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微機電角隅鏡面陣列元件的外腔式可調變激光系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:2774769閱讀:232來源:國知局
專利名稱:微機電角隅鏡面陣列元件的外腔式可調變激光系統(tǒng)的制作方法
技術領域
本發(fā)明有關一種可調變激光系統(tǒng),尤指一種應用角隅鏡面陣列的可調變激光系統(tǒng)。
背景技術
微機電系統(tǒng)(micro-electromechanical system,MEMS)自1980年末期起即廣受重視;其是為整合性的微元件或系統(tǒng)總稱,更進一步地說,其包含了利用IC相容批次加工技術制造的電子和機械零件;而制成的元件或系統(tǒng)的尺寸小至微米,最大亦不超過毫米。
由于微機電系統(tǒng)具有體積小、功能性強大以及成本低廉的特性,近年來,不論是半導體、電子、機械、通訊、生物或是化學等產業(yè)都對其投以大量的研究經費;而相關產品,例如加速度計、光通訊開關以及生物傳感器等產品亦相繼問世。
自從第一部紅寶石激光在1960年問世之后,氣體激光或是半導體激光便相繼出現并快速的發(fā)展。其中,可調波長激光在光纖通訊、光數據處理以及多波長干涉等科技領域中皆有廣泛的應用,其中光柵式外腔可調變激光(Grating-feedback External Cavity Tunnable Laser)又其所具有的優(yōu)點波長可調范圍大、信號頻寬窄、易驅動、制作成本低、操作簡易,而在近幾年中吸引了各界的注意。
為適應通信技術的蓬勃發(fā)展以及相關產業(yè)的激烈競爭,光纖通訊勢必將由現有的長距電信網絡以及有線電視干線網絡,逐漸轉變?yōu)槎叹嚯x的區(qū)域信息網絡以及用戶回路端上。因為光通訊主動元件與模擬技術在光通訊產業(yè)上具有決定性的影響,因此各大廠商無不朝著提升光通訊主動元件的功效而努力。由于可調變激光為光通訊主動元件中的必要組件,因此如何改進可調變激光是目前的研究主要方向。
傳統(tǒng)的外腔式可調變半導體激光系統(tǒng)可簡單分為力特羅型(Littrow type)、削角入射型(Grazing incident type)以及法布里-派洛型(Fabry-Perot type),其中力特羅型激光系統(tǒng)的光柵結構繞射效率高,但所使用的光柵條紋數較少,因此解析度一般較削角入射型激光系統(tǒng)為小。而削角入射型激光系統(tǒng)因其入射光對于內部的光柵而言,是為一斜向入射,因此解析度(受入射光對于該光柵的入射角所影響)較力特羅型激光系統(tǒng)為高;另外,削角入射型激光系統(tǒng)常具有一全反射鏡、一透鏡以及I型或是V型擋板的設計,藉此設計,削角入射型激光系統(tǒng)便可利用微調角度的方式來控制輸出光的波長,唯獨此種微調控制(藉助控制I型與V型擋板遮蔽部分的全反射鏡)卻使得激光系統(tǒng)的結構變得復雜。另外,法布里-派洛型激光系統(tǒng)所利用的調變設計是有別于前述利用光柵分光來達到輸出光波長的選定,其是在激光二極管的一側面上先鍍一反抗層,再將一反射鏡置入此激光系統(tǒng),使得該反射鏡與此激光系統(tǒng)不具有反抗層的側面形成一新共振腔,藉由微調該反射鏡而改變共振腔長度,進以達到調變輸出波長的目的。此設計雖可克服輸出光波長僅為單一的問題,但其制作成本與結構復雜度卻都是三者之最。
由于削角入射型外腔式可調變激光系統(tǒng)的解析度高于力特羅型,而控制又較法布里-派洛型為簡便,因此,削角入射型外腔式可調變激光系統(tǒng)已成為當前發(fā)展的主要方向。然而,在傳統(tǒng)的削角入射型外腔式可調變激光系統(tǒng)中,為了達到可調變波長的功效,激光系統(tǒng)的架構中將需要有可遮光功效的光學元件,如前述的I型板或是V型板,此將使得整個激光系統(tǒng)的組織變得復雜而不適用于當前一切講究輕、巧的趨勢;因此,如何在不影響具有調變波長功效的原則下將系統(tǒng)架構得更加精簡儼然已成為提升削角入射型外腔式可調變激光系統(tǒng)應用范圍的重點。然而,目前為了使入射光可與原路徑平行而反射,目前所使用的反射鏡多為一個由一垂直鏡面與一水平鏡面所共組的組合,然而,目前在市面上所可購得的反射鏡面組合雖強調其垂直鏡面與水平鏡面的夾角精度都在90°+0.08°,而此誤差范圍(+0.08°)在一切講究精與巧的微機電領域無疑是影響儀器效率的一大限制因子,因此,如何提升鏡面組合的垂直度亦是半導體激光系統(tǒng)的一大研究主題。
由上可知,如何架構一個外腔式可調變激光系統(tǒng)以便同時達成提高解析度、簡化系統(tǒng)元件、降低光路對準的難度、簡化調變波長的控制以及降低成本等的目的儼然已成為當前最重要的研究課題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是提供一種可提高解析度、簡化系統(tǒng)元件、降低光路對準難度和簡化調變波長的外腔式可調變激光系統(tǒng)。
為實現上述目的,本發(fā)明提供一種鏡面結構,其含有一第一鏡面、一墊片,以及一第二鏡面。其中該墊片具有一第一接合面與一第二接合面,其中該第一接合面是與該第一鏡面相接;第二接合面是與該第二鏡面相接,而該第二鏡面是與該第一鏡面相垂直配置。
根據上述構想,其中該第一鏡面是為一第一晶格面。
根據上述構想,其中該第一晶格面是為硅晶片的晶格面。
根據上述構想,其中該第二鏡面是為一第二晶格面。
根據上述構想,其中該第二晶格面是為硅晶片的晶格面。
根據上述構想,其中該墊片的的厚度是由該第一鏡面的延伸線與該第二鏡面的延伸線間的夾角所決定。
本發(fā)明還提供一種角隅鏡面結構,其包含一第一鏡面、一旋轉梁、一墊片以及一第二鏡面。其中該旋轉梁位于該第一鏡面的一側;該墊片用以連接該第一鏡面與該第二鏡面,且該第二鏡面是與該第一鏡面以相垂直的方式進行配置。
根據上述構想,其中該旋轉梁是用以供作為該第一鏡面的一轉動軸。
根據上述構想,其中該墊片的厚度是藉該第一鏡面與該第二鏡面的夾角而定。
根據上述構想,其中該第一鏡面是為一第一晶格面。
根據上述構想,其中該第二鏡面是為一第二晶格面。
根據上述構想,其中該第一鏡面還與一上電極形成一組合。
根據上述構想,其中該角隅鏡面結構還包含一下電極,是用以與該上電極搭配而控制該第一鏡面的位置。
根據上述構想,其中該上電極與該旋轉梁相接觸。
本發(fā)明還提供一種角隅鏡面陣列,其包含一第一鏡面陣列、一第一電極陣列、一墊片組以及一第二鏡面陣列。其中該第一電極陣列是與該第一鏡面陣列相連;該墊片組中的每一墊片都具有一第一接合面與一第二接合面,分別用以與該第一鏡面陣列與該第二鏡面陣列相連接,且該第二鏡面陣列是與該第一鏡面陣列以相垂直的方式進行配置。
根據上述構想,其中該第二鏡面陣列為一垂直方向鏡面陣列。
根據上述構想,其中該第一鏡面陣列為一水平方向鏡面陣列。
根據上述構想,其中該第一鏡面陣列還包含一第二電極陣列。
根據上述構想,其中該第一鏡面陣列是包含數個第一鏡面。
根據上述構想,其中該數個第一鏡面的每一個各具有一旋轉梁。
根據上述構想,其中當該第一電極陣列與該第二電極陣列間存有一作用力時,各個該第一鏡面可相應該作用力而以該旋轉梁為軸而轉動。
根據上述構想,其中該第二鏡面陣列包含數個第二鏡面。
根據上述構想,其中該第一鏡面與該第二鏡面皆為晶格面。
根據上述構想,其中該晶格面為硅晶格面。
根據上述構想,其中該墊片組是具有數個墊片。
根據上述構想,其中該數個第一鏡面與該數個該第二鏡面是藉助該數個墊片而相接。
根據上述構想,其中該數個墊片的厚度是由該第一鏡面陣列與該第二鏡面陣列的夾角所決定。
本發(fā)明的還提供一種可調變激光系統(tǒng),其包含光源、光柵、角隅鏡面陣列、以及接收器;其中該光源發(fā)射出一光束;該光柵是設于該光源前方,以便反射該光束而生成一第一反射光束;該角隅鏡面陣列則是設于該光柵前方以承接該第一反射光束并產生一第二反射光束;而該接收器是用以接收一第三反射光束。其中,該光柵亦將該第二反射光束反射成該第三反射光束。
根據上述構想,其中該角隅鏡面陣列上具有數個角隅鏡面。
根據上述構想,其中該數個角隅鏡面的每一個包含一第一鏡面、一第二鏡面、一墊片與一旋轉梁。
根據上述構想,其中該墊片是用以分別承接該第一鏡面與該第二鏡面,以便該第一鏡面與該第二鏡面相垂直配置。
根據上述構想,其中該第一鏡面可相應一作用力而以該旋轉梁為軸作旋轉,進而連帶改變該第二反射光束的路徑與波長范圍。
根據上述構想,該可調變激光系統(tǒng)還包含一發(fā)散裝置。
根據上述構想,其中該發(fā)散裝置是為一凹透鏡。
根據上述構想,其中該發(fā)散裝置是設于該光柵與該角隅鏡面陣列之間。
根據上述構想,其中該發(fā)散裝置是用以將該第一反射光束發(fā)散成數個發(fā)散光束。
根據上述構想,其中該光源為一激光。
根據上述構想,其中該激光為一二極管激光。
根據上述構想,其中該光柵是將該光束反射成具有不同光波長的該第一反射光束。
根據上述構想,其中該接收器是為一第二透鏡。
根據上述構想,其中該第二透鏡是為一漸變折射率透鏡。
根據上述構想,其中該第二透鏡是將該第三反射光折射成一折射光束。
根據上述構想,其中該激光系統(tǒng)還包含一光纖,是用以傳遞該折射光束。
為進一步說明本發(fā)明的上述目的、結構特點和效果,以下將結合附圖對本發(fā)明進行詳細的描述。


圖1(A)~(C)為已有技術中可達成光反饋的光學元件示意圖;圖2(A)~(B)為本發(fā)明較佳實施例的角隅鏡面組合示意圖;圖3(A)~(B)為本發(fā)明較佳實施例的角隅鏡面致動示意圖;圖4為本發(fā)明較佳實施例的角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)示意圖;圖5為本發(fā)明較佳實施例的另一角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明的角隅鏡面陣列元件的外腔式可調變激光系統(tǒng)的結構,將可由以下的實施例說明而得到充分了解,并使得熟習本技術的人士可以據以完成,然而本發(fā)明的實施型態(tài)并不限制于下列實施例中。
就自由空間(free space)的微光學元件而言,若要達到光路沿與原路徑平行但反向的方式來反饋(feedback),通??山柚铝腥N元件以達成,即微鏡面(micro mirror)、微角隅鏡面(micro corner mirror)或是微角隅立方(micro corner cube),其分別如圖1(A)~(C)所示。其中,就圖1(A)所示的微鏡面而言,當入射光的方向與微鏡面的法線方向重疊時,光線在反射后方可沿著與原路徑平行但是反向的方式來反饋,但在實際應用時,多需要搭配一致動器以便調整微鏡面,進而使其的法線方向可與入射光重合而達到光學校準的目的。而就圖1(C)所示的角隅立方鏡面(corner cube mirror)而言,理論上,當光入射角隅立方鏡面的任一反射面時,其反射光必定以平行原入射方向但反向的方式射出,若激光光的光點大小與角隅立方鏡面的開口尺寸相近時,即可視為反射光沿原入射路徑反向射出,并同時實現了光反饋的功能;其在制作工序中多利用MEMS的體型微細加工(bulkmicromachining)的方式分開制作角隅立方鏡面的三個反射鏡面,再以卡榫的方式將三面結合,惟以卡榫方式進行結合并無法完全確定該反射鏡面間的垂直度。而就圖1(B)所示的角隅鏡面而言,其與角隅立方鏡面相同,在理論上,當光入射角隅鏡面的任一反射面時,其反射光必定以以平行原入射方向但反向的方式射出,若光點大小與角隅鏡面的開口尺寸相近時,即可把反射光是沿著入射路徑反向射出;若經控制而破壞兩反射面的垂直度則可破壞光的反射路徑,進以達到選取特定反射光的功效。為減少設計的復雜度并達輕易控制反射光波長的選取,本發(fā)明利用微機電制作方式將微角隅鏡面陣列架設于削角入射型外腔式可調變激光系統(tǒng)中。在本發(fā)明所架設的激光系統(tǒng)中,除了利用具有的光開關以選擇性地決定光反饋來達成調整輸出波長的功效之外,還提出一個通過墊片與旋轉梁的設計來提升角隅鏡面的垂直度。
鑒于一般市面所購得的角隅鏡面的垂直度標準為90°+0.08°,該誤差(+0.08°)的出現是起因于制作儀器的耗損、設計偏差或組裝過程疏忽等等,另外,此誤差在一般光學元件的制作上并不具有顯著影響,但在微機電領域中卻具有決定性的影響。
請參考圖2(A)~(B),是為本發(fā)明的較佳實施例的一角隅鏡面組合示意圖,其是通過一墊片的設計來提升鏡面組合的垂直度;另外,該角隅鏡面1具有水平鏡面11、墊片12、垂直鏡面13、旋轉梁14以及接合膠15,其中該水平鏡面11與垂直鏡面13皆為硅晶格面,接合膠15則使用BCB(BenzoCycloButene)_4022,而墊片12則分別具有第一接合面121與第二接合面122。當垂直鏡面13與水平鏡面11接合時,利用垂直鏡面13擠壓墊片12而造成水平鏡面11以旋轉梁14為軸而旋轉,進而修正了水平鏡面11與垂直鏡面13間的垂直度,換句話說,本發(fā)明在組裝角隅鏡面1時即已完成了垂直度的修正。更進一步地說,由于組裝儀器隨著使用時間的增加會有一定的耗損,而且儀器本身在制作過程的品質管制不一,故所組裝出的角隅鏡面垂直度便存有一定程度的誤差。再者,角隅鏡面所使用的反射鏡面(不論是垂直鏡面或是水平鏡面)在制作過程中,可能因為拋光研磨而產生一些微角度的偏差,此不但造成鏡面本身的厚度不均一,更進而影響到組裝后的角隅鏡面的垂直度。因此,為了減少組裝出的角隅鏡面所出現的垂直度誤差,本發(fā)明通過提出以一墊片12以補償組裝儀器本身的垂直度偏差或是鏡面本身在進行拋光研磨時所產生的鏡面垂直度誤差。其修正概念如下,步驟1當水平鏡面11的延伸線11’(其實就是水平線)與垂直鏡面13的延伸線13’的夾角大于90°時,則測量垂直鏡面13與垂直線17的垂直誤差角θ;反之,當水平鏡面11的延伸線11’與垂直鏡面13的延伸線13’的夾角小于90°時,則先倒置垂直鏡面13,那么此時新產生的垂直鏡面13的延伸線13’與水平鏡面11的延伸線11’的夾角便會大于90°,那么便亦可測量到一垂直誤差角θ。接著進行步驟2測量墊片12與旋轉梁14的距離a。最后再進行步驟3決定墊片12的厚度h,其中h’=a x sinθh=h’-hasin正弦函數h’水平鏡面11將被下壓的高度ha用以接合垂直鏡面13與墊片12的接合膠15的厚度而當θ值接近于0時,一般把sinθ視為θ綜上所述,此實施例是藉由控制墊片12的厚度h來修正角隅鏡面的垂直度不完全的問題,當然,在實施時也可藉由調整接合膠15的厚度ha來改變墊片12的厚度h,進而達到最佳調控,因此,通過此修正方式便能在沿用既有儀器以便節(jié)省資源與成本的原則下,來提高角隅鏡面的垂直度,進而制作出一個垂直度可達90°+0.015°的角隅鏡面(此在精確度上提升了至少5倍)。
請參閱圖3(A)~(B),是為本發(fā)明較佳實施例的角隅鏡面致動示意圖,其中該角隅鏡面1具有水平鏡面11、墊片12、垂直鏡面13、上電極111、下電極16、旋轉梁14以及接合膠15。其中,圖3(A)是為未通電前的角隅鏡面示意圖,圖3(B)則為通電后的角隅鏡面示意圖。通過控制下電極16的電壓量將可決定控制下電極16與上電極111間的靜電力,進而控制水平鏡面11是否以旋轉梁14為軸而轉動并進而實現光開關的作用。然而,電壓量的控制需適中,電壓太小水平鏡面11會發(fā)生振蕩,電壓過大則水平鏡面11可能與下電極16過于緊貼而有遲滯或是短路之虞。再者,通過控制靜電力的應用,在實際應用角隅鏡面做為其他儀器的組裝元件時,毋須針對管制光路徑的開與閉而特別設置專用的設備,此即可滿足當前講究結構精與簡的潮流。
請參閱圖4,是為本發(fā)明較佳實施例的角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)示意圖,其中該角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)包含激光二極管2、光柵3、接收器4、光纖5以及角隅鏡面陣列6。其中由激光二極管2所發(fā)射出的光束7先經光柵3反射成一第一反射光71,該第一反射光71再經角隅鏡面陣列6的調變而反射出特定波長的第二反射光72,第二反射光72再經光柵3反射而生成第三反射光73,該接收器4則用以接收該第三反射光73并將所接受到的光通過光纖5而傳送出去。其中,該第一反射光71多為利用光束7經光柵3在-1st(負1階)繞射后將不同波長于空間中展開后所產生的光。該角隅鏡面陣列6是由數個圖2所示的角隅鏡面1所組成,且,通過控制流經的電壓量將可決定各個角隅鏡面的開、閉,進而可依不同需要而挑選特定波長進行反饋,亦即達到了調變該第二反射光72波長的功效;另一方面,通過光開關的調控,反射光輸出的頻道數亦可隨意控制;亦即通過各個角隅鏡面的開、關,使用者可依需要而讓特定的光線反饋、輸出,因此可同時以多個頻道進行輸出(多模態(tài))或是以單個頻道進行輸出(單模態(tài))。舉例來說,可依需要而僅輸出波長為1550nm的光線,或是僅輸出波長為1550.8nm的光線,或是僅輸出波長為1551.6nm的光線,此即為以單模態(tài)進行輸出;反之,若同時輸出波長為1550nm、1550.8nm以及1551.6nm的光線則為多模態(tài)。
請參閱圖5,是為本發(fā)明較佳實施例的另一角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)示意圖,其中該角隅鏡面陣列激光系統(tǒng)是具有激光二極管2、光柵3、接收器4、光纖5、角隅鏡面陣列6以及凹透鏡8。其中該凹透鏡8是用以將第一反射光71依波長差異而發(fā)散,進而使得角隅鏡面陣列6所接收到的光束間的波長差異被劃分更精細,換言之,通過增加一凹透鏡8的設計,再搭配角隅鏡面陣列6的光開關調控,此實施例是成就了一個更精細的波長調變,例如當光束抵達關閉的角隅鏡面時,其會以與原路徑平行但反向的方式反射,而當光束抵達被開啟的角隅鏡面時,其則不會沿與原路徑平行的方向而反射,此將可進行更精細的光反饋調控。
綜上所述,本發(fā)明除了提供了一個利用墊片設計來提升角隅鏡面垂直度的結構之外,還提供了一個利用致動概念與鏡面陣列以使得激光系統(tǒng)可依不同需要而選擇特定波長進行反饋。更甚者,本發(fā)明是是通過利用一個在組裝過程中即已達成垂直度修正、本身亦可實現光開關功效的角隅鏡面而架構出一個可調變的激光系統(tǒng),其除了可提升光的利用效率、降低激光系統(tǒng)的結構復雜度之外,還可依據特定需求而在單模態(tài)輸出(指的是激光在輸出信號時,僅利用一個非常狹窄的波段做輸出,除此波段外并不利用其他波段進行輸出)或是多模態(tài)輸出下進行精細的光學波長調變,進而提高了的所架構出的光學儀器的應用范圍。
雖然本發(fā)明已參照當前的具體實施例來描述,但是本技術領域中的普通技術人員應當認識到,以上的實施例僅是用來說明本發(fā)明,在沒有脫離本發(fā)明精神的情況下還可作出各種等效的變化和修改,因此,只要在本發(fā)明的實質精神范圍內對上述實施例的變化、變型都將落在本發(fā)明權利要求書的范圍內。
權利要求
1.一種鏡面結構,含有一第一鏡面;一墊片,具有一第一接合面與一第二接合面,其中該第一接合面是與該第一鏡面相接;以及一第二鏡面,其與該第二接合面相接而與該第一鏡面相垂直配置。
2.如權利要求1所述的結構,其特征在于該第一鏡面是為一第一晶格面,而該第一晶格面是為硅晶片的晶格面;及/或該第二鏡面是為一第二晶格面,而該第二晶格面是為硅晶片的晶格面。
3.如權利要求1所述的結構,其特征在于該墊片的厚度是由該第一鏡面的延伸線與該第二鏡面的延伸線間的夾角所決定。
4.一種角隅鏡面結構;包含一第一鏡面;一旋轉梁,位于該第一鏡面的一側;一墊片,是與該第一鏡面相連;一第二鏡面,是與該墊片相接而以與該第一鏡面相垂直的方式進行配置。
5.如權利要求4所述的結構,其特征在于該旋轉梁是用以供作為該第一鏡面的一轉動軸;及/或該墊片的厚度是藉該第一鏡面與該第二鏡面的夾角而定。
6.如權利要求4所述的結構,其特征在于該第一鏡面還與一上電極形成一組合;該角隅鏡面結構還可包含一下電極,是用以與該上電極搭配而控制該第一鏡面的位置;及/或該上電極與該旋轉梁相接觸。
7.一種角隅鏡面陣列,包含一第一鏡面陣列;一第一電極陣列,是與該第一鏡面陣列相連;一墊片組,其中每一墊片具有一第一接合面與一第二接合面,該墊片組的該第一接合面是分別與該第一鏡面陣列相接;以及一第二鏡面陣列,是分別接于該墊片組的該第二接合面而與該第一鏡面陣列相垂直配置。
8.如權利要求7所述的角隅鏡面陣列,其特征在于該第二鏡面陣列為一垂直方向鏡面陣列。
9.如權利要求7所述的角隅鏡面陣列,其特征在于該第一鏡面陣列為一水平方向鏡面陣列;該第一鏡面陣列還包含一第二電極陣列;該第一鏡面陣列包含數個第一鏡面;每一該數個第一鏡面各具有一旋轉梁;當該第一電極陣列與該第二電極陣列間存有一作用力時,各個該第一鏡面可相應該作用力而以該旋轉梁為軸而轉動;該第二鏡面陣列包含數個第二鏡面;該第一鏡面與該第二鏡面皆為硅晶格面;該墊片組具有數個墊片;該數個第一鏡面與該數個該第二鏡面是藉助該數個墊片而相接;及/或該數個墊片的厚度是由該第一鏡面陣列與該第二鏡面陣列的夾角所決定。
10.一種可調變激光系統(tǒng),包含一光源,其發(fā)射出一光束;一光柵,設于該光源前方,以便反射該光束而生成一第一反射光束;一角隅鏡面陣列,設于該光柵前方以承接該第一反射光束并產生一第二反射光束;以及一接收器,是用以接收一第三反射光束,其中,該光柵是將該第二反射光束反射成該第三反射光束。
11.如權利要求10所述的激光系統(tǒng),其特征在于該角隅鏡面陣列上具有數個角隅鏡面;該數個角隅鏡面的每一個包含一第一鏡面、一第二鏡面、一墊片與一旋轉梁;該墊片是用以分別承接該第一鏡面與該第二鏡面,以便該第一鏡面與該第二鏡面相垂直配置;及/或該第一鏡面可相應一作用力而以該旋轉梁為軸作旋轉,進而改變該第二反射光束的路徑與波長范圍。
12.如權利要求10所述的激光系統(tǒng),其特征在于還包含一發(fā)散裝置;該發(fā)散裝置是為一凹透鏡,且設于該光柵與該角隅鏡面陣列之間,及/或該發(fā)散裝置是用以將該第一反射光束發(fā)散成數個發(fā)散光束。
13.如權利要求10所述的激光系統(tǒng),其特征在于該光源為一激光;該激光為一二極管激光;及/或該光柵是將該光束反射成具有不同光波長的該第一反射光束。
14.如權利要求10所述的激光系統(tǒng),其特征在于該接收器是為一第二透鏡;該第二透鏡是為一漸變折射率透鏡;該第二透鏡是將該第三反射光折射成一折射光束;及/或該激光系統(tǒng)還包含一光纖,是用以傳遞該折射光束。
全文摘要
一種可調變激光系統(tǒng),包含光源、光柵、角隅鏡面陣列以及接收器。其中該光源是用以發(fā)射出一光束;該光柵則設于該光源前方以便反射該光束而生成一第一反射光束。該角隅鏡面陣列則設于該光柵前方以便承接該第一反射光束并反射出一第二反射光束,而該接收器則是用來接收一第三反射光束,其中該第三反射光束是為該第二反射光束經該光柵反射而成。另外,通過結合角隅鏡面陣列的光反饋功能以及光開關的設計,此激光系統(tǒng)不但擁有波長調變的功能,還具有選擇輸出頻道數的功能。
文檔編號G02B26/00GK1664647SQ200410028650
公開日2005年9月7日 申請日期2004年3月4日 優(yōu)先權日2004年3月4日
發(fā)明者黃榮山, 張朝森, 朱大舜, 陳松楠 申請人:華新麗華股份有限公司
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