專利名稱：液晶顯示裝置的基板粘合機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示(LCD)裝置，尤其涉及便于制造大尺寸LCD裝置的基板粘合設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著信息社會(huì)的發(fā)展，對那些能夠在薄而輕的外殼內(nèi)產(chǎn)生高質(zhì)量圖像并且耗能低的顯示器的需求日益增加。為了滿足這些需求，科學(xué)研究已經(jīng)產(chǎn)生出各種平板顯示裝置，包括液晶顯示器(LCD)、等離子顯示器(PDP)、電致發(fā)光顯示器(ELD)和真空熒光顯示器(VFD)。這些顯示技術(shù)中的一些技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于各種類型的顯示器中。
在各種類型的平板顯示裝置中，顯示質(zhì)量優(yōu)良、重量輕、尺寸薄且功耗低的LCD裝置已廣為應(yīng)用。實(shí)際上，在便攜式裝置如筆記本PC計(jì)算機(jī)中，在選擇顯示器時(shí)，LCD技術(shù)已經(jīng)替代了陰極射線管(CRT)。此外，甚至在臺式PC和電視監(jiān)視器中，LCD裝置也變得更為普遍。
盡管在LCD技術(shù)中已經(jīng)有多方面的技術(shù)開發(fā)，但是，與LCD裝置的其他特征和優(yōu)點(diǎn)方面的研究相比，一直缺乏對增強(qiáng)LCD裝置圖像質(zhì)量的研究。因此，為了增加LCD裝置作為顯示器在各種應(yīng)用領(lǐng)域中的使用，必須開發(fā)能夠以大尺寸屏幕顯示高質(zhì)量圖像(例如具有高分辨率和高亮度的圖像)的LCD裝置，這種LCD裝置同時(shí)仍能保持重量輕、尺寸最小且功耗低的特點(diǎn)。
LCD通常通過以下步驟制造將一種有圖案的密封劑材料涂到兩個(gè)基板之一上，令該有圖案的密封劑材料設(shè)有一注入孔，在真空狀態(tài)下將兩個(gè)基板粘合到一起，通過該注入孔注入液晶材料，將其注入到兩個(gè)所粘合基板之間的空間內(nèi)。還有一種建議，就是可以通過一種分配法而不是注入法為LCD提供液晶材料。例如，可以理解第2000-284295號和2001-005405號日本公開專利公開了一種液晶材料的分配方法，其中在分配液晶并將密封劑材料涂到兩基板之一上之后，在真空狀態(tài)下將兩基板中的另一個(gè)粘合到所述的基板上。
通常，液晶材料分配法比液晶材料注入法更有利，因?yàn)樗鼈儨p少了制造LCD板所需的制造步驟數(shù)量(例如，省略了形成液晶注入孔、注入液晶材料、密封液晶注入孔等步驟)，由此簡化了LCD板的制造過程。因此，通過分配液晶材料制造LCD板已經(jīng)成為近來研究的主題。
圖1和2示出了制造形成有所分配液晶材料的LCD板過程中所使用的一種現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備。
參見圖1和2，這種現(xiàn)有技術(shù)LCD裝置基板粘合設(shè)備配備有支架10、上工作臺21、下工作臺22、密封劑分配部件(圖中未示)、液晶材料分配部件30、上腔室單元31、下腔室單元32、腔室移動(dòng)裝置和工作臺移動(dòng)裝置。
密封劑分配部件(圖中未示)和液晶材料分配部件30通常設(shè)置在支架10的一側(cè)部分處。此外，上腔室單元31和下腔室單元32分別可以彼此連接在一起以粘合LCD板的基板。
腔室移動(dòng)裝置通常包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)40，該電機(jī)40用來將下腔室單元32橫向移動(dòng)到預(yù)定位置，在這些預(yù)定位置上，要粘合基板(S2)，涂布密封劑材料，以及分配液晶材料(S1)。工作臺移動(dòng)裝置包括用來將上工作臺21上升和下降到預(yù)定位置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)50。
以下將更詳細(xì)地描述使用該現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備制造一LCD板的方法。
將第一基板51放置在下腔室單元32的下工作臺22上，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到上腔室單元31之下，以使下工作臺22在上工作臺21之下。接著，工作臺移動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)50將上工作臺21降低到一預(yù)定位置，以將第一基板51緊固到降低的上工作臺21上。接下來，將緊固有第一基板51的上工作臺21提升到一預(yù)定位置。然后，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到一位置，在該位置上將第二基板52裝載到下工作臺22上。隨后，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到第一預(yù)定位置S1(如圖1所示)。在第一預(yù)定位置S1處，分別用密封劑分配部件(圖中未示)和液晶分配部件30對第二基板52執(zhí)行密封材料涂布和液晶材料分配過程。在涂布密封材料和分配液晶材料之后，腔室移動(dòng)裝置40將下腔室單元32移動(dòng)到第二預(yù)定位置S2(如圖2所示)，在第二位置處，可以分別將第一基板51和第二基板52粘合在一起。接著，分別將上腔室單元31和下腔室單元32彼此連接在一起，以使上工作臺21和下工作臺22分別排列在一封閉的空間內(nèi)。然后，用一抽氣裝置(圖中未示)在該封閉空間內(nèi)建立一真空狀態(tài)。在建立真空狀態(tài)之后，工作臺移動(dòng)裝置50降低上工作臺21，以使緊固到上工作臺21上的第一基板51接觸下工作臺22上的第二基板52。降低上工作臺21，直到兩個(gè)基板變成粘合狀態(tài)為止，由此完成對LCD板的制造。
但是，使用前述現(xiàn)有技術(shù)的基板LCD裝置基板粘合設(shè)備是不利的，因?yàn)榍笆霈F(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備的整體尺寸過大，在用于制造大尺寸LCD板的時(shí)候該問題尤為突出?，F(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備這種過大的整體尺寸在設(shè)計(jì)LCD裝置制造過程時(shí)會(huì)產(chǎn)生一些問題，因?yàn)楸仨殲榘惭b該現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備提供足夠的空間量，同時(shí)留出其他過程所用的其他設(shè)備所占據(jù)的空間。
另外，當(dāng)這種現(xiàn)有技術(shù)粘合設(shè)備將密封劑和液晶材料施加到支撐薄膜晶體管和濾色片層的基板上并且將兩基板粘合到一起時(shí)，這種現(xiàn)有技術(shù)粘合設(shè)備可能會(huì)增加制造一個(gè)LCD板所需的整體時(shí)間量。更具體地說，由于都用同一個(gè)設(shè)備分配液晶、涂布密封劑材料和粘合基板，所以從前面過程運(yùn)來的基板必須閑置著，直到這種現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備所執(zhí)行的過程完成為止。此外，LCD制造過程的整體生產(chǎn)率也有所降低，這是因?yàn)樵谄渌圃爝^程正在進(jìn)行的過程中，這種現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備無法處理運(yùn)到其上的材料。
再有，分別在相連的上腔室單元31與下腔室單元32之間形成的密封可能有缺陷。因此，可能會(huì)有空氣從外界環(huán)境漏入上腔室單元和下腔室單元所限定的封閉空間內(nèi)，基板可能會(huì)在粘合的過程中受損，由此產(chǎn)生有缺陷的粘合。
此外，對于下腔室單元32的定位和成功地粘合兩基板來說，需要實(shí)際上很高的對準(zhǔn)度。這種對準(zhǔn)可能是極其困難和復(fù)雜的，并且過分拉長了制造LCD板整個(gè)制造過程。因此，需要將下腔室32移動(dòng)到許多位置(例如，用來將液晶分配到第二基板52上并且將密封材料涂布到第二基板52上的第一位置S1，用來粘合兩基板的第二位置S2等)，從而對于一個(gè)成功的粘合來說，妨礙了基板適當(dāng)?shù)貙?zhǔn)。
另外，當(dāng)通過基板粘合設(shè)備的這部分裝載和卸載基板時(shí)，在卸載粘合后的基板之前，不能裝載尚未粘合的基板。因此，在LCD生產(chǎn)線上經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)瓶頸現(xiàn)象，無法建立一個(gè)基本上連續(xù)的過程。因此，增加了制造LCD裝置所需的整個(gè)時(shí)間量。
還有，在將基板裝載到其各自的工作臺上的過程中，在各種部件和所引入的外來物質(zhì)之間會(huì)產(chǎn)生靜電。這種靜電對基板有損，這必然要頻繁清潔各工作臺，導(dǎo)致制造過程的產(chǎn)量很低。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置的基板粘合設(shè)備，它基本上避免了因現(xiàn)有技術(shù)的局限和缺點(diǎn)導(dǎo)致產(chǎn)生的一個(gè)或多個(gè)問題。
本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是提供一種用于制造LCD裝置的基板粘合設(shè)備，它能夠縮短制造LCD所需的整個(gè)時(shí)間，同時(shí)使基板能夠精確和簡單地對準(zhǔn)。
本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是提供一種用于制造LCD裝置的基板粘合設(shè)備，它使對基板粘合過程的監(jiān)視簡單，并且能夠進(jìn)行連續(xù)的基板粘合。
本發(fā)明的又一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是提供一種用于制造LCD裝置的基板粘合設(shè)備，它能基本上防止外來物質(zhì)進(jìn)入到將基板粘合到一起的基板粘合設(shè)備的那個(gè)區(qū)域中，防止在基板周圍產(chǎn)生靜電，并且促進(jìn)順利地進(jìn)行粘合過程。
本發(fā)明的再一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是提供一種用于制造LCD裝置的基板粘合設(shè)備，它能基本上防止細(xì)小顆粒粘到工作臺的表面上，并且在基板粘合過程中能基本上防止由外來物質(zhì)引起的在LCD內(nèi)產(chǎn)生缺陷的問題。
本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在以下的說明書中描述，并且根據(jù)說明書的描述，它們一部分變得很明顯，或者可以通過對本發(fā)明的實(shí)踐學(xué)會(huì)。通過說明書及其權(quán)利要求書以及附圖所特別指出的結(jié)構(gòu)，本發(fā)明的這些目的和其他優(yōu)點(diǎn)得以實(shí)現(xiàn)和得到。
為了實(shí)現(xiàn)這些和其他優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)本發(fā)明，如所具體和概括性描述的那樣，一種基板粘合設(shè)備可以例如包括用來提供外形的基座；一下腔室單元，它安裝到基座上；一上腔室單元，位于下腔室單元之上并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，它們安裝到基座上，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺和一下工作臺，它們分別設(shè)置在上腔室單元和下腔室單元的內(nèi)部空間內(nèi)，用來分別緊固第一基板和第二基板；為上腔室單元和下腔室單元中至少一個(gè)提供的對準(zhǔn)照相機(jī)，用來檢驗(yàn)第一基板和第二基板上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記的對準(zhǔn)狀態(tài)；以及為下腔室單元的側(cè)面提供的對準(zhǔn)裝置，用來調(diào)整第一基板和第二基板的相對位置。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面，一種基板粘合設(shè)備可以例如包括用來提供外形的基座；一下腔室單元，它安裝到基座上；一上腔室單元，位于下腔室單元之上并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，它們安裝到基座上，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺和一下工作臺，它們分別設(shè)置在上腔室單元和下腔室單元的內(nèi)部空間內(nèi)，用來分別緊固第一基板和第二基板；為上腔室單元和下腔室單元的至少一個(gè)表面提供的密封裝置；以及用來封閉上腔室單元和下腔室單元的殼體，該殼體有一側(cè)部，其中在該側(cè)部內(nèi)設(shè)有一開口，可以通過該開口插入基板。
在本發(fā)明的又一個(gè)方面，一種基板粘合設(shè)備可以例如包括用來提供外形的基座；一下腔室單元，它安裝到基座上；一上腔室單元，位于下腔室單元之上并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，它們安裝到基座上，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺和一下工作臺，它們分別設(shè)置在上腔室單元和下腔室單元的內(nèi)部空間內(nèi)，用來分別緊固第一基板和第二基板；沿著上腔室單元和下腔室單元之一的側(cè)部設(shè)置的噴射裝置，用來向上腔室單元和下腔室單元中的另一個(gè)的側(cè)部噴射氣體(例如，氮?dú)?、空氣?；鼓風(fēng)裝置，用來吹送流過噴射裝置的氣體；以及第一流管，它有與噴射裝置連通的第一端和與鼓風(fēng)裝置連通的第二端。
在本發(fā)明的再一個(gè)方面，一種基板粘合設(shè)備中工作臺的保護(hù)方法可以例如包括將一保護(hù)板置于上工作臺和下工作臺之一的表面上；檢查更換保護(hù)板的時(shí)間；當(dāng)確定保護(hù)板的更換時(shí)間時(shí)旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪，其中將一用過的保護(hù)板繞到第一輪上，而將一未使用的保護(hù)板從第二輪上繞下并且置于上工作臺和下工作臺之一的這個(gè)表面上。
應(yīng)理解的是，前面總的描述和以下的詳細(xì)描述是示例和解釋性的，其旨在用它們提供對所要求保護(hù)的本發(fā)明作進(jìn)一步的解釋。


所包括用來提供對本發(fā)明進(jìn)一步理解且包括在本說明書內(nèi)構(gòu)成本說明書一部分的附圖，示出了本發(fā)明的實(shí)施例，并且連同說明書一起用來解釋本發(fā)明的原理。
這些附圖中圖1和2示出了一種用于制造通過液晶材料分配法形成的LCD板的現(xiàn)有技術(shù)基板粘合設(shè)備；圖3示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的未裝載狀態(tài)下的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備圖4A和4B示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)各工作臺的內(nèi)部結(jié)構(gòu)；圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)旋轉(zhuǎn)凸輪分布的平面圖；圖6示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)支撐裝置的透視圖；圖7示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的各真空泵和管線；圖8示出了將第一基板裝入根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的過程；圖9和10示出了將第一基板緊固到根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)一上工作臺上的過程；圖11至13示出了將第二基板裝到并緊固到根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)一下工作臺上的過程；圖14、15A和15B示出了在根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)粘合基板的過程；圖16至18示意性地示出了采用根據(jù)本發(fā)明第一優(yōu)選實(shí)施例的對準(zhǔn)裝置的第一和第二基板的對準(zhǔn)；圖19A和19B示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的通氣(venting)過程；圖20示出了根據(jù)本發(fā)明第二方面在一未裝載狀態(tài)下的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備；圖21示出了將未粘合基板裝入根據(jù)本發(fā)明第二方面的基板粘合設(shè)備中并且同時(shí)從其上卸下粘合后的基板的情形；圖22示出了根據(jù)本發(fā)明第三方面在一未裝載狀態(tài)下的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備；圖23示出了根據(jù)本發(fā)明第三方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)噴射裝置的透視圖；圖24示出了根據(jù)本發(fā)明第四方面在一未裝載狀態(tài)下的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備；圖25至29示出了利用根據(jù)本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備進(jìn)行的基板粘合過程；圖30和31示出了表示用來將一保護(hù)板置于根據(jù)本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的過程的關(guān)鍵部件；圖32示出了應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明第二方面基板粘合設(shè)備的本發(fā)明第三方面的原理；圖33示出了應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明第二方面基板粘合設(shè)備的本發(fā)明第四方面的原理；圖34示出了應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明第二方面基板粘合設(shè)備的本發(fā)明第三和第四方面的原理；圖35示出了應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明第三方面基板粘合設(shè)備的本發(fā)明第四方面的原理。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)在將詳細(xì)描述本發(fā)明的各實(shí)施例，它們的實(shí)例示于附圖中。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面在一未裝載狀態(tài)下的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備。
總地參見圖3，根據(jù)本發(fā)明第一方面原理的基板粘合設(shè)備可以例如包括基座100；上腔室單元210；下腔室單元220；腔室移動(dòng)裝置(例如310、320、330、340和350)；上工作臺230；下工作臺240；密封裝置(例如250)；對準(zhǔn)照相機(jī)520；例如圖5中所示的對準(zhǔn)裝置(例如531、532、533、534、540和541)；例如圖6中所示的支撐裝置(例如710和720)；例如圖7中所示的真空泵裝置(例如610、621和622)；以及互鎖(interlocking)裝置(例如510)。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，基座100可以固定到一支撐結(jié)構(gòu)或表面(例如地面)上，它可以構(gòu)成該基板粘合設(shè)備的外形，并且可以支撐以下要更詳細(xì)描述的不同部件。
在本發(fā)明的另一個(gè)方面，上工作臺230和下工作臺240可以分別固定到上腔室單元210和下腔室單元220。如以下要更詳細(xì)地描述的那樣，上腔室單元210和下腔室單元220可以有選擇地彼此連接以限定一個(gè)內(nèi)部空間。
上腔室單元210可以例如包括一上基底211和一上腔室板212，上基底211可以暴露給外部環(huán)境，而上腔室板212固定不動(dòng)地附在上基底211周邊的底面上。在本發(fā)明的一個(gè)方面，上腔室板212可以設(shè)置成一個(gè)矩形邊界，并且限定一個(gè)內(nèi)部空間，上工作臺230固定在該內(nèi)部空間內(nèi)。由于上工作臺230固定到上腔室單元210上，所以上工作臺可以隨著上腔室單元210提升或降低。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，第一密封部件213可以設(shè)置在上腔室單元210的上基底211與上腔室板212之間，以使上腔室板212所限定的內(nèi)部空間與外部環(huán)境密封隔絕。在本發(fā)明的一個(gè)方面，第一密封部件213可以設(shè)置成適于密封的墊圈、O形環(huán)或類似物。
下腔室單元220可以例如包括一下基底221和一下腔室板222，下基底221固定到基座100上，而下腔室板222設(shè)置在下基底221周邊的頂面之上。在本發(fā)明的一個(gè)方面，下腔室板222可以設(shè)置成一個(gè)矩形邊界，并且限定一個(gè)內(nèi)部空間，下工作臺240固定在該內(nèi)部空間內(nèi)。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，下腔室板222可以相對于下基底221在左、右、前和后(即，橫向)方向上移動(dòng)。在本發(fā)明的又一個(gè)方面，下腔室單元220可以包括用來將下基底221固定到基座100上的固定板223。在本發(fā)明的再一個(gè)方面，第二密封部件224可以設(shè)置在下腔室單元220的下基底221與下腔室板222之間，可以使下腔室板222所限定的內(nèi)部空間與外部環(huán)境密封隔絕。在本發(fā)明的一個(gè)方面，第二密封部件224可以設(shè)置成適于密封的墊圈、O形環(huán)或類似物。
根據(jù)本發(fā)明的原理，至少一個(gè)支撐部件225可以設(shè)置在下基底221與下腔室板222之間，用來使下腔室板222與下基底221的上表面保持一預(yù)定間隔。支撐部件225可以包括第一端和第二端，第一段附在下腔室板222的底部，而第二端可相對于下基底221在橫向方向上移動(dòng)并且可以附在一個(gè)零件上，該零件附在下基底221的底部。因此，支撐部件225能使下腔室板222相對于下基底221在左、右、前和后方向上移動(dòng)。
仍參見圖3，前述腔室移動(dòng)裝置可以例如包括固定到基座100上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)310；連接到驅(qū)動(dòng)電機(jī)310上的驅(qū)動(dòng)軸320；基本上垂直于驅(qū)動(dòng)軸320設(shè)置的連接軸330，它用來接受來自驅(qū)動(dòng)軸320的驅(qū)動(dòng)力；連接件340，它用來將驅(qū)動(dòng)軸320連接到連接軸330上；以及起重(jack)部件350，它安裝在連接軸330的一端。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，驅(qū)動(dòng)電機(jī)310可以設(shè)置在基座100的內(nèi)底部，并且可以設(shè)置成一雙向軸電機(jī)，它具有從驅(qū)動(dòng)電機(jī)310兩側(cè)水平伸出的軸。驅(qū)動(dòng)軸320可以接至驅(qū)動(dòng)電機(jī)310，將驅(qū)動(dòng)力沿著水平方向傳送至連接件340，而連接軸330可以接至連接件340，以相對于驅(qū)動(dòng)軸320沿著垂直方向傳送驅(qū)動(dòng)力。起重部件350可以設(shè)置在連接軸330端部，可以接至上腔室單元210，并且可以包括一螺母套(nut housing)，用以根據(jù)連接軸330的旋轉(zhuǎn)方向上下移動(dòng)上腔室單元210。連接件340可以設(shè)置成一個(gè)傘齒輪系，用以將驅(qū)動(dòng)軸320沿著水平方向提供的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為垂直旋轉(zhuǎn)力，再傳送給連接軸330。
根據(jù)本發(fā)明的原理，上工作臺230和下工作臺240分別可以每一個(gè)都包括各自的固定板231和241，它們分別固定到各自的上腔室單元210和下腔室單元220；各自的緊固板232和242，它們分別用來緊固第一和第二基板；各自的多個(gè)固定塊233和243，它們分別設(shè)置在各自成對的固定板231和241與緊固板232和242之間。在本發(fā)明的一個(gè)方面，緊固板232和242每一個(gè)都可以設(shè)置成一個(gè)由諸如聚酰亞胺之類材料制成的靜電吸盤(ESC)，用以通過施加一個(gè)靜電荷將一基板緊固到各自的工作臺上。
圖4A和4B示出了根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘合設(shè)備內(nèi)工作臺的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
圖4A和4B示出了圖3中所示“A”區(qū)和“B”區(qū)各自的放大剖視圖。因此，參見圖4A和4B，每一個(gè)緊固板232和242可以例如另外包括各自的多個(gè)孔232a和242a，這些孔用來傳遞一個(gè)吸力以緊固各自的基板。因此，多個(gè)孔232a和242a中的每一個(gè)都可以與各自的真空管線271和272連通，這些管線形成于各自的上工作臺230和下工作臺240內(nèi)。在本發(fā)明的一個(gè)方面，每一個(gè)真空管線271和272都可以接至一個(gè)用來產(chǎn)生吸力的真空泵裝置(例如如圖7中所示的622)。
再參見圖3，密封裝置250(下文成為第三密封件)可以設(shè)置成一O形環(huán)，該環(huán)由諸如橡膠之類的材料制成，沿著下腔室單元220的下腔室板222的頂面裝配。在本發(fā)明的一個(gè)方面，第三密封件250可以從下腔室板222的頂面伸出，達(dá)到一預(yù)定高度，并且形成一預(yù)定厚度，如以下將更詳細(xì)描述的那樣，該厚度足以防止各自的上工作臺230和下工作臺240所緊固的基板由于最初上腔室單元210和下腔室單元220的連接而彼此近乎緊鄰設(shè)置。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，當(dāng)?shù)谌芊饧?50受壓時(shí)，第三密封件250的厚度可以足以使基板彼此接觸。
根據(jù)本發(fā)明的原理，前述對準(zhǔn)裝置可以用來對準(zhǔn)分別緊固到上工作臺230和下工作臺240上的基板110和120。在本發(fā)明的一個(gè)方面，該對準(zhǔn)裝置可以接至下腔室單元220，在對準(zhǔn)基板110和120的過程中，下工作臺240可以保持基本靜止，而根據(jù)可借助對準(zhǔn)裝置調(diào)整的下腔室板222的位置調(diào)整上工作臺230的位置。在本發(fā)明的一個(gè)方面，該對準(zhǔn)裝置可以例如包括多個(gè)凸輪531、532、533和534以及用來驅(qū)動(dòng)凸輪531、532、533和534的接至軸541的步進(jìn)(step)電機(jī)540。
圖5示出了根據(jù)本發(fā)明原理的基板粘合設(shè)備中旋轉(zhuǎn)凸輪的排布平面圖。
參見圖3和5，每一個(gè)凸輪531、532、533和534可以旋轉(zhuǎn)設(shè)置以有選擇地接觸下腔室板222的周邊表面。在本發(fā)明的一個(gè)方面，凸輪531、532、533和534可以沿著下腔室板222的每一個(gè)周邊表面基本上對稱排布。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，每一個(gè)凸輪可以是可偏心旋轉(zhuǎn)的，以便在旋轉(zhuǎn)時(shí)，可以沿著一個(gè)預(yù)定方向推動(dòng)下腔室板222。根據(jù)本發(fā)明的原理，下腔室單元可以由四面限定，其中第一對相對的面可以比第二對相對的面長。因此，兩個(gè)凸輪可以旋轉(zhuǎn)排布，以有選擇地接觸第一對相對的面中每一面，且可以將一個(gè)凸輪排布成有選擇地接觸第二對相對的面中每一面的中部，從而使下腔室板222可以左、右、上、下移動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)方面，每一個(gè)凸輪531、532、533和534可以基本上一致地旋轉(zhuǎn)，以沿著一個(gè)預(yù)定方向推動(dòng)下腔室板222。例如，如果旋轉(zhuǎn)第一凸輪531以沿著一個(gè)預(yù)定方向推動(dòng)下腔室板222，那么，與第一凸輪531相對設(shè)置的第二凸輪532和分別與第一凸輪531相鄰設(shè)置的第三凸輪533和第四凸輪534可以全都基本上一致地旋轉(zhuǎn)，以沿著一個(gè)預(yù)定方向推動(dòng)下腔室板222。根據(jù)本發(fā)明的原理，相對設(shè)置的凸輪(例如531和531或者533和534)各表面之間的距離可以保持基本恒定(例如，下腔室板222的長度或者寬度)。
根據(jù)本發(fā)明的原理，互鎖裝置510可以例如包括設(shè)置在下腔室單元220的下腔室板222中的多個(gè)孔222a；沿著上腔室單元210周邊固定的多個(gè)線性致動(dòng)器(linear actuator)511，它們用來降低多個(gè)可移動(dòng)的軸512中相應(yīng)的軸，直到這些可移動(dòng)的軸512被接納在各個(gè)孔222a內(nèi)為止。
圖6示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)支撐裝置的透視圖。
參見圖3和6，支撐裝置可以例如包括一個(gè)起模頂桿(lift pin)710和多個(gè)致動(dòng)器720。在本發(fā)明的一個(gè)方面，起模頂桿710可以有一厚度，該厚度足以支撐至少一個(gè)基板，同時(shí)基本上防止了該至少一個(gè)基板下垂。起模頂桿710的中心區(qū)可以包括一個(gè)向下彎折部分，該部分用來使裝載機(jī)910能夠支撐該至少一個(gè)基板而不會(huì)妨礙起模頂桿710。此外，起模頂桿710的各部分可以通過下工作臺240提升，到達(dá)下工作臺240的上表面之上，以便在將基板120裝到下工作臺240上時(shí)安全地使基板120坐靠。在本發(fā)明的一個(gè)方面，當(dāng)沒有將基板裝到下工作臺240上時(shí)，起模頂桿710的頂面可以置于下工作臺240的頂面之下。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，多個(gè)致動(dòng)器720可以隨需要升降起模頂桿710。因此，支撐裝置可以便于卸下坐靠在下工作臺240上的粘合后和未粘合的基板(例如見圖21)。
圖7示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的各真空泵和管線。
參見圖3和7，可以為上腔室單元210和下腔室單元220中的至少一個(gè)提供前述真空泵裝置610、621和622，這些真空泵裝置可以抽空連接在一起的上腔室單元210和下腔室單元220所限定的密封的內(nèi)部空間。在本發(fā)明的一個(gè)方面，這些真空泵裝置610、621和622可以例如分別包括一高真空泵(渦輪分子泵“TMP”(Turbo Molecular Pump))610和第一低真空泵(干式真空泵(Dry-Pump))621、第二低真空泵622。
第一低真空泵621可以接至設(shè)置在上腔室單元210中心區(qū)上的高真空腔室管線630，使高真空泵610與上腔室板212和下腔室板222所限定的內(nèi)部空間彼此連通。此外，第一低真空泵可以抽空上腔室單元210和下腔室單元220所限定的密封的內(nèi)部空間，使其達(dá)到一預(yù)定壓力。
第二低真空泵622可以接至經(jīng)過上腔室單元210和下腔室單元220側(cè)面區(qū)域的低真空腔室管線641和642。另外，第二低真空泵622可以接至上工作臺230和下工作臺240中的管線，并且接至分別與工作臺230和240內(nèi)真空管線271和272相連的基板緊固管線650，用以用一吸力緊固基板。管線630、641、642和650可以包括至少一個(gè)截流閥661、662、663、664、665、666、667、668和669。高壓真空管線630可以包括一壓力傳感器670，該傳感器用來測量其中裝有基板的內(nèi)部空間的內(nèi)部壓力。
如以下將要更詳細(xì)描述的那樣，與第二低真空泵622連通的低真空腔室管線641和642以及基板緊固管線650可以用作通氣的管線。因此，可以將諸如氮?dú)?N2)之類的氣體注入可由上腔室單元210和下腔室單元220所限定的密封的內(nèi)部空間，用以將其中的壓力從一真空狀態(tài)回復(fù)到大氣壓。
再參見圖3，多個(gè)對準(zhǔn)照相機(jī)520可以分別安裝在上腔室單元210和下腔室單元220中的至少一個(gè)內(nèi)，以便可以通過上腔室單元210和下腔室單元220中的至少一個(gè)觀察上工作臺230或下工作臺240所緊固的基板(圖中未示)上形成的對準(zhǔn)標(biāo)記(圖中未示)。
以下將參照圖8至19B更詳細(xì)地描述采用圖3至7所示基板粘合設(shè)備制造一LCD裝置的方法。
可以將該基板粘合設(shè)備首先設(shè)置成如圖3所示的未裝載狀態(tài)。隨后，可以用一裝載機(jī)910將第一基板110送入上腔室單元210與下腔室單元220之間的空間內(nèi)。
接著，同時(shí)參見圖9，可以將上腔室單元210從其初始位置開始向下降，以令上工作臺230靠近第一基板110設(shè)置。然后，可以通過第二低真空泵622產(chǎn)生的吸力和緊固板232產(chǎn)生的靜電荷(ESC)將第一基板110緊固到上工作臺230上。
現(xiàn)在參見圖10，在將第一基板110緊固到上工作臺230上之后，可以將上腔室單元210提升到其初始位置，且可以將裝載機(jī)910從基板粘合設(shè)備上除去。
接著，參照圖11，可以將裝載機(jī)910在支撐第二基板120的同時(shí)再次插入基板粘合設(shè)備內(nèi)。剛將第二基板120裝入基板粘合設(shè)備，就從下工作臺230上表面之下，通過下工作臺230將起模頂桿710從其初始位置上提起，以推動(dòng)第二基板120遠(yuǎn)離裝載機(jī)910。因此，起模頂桿710可以在裝載機(jī)910之上預(yù)定高度處支撐第二基板120(如圖12所示)。當(dāng)?shù)诙?20支撐在預(yù)定高度時(shí)，可以將裝載機(jī)910從基板粘合設(shè)備上除去。隨后，可以降低起模頂桿710，以使第二基板120坐靠在下工作臺240上，并且由下工作臺240支撐。當(dāng)?shù)诙?20由下工作臺240支撐時(shí)，可以利用吸力和靜電荷將第二基板120緊固到下工作臺240上。當(dāng)將第一基板110和第二基板120緊固到其各自的工作臺230和240上時(shí)，基板粘合設(shè)備的裝載操作完成。
現(xiàn)在參見圖13，在基板粘合設(shè)備的裝載操作完成之后，腔室移動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)310可以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)軸320和連接軸330，以使起重部件350從它們的初始位置向下降。在本發(fā)明的一個(gè)方面，上腔室單元210隨著起重部件350從其初始位置向下降而向下降。另外，線性致動(dòng)器511可以降低多個(gè)可移動(dòng)的軸512，以使這些可移動(dòng)的軸512從上腔室板212的底面伸出一預(yù)定高度。
參見圖14，由于上腔室單元210降低和可移動(dòng)的軸512伸出的結(jié)果，可移動(dòng)的軸512的端部可以納入下腔室板222中形成的各個(gè)孔222a內(nèi)，并且接觸各個(gè)孔的內(nèi)表面。在例如上腔室單元210基本上沒有與下腔室單元220相齊的情況下，可移動(dòng)的軸512可以接連地接觸孔222a的內(nèi)表面。隨著可移動(dòng)的軸512的端部納入孔222a內(nèi)，腔室移動(dòng)裝置向下移動(dòng)上腔室單元210，使上腔室板212的底面接觸裝配到下腔室板222周邊的第三密封件250的頂面。
現(xiàn)在參見圖16，隨著起重部件350進(jìn)一步降低，它們從上腔室單元210與下腔室單元220之間移出，從而建立一個(gè)由上腔室單元210與下腔室單元220所限定的密封的內(nèi)部空間，其中由于壓在第三密封件250上的上腔室單元210的重量，使該密封的內(nèi)部空間基本上與外界密閉隔絕。因此，第一基板110和第二基板120可以基本上與外界隔絕。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，設(shè)置在相連上腔室單元與下腔室單元所限定的密封的內(nèi)部空間內(nèi)的第一基板110和第二基板120可以彼此局部粘合，但是又彼此間隔開幾百微米的初始距離。通過局部粘合，可以在后面的對準(zhǔn)過程中調(diào)整第一基板110與第二基板120的相對位置。在完成對準(zhǔn)過程之后，如下面將要更詳細(xì)描述的那樣，可以在后面的通氣過程中將基板粘合在一起。在本發(fā)明的一個(gè)方面，可以通過間隙檢測傳感器920來確定上腔室單元210與下腔室單元220之間的距離(就此確定兩基板之間的間隙)。
上腔室單元210與下腔室單元220所限定的密封的內(nèi)部空間一經(jīng)建立，就抽空該內(nèi)部空間。因此，可以啟動(dòng)第一低真空泵621和第二低真空泵622，以抽空密封的內(nèi)部空間，使其達(dá)到壓力傳感器670所測量的第一壓力。在確定了第一低真空泵621和第二低真空泵622已經(jīng)將內(nèi)部空間抽空到第一壓力之后，可以啟動(dòng)高真空泵610來基本上抽空該內(nèi)部空間。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，高真空泵610和第一低真空泵621可以接至同一個(gè)管線630。因此，當(dāng)啟動(dòng)高真空泵610時(shí)，可以使第一低真空泵621不工作。在內(nèi)部空間被基本上抽空之后，可以通過對準(zhǔn)裝置和對準(zhǔn)照相機(jī)520來對準(zhǔn)設(shè)置在該抽空、密封的內(nèi)部空間內(nèi)的第一基板110和第二基板120。
根據(jù)本發(fā)明的原理，對準(zhǔn)照相機(jī)520可以觀察形成在第一基板110和第二基板120上的對準(zhǔn)標(biāo)記(圖中未示)，并且可以檢驗(yàn)基板110和120上對準(zhǔn)標(biāo)記之間的位置偏差。所檢驗(yàn)的位置偏差可以包括上工作臺需要為適當(dāng)對準(zhǔn)而移動(dòng)的距離。因此，可以參照所檢驗(yàn)的偏差計(jì)算上工作臺230需要為適當(dāng)對準(zhǔn)而移動(dòng)的距離。
根據(jù)本發(fā)明的原理，下工作臺240固定到下基底221的頂面上。因此，可以調(diào)整下腔室板222相對于下工作臺240的位置。由于上工作臺230不能相對于上腔室板212移動(dòng)，所以上工作臺230通過互鎖裝置510與下腔室板222的運(yùn)動(dòng)基本上保持一致地移動(dòng)。因此，為了調(diào)整固定到其各自工作臺230和240的第一基板110與第二基板120的對準(zhǔn)，可以通過互鎖裝置510將對準(zhǔn)裝置產(chǎn)生的下腔室板222的運(yùn)動(dòng)(例如，下腔室板222周邊表面上凸輪531、532、533和534的旋轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)移給固定到上腔室單元210的上工作臺230。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，凸輪的旋轉(zhuǎn)程度和方向可以基于所計(jì)算的上工作臺為了適當(dāng)對準(zhǔn)而移動(dòng)的距離。因此，通過凸輪軸541偏心固定凸輪的步進(jìn)電機(jī)540可以隨需要旋轉(zhuǎn)凸輪。根據(jù)本發(fā)明的原理，凸輪531、532、533和534可以旋轉(zhuǎn)設(shè)置，以有選擇地接觸下腔室板222的外周表面。
現(xiàn)在參見圖17，一旦用對準(zhǔn)照相機(jī)520檢驗(yàn)了第一基板110與第二基板120之間的位置偏差，就可以確定例如第一基板110相對于第二基板120有一向后2mm的偏差和向左2mm的偏差，然后，可以利用前述的對準(zhǔn)裝置將固定有上工作臺230的上腔室單元210向前移動(dòng)2mm和向右移動(dòng)2mm。因此，當(dāng)?shù)谝缓偷诙逵善涓髯缘墓ぷ髋_230和240緊固的時(shí)候，它們可以受到精確地對準(zhǔn)。
參照圖18，前述例舉的位置偏差可以通過以一預(yù)定方式偏心旋轉(zhuǎn)接觸下腔室板222的凸輪531、532、533和534達(dá)一預(yù)定程度而得到校正。例如，可以偏心旋轉(zhuǎn)設(shè)置在下腔室板222后外周表面的第一凸輪531，以使下腔室板向前移動(dòng)，同時(shí)偏心旋轉(zhuǎn)設(shè)置在下腔室板222前外周表面的第二凸輪532，以使第二凸輪532與下腔室板222的前外周表面分開一預(yù)定距離。此外，可以偏心旋轉(zhuǎn)設(shè)置在下腔室板222的左外周表面的第三凸輪533，以使下腔室板222向右移動(dòng)，同時(shí)偏心旋轉(zhuǎn)設(shè)置在下腔室板222的右外周表面的第四凸輪534，以使第四凸輪與下腔室板的右外周表面分開一預(yù)定距離。容易理解的是，本發(fā)明的這些原理可以用來基本上校正基板之間的任意位置偏差，其中可以有選擇地控制各凸輪的旋轉(zhuǎn)量和旋轉(zhuǎn)方向，以連續(xù)或同時(shí)沿著前、后、左、右方向移動(dòng)下腔室板222(例如，沿著對角的方向移動(dòng)下腔室板222)。
根據(jù)本發(fā)明的原理，由對準(zhǔn)裝置賦予下腔室板222的運(yùn)動(dòng)通過互鎖裝置510轉(zhuǎn)移給上腔室單元。在位置偏差被對準(zhǔn)裝置校正之后，第一基板110和第二基板120基本上對準(zhǔn)了。因此，本發(fā)明的這些原理使得下腔室板222、上腔室單元210、上工作臺230和上基板110基本上作為不依賴于下工作臺240的一個(gè)單獨(dú)的整體進(jìn)行移動(dòng)。因此，可以實(shí)現(xiàn)對由其各自工作臺230和240所緊固的第一和第二基板平滑而精確的位置對準(zhǔn)。
根據(jù)本發(fā)明的原理，可以根據(jù)形成于基板上的對準(zhǔn)標(biāo)記類型，對第一基板110和第二基板120進(jìn)行一次以上的對準(zhǔn)。例如，如果在第一基板和第二基板上形成兩種對準(zhǔn)標(biāo)記(例如粗對準(zhǔn)標(biāo)記和細(xì)對準(zhǔn)標(biāo)記)，那么可能需要執(zhí)行兩個(gè)對準(zhǔn)過程，其中在一粗對準(zhǔn)過程中對準(zhǔn)粗對準(zhǔn)標(biāo)記，之后在一細(xì)對準(zhǔn)過程中對準(zhǔn)細(xì)對準(zhǔn)標(biāo)記。
當(dāng)執(zhí)行粗對準(zhǔn)過程時(shí)，第一基板110可以與第二基板120間隔開大約500μm至800μm。在本發(fā)明的一個(gè)方面，如圖15A所示，在粗對準(zhǔn)過程中，第一基板110可以與第二基板120間隔開大約650μm。當(dāng)執(zhí)行細(xì)對準(zhǔn)過程時(shí)，第一基板110可以與第二基板120間隔開大約100μm至250μm。在本發(fā)明的一個(gè)方面，如圖15B所示，在細(xì)對準(zhǔn)過程中，第一基板110可以與第二基板120間隔開大約150μm。
圖19A和19B示出了根據(jù)本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)的通氣過程。
圖19B示出了圖19A所示“D”區(qū)的放大剖視圖。因此，同時(shí)參見圖19A和19B，在第一基板110與第二基板120基本上對準(zhǔn)之后，可以斷掉加在上工作臺230上產(chǎn)生靜電荷的電，可以對其中設(shè)置有對準(zhǔn)的第一和第二基板的上下腔室單元所限定的密封內(nèi)部空間進(jìn)行通氣。
根據(jù)本發(fā)明的原理，可以通過經(jīng)低真空管線641和642將一種氣體如氮?dú)?N2)注入密封的內(nèi)部空間來進(jìn)行通氣，以將密封的內(nèi)部空間內(nèi)的壓力增大到大氣壓，其中低真空管線641和642經(jīng)上工作臺230和下工作臺240連接到第二低真空泵622。由于通過上工作臺230吹入的注入氣體壓力的緣故，預(yù)先由上工作臺230所緊固的第一基板110離開上工作臺230，開始與第二基板120粘合。隨著通氣過程的進(jìn)行，密封的內(nèi)部空間內(nèi)的壓力增大，而所粘合基板之間的壓力基本保持在真空狀態(tài)。由于所粘合基板內(nèi)部之間的壓力和密封內(nèi)部空間內(nèi)的壓力差別的緣故，兩基板110和120可以完全彼此粘合，第一基板110與第二基板120之間的距離縮短。
在完成通氣過程之后，可以卸下粘合后的基板110和120，其中在卸下粘合后的基板之后，重復(fù)進(jìn)行前述過程，以將其他的基板粘合在一起。
參照本發(fā)明的第一方面，上述基板粘合設(shè)備的側(cè)部對于外界來說是開放的。因此，外來物質(zhì)可能會(huì)無意和有害地進(jìn)入上工作臺230和下工作臺240內(nèi)，并且進(jìn)入第一基板與第二基板之間的空間內(nèi)。這種外來物質(zhì)可能會(huì)降低液晶材料的質(zhì)量。因此，能夠防止這種外來物質(zhì)進(jìn)入的基板粘合設(shè)備是有利的。
因此，根據(jù)本發(fā)明第二方面的原理，一種基板粘合設(shè)備可以設(shè)置成其中基本上防止來自外界的外來物質(zhì)進(jìn)入到工作臺上，進(jìn)入到基板上，或者進(jìn)入到上下腔室單元之間。例如，本發(fā)明第二方面的基板粘合設(shè)備可以配備有一殼體，該殼體用來包圍本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備，并使本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備與外界密閉隔絕。
圖20示出了未裝載狀態(tài)下根據(jù)本發(fā)明第二方面的用來制造LCD板的一種基板粘合設(shè)備。
參見圖20，殼體400的側(cè)面可以分別設(shè)有第一開口410和第二開口420，通過這些開口，可以將基板110和120裝入基板粘合機(jī)內(nèi)或者從基板粘合機(jī)上卸下。另外，殼體400可以基本上包圍上腔室單元210與下腔室單元220之間的圍繞物，以便基本上防止外來物質(zhì)進(jìn)入到腔室單元210與220之間。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，靠近上腔室單元210和下腔室單元220的殼體400的一部分可以用一種透明材料制成，以便至少觀察基板110與120的粘合進(jìn)程。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，靠近上工作臺230和下工作臺240的殼體的一部分可以用一種透明材料制成。因此，用透明材料制成的殼體400的那部分可以設(shè)置成觀察窗等等。在本發(fā)明的又一個(gè)方面，整個(gè)殼體400可以用一種透明材料制成。在本發(fā)明的一個(gè)方面，殼體400可以制成僅僅包圍上腔室單元210和下腔室單元220的一部分(例如，如圖20所示，僅僅包圍基座100的上部)，或者可以基本上包圍整個(gè)基板粘合設(shè)備。
參見圖21，通過設(shè)置第一開口410和第二開口420，可以基本上同時(shí)將基板裝到基板粘合設(shè)備上和從其上卸下基板。在本發(fā)明的一個(gè)方面，第一開口410可以設(shè)置在殼體400內(nèi)并且與第二開口420相對。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，可以經(jīng)第一開口410將未粘合的基板(例如，第一基板和第二基板)裝入基板粘合設(shè)備中。在本發(fā)明的又一個(gè)方面，可以經(jīng)第二開口420將粘合后的基板從基板粘合設(shè)備上卸下。在本發(fā)明的再一個(gè)方面，第一裝載機(jī)910可以通過第一開口410將未粘合的基板裝入基板粘合設(shè)備中。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，與第一裝載機(jī)910不同的第二裝載機(jī)920可以通過第二開口420將粘合后的基板從基板粘合設(shè)備上卸下。
根據(jù)本發(fā)明的原理，開口410和420可以配有門(圖中未示)，門用來在前述基板粘合過程的進(jìn)程中關(guān)閉這些開口。
因此，本發(fā)明第二方面的基板粘合設(shè)備可以有利地防止外來物質(zhì)進(jìn)入基板之間，同時(shí)能夠使人看到粘合過程。
圖23示出了根據(jù)本發(fā)明第三方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)噴射裝置的透視圖。
參見圖22和23，根據(jù)本發(fā)明第三方面原理的基板粘合設(shè)備可以配備有本發(fā)明第一方面的基板粘合設(shè)備，并且還包括噴射裝置、鼓風(fēng)裝置和第一流管840，以基本上防止外來物質(zhì)進(jìn)入。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，噴射裝置可以安裝到上腔室單元210上，并且可以向下腔室單元220的側(cè)部噴射一種氣體，例如氮?dú)?、空氣等。該噴射裝置還可以包括用來向下腔室單元220的側(cè)部發(fā)射離子的離子發(fā)生器。因此，離子發(fā)生器所發(fā)射的離子可以包括所噴射氣體產(chǎn)生的離子，可以基本上防止在基板粘合設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生不必要的靜電。所以，可以利用該離子發(fā)生器基本上防止靜電引起的對基板的損害。
根據(jù)本發(fā)明第三方面的原理，下腔室板222的一個(gè)周邊部分可以例如包括一向外傾斜的表面226，該表面226用來把通過第一噴射孔811噴射的氣體排放到腔室單元210和220外部。在本發(fā)明的一個(gè)方面，傾斜表面226可以包括一曲面，它朝向下腔室板222的邊緣斜向下，使得下腔室板222的邊緣比下腔室板222的內(nèi)部區(qū)域薄。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，傾斜表面226可以平滑地偏轉(zhuǎn)所噴射的氣體，同時(shí)使氣體湍流偏轉(zhuǎn)的程度最小。第一流管840可以包括與第二流管810連通的第一端和與風(fēng)扇831連通的第二端。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，鼓風(fēng)裝置可以包括風(fēng)扇831和驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇831的風(fēng)扇電機(jī)832。
根據(jù)本發(fā)明的原理，離子發(fā)生器可以例如包括形成于第二流管810側(cè)面中的多個(gè)第二噴射孔812，用以將氣體向工作臺230和240引導(dǎo)，還可以包括一個(gè)靠近每一個(gè)第二噴射孔812的離子發(fā)生器尖端(tip)820。在本發(fā)明的一個(gè)方面，離子發(fā)生器可以與噴射裝置分開來形成。
以下將更詳細(xì)地描述可以防止外來物質(zhì)進(jìn)入本發(fā)明第三方面的基板粘合設(shè)備的方法。
借助一控制部件(圖中未示)，在開始前述基板粘合過程之后而在完成基板粘合過程之前(例如，在基板粘合過程的中間)，可以啟動(dòng)風(fēng)扇電機(jī)832。因此，所啟動(dòng)的風(fēng)扇電機(jī)可以旋轉(zhuǎn)風(fēng)扇831，由此通過第一流管840吹送氣體。接著，所吹送的氣體經(jīng)第一流管840進(jìn)入第二流管810，穿過第二流管810中的第一噴射孔811，向下腔室板222的傾斜表面226噴射。隨后，所噴射的氣體流到傾斜表面226上，受到偏轉(zhuǎn)，排放到下腔室單元220外部，由此防止外來物質(zhì)進(jìn)入腔室單元210與220之間的空間。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，所噴射的氣體可以受到電離。因此，由所噴射氣體產(chǎn)生的離子可以靠近工作臺230和240，從而基本上防止了在基板粘合過程中產(chǎn)生靜電。在本發(fā)明的一個(gè)方面，從離子發(fā)生器尖端820發(fā)射的離子和第二流管810中穿過第二噴射孔812的一部分氣體可以距工作臺230和240最近。因此，通過向工作臺230和240噴射包括離子的氣體，可以防止在工作臺230和240附近產(chǎn)生不必要的靜電。
圖24示出了未裝載狀態(tài)下根據(jù)本發(fā)明第四方面的用來制造LCD板的基板粘合設(shè)備。圖25至29示出了利用根據(jù)本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備粘合基板的過程。圖30和31示出了根據(jù)本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備內(nèi)一保護(hù)板的定位過程。
參見圖24至31，根據(jù)本發(fā)明第四方面原理的基板粘合設(shè)備可以基本上防止與積聚在工作臺上的外來物質(zhì)有關(guān)的問題。例如，當(dāng)外來物質(zhì)積聚在工作臺上時(shí)，產(chǎn)生幾微米級別的位置變化。這種位置變化妨礙了基板的準(zhǔn)確對準(zhǔn)。此外，外來物質(zhì)還會(huì)在LCD內(nèi)部產(chǎn)生其他缺陷。因此，本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備可以基本上用作前述第一方面的基板粘合設(shè)備，但是可以還包括第一輪851、第二輪852、保護(hù)板860和旋轉(zhuǎn)件870。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，第一輪851和第二輪852分別可以設(shè)置在下工作臺240的相對側(cè)部，下工作臺240固定在下腔室單元220的下部內(nèi)部空間內(nèi)。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，第一輪851和第二輪852分別可以設(shè)置在上工作臺230的相對側(cè)部。在本發(fā)明的再一個(gè)方面，第一輪851和第二輪852分別可以設(shè)置在上工作臺230和下工作臺240各自相對的側(cè)部。
根據(jù)本發(fā)明的原理，保護(hù)板860可以基本上覆蓋下工作臺240的(或者上工作臺230的)一個(gè)表面，其中保護(hù)板的相對端可以繞在第一輪851和第二輪852上，并且其中保護(hù)板860可以基本上防止外來物質(zhì)在下工作臺240(或者上工作臺230)的該表面上積聚。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，保護(hù)板860可以由一種能夠?qū)⒕o固板242(或232)產(chǎn)生的靜電荷傳遞給基板110和120的材料制成，并且可以包括與下工作臺240(或上工作臺230)中形成的多個(gè)孔242a(或232a)對應(yīng)且與起模頂桿710對應(yīng)的開口。因此，在保護(hù)板860與通過孔242a(或232a)傳遞吸力和通過下工作臺240操作起模頂桿710之間可以基本上沒有干擾。
在本發(fā)明的一個(gè)方面，保護(hù)板860可以包括所形成用來覆蓋下工作臺240(或上工作臺230)表面的多個(gè)板，其中這多個(gè)板彼此連接。因此，保護(hù)板860的第一端可以繞在第一輪851上，而保護(hù)板860的第二端可以繞在第二輪852上。
保護(hù)板860繞在第一輪851上的部分可以設(shè)為未用過的保護(hù)板860，這部分在以后的基板粘合過程中使用；而保護(hù)板860繞在第二輪852上的部分可以設(shè)為用過的保護(hù)板860，這部分可以在進(jìn)行了基板粘合過程之后從基板粘合設(shè)備上除去。保護(hù)板860設(shè)置在工作臺表面之上的部分可以設(shè)為工作保護(hù)板860，這部分將在當(dāng)前的基板粘合過程中使用。
因此，保護(hù)板860繞在第一輪851上的未用過的部分可以卷起來并且設(shè)置在工作臺的表面之上(即，一工作區(qū))，并且可以在基板粘合過程中使用。在進(jìn)行了基板粘合過程之后，用過的工作保護(hù)板860可以從工作區(qū)卷繞到第二輪852上，它隨后可以報(bào)廢。在本發(fā)明的一個(gè)方面，第一輪851和第二輪852可以在垂直高度上設(shè)置得低于(或高于)下工作臺240(或上工作臺230)的表面，以使該工作臺的表面得到均勻和平滑的覆蓋(例如，以使保護(hù)板860的這部分在工作臺的表面之上基本上是平的)。
根據(jù)本發(fā)明的原理，張力調(diào)整夾具880可以設(shè)置成與第一輪851和第二輪852相鄰。在本發(fā)明的一個(gè)方面，張力調(diào)整夾具880可以設(shè)置在每一個(gè)輪與相應(yīng)工作臺之間。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，張力調(diào)整夾具880可以相對于保護(hù)板860旋轉(zhuǎn)安裝、垂直安裝(例如，可在上下方向上移動(dòng))，或者相對于保護(hù)板860水平安裝(例如，可在左右方向上移動(dòng))，用以令保護(hù)板860在工作區(qū)內(nèi)保持基本上為平的狀態(tài)。
根據(jù)本發(fā)明的原理，張力調(diào)整夾具880可以配備有致動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)等等，用以提升或降低張力調(diào)整夾具880。在本發(fā)明的一個(gè)方面，張力調(diào)整夾具880可以準(zhǔn)確地定位與下工作臺240中各孔242a的位置和起模頂桿710的位置相對應(yīng)的保護(hù)板860中的開口，以便在保持工作區(qū)內(nèi)保護(hù)板860基本上為平的時(shí)候基板粘合設(shè)備的操作也可以進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明的原理，旋轉(zhuǎn)件870可以旋轉(zhuǎn)第一輪851和852，它可以僅為第二輪852而設(shè)，也可以僅為第一輪851而設(shè)，或者為第一輪851和第二輪852二者都設(shè)。
以下將更詳細(xì)地描述用本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備防止外來物質(zhì)在工作臺上積聚的方法。
參見圖24，在粘合基板之前，可以啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)件870，以旋轉(zhuǎn)第二輪852，其中繞在第一輪851上的保護(hù)板860可以卷到下工作臺240的表面之上。因此，工作區(qū)內(nèi)保護(hù)板860中的開口位置基本上與下工作臺240表面中的孔242a的位置和起模頂桿710的位置相對應(yīng)。通過例如控制第二輪852的旋轉(zhuǎn)量，可以控制保護(hù)板860中開口與基板粘合設(shè)備中其他結(jié)構(gòu)之間的這種對應(yīng)關(guān)系。
參見圖25和26，第一基板110可以由裝載機(jī)910裝載，并且由上工作臺230緊固，之后將第二基板120裝載和緊固到下工作臺240上。當(dāng)保護(hù)板860設(shè)置在下工作臺240與第二基板120之間時(shí)，第二基板120可以緊固到下工作臺240的頂面上，這是因?yàn)楸Ｗo(hù)板860是用一種能夠傳遞靜電荷的材料制成的，并且保護(hù)板860中的孔暴露出下工作臺240中的孔242a。
下面，參見圖27至29，可以根據(jù)例如上述關(guān)于本發(fā)明第一方面的基板粘合過程粘合緊固到其各自工作臺上的基板。在粘合之后，從基板粘合設(shè)備上卸下粘合后的基板，可以重復(fù)進(jìn)行上述過程。
在上述基板粘合過程中，一用來控制基板粘合設(shè)備的控制器(圖中未示)可以控制保護(hù)板860從第一輪851向工作區(qū)卷放的次數(shù)。在本發(fā)明的一個(gè)方面，在預(yù)定數(shù)量的基板受到粘合之后，控制器可以在卷放保護(hù)板860。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，可以根據(jù)預(yù)定的時(shí)間間隔卷放保護(hù)板860，其中測量時(shí)間量，并且其中如果所測量的時(shí)間量超過預(yù)定時(shí)間間隔，那么在基板粘合過程之前卷放保護(hù)板860。
參見圖30，通過控制旋轉(zhuǎn)件870沿著預(yù)定方向旋轉(zhuǎn)第二輪850，可以卷繞保護(hù)板860，其中將工作區(qū)中用過的保護(hù)板卷繞在第二輪852，而將第一輪部件851上未用過的保護(hù)板860卷放到下工作臺240之上，以使其基本上覆蓋下工作臺240的頂面。為了令保護(hù)板860在工作臺表面之上的工作區(qū)內(nèi)保持基本上平的狀態(tài)，當(dāng)通過旋轉(zhuǎn)輪851和852將未用過的保護(hù)板860卷放得完全覆蓋工作臺表面時(shí)，旋轉(zhuǎn)(或者提升/降低、在橫向方向上移動(dòng)等)張力調(diào)整夾具880。
因此，由于保護(hù)板860中開口的位置基本上對應(yīng)于孔242a和起模頂桿710的位置，所以可以進(jìn)行連續(xù)的制造過程，同時(shí)可以基本上防止外來物質(zhì)引起的缺陷的產(chǎn)生。
容易理解的是，前述本發(fā)明第一至第四方面的原理可以實(shí)際上以任意需要的方式結(jié)合，或者可以單獨(dú)使用。例如，參見圖32，第三方面的氣體噴射裝置和離子發(fā)生器可以用于第二方面的基板粘合設(shè)備，其中噴射裝置和離子發(fā)生器可以安裝到殼體400中形成的第一開口410和第二開口420附近的上腔室單元上。此外，參見圖33，第四方面的第一輪851和第二輪852、保護(hù)板860以及旋轉(zhuǎn)件870可以用于第二方面的基板粘合設(shè)備。另外，參見圖34，第三方面的噴射裝置和離子發(fā)生器，第四方面的輪851和852、保護(hù)板860以及旋轉(zhuǎn)件870可以用于第二方面的基板粘合設(shè)備。再有，參見圖35，第四方面的輪851和852、保護(hù)板860以及旋轉(zhuǎn)件870可以用于第三方面的基板粘合設(shè)備等等。
如根據(jù)本發(fā)明原理描述的那樣，與現(xiàn)有技術(shù)的基板粘合設(shè)備相比，便于制造通過一液晶分配方法形成的LCD裝置的基板粘合設(shè)備其有利之處在于，基板粘合設(shè)備的整體尺寸可以減小，這是因?yàn)楸景l(fā)明的基板粘合設(shè)備不具有將密封劑材料涂覆到基板上或?qū)⒁壕Р牧戏峙涞交迳系墓δ?。因此，這種基板粘合設(shè)備具有簡單的設(shè)計(jì)方案并且節(jié)省了空間。此外，可以使上腔室單元和下腔室單元所限定的內(nèi)部空間容積最小，由此縮短了抽空內(nèi)部空間所需的時(shí)間。通過縮短抽空時(shí)間，可以減少制造LCD裝置所需的時(shí)間量。另外，借助多個(gè)可旋轉(zhuǎn)凸輪通過調(diào)整下腔室單元的位置來對準(zhǔn)基板，可以得到一個(gè)簡化的結(jié)構(gòu)。
此外，本發(fā)明第二至第四方面通過殼體基本上使各腔室單元之間的空間免受外部環(huán)境影響。因此，可以基本上防止外來物質(zhì)的進(jìn)入，由此防止了使LCD裝置產(chǎn)生缺陷。
另外，由于本發(fā)明第二方面的基板粘合設(shè)備可以允許通過基板粘合設(shè)備的相對兩側(cè)裝載和卸載基板，所以可以根據(jù)一生產(chǎn)線工藝來制造LCD。因此，可以基本上同時(shí)執(zhí)行一系列過程(例如，裝載和卸載基板)，以進(jìn)行基本上連續(xù)的制造過程，并且縮短了制造LCD所需的整個(gè)時(shí)間量。
再有，本發(fā)明第三方面的基板粘合設(shè)備利用一連續(xù)的氣體噴射將各腔室單元之間的內(nèi)部空間與外部環(huán)境分開，可以基本上防止外來物質(zhì)進(jìn)入。在本發(fā)明的一個(gè)方面，在裝載基板的過程中，噴射氣體可以基本上將外來物質(zhì)從裝載機(jī)和基板上去除。在本發(fā)明的另一個(gè)方面，所噴射的氣體可以包括離子，并且可以定向靠近基板，從而在工作臺緊固基板時(shí)基本上防止產(chǎn)生靜電。
最后，本發(fā)明第四方面的基板粘合設(shè)備可以基本上防止微米大小的顆粒在工作臺上積聚，由此防止了微米大小的顆粒引起的LCD內(nèi)有缺陷產(chǎn)生。
對于本領(lǐng)域那些普通技術(shù)人員來說，很顯然，在不脫離本發(fā)明的構(gòu)思或范圍的情況下，可以在本發(fā)明中作出各種改進(jìn)和變型。這樣，本發(fā)明意在覆蓋那些落入所附權(quán)利要求及其等同物范圍內(nèi)的改進(jìn)和變型。
權(quán)利要求
1.一種用來制造液晶顯示(LCD)板的基板粘合設(shè)備，包括一基座；一下腔室單元，它安裝到基座上，其中下腔室單元限定了下內(nèi)部空間并且包括一上表面；一上腔室單元，它位于下腔室單元之上，其中上腔室單元限定了上內(nèi)部空間，包括一下表面，并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺，它設(shè)置在上內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第一基板；一下工作臺，它設(shè)置在下內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第二基板；為上腔室單元和下腔室單元中至少一個(gè)提供的對準(zhǔn)照相機(jī)，用來檢驗(yàn)第一基板和第二基板上形成的多個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記的對準(zhǔn)狀態(tài)；和設(shè)置在下腔室單元側(cè)部的對準(zhǔn)裝置，用來調(diào)整第一基板和第二基板之間的對準(zhǔn)。
2.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上腔室單元包括一暴露給外部環(huán)境的上基底；和一上腔室板，附在上基底周邊的下表面上。
3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，上腔室板用作限定上內(nèi)部空間的矩形邊界，該上內(nèi)部空間內(nèi)設(shè)有上工作臺。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，上工作臺固定到上基底上。
5.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，下腔室單元包括一固定到基座上的下基底；和一下腔室板，它設(shè)置在下基底周邊的上表面之上。
6.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，下腔室板用作限定下內(nèi)部空間的矩形邊界，該下內(nèi)部空間內(nèi)設(shè)有下工作臺。
7.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，下腔室板相對于下基底是可在橫向方向上移動(dòng)的。
8.如權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，下工作臺固定到下基底上。
9.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，對準(zhǔn)裝置包括多個(gè)凸輪，它們是可旋轉(zhuǎn)地用來有選擇地接觸和推動(dòng)下腔室板的周邊部分；多個(gè)軸，它們連接到多個(gè)凸輪中相應(yīng)的凸輪上；和多個(gè)電機(jī)，它們固定到下基底上，并且連接到多個(gè)凸輪中相應(yīng)的凸輪上，用來通過多個(gè)軸中相應(yīng)的軸旋轉(zhuǎn)多個(gè)凸輪。
10.如權(quán)利要求9所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，多個(gè)軸中的每一個(gè)都偏心連接到多個(gè)凸輪中相應(yīng)的凸輪上。
11.如權(quán)利要求9所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，多個(gè)電機(jī)中的每一個(gè)都包括一步進(jìn)電機(jī)。
12.如權(quán)利要求9所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，下腔室單元包括第一對相對側(cè)面和第二對相對側(cè)面，其中第一對相對側(cè)面的長度大于第二對相對側(cè)面的長度；兩個(gè)凸輪設(shè)置在第一對相對側(cè)面中每一側(cè)面的附近；和一個(gè)凸輪設(shè)置在第二對相對側(cè)面中每一側(cè)面的附近。
13.如權(quán)利要求12所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，設(shè)置在第二對相對側(cè)面中每一側(cè)面附近的凸輪基本上設(shè)置在第二對相對側(cè)面中每一側(cè)面的中間。
14.如權(quán)利要求12所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，設(shè)置在第一對相對側(cè)面中每一側(cè)面附近的凸輪設(shè)置在第一對相對側(cè)面中每一側(cè)面的側(cè)部。
15.如權(quán)利要求12所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，各凸輪中相對設(shè)置的凸輪之間的距離在受到旋轉(zhuǎn)時(shí)基本上保持恒定。
16.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括為腔室單元提供的互鎖裝置，該互鎖裝置用來將上腔室單元耦聯(lián)到下腔室單元上。
17.如權(quán)利要求16所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，互鎖裝置包括上表面中的多個(gè)孔；多個(gè)可移動(dòng)的軸，每一個(gè)可移動(dòng)的軸有第一端和第二端；和多個(gè)線性致動(dòng)器，它們固定到上腔室單元和多個(gè)可移動(dòng)的軸的第一端，用來令多個(gè)可移動(dòng)的軸的第二端伸入多個(gè)孔中相應(yīng)的一個(gè)中。
18.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，腔室移動(dòng)裝置包括一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，它固定到基座上；一驅(qū)動(dòng)軸，它耦聯(lián)到驅(qū)動(dòng)電機(jī)上；一連接件，它連接到驅(qū)動(dòng)軸上；一起重部件，它連接到上腔室單元；以及一連接軸，其一端連接到上腔室單元，另一端連接成從驅(qū)動(dòng)軸上接收一驅(qū)動(dòng)力。
19.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括一殼體，它用來包圍上腔室單元和下腔室單元。
20.如權(quán)利要求19所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，殼體的一個(gè)側(cè)部包括第一開口，它用來將基板裝入基板粘合設(shè)備中。
21.如權(quán)利要求19所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，殼體的一個(gè)側(cè)部包括第二開口，它用來將基板從基板粘合設(shè)備中卸下。
22.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括噴射裝置，設(shè)置在上腔室單元與下腔室單元之一的側(cè)部上，用來向上腔室單元與下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)面噴射氣體；鼓風(fēng)裝置，用來吹送通過噴射裝置的氣體；和第一流管，它具有與噴射裝置連通的第一端和與鼓風(fēng)裝置連通的第二端。
23.如權(quán)利要求22所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置包括設(shè)置在上腔室單元側(cè)部上的第二流管，其中多個(gè)噴射孔排布在第二流管的底部。
24.如權(quán)利要求23所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置還包括用來發(fā)射離子的離子發(fā)生器。
25.如權(quán)利要求24所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一離子發(fā)生尖端，該尖端裝配在第二流管內(nèi)多個(gè)噴射孔的前面。
26.如權(quán)利要求22所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括一離子發(fā)生器，它設(shè)置在上腔室單元與下腔室單元之一的側(cè)部附近，用來向上腔室單元與下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)部發(fā)射離子。
27.如權(quán)利要求26所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一流管，它設(shè)置在上腔室單元的側(cè)部上，其中該流管包括面向上工作臺和下工作臺的多個(gè)噴射孔，其中氣體可以流過這多個(gè)噴射孔；和一離子發(fā)生尖端，它設(shè)置在多個(gè)噴射孔中每一個(gè)的前部附近。
28.如權(quán)利要求27所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，氣體包括氮?dú)狻?br> 29.如權(quán)利要求27所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可以通過該氣體將上腔室單元與下腔室單元之間的外來物質(zhì)去除。
30.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括為上表面和下表面中至少一個(gè)設(shè)置的密封裝置，它用來密封包圍第一基板和第二基板的一個(gè)內(nèi)部空間，其中所密封的內(nèi)部空間可以通過相連的上腔室單元和下腔室單元限定。
31.如權(quán)利要求30所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，密封裝置包括一沿著上表面裝配的O形環(huán)。
32.如權(quán)利要求1所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括第一輪和第二輪，它們設(shè)置在上工作臺和下工作臺中至少一個(gè)的相對側(cè)部上；一保護(hù)板，它用來覆蓋至少一個(gè)工作臺的一個(gè)表面，其中該保護(hù)板可通過第一輪和第二輪卷繞；和一旋轉(zhuǎn)件，它用來旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪。
33.如權(quán)利要求32所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上工作臺和下工作臺中的至少一個(gè)包括一靜電吸盤，它用來施加一靜電荷以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
34.如權(quán)利要求33所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括聚酰亞胺。
35.如權(quán)利要求33所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括多個(gè)孔，這些孔用來傳遞一吸力以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
36.如權(quán)利要求33所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可通過靜電吸盤施加的靜電荷是可由保護(hù)板傳送的。
37.如權(quán)利要求33所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板包括多個(gè)孔。
38.如權(quán)利要求37所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板中的多個(gè)孔可設(shè)置成基本上對應(yīng)于靜電吸盤中的多個(gè)孔。
39.如權(quán)利要求32所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上低于下工作臺的表面。
40.如權(quán)利要求32所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上高于上工作臺的表面。
41.如權(quán)利要求32所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括張力調(diào)整夾具，這些夾具設(shè)置得與第一輪和第二輪中的每一個(gè)都相鄰，用來保持保護(hù)板在至少一個(gè)工作臺的表面上基本上為平的。
42.如權(quán)利要求41所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可旋轉(zhuǎn)安裝的。
43.如權(quán)利要求41所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在垂直方向上移動(dòng)的。
44.如權(quán)利要求41所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在橫向方向上移動(dòng)的。
45.一種用來制造液晶顯示(LCD)板的基板粘合設(shè)備，包括一基座；一下腔室單元，它安裝到基座上，其中下腔室單元限定了下內(nèi)部空間并且包括一上表面；一上腔室單元，它位于下腔室單元之上，其中上腔室單元限定了上內(nèi)部空間，包括一下表面，并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺，它設(shè)置在上內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第一基板；一下工作臺，它設(shè)置在下內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第二基板；為上表面和下表面中至少一個(gè)提供的密封裝置，它用來密封包圍第一基板和第二基板的內(nèi)部空間，其中所密封的內(nèi)部空間可由相連的上腔室單元與下腔室單元限定；和一殼體，它用來包圍上腔室單元和下腔室單元。
46.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，殼體包括一透明材料，其中可通過該透明材料從殼體外部觀察該基板粘合設(shè)備的內(nèi)部。
47.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，該透明材料包括至少一個(gè)窗口，用來可通過該至少一個(gè)窗口從殼體外部觀察一基板粘合過程的一部分。
48.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，殼體整體包括透明材料。
49.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，殼體包括第一開口，第一開口用來將基板裝入基板粘合設(shè)備內(nèi)。
50.如權(quán)利要求49所述的基板粘劑設(shè)備，其特征在于，殼體包括第二開口，第二開口用來從基板粘合設(shè)備上卸下基板。
51.如權(quán)利要求50所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一開口和第二開口形成在殼體的相對表面中。
52.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括噴射裝置，設(shè)置在上腔室單元與下腔室單元之一的側(cè)部上，用來向上腔室單元與下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)面噴射氣體；鼓風(fēng)裝置，用來吹送通過噴射裝置的氣體；和第一流管，它具有與噴射裝置連通的第一端和與鼓風(fēng)裝置連通的第二端，用來將來自鼓風(fēng)裝置的氣體傳輸給噴射裝置。
53.如權(quán)利要求52所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置包括設(shè)置在上腔室單元側(cè)部上的第二流管，其中多個(gè)噴射孔排布在第二流管的底部。
54.如權(quán)利要求53所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置還包括用來發(fā)射離子的離子發(fā)生器。
55.如權(quán)利要求54所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一離子發(fā)生尖端，該尖端裝配在第二流管內(nèi)多個(gè)噴射孔的前面。
56.如權(quán)利要求52所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上腔室單元和下腔室單元中的另一個(gè)的一個(gè)外周部分包括一向外傾斜的表面。
57.如權(quán)利要求56所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，該傾斜表面是弧形的。
58.如權(quán)利要求52所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括一離子發(fā)生器，它設(shè)置在上腔室單元與下腔室單元之一的側(cè)部附近，用來向上腔室單元與下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)部發(fā)射離子。
59.如權(quán)利要求58所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一流管，它設(shè)置在上腔室單元的側(cè)部上，其中該流管包括面向上工作臺和下工作臺的多個(gè)噴射孔，其中氣體可以流過這多個(gè)噴射孔；和一離子發(fā)生尖端，它設(shè)置在多個(gè)噴射孔中每一個(gè)的前部附近。
60.如權(quán)利要求59所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，氣體包括氮?dú)狻?br> 61.如權(quán)利要求59所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可以通過該氣體將上腔室單元與下腔室單元之間的外來物質(zhì)去除。
62.如權(quán)利要求45所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括第一輪和第二輪，它們設(shè)置在上工作臺和下工作臺中至少一個(gè)的相對側(cè)部上；一保護(hù)板，它用來覆蓋至少一個(gè)工作臺的一個(gè)表面，其中該保護(hù)板是可通過第一輪和第二輪卷繞的；和一旋轉(zhuǎn)件，它用來旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪。
63.如權(quán)利要求62所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上工作臺和下工作臺中的至少一個(gè)包括一靜電吸盤，它用來施加一靜電荷以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
64.如權(quán)利要求63所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括一聚酰亞胺材料。
65.如權(quán)利要求63所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括多個(gè)孔，這些孔用來傳遞一吸力以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
66.如權(quán)利要求63所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可通過靜電吸盤施加的靜電荷是可由保護(hù)板傳送的。
67.如權(quán)利要求62所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板包括多個(gè)孔。
68.如權(quán)利要求67所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板中的多個(gè)孔可設(shè)置成基本上對應(yīng)于靜電吸盤中的多個(gè)孔。
69.如權(quán)利要求62所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上低于下工作臺的表面。
70.如權(quán)利要求62所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上高于上工作臺的表面。
71.如權(quán)利要求62所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括張力調(diào)整夾具，這些夾具設(shè)置得與第一輪和第二輪中的每一個(gè)都相鄰，用來保持保護(hù)板在至少一個(gè)工作臺的表面上基本上為平的。
72.如權(quán)利要求71所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可旋轉(zhuǎn)安裝的。
73.如權(quán)利要求71所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在垂直方向上移動(dòng)的。
74.如權(quán)利要求71所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在橫向方向上移動(dòng)的。
75.一種用來制造液晶顯示(LCD)板的基板粘合設(shè)備，包括一基座；一下腔室單元，它安裝到基座上，其中下腔室單元限定了下內(nèi)部空間并且包括一上表面；一上腔室單元，它位于下腔室單元之上，其中上腔室單元限定了上內(nèi)部空間，包括一下表面，并且可與下腔室單元相連；腔室移動(dòng)裝置，用來提升和降低上腔室單元；一上工作臺，它設(shè)置在上內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第一基板；一下工作臺，它設(shè)置在下內(nèi)部空間內(nèi)，用來緊固第二基板；噴射裝置，沿著上腔室單元和下腔室單元之一的側(cè)部設(shè)置，用來向上腔室單元和下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)部噴射氣體；鼓風(fēng)裝置，用來吹送通過噴射裝置的氣體；和第一流管，它具有與噴射裝置連通的第一端和與鼓風(fēng)裝置連通的第二端。
76.如權(quán)利要求75所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置包括設(shè)置在上腔室單元側(cè)部上的第二流管，其中多個(gè)噴射孔排布在第二流管的底部。
77.如權(quán)利要求76所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，噴射裝置還包括用來發(fā)射離子的離子發(fā)生器。
78.如權(quán)利要求77所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一離子發(fā)生尖端，該尖端裝配在第二流管內(nèi)多個(gè)噴射孔的前面。
79.如權(quán)利要求75所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上腔室單元和下腔室單元中的另一個(gè)的一個(gè)外周部分包括一向外傾斜的表面。
80.如權(quán)利要求79所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，該傾斜表面是弧形的。
81.如權(quán)利要求75所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括一離子發(fā)生器，它設(shè)置在上腔室單元與下腔室單元之一的側(cè)部附近，用來向上腔室單元與下腔室單元中另一個(gè)的側(cè)部發(fā)射離子。
82.如權(quán)利要求81所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，離子發(fā)生器包括一流管，它設(shè)置在上腔室單元的側(cè)部上，其中該流管包括面向上工作臺和下工作臺的多個(gè)噴射孔，其中氣體可以流過這多個(gè)噴射孔；和一離子發(fā)生尖端，它設(shè)置在多個(gè)噴射孔中每一個(gè)的前部附近。
83.如權(quán)利要求82所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，氣體包括氮?dú)狻?br> 84.如權(quán)利要求82所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可以通過該氣體將上腔室單元與下腔室單元之間的外來物質(zhì)去除。
85.如權(quán)利要求75所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括第一輪和第二輪，它們設(shè)置在上工作臺和下工作臺中至少一個(gè)的相對側(cè)部上；一保護(hù)板，它用來覆蓋至少一個(gè)工作臺的一個(gè)表面，其中該保護(hù)板是可通過第一輪和第二輪卷繞的；和一旋轉(zhuǎn)件，它用來旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪。
86.如權(quán)利要求85所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上工作臺和下工作臺中的至少一個(gè)包括一靜電吸盤，它用來施加一靜電荷以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
87.如權(quán)利要求86所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括一聚酰亞胺材料。
88.如權(quán)利要求86所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括多個(gè)孔，這些孔用來傳遞一吸力以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
89.如權(quán)利要求86所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可通過靜電吸盤施加的靜電荷是可由保護(hù)板傳送的。
90.如權(quán)利要求86所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板包括多個(gè)孔。
91.如權(quán)利要求90所述的基板粘合設(shè)備，其中保護(hù)板中的多個(gè)孔可設(shè)置成基本上對應(yīng)于靜電吸盤中的多個(gè)孔。
92.如權(quán)利要求85所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上低于下工作臺的表面。
93.如權(quán)利要求85所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上高于上工作臺的表面。
94.如權(quán)利要求85所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括張力調(diào)整夾具，這些夾具設(shè)置得與第一輪和第二輪中的每一個(gè)都相鄰，用來保持保護(hù)板在至少一個(gè)工作臺的表面上基本上為平的。
95.如權(quán)利要求94所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可旋轉(zhuǎn)安裝的。
96.如權(quán)利要求94所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在垂直方向上移動(dòng)的。
97.如權(quán)利要求94所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在橫向方向上移動(dòng)的。
98.一種用來制造液晶顯示(LCD)板的基板粘合設(shè)備，包括一上工作臺，它用來緊固一LCD裝置的第一基板；一下工作臺，它用來緊固該LCD裝置的第二基板；第一輪和第二輪，它們設(shè)置在上工作臺和下工作臺中至少一個(gè)的相對側(cè)部上；一保護(hù)板，它用來覆蓋至少一個(gè)工作臺的一個(gè)表面，其中該保護(hù)板可通過第一輪和第二輪卷繞；和一旋轉(zhuǎn)件，它用來旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪。
99.如權(quán)利要求98所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，上工作臺和下工作臺中的至少一個(gè)包括一靜電吸盤，它用來施加一靜電荷以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
100.如權(quán)利要求99所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括一聚酰亞胺材料。
101.如權(quán)利要求99所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，靜電吸盤包括多個(gè)孔，這些孔用來傳遞一吸力以緊固第一基板和第二基板中相應(yīng)的一個(gè)。
102.如權(quán)利要求99所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，可通過靜電吸盤施加的靜電荷是可由保護(hù)板傳送的。
103.如權(quán)利要求99所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板包括多個(gè)孔。
104.如權(quán)利要求103所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，保護(hù)板中的多個(gè)孔是可設(shè)置成基本上對應(yīng)于靜電吸盤中的多個(gè)孔的。
105.如權(quán)利要求98所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上低于下工作臺的表面。
106.如權(quán)利要求98所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，第一輪和第二輪設(shè)置成在垂直方向上高于上工作臺的表面。
107.如權(quán)利要求98所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，還包括張力調(diào)整夾具，這些夾具設(shè)置得與第一輪和第二輪中的每一個(gè)都相鄰，用來保持保護(hù)板在至少一個(gè)工作臺的表面上基本上為平的。
108.如權(quán)利要求107所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可旋轉(zhuǎn)安裝的。
109.如權(quán)利要求107所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在垂直方向上移動(dòng)的。
110.如權(quán)利要求107所述的基板粘合設(shè)備，其特征在于，張力調(diào)整夾具是可在橫向方向上移動(dòng)的。
111.一種用來制造液晶顯示(LCD)裝置的基板粘合設(shè)備的工作臺的保護(hù)方法，包括提供用來緊固一LCD裝置的基板的工作臺；在工作臺的相對側(cè)上設(shè)置第一輪和第二輪；在工作臺的一個(gè)表面之上設(shè)置一保護(hù)板，該保護(hù)板在工作臺的表面之上是可卷繞的；確定保護(hù)板是否需要更換；以及根據(jù)該確定結(jié)果，旋轉(zhuǎn)第一輪和第二輪，以使工作臺表面之上的保護(hù)板繞在第一輪和第二輪之一上，而將一塊新的保護(hù)板從第一輪和第二輪中另一個(gè)上繞下并且排布在該工作臺的該表面上。
112.如權(quán)利要求111所述的方法，其特征在于，確定保護(hù)板是否需要更換包括確定用保護(hù)板所粘合的基板數(shù)是否超過了基板粘合過程的預(yù)定數(shù)目。
113.如權(quán)利要求111所述的方法，其特征在于，確定保護(hù)板是否需要更換包括確定是否已經(jīng)過去了預(yù)定時(shí)間量。
全文摘要
一種用來制造液晶顯示(LCD)裝置的基板粘合設(shè)備準(zhǔn)確地對準(zhǔn)該LCD裝置的基板，同時(shí)防止外來物質(zhì)進(jìn)入該基板粘合設(shè)備，由此基本上防止了在LCD裝置的液晶材料內(nèi)有缺陷產(chǎn)生。
文檔編號G02F1/13GK1501127SQ200310113598
公開日2004年6月2日 申請日期2003年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月16日
發(fā)明者李相碩, 姜明求, 林永國, 郭洙旼, 金鐘翰, 金興善 申請人:Lg.菲利浦Lcd株式會(huì)社