專利名稱：激光衰減器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光衰減器，特別是一種應(yīng)用于各種激光科學(xué)實(shí)驗(yàn)和激光加工的激光功率衰減器。
背景技術(shù)：
在各種科學(xué)實(shí)驗(yàn)和激光加工的應(yīng)用中，提出對激光功率的衰減可調(diào)的要求。在以往的應(yīng)用中，有采用吸收型中性玻璃作為衰減片來實(shí)現(xiàn)對激光功率的衰減，然而在較高功率下卻會(huì)漂白，而且不能連續(xù)可調(diào)；也有采用普通的介質(zhì)膜來實(shí)現(xiàn)對激光功率的衰減，雖然功率衰減可以連續(xù)調(diào)節(jié)，而且也可以經(jīng)受一定功率的輻照，但不適合較高功率的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
如上所述，如何解決高破壞閾值的膜片設(shè)計(jì)選擇，以及多余激光功率的吸收和散熱，乃是本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題，為此，本發(fā)明的目的在于提供一種應(yīng)用于各種激光科學(xué)實(shí)驗(yàn)和激光加工的激光功率衰減器。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下根據(jù)本發(fā)明的激光衰減器，包括一個(gè)或一對鍍有對入射角敏感的介質(zhì)膜光學(xué)平板，介質(zhì)膜設(shè)計(jì)為5°入射角時(shí)對入射激光反射最大，而在40°入射角時(shí)對入射激光透射最大，從而大大提高介質(zhì)膜破壞閾值；在吸收反射光的部分采用石墨或陶瓷作為吸收材料，石墨或陶瓷的片狀材料貼附在衰減器內(nèi)壁；并視情況在衰減器外部裝上金屬散熱片；所述介質(zhì)膜光學(xué)平板對入射激光的入射角在5°～40°連續(xù)可調(diào)，并由一調(diào)節(jié)齒輪盤連續(xù)調(diào)節(jié)。
本發(fā)明設(shè)計(jì)簡單，適用于對激光的功率衰減和調(diào)節(jié)。


圖1為激光衰減器實(shí)施列的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式根據(jù)圖1給出本發(fā)明激光衰減器的一個(gè)較好實(shí)施例，如圖所示，激光1進(jìn)入衰減器2中，經(jīng)一對介質(zhì)膜片3、4后被反射損耗的激光5、6射到衰減內(nèi)壁的吸收片7、8上，其轉(zhuǎn)化成的熱量主要通過散熱片9、10排出。通過調(diào)節(jié)齒輪盤11、12調(diào)節(jié)介質(zhì)膜片3、4的角度，從而調(diào)節(jié)對激光的衰減量，最后獲得經(jīng)衰減后的激光13。介質(zhì)膜片3、4針對需要的波段進(jìn)行鍍膜，設(shè)計(jì)的反射率在5°入射角時(shí)為最大，這樣在鍍膜工藝上可確保介質(zhì)膜的激光破壞閾值達(dá)到最大，對1064nm波長10ns的激光而言，破壞閥值可以達(dá)到20J/cm2以上。吸收片7、8采用石墨材料經(jīng)濟(jì)實(shí)用，配合散熱片可以獲得很好的效果。
作為上述實(shí)施例的替換，衰減器2中只設(shè)一介質(zhì)膜片3，受其反射損耗的激光5射到衰減器內(nèi)壁的吸收片7，其轉(zhuǎn)化成的熱量主要通過散熱片9排出。通過調(diào)節(jié)齒輪盤11來調(diào)節(jié)介質(zhì)膜片3的角度，介質(zhì)膜片3按所需激光波段進(jìn)行鍍膜，并設(shè)計(jì)在5°入射角時(shí)反射率最大，在40°入射角時(shí)透射最大。本實(shí)施例中，吸收片由陶瓷制成。
權(quán)利要求
1.一種激光衰減器，包括在激光入射通路上設(shè)置有對入射角敏感的介質(zhì)膜光學(xué)平板和在衰減器內(nèi)壁貼附吸收反射激光的吸收材料，其特征在于該介質(zhì)膜光學(xué)平板設(shè)計(jì)成5°入射角時(shí)入射激光反射最大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光衰減器，其特征在于該介質(zhì)膜光學(xué)平板設(shè)計(jì)成40°入射角時(shí)入射激光透射最大。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光衰減器，其特征在于該內(nèi)壁上貼附的吸收反射激光的吸收材料為石墨。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光衰減器，其特征在于該內(nèi)壁上貼附的吸收反射激光的吸收材料為陶瓷。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光衰減器，其特征在于所述介質(zhì)膜光學(xué)平板對激光入射角為5°～40°連續(xù)可調(diào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光衰減器，其特征在于所述介質(zhì)膜光學(xué)平板對激光入射角由一調(diào)節(jié)齒輪盤連續(xù)調(diào)節(jié)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光衰減器，其特征在于所述介質(zhì)膜光學(xué)平板為一個(gè)或一對。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光衰減器，其特征在于還在衰減器的外部裝上散熱片。
全文摘要
一種激光衰減器，包括一個(gè)或一對鍍有對入射角敏感的介質(zhì)膜光學(xué)平板，介質(zhì)膜設(shè)計(jì)為5°入射角時(shí)反射最大，而在40°時(shí)透射最大，從而大大提高介質(zhì)膜破壞閾值；在吸收反射光的部分采用石墨材料或陶瓷材料，并視情況在衰減器的外部裝上散熱片。本發(fā)明設(shè)計(jì)簡單，適用于對激光的功率衰減和調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)G02F1/35GK1564076SQ20041001749
公開日2005年1月12日 申請日期2004年4月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月6日
發(fā)明者葉震寰, 樓祺洪, 董景星, 魏運(yùn)榮, 凌磊 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所