專利名稱：維修方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向例如在液晶顯示器(以下稱為L(zhǎng)CD)的玻璃基板、半 導(dǎo)體晶片、印刷基板等上產(chǎn)生的缺陷部照射激光來進(jìn)行維修的維修方法 及其裝置。
背景技術(shù)：
在LCD制造工序中，進(jìn)行針對(duì)在光刻(photolithography)處理工序 中所處理的玻璃基板的各種檢查。作為該檢查結(jié)果，當(dāng)在形成于玻璃基 板上的抗蝕劑圖形或蝕刻圖形中檢測(cè)出缺陷部時(shí)，對(duì)該缺陷部照射激光 來進(jìn)行缺陷部的維修。作為維修方法，例如有分別記載于專利文獻(xiàn)1和2中的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)1中記載有如下的技術(shù)將從紫外激光振蕩器輸出的紫外激光入射到可變矩形開口，利用各刀口的可動(dòng)而對(duì)該可變矩形開口進(jìn)行開閉， 將紫外光的截面形狀整形為所期望大小的矩形而照射到缺陷部。在專利文獻(xiàn)2中記載有如下的技術(shù)將從激光振蕩器輸出的激光束入射到孔(aperture),通過使該孔的各葉片(blade)伸縮和轉(zhuǎn)動(dòng)來形成 與缺陷部的形狀相應(yīng)形狀的激光束。通過更換使用直線狀的葉片或具有 不同曲率的半圓切口和半圓突起的各個(gè)葉片，從而孔對(duì)應(yīng)于任意形狀的 缺陷部。專利文獻(xiàn)1:日本特開平9一5732號(hào)公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開平3 — 13946號(hào)公報(bào)在LCD制造工序的維修中，存在玻璃基板上的抗蝕劑圖形的維修和 蝕刻圖形的維修。在抗蝕劑圖形的維修中，對(duì)形成在玻璃基板上的金屬 膜上的抗蝕劑圖形的缺陷部照射激光來進(jìn)行維修。在該維修中，在所維 修的抗蝕劑圖形的基底上存在金屬膜，當(dāng)向抗蝕劑圖形的缺陷部照射激
光時(shí)，有時(shí)激光也會(huì)照射到基底的金屬膜上。即使如上述這樣激光照射 到金屬膜，對(duì)金屬膜的影響也小，激光對(duì)金屬膜照射時(shí)的損傷可以忽略。與此相對(duì)，在蝕刻圖形的維修中，為了對(duì)在玻璃基板上通過蝕刻所 形成的金屬圖形的缺陷部照射激光，進(jìn)行維修的金屬圖形基底成為玻璃 基板。因此，當(dāng)向金屬圖形的缺陷部照射激光時(shí)，如果也向作為基底的 玻璃基板照射激光，則將對(duì)玻璃基板帶來?yè)p傷。受到損傷的玻璃基板的 修復(fù)比較困難，必須廢棄玻璃基板本身，使LCD制造的成品率降低。以 此，希望極力避免對(duì)玻璃基板的損傷。另外，在作為維修對(duì)象的各缺陷部的形狀中，每個(gè)缺陷都不同，呈 現(xiàn)出無法單靠簡(jiǎn)單地組合直線和曲線來表示的復(fù)雜形狀。因此，如專利 文獻(xiàn)1那樣，通過可變矩形開口的開閉，難以使紫外激光的截面形狀與 缺陷部的形狀一致，導(dǎo)致偏離缺陷部而照射到維修對(duì)象外的圖形和基底， 從而造成損傷。在專利文獻(xiàn)2中，可通過使用各葉片來與任意形狀的缺陷部對(duì)應(yīng)地 對(duì)激光的截面形狀進(jìn)行整形，但由于缺陷部的大小和形狀各不相同，所 以無法對(duì)應(yīng)于所有的缺陷部。另外，在對(duì)形狀不同的缺陷部進(jìn)行維修的 情況下，每當(dāng)對(duì)這些缺陷部進(jìn)行維修時(shí)，必須按照各缺陷部的形狀來對(duì)各葉片進(jìn)行更換作業(yè)，維修作業(yè)花費(fèi)時(shí)間。特別，在LCD的制造工序中，為實(shí)現(xiàn)降低成本，而要求提高成品率且縮短維修時(shí)間，但無法滿足該要 求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種可與復(fù)雜形狀的缺陷部對(duì)應(yīng)地對(duì)激光 的截面形狀進(jìn)行整形，來準(zhǔn)確且高速地對(duì)缺陷部進(jìn)行維修的維修方法及 其裝置。在本發(fā)明的維修方法中，向具有在縱橫方向上排列多個(gè)而形成的各 調(diào)制要素的空間調(diào)制元件入射從激光光源輸出的激光，對(duì)該空間調(diào)制元 件的各調(diào)制要素分別進(jìn)行控制，通過所述各調(diào)制要素將所述激光的截面 形狀整形為維修對(duì)象的形狀，向所述維修對(duì)象照射該整形后的所述激光
來對(duì)該維修對(duì)象進(jìn)行修復(fù)。在本發(fā)明的維修方法中包含如下的工序從圖像數(shù)據(jù)中提取出所述 維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)的工序；從激光光源輸出激光的工序；根據(jù)所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)，分別對(duì)具有在縱橫方向上排列多個(gè)的各調(diào)制要素的 空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素進(jìn)行控制，將從所述激光光源輸出的所述激光整形為所述維修對(duì)象形狀的工序；以及向所述維修對(duì)象照射由所述各 調(diào)制要素所整形的所述激光，來對(duì)該維修對(duì)象進(jìn)行修復(fù)的工序。本發(fā)明的維修裝置具有激光光源，其輸出激光；空間調(diào)制元件， 其具有可分別控制的各調(diào)制要素，且在縱橫方向上排列多個(gè)該各調(diào)制要 素而形成；攝像裝置，其對(duì)所述維修對(duì)象進(jìn)行拍攝；維修對(duì)象提取單元， 其從通過所述攝像裝置的拍攝而取得的圖像數(shù)據(jù)中提取出所述維修對(duì)象 的形狀數(shù)據(jù)；激光形狀控制單元，其根據(jù)由所述維修對(duì)象提取單元所提 取出的所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)，來對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制 要素進(jìn)行控制，由所述各調(diào)制要素將所述激光整形為與所述維修對(duì)象形 狀一致；以及光學(xué)系統(tǒng)，其向所述維修對(duì)象照射由所述空間調(diào)制元件的 所述各調(diào)制要素所整形的所述激光。根據(jù)本發(fā)明，可提供能夠與復(fù)雜形狀的缺陷部對(duì)應(yīng)地對(duì)激光的截面 形狀進(jìn)行整形，來高速地對(duì)缺陷部進(jìn)行維修的維修方法及其裝置。


圖1是示出本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖2是示出在本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制 元件的一個(gè)調(diào)制要素的外觀的外觀立體圖。圖3是示出在本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制 元件的各調(diào)制要素的排列的排列圖。圖4是對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置的動(dòng)作進(jìn)行說明的流程圖。圖5是通過本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中的照相機(jī)的拍攝而 得到的缺陷圖像數(shù)據(jù)的示意圖。
圖6是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)的示意圖。圖7是由本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置所提取出的缺陷提取圖 像數(shù)據(jù)的示意圖。圖8A是示出由本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中的修整部進(jìn)行的缺陷部形狀數(shù)據(jù)的修正前的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。圖8B是示出由相同裝置中的修整部進(jìn)行的圖8A的缺陷部形狀數(shù)據(jù) 的修正后的狀態(tài)的圖。圖9A是示出由本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中的修整部進(jìn)行的 缺陷部形狀數(shù)據(jù)的修正前的狀態(tài)的另一例子的圖。圖9B是示出由相同裝置中的修整部進(jìn)行的圖9A的缺陷部形狀數(shù)據(jù) 的修正后的狀態(tài)的圖。圖IO是示出由本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置將缺陷部的形狀分 割為與空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素對(duì)應(yīng)的各微小區(qū)域的示意圖。圖11是示出基于本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置的維修不良的缺 陷部的圖。圖12是示出由本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置所維修的缺陷部的 形狀的一個(gè)例子的圖。圖13是示出本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置和使用該維修裝置的 維修系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖14A是示意示出在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制元件的結(jié)構(gòu)的一部分的局部放大立體圖。圖14B是用于對(duì)在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間 調(diào)制元件的調(diào)制要素進(jìn)行說明的立體說明圖。圖14C是用于對(duì)可在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置中使用的其 他空間調(diào)制元件的調(diào)制要素進(jìn)行說明的立體說明圖。圖15是示出本發(fā)明的第3實(shí)施方式的維修裝置和使用該維修裝置的 維修系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖16是對(duì)本發(fā)明的第1 3實(shí)施方式的維修工序的變形例進(jìn)行說明
的流程圖。標(biāo)號(hào)說明h XY臺(tái)；2:玻璃基板；3:移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部；4:基板檢查裝置(缺 陷位置檢查單元)；5:照明光源；6、 10、 20:透鏡；7、 8:分光器；9: 物鏡；11:照相機(jī)(攝像裝置)；12:維修對(duì)象提取圖像處理部(維修對(duì) 象提取單元)；13:監(jiān)視器；14:維修用光源(激光光源)；15:反射鏡; 16: DMD單元(空間調(diào)制元件)；16a:基準(zhǔn)反射面；17: DMD; 18:驅(qū) 動(dòng)用存儲(chǔ)單元；19:微小反射鏡(空間調(diào)制元件的調(diào)制要素)；21:激光 形狀控制部(激光形狀控制單元)；22、 35: DMD驅(qū)動(dòng)器；23:修整部；24:反射鏡；25:維修位置確認(rèn)用光源；28:基板搬送裝置(基板搬送 機(jī)構(gòu))；29:空間調(diào)制器驅(qū)動(dòng)器；30、 36:透射型空間調(diào)制器(空間調(diào)制 元件)；30a、 36a:翻轉(zhuǎn)單元(空間調(diào)制元件的調(diào)制要素)；31:可動(dòng)反 射鏡(偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件)；33:透鏡；34: —維DMD (空間調(diào)制元件)；50、 51、 52:維修裝置；100、 101、 102:維修系統(tǒng)；111:檢查結(jié)果數(shù)據(jù)。
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。在所有附圖中，即使在 實(shí)施方式不同的情況下，對(duì)相同或相應(yīng)的部件賦予相同標(biāo)號(hào)，而省略相 同的說明。(第1實(shí)施方式)對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置進(jìn)行說明。圖1是示出本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。圖2是示出在本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制元件 的一個(gè)調(diào)制要素的外觀的外觀立體圖。圖3是示出在本發(fā)明的第1實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素的排列的排列圖。以下為便于方向參照，記載有圖1所示的XYZ坐標(biāo)系(圖13、圖 15也相同)。在該右手系坐標(biāo)系中，Z軸正方向?yàn)閳D示上方向，X軸正方 向?yàn)閳D示右方向，ZX平面與紙面平行，Y軸正方向?yàn)槌蚣埫鎯?nèi)側(cè)。本實(shí)施方式的維修裝置50與基板檢查裝置4、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401 —
起構(gòu)成維修系統(tǒng)100。維修裝置50的概略結(jié)構(gòu)由XY臺(tái)1、控制裝置400、移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制 部3、照明光源5、照相機(jī)ll (攝像裝置)、維修對(duì)象提取圖像處理部12 (維修對(duì)象提取單元)、維修用光源14(激光光源)、數(shù)字微鏡器件(digital micro mirror device)單元(以下，簡(jiǎn)稱為DMD單元)16 (空間調(diào)制元件)、 激光形狀控制部21 (激光形狀控制單元)、和基板搬送裝置28構(gòu)成。在XY臺(tái)1上，作為維修對(duì)象即基板而載置有LCD的玻璃基板2。 作為這樣的維修對(duì)象基板，只要是形成有半導(dǎo)體晶片、印刷基板、LCD 用彩色濾光片、圖形掩膜等形成有微細(xì)圖形的基板即可。通過移動(dòng)驅(qū)動(dòng) 控制部3的驅(qū)動(dòng)控制，該XY臺(tái)1在圖示XY方向上移動(dòng)?？刂蒲b置400與圖像處理部12、激光形狀控制部21、基板搬送裝置 28、移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401連接。在數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401上 連接有基板檢査裝置4。在數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401中保存有由基板檢查裝置4 例如對(duì)玻璃基板2進(jìn)行缺陷檢査，而作為其結(jié)果的包含玻璃基板2上的 缺陷部的坐標(biāo)、大小、缺陷的種類等的檢查結(jié)果數(shù)據(jù)?？刂蒲b置400從 數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401取得檢查結(jié)果數(shù)據(jù)，根據(jù)"i亥檢査結(jié)果數(shù)據(jù)的各缺陷部 的坐標(biāo)數(shù)據(jù)來在圖示XY方向上對(duì)XY臺(tái)1進(jìn)行移動(dòng)控制，將玻璃基板2 上的各缺陷部自動(dòng)定位于維修位置L、即從后述的維修用光源14射出的 激光r的照射位置。另外，移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3與后述的支撐臺(tái)16b連接，而對(duì)支撐臺(tái)16 的位置、姿勢(shì)進(jìn)行微動(dòng)控制，以便可根據(jù)需要來調(diào)節(jié)激光r的截面形狀。另外，關(guān)于控制裝置400，也可以由計(jì)算機(jī)來構(gòu)成，也可以作為軟 件來嵌入圖像處理部12、激光形狀控制部21、以及修整部23等。照明光源5射出用于對(duì)玻璃基板2進(jìn)行照明的照明光。在該照明光 的光路上，隔著透鏡6設(shè)有分光器7。在該分光器7的反射光路上，隔著 分光器8設(shè)有物鏡9。在通過這些物鏡9、各分光器8、 7的光軸p的延長(zhǎng)線上，隔著透鏡 10設(shè)有由CCD等構(gòu)成的照相機(jī)11。該照相機(jī)11通過透鏡10和物鏡9 來拍攝玻璃基板2，并輸出其圖像信號(hào)。
關(guān)于物鏡9，僅圖示出1個(gè)，但其由在未圖示的物鏡轉(zhuǎn)換器中具有 的多種倍率的物鏡構(gòu)成。包含有檢査用的倍率比較低的例如5倍、10倍的物鏡、和維修用的倍率比較高的、例如20倍、50倍的物鏡。維修用物鏡選擇玻璃材料、涂料，以使所使用的激光波長(zhǎng)可高效地進(jìn)行透射。維修對(duì)象提取圖像處理部12輸入從照相機(jī)11輸出的圖像信號(hào)而取 得缺陷圖像數(shù)據(jù)，對(duì)該缺陷圖像數(shù)據(jù)和基板圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較而從該差 異圖像數(shù)據(jù)中提取出玻璃基板2上的缺陷部，進(jìn)行二值化處理來生成缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)。另外，也可以通過圖像處理根據(jù)缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)或 差異圖像數(shù)據(jù)求出缺陷部的輪廓，生成可除去輪廓內(nèi)部的那樣的缺陷形 狀數(shù)據(jù)。該維修對(duì)象提取圖像處理部12在監(jiān)視器13上顯示缺陷圖像數(shù) 據(jù)、缺陷提取圖像數(shù)據(jù)或缺陷形狀數(shù)據(jù)。維修用光源14射出用于對(duì)玻璃基板2的缺陷部進(jìn)行維修的激光r。 該維修用光源14例如使用可射出基本波長(zhǎng)、-1.064^im的第2、第3、第 4高次諧波(各波長(zhǎng)分別為X2=532nm、 、二355nm、人4-266nm)的YAG 激光振蕩器。作為激光r，例如，也可以是射出單發(fā)(lshot)的波長(zhǎng)為入3 二355nm的激光，也可以按照維修對(duì)象的玻璃基板2的種類和工序等而 根據(jù)需要分開使用各波長(zhǎng)光。在從該維修用光源14射出的激光r的光路上，依次設(shè)有透鏡14a、 反射鏡15，激光r經(jīng)由這些而引入到DMD單元16。透鏡14a使從維修用光源14射出的激光r成為光束直徑被擴(kuò)大的大 致平行光。反射鏡15使激光r偏轉(zhuǎn)而以一定角度入射到DMD單元16。 在透鏡14a和反射鏡15的光路中，可插拔地設(shè)有反射鏡24，該反射鏡 24反射后述的維修位置確認(rèn)用光源25的照明光，將其引入到與激光r相 同的光路中。另外，如圖1的雙點(diǎn)劃線所示，也可以根據(jù)需要在透鏡14a和反射 鏡24之間設(shè)置對(duì)激光r的截面形狀進(jìn)行整形的光圈14b。另外，也可以在透鏡14a和DMD單元16之間的光路上設(shè)置對(duì)激光 r的截面強(qiáng)度分布進(jìn)行均勻化的均勻化光學(xué)系統(tǒng)27。例如，也可以如圖l 的雙點(diǎn)劃線所示，配置在光路插入時(shí)的反射鏡24和反射鏡15之間等。
這樣的均勻化光學(xué)系統(tǒng)27已知例如使用復(fù)眼透鏡(fly-eye lens)、衍 射元件、非球面透鏡、萬花筒(力b一 K)型的棒等的多種結(jié)構(gòu)，所以 可以根據(jù)需要來采用任一結(jié)構(gòu)。DMD單元16是將多個(gè)如圖2所示那樣的數(shù)字微鏡器件(digital micro mirror device)(以下，簡(jiǎn)稱為DMD) 17如圖3所示那樣以二維形式縱橫 排列而形成的。如圖2所示，各DMD 17被設(shè)置成微小反射鏡19可在驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單 元18的上部例如以角度士10。和0° (水平)傾斜，并且可進(jìn)行切換這些傾斜狀態(tài)的數(shù)字控制。這些DMD 17利用在該各微小反射鏡19和驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18之間 的間隙中作用的電壓差引起的靜電引力來高速切換角度土10。和0°，公知 有例如在日本特開2000—28937號(hào)公報(bào)中公開的DMD。例如該微小反射 鏡19的旋轉(zhuǎn)被擋件限制成±10°,在驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18的打開("ON") 狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)到角度±10°，而在關(guān)閉("OFF")狀態(tài)下還原到水平角度0。。 另外，該微小反射鏡19是使用半導(dǎo)體制造技術(shù)、例如MEMS (Micro Electro Mechanical Systems,微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)等，形成為外形邊長(zhǎng)為例 如幾)im 幾十pm級(jí)的矩形形狀的微型反射鏡。在本實(shí)施方式中，例如 采用邊長(zhǎng)16)im的微型反射鏡。另外，如圖3所示，通過在驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單 元18上以二維形式排列這些微小透鏡19來構(gòu)成DMD單元16。DMD單元16的基準(zhǔn)反射面16a是將各DMD 17的微小反射鏡19 的傾斜角度設(shè)為0。時(shí)的反射面，如圖1所示，相對(duì)于圖示XY平面傾斜 成傾斜角0a，以使與激光r的入射光軸對(duì)應(yīng)的射出方向的角度在圖示ZX平面內(nèi)在逆時(shí)針方向成為ei (其中，ei>o)(圖示h方向)，當(dāng)各微小反射鏡19在打開狀態(tài)下且傾斜成角度+10。時(shí)，激光r的射出方向在相對(duì)于圖示h方向與入射方向相反側(cè)成角度eo (其中，eoo)。為了使入射到基準(zhǔn)反射面16a的激光r在打開狀態(tài)下入射到透鏡20、 分光器8的光軸，根據(jù)反射鏡15、透鏡20、分光器8等的配置位置之間 的關(guān)系來設(shè)定傾斜角6a。該DMD單元16安裝在支撐臺(tái)16b上，該支撐臺(tái)16b可根據(jù)激光r
的入射方向和射出方向?qū)⒒鶞?zhǔn)反射面16a的傾斜角0a調(diào)節(jié)為圖示XY方 向以及傾斜角ea可變的e方向。關(guān)于支撐臺(tái)16b，也可以具有獨(dú)立的驅(qū) 動(dòng)控制部，但在本實(shí)施方式中，將其與移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3連接，以便可 借助移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3在XYe方向上實(shí)現(xiàn)微動(dòng)控制。通過這樣的微動(dòng)控 制，可使激光r的截面形狀與玻璃基板2的缺陷部一致。激光r的射出方向的角度00例如由在將驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18置為打 開狀態(tài)時(shí)的各微小反射鏡19的旋轉(zhuǎn)角度來確定。以該射出角e0射出的 激光r經(jīng)由透鏡20而入射到分光器8。此處，由于在透鏡20的焦點(diǎn)位置 處配置了基準(zhǔn)反射面16a，所以直到到達(dá)物鏡9之前為無限遠(yuǎn)的光束。另外，在將驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)器單元18設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，激光r被反射向 h方向，而不會(huì)經(jīng)由透鏡20入射到分光器8。另外，從維修用光源14射出的激光r被反射鏡15反射而以入射角ei 入射到DMD單元16，但也可以不設(shè)置反射鏡15而使從維修用光源14 射出的激光r直接入射到DMD單元16。維修位置確認(rèn)用光源25是用于向DMD單元16照射與激光r的光束 直徑大致相同的光束直徑的照明光的光源。該照明光被透鏡25a轉(zhuǎn)換為 大致平行光束，根據(jù)需要由未圖示的光圈等將其光束直徑變?yōu)榕c激光r 的光束直徑大致相同，而入射到插入于維修用光源14和透鏡15之間的 光路中的反射鏡24，引入到與激光r相同的光路中。此處，在圖1中， 示意性地以單透鏡形式描繪出透鏡14a、 25a，但其構(gòu)成光束擴(kuò)展器光學(xué) 系統(tǒng)。另外，也可以是使維修用光源14、維修位置確認(rèn)用光源25的光入 射到光纖，并將光纖射出端配置在光軸上的規(guī)定位置處的結(jié)構(gòu)。在該情 況下，透鏡14a、 25a為準(zhǔn)直透鏡(collimating lens)。在通過維修位置確認(rèn)用光源25將照明光引入DMD單元16時(shí)，由 成為打開狀態(tài)的各微小反射鏡19對(duì)照明光進(jìn)行反射，而在玻璃基板2上 投影出與缺陷形狀圖形相同的圖像圖形。在這樣結(jié)構(gòu)的光學(xué)系統(tǒng)中，從玻璃基板2隔著分光器8配置了照相 機(jī)11，并且從玻璃基板2隔著分光器8配置了 DMD單元16，這些照相 機(jī)11和DMD單元16之間的配置位置成為相對(duì)于玻璃基板2共軛的位置關(guān)系。激光形狀控制部21讀取由維修對(duì)象提取圖像處理部12所生成的玻 璃基板2的各缺陷部的缺陷形狀數(shù)據(jù)，向DMD驅(qū)動(dòng)器22送出控制信號(hào)， 該控制信號(hào)將與該缺陷形狀數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的DMD單元16的各微小反射鏡19 的驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18設(shè)為打開狀態(tài)，而將配置在其他區(qū)域中的各微小反 射鏡19的驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)器單元18設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)。另外，維修對(duì)象提取圖像處理部12在向玻璃基板2的缺陷部照射激 光r來進(jìn)行維修之后，從照相機(jī)11取得同一位置的圖像數(shù)據(jù)，對(duì)該圖像 數(shù)據(jù)和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，根據(jù)該差異圖像數(shù)據(jù)來判斷缺陷部的維 修是否完善。作為該判斷的結(jié)果，在維修不完善時(shí)，根據(jù)維修后的差異 圖像數(shù)據(jù)再次生成缺陷部的缺陷形狀數(shù)據(jù)。激光形狀控制部21再次通過 維修對(duì)象提取圖像處理部12來讀取缺陷部的形狀數(shù)據(jù)，將與該形狀數(shù)據(jù) 對(duì)應(yīng)的DMD單元16的各微小反射鏡19的驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18設(shè)為打開 狀態(tài)。另外，激光形狀控制部21具有修整部23，在由維修對(duì)象提取圖像 處理部12所生成的缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)中，例如在無法針對(duì)缺陷部提取出 所有的缺陷區(qū)域，或?qū)⒄５膮^(qū)域錯(cuò)誤地提取為缺陷部的情況下，該修 整部23以手動(dòng)形式對(duì)這些提取出的缺陷部區(qū)域進(jìn)行修正。該修整部23使用繪圖工具通過手動(dòng)操作來對(duì)無法提取出的缺陷區(qū) 域進(jìn)行區(qū)域設(shè)定而登記為缺陷部，或者對(duì)錯(cuò)誤地提取為缺陷部的區(qū)域進(jìn) 行區(qū)域設(shè)定而登記為正常的區(qū)域。DMD驅(qū)動(dòng)器22按照從激光形狀控制部21送出的控制信號(hào)來將 DMD單元16的各驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18驅(qū)動(dòng)為"打開/關(guān)閉"狀態(tài)。接下來，對(duì)使用在維修系統(tǒng)100中的基板檢査裝置4進(jìn)行說明?；鍣z查裝置4是可取得玻璃基板2的圖像來檢測(cè)出缺陷，并至少 取得表示該缺陷在玻璃基板2上的位置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)的檢查裝置。g卩，構(gòu) 成缺陷位置檢測(cè)單元。作為基板檢查裝置4的例子，可舉出取得玻璃基 板2的掃描圖像并自動(dòng)檢測(cè)出缺陷的所謂自動(dòng)圖形檢查裝置等。對(duì)于該 基板檢查裝置，在日本公開專利公報(bào)2002—277412等中記述有詳細(xì)說明。
接下來，對(duì)維修工序進(jìn)行說明。如圖4所示，在維修工序中，在步驟#1中，在XY臺(tái)l上設(shè)置由基板搬送裝置28搬送來的玻璃基板2，為了根據(jù)由基板檢查裝置4所取得 的檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111來取得與所送出的坐標(biāo)數(shù)據(jù)的匹配，在XY臺(tái)1上進(jìn) 行定位。例如，通過XY臺(tái)1的坐標(biāo)系來計(jì)算出設(shè)在玻璃基板2上的2 點(diǎn)以上的基準(zhǔn)位置標(biāo)記的位置，檢測(cè)出視野中心和基準(zhǔn)位置標(biāo)記的中心 位置之間的偏差，從而進(jìn)行基準(zhǔn)位置校正。此處，在維修裝置50的控制 裝置400或數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401中，具有基準(zhǔn)位置標(biāo)記的位置信息。在檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111傳遞到移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3時(shí)，通過移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控 制部3的控制信號(hào)，根據(jù)包含在檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111中的缺陷部的坐標(biāo)數(shù) 據(jù)，XY臺(tái)1在已在XY方向上進(jìn)行了基準(zhǔn)位置校正的狀態(tài)下進(jìn)行移動(dòng)控 制，缺陷部被定位于光軸p上。此處，即使根據(jù)所取得的檢查結(jié)果數(shù)據(jù) 111而得知該缺陷是比規(guī)定的大小大而無法進(jìn)行通常維修的缺陷，但為了 進(jìn)行確認(rèn)，也將其移動(dòng)到缺陷部。在步驟#2中，照相機(jī)11通過透鏡10、各分光器7、 8以及物鏡9 來對(duì)玻璃基板2上的缺陷部進(jìn)行拍攝，而輸出其圖像信號(hào)。此處，物鏡9 使用低倍率的5倍或10倍。維修對(duì)象提取圖像處理部12被輸入從照相機(jī)11輸出的圖像信號(hào)， 而取得例如如圖5所示那樣的存在連接各圖形S之間的缺陷部G的缺陷 圖像數(shù)據(jù)Da。接下來，在步驟#3中，維修對(duì)象提取圖像處理部12對(duì)缺陷圖像數(shù) 據(jù)Da和圖6所示那樣的不存在缺陷部的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)Dr進(jìn)行比較，而 從該差異圖像數(shù)據(jù)中提取出玻璃基板2上的缺陷部G。然后，維修對(duì)象 提取圖像處理部12對(duì)所提取出的缺陷部G的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行二值化處理， 生成例如如圖7所示那樣將缺陷部G的區(qū)域轉(zhuǎn)換為黑等級(jí)而將正常的區(qū) 域轉(zhuǎn)換為白等級(jí)的缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds。通過圖像處理部12在監(jiān)視器 13上顯示該缺陷圖像數(shù)據(jù)(或差異圖像數(shù)據(jù))和缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds。此處，在所述不進(jìn)行通常維修的大小的缺陷的情況下，確認(rèn)該缺陷 的大小是否與檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111大致一致，如果一致，則省略后述的步
驟#4 #7，移動(dòng)到下一缺陷部。如果不一致且小于規(guī)定大小而可維修， 則進(jìn)入接下來的步驟。此處，對(duì)顯示在監(jiān)視器13上的缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)DS和缺陷圖像數(shù)據(jù)(或差異圖像數(shù)據(jù))進(jìn)行比較觀察。作為該觀察的結(jié)果，產(chǎn)生如圖8A 所示那樣生成無法提取的缺陷區(qū)域Gn的情況，或者產(chǎn)生如圖9A所示那 樣將正常的區(qū)域錯(cuò)誤地提取為缺陷區(qū)域Gh的情況。這樣無法沿缺陷部G的形狀來準(zhǔn)確提取出缺陷部G的原因在于，在 缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds中的缺陷部G的對(duì)比度存在偏差的情況下，提取出 了對(duì)比度高的區(qū)域，但未能提取出對(duì)比度低的區(qū)域。因此，在一邊觀察顯示在監(jiān)視器13上的缺陷部G —邊使用修整部 23的繪圖工具通過手動(dòng)操作來將圖8A所示的未能提取出的缺陷區(qū)域Gn 作為缺陷部進(jìn)行區(qū)域設(shè)定時(shí)，在步驟#4中，修整部23如圖8B所示那 樣將缺陷區(qū)域Gn登記為缺陷部，將包含該缺陷區(qū)域Gn的缺陷部G整體 設(shè)為缺陷部。另外，在針對(duì)圖9A所示的缺陷區(qū)域Gn，使用修整部23的繪圖工具 通過手動(dòng)操作來將錯(cuò)誤地提取出的缺陷區(qū)域Gn登記為正常區(qū)域時(shí)，在相 同的步驟#4中，修整部23如圖9B所示那樣將缺陷區(qū)域Gn從缺陷部中 刪除登記。接下來，在步驟#5中，激光形狀控制部21從維修對(duì)象提取圖像處 理部12取得缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds，從該缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds讀取玻璃 基板2的缺陷部G的形狀數(shù)據(jù)，向DMD驅(qū)動(dòng)器22送出控制信號(hào)，該控 制信號(hào)將通過二值化處理而成為黑等級(jí)的與該缺陷部G的區(qū)域?qū)?yīng)的 DMD單元16的各微小反射鏡19的各驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18置為打開狀態(tài)。該DMD驅(qū)動(dòng)器22根據(jù)從激光形狀控制部21送出的控制信號(hào)，將 DMD單元16的各驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18驅(qū)動(dòng)為"打開/關(guān)閉"狀態(tài)。例如，如圖10所示，激光形狀控制部21將缺陷部G的形狀分割為 與各微小反射鏡19對(duì)應(yīng)的多個(gè)各微型區(qū)域M。然后，激光形狀控制部 21向DMD驅(qū)動(dòng)器22送出控制信號(hào)，該控制信號(hào)將與缺陷部G的各微型 區(qū)域M對(duì)應(yīng)的各微小反射鏡19的各驅(qū)動(dòng)用存儲(chǔ)單元18置為打開狀態(tài)。
由此，根據(jù)DMD驅(qū)動(dòng)器22的打開控制信號(hào)，對(duì)與缺陷部G的各微 型區(qū)域M對(duì)應(yīng)的各微小反射鏡19進(jìn)行使其旋轉(zhuǎn)角度+10。的控制。接下來，在步驟井6中，在通過DMD單元16的各微小反射鏡19進(jìn) 行了旋轉(zhuǎn)控制的狀態(tài)下，將反射鏡24插入激光光路中，使維修位置確認(rèn) 用光源25亮燈。在從維修位置確認(rèn)用光源25經(jīng)由反射鏡24、 15而向 DMD單元16射出與激光r的光束直徑大致相同的光束直徑的照明光時(shí)， 該照明光經(jīng)由變?yōu)榇蜷_狀態(tài)的各微小反射鏡19在玻璃基板2上投影出 DMD單元16的缺陷形狀圖形像。通過監(jiān)視器13來確認(rèn)投影在玻璃基板 2上的缺陷形狀圖形像是否與缺陷部G —致。在缺陷部G與缺陷形狀圖 形像存在偏移的情況下，移動(dòng)XY臺(tái)1，使缺陷部G與缺陷形狀圖形像 對(duì)準(zhǔn)。另外，在缺陷部G的偏移量少的情況下，也可以操作支撐臺(tái)16b來 對(duì)缺陷形狀圖形像進(jìn)行微動(dòng)移動(dòng)，從而使其對(duì)準(zhǔn)缺陷部G。然后，使反射鏡24從激光光路退出，從維修用光源14射出單發(fā)的 激光r。該單發(fā)的激光r被反射鏡15反射，而以入射角ei入射到DMD 單元16，被對(duì)應(yīng)于缺陷部G的區(qū)域而旋轉(zhuǎn)角度+10。的各微小反射鏡19 反射。被這些微小反射鏡19反射的激光r的截面形狀與缺陷部G的形狀 一致。然后，由這些微小反射鏡19反射的激光r通過透鏡20、分光器8， 被物鏡9聚光而照射到玻璃基板2的缺陷部G。該激光r被物鏡9成像為 與缺陷部G的形狀一致的截面形狀而照射到缺陷部G，所以利用該單發(fā) 的激光r來除去玻璃基板2上的缺陷部G。此處，激光r照射到缺陷部G的輪廓線的內(nèi)部，但在缺陷小且DMD 單元16的各微小反射鏡19的形狀超出而未沿輪廓線，或凹進(jìn)內(nèi)側(cè)未能 進(jìn)行有效除去的情況下，可通過變更為倍率大的物鏡9來改善。但是， 即使未沿輪廓線，但只要可達(dá)成短布線的切斷等維修的目的即可，在該 情況下，可視為實(shí)質(zhì)上是沿輪廓線進(jìn)行的照射。接下來，在步驟弁7中，照相機(jī)11對(duì)維修后的缺陷部G進(jìn)行拍攝并 輸出該圖像信號(hào)。維修對(duì)象提取圖像處理部12對(duì)由照相機(jī)11取入的維
修后的缺陷圖像數(shù)據(jù)Da和圖6所示的基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)Dr進(jìn)行比較來判斷 是否完全維修了缺陷部G。另外，維修對(duì)象提取圖像處理部12也可以在 監(jiān)視器13上顯示維修后的缺陷圖像數(shù)據(jù)Da，對(duì)該顯示出的缺陷部G的 圖像進(jìn)行觀察，來判斷是否完全維修了缺陷部G。另一方面，有時(shí)即使向缺陷部G照射激光r，也無法完全去掉缺陷 部G，如圖11所示，作為缺陷部G的一部分缺陷部Ge殘留而未被去掉。 如果如上述這樣未能完全維修缺陷部G，則返回步驟#3，維修對(duì)象提取 圖像處理部對(duì)在步驟#7中取入的缺陷圖像數(shù)據(jù)Da和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)Dr 進(jìn)行比較，從該差異圖像數(shù)據(jù)中提取出圖H所示那樣的在玻璃基板2上 殘留的維修不良的缺陷部G e 。以下，與上述相同地，重復(fù)步驟#4至步驟#8。作為步驟井8的結(jié)果，如果完全維修(修復(fù))了缺陷部G，則在步驟 #9中，移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3根據(jù)從基板檢査裝置4接收到的玻璃基板2的 檢查結(jié)果數(shù)據(jù)來檢索下一缺陷部，如果存在缺陷部，則再次返回步驟弁l。 如果不存在缺陷部，則結(jié)束維修工序。由此，根據(jù)本實(shí)施方式的維修裝置50，從對(duì)玻璃基板2上的缺陷部 G進(jìn)行拍攝而取得的缺陷圖像數(shù)據(jù)Ds中提取出缺陷部G的形狀數(shù)據(jù)，按 照該形狀數(shù)據(jù)來高速地對(duì)DMD單元16的各微小反射鏡19進(jìn)行角度控 制，形成與缺陷部G的形狀相同的缺陷形狀圖形。激光r被形成缺陷形 狀圖形的各微小反射鏡19反射，該激光r的截面形狀被整形為與缺陷部 G的形狀相同，而照射到玻璃基板2上的缺陷部G。由此，由于1個(gè)微小反射鏡19a或19b是大小例如為邊長(zhǎng)16pm的 微型反射鏡，所以在將其縮小投影的情況下，即使抗蝕劑圖形或蝕刻圖 形的缺陷部G的形狀例如為將直線和曲線組合的微細(xì)且非常復(fù)雜的形 狀，也可以高速且容易地形成具有與這些缺陷部G的形狀大致一致的截 面形狀的激光r。例如，即使缺陷部G如圖12所示那樣存在于曲線狀的圖形P,和直 線狀圖形P2所對(duì)峙的部分，且該缺陷部G的形狀為變形的橢圓形，如果 使用DMD單元16，則也可以高速地形成與缺陷部G的形狀相同的缺陷
形狀圖形。由此，通過向缺陷部G照射整形成缺陷部G的形狀的激光r， 可準(zhǔn)確地僅對(duì)缺陷部G進(jìn)行維修，而不會(huì)向缺陷部G區(qū)域外照射激光r。 因此，即使所維修的缺陷部G是LCD制造工序中的蝕刻圖形的缺陷部G， 也可以僅對(duì)玻璃基板上的金屬圖形的缺陷部G照射激光r，而不會(huì)對(duì)玻璃 基板帶來?yè)p傷。另外，可通過使用DMD單元16來高速地對(duì)微小反射鏡19進(jìn)行控 制，所以可針對(duì)作為維修對(duì)象的各自形狀不同的缺陷部G瞬時(shí)形成缺陷 形狀圖形，而可以按照缺陷部G的形狀容易地對(duì)激光r的截面形狀進(jìn)行 整形，可大幅縮短對(duì)缺陷部G進(jìn)行維修的時(shí)間。另外，可使激光r的截 面形狀準(zhǔn)確地對(duì)準(zhǔn)缺陷部G的各形狀來進(jìn)行維修，作為其結(jié)果，可提高 LCD制造的成品率。另外，即使照射1次激光r無法完全地對(duì)缺陷部G進(jìn)行維修，也可 以通過將激光r的截面形狀整形為維修不良的缺陷部G的形狀并再次照 射，來完成缺陷部G的維修，可提高成品率。另外，通過使用修整部23的繪圖工具進(jìn)行手動(dòng)操作，從而可對(duì)以缺 陷形狀圖像數(shù)據(jù)Ds中的對(duì)比度偏差為原因的、作為缺陷部G卻無法提取 出的缺陷區(qū)域Gn和錯(cuò)誤地提取出的正常區(qū)域Gh施加修正，即使在缺陷 部G的形狀數(shù)據(jù)的自動(dòng)提取中產(chǎn)生了誤差，也可以在進(jìn)行維修之前修正 為正確的缺陷部G的形狀數(shù)據(jù)來進(jìn)行維修。上述說明的本發(fā)明的第1實(shí)施方式不限于上述實(shí)施方式，在實(shí)施階 段，可在不脫離其宗旨的范圍內(nèi)對(duì)構(gòu)成要素進(jìn)行變形來實(shí)現(xiàn)具體化。以 下，對(duì)本實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說明。例如，在上述實(shí)施方式中，通過對(duì)DMD17的微小反射鏡19進(jìn)行打 開("ON")驅(qū)動(dòng)來將激光整形為缺陷形狀圖形，但相反也可以變形為， 通過將與缺陷形狀圖形對(duì)應(yīng)的微小反射鏡19設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，將缺陷形狀 圖形以外的微小反射鏡19設(shè)為打開狀態(tài)，來將激光整形為缺陷形狀圖形。另外，例如，在上述實(shí)施方式中，由維修對(duì)象提取圖像處理部12對(duì) 缺陷圖像數(shù)據(jù)Da和基準(zhǔn)圖像數(shù)據(jù)Dr進(jìn)行比較，來從該差異圖像即缺陷 形狀圖像數(shù)據(jù)Ds中取得缺陷部G的形狀數(shù)據(jù)，但也可以變形為在監(jiān)視器13上對(duì)缺陷部G的圖像進(jìn)行顯示輸出，操作者一邊觀察該監(jiān)視器圖像一 邊使用圖形要素輸入板等來取得缺陷部G的形狀數(shù)據(jù)。 (第2實(shí)施方式)對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置進(jìn)行說明。圖13是示出本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu) 圖。圖14A是示意性示出在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置中使用的 空間調(diào)制元件的結(jié)構(gòu)的一部分的局部放大立體圖。圖14B是用于對(duì)在本 發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修裝置中使用的空間調(diào)制元件的調(diào)制要素進(jìn)行 說明的立體說明圖。圖14C是用于對(duì)可在本發(fā)明的第2實(shí)施方式的維修 裝置中使用的其他空間調(diào)制元件的調(diào)制要素進(jìn)行說明的立體說明圖。本實(shí)施方式的維修裝置51與基板檢查裝置4、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401 — 起構(gòu)成維修系統(tǒng)101。維修裝置51具有透射型空間調(diào)制器30 (空間調(diào)制元件)、空間調(diào)制 器驅(qū)動(dòng)器29，以代替本發(fā)明第1實(shí)施方式的維修裝置50的DMD單元16、 DMD驅(qū)動(dòng)器22。以下，以與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心來說明。如圖14A所示，透射型空間調(diào)制器30配置于激光r的光路中，是根 據(jù)光路截面中的位置使激光r的一部分透射，從而進(jìn)行空間調(diào)制的透射型 空間調(diào)制元件。例如，可采用如下的結(jié)構(gòu)使用可制作出可高速動(dòng)作的 微小的可動(dòng)結(jié)構(gòu)的MEMS技術(shù)，二維排列多個(gè)翻轉(zhuǎn)單元30a (空間調(diào)制 元件的調(diào)制要素)，該翻轉(zhuǎn)單元是在其一邊利用轉(zhuǎn)動(dòng)軸支承光反射性微小 的矩形板的器件。根據(jù)控制信號(hào)分別對(duì)各翻轉(zhuǎn)單元30a施加靜電電壓， 從而使其以轉(zhuǎn)動(dòng)鉸接為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，在沒有施加靜電電壓的關(guān) 閉狀態(tài)下，轉(zhuǎn)動(dòng)角為0度，各翻轉(zhuǎn)單元30a排列在一個(gè)平面上。另一方 面，在施加了靜電電壓的打開狀態(tài)下，轉(zhuǎn)動(dòng)角為90度，翻轉(zhuǎn)單元30a轉(zhuǎn) 動(dòng)到相對(duì)于關(guān)閉狀態(tài)的平面垂直的位置。激光r大致沿關(guān)閉狀態(tài)的翻轉(zhuǎn)單元30a所排列的平面的法線方向入射?？臻g調(diào)制器驅(qū)動(dòng)器29是根據(jù)從激光形狀控制部21送出的對(duì)關(guān)閉狀 態(tài)和打開狀態(tài)進(jìn)行選擇的控制信號(hào)，來對(duì)透射型空間調(diào)制器30的各翻轉(zhuǎn)
單元30a進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的控制機(jī)構(gòu)。通過這樣的結(jié)構(gòu)，各翻轉(zhuǎn)單元30a根據(jù)激光形狀控制部21的控制信 號(hào)而被控制為關(guān)閉狀態(tài)或打開狀態(tài)。在特定的翻轉(zhuǎn)單元30a變?yōu)榇蜷_狀 態(tài)時(shí)，利用處于關(guān)閉狀態(tài)的相鄰位置的翻轉(zhuǎn)單元30a的邊緣部30b，形成 與打開狀態(tài)的翻轉(zhuǎn)單元30a的配置對(duì)應(yīng)的開口部，使激光r透射過打開狀 態(tài)的翻轉(zhuǎn)單元30a的位置(參照?qǐng)D14A的激光q、 r2)。因此，只要從開口部射出的激光r的光路不涉及到打開狀態(tài)的翻轉(zhuǎn) 單元30a，則即使改變激光r的入射角度，透射光量也不變。根據(jù)這樣的維修裝置51和維修系統(tǒng)101，透射型空間調(diào)制器30的 翻轉(zhuǎn)單元30a具有與DMD單元16的微小反射鏡19對(duì)應(yīng)的空間調(diào)制作用。 透射型空間調(diào)制器30由于在打開狀態(tài)下使光從幵口部透射，所以具有不 產(chǎn)生光量損失的優(yōu)點(diǎn)。另外，即使透射型空間調(diào)制器30的配置角度偏差，透射光的行進(jìn)方 向也不會(huì)改變，所以與反射型空間調(diào)制元件相比，不存在由與衍射現(xiàn)象 相關(guān)的定位偏差引起的較大的光量變化，所以具有各光學(xué)元件的位置對(duì) 準(zhǔn)(定位)變得容易、可容易地進(jìn)行組裝的優(yōu)點(diǎn)。另外，也可以采用圖14C所示的透射型空間調(diào)制器36，來代替本實(shí) 施方式的透射型空間調(diào)制器30的透射型空間調(diào)制元件。在透射型空間調(diào)制器36中，代替透射型空間調(diào)制器30的翻轉(zhuǎn)單元 30a，而排列有翻轉(zhuǎn)單元36a，該翻轉(zhuǎn)單元36a的轉(zhuǎn)動(dòng)軸設(shè)在矩形板的中 央部、且可在0度的關(guān)閉狀態(tài)和90度的打開狀態(tài)之間切換轉(zhuǎn)動(dòng)角。翻轉(zhuǎn)單元36a在打開狀態(tài)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)90度，翻轉(zhuǎn)單元面朝向大致沿光 路方向，所以形成由相鄰翻轉(zhuǎn)單元36a的多個(gè)邊緣部36b和翻轉(zhuǎn)單元36a 圍起來的開口部，而使激光r透射。這些透射型空間調(diào)制器30、 36通過使用MEMS技術(shù)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸來進(jìn) 行空間調(diào)制動(dòng)作，所以與其他透射型空間調(diào)制元件相比，存在消光比大、 可提高光利用效率、而且可進(jìn)行高速的空間調(diào)制的優(yōu)點(diǎn)。但是，當(dāng)在光量和調(diào)制速度中不存在問題的情況下，也可以采用其 他透射型空間調(diào)制元件。例如，可以優(yōu)選采用通過液晶快門(FLC)、光
柵光閥(Grating Light Valve ， GLV)、利用光電效應(yīng)來對(duì)透射光進(jìn)行調(diào) 制的PZT元件等。由于在這些透射型空間調(diào)制元件中，也不存在由與衍射現(xiàn)象相關(guān)的 定位偏差引起的較大的光量變化，所以具有各光學(xué)元件的位置對(duì)準(zhǔn)(定 位)變得容易，可容易地進(jìn)行組裝的優(yōu)點(diǎn)。 (第3實(shí)施方式)對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施方式的維修裝置進(jìn)行說明。圖15是示出本發(fā)明的第3實(shí)施方式的維修裝置的概略結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。本實(shí)施方式的維修裝置52與基板檢查裝置4、數(shù)據(jù)庫(kù)服務(wù)器401 — 起構(gòu)成維修系統(tǒng)102。維修裝置52具有可動(dòng)反射鏡31、 一維DMD34 (空間調(diào)制元件)、 DMD驅(qū)動(dòng)器35，并追加了反射鏡控制部32、透鏡33，以代替本發(fā)明的 第1實(shí)施方式的維修裝置50的反射鏡15、 DMD單元16、 DMD驅(qū)動(dòng)器 22。以下，以與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明?？蓜?dòng)反射鏡31是用于對(duì)被透鏡14a形成大致平行光的激光r進(jìn)行偏 轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件，根據(jù)反射鏡控制部32的控制信號(hào)，其反射鏡面可至 少繞一軸、例如繞垂直于圖示紙面的Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)。例如，可采用檢電鏡 (galvano mirror)等偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件。透鏡33是將被可動(dòng)反射鏡31所反射的激光r以一定的視場(chǎng)角范圍 向大致一定方向射出的光學(xué)元件。例如，可采用配置成在與可動(dòng)反射鏡 31的旋轉(zhuǎn)軸垂直的面內(nèi)具有正能量且焦點(diǎn)位置與可動(dòng)反射鏡31的偏轉(zhuǎn)點(diǎn) 大致一致的光學(xué)元件。一維DMD 34是以一維方式排列第1實(shí)施方式的DMD 17(參照?qǐng)D2 ) 的反射型空間調(diào)制元件(參照?qǐng)D3)。而且，將DMD17的排列方向配置 成沿著被可動(dòng)反射鏡31所偏轉(zhuǎn)的激光r的掃描線。關(guān)于激光i"和各DMD 17之間的位置關(guān)系，除了DMD 17為一維以外，其它與第l實(shí)施方式相 同。SP，在DMD17的微小反射鏡19為關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，反射到相對(duì)于入射 方向呈角度ei的h方向，在打開狀態(tài)時(shí)，反射到從h方向向圖示逆時(shí)針
方向旋轉(zhuǎn)角度eo而成的方向，沿透鏡20的光軸前進(jìn)，經(jīng)由分光器8、物 鏡9而照射到維修位置L。在這樣的維修裝置52中，通過維修用光源14、透鏡14a射出其光束 直徑與微小反射鏡19的面積大致相同或稍大程度的激光r，而照射可動(dòng) 反射鏡31。然后，通過使可動(dòng)反射鏡31繞圖示Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)，在一維DMD 34的各微小反射鏡19上掃描激光r。然后，通過由DMD驅(qū)動(dòng)器35控制為打開狀態(tài)的各微小反射鏡19 來反射激光r，經(jīng)由透鏡20、分光器8、物鏡9而引入到維修位置L上。 因此，每當(dāng)使可動(dòng)反射鏡31轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在玻璃基板2上，在線狀的區(qū)域中 掃描激光r。在圖4的步驟#5中，本實(shí)施方式的激光形狀控制部21根據(jù)二維的 缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)，將在以上的實(shí)施方式中送出到DMD驅(qū)動(dòng)器22的控 制信號(hào)按照每個(gè)一維線的控制信號(hào)進(jìn)行分時(shí)而向DMD驅(qū)動(dòng)器35送出。 另外，激光形狀控制部21對(duì)反射鏡控制部32送出被分時(shí)后的控制信號(hào) 的線同步信號(hào)。在圖4的步驟#6中，反射鏡控制部32進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)控制，以使可動(dòng)反 射鏡31針對(duì)每個(gè)該線同步信號(hào)而掃描一維DMD34。因此，在玻璃基板 2上，由一維DMD 34所反射的激光r在圖示X軸方向上進(jìn)行掃描。另一方面，移動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制部3對(duì)XY臺(tái)1進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，以使玻璃基板2 以線同步信號(hào)的周期在圖示Y軸方向上僅移動(dòng)維修位置L的位置改變一 個(gè)掃描線幅度的距離。由此，激光r在玻璃基板2上以二維方式掃描，對(duì)缺陷部進(jìn)行維修。根據(jù)本實(shí)施方式的維修裝置52，將一維DMD 34用作空間調(diào)制元件， 所以與二維的DMD單元16相比，存在裝置價(jià)廉的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于照射激光r的范圍只要是對(duì)一維DMD 34上的微小反射 鏡19進(jìn)行照射的范圍即可，所以可減小激光的光束直徑，與使用DMD 單元16的情況相比，存在可抑制激光光源的輸出的優(yōu)點(diǎn)。另外，由于降低了激光照射位置引起的亮度不均勻，所以存在無需 設(shè)置均勻化光學(xué)系統(tǒng)27等，而可進(jìn)行良好的維修，可實(shí)現(xiàn)更簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)
的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)施方式的透鏡33也可以釆用在轉(zhuǎn)動(dòng)軸方向上具有適當(dāng)能量的變形透鏡。在該情況下，透射過透鏡33的激光r聚光在轉(zhuǎn)動(dòng)軸方向、即 與一維DMD 34的各DMD 17的排列方向正交的方向上，所以即使激光 r的光束直徑較大也可聚光在微小反射鏡19上。因此，存在可進(jìn)一步提 高激光r的光利用率的優(yōu)點(diǎn)。另外，如果可動(dòng)反射鏡31的轉(zhuǎn)動(dòng)角度較為微小，則視場(chǎng)角變化變得 微小，所以可省略透鏡33。另外，在上述各實(shí)施方式的說明中，對(duì)用于LCD的玻璃基板2上的 缺陷部的維修的情況進(jìn)行了說明，但也可以用在維修對(duì)象為半導(dǎo)體晶片 上的缺陷部、標(biāo)度線(reticule)上的缺陷部、精密機(jī)械的缺陷形狀的修 正等所有缺陷部的維修中，特別適用于微小形狀和復(fù)雜形狀的維修。另外，在上述說明中，作為維修工序，以圖4所示流程進(jìn)行了說明， 但也可以變形為圖16所示的流程。圖16是對(duì)本發(fā)明的第1 3實(shí)施方式的維修工序的變形例子進(jìn)行說 明的流程圖。如圖16所示，在本變形例中，在進(jìn)行圖像讀取之前，在步驟#1中， 作為步驟# 100讀取檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111來判定是否存在多個(gè)缺陷部。在不 存在多個(gè)缺陷部的情況下，轉(zhuǎn)到步驟#130，移動(dòng)到缺陷部的坐標(biāo)處。在 存在多個(gè)缺陷部的情況下，轉(zhuǎn)移到下一步驟#110。在步驟#110中，判定多個(gè)缺陷部是否都包含在根據(jù)DMD單元16 的大小確定的可維修區(qū)域中，可通過單發(fā)完成維修。如果包含在可維修 區(qū)域中，則轉(zhuǎn)移到步驟#120。如果沒有包含在可維修區(qū)域中，則執(zhí)行步 驟#130。在步驟#120中，例如根據(jù)檢查結(jié)果數(shù)據(jù)111求出多個(gè)缺陷部的中心 坐標(biāo)的重心，使重心與視野中心一致，以可一次對(duì)存在于附近的多個(gè)缺 陷部進(jìn)行維修。對(duì)XY臺(tái)1進(jìn)行控制來移動(dòng)維修位置，以使缺陷部全部 包含在可維修的區(qū)域中。另外，當(dāng)來自自動(dòng)圖形檢查裝置等基板檢查裝置4的檢查結(jié)果數(shù)據(jù)
的精度較低、在維修位置取入圖像時(shí)存在實(shí)際所提取出的缺陷大的情況、 或無法檢測(cè)出的缺陷部被重新提取出多個(gè)的情況等、從根據(jù)DMD單元 16的大小來確定的可維修區(qū)域超出的情況。由于在缺陷部的拍攝時(shí)使用 低倍率的物鏡9，所以可判定缺陷部是否從可維修區(qū)域超出。因此，在本變形例中，如圖16所示，在步驟#2的步驟#200中， 取入缺陷部的圖像，在步驟弁210中，判定缺陷部是否從可維修的區(qū)域超 出。在超出時(shí)，執(zhí)行步驟#220，對(duì)XY臺(tái)1進(jìn)行控制來移動(dòng)維修位置， 以使缺陷部包含在可維修區(qū)域。然后，再次執(zhí)行步驟弁200。 在沒有超出的情況下，轉(zhuǎn)到步驟#3。由此，可從所拍攝的圖像數(shù)據(jù)中提取出維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)(缺陷 形狀圖像數(shù)據(jù)Ds)來進(jìn)行定位，以便可通過一次的激光照射來實(shí)施高效 的維修。另外，在本變形例中，將步驟#1、井2分別進(jìn)行上述這樣的變形而 進(jìn)行了說明，但也可以根據(jù)需要，將步驟#1、 #2中的任一個(gè)按照上述 這樣變形。另外，在上述各實(shí)施方式的說明中，作為檢查結(jié)果數(shù)據(jù)lll，以送出 缺陷部的位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)、形狀、大小等信息為例進(jìn)行了說明，但在根據(jù) 基板檢查裝置的解像度可利用為維修對(duì)象提取圖像處理部12的缺陷形狀 圖像數(shù)據(jù)Ds的情況下，也可以將缺陷部的圖像數(shù)據(jù)與坐標(biāo)數(shù)據(jù)等信息一 起，送出到維修裝置。在該情況下，可省略由照相機(jī)ll拍攝的工序，具 有可進(jìn)行迅速維修的優(yōu)點(diǎn)。另外，在上述各實(shí)施方式的說明中，以將攝像裝置和空間調(diào)制元件 配置成相對(duì)于維修對(duì)象共扼的位置關(guān)系為例進(jìn)行了說明，但例如在空間 調(diào)制元件的各調(diào)制要素的像對(duì)維修對(duì)象產(chǎn)生影響等的情況下，也可以使 空間調(diào)制元件和維修對(duì)象之間的位置關(guān)系偏離共扼位置，而使照射到維 修對(duì)象的激光散焦(defociis)。在該情況下，可降低由于空間^制元件的 各調(diào)制要素直接成像而引起的維修對(duì)象上的亮度不均勻，可提高維修精 度。
另外，也可以通過在光路中設(shè)置光圈、或者對(duì)透鏡直徑進(jìn)行限制， 而改變瞳徑，從而減小NA(數(shù)值孔徑)來降低維修對(duì)象上的亮度不均勻。在具體說明時(shí)，關(guān)于顯微鏡的分辨率，為了根據(jù)Abbe的成像理論利 用光學(xué)系統(tǒng)來使衍射晶格成像為衍射晶格的像，需要具有可取入0次、±1 次的衍射光的NA的光學(xué)系統(tǒng)。相反，如果為了使由于在1個(gè)調(diào)制要素 間存在間隙且其大小相對(duì)于激光足夠微小而使得導(dǎo)致形成衍射晶格的空 間調(diào)制元件的各調(diào)制要素不直接成像，使用無法取入士l次衍射光的、即 僅取入正反射光的較小NA的光學(xué)系統(tǒng)，則可使分辨率降低，可防止由 于直接投影出調(diào)制要素間的間隙而引起的不均勻。另外，即使根據(jù)條件 而不取入2次以上的高次衍射光，也可以得到相同效果。此處，在用于將來自空間調(diào)制元件的激光作為無線遠(yuǎn)的光束引入至 物鏡的光學(xué)系統(tǒng)(透鏡20)的NA中，當(dāng)將照射出的激光的波長(zhǎng)設(shè)為X (nm)、將空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素的間距設(shè)為P (nm)時(shí)，希望滿足 NA^A7P。另外，如果改變一下表現(xiàn)形式，則當(dāng)將透鏡20的焦距設(shè)為L(zhǎng)、 將基于透鏡20的射出瞳徑設(shè)為D時(shí)，希望滿足D^2丄，入/P。另外，也可以根據(jù)需要來切換這樣的散焦?fàn)顟B(tài)、減小NA的狀態(tài)、 以及共扼的位置關(guān)系。另外，在上述第1以及第3實(shí)施方式的說明中，以將多個(gè)微小反射 鏡用作空間調(diào)制元件為例進(jìn)行了說明，但也可以將可在2軸方向上轉(zhuǎn)動(dòng) 的偏轉(zhuǎn)光學(xué)元件、例如可在2軸方向上轉(zhuǎn)動(dòng)的檢電鏡用作空間調(diào)制元件。另外，也可以使用將這樣的檢電鏡和一維或二維DMD組合起來的 空間調(diào)制元件。另外，可通過適當(dāng)組合在上述各實(shí)施方式中公開的多個(gè)結(jié)構(gòu)要素來 形成各種發(fā)明。例如，也可以從在實(shí)施方式中示出的所有結(jié)構(gòu)要素中刪 除幾個(gè)結(jié)構(gòu)要素。另外，也可以適當(dāng)組合不同實(shí)施方式中的結(jié)構(gòu)要素。
權(quán)利要求
1. 一種維修方法，其特征在于，在該維修方法中，向空間調(diào)制元件入射從激光光源輸出的激光，該空間調(diào)制元件具有 在縱橫方向上排列多個(gè)而形成的各調(diào)制要素，對(duì)該空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素分別進(jìn)行控制，通過所述各調(diào)制要 素將所述激光的截面形狀整形為維修對(duì)象的形狀，向所述維修對(duì)象照射該整形后的所述激光，來對(duì)該維修對(duì)象進(jìn)行修復(fù)。
2. —種維修方法，其特征在于，該維修方法包括以下工序 從圖像數(shù)據(jù)中提取出所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)的工序； 從激光光源輸出激光的工序；根據(jù)所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)，分別對(duì)具有在縱橫方向上排列了多 個(gè)的各調(diào)制要素的空間調(diào)制元件的各調(diào)制要素進(jìn)行控制，將從所述激光 光源輸出的所述激光整形為所述維修對(duì)象形狀的工序；以及向所述維修對(duì)象照射由所述各調(diào)制要素所整形的所述激光，來對(duì)該 維修對(duì)象進(jìn)行修復(fù)的工序。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的維修方法，其特征在于，從所述圖像數(shù)據(jù)中提取出的所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)是對(duì)差異圖像數(shù)據(jù)或?qū)⑺霾?異圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行了二值化處理的缺陷形狀圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行圖像處理而求出 的所述維修對(duì)象的輪廓線形狀數(shù)據(jù)，在對(duì)所述維修對(duì)象進(jìn)行修復(fù)的工序 中，向所述維修對(duì)象的輪廓線內(nèi)部照射所述激光。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中的任一項(xiàng)所述的維修方法，其特征在于， 該維修方法還包括根據(jù)來自對(duì)具有所述維修對(duì)象的基板進(jìn)行檢查的基板 檢查裝置的檢查結(jié)果數(shù)據(jù)來將所述基板定位于維修位置的工序。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的維修方法，其特征在于，該維修方法還包括根據(jù)來自所述基板檢查裝置的所述檢查結(jié)果數(shù)據(jù)來計(jì)算并判定在根據(jù) 所述空間調(diào)制元件的大小而確定的所述可維修區(qū)域內(nèi)是否存在多個(gè)所述 維修對(duì)象的工序。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1 5中的任一項(xiàng)所述的維修方法，其特征在于， 該維修方法還包括判定在根據(jù)所述空間調(diào)制元件的大小而確定的所述可 維修區(qū)域內(nèi)是否存在所述維修對(duì)象的工序。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的維修方法，其特征在于，對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制要素中的、與作為所述維修對(duì)象的缺 陷形狀數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的所述各調(diào)制要素進(jìn)行打幵控制。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 6中的任一項(xiàng)所述的維修方法，其特征在于， 對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制要素中的、與作為所述維修對(duì)象的缺 陷形狀數(shù)據(jù)以外的數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的所述各調(diào)制要素進(jìn)行打開控制。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1 S中的任一項(xiàng)所述的維修方法，其特征在于， 如果所述維修對(duì)象的維修不良，則根據(jù)該維修不良的所述維修對(duì)象的形 狀數(shù)據(jù)來對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制要素再次進(jìn)行控制，利用所 述各調(diào)制要素來再次向所述維修不良的所述維修對(duì)象照射所述激光。
10. —種維修裝置，其特征在于，該維修裝置具有激光光源，其輸出激光；空間調(diào)制元件，其具有可分別控制的各調(diào)制要素，且在縱橫方向上 排列多個(gè)該各調(diào)制要素而形成；攝像裝置，其對(duì)所述維修對(duì)象進(jìn)行拍攝；維修對(duì)象提取單元，其從通過所述攝像裝置的拍攝而取得的圖像數(shù) 據(jù)中提取出所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)；激光形狀控制單元，其根據(jù)由所述維修對(duì)象提取單元提取出的所述 維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)來對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制要素進(jìn)行控 制，通過所述各調(diào)制要素將所述激光整形為與所述維修對(duì)象形狀一致； 以及光學(xué)系統(tǒng)，其向所述維修對(duì)象照射由所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào) 制要素所整形的所述激光。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的維修裝置，其特征在于，將所述攝像裝 置和所述空間調(diào)制元件配置成相對(duì)于所述維修對(duì)象共扼的位置關(guān)系。
12. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的維修裝置，其特征在于，所述空間調(diào)制元件對(duì)配置在與所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的區(qū)域中的所述各 調(diào)制要素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
13. 根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的維修裝置，其特征在于，所述空 間調(diào)制元件對(duì)配置在與所述維修對(duì)象的形狀數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的區(qū)域之外的所述 各調(diào)制要素進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求10 13中的任一項(xiàng)所述的維修裝置，其特征在于， 如果所述維修對(duì)象的維修不良，則所述維修對(duì)象提取單元再次從通過所 述攝像裝置的拍攝而取得的圖像數(shù)據(jù)中提取出維修不良維修對(duì)象的形狀 數(shù)據(jù)，所述激光形狀控制單元根據(jù)由所述維修對(duì)象提取單元提取出的維修 不良維修對(duì)象的所述形狀數(shù)據(jù)來對(duì)所述空間調(diào)制元件的所述各調(diào)制要素 進(jìn)行控制。
15. 根據(jù)權(quán)利要求10 14中的任一項(xiàng)所述的維修裝置，其特征在于，該維修裝置具有移動(dòng)控制單元，該移動(dòng)控制單元與所述攝像裝置和所述 光學(xué)系統(tǒng)配置在同一光軸上，其根據(jù)所述維修對(duì)象的坐標(biāo)數(shù)據(jù)來相對(duì)移 動(dòng)所述攝像裝置、所述光學(xué)系統(tǒng)和所述維修對(duì)象，使所述維修對(duì)象在所 述攝像裝置及所述光學(xué)系統(tǒng)的光軸上移動(dòng)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求10 15中的任一項(xiàng)所述的維修裝置，其特征在于， 將用于向所述物鏡引入來自所述空間調(diào)制元件的光的光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔 徑設(shè)為通過所述空間調(diào)制元件僅取入正反射光的大小。
全文摘要
本發(fā)明提供一種維修方法及其裝置。在該維修方法及裝置中，從對(duì)玻璃基板(2)上的缺陷部進(jìn)行拍攝而取得的缺陷圖像數(shù)據(jù)中提取出缺陷部的形狀數(shù)據(jù)，根據(jù)該形狀數(shù)據(jù)來對(duì)DMD單元(16)的各微小反射鏡高速地進(jìn)行角度控制，使由這些微小反射鏡所反射的激光(r)的截面形狀與缺陷部的形狀大致一致而照射到缺陷部。
文檔編號(hào)G02B26/02GK101147093SQ200580049208
公開日2008年3月19日 申請(qǐng)日期2005年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月24日
發(fā)明者阿部政弘 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社