專利名稱：多色濾光片制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種濾光片制作方法，尤其是關(guān)于一種用于成像系統(tǒng)的濾光片制作方法。
背景技術(shù)：
隨著多媒體技術(shù)的發(fā)展，數(shù)碼相機(jī)、攝影機(jī)越來越為廣大消費(fèi)者青睞，在人們對數(shù)碼相機(jī)、攝影機(jī)追求小型化的同時(shí)，對其拍攝出物體的影像質(zhì)量提出更高的要求，即希望拍攝物體的影像畫面清晰，而物體的成像質(zhì)量在很大程度上取決于數(shù)碼相機(jī)內(nèi)各光學(xué)儀器的優(yōu)劣。
數(shù)碼相機(jī)一般包括透鏡或透鏡組及影像感測組件(電荷耦合器ChargeCoupled Device，下稱CCD，或者補(bǔ)充性氧化金屬半導(dǎo)體ComplementaryMetal-Oxide Semiconductor，下稱CMOS)，由于CCD或CMOS影像感測組件的波長感應(yīng)光譜范圍約為350～1500nm，而可見光的波長范圍為400～700nm，故若波長范圍大于700nm的光能量照射至CCD或CMOS影像感測組件將造成此部份感測組件的影像三原色RGB(紅、綠、藍(lán))中影像能量判讀錯(cuò)誤，導(dǎo)致所拍攝的影像色彩失真。
為解決以上所述的色彩失真問題，數(shù)碼相機(jī)通常通過一濾光片來濾除照射至CCD或CMOS影像感測組件的紅外光能量，此種數(shù)碼相機(jī)包括透鏡或透鏡組、一紅外截止濾光片(IR-cut Filter)、一CCD或CMOS影像感測組件，紅外截止濾光片用以阻止紅外線通過，避免于正常拍攝時(shí)紅外線入射至影像感測單元干擾產(chǎn)生噪點(diǎn)，以利于色彩還原。
此外，于光學(xué)成像系統(tǒng)中還經(jīng)常使用低通濾波片(low-pass filter)、抗反射濾波片(anti-reflection coating filter)及各種顏色的彩色濾波片(color filter)等。然，市場上的濾波片一般是單片單色是，并不能隨著使用者的用途而作變化，造成當(dāng)使用者欲使用多色或處理多色圖案時(shí)，需要使用多片不同色彩的濾光片，相當(dāng)?shù)睦_。
有鑒于此，提供一種單片多色濾光片制作方法實(shí)為必要。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種單片多色濾光片制作方法。
為了實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的，提供一種多色濾光片制作方法，包括以下步驟提供一基板置于真空蒸鍍腔內(nèi)；
于該基板下方設(shè)置一具有多個(gè)開孔的修正板，該修正板的各開孔邊緣的厚度不同；將蒸鍍源設(shè)置于修正板的下方；將真空蒸鍍腔內(nèi)抽真空；利用真空蒸鍍法于基板表面形成一單片多色濾光片。
相較現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明多色濾光片制作方法由于設(shè)置一具有多個(gè)開孔的修正板于基板下方，則從蒸鍍源蒸發(fā)的粒子通過此多個(gè)開孔而鍍于基板表面，由于該多個(gè)開孔邊緣的修正板厚度不同，從而造成基板的不同區(qū)域上，同一時(shí)間鍍上不同厚度的膜層，藉此可獲得單片多色濾光片。

圖1是本發(fā)明多色濾光片制作方法采用的真空蒸鍍系統(tǒng)內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明多色濾光片制作方法采用的真空蒸鍍系統(tǒng)的修正板示意圖。
具體實(shí)施方式
請參閱圖1及圖2所示，本發(fā)明多色濾光片制作方法所采用的真空蒸鍍系統(tǒng)內(nèi)包括一基板10、一修正板12及一蒸鍍源13。該基板10固定于真空蒸鍍系統(tǒng)內(nèi)的最上方，一般為一平板狀玻璃板。修正板12位于基板10下方，該修正板12為一具有多個(gè)開孔120的平板，該多個(gè)開孔120邊緣的修正板厚度是根據(jù)所需要得到的彩色濾光片的色彩波長所確定。蒸鍍源13位于修正板12下方，其下方還設(shè)有電子槍14，于電子束轟擊時(shí)該蒸鍍源13可揮發(fā)出大量粒子沉積于基板表面。
本發(fā)明多色濾光片制作方法的具體步驟如下提供一基板10，先用清潔劑將該基板10表面清洗干凈，然后將該基板10放入丙酮溶液中以超聲波震蕩清洗，持續(xù)時(shí)間約20分鐘，然后將其放入乙醇溶液中以超聲波震蕩清洗，持續(xù)時(shí)間約為10分鐘，最后通過氮?dú)鈽寣⒃摶?0噴干。
將該基板10安裝于真空蒸鍍腔內(nèi)的最上方，將具有多個(gè)開孔120的修正板12安裝于基板10下方，然后將蒸鍍源13設(shè)置于修正板12的下方，于蒸鍍源13下方安裝好電子槍14，對真空腔內(nèi)抽真空至真空度為10-6托(torr)，然后通入氬氣至真空度為10-3托，以300V的偏壓利用等離子清洗基板表面，持續(xù)時(shí)間應(yīng)為10-20分鐘。
最后，打開電子槍14電源，開始對基板10進(jìn)行真空蒸鍍，由蒸鍍源轟擊出的粒子通過修正板12的多個(gè)開孔120后鍍于基板10表面，由于該多個(gè)開孔120邊緣的修正板厚度不同，故透過不同開孔120的粒子于基板10表面不同區(qū)域上，在同一時(shí)間內(nèi)可鍍上不同厚度的膜層，而由于各區(qū)域膜層厚度不同，造成各區(qū)域所濾色彩亦不同，由此，可制得一種單片多色濾光片。
權(quán)利要求
1.一種多色濾光片制作方法，其特征在于其包括以下步驟提供一基板置于真空蒸鍍腔內(nèi)；于該基板下方設(shè)置一具有多個(gè)開孔的修正板，該修正板的各開孔邊緣的厚度不同；將蒸鍍源設(shè)置于修正板下方；將真空蒸鍍腔內(nèi)抽真空；利用真空蒸鍍法于基板表面形成一單片多色濾光片。
2.如權(quán)利要求1所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該基板為一平板狀玻璃板。
3.如權(quán)利要求1所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該蒸鍍源下方設(shè)有一電子槍。
4.如權(quán)利要求1所述的多色濾光片制作方法，其特征在于真空蒸鍍前需對基板進(jìn)行清洗。
5.如權(quán)利要求4所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該清洗包括于丙酮溶液中以超聲波震蕩清洗。
6.如權(quán)利要求5所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該超聲波清洗時(shí)間為20分鐘。
7.如權(quán)利要求4所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該清洗還包括于乙醇溶液中以超聲波震蕩清洗。
8.如權(quán)利要求7所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該超聲波清洗時(shí)間為10分鐘。
9.如權(quán)利要求4所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該清洗還包括等離子清洗。
10.如權(quán)利要求9所述的多色濾光片制作方法，其特征在于該等離子清洗時(shí)間為10-20分鐘。
全文摘要
一種多色濾光片制作方法，包括以下步驟提供一基板設(shè)于真空蒸鍍腔內(nèi)；于該基板下方設(shè)置一具有多個(gè)開孔的修正板，該修正板的各開孔邊緣的厚度不同；將蒸鍍源設(shè)置于該修正板下方；將真空蒸鍍腔內(nèi)抽真空；利用真空蒸鍍法于基板表面形成一單片多色的濾光片。
文檔編號G02B5/23GK1800887SQ200510032760
公開日2006年7月12日 申請日期2005年1月7日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月7日
發(fā)明者張慶州 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司