專(zhuān)利名稱(chēng)：大型防護(hù)膠膜組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于避免液晶顯示器等制造時(shí)的微塵，邊長(zhǎng)30cm以上的四邊形或者直徑30cm以上圓形的大型防護(hù)膠膜框體以及使用此框體的光刻用大型防護(hù)膠膜組件。
背景技術(shù)：
近年來(lái)液晶面板的制造持續(xù)長(zhǎng)足的進(jìn)步，曝光光罩大型化的同時(shí)，圖形的集成度也持續(xù)提高。此時(shí)如果異物(微塵)附著于以光對(duì)曝光光罩照射進(jìn)行圖形制作時(shí)所用的曝光光罩，微塵會(huì)將光遮蔽、曲折，使微塵被轉(zhuǎn)印，或造成圖形變形、邊界不平整，使白底變黑，尺寸、質(zhì)量外觀等受損，而產(chǎn)生液晶面板性能及制造產(chǎn)率降低的問(wèn)題。于此，「曝光光罩」意涵系指液晶面板用的曝光光罩外，亦包括半導(dǎo)體用光罩等，包括初縮光罩(reticle)、光罩(photomask)。
因此，雖然此等作業(yè)一般在無(wú)塵室中進(jìn)行，但曝光光罩在無(wú)塵室內(nèi)要一直完全保持潔凈也很困難。因此，將曝光光罩表面自防護(hù)膠膜組件框體分開(kāi)數(shù)毫米(mm)的間隔，使用張?jiān)O(shè)了曝光用光源能容易通過(guò)的防護(hù)膠膜膜片的大型防護(hù)膠膜組件，以于使用中即使異物附著而焦點(diǎn)偏移，在抗蝕膜也不會(huì)發(fā)生缺陷的方法來(lái)進(jìn)行。
于此情形下，因異物不會(huì)直接附著于光罩的表面，而附著于防護(hù)膠膜組件上，光刻時(shí)，如果將照射光的焦點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)吻合光罩上的圖形，防護(hù)膠膜上的異物便與圖形轉(zhuǎn)印沒(méi)有關(guān)系。此防護(hù)膠膜組件的防護(hù)膠膜膜片，是使用透光性良好的由硝化纖維素、醋酸纖維素、非晶質(zhì)氟系樹(shù)脂等形成的透明膜片，利用丙烯酸樹(shù)脂及環(huán)氧樹(shù)脂等接著劑，將此等膜接著于由鋁、不銹鋼、鐵或其它金屬所形成的防護(hù)膠膜框體的上側(cè)面(請(qǐng)參考專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2)。通常于防護(hù)膠膜框體的下側(cè)面，為了安裝曝光光罩，設(shè)置有作為黏接層的丙烯酸系黏接劑形成的兩面膠帶，并且具有用以保護(hù)此黏著層的隔離層。
一般而言，將大型防護(hù)膠膜組件貼附于曝光光罩的制作工藝如下所述。
將保護(hù)大型防護(hù)膠膜組件黏接層的隔離層剝離，放置于曝光光罩的防護(hù)膠膜組件貼附位置，接著在防護(hù)膠膜框體上側(cè)面的外側(cè)放置能施壓的貼附工裝夾具，透過(guò)工裝夾具對(duì)曝光光罩施加負(fù)荷。于此使用的貼附工裝夾具設(shè)計(jì)為不會(huì)施力于防護(hù)膠膜膜片，而加重于防護(hù)膠膜框體上側(cè)面外周部份。
再者，使用大型防護(hù)膠膜組件貼附機(jī)臺(tái)(例如，M515L(商品名)松下精機(jī)股份有限公司制等)，在將大型防護(hù)膠膜組件貼附于曝光光罩的時(shí)候，亦會(huì)使用貼附工裝夾具。此貼附工裝夾具如先前所述貼附工裝夾具的原理相同，亦能不接觸防護(hù)膠膜膜片而對(duì)防護(hù)膠膜框架(防護(hù)膠膜框體)的上側(cè)面施壓，具有能于防護(hù)膠膜框體上側(cè)面的外周部份施壓的構(gòu)造。
如上述已貼附于曝光光罩的防護(hù)膠膜組件，雖于光刻工程時(shí)使用，但使用完了或防護(hù)膠膜膜片破損時(shí)，抑是被特定數(shù)量或特定大小以上的異物等污染時(shí)，便必需將此防護(hù)膠膜組件自曝光光罩剝離。
大型防護(hù)膠膜組件與半導(dǎo)體的此防護(hù)膠膜組件相較之下，設(shè)定的黏接強(qiáng)度較高，因而剝離變得非常困難。并且現(xiàn)行使用由兩面膠帶形成的黏接劑層貼附于曝光光罩，剝離時(shí)以有機(jī)溶劑等泡脹，以割裁刀具等將黏接劑層切開(kāi)自曝光光罩將防護(hù)膠膜組件分離。
依據(jù)上述方法將大型防護(hù)膠膜組件自曝光光罩分離時(shí)候，曝光光罩的表面將嚴(yán)重地被污染，之后曝光光罩的洗凈不僅極為費(fèi)力，依視情況亦有無(wú)法去除污染而導(dǎo)致高價(jià)的曝光光罩無(wú)法使用的情形。
例如已公開(kāi)的申請(qǐng)案(專(zhuān)利文獻(xiàn)3)，設(shè)計(jì)成黏接劑一部份自防護(hù)膠膜框體外周部份向外側(cè)突出的構(gòu)造，防護(hù)膠膜組件剝離時(shí)將其向框架外側(cè)方向抽出而剝離的方法。本發(fā)明者雖亦就以上述方法對(duì)防護(hù)膠膜組件進(jìn)行種種的檢討，但如僅采用上述方法，則黏接劑將破裂，或剝離后黏接劑殘?jiān)鼘⒍嗔康貧堄嘤谄毓夤庹稚?，就高黏接?qiáng)度大型防護(hù)膠膜組件而言不必然能得到良好的結(jié)果。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1美國(guó)專(zhuān)利第4,861,402號(hào)說(shuō)明書(shū)專(zhuān)利文獻(xiàn)2日本特公昭63-27707號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3日本特開(kāi)平9-54424號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為了解決如上所述傳統(tǒng)技術(shù)的問(wèn)題，其目的在于提供一種大型防護(hù)膠膜組件，其能夠不使用溶劑等且不伴隨黏接劑凝集破壞之下，將防護(hù)膠膜組件自曝光光罩分離。
上述課題的完成，是借由一種防護(hù)膠膜組件，包括防護(hù)膠膜框體，具有上側(cè)面與下側(cè)面，呈邊長(zhǎng)30cm以上的四邊形或直徑30cm以上的圓形；防護(hù)膠膜片，張?jiān)O(shè)于該防護(hù)膠膜框體上側(cè)面；及，黏接層，于該防護(hù)膠膜框體下側(cè)面，用以貼附防護(hù)膠膜框體與曝光光罩，其特征為該黏接層具有將該黏接層自防護(hù)膠膜框體或曝光光罩剝離時(shí)，不會(huì)發(fā)生凝集破壞的凝集破斷強(qiáng)度。
依據(jù)本發(fā)明，借使用凝集力高的樹(shù)脂為大型防護(hù)膠膜組件下側(cè)面設(shè)置的黏接層，并具備一定以上的厚度，使自曝光光罩將黏接層剝離的作業(yè)變得容易，并且能有效減低對(duì)曝光光罩的污染，再者，亦能防止曝光光罩變得無(wú)法使用。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提供一種防護(hù)膠膜組件，包括(1)防護(hù)膠膜框體，具有上側(cè)面與下側(cè)面，為邊長(zhǎng)30cm以上的四邊形；防護(hù)膠膜膜片，張?jiān)O(shè)于該防護(hù)膠膜框體上側(cè)面；以及黏接層，于該防護(hù)膠膜框體下側(cè)面，用以貼附防護(hù)膠膜框體與曝光光罩；其特征為該黏接層的厚度為400μm以上，且該黏接層具有將該黏接層自防護(hù)膠膜框體或曝光光罩剝離時(shí)，不會(huì)發(fā)生凝集破壞的凝集破斷強(qiáng)度。
以下，列舉上述本發(fā)明(1)的優(yōu)選實(shí)施例，但本發(fā)明不限定于該等實(shí)施例。
(2)如(1)的防護(hù)膠膜組件，其中，該黏接層的凝集破斷強(qiáng)度于以30mm/min的速度拉伸時(shí)，為20g/mm2以上；(3)如(1)或(2)的防護(hù)膠膜組件，其中，該黏接層僅由黏接劑所構(gòu)成；(4)如第(1)至(3)項(xiàng)中任一所述的防護(hù)膠膜組件，其中，該黏接層的厚度在400μm以上；(5)如第(1)至(4)項(xiàng)中任一所述的防護(hù)膠膜組件，其中，該黏接層由硅酮樹(shù)脂所形成。
有關(guān)本發(fā)明的構(gòu)造，以圖1簡(jiǎn)單說(shuō)明之。此防護(hù)膠膜組件10，優(yōu)選者是由具有上側(cè)面與下側(cè)面的四邊形防護(hù)膠膜框體3，及于此防護(hù)膠膜框體3上側(cè)面所張?jiān)O(shè)的防護(hù)膠膜膜片1而大致構(gòu)成。此防護(hù)膠膜膜片1通常介由接著層2接著于防護(hù)膠膜框體3的上側(cè)面。同時(shí)，于防護(hù)膠膜框體3的下側(cè)面，設(shè)置有為將防護(hù)膠膜組件10對(duì)曝光光罩5貼緊的黏接層4。
本發(fā)明者為找出大型護(hù)膠膜組件所使用的黏著層能順利剝離的所應(yīng)具備的要件，對(duì)各種黏接層反復(fù)試驗(yàn)，結(jié)果發(fā)現(xiàn)該黏接層具有將該黏接層自防護(hù)膠膜框體或曝光光罩剝離時(shí)，不會(huì)發(fā)生凝集破壞的凝集破斷強(qiáng)度是重要的，而完成本發(fā)明。
具體而言，較該黏接層佳為如前述(1)所記載的防護(hù)膠膜組件，凝集破斷強(qiáng)度當(dāng)以30mm/min的速度拉伸時(shí)，為20g/mm2以上。
凝集破斷強(qiáng)度是另外制作具有矩形截面積(S)的黏接層試樣，由拉伸試驗(yàn)的結(jié)果所決定，使用萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)，以30mm/min的速度拉伸，記錄受試試樣至破裂為止所需最大的負(fù)荷(W)。所欲得的凝集破斷強(qiáng)度是以W/S算出。截面積是使用拉伸前的截面積，算出所欲求的凝集破斷強(qiáng)度。
該黏接層的凝集破斷強(qiáng)度為大于20g/mm2以上的情形下，剝離防護(hù)膠膜組件時(shí)，可得到于曝光光罩表面殘余較少黏著劑黏著殘?jiān)牧己媒Y(jié)果。凝集破斷強(qiáng)度并未有特定的上限，雖然愈強(qiáng)則黏著層剝離處理欲容易，但以20～200g/mm2的范圍較為實(shí)用。
再者，該黏著層優(yōu)選為如前述(1)或(2)的防護(hù)膠膜組件，使用僅由黏接劑所構(gòu)成者。亦即該黏著層不具有于通常兩面黏著膠帶所見(jiàn)膠帶基材(如約50μm厚的PET等)。只是，本發(fā)明使用黏接層為因應(yīng)必要，不排除包括硬化促進(jìn)劑(白金化合物，過(guò)氧化物等)、黏著改良劑等一種以上的添加劑或填充劑。
另外，該黏接層優(yōu)選為如(1)至(3)中任一所述的防護(hù)膠膜組件，厚度為400μm以上。該黏接層的厚度愈厚，剝離處理容許度愈大，因此無(wú)特定的上限，但考慮材料使用的經(jīng)濟(jì)性，以厚度400～2,000μm的前述防護(hù)膠膜組件較為適合。
黏接層則以聚丁烯樹(shù)脂、聚乙酸乙烯酯樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂、硅酮樹(shù)脂等黏接劑的使用較為適合。再者，曝光光罩只要是初縮光罩、光罩等提供于光刻用者即可。
于本發(fā)明使用的黏接層，以由硅酮樹(shù)脂形成者為佳。使用硅酮樹(shù)脂的黏接層，對(duì)于防護(hù)膠膜框體以及曝光光罩具有良好的感壓黏接性，且光安定性良好。
于此的硅酮樹(shù)脂系公知者，例如，記載于三田達(dá)監(jiān)修「高分子大辭典」丸善發(fā)行(1994年)，473～482頁(yè)以及此處引用的文獻(xiàn)。
硅酮樹(shù)脂為以(RnSiO(4-n)/2)m表示的合成高分子，于此n＝1～3、m 2，R以甲基或苯基為代表。硅酮樹(shù)脂具有直鏈、分支鏈以及交聯(lián)構(gòu)造，因由均聚物或無(wú)規(guī)共聚物、嵌段共聚物所構(gòu)成的聚二甲基硅氧烷構(gòu)造等重復(fù)單位的化學(xué)構(gòu)造以及交聯(lián)密度等的全體構(gòu)造，表現(xiàn)出各種化學(xué)以及物理特性。
于本發(fā)明能優(yōu)選適用的硅酮黏接劑為將含有乙烯基的聚二甲基硅氧烷單位(Me)3SiO0.5(亦稱(chēng)為橡膠成分的M單位)以及由硅酮樹(shù)脂單位SiO2(Q單位)所構(gòu)成的聚硅氧烷(亦稱(chēng)為「MQ樹(shù)脂」)反應(yīng)而成的物質(zhì)。
硅酮黏接劑為，將由橡膠成分與硅酮樹(shù)脂成分形成的聚硅氧烷溶解于有機(jī)溶劑的黏接劑。硅酮黏接劑能使用于-60～250℃如此廣泛的溫度范圍，具有優(yōu)良的耐熱性、耐寒性、耐藥品性、電絕緣性以及耐水性。硅酮樹(shù)脂因橡膠成分與樹(shù)脂成分的種類(lèi)及該等的使用比例而特性有所不同。硅酮黏接劑涂抹于防護(hù)膠膜框體下側(cè)面后，如由加熱交聯(lián)反應(yīng)形成交聯(lián)構(gòu)造，則凝集破斷強(qiáng)度會(huì)提高。
硅酮黏接劑大致分為過(guò)氧化物硬化型以及加成硬化型。前者為一般用類(lèi)型，后者因具有更高的黏接力而優(yōu)選。加成硬化型硅酮黏接劑，不需要溶劑的預(yù)備干燥，為黏度20,000～70,000cP的半透明液體。加成硬化型硅酮樹(shù)脂于涂抹干燥后，如加熱交聯(lián)，則可提高凝集力。加成硬化型硅酮樹(shù)脂的硬化溫度為90～150℃，較過(guò)氧化物硬化型硅酮樹(shù)脂的硬化溫度150～180℃為低。
硅酮樹(shù)脂能自信越化學(xué)工業(yè)(股)等市面販賣(mài)品取得。
于本發(fā)明防護(hù)膠膜組件使用的黏接層，在將防護(hù)膠膜框體與曝光光罩的距離拉寬至黏接層厚度的3～10倍后，借此剝離的機(jī)會(huì)，能自曝光光罩分離。另外，防護(hù)膠膜框體與曝光光罩的距離適當(dāng)?shù)乩瓕捄螅茏苑雷o(hù)膠膜框體外側(cè)以機(jī)械方式，也能將包夾在防護(hù)膠膜框體與曝光光罩之間的黏接層出以去除。即便在該等去除的處理，黏接層破裂的不良情形亦不會(huì)發(fā)生。
防護(hù)膠膜框體的材質(zhì)，能使用例如鋁、鋁合金、陽(yáng)極化處理(alumite)的鋁、不銹鋼等。
防護(hù)膠膜框體為具有圓形帶狀壁或四邊形四側(cè)壁的框形狀，其截面以正方形或矩形為佳。如一邊或直徑的長(zhǎng)度超過(guò)30cm，雖未有特別的限制，但以40～150cm為代表。
防護(hù)膠膜框體的高度，雖未有特別的限制，以約1～15mm為代表。
防護(hù)膠膜框體具有上側(cè)面以及下側(cè)面，其等寬度雖未有特別的限制，一般為5～20mm，優(yōu)選為5～10mm。
防護(hù)膠膜框體上側(cè)面張?jiān)O(shè)的防護(hù)膠膜膜片，采用傳統(tǒng)的纖維素系等的透明樹(shù)脂膜。
LCD用防護(hù)膠膜組件及半導(dǎo)體用防護(hù)膠膜組件均同樣地，以能由短至長(zhǎng)波長(zhǎng)的曝光范圍廣泛使用的透明膜材較為適用。具體而言，例如有，四氟乙烯與偏氟乙烯的共聚物、四氟乙烯與六氟丙烯及偏氟乙烯的三元共聚物、四氟乙烯與具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的共聚物、或者是具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體聚合物等氟系聚合物。
此等膜材中，為非晶質(zhì)含氟聚合物的四氟乙烯與具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的共聚物(參照日本特開(kāi)平4-104155號(hào)公報(bào))，或者是具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的聚合物(賽脫普(旭硝子股份有限公司制、商品名))，于波長(zhǎng)為210nm～500nm具有良好的穿透性，而且即使長(zhǎng)時(shí)間使用亦不會(huì)產(chǎn)生光劣化現(xiàn)象、穿透率不會(huì)降低，具有優(yōu)越性，適于作為防護(hù)膠膜膜片。
對(duì)于固定防護(hù)膠膜膜片于防護(hù)膠膜框體所使用的接著劑層而言，只要是對(duì)防護(hù)膠膜框體金屬以及防護(hù)膠膜膜片具有良好接著性的接著劑能，即可適宜地使用。丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、氟樹(shù)脂以及前述的硅酮樹(shù)脂能做為此黏接劑的例舉。


圖1顯示防護(hù)膠膜組件構(gòu)成例的說(shuō)明圖。
主要組件符號(hào)說(shuō)明1防護(hù)膠膜膜片2接著層3防護(hù)膠膜框體4黏接層5曝光光罩10防護(hù)膠膜組件
具體實(shí)施例方式
以下，提出本發(fā)明的實(shí)施例以及比較例以說(shuō)明之。
并且，黏接劑凝集破斷強(qiáng)度的測(cè)定方法如下所示(黏接層凝集破斷強(qiáng)度的測(cè)定方法)制作黏接層厚度150μm，寬度30mm的受試試樣，使用萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)對(duì)此試樣以30mm/min的速度拉伸，記錄受試試驗(yàn)至破裂為止所需最大的負(fù)荷。
將所得的值除以受試試樣的截面積(0.15mm×30mm＝4.5mm2)，，作為黏接劑的凝集破斷強(qiáng)度。
(實(shí)施例1)將作為接著劑的硅黏接劑KR-3700(過(guò)氧化物交聯(lián)型硅酮黏接劑，信越化學(xué)工業(yè)(股份有限公司)制)的15％甲苯溶液，使用內(nèi)徑0.3mm針頭，以涂布機(jī)以使干燥厚度0.2mm且表面平滑的方式，涂抹于高度5.5mm、長(zhǎng)邊的寬度9.0mm、短邊的寬度7.0mm、外周長(zhǎng)邊782.0mm、外周短邊474.0mm的表面經(jīng)陽(yáng)極化處理的鋁合金制防護(hù)膠膜框體的上側(cè)面。另一方面，于防護(hù)膠膜框體的下側(cè)面，涂布相同的硅酮系黏著劑KR-3700，使寬度4mm、干燥厚度420μm，之后，于120℃加熱30分鐘，使接著劑以及黏著劑干燥硬化。
測(cè)定上述黏接層KR-3700凝集破斷強(qiáng)度的結(jié)果為51g/mm2。
其次準(zhǔn)備厚度4.0μm的賽脫普CTX-S型(旭硝子(股份有限公司)制)的薄膜，作為防護(hù)膠膜膜片，借稍早于防護(hù)膠膜框體上側(cè)面所涂抹的黏接劑固定之。將由此而得的防護(hù)膠膜組件放置于曝光光罩上特定的位置，設(shè)置能對(duì)防護(hù)膠膜框體上側(cè)面外周部份以4mm寬度施壓的貼附工裝夾具。并且經(jīng)由貼附工裝夾具，對(duì)防護(hù)膠膜框體施以70kg(686N)、3分鐘的加壓以對(duì)曝光光罩作貼附。
貼附24小時(shí)后，將工裝夾具插入于防護(hù)膠膜框體角隅部位附近，以杠桿原理將防護(hù)膠膜框體于曝光光罩上方提高約2mm。由于黏接劑牢固地黏著著曝光光罩，即使以上述杠桿原理將防護(hù)膠膜框體于曝光光罩上方提高約2mm，黏接層也只會(huì)伸長(zhǎng)。將防護(hù)膠膜框體與曝光光罩的距離更加拉寬，借此剝離的機(jī)會(huì)，從長(zhǎng)邊側(cè)開(kāi)始緩慢地將防護(hù)膠膜框體自曝光光罩剝離。剝離后，借由聚光檢查觀察的結(jié)果，除了于曝光光罩原先的黏接部分，看到些微的黏接層痕跡以外，看不到絲毫的污染。
亦有其它除去黏接層的方法。將防護(hù)膠膜框體與曝光光罩的距離更加拉寬后，以鑷子夾住伸長(zhǎng)的黏接劑部分，向防護(hù)膠膜框體外側(cè)方向拉出。于拉出約5cm處，切斷黏接層，以鑷子夾住一邊，沿著防護(hù)膠膜框體外周朝外側(cè)拉出。約花費(fèi)30秒自上述防護(hù)膠膜框體外周將黏接劑拉出完畢，便能輕易地將防護(hù)膠膜框體自曝光光罩除去。
觀察分離后曝光光罩的結(jié)果，僅稍微殘留黏接劑貼附的痕跡，確認(rèn)無(wú)黏接劑團(tuán)塊及損傷、污染的擴(kuò)大。
(實(shí)施例2)除黏接劑使用以KR3700/KR3701(信越化學(xué)工業(yè)(股份有限公司)制)＝3/2比例混合而成的黏接劑之外，與實(shí)施例1完全相同地制作防護(hù)膠膜組件。
貼附24小時(shí)后，與實(shí)施例1相同地實(shí)施剝離，剝離后的曝光光罩表面僅稍微殘留黏接劑貼附的痕跡，確認(rèn)無(wú)黏接劑的團(tuán)塊及損傷、污染的擴(kuò)大。
上述以KR3700/KR3701＝3/2比例混合而成黏接劑的凝集破斷強(qiáng)度，測(cè)定的結(jié)果為21g/mm2。
相較于KR3700，KR3701中含有乙烯基的聚二甲基硅氧烷單位較少，因而交聯(lián)密度較低。因此，于KR3700與KR3701的混合黏接劑中，如果KR3701的比例較多，則黏接劑的凝集力會(huì)降低。
(比較例1)除黏接劑使用KR3701的黏接劑之外，與實(shí)施例1相同地制作防護(hù)膠膜組件，貼附于曝光光罩。
貼附24小時(shí)后，與實(shí)施例1相同地實(shí)施剝離，黏接層破碎而附著于曝光光罩上。就此黏接層的情況為，到從防護(hù)膠膜框體剝離1圈為止，發(fā)生20次破碎，每次都附著在曝光光罩上。
觀察分離后曝光光罩的結(jié)果，于黏接劑破碎而附著部分觀察到黏接劑的污染。而且，黏接劑貼附部份黏接劑的污染多，且黏接層發(fā)生凝集破壞。
上述黏接劑KR3701的凝集破斷強(qiáng)度，測(cè)定的結(jié)果為13g/mm2。
(比較例2)除黏接劑使用以KR3700/KR3701＝1/1比例混合而成的黏接劑之外，與實(shí)施例1相同地制作防護(hù)膠膜組件，貼附于曝光光罩。
貼附24小時(shí)后，與實(shí)施例1相同地實(shí)施剝離，黏接層破碎而附著于曝光光罩上。就此黏接層的情況，到從防護(hù)膠膜框體剝離1圈為止，發(fā)生5次破碎，每次都附著在曝光光罩上。
觀察分離后曝光光罩的結(jié)果，于黏接劑破碎而附著部分能觀察到黏接劑的污染。而且，與實(shí)施例中實(shí)驗(yàn)的黏接劑比較，明顯地黏接劑貼附部份的痕跡殘存污染較多，黏接層似乎發(fā)生凝集破壞。
上述以KR3700/KR3701＝1/1比例混合而成黏接劑的凝集破斷強(qiáng)度，測(cè)定的結(jié)果為18g/mm2。
(比較例3)除黏接劑厚度定為350μm之外，與實(shí)施例1相同地制作防護(hù)膠膜組件，貼附于曝光光罩。
貼附24小時(shí)后，與實(shí)施例1相同地實(shí)施剝離，黏接層破碎地附著于曝光光罩上。就此黏接層的情況，到從防護(hù)膠膜框體剝離1圈為止，發(fā)生2次破碎，每次都附著在曝光光罩上。觀察分離后曝光光罩的結(jié)果，于黏接劑破碎地黏著部分能觀察到黏接劑的污染。惟其它部份的曝光光罩表面僅稍微殘留黏接劑貼附的痕跡，確認(rèn)無(wú)黏接劑的團(tuán)塊及損傷、污染的擴(kuò)大。
上述結(jié)果歸納以表1表示。
表1


并且，本發(fā)明并非限定于上述實(shí)施態(tài)樣。上述實(shí)施態(tài)樣系舉例說(shuō)明，具有與本發(fā)明申請(qǐng)專(zhuān)利范圍所記載的技術(shù)設(shè)計(jì)實(shí)質(zhì)同等的構(gòu)成、能發(fā)揮同樣作用效果者，均包括于本發(fā)明的技術(shù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種防護(hù)膠膜組件，包括防護(hù)膠膜框體，具有上側(cè)面與下側(cè)面，呈邊長(zhǎng)為30cm以上的四邊形或直徑30cm以上的圓形；防護(hù)膠膜膜片，張?jiān)O(shè)于該防護(hù)膠膜框體的上側(cè)面；及黏接層，于該防護(hù)膠膜框體下側(cè)面，用以貼附該防護(hù)膠膜框體與曝光光罩；其特征為該黏接層的厚度為400μm以上；且該黏接層具有將該黏接層自該防護(hù)膠膜框體或該曝光光罩剝離時(shí)，不會(huì)發(fā)生凝集破壞的凝集破斷強(qiáng)度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層的凝集破斷強(qiáng)度是以30mm/min的速度拉伸時(shí)，為20g/mm2以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層僅由黏接劑所構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，具有邊長(zhǎng)或直徑長(zhǎng)度為40至150cm的防護(hù)膠膜框體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層厚度的范圍處于400至2000μm之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層厚度的范圍處于400至800μm之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層是以含有選自于由聚丁烯樹(shù)脂、聚乙酸乙烯酯樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂以及硅酮樹(shù)脂所組成的族群的樹(shù)脂的黏接劑所構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層為以橡膠成分與硅酮樹(shù)脂成分形成的硅酮黏接劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該黏接層為借由形成交聯(lián)構(gòu)造而提高凝集破斷強(qiáng)度的硅酮黏接劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該防護(hù)膠膜框體具有約1至15mm的高度。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該防護(hù)膠膜膜片的膜材選自于由四氟乙烯與偏氟乙烯的共聚物、四氟乙烯與六氟丙烯及偏氟乙烯的三元共聚物、四氟乙烯與具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的共聚物以及具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體聚合物等氟系聚合物所組成的族群的聚合物所構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的防護(hù)膠膜組件，其特征在于，該防護(hù)膠膜膜片的膜材為非晶質(zhì)含氟聚合物的四氟乙烯與具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的共聚物，或者是具有環(huán)狀全氟醚基的含氟單體的聚合物(賽脫普(旭硝子股份有限公司制、商品名))。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型防護(hù)膠膜組件，其能夠于不使用溶劑等且不伴隨黏接劑凝集破壞下，將防護(hù)膠膜組件自曝光光罩分離。本發(fā)明的防護(hù)膠膜組件，包括防護(hù)膠膜框體，具有上側(cè)面與下側(cè)面，呈邊長(zhǎng)30cm以上的四邊形；防護(hù)膠膜膜片，張?jiān)O(shè)于該防護(hù)膠膜框體上側(cè)面；以及黏接層，于該防護(hù)膠膜框體下側(cè)面，用以貼附防護(hù)膠膜框體與曝光光罩；其特征為該黏接層具有將該黏接層自防護(hù)膠膜框體或曝光光罩剝離時(shí)，不會(huì)發(fā)生凝集破壞的凝集破斷強(qiáng)度。
文檔編號(hào)G03F1/62GK1779567SQ20051012674
公開(kāi)日2006年5月31日 申請(qǐng)日期2005年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月24日
發(fā)明者濱田裕一 申請(qǐng)人:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社