專利名稱：光罩搬運(yùn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種光罩搬運(yùn)裝置，尤指一種適用于可免除人力搬運(yùn)作業(yè)以避免光罩受到損壞、并可提高半導(dǎo)體元件產(chǎn)能的光罩搬運(yùn)裝置。
背景技術(shù)：
光罩就是希望將設(shè)計(jì)好的線路圖形，完整且精確地復(fù)制到絕緣性基底(例如玻璃基板、硅晶圓)上。半導(dǎo)體元件的制作首先需將設(shè)計(jì)好的圖形制作成光罩(photo mask)，應(yīng)用光學(xué)成像的原理，將圖形投影至絕緣性基底上。經(jīng)由光源發(fā)出的光，只有經(jīng)過光罩透明或開孔區(qū)域的部分可以繼續(xù)通過透鏡，而呈像在絕緣性基底上，并進(jìn)行顯影、蝕刻等制程，最后制作出所欲的半導(dǎo)體元件于絕緣性基底上。
光罩的線路配置圖案于投射至絕緣性基底的過程，必須先搬運(yùn)光罩至曝光設(shè)備的承載裝置；或另有置換光罩需求時(shí)，也必須將光罩從曝光設(shè)備的承載裝置取出，并搬運(yùn)光罩至儲(chǔ)存架上。傳統(tǒng)上，光罩的搬運(yùn)作業(yè)皆是利用人力進(jìn)行搬運(yùn)，因此，于搬運(yùn)過程中，極容易因?yàn)槿藶橐蛩囟构庹质艿綋p壞。
再者，利用人工進(jìn)行光罩搬運(yùn)作業(yè)也相當(dāng)費(fèi)時(shí)。因此，對(duì)于講求效率的半導(dǎo)體元件制造商而言，容易因?yàn)闀r(shí)間浪費(fèi)而無法有效提升產(chǎn)能，并非十分理想。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種光罩搬運(yùn)裝置，可進(jìn)行存取光罩，利用自動(dòng)化的設(shè)備可免除以人力進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)，避免光罩受到損壞，同時(shí)可提高工作效率。
本實(shí)用新型的光罩搬運(yùn)裝置包括有一底板、一側(cè)板、一載臺(tái)、以及一控制盤。
上述的底板是橫向放置并組設(shè)有多數(shù)個(gè)輪組，側(cè)板是縱向向上組設(shè)于底板的一側(cè)，且側(cè)板包括有一前側(cè)面以及一后側(cè)面，其中的前側(cè)面的兩側(cè)分別向內(nèi)凹設(shè)有一縱向凹槽，每一縱向凹槽內(nèi)并組設(shè)有一傳動(dòng)軸，同時(shí)側(cè)板并包括有二驅(qū)動(dòng)元件，每一驅(qū)動(dòng)元件系分別連結(jié)每一傳動(dòng)軸。
此外，上述的載臺(tái)橫向配置于側(cè)板的前側(cè)面，而與底座呈平行配置，其包括有一前側(cè)面以及一后側(cè)面，其中的前側(cè)面凸伸有二伸縮臂，后側(cè)面的兩側(cè)分別組設(shè)有一傳動(dòng)元件，每一傳動(dòng)元件分別對(duì)應(yīng)套合于側(cè)板的每一傳動(dòng)軸上。至于控制盤則組設(shè)于側(cè)板的后側(cè)面。
上述的控制盤電性連接至側(cè)板的每一驅(qū)動(dòng)元件，且控制盤控制每一驅(qū)動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)每一傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，并控制載臺(tái)相對(duì)于側(cè)板上下移動(dòng)，并因此使載臺(tái)的二伸縮臂可存取至少一光罩。
由上述結(jié)構(gòu)，光罩的存取可由光罩搬運(yùn)裝置進(jìn)行，利用自動(dòng)化的設(shè)備可免除以人力進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)，以避免光罩受到損壞，同時(shí)可提高工作效率。
上述的側(cè)板可包括有二側(cè)面其分別連結(jié)其前側(cè)面與后側(cè)面，且二側(cè)面的至少一者可刻畫有多數(shù)個(gè)刻度。
此外，上述的載臺(tái)可包括有一內(nèi)容室，且二伸縮臂可內(nèi)縮于內(nèi)容室內(nèi)。前述的內(nèi)容室可向下凹設(shè)有至少二凹槽，且每一伸縮臂可向下凸設(shè)有至少一凸點(diǎn)其分別嵌入至少二凹槽的其中之一內(nèi)。
另外，上述載臺(tái)的二伸縮臂的前端可分別組設(shè)有一防撞護(hù)條。同樣的，二伸縮臂可分別包括有一上表面，且每一上表面上組設(shè)有至少一止滑墊。
又上述底板可包括有一上表面，且上表面設(shè)有至少一承置區(qū)，其可用以承置物品，例如光阻等。


圖1是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的立體圖。
圖2是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例另一視角的立體圖。
圖3是本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的立體圖。
附圖標(biāo)號(hào)底板1 滾輪11 轉(zhuǎn)向輪軸111煞車片112 上表面12 承置區(qū)121側(cè)板2 前側(cè)面21 縱向凹槽211傳動(dòng)軸212 后側(cè)面22 側(cè)面23刻度231 驅(qū)動(dòng)元件24 載臺(tái)3前側(cè)面31 伸縮臂311 凸點(diǎn)312防撞護(hù)條313 上表面314 止滑墊315后側(cè)面32 傳動(dòng)元件321內(nèi)容室33凹槽331 控制盤4光罩搬運(yùn)裝置5光罩6 伸縮臂7上表面71止滑墊71具體實(shí)施方式
請(qǐng)同時(shí)參閱圖1是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的立體圖、及圖2是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例另一視角的立體圖，其中顯示有一光罩搬運(yùn)裝置5，且此光罩搬運(yùn)裝置5可進(jìn)行光罩6的存取作業(yè)。
上述光罩搬運(yùn)裝置5包括有一底板1、一側(cè)板2、一載臺(tái)3、以及一控制盤4。其中，底板1以橫向放置，且底板1的四個(gè)角落底部分別組設(shè)有一輪組，每一輪組分別包括有一滾輪11及一轉(zhuǎn)向輪軸111，同時(shí)，于其中兩個(gè)同側(cè)的滾輪11上組設(shè)有一煞車片112，因此，光罩搬運(yùn)裝置5可由滾輪11的轉(zhuǎn)動(dòng)而移動(dòng)，且由轉(zhuǎn)向輪軸111而轉(zhuǎn)向，欲停止時(shí)，僅需將煞車片112向下移動(dòng)并卡合于滾輪11即可。
此外，側(cè)板2是縱向向上組設(shè)于上述底板1的一側(cè)，且此側(cè)板2包括有一前側(cè)面21、一后側(cè)面22、以及二側(cè)面23，其中的二側(cè)面23分別連結(jié)前側(cè)面21與后側(cè)面22，且二側(cè)面23分別刻畫有多數(shù)個(gè)刻度231，側(cè)板2的前側(cè)面21朝向底板1的上表面12，且前側(cè)面21的兩側(cè)分別向內(nèi)凹設(shè)有一縱向凹槽211，每一縱向凹槽211內(nèi)并組設(shè)有一傳動(dòng)軸212，并且側(cè)板2的上方組設(shè)有二驅(qū)動(dòng)元件24，例如馬達(dá)，其分別連結(jié)每一傳動(dòng)軸212。
另外，載臺(tái)3橫向置設(shè)于側(cè)板2的前側(cè)面21上，而與底板1呈平行配置狀態(tài)，其包括有一前側(cè)面31、一后側(cè)面32、以及一內(nèi)容室33，其中的前側(cè)面31凸伸有二伸縮臂311，此二伸縮臂311可部分內(nèi)縮于內(nèi)容室33內(nèi)，而載臺(tái)3后側(cè)面32的兩側(cè)分別組設(shè)有一傳動(dòng)元件321，每一傳動(dòng)元件321分別對(duì)應(yīng)套合于側(cè)板2的每一傳動(dòng)軸212，以使該載臺(tái)3沿傳動(dòng)軸212上下移動(dòng)。于一實(shí)施例中，傳動(dòng)軸212例如螺栓，傳動(dòng)元件312例如螺帽。
于本實(shí)施例中，載臺(tái)3的內(nèi)容室33并向下凹設(shè)有四個(gè)凹槽331，其是兩兩分布于內(nèi)容室33的兩側(cè)，且每一伸縮臂311向下凸設(shè)有四凸點(diǎn)312，其是兩兩分布并間隔一段距離，因此，當(dāng)每一伸縮臂311向內(nèi)伸縮于內(nèi)容室33內(nèi)時(shí)，可由每一伸縮臂311的其中兩個(gè)凸點(diǎn)312分別嵌入內(nèi)容室33兩側(cè)的二個(gè)凹槽331內(nèi)，如此即可形成定位。反之，當(dāng)每一伸縮臂311向外伸縮于內(nèi)容室33外時(shí)，可由每一伸縮臂311的另外兩個(gè)凸點(diǎn)312分別嵌入內(nèi)容室33兩側(cè)的二個(gè)凹槽331內(nèi)，并因此形成定位。
又于本實(shí)施例中，載臺(tái)3的二伸縮臂311的前端分別組設(shè)有一防撞護(hù)條313，且二伸縮臂311分別包括有一上表面314，于每一上表面314上則組設(shè)有多個(gè)止滑墊315。
另圖1及圖2中的控制盤4組設(shè)于側(cè)板2的后側(cè)面22，且控制盤4電性連接至側(cè)板2的每一驅(qū)動(dòng)元件24，并控制每一驅(qū)動(dòng)元件24驅(qū)動(dòng)每一傳動(dòng)軸212轉(zhuǎn)動(dòng)以及控制伸縮臂311的作動(dòng)。
于進(jìn)行光罩6的存取作業(yè)時(shí)，可先利用控制盤4控制側(cè)板2的每一驅(qū)動(dòng)元件24轉(zhuǎn)動(dòng)、并再驅(qū)動(dòng)每一傳動(dòng)軸212轉(zhuǎn)動(dòng)，使得載臺(tái)3可相對(duì)于側(cè)板2上下移動(dòng)，此時(shí)，可利用側(cè)板2側(cè)面23的刻度231得知載臺(tái)3的高度，載臺(tái)3到達(dá)預(yù)定高度之后，使載臺(tái)3的二伸縮臂311進(jìn)行光罩6的存取，而利用伸縮臂311前端的防撞護(hù)條313、與伸縮臂311上表面314的多個(gè)止滑墊315，可避免或者吸收光罩6的碰撞而產(chǎn)生損壞，并可避免光罩6產(chǎn)生滑動(dòng)。
因此，由上可知，光罩6的存取可由自動(dòng)化的設(shè)備而達(dá)成，如此可免除以人力進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)，以避免光罩6受到損壞，同時(shí)可提高工作效率。而為了再加以提高使用效率，可于底板1的上表面12設(shè)有二承置區(qū)121，此二承置區(qū)121可用以承置光阻(圖未示)。
請(qǐng)參閱圖3是本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的立體圖，其結(jié)構(gòu)皆與上述第一較佳實(shí)施例相同，同樣具有底板1、側(cè)板2、載臺(tái)3、與控制盤4的結(jié)構(gòu)特征，唯差別在于載臺(tái)3伸縮臂7的上表面71采用較大面積的止滑墊711，其形式與上述第一較佳實(shí)施例略有不同，但同樣可達(dá)成上述第一較佳實(shí)施例所述的各種功效，且由此可知，載臺(tái)3伸縮臂7上表面71的止滑墊711可不限于使用何種形式。
雖然本實(shí)用新型已以具體實(shí)施例揭示，但其并非用以限定本實(shí)用新型，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的構(gòu)思和范圍的前提下所作出的等同組件的置換，或依本實(shí)用新型專利保護(hù)范圍所作的等同變化與修飾，皆應(yīng)仍屬本專利涵蓋之范疇。
權(quán)利要求1.一種光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于包括一底板，橫向放置并組設(shè)有多數(shù)個(gè)輪組；一側(cè)板，縱向向上組設(shè)于該底板的一側(cè)，且該側(cè)板包括有一前側(cè)面及一后側(cè)面，該前側(cè)面的兩側(cè)分別向內(nèi)凹設(shè)有一縱向凹槽，每一縱向凹槽內(nèi)并組設(shè)有一傳動(dòng)軸，該側(cè)板并包括有二驅(qū)動(dòng)元件其分別連結(jié)每一傳動(dòng)軸；一載臺(tái)，橫向配置于該側(cè)板的前側(cè)面，而與該底板呈平行配置，其包括有一前側(cè)面及一后側(cè)面，該前側(cè)面凸伸有二伸縮臂，該后側(cè)面的兩側(cè)分別組設(shè)有一傳動(dòng)元件其分別對(duì)應(yīng)套合于該側(cè)板的每一傳動(dòng)軸上；一控制盤，組設(shè)于該側(cè)板的后側(cè)面；其中，該控制盤電性連接至每一驅(qū)動(dòng)元件，控制每一驅(qū)動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)每一傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)而使該載臺(tái)相對(duì)于該側(cè)板上下移動(dòng)，并控制該載臺(tái)的二伸縮臂存取至少一光罩。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該側(cè)板并包括二側(cè)面其分別連結(jié)其前側(cè)面與后側(cè)面，且該二側(cè)面的至少一者刻畫有多數(shù)個(gè)刻度。
3.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該載臺(tái)并包括有一內(nèi)容室，且該二伸縮臂內(nèi)縮于該內(nèi)容室內(nèi)。
4.如權(quán)利要求3所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該內(nèi)容室并向下凹設(shè)有至少二凹槽，且每一伸縮臂向下凸設(shè)有至少一凸點(diǎn)其分別嵌入該至少二凹槽的其中之一內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該二伸縮臂的前端并分別組設(shè)有一防撞護(hù)條。
6.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該二伸縮臂分別包括有一上表面，且每一上表面上組設(shè)有至少一止滑墊。
7.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該等輪組并分別包括有一轉(zhuǎn)向輪軸。
8.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該等輪組的至少一者包括有一煞車片。
9.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該底板包括有一上表面，且該上表面設(shè)有至少一承置區(qū)。
10.如權(quán)利要求1所述的光罩搬運(yùn)裝置，其特征在于該側(cè)板的該前側(cè)面朝向該底板。
專利摘要本實(shí)用新型為一種光罩搬運(yùn)裝置，于橫向放置的底板的一側(cè)縱向向上組設(shè)有一側(cè)板，此側(cè)板的后側(cè)面組設(shè)有一控制盤，側(cè)板的前側(cè)面組設(shè)有一載臺(tái)，其是由傳動(dòng)軸與傳動(dòng)元件相對(duì)于側(cè)板上下移動(dòng)，同時(shí)，載臺(tái)的前側(cè)面凸伸有二伸縮臂，由控制盤控制驅(qū)動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)軸與傳動(dòng)元件，可使載臺(tái)相對(duì)于側(cè)板上下移動(dòng)并以其伸縮臂進(jìn)行光罩的存取。因此，光罩的存取可由光罩搬運(yùn)裝置進(jìn)行存取，利用自動(dòng)化的設(shè)備可免除以人力進(jìn)行搬運(yùn)作業(yè)，避免光罩受到損壞，同時(shí)可提高工作效率。
文檔編號(hào)G03F7/00GK2832754SQ20052012775
公開日2006年11月1日 申請(qǐng)日期2005年10月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月13日
發(fā)明者蔣淑婷, 黃智謙, 童郁凱 申請(qǐng)人:廣輝電子股份有限公司