專利名稱：涂敷方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將從相互并列的多個(gè)噴嘴噴出的液體涂敷在基板上的涂敷方法及裝置。
(2)背景技術(shù)在液晶顯示裝置的制造工序中，有在玻璃基板等基板上形成電路圖形的成膜工序。在該成膜工序中，將從噴墨頭等相互并列的多個(gè)噴嘴中噴出的液體涂敷在基板上，并通過液體在該基板上的攤開(擴(kuò)散)形成定向膜、保護(hù)膜等功能性薄膜。
為了在基板上形成膜厚均勻的功能性薄膜，就必須從各噴嘴以均等的噴出量噴出液體。因此，采用逐個(gè)噴嘴地調(diào)整各噴嘴的噴出量，使各噴嘴的噴出量均等化。并且，作為調(diào)整噴嘴的噴出量的技術(shù)如下所述。
一種是在給予與各噴嘴的噴出孔連通的噴出腔內(nèi)的液體以噴出能量時(shí)，調(diào)整產(chǎn)生噴出能量的壓電元件的外加電壓的方法。
調(diào)整與各噴嘴對(duì)應(yīng)的壓電元件的外加電壓，使各噴嘴的噴出量均等的方法中，存在以下問題。
(a)當(dāng)將在同一噴頭內(nèi)的噴嘴間產(chǎn)生的噴出量偏差通過調(diào)整壓電元件的外加電壓而均等化時(shí)，必須將每一噴嘴的壓電元件的外加電壓的調(diào)整范圍擴(kuò)大。因此，采用設(shè)置可調(diào)范圍大的可變電阻器，但可調(diào)范圍大的可變電阻器有調(diào)整是粗調(diào)的傾向，不能進(jìn)行微調(diào)，噴出量的均等化不能充分地進(jìn)行。另外，采用將對(duì)應(yīng)噴嘴間的噴出量偏差的電阻器和微調(diào)用可變電阻器加以組合，設(shè)置在各壓電元件的供電電路中，但此時(shí)電阻器的可調(diào)范圍各種各樣，必須準(zhǔn)備多種電阻器。因此，保養(yǎng)管理作業(yè)繁雜，致使保養(yǎng)管理作業(yè)所需的時(shí)間延長，其結(jié)果是具有裝置的工作效率降低的不良狀況。
(b)在同一噴頭內(nèi)的各噴嘴的噴出量分布(例如圖7(C)的●符號(hào)所示)中的噴出量最低的噴嘴(例如圖7(A)的編號(hào)3噴嘴)中，在該噴嘴對(duì)應(yīng)的壓電元件的外加電壓已經(jīng)是該元件容許的最大外加電壓時(shí)，必須降低其他噴嘴(例如圖7(A)的編號(hào)1、編號(hào)2、編號(hào)4、編號(hào)5的噴嘴)對(duì)應(yīng)的壓電元件的外加電壓，使所有噴嘴的噴出量降低(例如圖7(C)的×符號(hào)所示)。這就意味著會(huì)產(chǎn)生在涂敷裝置中涂敷一定膜厚所需的處理時(shí)間變長的不良狀況。
(3)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的問題是使從相互并列的多個(gè)噴嘴中噴出的噴出量簡單地均等化。
本發(fā)明的噴墨涂敷方法，將從相互并列的多個(gè)噴嘴中噴出的液體涂敷在基板上，通過互相調(diào)整各噴嘴的噴出孔的孔徑或孔長，從而使從各噴嘴噴出的所述液體的噴出量均等。
另外，本發(fā)明的噴墨涂敷裝置，由相互并列的多個(gè)噴嘴構(gòu)成噴頭，將從各噴嘴噴出的液體涂敷在基板上，通過互相調(diào)整各噴嘴的噴出孔的孔徑或孔長，從而使從各噴嘴噴出的所述液體的噴出量均等。
采用本發(fā)明的話，則可簡單地使相互并列的多個(gè)噴嘴的噴出量均等化。
(4)


圖1是表示涂敷裝置的主視圖。
圖2是圖1的側(cè)視圖。
圖3是表示噴墨頭的主視圖。
圖4是表示噴墨頭的剖視圖。
圖5是沿圖4的V-V線的箭頭方向俯視圖。
圖6是表示相對(duì)噴嘴的噴出孔的孔長變化的噴出量的增減關(guān)系的線圖。
圖7表示噴墨頭，(A)是表示現(xiàn)有噴頭的主視圖，(B)是表示本發(fā)明噴頭的主視圖，(C)是表示各噴嘴的噴出量分布的線圖。
圖8是表示調(diào)整噴嘴的噴出孔的孔長的方法的另一例子的剖視圖。
(5)具體實(shí)施方式
圖1、圖2所示的涂敷裝置10將矩形板狀的輸送臺(tái)13可滑動(dòng)地支撐在導(dǎo)軌12上，該導(dǎo)軌12設(shè)置在水平設(shè)置的基座11的兩側(cè)。玻璃基板等的基板1保持在輸送臺(tái)13的上面并被輸送。
涂敷裝置10在沿基座11上的基板1的輸送方向的中間部立設(shè)有門形框架14，在門形框架14上橫架有水平的安裝構(gòu)件15，在安裝構(gòu)件15的一側(cè)面并列設(shè)置有多個(gè)噴墨式的噴頭20。多個(gè)噴頭20所形成的尺寸被設(shè)定為比基板1的寬度尺寸稍長。
如圖3～圖5所示，噴頭20具有從噴頭主體20A的一端側(cè)到另一端側(cè)的單一的長槽狀的主管21。與供給槽30連結(jié)的供液管31通過開關(guān)閥32與主管21的一端部相連接。在供給槽30上設(shè)置有形成配向膜、保護(hù)膜等功能性薄膜的液體用的液體補(bǔ)充管33、以及液體充填用加壓氣體管34。另外，與回收槽40連接的排液管41通過開關(guān)閥42與主管21的另一端部連接。
噴頭20是由相互并列的多個(gè)例如編號(hào)1～編號(hào)5的5個(gè)(實(shí)際中例如為64個(gè))噴嘴22排列為線狀構(gòu)成的。各噴嘴22在噴頭本體20A內(nèi)具有向基板1噴出液體的噴出孔22A以及與噴出孔22A連通的噴出腔22B，且將各噴出腔22B通過設(shè)在噴頭本體20A上的支管22C在主管21長度方向的各位置上連接。
噴頭20通過加壓氣體管34中的例如N2氣體將供給槽30內(nèi)的液體從供液管31向主管21壓送，并使其從排液管41流出，將液體充填到主管21中，然后，關(guān)閉排液管41的開關(guān)閥42，利用N2氣體將供給槽30內(nèi)的液體從供液管31經(jīng)由主管21、支管22C向各噴嘴22的噴出腔22B壓送，并使其從噴出孔22A流出，將液體充填到各噴嘴22的噴出腔22B、支管22C中。在將液體充填到噴出腔22B、支管22C中后，作為從噴出孔22A噴出液體的預(yù)備動(dòng)作，停止向供給槽30內(nèi)供給N2氣體，同時(shí)打開未圖示的放氣閥，使供給槽30內(nèi)的壓力為大氣壓。此時(shí)，通過控制來自液體補(bǔ)充管33的液體供給量，將供給槽30內(nèi)的液面高度調(diào)整為與噴頭本體20A的下面高度相同或比其稍高。由此，供給槽30內(nèi)的液體通過其液面和噴頭本體20A下面的高度差引起的壓力差而供給至供給管31，故根據(jù)因噴出而引起的噴出腔22B內(nèi)的液體減少向噴出腔22B補(bǔ)充液體。
噴頭20將噴頭本體20A的上面用撓性板23覆蓋，在撓性板23的上面固定有與各噴嘴22的噴出腔22B相向的壓電元件24。壓電元件24與未圖示的供電電路連接，被供給外加電壓，使與外加電壓驅(qū)動(dòng)的壓電元件24對(duì)應(yīng)的噴嘴22的噴出腔22B產(chǎn)生容積變化，使充填的液體從噴出孔22A噴出，將該液體涂敷在保持在輸送臺(tái)13上并進(jìn)行輸送的基板1的上面上。涂敷在基板1上的液體通過在基板1上自然攤開(擴(kuò)散)而形成定向膜、保護(hù)膜等功能性薄膜。
然而，涂敷裝置10為在噴頭20使從相互并列的多個(gè)噴嘴22中噴出的液體的噴出量均等化，而具有以下構(gòu)成。
(A)對(duì)于構(gòu)成噴頭20的噴嘴22，通過實(shí)驗(yàn)預(yù)先求得噴出孔22A的孔長L和噴出量K的關(guān)系。在噴出孔22A的孔徑D一定而使孔長L變化時(shí)，以L/D＝1時(shí)的噴出量為基準(zhǔn)，L/D的值和噴出量K的增減值(相對(duì)基準(zhǔn)噴出量的增減比例)的關(guān)系例如圖6所示。由此可知，隨著噴出孔22A的孔長L增大，噴出孔22A的流路阻力加大，而噴出量K減少。具體地說，在圖6中，在噴出孔22A的孔長L為L/D＝1時(shí)的孔長的1.2倍時(shí)，從該噴出孔22A噴出的噴出量比L/D＝1時(shí)得到的噴出量減少10％左右。另外，在噴出孔22A的孔長L為L/D＝1時(shí)的孔長的0.8倍時(shí)，從該噴出孔22A噴出的噴出量比L/D＝1時(shí)得到的噴出量增加10％左右。
(B)掌握噴頭20的相互并列為線狀的多個(gè)噴嘴22各自的噴出量K的偏差ΔK的傾向。即，在各噴嘴22的噴出孔22A的孔長L相同的圖7(A)所示的噴頭中，分別對(duì)從各噴嘴22的噴出孔22A噴出的噴出量進(jìn)行實(shí)際測(cè)量。并且，將噴出量最接近各噴嘴22的噴出孔22A的噴出量平均值的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量作為基準(zhǔn)，求得相對(duì)該噴出孔22A的噴出量的其他噴出孔22A的噴出量的偏差(增減的比例)，據(jù)此得出各噴嘴22的噴出量分布。得到的噴出量分布如圖7(C)的●符號(hào)所示。在圖7(C)中，編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量相同，這2個(gè)噴出孔22A的噴出量最接近各噴嘴22的噴出孔22A的噴出量平均值，故選擇將這2個(gè)噴出孔22A的噴出量作為基準(zhǔn)。因此，編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量的偏差ΔK＝0％。兩端側(cè)的編號(hào)1、編號(hào)5的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量表現(xiàn)出比作為基準(zhǔn)的編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量多10％(偏差ΔK＝10％)的傾向。中央的編號(hào)3的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量表現(xiàn)出比作為基準(zhǔn)的編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴22的噴出孔22A的噴出量少10％(偏差ΔK＝-10％)的傾向。
另外，各個(gè)噴嘴22的噴出孔22A的噴出量，可以通過將液體噴出在電子式重量計(jì)等的測(cè)定盤上并根據(jù)測(cè)出的重量算出，也可以從側(cè)方向用高速攝像機(jī)對(duì)從噴出孔22A噴出的飛行中的液體進(jìn)行拍攝，從其拍攝圖像中求得飛行中的液體的直徑，根據(jù)該直徑算出噴出量。
(C)根據(jù)所述(A)、(B)，通過互相調(diào)整構(gòu)成噴頭20的各噴嘴22的噴出孔22A的孔長L，從而實(shí)現(xiàn)各噴嘴22的噴出量的均等化。
即，在噴頭20的各噴嘴22中，根據(jù)得到的所述(B)的噴出量的偏差結(jié)果，可知有在所述(A)中噴嘴22的噴出孔22A的孔長L長時(shí)噴出量減少，在孔長L短時(shí)噴出量增加的關(guān)系。因此，在排列為線狀的編號(hào)1～編號(hào)5的噴嘴22中，將兩端側(cè)的編號(hào)1、編號(hào)5的噴嘴22的噴出孔22A的孔長L加長為圖7(A)所示的孔長的1.2倍(調(diào)整為將圖6中的噴出量K減少10％)，將中央的編號(hào)3的噴嘴22的噴出孔22A的孔長L縮短為圖7(A)所示的孔長的0.8倍(調(diào)整為將圖6中的噴出量K增加10％)。由此，兩端側(cè)的編號(hào)1、編號(hào)5的噴嘴22的噴出量下降減少，中央的編號(hào)3的噴嘴22的噴出量上升增加，可使編號(hào)1～編號(hào)5的全部噴嘴22的噴出量大致均等化(圖7(C)的○符號(hào))。
例如，該調(diào)整也可通過將噴頭20的噴頭本體20A構(gòu)成為能以圖4所示的V-V線為界上下分割、更換形成有噴嘴22的下側(cè)的噴頭本體20A來進(jìn)行。即，將下側(cè)的噴頭本體20A由圖7(A)所示的各噴嘴22的噴出孔22A的孔長L相同的更換為圖7(B)所示的噴出孔22A的孔長L根據(jù)噴嘴22的位置有所不同的。
在圖7(A)的現(xiàn)有噴頭20中，所有噴嘴22間的噴出量的偏差在±10％，與此相對(duì)，圖7(B)的本發(fā)明的噴頭20可使這些所有噴嘴22間的噴出量的偏差在±1％左右而大致均等化。該±1％左右的噴出量的偏差通過調(diào)整向各噴嘴22的壓電元件24施加的電壓來進(jìn)行均等化。該外加電壓的調(diào)整可通過可調(diào)范圍比較小的可變電阻器來進(jìn)行。
另外，在此，在得到各噴嘴22的噴出孔22A的噴出量分布時(shí)，選擇噴出量最接近各噴出孔22A的噴出量平均值的噴出孔22A的噴出量作為基準(zhǔn)，但也可將噴出量在各噴嘴22的噴出孔22A的噴出量中為最多的噴出孔22A的噴出量作為基準(zhǔn)(基準(zhǔn)噴出量)，為使其他噴出孔22A的噴出量為基準(zhǔn)噴出量而對(duì)其他噴出孔22A的孔長L進(jìn)行調(diào)整。此時(shí)，因?yàn)榭墒垢鲊娮?2的噴出孔22A的噴出量比按照上述實(shí)施例調(diào)整的噴嘴22的噴出孔22A的多，故可縮短在基板上涂敷一定膜厚所需要的處理時(shí)間。
另外，除上述情況之外，還可選擇噴出量最接近各噴嘴22的噴出孔22A的噴出量中的最大值和最小值的中間值的噴出孔22A的噴出量作為基準(zhǔn)，或者也可預(yù)先設(shè)定應(yīng)從各噴嘴22的噴出孔22A噴出的噴出量并將其作為基準(zhǔn)噴出量，或?qū)⒏鲊姵隹?2A的噴出量的平均值作為基準(zhǔn)噴出量，或?qū)⒏鲊娮?2的噴出孔22A的噴出量中的最大值和最小值的中間值作為基準(zhǔn)噴出量。
采用本實(shí)施例的話，可起到以下作用效果。
(a)在噴嘴22的噴出孔22A的孔長L和噴出量K之間存在預(yù)先取得的一定關(guān)系(例如圖6)。因此，可事先掌握相互并列的多個(gè)噴嘴22各自的噴出量K的偏差傾向，通過改變各噴嘴22的噴出孔22A的孔長L來使該偏差大致均等化。因此，可防止處理時(shí)間增長且使涂敷精度提高。
(b)因?yàn)榭组LL由穿孔機(jī)的工具進(jìn)深量(切削深度)決定，故使用單一的工具即可在噴嘴22的噴出孔22A上形成所有孔長L。因此，可簡單地進(jìn)行多個(gè)噴嘴22的噴出孔22A的加工。
(c)在針對(duì)同一噴頭20內(nèi)的各噴嘴22的噴出孔22A互相變更它們的孔長L時(shí)，利用同一工具即可應(yīng)對(duì)，故不需要更換工作機(jī)床的工具。因此，可防止各噴嘴22的噴出孔22A的加工位置精度(孔間隔等)降低。由此，可盡量抑制噴出孔22A的孔間隔的不均，故可將液體以規(guī)定的間距高精度地涂敷在基板1上，例如在液晶顯示裝置的玻璃基板上形成定向膜、保護(hù)膜等功能性薄膜時(shí)，可使膜厚均等，提高形成在基板1上的功能性薄膜的品質(zhì)。由此，可防止液晶顯示裝置的色彩不均勻、亮度不均勻等顯示不均勻，提高顯示品質(zhì)。
(d)如上述(a)所述，可將在同一噴頭20內(nèi)的噴嘴22間產(chǎn)生的噴出量K的大的偏差大致均等化，故可僅將偏差的微調(diào)通過壓電元件的外加電壓的調(diào)整來對(duì)應(yīng)。每一噴嘴22的壓電元件24的外加電壓的調(diào)整范圍雖窄但卻足夠，應(yīng)設(shè)置在各壓電元件24的供電電路上的可變電阻器可使用可調(diào)范圍小的能進(jìn)行微調(diào)的電阻器，且可為單一的規(guī)格，沒有必要準(zhǔn)備多種電阻器。這樣因?yàn)榭墒闺娮杵鞯目烧{(diào)范圍單規(guī)格化，故可提高噴頭的保養(yǎng)管理作業(yè)的效率，進(jìn)一步使裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)率提高。
(e)因?yàn)椴⒉皇莾H通過壓電元件24的外加電壓的調(diào)整來進(jìn)行噴嘴22的噴出量K的均等化，故不會(huì)制約壓電元件24的容許最大外加電壓，可通過噴出孔22A的孔長L的調(diào)整來增減噴嘴22的噴出量K?？珊啽闾岣咚袊娮?2的噴出量K，可縮短涂敷裝置10涂敷一定膜厚所需的處理時(shí)間。
(f)噴墨頭20可實(shí)現(xiàn)上述(a)～(e)。另外，作為能量發(fā)生元件除壓電元件24外也可為加熱板(發(fā)熱電阻元件)等。
上面基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但本發(fā)明的具體構(gòu)成不限于該實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明主旨范圍內(nèi)的設(shè)計(jì)變更等也屬于本發(fā)明。例如，在上述實(shí)施例中，例示了將噴嘴排列為線狀的一列的情況，但并不限于此，也可配置為多列或交錯(cuò)狀。
另外，對(duì)將排列為線狀的多個(gè)噴嘴的噴出孔的孔長調(diào)整為從中央側(cè)向端側(cè)逐漸變長的例子進(jìn)行了說明，但只要將噴出孔的孔長調(diào)整為使各噴嘴的噴出孔的噴出量均等即可。因此，也可通過將排列為線狀的多個(gè)噴嘴分為各有規(guī)定數(shù)量噴嘴的噴嘴組、改變每一噴嘴組的噴出孔的孔長來進(jìn)行調(diào)整。
另外，例示了將排列為線狀的噴嘴連接在單一主管上、通過該主管將從供給槽供給來的液體供給至各噴嘴的噴出腔的情況，但也可將液體從供給槽分別供給至各噴嘴的噴出腔。
另外，通過實(shí)驗(yàn)結(jié)果得出在將排列為線狀的噴嘴連接在單一主管上、將從該主管的一端側(cè)供給來的液體向各噴嘴的噴出腔供給的結(jié)構(gòu)的噴頭中，如圖7(C)的●符號(hào)所示，從各噴嘴噴出的液體的噴出量有在中央側(cè)的噴嘴比兩端側(cè)的噴嘴少的傾向。
因此，在采用這種結(jié)構(gòu)的噴頭時(shí)，如圖7(B)所示，在排列為線狀的噴嘴中，也可預(yù)先將兩端側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長形成為比中央側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長長。
此時(shí)也可使噴頭的多個(gè)噴嘴各自的噴出量大致均等化。因此，例如在液晶顯示裝置的玻璃基板上形成定向膜、保護(hù)膜等功能性薄膜時(shí)，可提高其顯示品質(zhì)。
另外，以利用工具進(jìn)行加工來調(diào)整噴嘴的噴出孔的孔長的情況為例進(jìn)行了說明，但也可使用其他手段進(jìn)行調(diào)整。
例如，如圖8所示，準(zhǔn)備外形相同的圓筒形的3種孔長調(diào)節(jié)件25，該3種孔長調(diào)節(jié)件25分別具有孔長L為L1、L2、L3的噴出孔22A。另一方面，在噴頭本體22A上對(duì)應(yīng)孔長調(diào)節(jié)件25的形狀預(yù)先形成用于嵌入孔長調(diào)節(jié)件25的凹部20B。并且，該凹部20B可選擇性地嵌入3種孔長調(diào)節(jié)件25，從而調(diào)整噴出孔22A的孔長。
另外，孔長調(diào)節(jié)件25相對(duì)凹部20B的固定采用在凹部20B的內(nèi)側(cè)面形成內(nèi)螺紋部、同時(shí)在孔長調(diào)節(jié)件25的外側(cè)面形成與所述內(nèi)螺紋部對(duì)應(yīng)的外螺紋部，從而擰入孔長調(diào)節(jié)件25的方式，與單純的嵌入式相比，可確實(shí)地進(jìn)行固定，同時(shí)可簡單地進(jìn)行拆裝。
另外，孔長調(diào)節(jié)件25不限定為3種，即噴出孔22A的孔長不限定為3種，也可大于等于3種。
另外，各噴嘴間的噴出孔的噴出量偏差可以在容許值內(nèi)，故對(duì)于噴出量相對(duì)基準(zhǔn)噴出量在容許值內(nèi)的噴出孔沒有必要調(diào)整孔長。
另外，以一個(gè)噴頭的多個(gè)噴嘴的噴出孔的孔長調(diào)整為例進(jìn)行了說明，但也可為使多個(gè)噴頭的所有噴嘴的噴出孔的噴出量均等而調(diào)整各噴出孔的孔長。即，在噴頭為多個(gè)時(shí)，對(duì)所有噴頭的各噴嘴的噴出孔的噴出量進(jìn)行實(shí)際測(cè)量，根據(jù)其平均值調(diào)整各噴嘴的噴出孔的孔長，使所有噴頭的各噴嘴的噴出孔的噴出量收斂在容許的偏差范圍內(nèi)。
另外，以通過調(diào)整噴嘴的噴出孔的孔長從而使各噴嘴的液體噴出量均等為例進(jìn)行了說明，但通過調(diào)整噴出孔的孔徑，也可使各噴嘴的液體噴出量均等。
在此，噴出孔的液體噴出量，如果在噴出孔的孔長為一定時(shí)，有與孔徑的大小成正比地增減的傾向。因此，在通過調(diào)整噴出孔的孔徑從而使各噴嘴的液體噴出量均等時(shí)，可以進(jìn)行調(diào)整，加大噴出量少的噴嘴的噴出孔的孔徑，減小噴出量多的噴嘴的噴出孔的孔徑。例如，在噴出量分布如圖7(C)的●符號(hào)所示的噴嘴中，將編號(hào)1、編號(hào)5的噴嘴的噴出孔的孔徑調(diào)整為比編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴的噴出孔的孔徑小，將編號(hào)3的噴嘴的噴出孔的孔徑調(diào)整為比編號(hào)2、編號(hào)4的噴嘴的噴出孔的孔徑大，從而可使編號(hào)1～5的噴嘴的液體噴出量均等化。
另外，一個(gè)噴頭的噴嘴數(shù)量以5個(gè)為例進(jìn)行了說明，但也可以大于等于5個(gè)。
權(quán)利要求
1.一種噴墨涂敷方法，將從相互并列的多個(gè)噴嘴中噴出的液體涂敷在基板上，其特征在于，通過互相調(diào)整各噴嘴的噴出孔的孔徑或孔長，從而使從各噴嘴噴出的所述液體的噴出量均等。
2.如權(quán)利要求1所述的噴墨涂敷方法，其特征在于，使各噴嘴的噴出孔的孔徑相互相等，通過互相調(diào)整孔長，從而使從各噴嘴噴出的液體的噴出量均等。
3.如權(quán)利要求2所述的噴墨涂敷方法，其特征在于，所述相互并列的多個(gè)噴嘴排列為線狀，將各噴嘴與被從一端側(cè)供給液體的單一主管的一端側(cè)到另一端側(cè)的長度方向各位置連接，在排列為線狀的噴嘴中，兩端側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長設(shè)定為比中央側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長長。
4.一種噴墨涂敷裝置，由相互并列的多個(gè)噴嘴構(gòu)成噴頭，將從各噴嘴噴出的液體涂敷在基板上，其特征在于，通過互相調(diào)整各噴嘴的噴出孔的孔徑或孔長，從而使從各噴嘴噴出的所述液體的噴出量均等。
5.如權(quán)利要求4所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，使各噴嘴的噴出孔的孔徑相互相等，通過互相調(diào)整孔長，從而使從各噴嘴噴出的液體的噴出量均等。
6.如權(quán)利要求5所述的噴墨涂敷裝置，其特征在于，所述噴頭的相互并列的多個(gè)噴嘴排列為線狀，將各噴嘴與被從一端側(cè)供給液體的單一主管的一端側(cè)到另一端側(cè)的長度方向各位置連接，在排列為線狀的噴嘴中、兩端側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長設(shè)定為比中央側(cè)的噴嘴的噴出孔的孔長長。
全文摘要
一種涂敷方法，將從相互并列的多個(gè)噴嘴(22)中噴出的液體噴出在基板(1)上，使各噴嘴(22)的噴出孔(22A)的孔徑(D)相互相等，通過互相調(diào)整孔長(L)，從而使各噴嘴(22)的噴出量均等。
文檔編號(hào)G02F1/13GK1781710SQ20051012869
公開日2006年6月7日 申請(qǐng)日期2005年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月26日
發(fā)明者鶴岡保次, 重山昭宏 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司