專利名稱：用于制造液晶顯示裝置的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示(LCD)裝置，并且更具體地，涉及一種基板粘接裝置，便于通過液晶分配方法形成的LCD裝置的制造，和一種利用該裝置制造LCD裝置的方法。
背景技術(shù)：
隨著信息社會(huì)的發(fā)展，對(duì)厚度薄、重量輕、功耗小并能夠產(chǎn)生高質(zhì)量圖像的顯示器的需求增加。為了滿足這些需求，已經(jīng)研制開發(fā)了多種平板顯示裝置，包括液晶顯示(LCD)、等離子體顯示(PDP)、電致發(fā)光顯示(ELD)和真空熒光顯示(VFD)。這些顯示技術(shù)中的一部分已經(jīng)應(yīng)用在信息顯示中。
在各種類型的平板顯示裝置中，LCD裝置應(yīng)用非常廣泛。實(shí)際上，在便攜裝置例如筆記本電腦(PC)中，LCD技術(shù)已經(jīng)代替陰極射線管(CRT)作為顯示首選。另外，甚至在臺(tái)式PCs和在電視(TV)顯示器中，LCDs裝置正在變得更普及。
盡管LCD技術(shù)中已經(jīng)有了多種技術(shù)發(fā)展，但是，相比于對(duì)LCD裝置的其他特征和優(yōu)點(diǎn)的研究，對(duì)改善LCD裝置圖像質(zhì)量的研究還是缺乏。因此，為了增加LCD裝置作為顯示器在各種應(yīng)用領(lǐng)域中的使用，必須開發(fā)能夠以大尺寸屏幕顯示高質(zhì)量圖像(例如，具有高分辨率和高亮度的圖像)與此同時(shí)仍然保持重量輕、尺寸最小化和低功耗的LCD裝置。
LCDs通常包括用于顯示圖像的LCD面板和用于向LCD面板提供驅(qū)動(dòng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)部件。具體地，LCD面板包括第一和第二玻璃基板，這兩個(gè)基板彼此粘接在一起同時(shí)相互間隔一個(gè)液晶盒間隙，其中液晶材料層注入到該液晶盒間隙中。
第一玻璃基板(即，薄膜晶體管(TFT)陣列基板)設(shè)置多條柵極線，這些線彼此以固定的間隔分開并且沿著第一方向延伸；多條數(shù)據(jù)線，這些線彼此以固定的間隔分開并且沿著基本上與第一方向垂直的第二方向延伸，其中通過柵極線和數(shù)據(jù)線的交叉限定出多個(gè)像素區(qū)域；以矩陣圖案設(shè)置在相應(yīng)的每個(gè)像素區(qū)域內(nèi)的多個(gè)像素電極；和多個(gè)薄膜晶體管(TFTs)，能夠響應(yīng)作用給相應(yīng)的每個(gè)柵極線的信號(hào)，從數(shù)據(jù)線向?qū)?yīng)的每個(gè)像素電極傳送信號(hào)。
第二玻璃基板(即，濾色片基板)上設(shè)置用于防止像素區(qū)域以外的面積中的光泄漏的黑色矩陣層；用來有選擇地透過具有預(yù)定波長的光的濾色片層(R，G，B)；和用于顯示圖像的公共電極。但是，平面內(nèi)開關(guān)(IPS)模式LCD裝置的公共電極形成在第一基板上。
通過設(shè)置在由密封圖案粘接在一起的第一和第二玻璃基板之間的襯墊料保持液晶盒間隙的均勻度。密封圖案包括液晶注入孔，通過毛細(xì)現(xiàn)象能夠允許將液晶材料注入到液晶盒間隙中。通過液晶注入孔將液晶材料注入到該液晶盒間隙內(nèi)，由此形成液晶材料層。
但是，利用上述現(xiàn)有技術(shù)提到的液晶注入方法制造LCD裝置，由于生產(chǎn)率很低，所以并不好，。更具體地講，在通過切割處理形成LCD面板之后，通過將每個(gè)LCD面板的液晶注入孔浸入到液晶材料貯存器中，與此同時(shí)液晶盒間隙中的壓力保持在真空狀態(tài)，將液晶材料注入到液晶盒間隙中。此外，隨著LCD面板尺寸的增大，由于液晶材料的不理想的填充特性，LCD面板內(nèi)有缺陷的危險(xiǎn)增大。另外，液晶注入方法通常復(fù)雜、耗時(shí)，并且需要許多占有大量額外空間的液晶注入裝置。
考慮到前面提到的與液晶注入方法有關(guān)的問題，通過分配液晶材料制造LCD裝置已經(jīng)成為近來研究的目標(biāo)。特別是，日本專利申請(qǐng)Nos.H11-089612和H11-172903公開了一種分配液晶材料的方法，其中在分配液晶材料并且將密封材料涂布到第一或第二基板上之后，第一和第二基板中的另一個(gè)位于已涂布了密封材料的第一或第二基板上，并且在真空下將兩個(gè)基板粘接在一起。
通常，液晶材料分配方法優(yōu)于液晶材料注入方法，因?yàn)樗鼈儨p少了制造LCD面板所需要的制造步驟的數(shù)量(例如，省略了形成液晶注入孔、注入液晶材料、密封液晶注入孔等等)，從而簡化了LCD面板的制造。
圖1和2表示在制造由分配液晶材料形成的LCD面板中使用的現(xiàn)有的基板粘接裝置。
參照?qǐng)D1和2，現(xiàn)有的LCD裝置基板粘接裝置設(shè)有框架10、上工作臺(tái)21、下工作臺(tái)22、密封劑分配部件(圖中沒有示出)、液晶材料分配部件30、上腔室單元31、下腔室單元32、腔室移動(dòng)裝置和工作臺(tái)移動(dòng)裝置。
密封劑分配部件(圖中沒有示出)和液晶材料分配部件30通常設(shè)置在框架10的側(cè)面部分。此外，上和下腔室單元31和32分別彼此連接從而粘接LCD面板的基板。
腔室移動(dòng)裝置通常包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)40，用于將下腔室單元32橫向地移動(dòng)到預(yù)定位置，基板在此處粘接在一起(S2)并且在此處涂布密封材料和分配液晶材料(S1)。工作臺(tái)移動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)50，用于將上工作臺(tái)21升高和下降到預(yù)定位置。
現(xiàn)在更詳細(xì)地描述利用現(xiàn)有的基板粘接裝置制造LCD面板的方法。
第一基板51位于下腔室單元32的下工作臺(tái)22上，并且腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到上腔室單元31的下方，使得下工作臺(tái)22位于上工作臺(tái)21的下方。接下來，工作臺(tái)移動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)50將上工作臺(tái)21下降到預(yù)定位置使得第一基板51緊固到下降的上工作臺(tái)21上。接下來，其上緊固有第一基板51的上工作臺(tái)21升高到預(yù)定位置。然后，腔室移動(dòng)裝置40使得下腔室單元32移動(dòng)到將第二基板52裝載在下工作臺(tái)22上的位置。接下來，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到第一預(yù)定位置S1(如圖1中所示)。在第一預(yù)定位置S1，分別利用密封劑分配部件(圖中沒有示出)和液晶材料分配部件30將密封材料涂布處理和液晶材料分配處理施加到第二基板52上。在涂布密封材料和分配液晶材料之后，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到第二預(yù)定位置S2(如圖2中所示)，在此第一和第二基板51、52分別粘接在一起。接下來，上和下腔室單元31和32分別彼此連接使得上和下工作臺(tái)21和22分別設(shè)置在密封的空間內(nèi)。然后利用抽真空裝置(圖中沒有示出)在該密封空間內(nèi)形成真空。在形成真空之后，工作臺(tái)移動(dòng)裝置50將上工作臺(tái)21下降，使得緊固在上工作臺(tái)21上的第一基板51接觸位于下工作臺(tái)22上的第二基板52。下降上工作臺(tái)21直到兩個(gè)基板形成粘接，從而完成LCD面板的制造。
但是，使用上述現(xiàn)有技術(shù)中提到的LCD裝置基板粘接裝置存在缺陷，因?yàn)樯鲜霈F(xiàn)有技術(shù)中提到基板粘接裝置的整體尺寸非常大，特別是當(dāng)設(shè)計(jì)用來制造大尺寸的LCD面板時(shí)。在設(shè)計(jì)LCD裝置制造工藝時(shí)，相關(guān)的基板粘接裝置特別大的整體尺寸將帶來問題，因?yàn)楸仨毺峁┳銐蛄康目臻g來安裝現(xiàn)有的基板粘接裝置，與此同時(shí)保留其他處理中的其他裝置所位于的空間。
另外，雖然現(xiàn)有的粘接裝置將密封劑和液晶材料施加到具有薄膜晶體管和濾色片層的基板上并且將兩個(gè)基板粘接在一起，但是現(xiàn)有的粘接裝置可能增加制造LCD面板所需要的總時(shí)間。特別是，由于分配液晶材料、涂布密封材料和粘接基板都使用同一個(gè)裝置，從前面的工序傳輸過來的基板必須閑置到由現(xiàn)有的基板粘接裝置執(zhí)行處理工序完成。另外，由于在其他制造工序正在進(jìn)行的同時(shí)，現(xiàn)有的基板粘接裝置不能處理那里的材料傳輸，致使該LCD制造工藝的總體生產(chǎn)率降低。
再有，在連接的上和下腔室單元31和32之間可能分別形成有瑕疵的密封，結(jié)果，在粘接過程中，空氣可能從外部環(huán)境泄漏到由上、下腔室單元并且對(duì)限定的密封空間中的基板造成損壞，從而形成有缺陷的粘接。
另外，定位下腔室單元32和接下來粘接兩個(gè)基板需要充分的高度的對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可能特別困難和復(fù)雜并且不適當(dāng)?shù)匮娱L了制造LCD面板的整個(gè)工藝。因此，對(duì)于一個(gè)成功的粘接，下腔室單元32需要移動(dòng)到多個(gè)位置(例如，用于在第二基板52上分配液晶和涂布密封材料的第一位置S1，用于粘接兩個(gè)基板的第二位置S2等等)用來防止基板的不恰當(dāng)?shù)膶?duì)準(zhǔn)。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明旨在一種基板粘接裝置和一種用于制造LCD裝置的方法，其基本上克服了由于現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)而存在的一個(gè)或多個(gè)問題。
本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是提供一種基板粘接裝置和一種用于制造LCD面板的方法，其中該裝置的總體結(jié)構(gòu)簡化并且該裝置的總體尺寸減小，使得LCD制造工藝的總體布置簡化，能夠在基板之間提供平穩(wěn)的對(duì)準(zhǔn)，并且能夠減少制造單個(gè)LCD面板所需要的時(shí)間周期，從而便于前面和后續(xù)的LCD制造工藝的平穩(wěn)進(jìn)行。
下面的說明書中將會(huì)提出本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)并且一部分會(huì)在本說明書中明了，或者可以通過本發(fā)明的實(shí)施學(xué)習(xí)到。通過在書面的說明書、權(quán)利要求書以及所附附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)將會(huì)實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)。
為了實(shí)現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)并且根據(jù)本發(fā)明的目的，如具體表達(dá)和概括描述的，一種用于制造LCD面板的裝置，例如可以包括用于構(gòu)成外形的基座；安裝到該基座上的下腔室單元；位于下腔室單元上并且可以相對(duì)于基座移動(dòng)的上腔室單元；安裝到基座上用來升高和下降上腔室單元的腔室移動(dòng)裝置；上工作臺(tái)和下工作臺(tái)，分別設(shè)置在上和下腔室單元的內(nèi)部空間中，分別用來緊固第一基板和第二基板；和密封裝置，提供給上和下腔室單元的至少一個(gè)表面，用來密封當(dāng)連接上和下腔室單元時(shí)產(chǎn)生的內(nèi)部空間，其中兩個(gè)基板設(shè)置有密封的內(nèi)部空間。
在本發(fā)明的另一方面中，一種用于制造LCD裝置的方法，例如可以包括將第一基板裝載到上工作臺(tái)上；將第二基板裝載到下工作臺(tái)上；下降上腔室單元從而從外部空間密封出一個(gè)內(nèi)部空間，其中上和下工作臺(tái)設(shè)置在密封的內(nèi)部空間中，其中利用密封裝置密封該密封的內(nèi)部空間；對(duì)該密封的內(nèi)部空間抽真空；移動(dòng)上腔室單元和上工作臺(tái)來對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板并且使得第一基板與形成在第二基板上的密封劑接觸；向該密封的內(nèi)部空間通氣，其中第一基板與第二基板上的密封劑形成接觸，其中向第一和第二基板施加壓力；和卸載壓在一起的第一和第二基板。
應(yīng)當(dāng)理解前面概要性的解釋和以下作為示例的詳細(xì)說明和解釋都準(zhǔn)備為本發(fā)明的權(quán)利要求提供進(jìn)一步的解釋。


結(jié)合所附附圖解釋本發(fā)明的實(shí)施例并且與說明書一起來解釋本發(fā)明原理，這些附圖總結(jié)來進(jìn)一步地理解發(fā)明并且合并在其中和構(gòu)成本說明書的一部分。
在這些附圖中圖1和2表示在制造通過液晶材料分配方法形成的LCD面板中使用的現(xiàn)有的基板粘接裝置；圖3表示處于無負(fù)載狀態(tài)的根據(jù)本發(fā)明原理制造LCD面板的基板粘接裝置；圖4A和4B表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的工作臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；圖5表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的可旋轉(zhuǎn)的凸輪的設(shè)置的平面圖；圖6簡要地表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的真空泵和管道；圖7表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的支承裝置的簡視圖；圖8表示將第一基板裝載在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中；圖9和10表示將第一基板緊固到根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置的上工作臺(tái)上；圖11至13表示裝載第二基板和將第二基板緊固到根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的下工作臺(tái)上；圖14和15表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的基板的粘接；圖16至18表示從根據(jù)本發(fā)明的一部分的基板粘接裝置中卸載粘接在一起的基板；圖19至21表示從根據(jù)本發(fā)明的另一部分的基板粘接裝置中卸載粘接在一起的基板；圖22表示根據(jù)本發(fā)明原理用于制造LCD面板的方法的流程圖；圖23A至23C表示根據(jù)本發(fā)明原理在對(duì)準(zhǔn)方法中使用的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；圖24A至24C表示根據(jù)本發(fā)明原理在對(duì)準(zhǔn)方法中使用的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；圖25表示在根據(jù)本發(fā)明原理的對(duì)準(zhǔn)方法的過程中照相機(jī)的聚焦位置。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在詳細(xì)解釋本發(fā)明的實(shí)施例，具體的例子在所附附圖中給出。
圖3表示處于無負(fù)載狀態(tài)的根據(jù)本發(fā)明原理制造LCD面板的基板粘接裝置。
整體地參照?qǐng)D3，本發(fā)明的基板粘接裝置例如可以包括基座100；上腔室單元210；下腔室單元220；腔室移動(dòng)裝置(例如，310，320，330，340和350)；上工作臺(tái)230；和下工作臺(tái)240；密封裝置(例如，250)；上低真空單元410；下低真空單元420；例如在圖5中所示的對(duì)準(zhǔn)裝置(例如，510，520，530和540)；例如在圖6中所示的真空泵裝置(例如，610，621和622)；例如圖7中所示的支承裝置(例如710和720)；和照相排版裝置800。
在本發(fā)明的一部分中，基座100可以固定到支承結(jié)構(gòu)上或表面(例如地面)上，可以形成粘接裝置的外形，和可以支承下面將要詳細(xì)討論的各個(gè)部件。
在本發(fā)明的另一部分中，上和下工作臺(tái)230和240可以分別固定到上腔室單元210和下腔室單元220上。如下面將要更詳細(xì)地描述的，上和下腔室單元210和220可以有選擇地彼此連接從而限定一個(gè)內(nèi)部空間。
例如，上腔室單元210可以包括能夠暴露在外部環(huán)境的上基底211，和固定不動(dòng)地連接到上基底211底面周邊上的上腔室平板212。在本發(fā)明的一部分中，上腔室平板212可以設(shè)置成矩形邊界和限制出一個(gè)在其中固定上工作臺(tái)230的內(nèi)部空間。由于上工作臺(tái)230固定到上腔室單元210上，該上工作臺(tái)可以隨著上腔室單元210升高和下降。在本發(fā)明的另一部分中，第一密封元件213可以設(shè)置在上腔室單元212的上基底211與上腔室平板212之間，從而密封由上腔室平板212從外部環(huán)境限定出來的內(nèi)部空間。在本發(fā)明的一部分中，第一密封元件213可以設(shè)置為墊圈、O形環(huán)或適合于密封的類似物。
例如，下腔室單元220可以包括固定到基座100上的下基底221，和設(shè)置在下基底221頂面周邊上的下腔室平板222。在本發(fā)明的一部分中，下腔室平板222可以設(shè)置成矩形邊界和限制出一個(gè)其中固定下工作臺(tái)240的內(nèi)部空間。在本發(fā)明的一部分中，下腔室平板222可以在左、右、前和后(即，橫向)方向中相對(duì)于下基底221移動(dòng)。在本發(fā)明的另一部分中，下腔室單元220可以包括固定平板223，用來將下基底221固定到基座100上。在本發(fā)明的另一部分中，第二密封元件224可以設(shè)置在下腔室單元220的下基底221與下腔室平板222之間，并且能夠密封由下腔室平板222從外部環(huán)境限定出來的內(nèi)部空間。在本發(fā)明的一部分中，第二密封元件224可以設(shè)置為墊圈、O形環(huán)或適合于密封的類似物。
根據(jù)本發(fā)明原理，可以在下基底221與下腔室平板222之間設(shè)置至少一個(gè)支承部件225，用來將下腔室平板222相對(duì)于下基底221的上表面保持預(yù)定距離。支承部件225可以包括固定到下腔室平板222的底部上的第一端，和在橫向中相對(duì)于下基底221能夠移動(dòng)并且固定到與下基底221的底部固定的一塊上的第二端。因此，支承部件225使得下腔室平板222能夠在左、右、前和后方向中相對(duì)于下基底221運(yùn)動(dòng)。
仍然參照?qǐng)D3，前面提到的腔室移動(dòng)裝置，例如可以包括固定到基座100上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)310，與驅(qū)動(dòng)電機(jī)310耦聯(lián)的驅(qū)動(dòng)軸320，設(shè)置成基本上與驅(qū)動(dòng)軸320垂直的用來接收來自驅(qū)動(dòng)軸320的驅(qū)動(dòng)力的連接軸330，用來將驅(qū)動(dòng)軸320與連接軸330連接的連接部件340，和固定在連接軸330的一端處的起重部件350。
在本發(fā)明的一部分中，驅(qū)動(dòng)電機(jī)310可以設(shè)置在基座100的內(nèi)部的底部中，并且可以設(shè)置成具有雙向軸的電機(jī)，具有從驅(qū)動(dòng)電機(jī)310的兩側(cè)都水平伸出的軸。驅(qū)動(dòng)軸320可以與驅(qū)動(dòng)電機(jī)310連接并且沿著水平方向?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)力傳遞給連接部件340，與此同時(shí)連接軸330可以與連接部件340連接從而相對(duì)于驅(qū)動(dòng)軸320沿著垂直方向傳遞該驅(qū)動(dòng)力。起重部件350可以設(shè)在連接軸330的末端，可以與上腔室單元210連接，并且可以包括一個(gè)螺母蓋，根據(jù)連接軸330旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向推動(dòng)上腔室單元210向上和向下移動(dòng)。連接部件340可以設(shè)置為斜齒輪系統(tǒng)，將來自驅(qū)動(dòng)軸320的沿著水平方向的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)變成施加給連接軸330的垂直方向的力。
根據(jù)本發(fā)明原理，上和下工作臺(tái)230和240可以分別包括固定平板231和241，固定(fixing plate)平板231和241固定到相應(yīng)的上腔室單元210和下腔室單元220上；緊固平板(securing plate)232和242，分別用來緊固上和下基板；和多個(gè)固定塊233和243，分別設(shè)置在相應(yīng)的各對(duì)固定平板231和241與緊固平板232和242之間。在本發(fā)明的一部分中，緊固平板232和242可以各自設(shè)成為由例如聚酰亞胺材料形成的靜電吸盤(ESC)，用來通過施加靜電荷將基板緊固到相應(yīng)的一個(gè)工作臺(tái)上。
圖4A和4B表示根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的工作臺(tái)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
圖4A和4B分別表示圖3中所示的“A”和“B”區(qū)域中的放大的剖視圖。因此，雖然參照?qǐng)D4A和4B，每個(gè)緊固平板232和242例如可以分別額外包括多個(gè)孔232a和242a，分別用來傳輸吸力。因此，多個(gè)孔232a和242a中的每一個(gè)可以分別與相應(yīng)的真空管道271和272連接。這些真空管道分別形成在相應(yīng)的每個(gè)上工作臺(tái)230和下工作臺(tái)240中。在本發(fā)明的一部分中，每個(gè)真空管道271和272可以與用來產(chǎn)生吸力的真空泵裝置(例如，如圖6中所示的622)連接。
再回來參照?qǐng)D3，密封裝置250(以下稱之為第三密封元件)可以設(shè)成為O形環(huán)，由例如橡膠等材料制成，并且沿著下腔室單元220的下腔室平板222的頂表面裝配。在本發(fā)明的一部分中，第三密封元件250可以從下腔室平板222的頂表面伸出預(yù)定高度，并且形成具有預(yù)定厚度。當(dāng)最初連接上腔室單元210和下腔室單元220時(shí)，該厚度足以防止由相應(yīng)的各個(gè)上和下工作臺(tái)230和240緊固的基板成接近于彼此緊挨地設(shè)置，如下面將要更詳細(xì)地討論的。在本發(fā)明的另一部分中，當(dāng)擠壓第三密封元件250時(shí)，第三密封元件250的厚度足以允許這些基板彼此接觸。
在本發(fā)明的一部分中，上和下低真空腔室單元410和420可以各自包括能夠?qū)嵸|(zhì)上抽空的內(nèi)部空間。另外，上和下低真空腔室單元410和420可以分別與上腔室單元210的上表面和下腔室單元220的下表面接觸。當(dāng)上腔室單元210和下腔室單元220連接時(shí)，通過連接起來的腔室單元可以限定并且密封一個(gè)內(nèi)部空間。另外，上和下工作臺(tái)230和240可以設(shè)置在該密封的內(nèi)部空間內(nèi)，使得當(dāng)密封的內(nèi)部空間抽成真空時(shí)，由于在密封的內(nèi)部空間中產(chǎn)生的真空與外部環(huán)境的大氣壓力之間的壓力差，上和下工作臺(tái)230和240而變彎曲。由于上和下工作臺(tái)230和240彎曲的角度可以在上和下工作臺(tái)的中心區(qū)域達(dá)到最大，上和下低真空腔室單元410和420的內(nèi)部空間中產(chǎn)生的真空可以使得上和下工作臺(tái)230和240彎曲的角度最小。在本發(fā)明的一部分中，與其邊緣部分相比較上和下低真空腔室單元410和420的內(nèi)部空間在其中心部分更大。
根據(jù)本發(fā)明原理，可以利用前面提到的對(duì)準(zhǔn)裝置將分別緊固到上和下工作臺(tái)230和240上的基板110和120對(duì)準(zhǔn)。在本發(fā)明的一部分中，在對(duì)準(zhǔn)基板110和120的過程中，下工作臺(tái)240可以保持基本上固定，與此同時(shí)根據(jù)利用對(duì)準(zhǔn)裝置可調(diào)整的下腔室平板222調(diào)整上工作臺(tái)230的位置。
在本發(fā)明的一部分中，對(duì)準(zhǔn)裝置例如可以包括多個(gè)線性致動(dòng)器510、多個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520、多個(gè)凸輪530和多個(gè)復(fù)位裝置540。多個(gè)線性致動(dòng)器510可以沿著上腔室單元210的邊緣設(shè)置并且可以下降對(duì)應(yīng)的多個(gè)可移動(dòng)的軸511，直到可移動(dòng)的軸511被接收到設(shè)在下腔室單元220的下腔室平板222中的相應(yīng)的孔222a中。多個(gè)線性致動(dòng)器510中的每一個(gè)可以包括測(cè)力傳感器(圖中沒有示出)，通過將上工作臺(tái)230的傾斜角度調(diào)整成基本上等于下工作臺(tái)240的傾斜角度，能夠便于校平上和下工作臺(tái)230和240的工作表面(例如，工作臺(tái)與基板接觸的表面)。因此，線性致動(dòng)器510可以將上工作臺(tái)230的工作表面的定向調(diào)整成基本上平行于下工作臺(tái)240的工作表面。在本發(fā)明的一部分中，線性致動(dòng)器510可以設(shè)置在上腔室單元210的至少兩個(gè)對(duì)角正對(duì)的角上。在本發(fā)明的另一部分中，線性致動(dòng)器510可以設(shè)在上腔室單元210的四個(gè)角上。
孔222a的尺寸基本上與多個(gè)可移動(dòng)的軸511的相應(yīng)的末端部分的尺寸一致。在本發(fā)明的一部分中，孔222a的尺寸和可移動(dòng)的軸511的末端部分的尺寸可以形成圓錐形結(jié)構(gòu)，具有斜表面。因此，即使可移動(dòng)的軸511和孔222a最初沒有準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)，可移動(dòng)的軸511的末端部分可以接觸并且受到孔222a中的圓錐形表面的引導(dǎo)，使得可移動(dòng)的軸511和孔222a最終充分對(duì)準(zhǔn)。
安裝對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520使得穿過上腔室單元210或穿過下腔室單元220可以觀察到對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(圖中沒有示出)，這些標(biāo)記形成在基板(圖中沒有示出)上并且由上或下工作臺(tái)230或240緊固。在本發(fā)明的一部分中，可以使用至少兩個(gè)對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520來觀察由工作臺(tái)230或240固定的基板的至少兩個(gè)對(duì)角設(shè)置的角。
圖5表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的可旋轉(zhuǎn)的凸輪的設(shè)置的平面圖。
參照?qǐng)D3和5，凸輪530可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置成與下腔室平板222的外表面有選擇地接觸。在本發(fā)明的一部分中，在本發(fā)明的基板粘接裝置中可以設(shè)有三個(gè)凸輪530。在本發(fā)明的另一部分中，每個(gè)凸輪可以偏心旋轉(zhuǎn)使得當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí)能夠在預(yù)定方向中推動(dòng)下腔室平板222。根據(jù)本發(fā)明原理，可以通過四個(gè)側(cè)面限定下腔室單元，其中第一對(duì)正對(duì)的側(cè)面可以比第二對(duì)正對(duì)的側(cè)面長。因此，兩個(gè)凸輪530可以設(shè)置成與第一對(duì)正對(duì)的側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面有選擇地接觸，并且一個(gè)凸輪530可以設(shè)置成與第二對(duì)正對(duì)的側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面的中間部分有選擇地接觸，使得下腔室平板222可以在左、右、前和后方向中移動(dòng)。單個(gè)的復(fù)位裝置540可以設(shè)置成與相應(yīng)的凸輪530相鄰，并且可以在正對(duì)著相應(yīng)的凸輪530推動(dòng)下腔室平板222的方向相反的方向中產(chǎn)生一個(gè)復(fù)位力。在本發(fā)明的一部分中，復(fù)位裝置540可以設(shè)成為彈簧，它的第一端與基座100連接而第二端與下腔室平板222的外表面連接。
圖6簡要地表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的真空泵和管道。
參照?qǐng)D3和6，可以為上和下腔室單元210和220中的至少一個(gè)提供前面提到的真空泵裝置610、621和622，并且可以對(duì)由連接在一起的上和下腔室單元210和220限定的密封的內(nèi)部空間抽真空。在本發(fā)明的一部分中，真空泵裝置610、621和622例如可以分別包括高真空泵(渦輪分子真空泵，“TMP”)610和第一和第二低真空泵(于式真空泵)621和622。
第一低真空泵621與設(shè)在上腔室單元210的中心區(qū)域處的高真空腔室管道630連接，并且能夠使得高真空泵610與由上和下腔室平板212和222限定的內(nèi)部空間彼此連通。另外，第一低真空泵將由上和下腔室單元210和220限定的密封的內(nèi)部空間抽空到預(yù)定壓力。
第二低真空泵622與穿過上和下腔室單元210和220的側(cè)面區(qū)域的低真空腔室管道641和642連接。另外，第二低真空泵622與上和下工作臺(tái)230和240中的管道連接，以及與在工作臺(tái)230和240中分別與真空管道271和272相連的基板緊固管道650連接，以用于通過使用吸力來緊固基板。管道630、641、642和650可以包括至少一個(gè)截流閥661、662、663、664、665、666、667、668和669。高壓真空管道630包括用于測(cè)量其中容納有基板的內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力的壓力傳感器670。
在本發(fā)明的一部分中，可以分別采用第一和第二低真空泵621和622來對(duì)上和下低真空腔室單元410和420的內(nèi)部空間抽真空。
可以將與第二低真空泵622連通的低真空腔室管道641和642和基板緊固管道650用來作為通氣管道。因此，氣體(例如，N2氣)可以注入到由上和下腔室單元210和220限定的密封的內(nèi)部空間中，用于將其中的壓力從真空狀態(tài)返回到大氣壓力。
圖7表示在根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘接裝置中的支承裝置的簡視圖。
參照?qǐng)D3和7，支承裝置例如可以包括起模頂桿710和多個(gè)致動(dòng)器720。在本發(fā)明的一部分中，起模頂桿710具有足以支承至少一個(gè)基板，與此同時(shí)基本上防止該至少一個(gè)基板下垂的厚度。起模頂桿710的中心區(qū)域包括向下彎曲的部分，用來允許裝載機(jī)910支承至少一個(gè)基板而沒有影響起模頂桿710(例如參見圖12)。另外，起模頂桿710的一部分可以通過下工作臺(tái)240升高并且位于下工作臺(tái)240的上表面上，從而便于將基板120裝載在下工作臺(tái)240上時(shí)的安全定位(例如，參見圖12)。在本發(fā)明的一部分中，當(dāng)基板沒有裝載在下工作臺(tái)240上時(shí)，起模頂桿710的上表面可以位于下工作臺(tái)240的上表面之下。在本發(fā)明的另一部分中，如果需要多個(gè)致動(dòng)器720可以升高和下降起模頂桿710。因此，支承裝置可以方便地卸載位于下工作臺(tái)240上的粘接的和未粘接的基板(例如，參見圖21)。
回來參照?qǐng)D3，并且根據(jù)本發(fā)明原理，照相排版裝置800可以通過至少一個(gè)上和下腔室單元210和220分別固定到涂布在已裝載的基板的預(yù)定區(qū)域上的部分硬化的密封材料，這些已裝載的基板通過它們各自的工作臺(tái)230和240緊固。在本發(fā)明的一部分中，照相排版裝置800例如可以包括UV引導(dǎo)部件，用于將UV光引導(dǎo)到密封材料上。
仍然參照?qǐng)D3，在下腔室單元220的下腔室平板222的表面上設(shè)有間隙測(cè)定傳感器920，用來相應(yīng)地測(cè)定上和下腔室單元210和220之間的距離，和用來測(cè)定在粘接基板110和120之前上腔室單元210的運(yùn)動(dòng)中的誤差。
現(xiàn)在將參照?qǐng)D8至22更詳細(xì)地描述利用圖3至7中所示的基板粘接裝置制造LCD裝置的方法。
圖22表示根據(jù)本發(fā)明原理用于制造LCD裝置的方法的流程圖。
參照?qǐng)D22，可以從不同的生產(chǎn)流水線提供涂布有密封材料的第一基板110和上面具有分配的液晶的第二基板120(步驟1S)。在本發(fā)明的一部分中，第一基板110可以設(shè)成為TFT陣列基板或?yàn)V色片陣列基板中的某一個(gè)而第二基板120可以設(shè)成為TFT陣列基板或?yàn)V色片陣列基板中的另一個(gè)。在本發(fā)明的另一部分中，密封劑可以設(shè)成為熱固性的密封劑、UV凝結(jié)的密封劑、UV凝結(jié)/熱固性密封劑的組合等等。在本發(fā)明的另一個(gè)部分中，第二基板可以涂有密封材料并且可以還具有分配到其上的液晶。
在分別提供第一和第二基板110和120之后，它們可以裝載到基板粘接裝置中(步驟2S)。因此，同時(shí)參照?qǐng)D8，第一基板110可以相應(yīng)地通過裝載機(jī)910放入到位于上和下腔室單元210和220之間的空間中。在本發(fā)明的一部分中，第一基板110上涂有密封材料(圖中沒有示出)。因此，第一基板110與密封材料接觸的表面面朝下，且朝向下腔室單元220。在本發(fā)明的另一部分中，第一基板110上沒有涂布密封材料(即，第二基板120涂有密封劑并且其上具有分配的液晶材料)。因此，第一基板110的上面形成有公共電極、濾色片層、黑色矩陣層等的表面可以形成為面朝下，朝向下腔室單元220。
接下來，同時(shí)參照?qǐng)D9，上腔室單元210可以從它的最初位置下降使得上工作臺(tái)230設(shè)置為接近第一基板110。然后通過由第二低真空泵622產(chǎn)生的吸力和通過由緊固平板232產(chǎn)生的靜電荷(ESC)使得第一基板110緊固到上工作臺(tái)230上。在本發(fā)明的一部分中，可以通過同時(shí)施加吸力和靜電荷將第一基板110緊固到上工作臺(tái)230上。在本發(fā)明的另一部分中，通過在施加靜電荷之前或之后施加吸力，可以將第一基板110緊固到上工作臺(tái)230上。但是，如果首先施加靜電荷，可能在基板110和緊固平板232之間產(chǎn)生火花。因此，最好是先施加吸力，然后再施加靜電荷，從而將第一基板110緊固到上工作臺(tái)230上。
現(xiàn)在參照?qǐng)D10，在第一基板110已經(jīng)緊固到上工作臺(tái)230上之后，上腔室單元210可以升高到其最初的位置，并且可以從基板粘接裝置移走裝載機(jī)910。
然后，一并參照?qǐng)D11，裝載機(jī)910承載第二基板120的同時(shí)可以再插入到基板粘接裝置中。在本發(fā)明的一部分中，液晶材料(圖中沒有示出)分配到第二基板120上。在本發(fā)明的另一部分中，第二基板120可以涂有密封材料并且可以具有分配到其上的液晶材料。但是，不論在本發(fā)明的哪一部分中，第二基板120的與密封材料和/或液晶材料接觸的表面面朝上，且朝向上腔室單元210。一旦將第二基板120裝載到基板粘接裝置中時(shí)，起模頂桿710從它的初始位置升高，推動(dòng)第二基板120遠(yuǎn)離裝載機(jī)910。因此，起模頂桿710可以在裝載機(jī)910上的預(yù)定高度處支承第二基板210(如圖12中所示)。當(dāng)在預(yù)定高度支承第二基板120時(shí)，可以從基板粘接裝置移走裝載機(jī)910。
然后，如圖13中所示，起模頂桿710可以下降使得第二基板120停止并且受到下工作臺(tái)240的支承。當(dāng)?shù)诙?20受到下工作臺(tái)240支承時(shí)，利用吸力和靜電荷可以將第二基板120緊固到下工作臺(tái)240上。當(dāng)?shù)谝缓偷诙?10和120緊固到它們相應(yīng)的工作臺(tái)230和240上時(shí)，完成基板粘接裝置的裝載。
現(xiàn)在參照?qǐng)D14，在完成基板粘接裝置的裝載后，腔室移動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)310可以使得驅(qū)動(dòng)軸320和連接軸330旋轉(zhuǎn)，從而將起重部件350從它們的最初位置下降。在本發(fā)明的一部分中，上腔室單元210隨著起重部件350從它們的最初位置下降而下降。另外，線性致動(dòng)器510可以使多個(gè)可移動(dòng)的軸511下降，使得可移動(dòng)的軸511從下腔室平板212的底表面伸出一個(gè)預(yù)定高度。上腔室單元210下降和可移動(dòng)的軸511伸出部分下降的結(jié)果導(dǎo)致可移動(dòng)的軸511的末端可以被接收在形成在下腔室平板222中的相應(yīng)孔222a的內(nèi)表面內(nèi)并與該內(nèi)表面接觸。例如，在上腔室單元210相對(duì)于下腔室單元220沒有充分對(duì)準(zhǔn)時(shí)，接下來可移動(dòng)的軸511與孔222a的內(nèi)表面接觸。由于可移動(dòng)的軸511的末端部分被接收到孔222a中，腔室移動(dòng)裝置向下推動(dòng)上腔室單元210，使得上腔室平板212的底表面與裝配到下腔室平板222的周邊上的第三密封元件250的頂表面接觸。隨著起重部件350進(jìn)一步下降，它們從上腔室單元210和下腔室單元220之間移出，從而形成由上和下腔室單元210和220限定的密封的內(nèi)部空間，其中由于壓在第三密封元件250上的上腔室單元210的重量，該密封的內(nèi)部空間基本上從外部環(huán)境中密封出來。因此，第一和第二基板110和120可以基本上與外部環(huán)境隔絕(步驟3S)。
根據(jù)本發(fā)明原理，由于上腔室單元210的重量和由于密封的內(nèi)部空間中的壓力，在各自相應(yīng)的工作臺(tái)230和240上持住的第一和第二基板110和120輕微地受到擠壓。在形成密封的內(nèi)部空間之后，第一和第二基板110和120彼此部分地粘接在一起。通過局部粘接，第一和第二基板110和120的相對(duì)位置可以調(diào)整。在本發(fā)明的一部分中，通過間隙測(cè)定傳感器920可以測(cè)定上腔室單元210和下腔室單元220之間的距離(以及由此測(cè)定基板之間的間隙)。
一旦形成后，抽空由上和下腔室單元210和220限定的密封的內(nèi)部空間(步驟4S)。因此，可以啟動(dòng)第一和第二低真空泵621和622，從而將密封的內(nèi)部空間抽空到由壓力傳感器670測(cè)量到的第一壓力。在確定第一和第二低真空泵621和622已經(jīng)將內(nèi)部空間抽空到第一壓力后，啟動(dòng)高真空泵610從而充分將內(nèi)部空間抽成真空。
在本發(fā)明的一部分中，高真空泵610和第一低真空泵621與同一管道630連接。因此，當(dāng)啟動(dòng)高真空泵610時(shí)第一低真空泵621停用。在內(nèi)部空間充分抽空后，通過對(duì)準(zhǔn)裝置將設(shè)置在抽空后的密封的內(nèi)部空間中的第一和第二基板110和120對(duì)準(zhǔn)(步驟5S)。
圖23A至23C表示根據(jù)本發(fā)明原理在對(duì)準(zhǔn)方法中使用的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。圖24A至24C表示根據(jù)本發(fā)明原理在對(duì)準(zhǔn)方法中使用的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。圖25表示在根據(jù)本發(fā)明原理的對(duì)準(zhǔn)方法的過程中照相機(jī)的聚焦位置。
當(dāng)對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板110和120時(shí)，對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520(如圖3至21中所示)可以觀察到形成在第一和第二基板110和120上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，確定基板110和120之間的對(duì)準(zhǔn)偏差，根據(jù)該偏差確定上工作臺(tái)230需要移動(dòng)的距離，計(jì)算并且使得凸輪530旋轉(zhuǎn)預(yù)定量，和移動(dòng)下腔室平板222。
根據(jù)本發(fā)明原理，下腔室平板222可以通過線性致動(dòng)器510與上腔室單元210耦聯(lián)。進(jìn)一步，與支承部件225一致下腔室平板222可以相對(duì)于下基底221間隔預(yù)定距離。因此，上腔室單元210可以基本上隨著下腔室平板222的移動(dòng)而移動(dòng)，沿著由凸輪530的旋轉(zhuǎn)所確定的方向移動(dòng)。另外，由于下腔室平板222與下工作臺(tái)240分開(例如，能夠獨(dú)立于下工作臺(tái)240移動(dòng))，由它們各自的工作臺(tái)230和240保持的第一和第二基板110和120可以僅通過移動(dòng)上工作臺(tái)230來完好地定位和對(duì)準(zhǔn)。
在本發(fā)明的一部分中，通過對(duì)準(zhǔn)形成在這些基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可以將第一和第二基板對(duì)準(zhǔn)。在本發(fā)明的另一部分中，對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可以設(shè)成為粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在本發(fā)明的一部分中，通過在基板的預(yù)定區(qū)域上刻槽可以形成這些粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。因此，例如可以通過利用粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記執(zhí)行粗對(duì)準(zhǔn)處理，接下來利用精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記執(zhí)行精對(duì)準(zhǔn)處理可以進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)過程。
例如，參照?qǐng)D23和24，第一基板110和第二基板120可以分別形成有約3μm大小的多個(gè)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(參見圖23)和約0.3μm大小的多個(gè)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(參見圖24)。例如，第一基板110可以包括如圖23A中所示的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和如圖24A中所示的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，與此同時(shí)第二基板120可以包括如圖23B中所示的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和如圖24B中所示的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
在本發(fā)明的一部分中，可以使用單獨(dú)的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)來對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記并且可以設(shè)置在本發(fā)明的基板粘接裝置中。對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)可以提供粗對(duì)準(zhǔn)和精對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)，因?yàn)槔脝蝹€(gè)照相機(jī)對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記可能很困難。例如，除了粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記通常形成在基板的不同區(qū)域中這一事實(shí)之外，由于粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間尺寸的差別可能導(dǎo)致困難。
因此，一旦對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板時(shí)，可以下降上工作臺(tái)230使得第一基板110以足以防止第一基板110上的密封劑與第二基板120上的液晶材料形成接觸的方式與第二基板120分開。例如，第一基板110可以與第二基板120分開大約300μm的距離。
接下來，可以通過沿著橫向方向移動(dòng)上工作臺(tái)230對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板110和120。通過移動(dòng)上工作臺(tái)230，形成在第二基板120中的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(如圖23B中所示)以圖23C中所示的方式基本上與形成在第一基板110中的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(如圖23A中所示)對(duì)準(zhǔn)(例如，精確地定位在其中)。在本發(fā)明的一部分中，利用設(shè)置在第一和第二基板110和120的至少兩個(gè)對(duì)角正對(duì)的區(qū)域中的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520對(duì)準(zhǔn)這些粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在本發(fā)明的另一個(gè)部分中，通過首先將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦到形成在第一基板110中的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上和接下來聚焦到形成在第二基板中的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，可以對(duì)準(zhǔn)這些粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在本發(fā)明的再一個(gè)部分中，參照?qǐng)D25，通過將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦到位于第一基板110和第二基板120之間的中間點(diǎn)上，可以對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
在粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記已經(jīng)基本上對(duì)準(zhǔn)之后，通過進(jìn)一步下降上工作臺(tái)230和通過沿著橫向方向移動(dòng)上工作臺(tái)230可以對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。通過移動(dòng)上工作臺(tái)230，形成在第二基板120中的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(如圖24B中所示)以圖24C中所示的方式基本上與形成在第一基板110中的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記(如圖24A中所示)對(duì)準(zhǔn)(例如，精確地定位在其中)。在本發(fā)明的一部分中，利用設(shè)置在第一和第二基板110和120的四個(gè)角區(qū)域中的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
根據(jù)本發(fā)明原理，在對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的過程中，第一和第二基板110和120之間的距離可以變化至少三次。例如，在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第一次對(duì)準(zhǔn)步驟中，上工作臺(tái)230與第二基板120分開一定的距離，以足以防止第一基板110上的密封劑與第二基板120上的液晶材料接觸(例如，其中第一基板與第二基板分開大約300μm的距離)。在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第二次對(duì)準(zhǔn)步驟中，可以下降上工作臺(tái)230使得第一基板110和第二基板120之間的距離是大約150μm。因此，在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第二次對(duì)準(zhǔn)步驟中，第一基板110和第二基板120的中間部分由于這些基板的下垂而彼此接觸。在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第三次對(duì)準(zhǔn)步驟中，進(jìn)一步下降上工作臺(tái)230使得第一基板110和第二基板120之間的距離是大約100μm。
因此，可以在三個(gè)步驟的處理中對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。因此，在本發(fā)明的一部分中，在每次精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)的步驟的過程中，可以確定和校正精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)。但是，應(yīng)當(dāng)注意到可以僅僅通過精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第一次對(duì)準(zhǔn)步驟對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，而省略精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第二次和第三次對(duì)準(zhǔn)步驟。另外，在第二次和第三次精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)步驟中，基本上不會(huì)從基板與密封劑或液晶材料之間的接觸導(dǎo)致?lián)p壞，因此在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的第一次對(duì)準(zhǔn)步驟中足以對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
在本發(fā)明的一部分中，可以利用設(shè)置在上腔室單元210和/或下腔室單元220中、設(shè)置在第一和第二基板110和120的對(duì)角正對(duì)的區(qū)域中的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在本發(fā)明的一部分中，并且參照?qǐng)D25，通過將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)分別聚焦到位于第二基板120和第一基板110之間的中間點(diǎn)上，可以對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)。在本發(fā)明的再一部分中，通過首先將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦到形成在第二基板120中的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上和接下來聚焦到形成在第一基板110中的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記上或者相反能夠?qū)?zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。通過改變上面所述的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的焦距，與聚焦到位于兩個(gè)基板之間的中間點(diǎn)上相比，可以改善這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)精度。
根據(jù)本發(fā)明原理，在第一基板110和第二基板120上都可以形成至少兩個(gè)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和至少兩個(gè)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。但是，應(yīng)當(dāng)清楚通過增加所使用的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的數(shù)量能夠改善兩個(gè)基板對(duì)準(zhǔn)的精度。因此，隨著所粘接基板的尺寸的增大，可以使用更多的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記來保持精確的對(duì)準(zhǔn)。在本發(fā)明的一部分中，粗和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記例如可以形成在一個(gè)基板內(nèi)的多個(gè)面板之間的劃線區(qū)域中。在本發(fā)明的另一部分中，粗和精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記例如可以形成在基板的邊緣區(qū)域處，多個(gè)面板形成在該基板中。
在已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記后，施加給上工作臺(tái)230產(chǎn)生靜電荷的電源關(guān)閉，并且啟動(dòng)腔室移動(dòng)裝置從而將上腔室單元210升高到預(yù)定高度。因此，預(yù)先由上工作臺(tái)230緊固的第一基板110變成與上工作臺(tái)230分開并且保持粘接到由下工作臺(tái)240緊固的第二基板120上。
在本發(fā)明的一部分中，在上腔室單元210已經(jīng)升高預(yù)定距離之后，由上和下腔室平板212和222限定的密封的內(nèi)部空間通過第三密封元件250可以基本上與外部環(huán)境保持密封。在上腔室單元210已經(jīng)升高預(yù)定距離之后，可以使用對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)520來確定形成在第一和第二基板110和120上的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)。如果確定精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)情況已經(jīng)退化為超出可以接受的對(duì)準(zhǔn)公差值，則可以利用凸輪530調(diào)整上工作臺(tái)230的位置。但是，如果確定精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)情況保持足夠，可以向由上和下腔室單元限定的密封的內(nèi)部空間通氣(步驟6S)。
根據(jù)本發(fā)明原理，可以在兩個(gè)步驟中實(shí)現(xiàn)通氣。例如，第一個(gè)通氣步驟可以包括通過與第二低真空泵622連接的真空管道271和272和分別位于上和下工作臺(tái)230和240的緊固平板232和242中的真空孔232a和242a向內(nèi)部空間中注入氣體例如氮?dú)?N2)。因此，可以打開圖6中所示的截流閥666、667和668使得氮?dú)饪梢粤鬟^真空孔232a和242a并且注入到內(nèi)部空間中。由于通過真空孔232a和242a加入氮?dú)?，第一和第二基?10和120通過密封劑形成粘接，即使在前面的處理中沒有通過密封劑將兩個(gè)基板粘接在一起。接下來，氮?dú)饪梢酝ㄟ^低真空腔室管道641、642注入到密封的內(nèi)部空間中，從而將密封的內(nèi)部空間中的壓力增大到大氣壓力。
因此，通過密封材料將基板110和120粘接在一起，與此同時(shí)由上和下腔室單元限定的密封的內(nèi)部空間保持在真空狀態(tài)中。在基板已經(jīng)粘接到一起之后，由于位于兩個(gè)粘接的基板之間的液晶盒間隙中的壓力與內(nèi)部空間中的壓力之間的壓力差可以進(jìn)一步擠壓粘接后的基板，該壓力差由于排出氣體而增大。
在本發(fā)明的一部分中，在精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記基本已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)之后，在靜電荷停用之后，和在第一和第二基板已經(jīng)通過密封劑粘接到一起之后可以進(jìn)行通氣。但是，即使在完成兩個(gè)基板的粘接之前進(jìn)行通氣時(shí)，在粘接中基本上沒有產(chǎn)生缺陷，因?yàn)榈谝怀榭詹襟E將這些基板彼此擠壓，從而密封基板與密封材料之間的粘接。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)部分，在通氣之前，UV光直接作用到密封材料上使得密封劑部分固化和凝固。UV光作用到密封材料上可以基本上使得由于通氣而造成的第一和第二基板110和120的不對(duì)準(zhǔn)程度最小化。因此，可以在已經(jīng)對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之后將UV光作用到密封材料上。根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)部分，可以在通氣之后將UV光作用到密封材料上，基本上使得在向下一個(gè)處理工作臺(tái)傳輸?shù)倪^程中由外部影響造成的粘接的基板的不對(duì)準(zhǔn)程度最小化。因此，并且根據(jù)本發(fā)明原理，可以在通氣之前、或者在通氣之后、或者在通氣之前和之后都向密封材料作用UV光。
在本發(fā)明的一部分中，UV光所作用的密封材料可以包括虛擬密封劑圖案，基本上使得由于通氣或傳輸可能引起的不對(duì)準(zhǔn)最小化。因此，虛擬密封劑圖案設(shè)成保護(hù)主密封劑，其中主密封劑圖案可以將液晶材料保持在LCD面板中，并且其中虛擬和主密封劑圖案都可以將第一和第二基板110和120粘接在一起。在本發(fā)明的另一部分中，UV光所作用的密封材料可以包括主密封劑圖案(例如，如果不存在虛擬密封劑圖案)。在本發(fā)明的再一個(gè)部分中，UV光通過UV引導(dǎo)部件800作用到密封材料上，其中UV光可以作用到密封材料的至少10個(gè)區(qū)域(例如，14個(gè)區(qū)域)上。
在向由上和下腔室單元限定的密封的內(nèi)部空間通氣之后，可以卸載粘接后的基板(步驟7S)，其中在卸載粘接后的基板之后，可以重復(fù)前面提到的處理工序從而將其他基板粘接到一起。
在本發(fā)明的一部分中，并且參照?qǐng)D15，通過停止施加到下工作臺(tái)240上的靜電荷，通過吸力和靜電荷將粘接后的基板緊固到上工作臺(tái)230上，將其上緊固有粘接后的基板的上工作臺(tái)230升高預(yù)定高度，使得粘接的基板不影響接下來插入的裝載機(jī)910，將粘接后的基板110和120從基板粘接裝置中卸載下來。參照?qǐng)D16，然后支承裝置的起模頂桿710升高到接近緊固到上工作臺(tái)230上的粘接基板110和120的下工作臺(tái)240的上表面以上。接下來，通過停止上工作臺(tái)230施加的吸力和靜電荷，可以通過上工作臺(tái)230釋放粘接的基板并且變成受到起模頂桿710的上表面支承。參照?qǐng)D17，裝載機(jī)910插入到基板粘接裝置中并且可以設(shè)置在接近起模頂桿710的底部。參照?qǐng)D18，然后起模頂桿710可以向下移動(dòng)使得粘接后的基板110和120變成受到裝載機(jī)910承載。然后從基板粘接裝置中移走裝載機(jī)910并且從而完成粘接后的基板110和120的卸載。
在本發(fā)明的另一個(gè)部分中，通過將粘接后的基板110和120緊固到上腔室單元210上，升高上腔室單元210，將裝載機(jī)910插入到基板粘接裝置中位于接近受到緊固的粘接的基板，釋放粘接的基板，使得裝載機(jī)910承載釋放后的粘接的基板，并且將承載粘接的基板的裝載機(jī)910從基板粘接裝置中移出，可以卸載粘接后的基板110和120。接下來，裝載機(jī)910可以將沒有粘接的第一基板110插入到基板粘接裝置中，在此可以通過上腔室單元210緊固該沒有粘接的第一基板。
在本發(fā)明的再一個(gè)部分中，并且參照?qǐng)D19，通過停止由上工作臺(tái)230施加的吸力和靜電力，和將上腔室單元210升高到預(yù)定待用高度，其中粘接后的基板沒有被上腔室單元210緊固，可以取走粘接后的基板110和120。接下來，參照?qǐng)D20，可以升高起模頂桿710使得粘接后的基板110和120不與下工作臺(tái)240接觸，裝載機(jī)910可以插入到基板粘接裝置中接近粘接后的基板，可以下降起模頂桿710使得粘接后的基板受到裝載機(jī)910的承載，并且可以從基板粘接裝置上取走承載粘接后的基板的裝載機(jī)910，從而完成粘接后的基板110和120的卸載。
在上面緊接著描述的本發(fā)明的這部分中，在卸載由下工作臺(tái)240承載的粘接后的基板之前，裝載機(jī)910將沒有粘接的第一基板110插入到基板粘接裝置中。然后通過吸力和靜電荷使得上工作臺(tái)230緊固所插入的沒有粘接的第一基板，并且升高到預(yù)定待用高度，并且然后可以從基板粘接裝置中移走裝載機(jī)910。接下來，并且如前面參照?qǐng)D19至21所描述的，可以升高起模頂桿710使得粘接后的基板遠(yuǎn)離下工作臺(tái)240，裝載機(jī)910重新插入到基板粘接裝置中接近受到起模頂桿710支承的粘接后的基板，可以下降起模頂桿710使得粘接后的基板受到裝載機(jī)910的支承，并且可以從基板粘接裝置中移走承載粘接后的基板的裝載機(jī)910，從而完成粘接后的基板110和120的卸載。
如已經(jīng)描述的，便于制造通過液晶分配方法形成的LCD裝置的基板粘接裝置和利用其制造LCD裝置的方法具有優(yōu)點(diǎn)，因?yàn)橛捎诒景l(fā)明的基板粘接裝置沒有設(shè)置在基板上涂布密封材料或分配液晶材料的功能，與現(xiàn)有的基板粘接裝置相比，該基板粘接裝置的整體尺寸減小。因此，該基板粘接裝置提供簡單的設(shè)計(jì)和節(jié)約空間。另外，可以將由上和下腔室單元限定的內(nèi)部空間的體積最小化，從而減少抽空該內(nèi)部空間所需要的時(shí)間。通過減少抽真空時(shí)間，可以減少制造LCD裝置所需要的時(shí)間。進(jìn)一步，即使當(dāng)由下工作臺(tái)緊固的第二基板傾斜時(shí)，利用線性致動(dòng)器可以將上工作臺(tái)相對(duì)于下工作臺(tái)對(duì)準(zhǔn)。另外更進(jìn)一步地，為每個(gè)腔室單元設(shè)有一個(gè)低真空腔室以防止腔室單元的下垂，從而提供穩(wěn)固的基板粘接。最后，通過使用多個(gè)可旋轉(zhuǎn)的凸輪來通過調(diào)整下腔室單元的位置來對(duì)準(zhǔn)基板可以獲得簡化的結(jié)構(gòu)。
本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)清楚，在沒有脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，能夠?qū)Ρ景l(fā)明做出多種改進(jìn)和變化。因此，準(zhǔn)備使得本發(fā)明覆蓋通過所附權(quán)利要求和它們的相等物的范圍提供的本發(fā)明的改進(jìn)和變形。
權(quán)利要求
1.一種用于制造液晶顯示(LCD)面板的裝置，包括基座；安裝到該基座上的下腔室單元，該下腔室單元具有上表面；設(shè)置在下腔室單元上的上腔室單元，其中該上腔室單元可以相對(duì)于基座移動(dòng)并且其中該上腔室單元具有下表面；安裝到基座上用來升高和下降上腔室單元的腔室移動(dòng)裝置；上工作臺(tái)，固定到上腔室單元上用來固定第一基板；下工作臺(tái)，固定到下腔室單元上用來固定第二基板；和密封裝置，提供給上和下腔室單元的至少一個(gè)表面，用來密封包圍第一和第二基板的內(nèi)部空間，其中通過連接上和下腔室單元可以限定該密封的內(nèi)部空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中該上腔室單元包括暴露在外部環(huán)境的上基底；連接到上基底底面周邊上的上腔室平板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的裝置，其中上腔室平板設(shè)置成矩形邊界和在其所固定的上工作臺(tái)內(nèi)限制出一個(gè)上內(nèi)部空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的裝置，其中上工作臺(tái)固定到上基底上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中下腔室單元包括固定到基座上的下基底；和設(shè)置在下基底上表面周邊上的低腔室平板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其中下腔室平板設(shè)置成矩形邊界和在其所固定的低工作臺(tái)內(nèi)限制出一個(gè)下內(nèi)部空間。
7.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其中下腔室平板在橫向方向中相對(duì)于下基底可以移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，其中下工作臺(tái)固定到下基底上。
9.根據(jù)權(quán)利要求5的裝置，進(jìn)一步包括設(shè)置在下基底與下腔室平板之間的密封元件，從而將下內(nèi)部空間與外部環(huán)境隔開密封。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中腔室移動(dòng)裝置包括固定到基座上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)；與驅(qū)動(dòng)電機(jī)耦聯(lián)的驅(qū)動(dòng)軸；與驅(qū)動(dòng)軸連接的起重部件；連接軸，包括與起重部件連接的第一末端并且連接成接受由連接部分傳遞的驅(qū)動(dòng)力。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的裝置，其中驅(qū)動(dòng)電機(jī)，設(shè)置在基座的內(nèi)部的底部中并且包括沿著基本上水平方向伸出的軸；驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)電機(jī)基本上沿著水平方向連接；連接軸沿著基本上垂直的方向與驅(qū)動(dòng)軸耦聯(lián)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的裝置，其中連接部件包括斜齒輪系統(tǒng)，用來將沿著水平方向的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)變給連接軸。
13.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中上工作臺(tái)包括固定到底表面上的固定平板；用來緊固第一基板的緊固平板；和設(shè)置在固定平板與緊固平板之間的多個(gè)固定塊。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的裝置，其中緊固平板包括用來產(chǎn)生靜電荷的靜電吸盤。
15.根據(jù)權(quán)利要求13的裝置，其中緊固平板包括聚酰亞胺。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的裝置，進(jìn)一步包括用來產(chǎn)生吸力的第一低真空泵，其中緊固平板包括用來傳輸吸力的多個(gè)真空孔。
17.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中下工作臺(tái)包括固定到底表面上的固定平板；用來緊固第二基板的緊固平板；和設(shè)置在固定平板與緊固平板之間的多個(gè)固定塊。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，其中緊固平板包括用來產(chǎn)生靜電荷的靜電吸盤。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，其中緊固平板包括聚酰亞胺。
20.根據(jù)權(quán)利要求17的裝置，進(jìn)一步包括用來產(chǎn)生吸力的第二低真空泵，其中緊固平板包括用來傳輸吸力的多個(gè)真空孔。
21.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中密封裝置包括O形環(huán)，沿著上表面裝配并且在上表面上伸出一個(gè)預(yù)定高度。
22.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，進(jìn)一步包括設(shè)置在上腔室單元的上表面上的上低真空腔室單元。
23.根據(jù)權(quán)利要求22的裝置，其中上低真空腔室單元包括接近上腔室單元的上表面的表面。
24.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，進(jìn)一步包括設(shè)置在上腔室單元的下表面下的下低空腔室單元。
25.根據(jù)權(quán)利要求24的裝置，其中上低真空腔室單元包括接近上腔室單元的上表面的表面。
26.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，其中上腔室單元進(jìn)一步包括用來調(diào)整第一和第二基板對(duì)準(zhǔn)的對(duì)準(zhǔn)裝置。
27.根據(jù)權(quán)利要求26的裝置，其中對(duì)準(zhǔn)裝置包括多個(gè)可旋轉(zhuǎn)的凸輪，設(shè)置成有選擇地接觸和推動(dòng)下腔室單元的邊緣部分；緊鄰多個(gè)凸輪的多個(gè)復(fù)位裝置，用來在與多個(gè)凸輪推動(dòng)下腔室單元的邊緣部分的方向相反的方向中提供復(fù)位力；多個(gè)可移動(dòng)的軸，每個(gè)具有第一端和第二端；和多個(gè)線性致動(dòng)器，固定到上腔室單元上和多個(gè)可移動(dòng)的軸的第一端上，用來使得多個(gè)可移動(dòng)的軸的第二端從下表面伸出一個(gè)預(yù)定距離。
28.根據(jù)權(quán)利要求27的裝置，其中多個(gè)凸輪包括三個(gè)凸輪。
29.根據(jù)權(quán)利要求28的裝置，其中下腔室單元包括第一對(duì)正對(duì)的側(cè)面和第二對(duì)正對(duì)的側(cè)面，其中第一對(duì)正對(duì)的側(cè)面的長度大于第二對(duì)正對(duì)的側(cè)面的長度；兩個(gè)凸輪設(shè)置成接近于第一對(duì)正對(duì)的側(cè)面的一個(gè)側(cè)面；和一個(gè)凸輪設(shè)置成接近與第二對(duì)正對(duì)的側(cè)面的一個(gè)側(cè)面。
30.根據(jù)權(quán)利要求27的裝置，其中復(fù)位裝置包括多個(gè)彈簧，其中每個(gè)彈簧包括與基座連接的第一末端和與下腔室單元的邊緣部分連接的第二末端。
31.根據(jù)權(quán)利要求27的裝置，其中上腔室單元包括四個(gè)角；和多個(gè)線性致動(dòng)器設(shè)在上腔室單元的四個(gè)角上。
32.根據(jù)權(quán)利要求27的裝置，進(jìn)一步包括形成在下腔室單元的上表面中的多個(gè)孔，其中多個(gè)可移動(dòng)的軸的第二端基本上與多個(gè)孔的尺寸一致。
33.根據(jù)權(quán)利要求32的裝置，其中多個(gè)可移動(dòng)的軸的第二端包括圓錐形、錐形結(jié)構(gòu)。
34.根據(jù)權(quán)利要求27的裝置，其中多個(gè)線性致動(dòng)器的每一個(gè)包括一個(gè)測(cè)力傳感器。
35.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，進(jìn)一步包括真空泵裝置，提供給上和下腔室單元中的至少一個(gè)用來抽空的密封的內(nèi)部空間。
36.根據(jù)權(quán)利要求35的裝置，其中真空泵裝置包括一個(gè)高真空泵。
37.根據(jù)權(quán)利要求35的裝置，其中真空泵裝置包括兩個(gè)低真空泵。
38.根據(jù)權(quán)利要求36的裝置，進(jìn)一步包括與高真空泵連接的真空管道，其中真空管道與上腔室單元的中間部分連接并且穿過它。
39.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，進(jìn)一步包括支承裝置，從下工作臺(tái)可以伸出用來支承一個(gè)基板。
40.根據(jù)權(quán)利要求1的裝置，進(jìn)一步包括至少一個(gè)照相排版裝置，提供給至少一個(gè)腔室單元，用來部分硬化設(shè)置在第一和第二基板之間的密封材料。
41.根據(jù)權(quán)利要求40的裝置，其中照相排版裝置包括用于引導(dǎo)UV光的UV引導(dǎo)部件。
42.一種利用基板粘接裝置制造液晶顯示(LCD)面板的方法，該基板粘接裝置包括基座；安裝到該基座上的下腔室單元，該下腔室單元具有上表面；設(shè)置在下腔室單元上的上腔室單元，其中該上腔室單元可以相對(duì)于基座移動(dòng)并且其中該上腔室單元具有下表面；安裝到基座上用來升高和下降上腔室單元的腔室移動(dòng)裝置；上工作臺(tái)，固定到上腔室單元上用來固定第一基板；下工作臺(tái)，固定到下腔室單元上用來固定第二基板；和密封裝置，提供給上和下腔室單元的至少一個(gè)表面，用來密封包圍第一和第二基板的內(nèi)部空間，其中通過連接上和下腔室單元可以限定該密封的內(nèi)部空間，該方法包括將第一基板和第二基板分別裝載到上工作臺(tái)和下工作臺(tái)上；下降上腔室單元從而通過密封裝置從外部空間密封出一個(gè)內(nèi)部空間；對(duì)該密封的內(nèi)部空間抽真空；升高上腔室單元和上工作臺(tái)來對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板；利用密封劑使得第一基板與第二基板接觸；抽空該密封的內(nèi)部空間，向由密封材料保持接觸的第一和第二基板施加壓力，其中，在排出之后，第一和第二基板粘接在一起；和卸載粘接后的基板。
43.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，進(jìn)一步包括在卸載之前，在第一基板上涂布密封材料；和在卸載之前，在第二基板上分配液晶材料。
44.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，進(jìn)一步包括在卸載之前，在第二基板上涂布密封材料和分配液晶材料。
45.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中該密封材料包括UV凝結(jié)的密封劑。
46.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中該密封材料包括熱固性的密封劑。
47.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中該密封材料包括UV凝結(jié)和熱固性密封劑。
48.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中第一基板包括薄膜晶體管陣列基板。
49.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中第一基板包括濾色片陣列基板。
50.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中第二基板包括薄膜晶體管陣列基板。
51.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中第二基板包括濾色片陣列基板。
52.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中裝載包括利用吸力和靜電荷將至少一個(gè)第一和第二基板緊固到它們相應(yīng)的工作臺(tái)上。
53.根據(jù)權(quán)利要求52的方法，其中緊固步驟包括在產(chǎn)生靜電荷之前產(chǎn)生吸力。
54.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中抽空步驟包括將密封的內(nèi)部空間抽空到第一壓力，并且進(jìn)一步地在密封的內(nèi)部空間已經(jīng)抽空到第一壓力之后將該密封的內(nèi)部空間充分抽空。
55.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中升高上腔室單元和上工作臺(tái)包括將第一和第二基板分開第一預(yù)定距離；對(duì)準(zhǔn)至少一組粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；和在對(duì)準(zhǔn)上述粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記后，對(duì)準(zhǔn)至少一組精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，其中在對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的過程中，第一和第二基板之間的距離是變化的。
56.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中在對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的過程中，第一和第二基板之間的距離小于第一預(yù)定距離。
57.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的步驟包括利用設(shè)置在第一和第二基板的兩個(gè)對(duì)角正對(duì)的區(qū)域的至少兩個(gè)照相機(jī)確定對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。
58.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的步驟包括利用設(shè)置在第一和第二基板的四個(gè)角上的照相機(jī)確定對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)。
59.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中改變第一和第二基板之間的距離的步驟包括設(shè)置上工作臺(tái)使得第一和第二基板彼此不接觸；和下降上工作臺(tái)使得第一基板的中心部分與第二基板的中心部分接觸，其中在設(shè)置和下降上工作臺(tái)之間對(duì)準(zhǔn)這些精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
60.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記包括將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦在第一和第二基板之間的中間點(diǎn)上。
61.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記包括將對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)聚焦在第一和第二基板之間的中間點(diǎn)上。
62.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記包括進(jìn)一步包括改變形成在第二基板上的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與形成在第一基板上的粗對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的聚焦。
63.根據(jù)權(quán)利要求55的方法，其中對(duì)準(zhǔn)精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記包括進(jìn)一步包括改變形成在第二基板上的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與形成在第一基板上的精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記之間的對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的聚焦。
64.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中將第一基板裝載到上工作臺(tái)上包括在對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板之后，從上工作臺(tái)向第一基板施加吸力和靜電荷，該方法進(jìn)一步包括停止從上工作臺(tái)施加靜電荷；將上腔室單元升高到預(yù)定高度；確定第一和第二基板的對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)；和如果在對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)的判斷的基礎(chǔ)上確定不合格，重新對(duì)準(zhǔn)所對(duì)準(zhǔn)的第一和第二基板。
65.根據(jù)權(quán)利要求64的方法，其中確定對(duì)準(zhǔn)狀態(tài)的步驟包括使用至少一組精對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。
66.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，進(jìn)一步包括提供位于上和下工作臺(tái)中的多個(gè)通氣孔；和向密封的內(nèi)部空間提供低真空泵管道，其中該通氣步驟包括在第一個(gè)通氣步驟中，通過設(shè)置在上和下工作臺(tái)中的多個(gè)通氣孔向密封的內(nèi)部空間中注入氮?dú)猓缓驮诘诙€(gè)步驟中，通過低真空泵管道注入氮?dú)馐沟妹芊獾膬?nèi)部空間中的壓力增加到等于大氣壓力。
67.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，進(jìn)一步包括將UV光引導(dǎo)到密封材料上用來部分固化密封材料。
68.根據(jù)權(quán)利要求67的方法，其中UV光引導(dǎo)到密封材料的至少10個(gè)區(qū)域上。
69.根據(jù)權(quán)利要求67的方法，進(jìn)一步包括在通氣之前引導(dǎo)UV光。
70.根據(jù)權(quán)利要求67的方法，進(jìn)一步包括在通氣之后引導(dǎo)UV光。
71.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中卸載步驟包括將粘接后的基板緊固到上工作臺(tái)上；升高其上緊固有粘接后的基板的上工作臺(tái)；將裝載機(jī)設(shè)置到接近緊固到上工作臺(tái)上的粘接后的基板；從上工作臺(tái)上釋放粘接后的基板，其中釋放后的粘接的基板受到裝載機(jī)的承載；和將承載粘接后的基板的裝載機(jī)從基板粘接機(jī)器上取走。
72.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中卸載步驟包括將粘接后的基板緊固到上工作臺(tái)上；升高其上緊固有粘接后的基板的上工作臺(tái)；穿過低工作臺(tái)升高起模頂桿并且升高到上表面上，其中升高后的起模頂桿位于接近緊固的粘接后的基板；將粘接后的基板從上工作臺(tái)上釋放下來，其中釋放后的粘接的基板受到升高的起模頂桿的支承；和將裝載機(jī)設(shè)置到接近受到升高的起模頂桿支承的粘接后的基板；下降已升高的起模頂桿使得粘接的基板受到裝載機(jī)的承載；和將承載粘接后的基板的裝載機(jī)從基板粘接機(jī)器上取走。
73.根據(jù)權(quán)利要求42的方法，其中卸載步驟包括將粘接后的基板升高到上表面之上，其中升高后的粘接的基板受到穿過低工作臺(tái)設(shè)置并且位于上表面之上的升高的起模頂桿的支承；將裝載機(jī)設(shè)置到接近由起模頂桿支承的升高后的粘接后的基板；下降已升高的起模頂桿使得粘接的基板受到裝載機(jī)的承載；和將承載粘接后的基板的裝載機(jī)從基板粘接機(jī)器上取走。
74.根據(jù)權(quán)利要求73的方法，進(jìn)一步包括在將承載粘接后的基板的裝載機(jī)從基板粘接機(jī)器上取走之前，將沒有粘接的基板裝載到上工作臺(tái)上。
全文摘要
一種用于制造液晶顯示裝置的裝置，包括基座；安裝到該基座上的下腔室單元；位于下腔室單元上并且可以相對(duì)于基座移動(dòng)的上腔室單元；安裝到基座上用來升高/下降上腔室單元的腔室移動(dòng)裝置；上工作臺(tái)和下工作臺(tái)，分別設(shè)置在上和下腔室單元的內(nèi)部空間中，分別用來固定第一基板和第二基板；和密封裝置，提供給上和下腔室單元的至少一個(gè)表面，用來密封當(dāng)連接上和下腔室單元時(shí)產(chǎn)生的內(nèi)部空間，其中基板設(shè)置在密封的內(nèi)部空間中。一種用于制造液晶顯示裝置的方法，包括將基板裝載到工作臺(tái)上；下降上腔室單元從而從外部空間密封出一個(gè)內(nèi)部空間；對(duì)該密封的內(nèi)部空間抽真空；對(duì)準(zhǔn)第一和第二基板并且使得第一基板與形成在第二基板上的密封劑接觸；向該密封的內(nèi)部空間通氣；和卸載粘接后的基板。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1504795SQ20031011359
公開日2004年6月16日 申請(qǐng)日期2003年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月15日
發(fā)明者林永國, 郭洙旼, 金興善 申請(qǐng)人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社