專利名稱：正性光敏組成物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種正性光敏組成物。
背景技術(shù)：
對(duì)于安裝在手機(jī)、便攜儀器及同類(lèi)裝置中的半導(dǎo)體組件的要求是高速、多功能化以及體積小。因此，研發(fā)了圓片級(jí)封裝，即以圓片的狀態(tài)組裝芯片。
在圓片級(jí)封裝中，芯片和圓片由焊塊連接。為了保證組件的可靠性，需要用填充劑填充芯片與圓片之間形成的間隙。
環(huán)氧樹(shù)脂適合用作填充劑。但是，需要將填充劑注入芯片與圓片之間的每一個(gè)空隙中。
為此，發(fā)明了一種正性光敏組成物。除了注入空隙中的以外，通過(guò)曝光可以將其溶解和去除。
例如，由環(huán)氧樹(shù)脂、胺類(lèi)固化劑、氫鹵酸酐和鹵代烴溶劑組成的組成物可稱為正光敏組成物(JP48-15059A)。然而，在將組成物注入間隙中固化時(shí)，鹵代烴溶劑往往會(huì)產(chǎn)生容易進(jìn)入的空隙。
本發(fā)明的目的是為了提供能用作填充劑的正性光敏組成物。

發(fā)明內(nèi)容
在對(duì)正性光敏組成物的認(rèn)真研究中，本發(fā)明的發(fā)明者們完成了這個(gè)發(fā)明。他們發(fā)現(xiàn)，一種由在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過(guò)加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成的組成物可以提供正性光敏性，而可以用作填充劑。
也就是說(shuō)，本發(fā)明提供的是一個(gè)正性光敏組成物，它由在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過(guò)加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的正性光敏組成物由在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過(guò)加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物、以及磺酸鹽組成。
在本發(fā)明中采用的環(huán)氧化合物至少是從由在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的單體和在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧樹(shù)脂組成的基團(tuán)中選擇的。
在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的單體包括雙酚A二環(huán)氧甘油醚、雙酚F二環(huán)氧甘油醚、雙酚S二環(huán)氧甘油醚、丙三醇二環(huán)氧甘油醚、三(二環(huán)氧甘油苯醚)甲烷、以及同類(lèi)化合物。
在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧樹(shù)脂包括苯酚酚醛樹(shù)脂類(lèi)環(huán)氧樹(shù)脂、甲酚酚醛樹(shù)脂類(lèi)環(huán)氧樹(shù)脂，聯(lián)苯類(lèi)環(huán)氧樹(shù)脂、聯(lián)苯酚醛樹(shù)脂類(lèi)環(huán)氧樹(shù)脂及同類(lèi)化合物。
在本發(fā)明中較好使用在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的單體或在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧樹(shù)脂。加熱后，它們?cè)谑覝馗浇尸F(xiàn)流動(dòng)性。
從加工性的觀點(diǎn)來(lái)看，在溫度下，一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧樹(shù)基團(tuán)的液態(tài)單體更好。
本發(fā)明中采用的固化催化劑或通過(guò)加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物沒(méi)有特別限制，只要采用的催化劑或其化合物能夠聚合在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物以形成環(huán)氧樹(shù)脂。如果在本發(fā)明中采用的環(huán)氧化合物是環(huán)氧樹(shù)脂，催化劑提供的也是具有較高分子重量的環(huán)氧樹(shù)脂。
固化催化劑包括胺化合物、有機(jī)磷化氫化合物和同類(lèi)化合物。較好是胺化合物。
胺化合物包括叔胺、季銨鹽、咪唑及同類(lèi)化合物。
叔胺包括三丁胺、三乙胺、1，8-二氮二環(huán)(5，4，0)十一碳-7-烯、三戊胺及同類(lèi)化合物。
季銨鹽包括氯化苯基三甲基銨、氫氧化苯基三甲基銨、三乙銨四苯基硼酸鹽及同類(lèi)化合物。
咪唑包括2-乙咪唑、2-乙-4-甲咪唑及同類(lèi)化合物。
有機(jī)磷化氫化合物包括三烷基磷化氫、三烷基磷化氫的四苯基硼酸鹽及同類(lèi)化合物。
三烷基磷化氫包括三苯基磷化氫、三-4-甲基苯基磷化氫、三-4-甲氧基苯基磷化氫、磷酸磷化氫、磷化氫三辛酯、三-2-丙乙基磷化氫及同類(lèi)化合物。
通過(guò)加熱以產(chǎn)生固化催化劑的化合物包括熱陽(yáng)離子固化催化劑、熱堿發(fā)生劑及同類(lèi)化合物。
熱陽(yáng)離子固化催化劑包括碘基鹽、锍基鹽、任一硼的磷酸鹽、砷、銻、磷以及同類(lèi)化合物。
實(shí)例有RHODOSIL 2074、ADEKA OPTMER SP-150、ADEKA OPTMERSP-152、ADEKA OPTMER SP-170、ADEKA OPTMER SP-172、ADEKAOPTON CP SERIES以及同類(lèi)化合物。
熱堿發(fā)生劑包括N-(2-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(3-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(4-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(5-甲基2-硝基芐氧羰基)咪唑、N-(4-氯基-2-硝基芐氧羰基)咪唑及同類(lèi)化合物。
對(duì)于環(huán)氧化合物與固化催化劑的混合比例沒(méi)有特別限制，較好是在100∶0.1～100∶10的范圍內(nèi)，因?yàn)樵谶@個(gè)比例范圍的混合物可以提供較短的組成物凝膠時(shí)間，比如，在將溫度預(yù)定在80℃～250℃時(shí)的凝膠時(shí)間為1～15分鐘。
在本發(fā)明中采用的磺酸鹽是由電磁射線產(chǎn)生的光-酸發(fā)生劑，用于產(chǎn)生一種鈍化固化催化劑的物質(zhì)。
這里的電磁射線通常指紫外線、電子射線和X射線。
磺酸鹽包括下述(1)～(7)分子式表示的化合物以及這些化合物的混合物。
分子式(1)式中X1是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R1～R6各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。
分子式(2)式中X2是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R7～R14各自獨(dú)立的為獨(dú)立的氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。

分子式(3)式中X3是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R15～R19各自獨(dú)立的為氫原子、烷氧族或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。
分子式(4)式中X4是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R20～R23各自獨(dú)立的為獨(dú)立的氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。
分子式(5)式中X5是可任選取代的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。R24～R27各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。
分子式(6)式中X6是可任選取代的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R28～R39各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，X40是氫原子或羥基團(tuán)。m為0或者1。
分子式(7)式中X7是可任選取代的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R41～R42各自獨(dú)立的為氫原子或碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。X43～R47各自獨(dú)立的為氫原子、硝基團(tuán)或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)。n為0或者1。
在分子式(1)～(7)中，單價(jià)有機(jī)基團(tuán)包括碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團(tuán)、碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團(tuán)、碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團(tuán)、碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團(tuán)、烷基團(tuán)或由氟原子取代的烷基團(tuán)以及同類(lèi)化合物。
其中，較好采用下述化合物碳原子數(shù)為1～6的線性烴基團(tuán)、碳原子數(shù)為3～6的支鏈烴基團(tuán)、碳原子數(shù)為～6的環(huán)狀烴基團(tuán)、經(jīng)烷基團(tuán)取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～6的線性烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～6的支鏈烴基團(tuán)、經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～6的環(huán)狀烴基團(tuán)、由經(jīng)氟原子取代的烷基團(tuán)所取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團(tuán)。
碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團(tuán)包括甲基團(tuán)、乙基團(tuán)、丙基團(tuán)、丁基團(tuán)、戊基團(tuán)、己基團(tuán)以及同類(lèi)化合物。
碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團(tuán)包括異丙基團(tuán)、異丁基團(tuán)、叔丁基團(tuán)及同類(lèi)化合物。
碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團(tuán)包括環(huán)丙基團(tuán)、環(huán)丁基團(tuán)、環(huán)戊基團(tuán)、環(huán)己基團(tuán)及同類(lèi)化合物。
碳原子數(shù)為6～20可任意被烷基團(tuán)取代的的芳香烴基團(tuán)包括苯基團(tuán)、萘基團(tuán)、蒽基團(tuán)、甲苯基團(tuán)、甲芐基團(tuán)、二甲基苯基團(tuán)、三甲基苯基團(tuán)、乙基苯基團(tuán)、二乙基苯基團(tuán)、三乙基苯基團(tuán)、丙基苯基團(tuán)、丁基苯基團(tuán)、甲基萘基團(tuán)、二甲基萘基團(tuán)、三甲基萘基團(tuán)、乙烯基萘基團(tuán)、甲基蒽基團(tuán)、乙基蒽基團(tuán)，以及同類(lèi)化合物。
作為取代基的烷基團(tuán)包括碳原子數(shù)為1～6的烷基團(tuán)，例如甲基團(tuán)、乙基團(tuán)、丙基團(tuán)、丁基團(tuán)、戊基團(tuán)、己基團(tuán)、異丙基團(tuán)、異丁基團(tuán)、叔丁基團(tuán)、環(huán)丙基團(tuán)、環(huán)丁基團(tuán)、環(huán)戊基團(tuán)和環(huán)己基團(tuán)。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為1～20的線性脂肪烴基團(tuán)包括三氟甲基團(tuán)、二氟甲基團(tuán)、氟甲基團(tuán)、五氟乙基團(tuán)、四氟乙基團(tuán)、三氟乙基團(tuán)、二氟乙基團(tuán)、氟乙基團(tuán)、七氟丙基團(tuán)、六氟丙基團(tuán)、五氟丙基團(tuán)、四氟丙基團(tuán)，以及同類(lèi)化合物。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的支鏈脂肪烴基團(tuán)包括六氟異丙基團(tuán)、八氟異丁基團(tuán)、九氟叔丁基團(tuán)，以及同類(lèi)化合物。
經(jīng)氟原子取代的碳原子數(shù)為3～20的環(huán)狀脂肪烴基團(tuán)包括五氟環(huán)丙基團(tuán)、七氟環(huán)丁基團(tuán)、九氟環(huán)戊基團(tuán)，以及同類(lèi)化合物。
作為取代基的經(jīng)氟原子取代的烷基團(tuán)包括三氟甲基團(tuán)、二氟甲基團(tuán)、氟甲基團(tuán)、五氟乙基團(tuán)、四氟乙基團(tuán)、三氟乙基團(tuán)、二氟乙基團(tuán)、氟乙基團(tuán)、七氟丙基團(tuán)、六氟丙基團(tuán)、五氟丙基團(tuán)、四氟丙基團(tuán)，以及同類(lèi)合化物。
經(jīng)被氟原子取代的烷基團(tuán)所取代的碳原子數(shù)為6～20的芳香烴基團(tuán)包括三氟甲基苯基團(tuán)、九氟丁基苯基團(tuán)，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(3)中的烷氧基團(tuán)包括甲氧基團(tuán)、乙氧基團(tuán)及同類(lèi)化合物。較好是甲氧基團(tuán)。
較好是用以下的磺酸鹽在分子式(1)中表示的磺酸鹽包括R1～R6是氫原子、X1是甲基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是乙基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是丙基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是丁基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是三氟甲基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是樟腦基團(tuán)的磺酸鹽；R1～R6是氫原子、X1是九氟丁基團(tuán)的磺酸鹽，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(2)中表示的磺酸鹽包括R7～R14是氫原子、X2是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是三氟甲基團(tuán)的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是樟腦基團(tuán)的磺酸鹽；R7～R14是氫原子、X2是九氟丁基團(tuán)的磺酸鹽，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(3)中表示的磺酸鹽包括R15～R19是氫原子、X3是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽，R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團(tuán)、X3是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團(tuán)、X3是樟腦基團(tuán)的磺酸鹽；R15、R16、R18和R19是氫原子、R17是甲氧基團(tuán)、X3是甲基團(tuán)的磺酸鹽，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(4)中表示的磺酸鹽包括R20～R23是氫原子、X4是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是三氟甲基團(tuán)的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是樟腦基團(tuán)的磺酸鹽；R20～R23是氫原子、X4是九氟丁基團(tuán)的磺酸鹽，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(5)中表示的磺酸鹽包括R24～R27是氫原子、X5是三氟甲基團(tuán)的磺酸鹽；R24～R27是氫原子、X5是樟腦基團(tuán)的磺酸鹽；R24～R27是氫原子、X5是九氟丁基團(tuán)的磺酸鹽，以及同類(lèi)化合物。
在分子式(6)中表示的磺酸鹽包括m是0、R30～R40是氫原子、X6是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；m是1、R28～R39是氫原子、R40是羥基團(tuán)、X6是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；m是1，R28～R31、R33～R36、R38和R39是氫原子，R40是羥基團(tuán)，R32和R37是甲氧基團(tuán)、X6是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；m是1，R28～R31、R33～R36、R38和R39是氫原子，R40是羥基團(tuán)，R32和R37是噻嗯基團(tuán)，X6是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽以及同類(lèi)化合物。
在分子式(7)中表示的磺酸鹽包括n是0、R43～R47是氫原子、X7是甲基團(tuán)的磺酸鹽；n是1、R41、R42和R44～R46是氫原子、R43和R47是硝基團(tuán)、X7是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；n是1、R41、R42和R44～R47是氫原子、R43是硝基團(tuán)、X7是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；n是1、R41～R44、R46和R47是氫原子、R45是硝基團(tuán)、X7是甲苯基團(tuán)的磺酸鹽；以及同類(lèi)化合物。
將磺酸鹽加入固化催化劑中較好的量是相當(dāng)于0.1至5，更好的量是0.5至3。
磺酸鹽的添加量低于0.1時(shí)無(wú)法鈍化固化催化劑，而磺酸鹽的添加量大于5則對(duì)應(yīng)添加量的固化催化劑無(wú)法有效的鈍化。
可以將環(huán)氧樹(shù)脂固化劑加入本發(fā)明的正性光敏組成物中。固化劑包括苯酚固化劑、胺固化劑、酸酐固化劑，或者這些固化劑的組成物以及同類(lèi)化合物。其中，從加工性的觀點(diǎn)來(lái)說(shuō)，較好用酸酐，以采用當(dāng)溫度為25℃時(shí)粘度為100至5000厘泊的酸酐為宜。
苯酚固化劑包括苯酚酚醛、叔丁基苯酚酚醛、叔丁基鄰苯二酚、雙酚A、雙酚F、雙苯酚，以及同類(lèi)化合物。
胺固化劑包括二氰聯(lián)胺、聯(lián)胺二苯基甲烷、聯(lián)胺二苯基砜以及同類(lèi)化合物。
酸酐固化劑包括酞酐、苯偏三酸酐、苯四酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、丙三醇三酸酐偏苯三酸酯、甲基四氫酞酐酸酐、甲基內(nèi)亞甲基四氫鄰苯二甲酸酐酸酐，以及同類(lèi)化合物。
對(duì)于環(huán)氧樹(shù)脂與固化劑的混合比例沒(méi)有特別限制，相對(duì)于等量的環(huán)氧基一般為0.8至1.0。
同樣，根據(jù)需要可以將敏化劑加入本發(fā)明的正性光敏組成物中。
敏化劑包括ADEKA OPTMER SP-100以及同類(lèi)化合物。
可以將上述任一種化合物隨意混合，配制本發(fā)明的正性光敏組成物。
如果是將固化催化劑或通過(guò)加熱產(chǎn)生固化催化劑的化合物、光-酸發(fā)生器與敏化劑混合，則需加入最少量的需要的溶劑。溶劑包括丙酮、四氫呋喃、甲基-乙基酮，以及類(lèi)同類(lèi)的化合物。
下面將描述利用本發(fā)明的正性光敏組成物制造半導(dǎo)體和顯示器組件的方法。
首先，是將本發(fā)明的正性光敏組成物涂在基片的整個(gè)或局部表面?？梢圆捎脳l形涂層器、筒形涂層器、壓模涂層器、自旋涂層器及同類(lèi)方法敷涂。
涂完之后，用曝光設(shè)備進(jìn)行曝光。曝光設(shè)備為鄰近曝光機(jī)及同類(lèi)設(shè)備。
如果在一個(gè)大區(qū)域中曝光，在向基片上涂完光敏組成物之后，在移動(dòng)曝光機(jī)的同時(shí)完成曝光，從而使曝光區(qū)域小的曝光機(jī)可以在大區(qū)域中曝光。
在被曝光部位的固化催化劑通過(guò)曝光受到磺酸鹽鈍化。
曝光之后，未被曝光部位的正性光敏組成物通過(guò)對(duì)要制造的基片進(jìn)行熱處理而固化。
熱處理較好在磺酸鹽分解溫度或低于其分解溫度下進(jìn)行，在高于磺酸鹽分解溫度下進(jìn)行的熱處理在未曝光部位不會(huì)固化。
通常采用水浸法、噴涂法、涂刷法及同類(lèi)方法完成顯影。
本發(fā)明對(duì)顯影液沒(méi)有特別的限制，只要能夠溶解未固化正性光敏組成物。顯影液包括丙酮、甲基異丁基酮、四氫呋喃、丙二醇一甲基乙醚醋酸酯及同類(lèi)化合物。
這樣，通過(guò)在未曝光區(qū)域成形固化的正性光敏組成物制品，既可制造出半導(dǎo)體或顯示器組件。
本發(fā)明的正性光敏組成物可被適當(dāng)?shù)赜米魈畛溟g隙的填充劑，因?yàn)樽⑷氲綀A片級(jí)封裝的芯片與圓片之間空隙中的組成物未經(jīng)曝光，以便通過(guò)熱處理而固化。
實(shí)例以下將以實(shí)例對(duì)該發(fā)明進(jìn)行描述，顯然該發(fā)明不局限于這些實(shí)例。
實(shí)例1將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的酚醛樹(shù)脂(相當(dāng)于苯酚106)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0179克的光-酸發(fā)生劑(8)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進(jìn)行濃縮，得到粘性的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時(shí)的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在22分鐘內(nèi)凝膠。
采用鄰近曝光機(jī)(MAP-1300，MH DAINIPPON SCREEN MFG有限公司制造)將配制的正性光敏液態(tài)密封劑以1000mJ/cm2曝光，用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量其在130℃時(shí)的固化性質(zhì)，正性光敏液態(tài)密封劑在35分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(8)實(shí)例2將31.12克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.338克的光-酸發(fā)生劑(8)和0.068克的ADEKA OPTMER SP-100(由ASAHI DENKA有限公司制造)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進(jìn)行濃縮，得到粘性組成物。
采用搖動(dòng)消泡設(shè)備(HM-500，由KEYENCE公司制造)將23.32克的甲基-5-去甲莰烷-2，3-二羧酸酐(由WAKO純凈化學(xué)工業(yè)有限公司制造)和0.16克1，8-二氮二環(huán)(5，4，0)十一碳-7-烯(由SIGMA-ALDRICH公司制造)加入配制出的組成物中，配制出均勻的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時(shí)的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在20分鐘內(nèi)凝膠。
采用鄰近曝光機(jī)(MAP-1300，MH DAINIPPON SCREEN MFG有限公司制造)將所配制的正性光敏液態(tài)密封劑以1000mJ/cm2曝光，用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量其在130℃時(shí)的固化性質(zhì)。正性光敏液態(tài)密封劑的凝膠時(shí)間為26分鐘。
比較實(shí)例1將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹(shù)脂(相當(dāng)于106苯酚)、0.0067克的3-3-硝基芐氧羰基咪唑、0.0182克的光-酸發(fā)生劑(9)和0.0036克的ADEKA OPTMERSP-100溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進(jìn)行濃縮，得到粘性的正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時(shí)的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在25分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(9)比較實(shí)例2將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹(shù)脂(相當(dāng)于苯酚106)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0193克的光-酸發(fā)生劑(10)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進(jìn)行濃縮，得到粘性正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時(shí)的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在33分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(10)比較實(shí)例3將1.34克的雙酚-A型二環(huán)氧甘油醚(由TOHTO KASEI有限公司制造)、0.33克的線性酚醛樹(shù)脂(相當(dāng)于106苯酚)、0.0067克的3-硝基芐氧羰基咪唑和0.0202克的光-酸發(fā)生劑(11)溶入丙酮中，配制出均勻溶液。將該溶液在減壓情況下進(jìn)行濃縮，得到粘性正性光敏液態(tài)密封劑。
采用錐形平板粘度計(jì)(由MST ENGINEERING有限公司制造)測(cè)量配制的正性光敏液態(tài)密封劑在溫度為130℃時(shí)的固化性質(zhì)，未曝光的正性光敏液態(tài)密封劑在33分鐘內(nèi)未被凝膠。
分子式(11)本發(fā)明可以提供用作填充劑的正性光敏組成物。
權(quán)利要求
1.一種正性光敏組成物，其特征在于包括在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或多個(gè)環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物；固化催化劑或通過(guò)加熱產(chǎn)生固化催化劑的化合物；以及一磺酸鹽。
2.如權(quán)利要求1所述的組成物，其特征在于，該磺酸鹽至少是從下列分子式(1)～(7)所表示的化合物所組成的物質(zhì)組中選擇的一種化合物； 分子式(1)其中，X1是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R1～R6各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)； 分子式(2)其中，X2是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R7～R14各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)； 分子式(3)其中，X3是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R15～R19各自獨(dú)立的為氫原子、烷氧基團(tuán)或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)； 分子式(4)其中，X4是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R20～R23各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)； 分子式(5)其中，X5是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R24～R27各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)； 分子式(6)其中，X6是可任選取代的碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R28～R39各自獨(dú)立的為氫原子或單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，X40是氫原子或羥基團(tuán)，m為0或者1； 分子式(7)其中，X7是可任選取代的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，R41和R42各自獨(dú)立的為氫原子或碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，X43～R47各自獨(dú)立的為氫原子、硝基團(tuán)或碳原子數(shù)為1～20的單價(jià)有機(jī)基團(tuán)，n為0或者1。
3.一種制造半導(dǎo)體組件的方法，其特征在于包括下述步驟將權(quán)利要求1中的正性光敏組成物涂在基片上曝光；通過(guò)加熱固化未曝光部分；以及顯影曝光部分。
4.一種制造顯示器組件的方法，其特征在于包括下述步驟將權(quán)利要求1中的正性光敏組成物涂在基片上曝光；通過(guò)加熱固化未曝光部分；以及顯影曝光部分。
全文摘要
本發(fā)明涉及到一種正性光敏組成物，由在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或更多環(huán)氧基團(tuán)的環(huán)氧化合物、固化催化劑或通過(guò)加熱用于產(chǎn)生固化催化劑的化合物以及磺酸鹽組成；還涉及到一種制造半導(dǎo)體組件的方法，該方法包括將正性光敏組成物涂在基片上曝光后，通過(guò)加熱固化未曝光部分，并顯影曝光部分；以及涉及到一種制造顯示器組件的方法，該方法包括將正性光敏組成物涂在基片上曝光后，通過(guò)加熱固化未曝光部分，并顯影曝光部分。
文檔編號(hào)G03F7/039GK1499295SQ20031010232
公開(kāi)日2004年5月26日 申請(qǐng)日期2003年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月31日
發(fā)明者矢作公 申請(qǐng)人:住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社