專利名稱：基板貼合方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種基板貼合方法，特別是一種適用于滴下方式(One Drop Filling，ODF)的液晶灌注制程的基板貼合方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示面板的結(jié)構(gòu)通常包括兩個玻璃基板、涂覆在該兩個玻璃基板間的膠框以及灌注在該膠框與兩個玻璃基板所組成空間中的液晶。
將液晶灌注入該膠框和兩個玻璃基板所組成的空間中的方法一般包括兩種。一種是注入法，即先將膠框涂覆在一玻璃基板上，并在該膠框上設(shè)置一個或多個液晶注入開口；然后將另一玻璃基板與前述玻璃基板貼合，并將膠框固化使兩個玻璃基板牢固結(jié)合；再在真空環(huán)境中使液晶注入開口接觸液晶，隨后取消真空使液晶在大氣壓作用下注入該液晶顯示面板的空間中。另一種液晶灌注法是滴下方式，即先將一完整膠框涂覆在一水平放置的玻璃基板上；以液晶分滴器(Dispenser)將液晶分布在該膠框與玻璃基板所組成的空間內(nèi)；在真空環(huán)境中將另一玻璃基板與前述玻璃基板貼合，并將膠框固化使兩個玻璃基板牢固結(jié)合。
滴下方式的液晶灌注制程需要采用可以提供真空條件的基板貼合裝置，該種基板貼合裝置的現(xiàn)有技術(shù)請參閱公告于2003年4月1日的中國臺灣專利第526367號。該現(xiàn)有技術(shù)的基板貼合裝置是在真空條件下，利用一靜電吸盤吸附待貼合的第一基板，然后朝設(shè)置在一工作臺上的第二基板方向移動該第一基板，使該第一基板與第二基板貼合。
但是，利用靜電吸盤吸附該第一基板進行貼合后，僅僅通過消除靜電吸盤上的電壓并不能使該第一基板與該靜電吸盤立即脫離，這是因為靜電吸盤上的靜電通常難以在短時間內(nèi)消失的原因。
請參閱圖1，是一種通過氣流動力輔助基板脫離的現(xiàn)有技術(shù)基板貼合裝置。該基板貼合裝置1包括一真空腔11、第一靜電吸盤12、一工作臺13、一供氣裝置14和一控制裝置15。該第一靜電吸盤12和工作臺13設(shè)置在該真空腔11內(nèi)，該第一靜電吸盤12包括一吸盤主體121，該吸盤主體121上開設(shè)多個導(dǎo)氣孔122，該供氣裝置14通過一氣體管路141與該多個導(dǎo)氣孔122貫通，該控制裝置15控制供氣裝置14與真空腔11交替工作。
該基板貼合裝置1用于貼合第一基板22與第二基板23，在貼合前，該第二基板23已經(jīng)涂覆有膠框231并將液晶232滴注完畢。
該基板貼合裝置1的基板貼合方法如下所述。首先，朝第二基板23方向移動第一靜電吸盤12，使吸附在第一靜電吸盤12上的第一基板22與第二基板23貼合；其次，參照圖2，控制裝置15控制真空腔11停止抽真空工作，開始控制供氣裝置14向吸盤主體121的導(dǎo)氣孔122供應(yīng)氮氣，通過氣流的動力輔助第一基板22脫離吸盤主體121。
但是，這種基板貼合方法存在如下缺點因為該基板貼合裝置1在供氣時，該真空腔11停止抽真空，使得貼合后的第一基板22與第二基板23所形成的空間內(nèi)的氣壓小于真空腔11內(nèi)的氣壓，又因此時該膠框231尚未固化，供氣裝置14所供應(yīng)的氮氣有可能因壓力差而沖入第一基板22與第二基板23所形成的空間內(nèi)，甚至使液晶232形成氣泡，導(dǎo)致液晶顯示面板不良和報廢。
發(fā)明內(nèi)容為克服現(xiàn)有技術(shù)的基板貼合方法容易導(dǎo)致液晶顯示面板不良和報廢的問題，本發(fā)明提供一種可提高液晶顯示面板良率的基板貼合方法。
本發(fā)明的基板貼合方法包括以下步驟提供一真空腔，該真空腔具有一工作臺和一第一靜電吸盤；將一第一基板吸附在該第一靜電吸盤上，將一第二基板設(shè)置在該工作臺上；貼合第一基板與第二基板；保持真空腔持續(xù)抽真空的同時，提供一氣體，沖擊該第一基板并使之與該第一靜電吸盤脫離。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于本發(fā)明的基板貼合方法可以在向第一基板供應(yīng)氣流動力的同時，持續(xù)對真空腔進行抽氣，避免氣體沖入第一基板與第二基板所形成的空間內(nèi)，從而提高液晶顯示面板的良率。
圖1是一種現(xiàn)有技術(shù)基板貼合裝置的剖面示意圖。
圖2是采用圖1所示基板貼合裝置的基板貼合方法的示意圖。
圖3是本發(fā)明基板貼合方法所采用的基板貼合裝置的剖面示意圖。
圖4是采用圖3所示基板貼合裝置的基板貼合方法的示意圖。
具體實施方式
如圖3所示，是本發(fā)明基板貼合方法所采用的基板貼合裝置的剖面示意圖。該基板貼合裝置3包括一真空腔31、一第一靜電吸盤32、一工作臺33、一供氣裝置34、一第一控制裝置36和一第二控制裝置37。
該真空腔31是一可提供真空條件的腔體，其自身具有抽氣裝置，通過第二控制裝置37控制抽氣裝置的持續(xù)工作，保持該真空腔31內(nèi)為真空狀態(tài)。
該第一靜電吸盤32具有一開設(shè)多個導(dǎo)氣孔322的吸盤主體321，該吸盤主體321通過靜電感應(yīng)現(xiàn)象吸附待貼合的第一基板42。該第一靜電吸盤32具有上下移動的功能，以帶動第一基板42在真空腔31內(nèi)上下移動。
該工作臺33用以放置第二基板43，其在進行第一基板42與第二基板43的貼合時，是與該吸盤主體321相對設(shè)置在該真空腔31內(nèi)。但是，該工作臺33可左右移動以出入該真空腔31，該第二基板43上的涂覆膠框431和滴注液晶432即是在該真空腔31外進行。本實施方式中，該工作臺33是一靜電吸盤，其工作原理同吸盤主體321相同，也是通過靜電感應(yīng)現(xiàn)象吸附第二基板43。
該供氣裝置34是通過一氣體管路341與該吸盤主體321的導(dǎo)氣孔322貫通，該供氣裝置34的工作是通過第一控制裝置36控制，所供應(yīng)的氣體為氮氣。該控制裝置36可控制該供氣裝置34的供氣與否。
一起參照圖4，本發(fā)明的基板貼合方法如下所述。
首先，提供一基板貼合裝置3。
其次，將第一基板42吸附在該第一靜電吸盤32上，將第二基板43設(shè)置在該工作臺33上。
再次，貼合第一基板42與第二基板43，其中，該第一基板42與第二基板43的貼合是通過第一靜電吸盤32朝工作臺33方向移動實現(xiàn)。
最后，保持真空腔31持續(xù)抽真空的同時，提供一氣體，沖擊該第一基板42并使之與該第一靜電吸盤32脫離。其中，該氣體為氮氣，其是通過供氣裝置34供應(yīng)，該供氣裝置34通過氣體管路341與該吸盤主體321的導(dǎo)氣孔322貫通。該供氣裝置34的工作是通過第一控制裝置36控制，該真空腔31的工作是通過第二控制裝置37控制。
當然，本發(fā)明的基板貼合方法還包括在該第二基板43上涂覆膠框431和滴注液晶432的步驟。
因為本發(fā)明基板貼合方法所采用的基板貼合裝置3采用兩個控制裝置36、37分別控制供氣裝置34和真空腔31的工作，其可以實現(xiàn)在向第一基板42供應(yīng)氣流動力的同時持續(xù)對真空腔31的抽氣，保持貼合后第一基板42與第二基板43所形成的空間內(nèi)的氣壓與真空腔31內(nèi)氣壓平衡，避免氣體沖入貼合后的第一基板42與第二基板43所形成的空間內(nèi)，從而提高液晶顯示面板的良率。
權(quán)利要求
1.一種基板貼合方法，包括以下步驟提供一真空腔，該真空腔具有一工作臺和一第一靜電吸盤；將一第一基板吸附在該第一靜電吸盤上，將一第二基板設(shè)置在該工作臺上；貼合該第一基板與第二基板；保持真空腔持續(xù)抽真空的同時，提供一氣體，沖擊該第一基板并使之與該第一靜電吸盤脫離。
2.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于該工作臺是一靜電吸盤。
3.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于該氣體為氮氣。
4.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于該第一基板與第二基板的貼合是通過第一靜電吸盤朝工作臺方向移動實現(xiàn)。
5.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于該第一靜電吸盤具有一開設(shè)多個導(dǎo)氣孔的吸盤主體，該第一基板吸附在該第一靜電吸盤主體上。
6.如權(quán)利要求5所述的基板貼合方法，其特征在于該氣體是通過一供氣裝置供應(yīng)，該供氣裝置通過一氣體管路和該吸盤主體的導(dǎo)氣孔貫通。
7.如權(quán)利要求6所述的基板貼合方法，其特征在于該供氣裝置的工作是通過一第一控制裝置控制。
8.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于該真空腔的工作是通過一第二控制裝置控制。
9.如權(quán)利要求1所述的基板貼合方法，其特征在于在將一第二基板設(shè)置在該工作臺上的步驟之前，還包括在該第二基板上涂覆膠框和滴注液晶的步驟。
全文摘要
本發(fā)明公開一種基板貼合方法，其包括以下步驟提供一真空腔，該真空腔具有一工作臺和一第一靜電吸盤；將一第一基板吸附在該第一靜電吸盤上，將一第二基板設(shè)置在該工作臺上；貼合第一基板與第二基板；保持真空腔持續(xù)抽真空的同時，提供一氣體，沖擊該第一基板并使之與該第一靜電吸盤脫離。
文檔編號G02F1/1333GK1690787SQ200410027099
公開日2005年11月2日 申請日期2004年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月28日
發(fā)明者江經(jīng)緯, 張彥中 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 群創(chuàng)光電股份有限公司