專利名稱：液晶顯示器基板支撐裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種基板支撐裝置，特別是關于一種液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)基板支撐裝置。
背景技術：
液晶顯示器陣列電路(Array)段制程中需要用半導體制程方法將晶體管制作在玻璃基板上，其中主要有光阻涂布、曝光、顯影、干燥、清洗、蝕刻等制程。干燥制程是在光阻圖案形成后，抽走基板表面剩余光阻內(nèi)所含溶劑(Solvent)成份，進而使光阻干燥凝固，以利于后續(xù)清洗制程，并減少溶劑揮發(fā)時對其后制程的污染。減壓干燥設備(Low Pressure Dryer，LPD)是目前常用的一種干燥設備，在液晶顯示器基板放入減壓干燥設備進行減壓干燥時，其下需要一液晶顯示器基板支撐裝置，以便于取放及定位基板。
圖1是公告于2002年11月5日的美國專利第6,473,995號所揭示的一種液晶顯示器基板支撐裝置。該液晶顯示器基板支撐裝置10位于減壓干燥室11內(nèi)，其上放置一待干燥的液晶顯示器基板50。該液晶顯示器基板支撐裝置10包括一底座14、一支撐板15及多個支撐頂針16，該底座14位于該減壓干燥室11的腔體下表面，該支撐板15位于該底座14上方，該多個支撐頂針16位于該支撐板15的上方以支撐該待干燥的液晶顯示器基板50。
由于液晶顯示器基板50由多個支撐頂針16支撐，該液晶顯示器基板50與多個支撐頂針16接觸點受力相對集中，因而減壓干燥制程結(jié)束后，在液晶顯示器基板50背面與支撐頂針16實際接觸的地方，其相對的光阻涂布點會出現(xiàn)異常的支撐痕跡(Pin Mura)，從而影響曝光后的圖形品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術液晶顯示器基板支撐裝置產(chǎn)生光阻涂布點支撐痕跡的問題，本發(fā)明提供一種可有效減輕光阻涂布點支撐痕跡現(xiàn)象的液晶顯示器基板支撐裝置。
本發(fā)明解決技術問題所采用的技術方案是提供一種液晶顯示器基板支撐裝置，包括一個支撐條板、多個支撐凸臺及多個豎排軟管，該多個支撐凸臺間隔固定在該支撐條板上，該多個豎排軟管一對一固定在該多個支撐凸臺上。
相較于現(xiàn)有技術，本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置采用多個豎排軟管取代現(xiàn)有技術的支撐頂針，由于豎排軟管與液晶顯示器基板接觸面積相對較大，而且豎排軟管又較支撐頂針硬度低，所以本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置可以有效減輕由于支撐而引起的液晶顯示器基板光阻涂布點支撐痕跡問題。

圖1是現(xiàn)有技術液晶顯示器基板支撐裝置的示意圖，其位于一減壓干燥室內(nèi)。
圖2是本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置的立體示意圖。
圖3是圖2中III部分的局部放大示意圖。
圖4是本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置工作時的立體示意圖。
圖5是圖4的后視圖。
具體實施方式
請一起參閱圖2與圖3，是本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置的立體示意圖及局部放大示意圖。該液晶顯示器基板支撐裝置20包括八個支撐條板28、一百六十個支撐凸臺24及一百六十個豎排軟管22，其中每一支撐條板28上以一定間隔固定二十個支撐凸臺24，并且每一支撐凸臺24上固定一豎排軟管22。
該支撐凸臺24與該支撐條板28是由鋁材加工制成，該豎排軟管22是由聚酰亞胺材料(Polyimide，PI)制成的軟管，其管壁較薄，當然，液晶顯示器基板支撐裝置20各部分的材料也可以根據(jù)情況而改變，如支撐凸臺24與該支撐條板28可采用銅等金屬材料或其他合適的非金屬材料，豎排軟管22可改用其他塑料材料。
該支撐凸臺24在該支撐條板28上的固定方式可采用粘接、焊接及螺栓連接等連接方式，該豎排軟管22可以套接或粘結(jié)在該支撐凸臺24上。
請一起參閱圖4與圖5，分別是本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置20工作時的立體及后視圖。本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置20工作時，先將其放入減壓干燥室31內(nèi)，使八個支撐條板28平行放置在減壓干燥室31內(nèi)，再把待干燥的液晶顯示器基板60平放于該豎排軟管22上面，最后，關閉減壓干燥室31封閉門(圖未示)，開動減壓抽氣泵32即可進行減壓干燥。
本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置20所包含的支撐凸臺24、支撐條板28及豎排軟管22的數(shù)量也可根據(jù)基板大小及實際情況進行調(diào)整另外，豎排軟管也不限于一對一固定在支撐凸臺上，也可幾個豎排軟管固定在一個支撐凸臺上。
該豎排軟管22管壁較薄，具有一定的柔性，因而可減少對待干燥的液晶顯示器基板60的接觸應力集中，又由于現(xiàn)有技術僅有4四十個左右的支撐頂針來支撐一個液晶顯示器基板，本發(fā)明液晶顯示器基板支撐裝置20采用較現(xiàn)有技術較多的豎排軟管22，因而可減輕分擔到每個豎排軟管22上的重量，從而有效減輕甚至消除由于支撐而在待干燥的液晶顯示器基板60光阻涂布點上產(chǎn)生支撐痕跡的現(xiàn)象。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示器基板支撐裝置，包括一個支撐條板，其特征在于該液晶顯示器基板支撐裝置還包括多個支撐凸臺及多個豎排軟管，該多個支撐凸臺間隔固定在該支撐條板上，該多個豎排軟管固定在該多個支撐凸臺上。
2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個豎排軟管一對一固定在該多個支撐凸臺上。
3.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該支撐條板及該多個支撐凸臺是由鋁材料制成，該多個豎排軟管是由聚酰亞胺材料制成。
4.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個支撐凸臺粘接在該支撐條板上。
5.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個支撐凸臺焊接在該支撐條板上。
6.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個支撐凸臺通過螺栓連接固定在該支撐條板上。
7.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個豎排軟管一對一粘接在該多個支撐凸臺上。
8.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示器基板支撐裝置，其特征在于該多個豎排軟管一對一套接在該多個支撐凸臺上。
全文摘要
一種液晶顯示器基板支撐裝置，包括一個支撐條板、多個支撐凸臺及多個豎排軟管，該多個支撐凸臺間隔固定在該支撐條板上，該多個豎排軟管一對一固定在該多個支撐凸臺上，該液晶顯示器基板支撐裝置可有效減輕加壓干燥制程中光阻涂布點的支撐痕跡。
文檔編號G02F1/1333GK1690786SQ20041002709
公開日2005年11月2日 申請日期2004年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月28日
發(fā)明者徐紹銘, 王敬龍, 許文誠, 詹育穎, 謝和利, 鄧振坤 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 群創(chuàng)光電股份有限公司