專利名稱：成形體的制造方法、制造裝置以及光學(xué)拾取單元用物鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及，將光學(xué)玻璃等玻璃原料加熱軟化，利用成形模高精度地進行壓力成形的、制造出成為諸如玻璃透鏡等光學(xué)元件的成形體的方法。
背景技術(shù)：
近年來，在照像機、攝像機等光學(xué)設(shè)備中使用的光學(xué)玻璃透鏡等光學(xué)元件的制造方面，出現(xiàn)了很多對加熱軟化的光學(xué)玻璃原料以金屬或陶瓷等制成的模具進行壓力成形，不經(jīng)過研磨等加工而制造玻璃光學(xué)元件的方法，并已實際使用。
但是，采用上述技術(shù)時，在壓力加工之后的冷卻工序中，經(jīng)壓力成形得到的透鏡會發(fā)生收縮，因而無法得到將模具成形面的形狀原原本本轉(zhuǎn)印過來的透鏡。為此，有人提出，制備一種加工成可將成形面與透鏡之間的形狀誤差消除的形狀的模具，使用該模具進行壓力加工的方法。
例如，專利文獻1(特開平6-72726號公報)以及專利文獻2(特開平8-337426號公報)公開了一種，在壓力成形之后因冷卻收縮而導(dǎo)致透鏡產(chǎn)生一定的畸變的場合，使用預(yù)先加工成可將該畸變消除的形狀的模具對玻璃原料進行壓力加工的方法。
但是，如上所述使用加工成可將透鏡的形狀誤差消除的形狀的模具的方法，存在著如下問題。
就對模具形狀進行修正加工的方法而言，即使壓力加工條件穩(wěn)定，有時也會發(fā)生這種情況，即，成形面經(jīng)過重復(fù)進行多次壓力加工將隨時間發(fā)生變化，導(dǎo)致模具形狀一點一點地改變。為此，每當透鏡的形狀出現(xiàn)誤差、超出允許范圍時，必須一次次地進入模具加工工序，在模具加工工序期間，要暫時停止壓力加工。因此，存在著從接受定單到制品完成為止的加工準備時間較長、生產(chǎn)率低、成本高等問題。
此外，在過去，即使透鏡的形狀多少出現(xiàn)一些誤差，只要對透鏡光學(xué)特性的要求不是很嚴格，也不去注意重復(fù)進行多次壓力加工引起的成形面隨時間改變的問題，實質(zhì)上是無視其存在地進行生產(chǎn)活動的。而且，對模具形狀進行修正加工的方法，也不能夠解決這一問題。
然而，近年來，作為光學(xué)拾取單元用透鏡和攝像系統(tǒng)透鏡，對透鏡光學(xué)特性的要求變得非常嚴格。
例如，就光學(xué)拾取單元用的高NA物鏡而言，隨著記錄密度的提高，聚光于光盤上的光點的直徑非常小。如何減小安裝透鏡和對透鏡進行驅(qū)動時的偏斜或位置誤差所引起的像差，隨之成為需要解決的重要技術(shù)課題，要求提高安裝前透鏡自身的性能(減小波像差)。
要想提高透鏡自身的性能，就要將波像差設(shè)計得很小，并且要減小相對于透鏡設(shè)計值的透鏡的制造誤差。但是，隨著透鏡的高NA化及使用波長的短波化，相對于制造誤差其像差的允許量，與NA的2～3次方成反比，而且與波長成反比，因而變得更小(更加嚴格)。因此，實際上，要穩(wěn)定地制造高性能的透鏡是非常困難的。
作為光學(xué)拾取單元用的聚光光學(xué)系統(tǒng)，由多組多片構(gòu)成也能夠達到所希望的性能，這樣構(gòu)成雖然可使各個透鏡的制造容許誤差變得寬松，但另一方面，透鏡片數(shù)的增加，將使得在小型化和透鏡之間位置的調(diào)整方面面臨新的問題。為此，要求光學(xué)拾取單元用的聚光光學(xué)系統(tǒng)，能夠以一片透鏡(單透鏡)達到高NA。但是，單透鏡的制造容許誤差，與多組多片透鏡相比將變得更小。例如NA0.85單透鏡的容許誤差，與2組2片透鏡相比，要嚴格3～10倍以上。
此外，要設(shè)計出所用透鏡材料的折射率具有上限的中、高性能的高NA透鏡，不得不至少加大一個透鏡面的最大面傾角(透鏡上任意點上的法線與光軸的夾角之中的最大者)。此外，為了實現(xiàn)小型化，有必要減小透鏡的有效直徑以及透鏡的外徑。這些因素也是導(dǎo)致制造容許誤差變得嚴格的原因。
透鏡的波像差，主要包括球面像差、彗形像差、像散。在透鏡的設(shè)計上，要極力做到使光軸上的波像差以及球面像差為零的最佳設(shè)計(彗形像差和像散起因于透鏡面的偏斜或偏心、對稱性等制造誤差，設(shè)計時當然為零)。
要想通過壓力成形在制造上得到波像差為0.04λrms以下的透鏡，首先，最先需要使球面像差特別是其中的3次球面像差盡可能小，達到±0.02λrms以下，尤以±0.01λrms以內(nèi)為佳。
球面像差起因于，透鏡面的曲率半徑誤差(非球面形狀時為近軸曲率半徑)、透鏡表面形狀誤差、透鏡片厚誤差、透鏡材料的折射率誤差等制造誤差。以現(xiàn)有的模具加工技術(shù)和壓力加工技術(shù)，要想對作為這類引起透鏡產(chǎn)生球面像差的原因的、表面形狀精度和片厚精度精密地進行控制、以及、穩(wěn)定地維持該精度，是非常困難的。特別是在，連續(xù)壓力加工中影響模具轉(zhuǎn)印精度的模具的表面狀態(tài)(脫模膜與玻璃之間的摩擦特性)的改變所帶來的球面像差的改變、以及、對此進行控制的方法，等方面，尚完全未知。
此外，要想控制球面像差較小并且離散性達到所希望的值，就必須使模具形狀精度和片厚控制精度，在模具加工機和壓力成形機的機械精度的極限值以下。因此，要想通過對模具形狀精度和片厚控制精度進行控制而批量生產(chǎn)出這種成形難度高的透鏡，實質(zhì)上是不可能的。
特別是使用青紫色激光的光學(xué)拾取單元，需要使光學(xué)系統(tǒng)的總體球面像差小。為此，是采用對球面像差進行修正的光學(xué)元件，對因物鏡以及其它光學(xué)元件的安裝誤差、和、驅(qū)動時的角度偏差和位置偏差而產(chǎn)生的總體球面像差進行修正的。
但是，若修正量過大，在減小3次球面像差的同時，5次球面像差將顯著增大，其結(jié)果，波像差變大，導(dǎo)致聚光束光點的質(zhì)量下降。因此，以修正光學(xué)元件進行修正的像差量以盡可能小為宜。
因此，強烈希望首先能夠使因物鏡而產(chǎn)生的球面像差盡可能小，光學(xué)拾取單元光學(xué)系統(tǒng)的總體像差余量大，非常希望能夠制造出可滿足這種希望的光學(xué)拾取單元用物鏡。
另一方面，與光學(xué)拾取單元透鏡同樣，作為小型高性能攝像透鏡，要達到所要求的性能，制造容許誤差也將變得非常嚴格。小型高性能攝像透鏡，對于上下表面之間的偏斜或偏心等誤差非常敏感，若彗形像差增大某一程度，則需要相應(yīng)地減小球面像差，因此，非常希望能夠制造出小球面像差攝像透鏡。

發(fā)明內(nèi)容
為此，本發(fā)明是鑒于上述技術(shù)背景而提出的，其目的是，提供一種，即使是高性能的透鏡，并且即使是在壓力加工中會產(chǎn)生使所成形的透鏡的精度和性能改變的原因的條件下，也能夠不對模具進行再加工地、穩(wěn)定持續(xù)地連續(xù)進行壓力成形而制造出具有上述高性能的透鏡的方法。
特別是，本發(fā)明的目的是，提供一種，對于高NA單透鏡的球面像差(3次球面像差)與期望值之差在±0.02λrms以內(nèi)、最好是在±0.01λrms以內(nèi)、甚至實質(zhì)上為零的高性能透鏡，即使在壓力加工中產(chǎn)生會使所成形的透鏡的精度和性能改變的原因的條件下，也能夠不對模具進行再加工地、穩(wěn)定持續(xù)地連續(xù)進行壓力成形而進行制造的方法，以及，提供一種球面像差(3次球面像差)與期望值之差在±0.02λrms以內(nèi)的透鏡。
本發(fā)明人著眼于，即使在穩(wěn)定的條件下連續(xù)地對玻璃原料進行壓力成形，成形條件實際上并非固定不變，例如，由于設(shè)置在成形面上的脫模膜的狀態(tài)的改變等原因，所成形的成形體(例如透鏡)的性能并非固定不變。
并且，反而利用高NA單透鏡的像差產(chǎn)生量相應(yīng)于制造誤差量大(誤差靈敏度高，制造容許誤差嚴格)這樣一個特點，使得在壓力成形時能夠?qū)ν哥R的3次球面像差進行精密控制，從而實現(xiàn)了能夠穩(wěn)定地批量生產(chǎn)高性能透鏡的本發(fā)明。
本發(fā)明如下所述。
(1)一種成形體的制造方法，包括，以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓，還包括，對成形原料進行擠壓成形以形成成形體，對所成形的成形體的光學(xué)性能進行測定，依據(jù)測定的光學(xué)性能至少對某一個成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體。
(2)如(1)所記載的制造方法，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的擠壓速度與光學(xué)性能二者的相關(guān)關(guān)系進行。
(3)一種成形體的制造方法，包括，以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓，其特征是，通過每擠壓成形出既定數(shù)量的成形體，便至少對某一個成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體，使得成形體的光學(xué)性能維持在既定范圍內(nèi)。
(4)如(3)所記載的制造方法，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的、連續(xù)成形的成形體數(shù)量與所成形的成形體的光學(xué)性能之間的相關(guān)關(guān)系進行。
(5)如(1)～(4)所記載的制造方法，光學(xué)性能是球面像差。
(6)一種成形體的制造方法，包括以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓，還包括，對成形原料進行擠壓成形以形成成形體，對所成形的成形體的形狀進行測定，依據(jù)測定的形狀至少對某一成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體。
(7)如(6)所記載的制造方法，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的、擠壓速度與形狀二者的相關(guān)關(guān)系進行，并且，所說形狀，是成形體的第1面和第2面之某一面的近軸曲率半徑。
(8)一種成形裝置，具有，具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模，以及，為了將供給成形模的成形原料擠壓成形、而對一對成形模之中的某一成形模以既定速度進行驅(qū)動的機構(gòu)，還具有，對所成形的成形體的光學(xué)性能、形狀或數(shù)量進行檢測的機構(gòu)，以及，依據(jù)所測得的性能、形狀或數(shù)量，對成形模的擠壓速度進行修正后使所說驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動的控制部。
(9)一種光學(xué)拾取單元用物鏡，數(shù)值口徑為0.6以上、近軸曲率半徑為3mm以下、透鏡有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45度以上，其特征是，430nm以下既定波長(λ)下的3次球面像差在±0.02λrms以內(nèi)。
(10)一種光學(xué)拾取單元用物鏡，數(shù)值口徑為0.6以上、近軸曲率半徑為3mm以下、透鏡有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45度以上，其特征是，430nm以下既定波長(λ)下的波像差在0.04λrms以內(nèi)。
附圖的簡要說明

圖1是可應(yīng)用于本發(fā)明的壓力加工裝置的模具附近部分的概略剖視圖。
圖2示出擠壓速度與球面像差的關(guān)系。
圖3示出所成形的透鏡的球面像差。
圖4示出隨著壓力加工次數(shù)增加，3次球面像差的值增大。
圖5是可應(yīng)用于本發(fā)明的壓力加工裝置的模具附近部分的概略剖視圖。
圖6示出以擠壓速度進行修正的同時進行壓力加工時的凹面?zhèn)确乔蛎娼SR的變化趨勢。
圖7示出用于本發(fā)明成形裝置中的、光學(xué)性能、形狀或數(shù)量的檢測機構(gòu)、控制部以及下模驅(qū)動機構(gòu)之間的信號流向。
發(fā)明的實施形式[成形體的制造方法]本發(fā)明的成形體的制造方法，是一種包括，以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓，的方法。
本發(fā)明中所使用的成形原料，包括玻璃、樹脂等，而下面將以玻璃原料為例進行說明。此外，本發(fā)明的成形體，可以是由玻璃或樹脂成形而成的諸如透鏡等光學(xué)元件。下面，以玻璃透鏡為例進行說明。
通常，隨著連續(xù)進行壓力成形，各成形條件將一點一點微小地發(fā)生變化。例如，作為形成于成形模的成形面上的脫模膜，隨著壓力加工的重復(fù)進行，其表面狀態(tài)發(fā)生變化。再經(jīng)過更多次數(shù)的壓力加工，脫模膜將損耗、損壞，因而需要將損壞的脫模膜去除，重新形成脫模膜。但是，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，即使在壓力加工開始后的數(shù)次～數(shù)十次加工的非?？壳暗某跏茧A段，也在一點一點微小地發(fā)生變化，因而影響著成形后的透鏡等光學(xué)元件的性能。
隨著成形次數(shù)的重復(fù)，脫模膜的摩擦系數(shù)在微小地變化。這將使得，在成形模進行擠壓而將其形狀轉(zhuǎn)印過去時作用于玻璃原料的應(yīng)力發(fā)生變化。其結(jié)果，各自具有不同殘留應(yīng)力的成形體，在冷卻過程中各自發(fā)生差異微小的收縮舉動。收縮舉動的改變，將造成透鏡的形狀、結(jié)果是光學(xué)性能、特別是球面像差的改變。
本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過改變壓力加工時的擠壓速度，能夠消除隨著重復(fù)進行壓力加工而改變的殘留應(yīng)力所帶來的光學(xué)性能的改變。所說擠壓速度，是指成形模對成形原料進行擠壓的速度。在以下模驅(qū)動方式進行擠壓成形的場合，是指下模的上升速度。
本發(fā)明中，所說光學(xué)性能，例如可以是像差或者最小光點直徑；作為像差，可列舉出球面像差、像散、彗形像差。尤以將球面像差(3次球面像差，SA3)作為光學(xué)性能為宜。但也可以是所舉示例之外的其它光學(xué)性能。
當以成形模進行的壓力成形重復(fù)進行時，所成形的透鏡的3次球面像差的絕對值將以微小的幅度增大。該狀態(tài)示于圖4。3次球面像差，特別是對于光學(xué)拾取單元的物鏡等單獨使用且要求具有很高光學(xué)性能的透鏡而言，在重放/記錄等性能方面具有重要的意義。對于圖4所示的例子，本發(fā)明人經(jīng)過調(diào)查判明，盡管壓力加工開始時3次球面像差約為零，但隨著壓力加工次數(shù)的增加，作為3次球面像差的值，其絕對值增大。為此，根據(jù)該調(diào)查結(jié)果，本發(fā)明是在壓力成形過程中改變壓力加工條件，以抵消光學(xué)性能如上所述的改變而使3次球面像差接近于零，或者為零的。
壓力成形時所采用的條件有很多，但本發(fā)明還發(fā)現(xiàn)，其中的擠壓速度與3次球面像差之間有一定的相關(guān)關(guān)系。如后所述，經(jīng)過預(yù)先對擠壓速度與球面像差的關(guān)系進行研究判明，例如有圖2所示的相關(guān)關(guān)系。因此發(fā)現(xiàn)，通過對擠壓速度進行適當操控，能夠進行可將隨著成形次數(shù)的增加而增大(變差)的球面像差抵消這樣的修正。
為此，若事先掌握隨著既定的擠壓速度的增大(或者減小)而產(chǎn)生的球面像差的變化量，則通過，邊連續(xù)進行壓力成形邊測定所成形透鏡的球面像差，根據(jù)該測定值進行使擠壓速度增大或減小的修正，并采用修正后的擠壓速度，便始終能夠持續(xù)地成形出滿足球面像差公差要求的透鏡。例如，在隨著壓力加工次數(shù)的增加，所成形的透鏡的球面像差向負方向變大的場合，將擠壓速度逐漸增大是有效的。
進而，若預(yù)先掌握既定壓力加工次數(shù)下產(chǎn)生的球面像差的變化量、以及、隨著既定的擠壓速度的增大(或減小)而能夠產(chǎn)生的球面像差的變化量，則相對于每一既定壓力加工次數(shù)，階段性地或連續(xù)地改變擠壓速度，便能夠持續(xù)生產(chǎn)出球面像差始終滿足公差要求的透鏡。
即，作為本發(fā)明制造方法的第1方案，包括，進行成形體的成形，對所成形的成形體的光學(xué)性能進行測定，依據(jù)測定的光學(xué)性能，至少對某一成形模的擠壓速度進行修正，以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形。擠壓速度的修正，可依據(jù)預(yù)先求得的擠壓速度與光學(xué)性能二者的相關(guān)關(guān)系進行。
作為本發(fā)明制造方法的第2方案，通過每成形出既定數(shù)量的成形體，便至少對某一成形模的擠壓速度進行修正，以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形，使得成形體的光學(xué)性能維持在既定范圍內(nèi)。擠壓速度的修正，可通過預(yù)先求得連續(xù)成形的成形體的數(shù)量、與、所成形的成形體的光學(xué)性能二者的相關(guān)關(guān)系而依據(jù)該相關(guān)關(guān)系進行。
作為本發(fā)明制造方法的第3方案，包括，進行成形體的成形，對所成形的成形體的形狀進行測定，依據(jù)測定的形狀，至少對某一成形模的擠壓速度進行修正，以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形。擠壓速度的修正，可依據(jù)預(yù)先求得的、擠壓速度與光學(xué)性能二者的相關(guān)關(guān)系進行。此外，成形體的形狀，可以是成形體的第1面和第2面之某一面的近軸曲率半徑。
所成形的透鏡的光學(xué)性能之所以隨著，隨著成形次數(shù)的增加而變化的、玻璃原料的成形條件的變化，而發(fā)生變化，是由于透鏡的形狀發(fā)生變化的緣故。如上所述通過對所成形的透鏡的光學(xué)性能進行測定而對擠壓速度進行修正的方法，可通過采用對光學(xué)性能進行測定的裝置簡便地進行，因而是極為有效的。但是，對于有些透鏡，要測定單一透鏡的光學(xué)性能(例如球面像差)是困難的。這是由于，以多片透鏡形成一個光學(xué)系統(tǒng)(諸如光學(xué)拾取單元等)時所使用的透鏡，作為單一透鏡，不能呈現(xiàn)出可進行像差測定的波面。此時，直接測定隨著壓力加工次數(shù)的增加而變化的透鏡的形狀即可。
在這里發(fā)現(xiàn)，與球面像差具有相關(guān)關(guān)系而變化(即與所采用的擠壓速度相關(guān)地變化)的壓力加工條件，對于球面來說是曲率半徑，對于非球面來說是近軸曲率半徑。若設(shè)曲率半徑或近軸曲率半徑為R，則R與擠壓速度具有一次相關(guān)關(guān)系。
為此，若事先掌握隨著既定的擠壓速度的增大(或減小)而能夠產(chǎn)生的R的變化量，則通過，邊連續(xù)進行壓力成形邊測定所成形的透鏡的R，根據(jù)該測定值進行使擠壓速度增大或減小的修正，并采用修正后的擠壓速度，便始終能夠持續(xù)地成形出滿足設(shè)計形狀公差要求、即滿足光學(xué)性能要求的透鏡。例如，在隨著壓力加工次數(shù)的增加，所成形的透鏡的R與設(shè)計值的R之差向負方向變小的場合，將擠壓速度逐漸增大是有效的。
進而，若預(yù)先掌握隨著既定的壓力加工次數(shù)而產(chǎn)生的R的變化量、以及、隨著既定的擠壓速度的增大(或減小)而能夠產(chǎn)生的R的變化量，則相對于每一既定壓力加工次數(shù)，階段性地或連續(xù)地改變擠壓速度，便能夠持續(xù)生產(chǎn)出形狀(即光學(xué)性能)始終滿足公差要求的透鏡。
下面，就可應(yīng)用于本發(fā)明的成形裝置進行說明。
上述本發(fā)明的制造方法，例如可通過采用以下說明的成形裝置實施之。
本發(fā)明的成形裝置，具有，(1)具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模，(2)為了將供給成形模的成形原料擠壓成形，對一對成形模中的某一個成形模以既定的速度進行驅(qū)動的機構(gòu)；還具有，(3)對所成形的成形體的光學(xué)性能、形狀、或數(shù)量進行檢測的機構(gòu)，以及，(4)依據(jù)檢測到的信息，對成形模的擠壓速度進行修正而使所說驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動的控制部。
對本發(fā)明成形裝置的一個實施形式，結(jié)合圖1進行說明。
圖1是可應(yīng)用于本發(fā)明的壓力加工裝置的模具附近部分的概略剖視圖。
壓力加工軸以圖1所示的狀態(tài)設(shè)置，即，上下模1、2和外筒3組裝在固定于上主軸7上的模具頂壓部件5與固定在下主軸8上的模具保持部件6上。上下模1、2是一對成形模，由未圖示的驅(qū)動機構(gòu)通過上主軸7和下主軸8，對一對成形模中的某一個成形模以既定的速度進行驅(qū)動。圖1的裝置這樣構(gòu)成，即，下主軸8可向上方上升，向固定在上主軸7上的模具頂壓部件5進行推壓而對玻璃原料(預(yù)制形坯4)進行壓力加工。在上模1與模具頂壓部件5之間，配置有帽11。該帽11，通過與上頂壓部件5進行點接觸可防止上下模的中心線(軸)發(fā)生偏斜(tilt)。
對于上下模1、2，可將SiC、Si2N3等陶瓷或超硬材料作為基底材料使用。另外，成形面上最好設(shè)有脫模膜。脫模膜，以采用DLC膜等以碳為主成分的膜為宜。該脫模膜，隨著壓力加工次數(shù)的增加，會出現(xiàn)損耗、損壞，因而最好是，每當壓力加工進行到某一次數(shù)時，暫時結(jié)束壓力加工，進行膜的重新生成。例如對于在SiC模具基底材料上形成DLC膜的成形裝置來說，膜的重新生成，首先是將損耗、損壞的膜用氧等離子體去除。將此時生成的SiC的氧化膜用酸去除后，再次形成DLC膜，從而重新生成脫模膜。
成形裝置中所配置的壓力加工室內(nèi)的氛圍，最好是非氧化性氛圍。這是為了防止脫模膜氧化。最好是氮氣氛圍，也可以使用氮氣中含有少量氫氣的氛圍。
下面，對本方案的以成形裝置進行的成形工序進行說明。將玻璃原料4放在下模2上，安裝外筒3與上模1后，以未圖示的加熱機構(gòu)對裝置進行加熱。對加熱機構(gòu)并無限制，例如可列舉出高頻感應(yīng)線圈、電阻式加熱、紅外線加熱器等。但從加熱效率和對開關(guān)操作的響應(yīng)性考慮，以采用高頻感應(yīng)加熱方式為宜。
在成形模達到既定溫度后，以驅(qū)動機構(gòu)(未圖示)使下主軸以既定速度上升既定行程，從而對玻璃原料進行擠壓。此時的擠壓速度，例如可以是10mm/sec以下。由于下模的位置可由位置檢測傳感器12測得，因此，能夠做到在下模到達既定位置時改變擠壓速度。對于擠壓速度，還可以根據(jù)位置檢測傳感器的輸出信號進行計算。
進行擠壓時玻璃的溫度，按照玻璃粘度可以是相當于106.5～108.5泊的溫度。而最好是相當于107～108泊的溫度。成形模的溫度也最好是同樣的溫度。
當對玻璃原料進行擠壓、帽的下表面與外筒上端面接觸時，開始進行冷卻。冷卻是通過對加熱裝置進行斷電進行的，也可以同時使用氣體吹拂等強制冷卻機構(gòu)。冷卻速度可以是30～100℃/min。在達到Tg以下的溫度后，釋放壓力加工壓力，進一步冷卻到可取出的溫度，將模具分開，取出成形體(透鏡)。在進行連續(xù)成形時，可通過重復(fù)進行上述工序進行透鏡的批量生產(chǎn)。
本發(fā)明也可以應(yīng)用于，由于玻璃原料和成形模的形狀的原因而如圖1的下模側(cè)所示，在玻璃原料與成形模之間形成封閉空間的場合。這種場合，是例如所成形的透鏡具有曲率半徑小于玻璃原料的曲率半徑部分的場合。在這種場合，若不排放被封閉在成形模與玻璃原料之間的氛圍氣體而直接進行擠壓成形，則有可能在所成形的光學(xué)元件的表面形成凹陷等而影響形狀精度。為此，在對這種玻璃原料進行成形加工時，例如可以對壓力加工室進行減壓。此外，即使不對壓力加工室進行減壓，也可以通過選擇壓力加工時的溫度條件和擠壓速度，將被封閉的氛圍氣體在進行擠壓的同時排出去，從而成形出具有優(yōu)異形狀的光學(xué)元件。
例如在產(chǎn)生有封閉空間的場合進行壓力成形時，使所采用的擠壓速度為0.5mm/sec以下是有效的。還可以使其為更好的0.1mm/sec以下。只要到被封閉在封閉空間內(nèi)的氛圍氣體被排出之前一直保持這種擠壓速度即可。即，在進行與封閉空間高度相應(yīng)行程的擠壓，使得玻璃原料與成形模的成形面中心附近緊密接觸后，可以將擠壓速度提高。從縮短成形節(jié)拍考慮，最好這樣做。在這種場合，作為以本發(fā)明對其進行修正的對象的擠壓速度，無論是提高前的擠壓速度，還是提高后的擠壓速度，均可根據(jù)其與光學(xué)性能或透鏡形狀的相關(guān)關(guān)系適當確定。
圖5所示的成形裝置與圖1不同，上下模1、2可通過上下主軸分離，下主軸上升時，靠定位孔13與定位銷14使上下模保持部件15、16組合在一起，使得通過上下保持部件15、16以良好精度定位的上下模1、2及外筒3順暢地組合到一起。此外，與圖1同樣，下主軸上安裝有位置檢測傳感器12，以此對下模的位置和上升速度(擠壓速度)進行控制，附圖標記9、10分別為上模測溫用熱電偶和下模測溫用熱電偶。
本方案中，最好設(shè)置有，用來將預(yù)先由可加熱至壓力加工溫度附近的加熱裝置加熱的預(yù)制形坯供給下模2的預(yù)制形坯供給機構(gòu)(未圖示)、以及、在壓力加工完成進行分模后將透鏡取出的自動取出機構(gòu)(未圖示)。這是由于，其不同于圖1的裝置，不必將成形裝置分解便能夠進行預(yù)制形坯的供給和所成形透鏡的取出。通過設(shè)置上述機構(gòu)，在進行預(yù)制形坯的供給·透鏡的取出時，不需要將上下成形模冷卻至常溫附近，因此，進行連續(xù)成形時成形裝置的熱循環(huán)得以縮短，能夠以較短的節(jié)拍進行壓力加工。
在以圖5的成形裝置進行壓力成形的場合，將成形模加熱至既定溫度，將一個預(yù)制形坯在成形模之外加熱至既定溫度，將加熱后的預(yù)制形坯供給下模。供給后，既可以立即開始壓力加工，也可以進一步對成形模進行加熱后再進行壓力加工。供料時玻璃原料的溫度，可以是相當于107～108泊的溫度，此外，成形模溫度可以是相當于107～108泊的溫度。進行擠壓時玻璃的溫度，按照玻璃粘度來說，也最好是相當于107～108泊的溫度。
冷卻后，取出透鏡時玻璃的溫度可以是Tg附近的溫度。
在圖5的成形裝置中，所使用的模具材料、脫模膜等，可以與圖1的裝置相同。此外，成形室內(nèi)的氛圍、加熱裝置、擠壓速度等，也同樣可以與采用圖1的裝置時相同。
本發(fā)明中所采用的成形裝置，還具有，(3)對所成形的成形體的光學(xué)性能、形狀、或數(shù)量進行檢測的機構(gòu)，以及，(4)依據(jù)檢測到的信息，對成形模的擠壓速度進行修正后使所說驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動的控制部。這里所說的光學(xué)性能、形狀，與制造方法中所說明的相同。首先，以進行檢測的機構(gòu)對光學(xué)性能、形狀、或數(shù)量進行檢測，其次，以控制部進行與預(yù)先確定的既定值的比較，與既定值之間達到一定關(guān)系時(例如超過既定值時)，可向模具的驅(qū)動機構(gòu)發(fā)送對擠壓速度進行修正的信號。將上述步驟示于圖7的流程圖中。
作為對所成形的成形體的光學(xué)性能、形狀、或數(shù)量進行檢測的機構(gòu)，具體可列舉出例如，對于光學(xué)性能采用透射型干涉儀，對于形狀采用接觸式形狀粗糙度測定儀，對于數(shù)量采用對預(yù)制形坯的投入、壓力加工次數(shù)進行計數(shù)的計數(shù)器。
此外，作為控制部，具體地說，可以是例如對預(yù)制形坯的供給、加熱、輸送、模具升溫降溫的溫度、下模的位置和上升下降速度、透鏡的取出等進行控制的控制電路。
對于以本發(fā)明的制造方法通過制造裝置進行成形的光學(xué)元件的形狀，并無特別限制。例如，可以成形出雙面凸透鏡、凸彎月形透鏡、凹彎月形透鏡等。根據(jù)本發(fā)明，尤其能夠使球面像差維持很高的精度，因此，特別適用于制造諸如光學(xué)拾取單元中使用的、凸彎月形之類形狀的物鏡。
作為本發(fā)明中使用的成形原料，適合使用玻璃原料，但也可以是樹脂素材。作為玻璃原料，事先預(yù)成形為既定形狀、重量的諸如球形等形狀的玻璃預(yù)制形坯很適用。
最好是，按照本發(fā)明，對所成形的透鏡的球面像差(數(shù)值的絕對值)，以總是使之變小地進行修正。特別是，最好是以使3次球面像差達到±0.03λrms的要求對擠壓速度進行修正地進行成形體的制造。
此外，在本發(fā)明的制造方法中，最好是，以總是使近軸曲率半徑相對于設(shè)計曲率半徑在±0.004mm以內(nèi)的要求對擠壓速度進行修正地進行透鏡等成形體的成形。
此外，球面像差值的修正，也可以通過改變透鏡片厚進行，但也可以將此與本發(fā)明的方法合起來使用。例如可以是，對于以依據(jù)既定的球面像差設(shè)計值制備的成形模進行壓力成形時球面像差的修正，通過透鏡片厚進行修正，再通過本發(fā)明的方法進行微細修正。
發(fā)現(xiàn)作為本發(fā)明，在成形體的制造方法中，擠壓速度與透鏡等玻璃成形體的表面形狀和透過波面的像差之間存在一次相關(guān)關(guān)系，以及，對于透鏡來說在曲率與擠壓速度之間存在著很密切的相關(guān)關(guān)系。為此，預(yù)先求出這種關(guān)系，通過反復(fù)進行，對經(jīng)過壓力加工的透鏡等的曲率或像差等性能進行測定、根據(jù)測定結(jié)果與預(yù)先掌握的關(guān)系改變擠壓速度這樣的工序，便能夠持續(xù)進行穩(wěn)定的壓力加工。
另外，作為擠壓速度修正時所使用的光學(xué)性能測定值，使用的是3次球面像差，但作為隨著成形次數(shù)而改變的透鏡的性能，也可以根據(jù)透鏡的用途或測定方法的方便性，采用其它光學(xué)性能進行修正。
此外，作為采用本發(fā)明的制造方法和制造裝置的成形體，尤其適合制造透鏡所具有的兩個面(第1面、第2面)的某一個面具有非球面的透鏡。
特別是，當應(yīng)用于波像差或透鏡曲面形狀的公差非常小的、光學(xué)拾取單元用的物鏡的制造方法中時，或者將按照本發(fā)明制造的透鏡應(yīng)用于光學(xué)攝像裝置中時，可得到顯著的效果。再有，不單單適用于制造這類裝置中所使用的單透鏡，還能夠適用于制造構(gòu)成透鏡組的透鏡。
本發(fā)明的制造方法，非常適合作為記錄密度高的光盤用攝像機物鏡的制造方法，按照本發(fā)明的制造方法，例如能夠提供如下所述的非球面透鏡。
①430nm以下既定波長(λ)下的3次球面像差相對于期望值在±0.02λrms以內(nèi)，最好在±0.01λrms以內(nèi)，甚至實質(zhì)上為零的高NA單透鏡。
②430nm以下既定波長(λ)下的波像差在0.04λrms以內(nèi)，最好在0.03λrms以內(nèi)，甚至在0.02λrms以內(nèi)的高NA單透鏡。
③屬于①或②的透鏡，而且是數(shù)值口徑(NA)為0.6以上的凸彎月形透鏡或雙面凸透鏡，透鏡的第1面和第2面中至少一個面的近軸曲率半徑為3mm以下，以及，有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45°以上的光學(xué)拾取單元用物鏡。
④屬于①或②的透鏡，而且是數(shù)值口徑(NA)為0.65以上的凸彎月形透鏡或雙面凸透鏡，透鏡的第1面和第2面中至少一個面的近軸曲率半徑為3mm以下，以及，有效直徑為5mm以下、最大面傾角為50°以上的光學(xué)拾取單元用物鏡。
⑤屬于凸彎月形透鏡或雙面凸透鏡，并且透鏡的第1面和第2面中至少一個面的近軸曲率半徑為3mm以下，以及，有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45°以上的小型攝像系統(tǒng)用透鏡。
在這里，所說的最大面傾角，是指透鏡任意一點上的法線與光軸的夾角之中的最大者。
其中，數(shù)值口徑為0.6以上、近軸曲率半徑為3mm以下、有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45°以上、且在430nm以下既定波長(λ)下的3次球面像差在±0.02λrms以內(nèi)的光學(xué)拾取單元用物鏡，以及，數(shù)值口徑(NA)為0.65以上、近軸曲率半徑為3mm以下、透鏡有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45°以上、且430nm以下既定波長(λ)下的波像差在0.04λrms以內(nèi)的光學(xué)拾取單元用物鏡，是過去無法制造出來的透鏡，而本發(fā)明還包括這些透鏡本身。
實施例下面，結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步詳細的說明。
第1實施例使用圖1所示的成形裝置，成形出中心片厚1.0mm、外徑φ2.1mm的凸彎月形透鏡。上下模1、2，在其以SiC為基底材料的成形面上被覆有DLC膜，每500次加工后重新生成DLC膜。此外，壓力加工室內(nèi)的氛圍為氮氣氛圍。
作為玻璃原料，以nd＝1.80610、νd＝40.73、屈伏點溫度600℃、?；瘻囟?60℃的φ1.6mm的球形光學(xué)玻璃原料作為球形預(yù)制形坯，將其放在下模上，在安裝外筒和上模后，以加熱裝置開始加熱。本實施例是以高頻感應(yīng)線圈(未圖示)進行加熱的。
達到壓力加工溫度645℃后，使下主軸以0.02mm/sec的擠壓速度上升開始進行壓力加工。之所以采用這樣低的擠壓速度，是由于下模2與預(yù)制形坯4之間存在空隙17，而這種速度是在進行壓力加工時可將被封閉在空隙內(nèi)的氣體排出的有效條件。當帽的下表面與外筒上端面之間的間隙為0.5mm時，將擠壓速度切換至0.06mm/sec，一直到帽的下表面與外筒上端部接觸為止推壓到底。在這里，擠壓速度切換位置以及擠壓速度是由圖1所示的位置檢測傳感器控制的。
推壓到底之后，以60℃/min的冷卻速度緩慢冷卻至530℃，將壓力加工壓力釋放。進一步冷卻至可取出的溫度65℃，將模具分解、取出透鏡。
為了測定透鏡的光學(xué)性能，利用可透過波面的干涉儀對透鏡的像差進行測定，其結(jié)果，球面像差為0.003λrms。其大致在標準范圍的中心值上，因此，以與上述壓力加工同樣的程序繼續(xù)進行壓力加工，每經(jīng)過10次加工對性能進行測定。而通過對擠壓速度與球面像差的關(guān)系預(yù)先進行探求，獲得了如圖2所示的相關(guān)關(guān)系。為了在繼續(xù)進行壓力成形的過程中，使得向負的方向變大的球面像差回到0，在利用圖2的相關(guān)關(guān)系對擠壓速度進行修正的同時，繼續(xù)進行壓力加工。所成形的透鏡的球面像差示于圖3。由圖3可知，雖然球面像差隨著經(jīng)過次數(shù)的增加而向負的方向增加，但通過對擠壓速度的修正，其始終在容許范圍(±0.03λrms)內(nèi)，始終向0附近得到修正。
為了進行比較，將不對擠壓速度進行修正而繼續(xù)進行壓力加工時的球面像差的變化動向示于圖4。由圖可知，隨著壓力加工次數(shù)的增加，3次球面像差向負的方向發(fā)生了很大的變化。
本實施例中，由于模具的脫模膜使用的是DLC膜，因而可以考慮會有這樣的現(xiàn)象發(fā)生，即，摩擦系數(shù)隨著壓力加工次數(shù)的改變而一點一點地發(fā)生變化，透鏡的形狀因此而發(fā)生變化。
即使在脫模膜使用DLC膜之外的膜的場合、以及、不使用脫模膜的場合，且不論絕對值的大小，摩擦系數(shù)同樣發(fā)生變化，對擠壓速度的修正同樣能夠?qū)?次球面像差進行修正。
如上所述，在本實施例中，預(yù)先掌握擠壓速度與球面像差之間的關(guān)系，通過在以每經(jīng)過某一壓力加工次數(shù)時所測得的球面像差對其進行修正的同時繼續(xù)進行壓力加工，可使得球面像差的離散性減小。由此，能夠持續(xù)進行高成品率透鏡的生產(chǎn)。
在本實施例中，是在500次加工之前持續(xù)進行壓力加工后重新生成脫模膜的，而在重新生成后，能夠再次使擠壓速度恢復(fù)到初始值而進行壓力加工，并邊反復(fù)進行上述擠壓速度的修正邊進行成形。
第2實施例本發(fā)明的第2實施例也使用與圖1同樣的壓力加工裝置，使用相同的玻璃原料成形出相同形狀的透鏡。在這里，為了使透鏡的球面像差趨近于0，將外筒的高度加工到可使片厚比所希望的片厚厚6μm，而壓力加工后的透鏡的3次球面像差的值為-0.071λrms。在從此時所測定的波面數(shù)據(jù)計算可使球面像差為0的最佳片厚時發(fā)現(xiàn)，需要使片厚薄6μm。為此，進行加工而使高度降低到，可使片厚與從外筒的初始高度計算出來的片厚僅差6μm。
使用該外筒以與實施例1相同的壓力加工條件(但擠壓速度為0.07mm/sec)進行壓力加工的結(jié)果，3次球面像差的值為0.030λrms。因容許范圍是-0.025-0.025λrms，故超出了范圍。由于為了使3次球面像差為0而需要將片厚僅增加2.5μm，因而需要使外筒高度增高相同程度，但這是不可能的。若進行使上?；蛳履５母叨冉档偷募庸?，則有可能影響上下模光軸的一致性，導(dǎo)致所成形的透鏡的傾斜性變差。為此，本實施例在這里采用了改變擠壓速度的方式。
由圖2的擠壓速度與3次球面像差的關(guān)系可知，要想3次球面像差為0，只要使擠壓速度降低0.05mm/sec即可。因此，將擠壓速度設(shè)為0.02mm/sec進行壓力加工而得到了透鏡。對3次球面像差進行測定的結(jié)果為-0.002λrms，可得到所希望的性能(在容許范圍內(nèi))。從該壓力加工條件下開始進行壓力加工，通過進行第1實施例的擠壓速度修正，得到了更為穩(wěn)定的質(zhì)量。
如上所述，本實施例揭示出，可以適當采用，對外筒的高度進行加工而改變透鏡的片厚并以此對3次球面像差進行修正的方法、以及、按照本發(fā)明對壓力加工條件進行修正的方法，或者兩種方法一起使用。另一方面，本發(fā)明的方法，不需要進行外筒或模具的加工，因此，能夠大幅度縮短使第一個透鏡達到性能要求所需要的加工準備時間，這一點有利于進行生產(chǎn)。
第3實施例使用圖5所示的壓力加工裝置，成形出中心片厚1.7mm、外徑φ3.4mm的凸彎月形透鏡。在這里，在下模處形成于預(yù)制形坯與模具之間的封閉的空隙大于實施例1，容易在所成形的透鏡的表面形成凹陷等不良形狀。為此，對成形室進行減壓后進行壓力成形。
在本實施例中，將裝置與外部空氣相隔離地配置在成形室內(nèi)，使用了對成形室進行減壓的真空泵(未圖示)。
使用了對玻璃原料(預(yù)制形坯)進行預(yù)熱的加熱裝置、以及、將預(yù)制形坯供給下模的機構(gòu)。
作為玻璃原料，將nd＝1.77377、νd＝47.17、屈伏點溫度615℃、?；瘻囟?70℃的φ2.5mm的球形光學(xué)玻璃原料作為預(yù)制形坯，對其以未圖示的加熱裝置加熱至645℃之后，供給加熱至650℃的下模2。此時，上模1也已被加熱至650℃。之后，將安裝有成形模的腔室的內(nèi)部以回轉(zhuǎn)泵減壓至8Pa程度開始進行壓力加工。以0.06mm/sec的擠壓速度到使得上下保持部件15、16接觸為止推壓到底。之后，以70℃/min的冷卻速度緩慢冷卻至560℃，將壓力加工壓力釋放，使下模2下降。之后，將下模2上的透鏡以透鏡取出裝置取出，結(jié)束壓力加工，為進行下一次的壓力加工而對上下模1、2以及預(yù)制形坯4進行加熱從而持續(xù)連續(xù)地進行壓力加工。
另外，預(yù)先掌握了擠壓速度與透鏡的凹面?zhèn)冉S曲率半徑的關(guān)系。在本實施例中，將擠壓速度與透鏡曲率(凹面?zhèn)?二者的關(guān)系式寫成一次形式，如下所示。
R＝-0.25·υ+6.9129其中，R凹面?zhèn)确乔蛎娴慕S曲率半徑(R)(mm)υ擠壓速度(mm/sec)壓力加工開始后每加工20個對透鏡的形狀進行測定，依據(jù)測定結(jié)果對擠壓速度進行修正。圖6示出，在以擠壓速度進行修正的同時進行壓力加工時，凹面?zhèn)确乔蛎娼SR的變化趨勢。可知其在不超出容許范圍的范圍內(nèi)變化。
本實施例中設(shè)置了在壓力加工之前進行減壓的機構(gòu)，而這一點對于不使形成于預(yù)制形坯與下模之間空隙內(nèi)的氣體殘留地進行壓力加工是有效的。為了使空隙內(nèi)的氣體排出，也可以將壓力加工溫度降低。但是，在本實施例中，需要把壓力加工溫度降低至620℃，而這樣將難以改變擠壓速度，或者即使使之改變也不能夠抵消近軸曲率半徑的變化。
如上所述，作為本實施例，通過壓力加工之前對成形氛圍進行減壓，可確保壓力加工溫度為可使擠壓速度與透鏡性能二者具有相關(guān)關(guān)系的溫度，與第1實施例同樣，能夠進行高成品率的穩(wěn)定的壓力加工。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的玻璃成形體的制造方法，利用擠壓速度與透鏡性能(球面像差或透鏡曲率)之間的關(guān)系，只要對壓力加工后的透鏡的性能進行測定，并根據(jù)測定結(jié)果改變作為壓力加工條件之一的擠壓速度進行修正，便能夠減小透鏡性能的離散性，因此，能夠做到以簡易廉價的機構(gòu)高成品率地進行透鏡的制造。此外，即使在模具或部件加工后以壓力加工制造的透鏡的性能偏離所希望的性能的場合，也能夠通過改變擠壓速度達到所希望的性能，因此，不需要對模具或模具部件進行修正加工，可縮短加工準備時間。
權(quán)利要求
1.一種成形體的制造方法，是包括以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓的成形體的制造方法，包括，對成形原料進行擠壓成形以形成成形體，對所成形的成形體的光學(xué)性能進行測定，依據(jù)測定的光學(xué)性能，對至少任一個成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體。
2.如權(quán)利要求1所記載的制造方法，其特征是，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的擠壓速度與光學(xué)性能之間的相關(guān)關(guān)系進行。
3.一種成形體的制造方法，其特征是，是包括以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓的成形體的制造方法，通過每擠壓成形出既定數(shù)量的成形體，便對至少任一個成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體，使得成形體的光學(xué)性能維持在既定范圍內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所記載的制造方法，其特征是，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的、連續(xù)成形的成形體數(shù)量與所成形的成形體的光學(xué)性能之間的相關(guān)關(guān)系進行。
5.如權(quán)利要求1～4之任一權(quán)利要求所記載的制造方法，其特征是，光學(xué)性能是球面像差。
6.一種成形體的制造方法，是包括以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓的成形體的制造方法，包括，對成形原料進行擠壓成形以形成成形體，對所成形的成形體的形狀進行測定，依據(jù)測定的形狀，對至少任一成形模的擠壓速度進行修正，采用修正后的擠壓速度再進行擠壓成形以形成成形體。
7.如權(quán)利要求6所記載的制造方法，其特征是，所說擠壓速度的修正，依據(jù)預(yù)先求得的、擠壓速度與形狀的相關(guān)關(guān)系進行，并且，所說形狀，是成形體的第1面和第2面之任一個面的近軸曲率半徑。
8.一種成形裝置，是具有，具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模，以及，為了將供給成形模的成形原料擠壓成形、而對一對成形模之中的任一成形模以既定速度進行驅(qū)動的機構(gòu)的成形裝置，還具有，對所成形的成形體的光學(xué)性能、形狀或數(shù)量進行檢測的機構(gòu)，以及，依據(jù)所測得的性能、形狀或數(shù)量，對成形模的擠壓速度進行修正后使所說驅(qū)動機構(gòu)進行驅(qū)動的控制部。
9.一種光學(xué)拾取單元用物鏡，數(shù)值口徑為0.6以上、近軸曲率半徑為3mm以下、透鏡有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45度以上，430nm以下既定波長(λ)下的3次球面像差在±0.02λrms以內(nèi)。
10.一種光學(xué)拾取單元用物鏡，數(shù)值口徑為0.6以上、近軸曲率半徑為3mm以下、透鏡有效直徑為5mm以下、最大面傾角為45度以上，430nm以下既定波長(λ)下的波像差在0.04λrms以內(nèi)。
全文摘要
一種成形體的制造方法，包括，以具有被加工成既定形狀的成形面的一對成形模對加熱軟化的成形原料進行擠壓。依據(jù)對所成形的成形體進行測定而測得的光學(xué)性能，至少對某一個成形模的擠壓速度進行修正，以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形。通過每成形既定數(shù)量的成形體便至少對某一個成形模的擠壓速度進行修正，并以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形，使成形體的光學(xué)性能維持在既定范圍內(nèi)。依據(jù)對所成形的成形體進行測定而測得的形狀，至少對某一個成形模的擠壓速度進行修正，以修正后的擠壓速度再進行成形體的成形。還提供一種可在上述制造方法中使用的成形裝置、以及、不必對模具進行再加工、穩(wěn)定地持續(xù)連續(xù)地進行壓力成形而制造出高性能透鏡的方法。
文檔編號G02B13/00GK1550461SQ20041003141
公開日2004年12月1日 申請日期2004年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月28日
發(fā)明者米田靖弘, 山下照夫, 夫 申請人:Hoya株式會社