也可使控制部7兼具控制部65的功能。[0281]圖4是用于例示另一實(shí)施方式的偏振光測定部16的示意立體圖。[0282]另外，為了避免造成繁瑣，省略了移動(dòng)部61c的描繪。[0283]如圖4所示，偏振光測定部16具有偏振部61、檢測部62、移動(dòng)部163及移動(dòng)部64。[0284]而且，偏振光測定部16可與前述的偏振光測定部6同樣地具備控制部65。[0285]移動(dòng)部163保持檢測部62a?62c，并使其朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。[0286]S卩，移動(dòng)部163根據(jù)所檢測的光的波長來進(jìn)行檢測部62a?62c的切換。[0287]移動(dòng)部163例如可采用具備伺服馬達(dá)或脈沖馬達(dá)(pulsemotor)等控制馬達(dá)的轉(zhuǎn)臺(tái)(table)ο[0288]控制部7對(duì)照射部4及搬送部5的動(dòng)作進(jìn)行控制。[0289]例如，控制部7對(duì)光源41進(jìn)行控制，以從光源41照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光L。[0290]控制部7對(duì)搬送部5進(jìn)行控制，使搬送部5搬送處理物200以使處理物200通過偏振部2的下方。[0291]而且，控制部7也可基于偏振光測定部6的測定結(jié)果來對(duì)突出部23d2中所設(shè)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，從而針對(duì)多個(gè)偏振元件21的每一個(gè)來進(jìn)行偏振方向的調(diào)整。[0292]接下來，對(duì)偏振光照射裝置I生成偏振光Lp、及偏振光測定部6測定偏振光Lp的偏振方向的情況進(jìn)行說明。[0293]圖5是用于對(duì)偏振光照射裝置I生成偏振光Lp、及偏振光測定部6測定偏振光Lp的偏振方向的情況進(jìn)行例示的示意立體圖。[0294]控制部7對(duì)光源41進(jìn)行控制，以從光源41照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光L。從光源41照射的光L直接或被反射部42的內(nèi)面反射后，從反射部42的開口出射。從反射部42的開口出射的光L包含朝各種方向、例如朝B方向或C方向振動(dòng)的成分。[0295]光L入射至濾波器31，且具有所需波長的光L入射至偏振元件21。[0296]入射至偏振元件21的光L通過透射過偏振元件21而成為偏振光Lp。[0297]如前所述，在偏振元件21中，設(shè)置有沿規(guī)定方向延伸的多個(gè)線狀體。因此，偏振元件21僅使光L的成分中的、朝與線狀體所延伸的方向正交的方向振動(dòng)的成分透射。因此，當(dāng)光L透射過偏振元件21時(shí)，成為僅具備朝規(guī)定方向(例如C方向)振動(dòng)的成分的偏振光Lp。[0298]以上述方式，能夠生成偏振光Lp。[0299]偏振光Lp的偏振方向的測定是在無處理物200的狀態(tài)下進(jìn)行。[0300]控制部65對(duì)移動(dòng)部63進(jìn)行控制，以使所需的檢測部62a?62c位于偏振元件61a的下方。[0301]偏振光Lp通過透射過偏振元件61a而成為偏振光Lpp。[0302]偏振光Lpp入射至檢測部62，并輸出與所接收的光的光量相應(yīng)的電信號(hào)。[0303]而且，控制部65對(duì)移動(dòng)部61c進(jìn)行控制，以使偏振元件61a朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)。即，控制部65對(duì)移動(dòng)部61c進(jìn)行控制，以使偏振元件61a中所設(shè)的線狀體所延伸的方向發(fā)生變化。[0304]若線狀體所延伸的方向發(fā)生變化，則對(duì)應(yīng)于偏振光Lp的偏振方向，偏振光Lpp的照度將發(fā)生變化。例如，在旋轉(zhuǎn)角度Θ為0°、-20°、90°時(shí)，偏振光Lpp的照度不同，從檢測部62輸出的電信號(hào)的值不同。[0305]因此，若知曉從檢測部62輸出的電信號(hào)的值達(dá)到最大或最小時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度Θ，便能夠根據(jù)預(yù)先求出的旋轉(zhuǎn)角度Θ與偏振光Lp的偏振方向的關(guān)系來求出偏振光Lp的偏振方向。[0306]例如，將旋轉(zhuǎn)角度Θ為90°的情況設(shè)為X方向、旋轉(zhuǎn)角度Θ為0°的情況設(shè)為Y方向，在旋轉(zhuǎn)角度Θ為0°的情況下，當(dāng)從檢測部62輸出的電信號(hào)的值達(dá)到最大時(shí)，偏振光Lp的偏振方向?yàn)閅方向。[0307]另外，在旋轉(zhuǎn)角度Θ為0°的情況下，當(dāng)從檢測部62輸出的電信號(hào)的值達(dá)到最小時(shí)，偏振光Lp的偏振方向?yàn)閄方向。[0308]在偏振光Lp的偏振方向的測定時(shí)，只要對(duì)從檢測部62輸出的電信號(hào)的最大值或最小值的前后進(jìn)行測定便足夠。[0309]如上所述，控制部65基于來自檢測部62的輸出與來自移動(dòng)部61c的旋轉(zhuǎn)位置信息，對(duì)偏振光Lp的偏振方向進(jìn)行運(yùn)算。[0310]而且，控制部65控制移動(dòng)部64來使移動(dòng)部63移動(dòng)，以使偏振部61及檢測部62位于成為測定對(duì)象的偏振元件21的下方。[0311]并且，對(duì)于多個(gè)偏振元件21中的每一個(gè)，進(jìn)行前述的偏振光Lp的偏振方向的測定。[0312]以上述方式，能夠進(jìn)行偏振光Lp的偏振方向的測定。[0313]接下來，根據(jù)需要來調(diào)整偏振元件21的斜率。例如，如圖3所示，通過改變調(diào)整部23d的突出部23d2的突出長度D，從而調(diào)整偏振元件21以使其傾斜角度α。[0314]偏振光Lp的偏振方向的測定結(jié)果從控制部65發(fā)送至控制部7。[0315]在偏振光Lp的偏振方向不處于規(guī)定范圍內(nèi)的情況下，對(duì)偏振元件21的斜率進(jìn)行調(diào)整。[0316]此時(shí)，基于從控制部65或控制部7向顯示裝置等輸出的信息，作業(yè)者能夠操作突出部23d2來調(diào)整偏振元件21的斜率。[0317]而且，控制部7也能夠控制突出部23d2中所設(shè)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)來調(diào)整偏振元件21的斜率。[0318]在偏振元件21的斜率調(diào)整之后，再次對(duì)進(jìn)行了調(diào)整的偏振元件21中的偏振光Lpp的偏振方向進(jìn)行測定。[0319]并且，反復(fù)進(jìn)行前述流程，直至偏振光Lp的偏振方向處于規(guī)定范圍內(nèi)為止。[0320]當(dāng)偏振光Lp的偏振方向處于規(guī)定范圍內(nèi)時(shí)，進(jìn)行處理物200的取向處理。[0321]首先，控制部65對(duì)移動(dòng)部64進(jìn)行控制，以使偏振部61及檢測部62退避至處理物200的搬送區(qū)域外。[0322]這樣，能夠避免處理物200與偏振部61及檢測部62的干涉。[0323]接下來，控制部7對(duì)光源41進(jìn)行控制，以從光源41照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光L。[0324]而且，控制部7對(duì)搬送部5進(jìn)行控制，以使處理物200通過光源41的設(shè)有偏振部2的一側(cè)的下方。[0325]從光源41出射的光L入射至偏振元件21，通過透射過偏振元件21而成為偏振光Lp。[0326]偏振光Lp入射至處理物200，利用偏振光Lp來實(shí)施取向處理。[0327]而且，通過使處理物200通過光源41的設(shè)有偏振部2的一側(cè)的下方，從而對(duì)處理物200的整個(gè)區(qū)域?qū)嵤┤∠蛱幚怼0328]以上，例示了本實(shí)用新型的若干個(gè)實(shí)施方式，但這些實(shí)施方式僅為例示，并不意圖限定實(shí)用新型的范圍。這些新穎的實(shí)施方式能以其他的各種形態(tài)來實(shí)施，在不脫離實(shí)用新型的主旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各種省略、置換、變更等。這些實(shí)施方式或其變形例包含在實(shí)用新型的范圍或主旨內(nèi)，并且包含在所記載的實(shí)用新型的均等的范圍內(nèi)。而且，前述的各實(shí)施方式能夠彼此組合而實(shí)施。【主權(quán)項(xiàng)】1.一種偏振光照射裝置，其特征在于包括:照射部，沿第I方向延伸，且具有照射出波長處于紫外線波長區(qū)域內(nèi)的光的光源；濾波器部，具有使規(guī)定波長的光透射的濾波器，且設(shè)置在所述照射部的下方；以及偏振部，具有第I基臺(tái)、第I偏振元件及第I移動(dòng)部，且設(shè)置在所述濾波器部的下方，所述第I偏振元件設(shè)置于所述第I基臺(tái)且與所述濾波器相對(duì)，所述第I移動(dòng)部使所述第I基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)，所述第I移動(dòng)部維持所述第I基臺(tái)在與所述第I方向正交的第2方向、及在與所述第I方向及所述第2方向正交的第3方向上的位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振光照射裝置，其特征在于，所述偏振部還包括固定部，所述固定部對(duì)所述第I基臺(tái)在所述第I方向、所述第2方向及所述第3方向上的位置進(jìn)行固定。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于，所述照射部還包括:第2基臺(tái)，設(shè)置有所述光源；以及第2移動(dòng)部，使所述第2基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于，所述濾波器部還包括:第3基臺(tái)，設(shè)置有所述濾波器；以及第3移動(dòng)部，使所述第3基臺(tái)朝所述第I方向移動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于包括:第2偏振元件，使透射過所述第I偏振元件的光入射；第4移動(dòng)部，使所述第2偏振元件朝旋轉(zhuǎn)方向移動(dòng)；以及檢測部，接收透射過所述第2偏振元件的光，并輸出與接收的光的光量相應(yīng)的電信號(hào)，所述偏振光照射裝置還包括:偏振光測定部，設(shè)置在所述偏振部的下方。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于，所述第I偏振元件是使波長為240nm以上且400nm以下的光偏振的線柵型偏振元件?！疚臋n編號(hào)】G02B7/00GK205721004SQ201620180230【公開日】2016年11月23日【申請(qǐng)日】2016年3月9日【發(fā)明人】前田祥平,田中貴章,加藤剛雄,藤岡純,日野弘喜,中川幸信,田內(nèi)亮彥【申請(qǐng)人】東芝照明技術(shù)株式會(huì)社