專利名稱：顯影液成分調(diào)整方法及其顯影系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種顯影系統(tǒng)，特別是關(guān)于一種能控制顯影液中光阻濃度的顯影系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在顯影制作工藝中，顯影液中的光阻成分(在顯影過(guò)程中從光阻圖案上所洗出的光阻材料)與顯影液的顯影效果有直接的關(guān)系。當(dāng)顯影液中的光阻濃度過(guò)低時(shí)，顯影液的顯影效果會(huì)降低，而無(wú)法準(zhǔn)確的顯影出光阻圖案。由于每道制作工藝之中所需處理的光阻圖案均不盡相同，且由于顯影液中的光阻成分來(lái)自于顯影過(guò)程中從光阻圖案上所洗出的光阻材料，因此，不同制作工藝中的顯影液光阻濃度會(huì)隨著光阻圖案的不同而變化。例如，在顯影介層孔(via)的光阻圖案時(shí)，由于介層孔(via)的光阻圖案簡(jiǎn)單，洗出的光阻材料極少，因此，在此制作工藝中顯影液的光阻成分將會(huì)過(guò)低，進(jìn)而影響顯影效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明即為了解決上述傳統(tǒng)技術(shù)的問(wèn)題，而提供一種顯影系統(tǒng)，包括一第一顯影機(jī)臺(tái)、一第二顯影機(jī)臺(tái)、一連通管以及一廢液槽。第一顯影機(jī)臺(tái)包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環(huán)槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液控制閥設(shè)于該第一廢液管之上。第二顯影機(jī)臺(tái)包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環(huán)槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液控制閥設(shè)于該第二廢液管之上。連通管連通該第一顯影液循環(huán)槽以及該第二顯影液循環(huán)槽。廢液槽連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
應(yīng)用本發(fā)明，可簡(jiǎn)便的控制顯影機(jī)臺(tái)中顯影液的光阻濃度，因此能維持顯影機(jī)臺(tái)的顯影效果，提升產(chǎn)品的良品率。


圖1顯示本發(fā)明的顯影系統(tǒng)；圖2a顯示補(bǔ)充第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻成分的情形；圖2b顯示補(bǔ)充第二顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻成分的情形；圖3顯示本發(fā)明的顯影系統(tǒng)設(shè)置有第三廢液管以及第四廢液管的情形；圖4a顯示清空第一顯影液循環(huán)槽的情形；圖4b顯示清空第一顯影液循環(huán)槽后，對(duì)第一顯影液循環(huán)槽補(bǔ)充顯影液的情形；圖5a顯示清空第二顯影液循環(huán)槽的情形；圖5b顯示清空第二顯影液循環(huán)槽后，對(duì)第二顯影液循環(huán)槽補(bǔ)充顯影液的情形。
符號(hào)說(shuō)明1～顯影系統(tǒng)10～廠務(wù)端11～第一顯影液補(bǔ)充管12～第二顯影液補(bǔ)充管20～連通管21～第一連通閥22～第二連通閥30～廢液槽100～第一顯影機(jī)臺(tái)101～基板110～第一顯影槽111～第一顯影液收集管120～第一顯影液循環(huán)槽121～第一顯影液供給管122～第一泵123～第一光阻濃度感應(yīng)器131～第一廢液管132～第一廢液控制閥
141～第三廢液管142～第一廢液排放閥200～第二顯影機(jī)臺(tái)201～基板210～第二顯影槽211～第二顯影液收集管220～第二顯影液循環(huán)槽221～第二顯影液供給管222～第二泵223～第二光阻濃度感應(yīng)器231～第二廢液管232～第二廢液控制閥241～第四廢液管242～第二廢液排放閥
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1，其顯示本發(fā)明的顯影系統(tǒng)1，包括一第一顯影機(jī)臺(tái)100以及一第二顯影機(jī)臺(tái)200。第一顯影機(jī)臺(tái)100包括一第一顯影槽110、一第一顯影液收集管111、一第一顯影液循環(huán)槽120、一第一顯影液供給管121、一第一泵122、一第一光阻濃度感應(yīng)器123、一第一廢液管131以及一第一廢液控制閥132。第二顯影機(jī)臺(tái)200包括一第二顯影槽210、一第二顯影液收集管211、一第二顯影液循環(huán)槽220、一第二顯影液供給管221、一第二泵222、一第二光阻濃度感應(yīng)器223、一第二廢液管231以及一第二廢液控制閥232。
第一顯影槽110透過(guò)底部的第一顯影液收集管111連通該第一顯影液循環(huán)槽120。第一顯影液供給管121從該第一顯影液循環(huán)槽120的底部延伸至該第一顯影槽110的上方，第一泵122設(shè)于該第一顯影液供給管121之上，以將該第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液加壓送入該第一顯影槽110之中，對(duì)基板101上的光阻圖案進(jìn)行顯影。第一廢液管131連通該第一顯影液循環(huán)槽120以及一廢液槽30。第一廢液控制閥132設(shè)于該第一廢液管131之上，以開閉該第一廢液管131的流路。第一光阻濃度感應(yīng)器123伸入該第一顯影液循環(huán)槽120之中，以檢測(cè)第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液濃度。一第一控制器(未圖標(biāo))耦接該第一廢液控制閥132以及該第一光阻濃度感應(yīng)器123，并根據(jù)該第一光阻濃度感應(yīng)器123的檢測(cè)結(jié)果開閉該第一廢液控制閥132。
第二顯影槽210透過(guò)底部的第二顯影液收集管211連通該第二顯影液循環(huán)槽220。第二顯影液供給管221從該第二顯影液循環(huán)槽220的底部延伸至該第二顯影槽210的上方，第二泵222設(shè)于該第二顯影液供給管221之上，以將該第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液加壓送入該第二顯影槽210之中，對(duì)基板201上的光阻圖案進(jìn)行顯影。第二廢液管231連通該第二顯影液循環(huán)槽220以及廢液槽30。第二廢液控制閥232設(shè)于該第二廢液管231之上，以開閉該第二廢液管231的流路。第二光阻濃度感應(yīng)器223伸入該第二顯影液循環(huán)槽220之中，以檢測(cè)第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液濃度。一第二控制器(未圖標(biāo))耦接該第二廢液控制閥232以及該第二光阻濃度感應(yīng)器223，并根據(jù)該第二光阻濃度感應(yīng)器223的檢測(cè)結(jié)果開閉該第二廢液控制閥232。
第一顯影液循環(huán)槽120以及第二顯影液循環(huán)槽220之間以連通管20接通。連通管20上設(shè)有一第一連通閥21以及一第二連通閥22，其中，第一連通閥21以及第二連通閥22處于常開狀態(tài)。
參照?qǐng)D2a，當(dāng)?shù)谝还庾铦舛雀袘?yīng)器123檢測(cè)出該第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液的光阻濃度過(guò)低時(shí)，該第一控制器開啟該第一廢液控制閥132，而使該第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液流入廢液槽30之中。同時(shí)，由于連通管原理，第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液則通過(guò)連通管20流入第一顯影液循環(huán)槽120之中，以借此提高第一顯影液循環(huán)槽120中顯影液的光阻濃度。
例如，當(dāng)?shù)谝伙@影機(jī)臺(tái)100用于顯影介層孔(via)的光阻圖案，而第二顯影機(jī)臺(tái)200用于顯影其它較復(fù)雜的光阻圖案時(shí)，第二顯影液循環(huán)槽220中顯影液的光阻濃度將高于第一顯影液循環(huán)槽120中顯影液的光阻濃度。透過(guò)上述的連通管設(shè)計(jì)，可將第二顯影液循環(huán)槽220中的光阻成分補(bǔ)充至第一顯影液循環(huán)槽120之中，而提高第一顯影液循環(huán)槽120中顯影液的光阻濃度，進(jìn)而控制第一顯影機(jī)臺(tái)100的顯影效果。
參照?qǐng)D2b，同樣的，當(dāng)?shù)诙庾铦舛雀袘?yīng)器223檢測(cè)出該第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液的光阻濃度過(guò)低時(shí)，該第二控制器開啟該第二廢液控制閥232，而使該第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液流入廢液槽30之中。同時(shí)，由于連通管原理，第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液則通過(guò)連通管20流入第二顯影液循環(huán)槽220之中，以借此提高第二顯影液循環(huán)槽220中顯影液的光阻濃度。
雖然在上述實(shí)施例之中，是以第一顯影機(jī)臺(tái)100以及第二顯影機(jī)臺(tái)200為例，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，然其并未限制本發(fā)明。本發(fā)明亦可連通三臺(tái)以上(多臺(tái))的顯影機(jī)臺(tái)，而互補(bǔ)調(diào)節(jié)該等顯影機(jī)臺(tái)的顯影液的光阻濃度(可調(diào)節(jié)任一臺(tái)顯影機(jī)臺(tái)的顯影液的光阻濃度)。
在第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液水位下降之后，廠務(wù)端10可透過(guò)第一顯影液補(bǔ)充管11補(bǔ)充第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液。同樣的，在第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液水位下降之后，廠務(wù)端10可透過(guò)第二顯影液補(bǔ)充管12補(bǔ)充第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液。
廠務(wù)端10所補(bǔ)充的顯影液，其成分包括四甲基氫氧化胺(tetramethylammonium hydroxide，TMAH)，其濃度可以為2％至30％之間。
參照?qǐng)D3，第一顯影機(jī)臺(tái)100可還包括一第三廢液管141，連通該第一顯影液循環(huán)槽120以及該廢液槽30，該第三廢液管141上設(shè)有一第一廢液排放閥142，處于常閉狀態(tài)。第二顯影機(jī)臺(tái)200可還包括一第四廢液管241，連通該第二顯影液循環(huán)槽220以及該廢液槽30，該第四廢液管241上設(shè)有一第二廢液排放閥242，處于常閉狀態(tài)。
參照?qǐng)D4a，當(dāng)欲清空第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液時(shí)，操作人員關(guān)閉第一連通閥21，并開啟第一廢液排放閥142，因此，第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液通過(guò)該第三廢液管141而流入該廢液槽30之中。接著，參照?qǐng)D4b，操作人員關(guān)閉第一廢液排放閥142，并開啟第一連通閥21，此時(shí)由于連通管原理，第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液通過(guò)連通管20流入第一顯影液循環(huán)槽120之中，以借此對(duì)第一顯影液循環(huán)槽120提供顯影液的光阻成分。
參照?qǐng)D5a，當(dāng)欲清空第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液時(shí)，操作人員關(guān)閉第二連通閥22，并開啟第二廢液排放閥242，因此，第二顯影液循環(huán)槽220中的顯影液通過(guò)該第四廢液管241而流入該廢液槽30之中。接著，參照?qǐng)D5b，操作人員關(guān)閉第二廢液排放閥242，并開啟第二連通閥22，此時(shí)由于連通管原理，第一顯影液循環(huán)槽120中的顯影液通過(guò)連通管20流入第二顯影液循環(huán)槽220之中，以借此對(duì)第二顯影液循環(huán)槽220提供顯影液的光阻成分。
應(yīng)用本發(fā)明，可簡(jiǎn)便的控制顯影機(jī)臺(tái)中顯影液的光阻濃度，因此能維持顯影機(jī)臺(tái)的顯影效果，提升產(chǎn)品的良品率。
雖然本發(fā)明已以具體的優(yōu)選實(shí)施例公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何業(yè)內(nèi)人士，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種顯影系統(tǒng)，包括一第一顯影機(jī)臺(tái)，其包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環(huán)槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液控制閥設(shè)于該第一廢液管之上；一第二顯影機(jī)臺(tái)，其包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環(huán)槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液控制閥設(shè)于該第二廢液管之上；一連通管，連通該第一顯影液循環(huán)槽以及該第二顯影液循環(huán)槽；以及一廢液槽，連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第一光阻濃度感應(yīng)器，設(shè)于該第一顯影液循環(huán)槽之中，以檢測(cè)該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液的光阻濃度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第一控制器，耦接該第一光阻濃度感應(yīng)器以及該第一廢液控制閥，該第一控制器根據(jù)該第一光阻濃度感應(yīng)器的感測(cè)結(jié)果，控制該第一廢液控制閥的開閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第三廢液管以及一第一廢液排放閥，該第三廢液管連接該第一顯影液循環(huán)槽以及該廢液槽，該第一廢液排放閥設(shè)于該第三廢液管之上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第二光阻濃度感應(yīng)器，設(shè)于該第二顯影液循環(huán)槽之中，以檢測(cè)該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液的光阻濃度。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第二控制器，耦接該第二光阻濃度感應(yīng)器以及該第二廢液控制閥，該第二控制器根據(jù)該第二光阻濃度感應(yīng)器的感測(cè)結(jié)果，控制該第二廢液控制閥的開閉。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第四廢液管以及一第二廢液排放閥，該第四廢液管連接該第二顯影液循環(huán)槽以及該廢液槽，該第二廢液排放閥設(shè)于該第四廢液管之上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第一連通閥，設(shè)于該連通管之上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第二連通閥，設(shè)于該連通管之上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第一顯影液補(bǔ)充管，連接該第一顯影液循環(huán)槽，用以對(duì)該第一顯影液循環(huán)槽補(bǔ)充顯影液。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第二顯影液補(bǔ)充管，連接該第二顯影液循環(huán)槽，用以對(duì)該第二顯影液循環(huán)槽補(bǔ)充顯影液。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第一顯影液供給管、一第一泵以及一第一顯影液收集管，該第一顯影液供給管連接該第一顯影槽以及該第一顯影液循環(huán)槽，該第一顯影液收集管亦接該第一顯影槽以及該第一顯影液循環(huán)槽，該第一泵設(shè)于該第一顯影液供給管之上，透過(guò)該第一泵，顯影液從該第一顯影液循環(huán)槽流出，經(jīng)過(guò)該第一顯影液供給管，進(jìn)入該第一顯影槽以進(jìn)行顯影，并從該第一顯影液收集管流回該第一顯影液循環(huán)槽。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)，其特征在于，該第二顯影機(jī)臺(tái)還包括一第二顯影液供給管、一第二泵以及一第二顯影液收集管，該第二顯影液供給管連接該第二顯影槽以及該第二顯影液循環(huán)槽，該第二顯影液收集管亦接該第二顯影槽以及該第二顯影液循環(huán)槽，該第二泵設(shè)于該第二顯影液供給管之上，透過(guò)該第二泵，顯影液從該第二顯影液循環(huán)槽流出，經(jīng)過(guò)該第二顯影液供給管，進(jìn)入該第二顯影槽以進(jìn)行顯影，并從該第二顯影液收集管流回該第二顯影液循環(huán)槽。
14.一種顯影液成分調(diào)整方法，包括提供一第一顯影機(jī)臺(tái)、一第二顯影機(jī)臺(tái)以及一連通管，該第一顯影機(jī)臺(tái)包括一第一顯影液循環(huán)槽，該第二顯影機(jī)臺(tái)包括一第二顯影液循環(huán)槽，該連通管連通該第一顯影液循環(huán)槽以及該第二顯影液循環(huán)槽；檢測(cè)該第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度以及該第二顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度；當(dāng)該第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度過(guò)低時(shí)，部分排放該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液，以使該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液經(jīng)過(guò)該連通管而流入該第一顯影液循環(huán)槽之中。
15.一種顯影液成分調(diào)整方法，包括提供根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影系統(tǒng)；檢測(cè)該第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度以及該第二顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度；當(dāng)該第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度過(guò)低時(shí)，部分排放該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液，以使該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液經(jīng)過(guò)該連通管而流入該第一顯影液循環(huán)槽之中。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的顯影液成分調(diào)整方法，其特征在于，當(dāng)該第一顯影液循環(huán)槽中顯影液的光阻濃度過(guò)低時(shí)，該第一廢液控制閥開啟，部分該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液經(jīng)過(guò)該第一廢液管進(jìn)入該廢液槽之中，同時(shí)，該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液經(jīng)過(guò)該連通管而進(jìn)入該第一顯影液循環(huán)槽之中。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的顯影液成分調(diào)整方法，其特征在于，該第一顯影機(jī)臺(tái)還包括一第三廢液管、一第一廢液排放閥以及一第一連通閥，該第三廢液管連接該第一顯影液循環(huán)槽以及該廢液槽，該第一廢液排放閥設(shè)于該第三廢液管之上，該第一連通閥設(shè)于該連通管之上，該第一廢液排放閥常閉以防止該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液流入該第三廢液管，該第一連通閥常開以容許該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液流入該第一顯影液循環(huán)槽。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的顯影液成分調(diào)整方法，其特征在于，當(dāng)欲清空該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液時(shí)，該第一廢液排放閥開啟以讓該第一顯影液循環(huán)槽中的顯影液流入該第三廢液管，同時(shí)，該第一連通閥關(guān)閉以防止該第二顯影液循環(huán)槽中的顯影液流入該第一顯影液循環(huán)槽。
全文摘要
一種顯影系統(tǒng)，包括一第一顯影機(jī)臺(tái)、一第二顯影機(jī)臺(tái)、一連通管以及一廢液槽。第一顯影機(jī)臺(tái)包括一第一顯影槽、一第一顯影液循環(huán)槽、一第一廢液管以及一第一廢液控制閥，該第一顯影槽連通該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液管連接該第一顯影液循環(huán)槽，該第一廢液控制閥設(shè)于該第一廢液管之上。第二顯影機(jī)臺(tái)包括一第二顯影槽、一第二顯影液循環(huán)槽、一第二廢液管以及一第二廢液控制閥，該第二顯影槽連通該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液管連接該第二顯影液循環(huán)槽，該第二廢液控制閥設(shè)于該第二廢液管之上。連通管連通該第一顯影液循環(huán)槽以及該第二顯影液循環(huán)槽。廢液槽連接該第一廢液管以及該第二廢液管。
文檔編號(hào)G03F7/26GK1760765SQ20051012674
公開日2006年4月19日 申請(qǐng)日期2005年11月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月21日
發(fā)明者李易昌, 林奇峰, 徐啟源 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司