專利名稱：平面顯示器的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種液晶顯示器的制程設(shè)備，特別是該設(shè)備同時(shí)具備玻璃基板線路缺陷檢測(cè)及以激光修補(bǔ)該線路缺陷的功能以提高產(chǎn)能，降低不良率及節(jié)省無塵室空間。
現(xiàn)有技術(shù)請(qǐng)參考


圖1及圖2，液晶顯示面板于矩陣制程(Array process)后，于玻璃基板10上會(huì)形成如矩陣狀的金屬線路，包括資料線(即源極線)11及掃瞄線12等，線與線之間常因制程的不良而發(fā)生短路缺陷(Short defect)30，或開路缺陷(Open defect)20等線路缺陷，檢測(cè)此種線路不良缺陷的制程工站一般習(xí)稱開路/短路檢測(cè)機(jī)(Open/Short Inspection machine)，其檢測(cè)方式通?？蓞^(qū)分為非接觸式檢測(cè)及接觸式檢測(cè)，非接觸式檢測(cè)通常包括兩個(gè)非接觸式感測(cè)器13、14，其形式可為靜電電容耦合式(Electrostatic Capacitory Coupling style)，其中一感測(cè)器為訊號(hào)輸出端，另一感測(cè)器為訊號(hào)接收端，運(yùn)作時(shí)感測(cè)器貼近玻璃基板距離約100微米；以玻璃基板源極線(Source line)的線路缺陷檢查為例，兩感測(cè)器同步移動(dòng)可先檢查出線路缺陷點(diǎn)所在的線路缺陷線位置(line position)，之后訊號(hào)輸出端的感測(cè)器停留于線路缺陷線位置不動(dòng)，訊號(hào)接收端感測(cè)器沿著此具有線路缺陷點(diǎn)的線路往訊號(hào)輸出端感測(cè)器移動(dòng)，即可偵測(cè)出線路開路缺陷點(diǎn)20的位置(如
圖1所示)；或于偵測(cè)出線路缺陷線位置(line position)后，使用一對(duì)接觸探針50與玻璃基板上的金屬線路接觸墊40接觸，另外再配合非接觸式感測(cè)器13即可檢測(cè)出線路短路缺陷點(diǎn)30的位置(如圖2所示)。
在現(xiàn)有的制程順序中，開路/短路檢測(cè)機(jī)所測(cè)得的不良品需交由另一激光修補(bǔ)機(jī)來修補(bǔ)金屬線與線之間短路不良，以提高整體制程良率；而先前經(jīng)檢測(cè)機(jī)工站檢測(cè)的資料，如線路缺陷的位置座標(biāo)、線路缺陷的影像等系先儲(chǔ)存于檢測(cè)機(jī)的一記憶單元，隨后將此資料通過網(wǎng)路或磁片傳送至激光修補(bǔ)機(jī)，至于待修的玻璃基板不良品則需另外利用機(jī)械手臂將玻璃基板取出后放置至運(yùn)輸車，運(yùn)輸車運(yùn)送至激光修補(bǔ)機(jī)后再由另一機(jī)械手臂將玻璃基板取出放置到激光修補(bǔ)機(jī)，玻璃基板于激光修補(bǔ)機(jī)重新進(jìn)行夾持對(duì)位并配合檢測(cè)機(jī)傳送過來的資料進(jìn)行線路缺陷修補(bǔ)。
這樣的現(xiàn)有制程下，線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)二種動(dòng)作分屬不同的機(jī)臺(tái)，基板的載入載出需靠機(jī)械手臂及搬運(yùn)車，如此不僅費(fèi)時(shí)，而且產(chǎn)品制程動(dòng)線拉長(zhǎng)，徒增產(chǎn)生不良品的風(fēng)險(xiǎn)，并占用寶貴無塵室空間，此外玻璃基板需于兩機(jī)臺(tái)分別重新定位夾持，不僅造成作業(yè)工時(shí)延長(zhǎng)，兩次定位的座標(biāo)系亦不同，造成整體精度下降，不利于線寬日益縮小的趨勢(shì)，及線路缺陷檢測(cè)與激光修補(bǔ)全程自動(dòng)化的目標(biāo)。
另一方面，請(qǐng)參考圖3，US Pat.5164565公開一種激光修補(bǔ)機(jī)臺(tái)，其運(yùn)作方式為基板10放置并夾持于于X-Y傳動(dòng)平臺(tái)60，修補(bǔ)線路缺陷時(shí)X-Y運(yùn)動(dòng)平臺(tái)60帶動(dòng)基板10移動(dòng)，而激光修補(bǔ)頭70不動(dòng)，缺陷檢測(cè)機(jī)亦常見這樣的設(shè)計(jì)，然而隨著基板面積增大，對(duì)于此兩種設(shè)備而言，這樣的設(shè)計(jì)方式將占據(jù)太多空間，造成設(shè)備成本的增加及機(jī)臺(tái)整體精度的下降而漸不可行，比較可行的方式是采取基板不動(dòng)而激光修補(bǔ)頭70移動(dòng)，同樣的，對(duì)于線路缺陷檢測(cè)機(jī)的傳動(dòng)設(shè)計(jì)方式，比較可行的方式亦是玻璃基板不動(dòng)而接觸探針50及非接觸式感測(cè)器13、14移動(dòng)。
因此在這樣的相同的設(shè)計(jì)趨勢(shì)下，兩種機(jī)臺(tái)之間存在許多相同的定位及傳動(dòng)構(gòu)件，所不同之處，僅是另外配置的是線路缺陷檢測(cè)模塊或激光修補(bǔ)模塊的不同而已，因此將兩種功能的機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)為同一機(jī)臺(tái)，是可行的，若分設(shè)于兩種機(jī)臺(tái)，反而浪費(fèi)無塵室寶貴空間，及設(shè)備購置成本的大幅增加。
基于上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)且為節(jié)省制程時(shí)間，本實(shí)用新型人對(duì)制程設(shè)備進(jìn)行廣泛研究，因而完成本實(shí)用新型。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型主要目的是提供一種兼具線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)功能且所占空間更為精簡(jiǎn)的單一設(shè)備。
為了達(dá)到上述目的及其他目的，本實(shí)用新型提供一種線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，該設(shè)備包括一機(jī)臺(tái)底座，用以支撐構(gòu)件；一基板承載臺(tái)，設(shè)置于該機(jī)臺(tái)底座上，用以放置及承載玻璃基板；一接觸探針檢測(cè)模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)，該接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)系用以帶動(dòng)該接觸探針，使該接觸探針接觸該玻璃基板的線路，以檢測(cè)線路缺陷；一非接觸式檢測(cè)模塊，具有非接觸式感測(cè)器，及非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)，該非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)系用以帶動(dòng)該非接觸式感測(cè)器，以非接觸方式檢測(cè)該玻璃基板的該線路缺陷，并與該接觸探針檢測(cè)模塊共同決定線路缺陷位置；及一激光修補(bǔ)模塊，具有激光修補(bǔ)頭及激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)，該激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)系用以帶動(dòng)激光修補(bǔ)頭，至該線路缺陷位置，并以激光方式修補(bǔ)該玻璃基板的該線路缺陷。
附圖簡(jiǎn)單說明
圖1為現(xiàn)有技術(shù)使用非接觸式感測(cè)器檢測(cè)基板線路開路缺陷的示意圖。
圖2為現(xiàn)有技術(shù)使用接觸式探針搭配非接觸式感測(cè)器檢測(cè)基板線路短路缺陷的示意圖。
圖3為現(xiàn)有技術(shù)的激光修補(bǔ)系統(tǒng)。
圖4為本實(shí)用新型的線路缺陷檢測(cè)修補(bǔ)設(shè)備的立體視圖。
圖5為本實(shí)用新型的接觸探針檢測(cè)模塊的立體視圖。
圖6為本實(shí)用新型的接觸探針檢測(cè)模塊的垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊放大立體視圖。
圖7為本實(shí)用新型的本實(shí)用新型的接觸探針檢測(cè)模塊的前后傳動(dòng)模塊的側(cè)視圖。
圖8為本實(shí)用新型的非接觸式檢測(cè)模塊的立體視圖。
圖9為本實(shí)用新型的非接觸式檢測(cè)模塊的立體視圖的垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊放大立體視圖。
圖10為本實(shí)用新型的激光修補(bǔ)模塊的立體視圖。
圖11為本實(shí)用新型依據(jù)步驟一以檢測(cè)及修補(bǔ)線路缺陷的設(shè)備動(dòng)作立體視圖。
圖12為本實(shí)用新型依據(jù)步驟二以檢測(cè)及修補(bǔ)線路缺陷的設(shè)備動(dòng)作立體視圖。
圖13為本實(shí)用新型依據(jù)步驟三以檢測(cè)及修補(bǔ)線路缺陷的設(shè)備動(dòng)作立體視圖。
圖14為本實(shí)用新型依據(jù)步驟四以檢測(cè)及修補(bǔ)線路缺陷的設(shè)備動(dòng)作立體視圖。
具體實(shí)施方式本實(shí)用新型的上述目的及其他目的將由下列較佳具體例配合附圖詳細(xì)說明變得更顯而易見。
首先介紹本實(shí)用新型設(shè)備的硬體構(gòu)件，現(xiàn)在請(qǐng)參見圖4，為本實(shí)用新型線路缺陷檢測(cè)修補(bǔ)設(shè)備的立體視圖，包含有機(jī)臺(tái)底座101，基板承載臺(tái)200，接觸探針檢測(cè)模塊300，非接觸式檢測(cè)模塊400及激光修補(bǔ)模塊500；機(jī)臺(tái)底座101及機(jī)臺(tái)支撐座102形成整體機(jī)臺(tái)的主要支撐，提供其他構(gòu)成模塊的置放空間，馬達(dá)支撐座103用來支撐并架高馬達(dá)。
基板承載臺(tái)200，大體為矩型平板狀，用來放置及夾持玻璃基板，其材料通常為透明材質(zhì)如玻璃或壓克力所構(gòu)成，透明材質(zhì)可方便于需要時(shí)，可于下方另外設(shè)置光源模塊(未繪于圖示)，可對(duì)基板進(jìn)行背面照光處理，以增加影像對(duì)比。
請(qǐng)參考圖4、圖5及圖6，接觸探針檢測(cè)模塊300，通常具有兩組，對(duì)稱配置，接觸探針305，置于感測(cè)測(cè)頭305a內(nèi)，用以接觸玻璃基板線路，以確認(rèn)基板的不良缺陷處，該接觸探針305及感測(cè)測(cè)頭305a系由垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301所帶動(dòng)，而可在垂直上下方向運(yùn)動(dòng)，該垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301的主要組成元件包含第一底板301a，線性滑軌組301b，伺服旋轉(zhuǎn)馬達(dá)301c，滾珠導(dǎo)螺桿301d，第二底板301e，透過線性滑塊(未繪于圖示)與線性滑軌組301b相連接，連結(jié)板301f連結(jié)第二底板301e及探針模塊感測(cè)器304；于是透過伺服旋轉(zhuǎn)馬達(dá)301c的帶動(dòng)可使接觸探針305相對(duì)玻璃基板做垂直上下的移動(dòng)。
接觸探針305除需相對(duì)基板可上下運(yùn)動(dòng)外，亦需相對(duì)基板可進(jìn)行水平移動(dòng)，一水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302，可用來達(dá)成此功能，其主要組成包括支撐橫梁3021，線性滑軌組3022，線性滑塊組3023，及一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3024，其中線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3024的主要組成包括馬達(dá)本體3024a，動(dòng)子3024b，及相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，線性馬達(dá)本體3024a則又內(nèi)含線性滑塊組(未繪于圖示)、位置感測(cè)器(未繪于圖示)及馬達(dá)定子(未繪于圖示)。一般習(xí)稱的線性馬達(dá)主要可分為線性步進(jìn)馬達(dá)，及線性伺服馬達(dá)；線性步進(jìn)馬達(dá)雖然推力較小，但可以開路控制方式(Open-loop control)進(jìn)行定位控制，結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，線性伺服馬達(dá)，主要組成元件通常包括成直線狀排列由材料為永久磁鐵的馬達(dá)定子，位置感測(cè)器如光學(xué)尺，滑軌滑塊組等支稱件，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)及硅鋼片內(nèi)置線圈所組成的動(dòng)子等元件所組成，動(dòng)子系與滑軌、滑塊等支稱件連結(jié)，可相對(duì)定子滑動(dòng)，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)透過動(dòng)子內(nèi)的線圈輸入電壓、電流等驅(qū)動(dòng)訊號(hào)給動(dòng)子，并使動(dòng)子與定子的磁場(chǎng)產(chǎn)生作用力，驅(qū)動(dòng)動(dòng)子前進(jìn)，并通過位置感測(cè)器的回饋訊號(hào)，調(diào)整驅(qū)動(dòng)電壓或電流以形成一閉回路定位控制系統(tǒng)(Close-loop control system)。
綜上所述，動(dòng)子3024b經(jīng)由驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)而相對(duì)馬達(dá)本體3024a移動(dòng)，又動(dòng)子3024b，與垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301的第一底板301a相連結(jié)，故整個(gè)垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301，可被水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)302所帶動(dòng)，而使接觸探針305，相對(duì)玻璃基板做水平左右的移動(dòng)。
接著，請(qǐng)參考圖7，接觸探針305可通過線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303而相對(duì)基板前后運(yùn)動(dòng)，該線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303，對(duì)稱配置基板承載臺(tái)外側(cè)，對(duì)稱中心大致為基板的中心線，其中的主要構(gòu)件，又包括馬達(dá)本體3031，動(dòng)子3032及其相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，動(dòng)子3033及其相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)(未繪于圖示)；如同前述水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302的線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3024的馬達(dá)本體3024a，馬達(dá)本體3031的組成亦包括滑軌滑塊組(未繪制于圖示)、位置感測(cè)器(未繪制于圖示)及馬達(dá)定子(未繪制于圖示)，而線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303與線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3024的不同處在于，線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303于單一馬達(dá)本體3031中連結(jié)兩個(gè)動(dòng)子3032以及3033及其分別相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)(未繪于圖示)，而動(dòng)子3032、3033可分別獨(dú)立受其驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)，亦即可分別獨(dú)立相對(duì)馬達(dá)本體3031運(yùn)動(dòng)，即一般業(yè)界所稱的單軸雙載子技術(shù)；相較于傳統(tǒng)的滾珠導(dǎo)螺桿配合旋轉(zhuǎn)馬達(dá)形式的線性傳動(dòng)系統(tǒng)，運(yùn)用線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)的單軸雙載子技術(shù)將大大減少機(jī)臺(tái)所占的面積。
線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303及水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302，可透過連結(jié)支撐座304加以連結(jié)，連結(jié)支撐座304分別連接線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303的動(dòng)子3032、3033及水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302的支撐橫梁3021使線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303能帶動(dòng)整個(gè)水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302前后運(yùn)動(dòng)；綜上所述，接觸探針305可通過探針垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301，水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊302及線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)303而相對(duì)玻璃基板上下前后左右移動(dòng)，使接觸探針305能隨不同的線路設(shè)計(jì)狀況而能與基板上的線路保持良好接觸，提供準(zhǔn)確的量測(cè)品質(zhì)。
現(xiàn)請(qǐng)參考圖8、圖9及
圖10，靜電電容耦合式感測(cè)器401，系由致動(dòng)器402的伸縮桿4021所帶動(dòng)而可貼近基板或遠(yuǎn)離基板，致動(dòng)器402與線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403的動(dòng)子4031連結(jié)，該線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403，使用單軸雙載子技術(shù)使之可分別具有兩動(dòng)子與致動(dòng)器連結(jié)，其主要組成包括定子4033，線性滑軌4032，及線性滑塊(未繪于圖示)，底座4034，線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403，可帶動(dòng)感測(cè)器401水平左右移動(dòng)。
線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403，與另一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404連結(jié)，線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404，亦采用前述的單軸雙動(dòng)子技術(shù)其主要組成包括馬達(dá)本體4041，及兩對(duì)動(dòng)子4042(如圖8所示)以及4043(如
圖10所示)及其相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電路系統(tǒng)(未繪制于圖示)，馬達(dá)本體4041的組成亦包括滑軌滑塊組(未繪制于圖示)、位置感測(cè)器(未繪制于圖示)及馬達(dá)定子(未繪制于圖示)，而線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403的底座4034即與線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404的其中一對(duì)動(dòng)子4042相連結(jié)，使線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404，得以驅(qū)動(dòng)線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403進(jìn)而可帶動(dòng)感測(cè)器前后移動(dòng)。
經(jīng)由上述的非接觸式感測(cè)器或搭配接觸探針檢測(cè)出線路缺陷點(diǎn)座標(biāo)后，可使用激光方式對(duì)于該線路缺陷點(diǎn)座標(biāo)的短路缺陷(Short defect)切斷造成短路的異物，進(jìn)而修補(bǔ)基板。
請(qǐng)參考
圖10，激光修補(bǔ)頭501，其內(nèi)含激光產(chǎn)生系統(tǒng)，用以產(chǎn)生具功率的激光以切斷短路金屬異物，其中亦可再包括光學(xué)顯微放大組件(未繪于圖示)，以提供切斷時(shí)的影像，激光修補(bǔ)頭501，需要一傳動(dòng)系統(tǒng)連結(jié)帶動(dòng)至線路缺陷點(diǎn)位置以發(fā)揮其功能，激光修補(bǔ)頭501與一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)502的動(dòng)子5021連結(jié)，該線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)502，其主要組成包括定子5022，滑軌5023，及滑塊，底座5024，線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)502，可帶動(dòng)激光修補(bǔ)頭501水平左右移動(dòng)。
線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)502，與另一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404連結(jié)，進(jìn)而可帶動(dòng)激光修補(bǔ)頭501前后移動(dòng)。
另外線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)404，透過動(dòng)子4042、4043分別連結(jié)線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)502及線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)403，故于單一馬達(dá)本體4041可分別獨(dú)立驅(qū)動(dòng)控制靜電電容耦合式感測(cè)器401及激光修補(bǔ)頭501，相對(duì)玻璃基板移動(dòng)，相較于一般慣用的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)加上滾珠導(dǎo)螺桿的組合，可大幅節(jié)省傳動(dòng)所需構(gòu)件，進(jìn)而減小機(jī)臺(tái)尺寸，節(jié)省無塵室空間。
接下來介紹使用上述設(shè)備于液晶顯示器玻璃基板線路缺陷檢測(cè)及修補(bǔ)的方法，以線路的短路缺陷(short defect)為例，請(qǐng)參考
圖11至
圖14。
(1)首先，如
圖11所示，先通過傳輸系統(tǒng)如機(jī)械手臂等將已完成金屬線路，待檢測(cè)的玻璃基板10載入機(jī)臺(tái)，放置并夾持于基板承載臺(tái)200。
(2)參考
圖12，利用傳動(dòng)系統(tǒng)301、傳動(dòng)系統(tǒng)302及傳動(dòng)系統(tǒng)303帶動(dòng)接觸探針305，以正確接觸玻璃基板10上的金屬線路并使用傳動(dòng)系統(tǒng)402、傳動(dòng)系統(tǒng)403及傳動(dòng)系統(tǒng)404帶動(dòng)非接觸式感測(cè)器401能貼近玻璃基板10至適當(dāng)距離，以檢測(cè)出線路短路缺陷，并決定線路缺陷位置。
(3)參考
圖13，非接觸式感測(cè)器401以及接觸探針305退回原來位置之后，激光修補(bǔ)模頭501經(jīng)由傳動(dòng)系統(tǒng)502及傳動(dòng)系統(tǒng)404帶動(dòng)至線路短路缺陷位置，以激光方式切斷造成短路的異物，使該區(qū)域變成正常的區(qū)域。
(4)參考
圖14，修補(bǔ)完線路缺陷后，激光修補(bǔ)模頭501退回至原來位置，利用傳輸系統(tǒng)如機(jī)械手臂等將玻璃基板10移出，機(jī)臺(tái)回至初始狀態(tài)，等待下一片待測(cè)基板。
因此通過上述的設(shè)備及方法，與現(xiàn)有的技術(shù)相比較，本實(shí)用新型具備下列優(yōu)點(diǎn)
1.單一機(jī)臺(tái)雙種功能，節(jié)省制程步驟及工時(shí)。
2.玻璃基板檢測(cè)完畢至激光修補(bǔ)制程工序之間，無須搬運(yùn)及載卸過程，可減少工程意外及不良率。
3.機(jī)臺(tái)制作構(gòu)件大量節(jié)省，可大幅降低建廠成本，適合標(biāo)準(zhǔn)量產(chǎn)線配置。
本實(shí)用新型已通過上述的較佳具體例以及附圖加以詳細(xì)說明，但所揭示的具體例僅用以說明本實(shí)用新型，不用以限制本實(shí)用新型的范圍不以上述實(shí)施例為限。凡在本實(shí)用新型精神及申請(qǐng)范圍內(nèi)所作的各種變化、改良均屬本實(shí)用新型的范圍。
圖號(hào)簡(jiǎn)單說明10玻璃基板11資料線12掃瞄線 20線路開路缺陷點(diǎn)30線路短路缺陷點(diǎn) 13感測(cè)器14感測(cè)器 40接觸墊50接觸探針60X-Y傳動(dòng)平臺(tái)70激光修補(bǔ)頭 101 機(jī)臺(tái)底座102 機(jī)臺(tái)支撐座 103 馬達(dá)支撐座200 基板承載臺(tái) 300 接觸探針檢測(cè)模塊301 垂直運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊301a 第一底板301b 線性滑軌組 301c 伺服旋轉(zhuǎn)馬達(dá)301d 滾珠導(dǎo)螺桿 301e 第二底板301b 線性滑軌組 301f 連結(jié)板302 水平運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)模塊3021 支撐橫梁3022 線性滑軌組 3023 線性滑塊組3024 線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3024a 馬達(dá)本體3024b 動(dòng)子
303 線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)3031 馬達(dá)本體3032 動(dòng)子3033 動(dòng)子304 連結(jié)支撐座305 接觸探針305a 感測(cè)測(cè)頭400 非接觸式檢測(cè)模塊401 靜電電容耦合式感測(cè)器402 致動(dòng)器4021 伸縮桿403 線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)4031 動(dòng)子4032 滑軌4033 定子4034 底座404 線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)4041 馬達(dá)本體4042 動(dòng)子4043 動(dòng)子500 激光修補(bǔ)模塊501 激光修補(bǔ)頭502 線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)5021 動(dòng)子5022 定子5023 滑軌5024 底座
權(quán)利要求1.一種平面顯示器的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，該設(shè)備檢測(cè)玻璃基板的線路缺陷并對(duì)該線路缺陷進(jìn)行激光修補(bǔ)，該設(shè)備包括機(jī)臺(tái)底座，該機(jī)臺(tái)底座支撐構(gòu)件；基板承載臺(tái)，設(shè)置于該機(jī)臺(tái)底座上，該基板承載臺(tái)放置及承載玻璃基板；接觸探針檢測(cè)模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)，該接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該接觸探針，使該接觸探針接觸該玻璃基板的線路，以檢測(cè)線路缺陷；非接觸式檢測(cè)模塊，具有非接觸式感測(cè)器，及非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)，該非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該非接觸式感測(cè)器，以非接觸方式檢測(cè)該玻璃基板的該線路缺陷，并與該接觸探針檢測(cè)模塊共同決定線路缺陷位置；及激光修補(bǔ)模塊，具有激光修補(bǔ)頭及激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)，該激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)激光修補(bǔ)頭，至該線路缺陷位置，并以激光方式修補(bǔ)該玻璃基板的該線路缺陷。
2.如權(quán)利要求1所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)包括接觸探針垂直傳動(dòng)系統(tǒng)，具有傳動(dòng)元件，該垂直傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該接觸探針相對(duì)該玻璃基板垂直上下運(yùn)動(dòng)；接觸探針?biāo)絺鲃?dòng)系統(tǒng)，具有傳動(dòng)元件，該水平傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該接觸探針相對(duì)該玻璃基板水平左右運(yùn)動(dòng)；及接觸探針前后傳動(dòng)模塊，具有傳動(dòng)元件，該前后傳動(dòng)模塊帶動(dòng)該接觸探針相對(duì)該玻璃基板前后運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)包括非接觸檢測(cè)垂直傳動(dòng)系統(tǒng)，具有傳動(dòng)元件，該非接觸檢測(cè)垂直傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該非接觸式感測(cè)器相對(duì)該玻璃基板垂直上下運(yùn)動(dòng)；非接觸檢測(cè)水平傳動(dòng)系統(tǒng)，具有傳動(dòng)元件，該非接觸檢測(cè)水平傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)該非接觸式感測(cè)器相對(duì)該玻璃基板水平左右運(yùn)動(dòng)；及第一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)，其中包括一馬達(dá)本體、第一動(dòng)子及第二動(dòng)子，其中該第一動(dòng)子與該非接觸檢測(cè)水平傳動(dòng)系統(tǒng)連結(jié)。
4.如權(quán)利要求1所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)包括激光修補(bǔ)水平傳動(dòng)模塊，具有傳動(dòng)元件，該激光修補(bǔ)水平傳動(dòng)模塊帶動(dòng)該激光修補(bǔ)頭相對(duì)該玻璃基板水平左右運(yùn)動(dòng)；及第一線性馬達(dá)定位傳動(dòng)系統(tǒng)，其中包括一馬達(dá)本體、第一動(dòng)子及第二動(dòng)子，其中該第二動(dòng)子與該激光修補(bǔ)水平傳動(dòng)系統(tǒng)連結(jié)。
5.如權(quán)利要求1所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該非接觸式感測(cè)器為靜電電容耦合式。
6.如權(quán)利要求2所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該接觸探針垂直傳動(dòng)系統(tǒng)的傳動(dòng)元件包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、導(dǎo)螺桿及滑軌滑塊組，該接觸探針前后傳動(dòng)模塊的傳動(dòng)元件包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、導(dǎo)螺桿及滑塊滑軌組。
7.如權(quán)利要求2所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該接觸探針?biāo)絺鲃?dòng)系統(tǒng)的傳動(dòng)元件包括線性馬達(dá)，該接觸探針前后傳動(dòng)模塊的傳動(dòng)元件包括線性馬達(dá)。
8.如權(quán)利要求3所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該非接觸檢測(cè)垂直傳動(dòng)系統(tǒng)的傳動(dòng)元件包括汽缸或線性致動(dòng)器。
9.如權(quán)利要求3或4所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該非接觸檢測(cè)水平傳動(dòng)系統(tǒng)的傳動(dòng)元件包括線性馬達(dá)，該激光修補(bǔ)水平傳動(dòng)模塊的傳動(dòng)元件包括線性馬達(dá)。
10.如權(quán)利要求4所述的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備，其特征在于，該激光修補(bǔ)水平傳動(dòng)模塊的傳動(dòng)元件包括旋轉(zhuǎn)馬達(dá)、導(dǎo)螺桿及滑塊滑軌組。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種平面顯示器的線路缺陷檢測(cè)及激光修補(bǔ)設(shè)備。該設(shè)備包括一機(jī)臺(tái)底座，一基板承載臺(tái)，用以放置及承載玻璃基板；一接觸探針檢測(cè)模塊，具有接觸探針，及接觸探針傳動(dòng)系統(tǒng)；一非接觸式檢測(cè)模塊，具有非接觸式感測(cè)器，及非接觸檢測(cè)傳動(dòng)系統(tǒng)，及一激光修補(bǔ)模塊，具有激光修補(bǔ)頭及激光修補(bǔ)傳動(dòng)系統(tǒng)并以激光方式修補(bǔ)該玻璃基板的該線路缺陷。
文檔編號(hào)G02F1/1333GK2727784SQ20042000643
公開日2005年9月21日 申請(qǐng)日期2004年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月26日
發(fā)明者廖國廷, 李國魁, 朱俊杰 申請(qǐng)人:廣輝電子股份有限公司