專利名稱：：感光性樹(shù)脂組合物和使用它的感光性干膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種感光性樹(shù)脂組合物和使用它的感光性干膜，尤其涉及一種穩(wěn)定性優(yōu)異、同時(shí)保持感光度的感光性樹(shù)脂組合物和使用它的感光性干膜。
背景技術(shù)：
：眾所周知，干膜用于在印刷布線板(printwiringboard)制造中形成用于形成布線電路(wiringcircuit)的抗蝕劑。這種干膜通過(guò)在支持膜上至少形成半干燥狀態(tài)的感光性樹(shù)脂層來(lái)形成。在使用干膜的方法中，首先，通過(guò)加熱將感光性樹(shù)脂層層合在待處理的材料(基板)上。然后，將光掩膜(phototool)牢固地粘在感光性樹(shù)脂層的支持膜表面上，并通過(guò)紫外線曝光固化待固化區(qū)域。然后，在剝離支持膜后，通過(guò)用弱堿性水溶液顯影，除去未曝光區(qū)，得到抗蝕劑的電路圖案。近年來(lái)，高密度印刷布線基板正逐漸取得進(jìn)展，因此在用于制造印刷布線基板的干膜中需要高感光度和高分形成上述感光性樹(shù)脂層的感光性樹(shù)脂組合物含有作為必須成分的聚合物成分(A)、光聚合性單體成分(B)和光聚合引發(fā)劑(C)。作為上述干膜用的感光性樹(shù)脂組合物，例如，已經(jīng)公開(kāi)了一種如下構(gòu)成(例如，專利文獻(xiàn)1):使用堿溶性樹(shù)脂作為聚合物成分(A)，使用一般交聯(lián)化合物作為單體成分(B)，使用按堿溶性樹(shù)脂和交聯(lián)化合物總100重量份計(jì)0.115重量份的光聚合引發(fā)劑(C)，以及使用按堿溶性樹(shù)脂和交聯(lián)化合物總100重量份計(jì)0.1~15重量份的在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或多個(gè)巰基的多官能硫醇化合物(D)。另一方面，不需要光掩膜的激光直接成像(LDI)技術(shù)吸引了很多關(guān)注，因?yàn)榭梢愿呔鹊赜行У厣a(chǎn)少量的多種產(chǎn)品。激光直接成像(LDI)技術(shù)也吸引了很多關(guān)注，因?yàn)橛捎谖词褂霉庋谀６÷粤酥圃觳襟E，使印刷布線板的制造過(guò)程縮短，并且不需要為受污染的光掩模費(fèi)心。因此，己經(jīng)提出使用這種激光直接成像(LDI)技術(shù)得到的適合感光性樹(shù)脂組合物(例如，專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1:日本專利申請(qǐng)?zhí)亻_(kāi)2002-220409A專利文獻(xiàn)2:再公布WO01/71428在上述激光直接成像(LDI)技術(shù)中進(jìn)行的激光掃描曝光中，由于掃描速度與感光性樹(shù)脂組合物的感光度相關(guān)，因此優(yōu)選的是，抗蝕劑的感光度較高，以提高印刷布線板的生產(chǎn)率。然而，當(dāng)感光性樹(shù)脂組合物的感光度增大時(shí)，對(duì)光和熱的穩(wěn)定性變差，通常它們之間是折中關(guān)系。因此，通過(guò)安全光如黃光和印刷布線板制造過(guò)程中產(chǎn)生的熱，改變了感光度特性，從而產(chǎn)生限制實(shí)用性的問(wèn)題。因此，需要對(duì)光和熱的穩(wěn)定性增強(qiáng)、同時(shí)保持高感光度的感光性樹(shù)脂組合物。上面專利文獻(xiàn)1中揭示的感光性樹(shù)脂組合物其穩(wěn)定性不足。通過(guò)如上所述形成抗蝕劑的電路圖案、然后蝕刻銅表面、并用強(qiáng)堿性水溶液如氫氧化鈉剝離固化的抗蝕劑而得到印刷布線板的銅通孔方法(掩蔽法)是一種制造印刷布線板的主流方法，因?yàn)檫@種制造方法與電鍍方法相比簡(jiǎn)單，并且易于管理。在使用這種掩蔽法的圖案形成中，需要較高分辨率，并已經(jīng)闡明了需要使干膜的感光性樹(shù)脂層變薄，以實(shí)現(xiàn)高分辨率。然而，當(dāng)干膜的感光性樹(shù)脂層變薄時(shí)，其問(wèn)題在于不能得到足夠的掩蔽強(qiáng)度(tentstrength)，因此顯影溶液和洗滌溶液會(huì)破壞抗蝕劑。艮P，在常規(guī)感光性樹(shù)脂組合物中，很少同時(shí)滿足感光度以及對(duì)光和熱的穩(wěn)定性，并且掩蔽強(qiáng)度和分辨率也不足
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明人為解決上述問(wèn)題作為廣泛研究，發(fā)現(xiàn)，在至少具有堿溶性樹(shù)脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引發(fā)劑(C)的感光性樹(shù)脂組合物中，當(dāng)上述光聚合引發(fā)劑(c)至少具有作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)時(shí)，對(duì)曝光光線的感光度和穩(wěn)定性同時(shí)得到滿足，并且抗蝕劑圖案的分辨率和掩蔽強(qiáng)度也足夠。此外，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，電鍍?nèi)芤旱奈廴拘砸驳汀?電鍍污染性"指被從抗蝕劑溶出的雜質(zhì)污染的程度。本發(fā)明人還發(fā)現(xiàn)，使用在分子中具有至少一個(gè)可聚合烯鍵式不飽和基團(tuán)的上述光聚合化合物(B)，掩蔽強(qiáng)度確實(shí)增強(qiáng)?；谏鲜霭l(fā)現(xiàn)完成了本發(fā)明。即，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物包括堿溶性樹(shù)脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引發(fā)劑(C)，其特征在于，上述聚合引發(fā)劑(C)包括作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。本發(fā)明的感光性干膜其特征在于，在支持膜上至少具有由上述感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層。當(dāng)使用時(shí)，通過(guò)在待處理的材料(基板)上重疊露出的感光性樹(shù)脂層，然后從感光性樹(shù)脂層剝離支持膜，可以容易地在待處理的材料(基板)上提供這種感光性樹(shù)脂層。通過(guò)使用本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，可以形成感光度和穩(wěn)定性優(yōu)異、并在各種性能如掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性方面具有良好平衡的感光性樹(shù)脂層。因?yàn)楸景l(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物其感光度和穩(wěn)定性優(yōu)異，并在各種性能如掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性方面具有良好平衡，適于用作感光性樹(shù)脂組合物(激光掃描曝光用的感光性樹(shù)脂組合物)，尤其適用于激光直接成像(LDI)。本發(fā)明的感光性干膜其感光度和穩(wěn)定性優(yōu)異，并且各種性能如掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性也優(yōu)異。因此，其適于用作通過(guò)紫外線曝光使抗蝕劑圖案化的感光性干膜(激光掃描曝光用的干膜)，尤其適用于激光直接成像(LDI)。具體實(shí)施方式下面說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方案。如上所述，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物包括堿溶性樹(shù)脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引發(fā)劑(C)，其特征在于，上述光聚合引發(fā)劑(C)至少包括作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。堿溶性樹(shù)脂(A)本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物用的堿溶性樹(shù)脂(A)(稱作成分(A))的例子可以包括(甲基)丙烯酰類樹(shù)脂、苯乙烯類樹(shù)脂、環(huán)氧類樹(shù)脂、酰胺類樹(shù)脂、酰胺環(huán)氧類樹(shù)脂、醇酸類樹(shù)脂、酚醛類樹(shù)脂、酚醛清漆類樹(shù)脂和甲酚清漆類樹(shù)脂。從堿性顯影性的角度來(lái)看，(甲基)丙烯酰類樹(shù)脂是優(yōu)選的。上述(甲基)丙烯酰類樹(shù)脂，可以使用通過(guò)聚合或共聚合下述單體得到的那些樹(shù)脂。這些單體也可以與后述成分(B)組合。作為這種單體，例如，合適地使用(甲基)丙烯酸酯、烯鍵式不飽和羧酸和其他可共聚單體。具體例子可以包括苯乙烯、(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸苯氧基聚乙二醇酯、單(甲基)丙烯酸壬基苯氧基聚乙二醇酯、單(甲基)丙烯酸壬基苯氧基聚丙烯酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、鄰苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙酯、鄰苯二甲酸2-丙烯酰氧基乙基-2-羥乙酯、鄰苯二甲酸2-甲基丙烯酰氧基乙基-2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸n-丙酯、(甲基)丙烯酸i-丙酯、(甲基)丙烯酸烯酸i-丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸3-乙基己酯、單(甲基)丙烯酸乙二醇酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、單(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2，2，3,3_三氟丙酯、(甲萄丙烯酸、a-溴(甲基)丙烯酸、p-呋喃基(folyl)(甲基)丙烯酸、巴豆酸、丙炔酸、肉桂酸、cc-氰基肉桂酸、馬來(lái)酸、馬來(lái)酸酐、馬來(lái)酸單甲酯、馬來(lái)酸單乙酯、馬來(lái)酸單異丙酯、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸和檸康酸酐。其中，合適地使用(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯和苯乙烯。其他可共聚單體的例子可以包括在(甲基)丙烯酸酯的示例性化合物中分別用富馬酸酯、馬來(lái)酸酯、巴豆酸酯和衣康酸酯代替丙烯酸酯得到的富馬酸酯類、馬來(lái)酸酯類、巴豆酸酯類和衣康酸酯類、a-甲基苯乙烯、o-乙烯基甲苯、m-乙烯基甲苯、p-乙烯基甲苯、o-氯苯乙烯、m-氯苯乙烯、p-氯苯乙烯、o-甲氧基苯乙烯、m-甲氧基苯乙烯、p-甲氧基苯乙烯、乙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯腈、異戊二烯、氯丁二烯、3-丁二烯和乙烯基-n-丁基醚。除了上述單體的聚合物/共聚物之外，還可以使用纖維素衍生物，如纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基纖維素、羥基丙基纖維素、羧甲基纖維素、羧乙基纖維素和羧乙基甲基纖維素，以及這些纖維素衍生物與烯鍵式不飽和羧酸或(甲基)丙烯酸酯化合物的共聚物。此外，可以包括聚乙烯醇類如作為聚乙烯醇和丁醒反應(yīng)產(chǎn)物的聚縮丁醛樹(shù)脂，通過(guò)開(kāi)環(huán)和聚合內(nèi)酯類如S-戊內(nèi)酯、s-己內(nèi)酯、(3-丙內(nèi)酯、a-甲基-l3-丙內(nèi)酯、p-甲基-P-丙內(nèi)酯、a-甲基-p-丙內(nèi)酯、P-甲基-(3-丙內(nèi)酯、ct,oc-二甲基-(3-丙內(nèi)酯和(3,P-二甲基-(3-丙內(nèi)酯得到的聚酯類，通過(guò)一種或更多種垸撐二醇如乙二醇、丙二醇、二乙二醇、三乙二醇、二丙二醇和新戊二醇的二醇類與二羧酸類如馬來(lái)酸、富馬酸、戊二酸和已二酸的縮合反應(yīng)得到的聚酯類，聚醚類如聚乙二醇、聚丙二醇、聚丁二醇和聚戊二醇，作為二醇類如雙酚A、氫醌和二羥基環(huán)己烷與羰基化合物如碳酸二苯酯、光氣和琥珀酸酐的反應(yīng)產(chǎn)物的聚碳酸酯。上述成分(A)可以單獨(dú)使用或兩種或更多種混合使用。從堿性顯影性的觀點(diǎn)來(lái)看，在上述成分(A)中優(yōu)選含有羧基。這種成分(A)可通過(guò)使具有羧基的單體與另一種單體的自由基聚合來(lái)制備。在這種情況下，優(yōu)選含有(甲基)丙烯酸。光聚合化合物(B)本發(fā)明的光聚合化合物(B)(成分(B))其特征在于，在分子中具有至少一個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)。按100重量份的成分(A)的固體含量計(jì)，成分(B)的配合量為10~200重量份，優(yōu)選30150重量份，更優(yōu)選50120重量份。成分(B)優(yōu)選含有通過(guò)使a,P-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)得到的化合物(B-1)。通過(guò)含有(B-1)，感光度增大。上述a,P-不飽和羧酸的例子可以適合地包括但不限于(甲基)丙烯酸。通過(guò)使a，P-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)得到的上述化合物(B-l)的例子可以包括聚二(甲基)丙烯酸烷撐二醇酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸丙二醇酯、聚乙烯聚三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸二乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷四乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷五乙氧基三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羥甲基甲垸四(甲基兩烯酸酯、四羥甲基丙院四(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、和六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯。這些化合物可以單獨(dú)使用或兩種或更多種混合使用。上述聚二(甲基)丙烯酸垸撐二醇酯可以包括聚二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、聚二(甲基)丙烯酸丙二醇酯和乙氧基化的聚二(甲基)丙烯酸丙二醇酯。其中，合適地使用分子量為5002，000的聚二(甲基)丙烯酸垸撐二醇酯，因?yàn)檠诒螐?qiáng)度增大。具體適合的例子可以包括乙氧基化的聚二(甲基)丙烯酸丙二醇酯。按100重量份的成分(A)的固體含量計(jì)，上述(B-1)的配合量?jī)?yōu)選為10100重量份，更優(yōu)選3090重量份。本發(fā)明用的成分(B)還可以含有具有雙酚骨架的化合物(B-2)。通過(guò)含有(B-2)，對(duì)光和熱的穩(wěn)定性增強(qiáng)。具有雙酚骨架的上述化合物(B-2)的例子可以包括雙酚A型化合物、雙酚F型化合物和雙酚S型化合物。在本發(fā)明中，2,2-雙[4-{(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基}苯基]丙烷優(yōu)選包括在雙酚A型化合物中。具體例子可以包括但不限于2,2-雙[4-{(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基}苯基]丙烷、2，2-雙[4-{(甲基)丙烯酰氧基三乙氧基}苯基]丙烷，2，2-雙[4-{(甲基)丙烯酰氧基五乙氧基}苯蜀丙垸和2,2-雙[4-{(甲基)丙烯酰氧基十乙氧基}苯基]丙垸。這些化合物可以單獨(dú)使用或兩種或更多種混合使用。2，2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基]丙烷以"BPE-500"(Shin-NakamuraChemicalCo.，Ltd.)市售，并合適地使用。按100重量份的成分(A)固體含量計(jì)，上述(B-2)的配合量?jī)?yōu)選為10100重量份，更優(yōu)選30-90重量份。本發(fā)明用的成分(B)可以含有(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羥基丙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基-2-羥基丙酯、鄰苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-2-羥乙酯，通過(guò)使a，(3-不飽和羧酸與含有縮水甘油基的化合物反應(yīng)得到的化合物、氨基甲酸酯單體、(甲基)丙烯酸壬基苯基dioxylene酉旨、？氯-卩-羥基丙基-卩'-(甲基)丙烯酰氧基乙基-0-鄰苯二甲酸酯、p-羥乙基-P'-(甲基)丙烯酰氧基乙基-o-鄰苯二甲酸酯、卩-羥基丙基-(3'-(甲基)丙烯酰氧基乙基-o-鄰苯二甲酸酯和(甲基)丙烯酸垸酯。此外，可以含有能夠在上述成分(A沖配合的示例性單體。上述含有縮水甘油基的化合物的例子可以包括但不限于二(甲基)丙烯酸三甘油酯。上述氨基甲酸酯單體的例子可以包括在(3位具有OH基的(甲基)丙烯酰單體與異佛爾酮二異氰酸酯、2,6-甲苯二異氰酸酯、2,4-甲苯二異氰酸酯或1,6-六亞甲基二異氰酸酯的加成反應(yīng)產(chǎn)物、三[(甲基)丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯]六亞甲基異氰酸酯、EO改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯和EO-、PO-改性的氨基甲酸酯二(甲基)丙烯酸酯。上述(甲基)丙烯酸烷酯的例子可以包括(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯和(甲基)丙烯酸2-乙基己酯。按100重量份成分(A)和成分(B)的總量計(jì)，成分(B)的配合量(固體含量)優(yōu)選為2060重量份。當(dāng)成分(B)的量過(guò)小時(shí)，感光度下降，而當(dāng)過(guò)大時(shí)，膜形成性變差。光聚合引發(fā)劑(C)本發(fā)明用的光聚合引發(fā)劑(C)(成分(C))其特征在于，至少包括作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。通過(guò)包括六芳基二咪唑類化合物(C1)，尤其可以實(shí)現(xiàn)粘合性和分辨率優(yōu)異的效果。本發(fā)明用的六芳基二咪唑類化合物(C1)(稱作必須成分(C1))指與咪唑環(huán)的3個(gè)碳原子結(jié)合的所有氫原子均被芳基(包括取代和未取10代的芳基)取代的咪唑的二聚體化合物。其具體例子可以包括2，4，5-三芳基咪唑二聚體，如2-(o-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-(o-氯苯基)-4，5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚體、2-(o-氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-(o-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2-(p-甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體和2,4，5-三芳基咪唑二聚體、2,2-雙(2,6-二氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體、2，2，-雙(o-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(p-氟苯基)二咪唑、2,2，-雙(o-溴苯基)-4,4，,5，5，-四(p-碘苯基)二咪唑、2,2，-雙(o-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(p-氯萘基)二咪唑、2,2，-雙(o-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(p-氯苯基)二咪唑、2，2'-雙(0-溴苯基)-4,4，，5,5，-四^-氯-p-甲氧基苯基)二咪唑、2,2，-雙(o-氯苯基)-4,4，,5,5，-四(o,p-二氯苯基)二咪唑、2,2，-雙(o-氯苯基)-4，4，，5，5，-四(o,p-二溴苯基)二咪唑、2,2，-雙(o-溴苯基)-4，4',5,5'-四(o,p-二氯苯基)二咪唑和2,2'-雙(o,p-二氯苯基)-4,4',5,5，-四(o，p-二氯苯基)二咪唑。其中，優(yōu)選使用2-(o-氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚體。多官能硫醇化合物(C2)(下面稱作必須成分(C2))是在一個(gè)分子中具有兩個(gè)或多個(gè)硫醇基的化合物，特別優(yōu)選在脂肪族基團(tuán)中具有多個(gè)硫醇基的脂肪族多官能硫醇化合物。其中，具有大分子量和低蒸汽壓的脂肪族多官能硫醇化合物是優(yōu)選的。本發(fā)明用的脂肪族多官能硫醇化合物的例子可以包括己二硫醇、癸二硫醇、1,4-二甲基巰基苯、丁二醇二硫代丙酸酯、丁二醇二硫代甘醇酸酯、乙二醇二硫代甘醇酸酯、三羥甲基丙垸三硫代甘醇酸酯、丁二醇二硫代丙酸酯、三羥甲基丙垸三硫代丙酸酯、三羥甲基丙垸三硫代甘醇酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四硫代甘醇酸酯、三羥乙基三硫代丙酸酯、以及多價(jià)羥基化合物的其它硫代甘醇酸酯和硫代丙酸酯。其中，優(yōu)選使用三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯和季戊四醇四硫代甘醇酸酯。通過(guò)含有必須成分(C2)，成分(C)可以顯著增大感光度，而不會(huì)損害圖像特性如分辨率和不會(huì)使顯影時(shí)表面劣化。按100重量份的成分(A)固體含量計(jì)，組合物中上述成分(C)的配合量為0.1~30重量份。當(dāng)其量小于O.l重量份時(shí)，感光度下降，實(shí)用性差。相反，當(dāng)其量超過(guò)30重量份時(shí)，粘合性下降。按100重量份的必須成分(C1)計(jì)，必須成分(C2)的配合量為0.130重量份，優(yōu)選120重量份，更優(yōu)選110重量份。當(dāng)必須成分(C2)的量小于0.1重量份時(shí)，感光度過(guò)低，而當(dāng)超過(guò)30重量份時(shí)，分辨率和隨時(shí)間變化的保存穩(wěn)定性變差。優(yōu)選的是，感光性樹(shù)脂組合物還含有N-苯基甘氨酸作為成分(C)。因?yàn)橥ㄟ^(guò)含有N-苯基甘氨酸增強(qiáng)了感光度。當(dāng)成分(C)含有N-苯基甘氨酸時(shí)，按IOO重量份的必須成分(CI)計(jì)，N-苯基甘氨酸的組合量?jī)?yōu)選為3~20重量份，更優(yōu)選515重量份。當(dāng)其量小于3重量份時(shí)，沒(méi)有觀察到增強(qiáng)的感光度效果，而當(dāng)超過(guò)20重量份時(shí)，分辨率和隨時(shí)間變化的保存穩(wěn)定性變差。除了上述物質(zhì)之外，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物還可以包括光聚合引發(fā)劑，只要不妨礙本發(fā)明的效果。這種光聚合引發(fā)劑的例子可以包括芳香族酮，如二苯甲酮、N,N'-四甲基-4，4，-二氮基二苯甲酮、N,N，-四乙基-4,4，-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4，-二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-l-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-l,2-甲基-l-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基-丙酮-l;醌，如2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、l-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-1,4-萘醌和2，3-二甲基蒽醌；苯偶姻醚化合物，如苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚和苯偶姻苯基醚；苯偶姻化合物，如苯偶姻、甲基苯偶姻和乙基苯偶姻；芐基衍生物，如芐基甲基縮酮；吖啶衍生物，如9-苯基吖啶和1,7-雙(9,9，-吖啶基)庚烷，和香豆素類化合物。其他成分在本發(fā)明中，除了上述成分之外，為調(diào)節(jié)粘度，在需要時(shí)還可以適當(dāng)?shù)丶尤胂♂層糜袡C(jī)溶劑，如醇類、酮類、乙酸酯類、二醇醚類、二醇醚酯類和石油類溶劑。上述稀釋用的有機(jī)溶劑的例子可以包括但不限于己烷、庚綜、辛烷、壬烷、癸烷、苯、甲苯、二甲苯、芐基醇、甲基乙基酮、丙酮、甲基異丁基酮、環(huán)己烷、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、環(huán)己醇、乙二醇、二乙二醇、甘油、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、乙酸2-甲氧基丁酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸4-甲氧基丁酯、乙酸2-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、乙酸3-乙基-3-甲氧基丁酯、乙酸2-乙氧基丁酯、乙酸4-乙氧基丁酯、乙酸4-丙氧基丁酯、乙酸2-甲氧基戊酯、乙酸3-甲氧基戊酯、乙酸4-甲氧基戊酯、乙酸2-甲基-3-甲氧基戊酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基戊酯、乙酸3-甲基-4-甲氧基戊酯、乙酸4-甲基-4-甲氧基戊酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、丙基乙酸酯、乙酸丁酯、丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丙酯、苯甲酸丁酯、丁酸甲酯、丁酸乙酯、丁酸丙酯，以及可得到的商品名如"Swasol"(MaruzenPetrochemicalCo.，Ltd.)和"Solvets"(TonenPetrochemicalCo.，Ltd.)其它石油類溶劑。可以適當(dāng)?shù)丶尤肫渌砑觿?，如著色染料、粘合付與劑、增塑劑、抗氧化劑、熱聚合抑制劑、表面張力改性劑、穩(wěn)定劑、鏈轉(zhuǎn)移劑、消泡劑和阻燃劑。當(dāng)加入抗氧化劑時(shí)，對(duì)光和熱的穩(wěn)定性傾向于增強(qiáng)。作為本發(fā)明感光性樹(shù)脂成分的上述成分(A)、(B)和(C)的最優(yōu)選組合按如下得到組合通過(guò)共聚合重量比為50:25:25的甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和苯乙烯得到的重均分子量為80,000的樹(shù)脂100重量份(按固體含量計(jì))作為成分(A)、40重量份的乙氧基化的聚二甲基丙烯酸丙二醇酯(B-1)和40重量份的2,2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙垸作為成分(B)，和10重量份的2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，，5,5，-四苯基-1,2，-二咪唑和0.2重量份的三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯(TMMP)作為成分(C)。這種組合在感光度、穩(wěn)定性、掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性方面十分優(yōu)異。從實(shí)際制造的觀點(diǎn)來(lái)看，上述成分(A)、(B)和(C)的優(yōu)選組合按如下得到組合(甲基)丙烯酰類樹(shù)脂作為成分(A)、乙氧基化的聚二甲基丙烯酸丙二醇酯作為成分(B)、和2，2，-雙(2-氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-l,2，-二咪唑和三羥甲基丙垸三硫代丙酸酉旨(TMMP)作為成分(C)。這種組合在制造成本和效果之間具有良好平衡。感光性干膜然后，說(shuō)明本發(fā)明的感光性干膜。本發(fā)明的感光性干膜通過(guò)至少在支持膜上提供由上述感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層來(lái)得到。當(dāng)使用時(shí)，通過(guò)將暴露的感光性樹(shù)脂層側(cè)與在待處理的材料(基板)重疊，然后從感光性樹(shù)脂層剝離支持膜，可以容易地在待處理的材料(基板)上提供這種感光性樹(shù)脂層。使用本發(fā)明的感光性干膜，與通過(guò)直接在待處理的材料(基板)上涂布感光性樹(shù)脂組合物而形成感光性樹(shù)脂層的情況相比，可以形成具有更優(yōu)異的膜厚度均勻性和表面平滑性的層。用于制造本發(fā)明的感光性干膜的支持膜沒(méi)有特別限制，只要在支持膜上形成為膜的感光性樹(shù)脂層能夠容易地從支持膜剝離，所述支持膜是一種能夠?qū)愚D(zhuǎn)移到玻璃等的待處理表面上的脫離型膜(mouldreleasingfilm)。這種支持膜的例子可以包括由合成樹(shù)脂如聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯和聚氯乙烯的膜構(gòu)成的膜厚度15~125^m的柔性膜。優(yōu)選的是，如果需要易于轉(zhuǎn)移對(duì)上述支持膜進(jìn)行脫離處理。當(dāng)在支持膜上形成感光性樹(shù)脂層時(shí)，制備本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，并使用涂布器、刮條涂布器、線桿涂布器(wirebarcoater)、輥涂布器或幕式涂布器(curtainflowcoater)在支持膜上涂布本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，使得干燥膜厚度為10~100pm。特別地，輥涂布器是優(yōu)選的，因?yàn)槟ず穸染鶆蛐詢?yōu)異，并可以有效地形成厚膜。當(dāng)形成感光性樹(shù)脂層時(shí)，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物可以直接涂布在支持膜上，但水溶性樹(shù)脂層已經(jīng)預(yù)先形成在支持膜上，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物也可以涂布在這種水溶性樹(shù)脂層上而形成感光性樹(shù)脂層。本文的水溶性樹(shù)脂層防止在曝光時(shí)牢固粘合的掩模(圖案)的未干粘合以及感光性樹(shù)脂的氧減感效應(yīng)(oxygendesensitizingeffect)。通過(guò)使用刮條涂布器、輥涂布器或幕式涂布器涂布水溶性聚合物如聚乙烯醇或部分皂化的聚乙酸乙烯酯的520重量％水溶液并干燥，使得干燥膜厚度為1~10pm，從而形成水溶性樹(shù)脂層。優(yōu)選的是，當(dāng)形成水溶性樹(shù)脂層時(shí)，將乙二醇、丙二醇或聚乙二醇加到水溶性聚合物的上述水溶液中，因?yàn)樗苄詷?shù)脂層的柔韌性增大，從柔性膜的脫離性也增強(qiáng)。當(dāng)上述水溶性樹(shù)脂層的厚度小于1pm時(shí)，在某些情況下由于氧減感而使曝光變差，而在超過(guò)10pm時(shí)，分辨率傾向于變差。當(dāng)制備上述水溶液時(shí)，考慮到溶液的粘度和消泡，可以加入溶劑，如甲醇、乙二醇單甲基醚或丙酮、或市售消泡劑。在本發(fā)明的感光性干膜中，在感光性樹(shù)脂層上還可以提供保護(hù)膜。通過(guò)保護(hù)膜的保護(hù)，貯存、運(yùn)輸和處理變得容易。保護(hù)膜保護(hù)的感光性干膜可以預(yù)先制造，并保存使用期限內(nèi)的預(yù)定時(shí)間。因此，當(dāng)制造具有布線電路的裝置時(shí)，可以立即使用保護(hù)膜保護(hù)的感光性干膜，并使布線電路形成步驟更有效D作為這種保護(hù)膜，優(yōu)選的是涂布有或灼燒形成的硅樹(shù)脂的厚度約為15125pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜、聚丙烯膜和聚乙烯膜。使用本發(fā)明感光性干膜的方法的例子可以包括但不限于以下例子。下面將結(jié)合帶有保護(hù)膜的感光性干膜說(shuō)明此方法。首先，從本發(fā)明的感光性干膜剝離保護(hù)膜，將露出的感光性樹(shù)脂層置于待處理的材料(基板)上，使感光性樹(shù)脂層粘合在基板上。當(dāng)粘合時(shí)，通常使用熱壓方式，其中基板被預(yù)先加熱，并且將感光性干膜壓至所述基板上。然后，通過(guò)使與支持膜層合的感光性樹(shù)脂層經(jīng)掩模曝光或直接經(jīng)描繪(depiction)曝光，使感光性樹(shù)脂層選擇性地曝光。具體而言，使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、弧光燈或氙燈來(lái)輻射紫外線。也可以通過(guò)用h-射線、準(zhǔn)分子激光器、X-射線或電子束輻射進(jìn)行曝光。特別地，通過(guò)激光的i-射線(365nm)曝光是優(yōu)選的。在上述曝光后，通過(guò)剝離支持膜并顯影來(lái)選擇性地除去感光性樹(shù)脂層的未曝光區(qū)，形成感光性樹(shù)脂層的曝光區(qū)留下的圖案。顯影用的顯影溶液的例子可以包括堿性顯影溶液，§卩，由堿性金屬如鋰、鈉和鉀的氫氧化物、碳酸鹽、碳酸氫鹽、磷酸鹽和焦磷酸鹽構(gòu)成的水溶液；伯胺，如芐胺和丁胺；仲胺，如二甲胺、二芐胺和二乙醇胺；叔胺，如三甲胺、三乙胺和三乙醇胺；環(huán)胺，如嗎啉、哌嗪和吡啶；多胺，如乙二胺和六亞甲基二胺；氫氧化銨，如四乙基氫氧化銨、三甲基芐基氫氧化銨和三甲基苯基芐基氫氧化銨；和氫氧化锍，如三甲基氫氧化锍、二乙基甲基氫氧化锍和二甲基節(jié)基氫氧化锍；此外，常使用堿性顯影溶液如含有膽堿和硅酸鹽的緩沖液，常使用的有機(jī)溶劑，即酮，如丙酮、甲基乙基酮、環(huán)己烷、甲基異戊基酮和2-庚酮；多元醇和其衍生物，如乙二醇、丙二醇、二乙二醇、乙二醇單乙酸酯、丙二醇單乙酸酯、二乙二醇單乙酸酯、或其單甲基醚、其單乙基醚、其單丙基醚、其單丁基醚或其單苯基醚；和酯，如乳酸乙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲氧基丙酸甲酯和乙氧基丙酸乙酯。在顯影之后，在需要時(shí)，通過(guò)在約60~250°C下加熱或在約0.210mJ/cn下曝光，可以進(jìn)一步固化抗蝕劑圖案。然后，通過(guò)使用圖案化的殘留的感光性樹(shù)脂層(光致抗蝕劑圖案)作為掩模蝕刻基板或電鍍光致抗蝕劑圖案未形成區(qū)，形成金屬布線圖案。隨后，使用pH約12~14的氫氧化鈉、氫氧化鉀或有機(jī)胺的水溶液剝離除去光致抗蝕劑圖案。實(shí)施例結(jié)合以下實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但這些實(shí)施例僅用于適合地闡明本發(fā)明，而不是限制本發(fā)明。(實(shí)施例19)通過(guò)攪拌并混合表1所示組成的化合物，制備感光性樹(shù)脂組合物溶液。表中的(A)、(B)和(C)代表以下化合物。除了表1所述成分之外，還使用60重量份的甲基乙基酮。(A)堿溶性樹(shù)脂使用按固體含量計(jì)為100重量份的通過(guò)共聚合重量比為50:25:25的甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和苯乙烯得到的重均分子量為80,000的樹(shù)脂。(B)光聚合化合物(B-1)[1]聚二丙烯酸丙二醇酯(n;12)"AlonicsM270"(商品名，ToagoseiCo.，Ltd.提供)[2]乙氧基化的聚二甲基丙烯酸丙二醇酯"AlonicsM775"(商品名，ToagoseiCo.，Ltd.提供)(B-2)2,2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙烷"BPE500"(商品名，Shin-Nakam歸ChemicalCo.，Ltd.提供)(C)光聚合引發(fā)劑(Cl-1)2,2，-雙(2-氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-l,2，-二咪唑"B-CIM"(商品名，HodogayaChemicalCo.，Ltd.提供)(CI-2)2,2，-雙(2,6-二氯苯基)-4,4，,5,5，-四苯基-1,2，-二咪唑"TC-HABI"(商品名，NihonSiberHegnerK.K.提供)(C2-1)三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯(TMMP)(SakaiChemicalIndustryCo.，Ltd.提供)(C2-2)季戊四醇四硫代乙二醇(PEMP)(SakaiChemicalIndustryCo.，Ltd.提供)(C3)N-苯基甘氨酸(MitsuiChemicalsInc.提供)(C4)四-n-丁基銨丁基三(4-甲基-l-萘基)硼酸酯(C5)9-苯基吖啶<table>tableseeoriginaldocumentpage19</column></row><table>通過(guò)將感光性樹(shù)脂組合物的溶液均勻涂布在PET膜(厚度19pm)"G2"(商品名，TeijinDuPontFilmsJapanLtd.提供)上，并以分批模式在80。C的熱風(fēng)干燥機(jī)中干燥約10分鐘，然后在其上層合保護(hù)膜"GF816"(商品名，TamapolyCo.，Ltd.提供)，得到各感光性干膜。干燥的感光性樹(shù)脂層的膜厚度為40,。然后，研磨銅厚度35pm、板厚度1.6mm的銅包覆板，在輥溫105。C，輥汽缸壓力(rollcylinderpressure)3.0kg/cm2，速度1.0m/分鐘下，將從其上剝離保護(hù)膜的上述各感光性干膜層合在得到的銅包覆板上。評(píng)價(jià)按上述得到的在銅包覆板上的感光性樹(shù)脂層的感光度、穩(wěn)定性、掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍污染性。各種評(píng)價(jià)方法如下。除非下面另有說(shuō)明，通過(guò)在30°C下噴射1重量％的N&COyX溶液進(jìn)行顯影，噴射壓力為1.2kg/cm2，時(shí)間為40秒。感光度評(píng)價(jià)將Stouffer21-段階段式曝光表作為曝光掩模置于通過(guò)上述方法層合的感光性干膜上，以曝光強(qiáng)度10mJ/cmM吏感光性干膜曝光，然后顯影，并評(píng)價(jià)殘留的粘著/分辨率(線和空間)圖案的最小尺寸。"DP-100"(商品名，OrbotechLtd.提供)用作曝光裝置。在表1中，感光度的評(píng)價(jià)"A"，"B"和"C"分別代表SST7段以上、SST4段以上和SST2段以下。穩(wěn)定性評(píng)價(jià)使用上述方法層合感光性干膜，然后在黃色燈"FLR40SY-F/M"(商品名，HitachiLtd.提供)下放置，評(píng)價(jià)0、2、4、6和8小時(shí)后感光度和粘著/分辨率的變化。基板和黃色燈之間的距離是50cm。干膜在東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社內(nèi)部的干凈室內(nèi)，在室溫20°C、濕度50%下，在黃色燈下50cm放置。在表1中，穩(wěn)定性評(píng)價(jià)"A"代表在黃色燈下放置6小時(shí)以上后感光度和粘著/分辨率沒(méi)有變化，"B"代表在黃色燈下放置4小時(shí)后感光度和粘著/分辨率沒(méi)有變化，和"C"代表在黃色燈下放置即使2小時(shí)內(nèi)感光度和粘著/分辨率也有變化。掩蔽強(qiáng)度評(píng)價(jià)研磨掩蔽基板(通孔直徑直徑6.0mm)，然后在其兩側(cè)層合感光性干膜。然后，進(jìn)行兩側(cè)曝光(曝光強(qiáng)度10mJ/cm2)，進(jìn)行顯影(40秒)。然后，使用Tensilon萬(wàn)用拉伸測(cè)試機(jī)(OrientecCo.，Ltd.提供，壓縮測(cè)試掃描速度20mm/分鐘，頭部直徑(f)2mm)，測(cè)量斷裂時(shí)的抗蝕劑膜強(qiáng)度。在表1中，掩蔽強(qiáng)度評(píng)價(jià)"A"、"B"和"C"分別代表300g以上的膜強(qiáng)度、200g以上和小于300g的膜強(qiáng)度、和小于200g的膜強(qiáng)度。分辨率評(píng)價(jià)以曝光強(qiáng)度10mJ/crr^對(duì)用上述方法層合的感光性干膜進(jìn)行激光曝光以圖案化，然后對(duì)干膜進(jìn)行顯影，并評(píng)價(jià)殘留的粘著/分辨率(線和空間)圖案的最小尺寸。使用OrbotechLtd.提供的測(cè)試圖案進(jìn)行分辨率評(píng)價(jià)(線和空間)。在表1中，分辨率評(píng)價(jià)"A"代表能夠再現(xiàn)小于50pm的細(xì)線，"B"代表能夠再現(xiàn)50pm以上和小于100pm的細(xì)線，和"C"代表不能再現(xiàn)100pm以上的細(xì)線。能夠再現(xiàn)細(xì)線指顯影后在線和空間中沒(méi)有波形和偏轉(zhuǎn)。電鍍污染性評(píng)價(jià)在5mJ/cn^下使感光性干膜曝光，然后在電鍍?nèi)芤?室溫)中浸漬，制作疲勞電鍍?nèi)芤?fatigueplatingsolution)。然后，進(jìn)行赫爾槽測(cè)試，使用熒光X-射線裝置測(cè)量錫比例和焊料電鍍厚度，以評(píng)價(jià)電鍍后的狀態(tài)。赫爾槽測(cè)試是一種通過(guò)在赫爾槽中放置焊錫電鍍?nèi)芤翰⒃陔娏?A、攪拌速度400rpm下電鍍10min，來(lái)評(píng)價(jià)電鍍?nèi)芤褐械闹鞒煞诌^(guò)量和不足以及雜質(zhì)混入狀況的測(cè)驗(yàn)。在表l中，電鍍污染性評(píng)價(jià)"A"代表錫比例和焊料電鍍厚度幾乎沒(méi)有變化(未污染)，"B"代表錫比例和焊料電鍍厚度略微變化，和"C"代表錫比例和焊料電鍍厚度沒(méi)有顯著變化。其結(jié)果是，如表1所示，本發(fā)明的感光性干膜的感光度評(píng)價(jià)是A或B，這是優(yōu)選的。此外，其穩(wěn)定性評(píng)價(jià)是A或B，這是優(yōu)選的。其他評(píng)價(jià)(掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍污染性)也是優(yōu)選的。按100重量份的必須成分(C1)計(jì)配合0.110重量份的必須成分(C2)的情況(實(shí)施例17、9)比配合上述范圍之外的必須成分(C2)的情況(實(shí)施例8)表現(xiàn)出更優(yōu)選的感光度"A"。在實(shí)施例中表現(xiàn)出最優(yōu)異效果的情況是組合40重量份的乙氧基化的聚二甲基丙烯酸丙二醇酯(B-l)和40重量份的2,2-雙[4-(甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基]丙烷(B-2)作為成分(B)、10重量份的2,2'-雙(2-氯苯基)-4,4'，5,5'-四苯基-l,2，-二咪唑(Cl-l)和0.2重量份的三羥甲基丙烷三硫代丙酸酯(C2-1)作為成分(C)的情況C實(shí)施例6)。(比較例13)通過(guò)攪拌并混合表1所示組成的化合物，制備感光性樹(shù)脂組合物，并按實(shí)施例1相同的方式制作干膜。然后，按實(shí)施例1相同的方式對(duì)干膜進(jìn)行各種評(píng)價(jià)。其結(jié)果是，如表1所示，在不含有必須成分(C1)的比較例1中，穩(wěn)定性評(píng)價(jià)是"C"，這被認(rèn)為不適于實(shí)用。在不含有必須成分(C2)的比較例2和3中，感光度評(píng)價(jià)是"C"，這被認(rèn)為不適工業(yè)實(shí)用性綜上所述，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物和感光性干膜其感光度和穩(wěn)定性優(yōu)異，并在各種性能如掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性方面具有良好平衡。因此，本發(fā)明適于通過(guò)紫外線曝光使抗蝕劑圖案化，尤其是使用激光直接成像(LDI)形成布線電路。權(quán)利要求1.一種感光性樹(shù)脂組合物，包括堿溶性樹(shù)脂(A);光聚合化合物(B);和光聚合引發(fā)劑(C)，其中所述聚合引發(fā)劑(C)包括作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中按所述光聚合引發(fā)劑(C)的100重量份的必須成分(C1)計(jì)，所述必須成分(C2)的配合量為0.1~30重量份。3.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中所述光聚合化合物(B)在分子中具有至少一個(gè)可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)。4.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，還包括通過(guò)使不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)得到的化合物(B-1)作為所述光聚合化合物(B)。5.如權(quán)利要求4所述的感光性樹(shù)脂組合物，還包括具有雙酚骨架的化合物(B-2)作為所述光聚合化合物(B)。6.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，還包括N-苯基甘氨酸作為所述光聚合弓I發(fā)劑(C)。7.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中所述感光性樹(shù)脂組合物用于激光掃描曝光。8.—種感光性干膜，在支持膜上至少具有由權(quán)利要求l所述的感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層。9.如權(quán)利要求8所述的感光性干膜，其中所述感光性干膜用于激光掃描曝光。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹(shù)脂組合物和感光性干膜，其感光度和穩(wěn)定性優(yōu)異，并在掩蔽強(qiáng)度、分辨率和電鍍非污染性方面具有良好平衡。這種感光性樹(shù)脂組合物包括堿溶性樹(shù)脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引發(fā)劑(C)，其中聚合引發(fā)劑(C)包括作為必須成分的六芳基二咪唑類化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。所述感光性干膜在支持膜上至少具有由所述感光性樹(shù)脂組合物形成的感光性樹(shù)脂層。文檔編號(hào)G03F7/031GK101124517SQ20058003994公開(kāi)日2008年2月13日申請(qǐng)日期2005年11月22日優(yōu)先權(quán)日2004年11月25日發(fā)明者植松照博,勝又直也申請(qǐng)人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社