專利名稱：用于形成著色層的放射線敏感性組合物和濾色器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于形成著色層的放射線敏感性組合物、濾色器的形成方法、濾色器和彩色液晶顯示面板。更詳細(xì)的是涉及作為在用于透射型或反射型的彩色液晶顯示裝置、彩色攝象管元件等的濾色器的制造中有用的著色層的像素和/或黑底形成用的放射線敏感性組合物、使用該放射線敏感性組合物的濾色器的形成方法、具有由該放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色器和具有該濾色器的彩色液晶顯示面板。
背景技術(shù)：
目前，在使用用于形成著色層的放射線敏感性組合物制備濾色器時(shí)，獲得各種顏色像素的方法通常是在襯底上或者預(yù)先形成所需圖案的遮光層的襯底上形成用于形成著色層的放射線敏感性組合物的涂膜，通過具有所需圖案形狀的光掩模照射放射線(以下稱為“曝光“)后，顯影并溶解除去未曝光的部分，然后使用クリ一ンオ一ブン和加熱板進(jìn)行后烘焙(參照特開平2-144502號(hào)公報(bào)和特開平3-53201號(hào)公報(bào))。通過這樣的方法制造濾色器時(shí)，一般通過旋涂方式在襯底上涂布用于形成著色層的放射線敏感性組合物，但是隨著襯底的大型化，涂布方式正在向狹縫-旋轉(zhuǎn)方式、非旋轉(zhuǎn)方式改變。
但是，對(duì)于狹縫-旋轉(zhuǎn)方式、非旋轉(zhuǎn)方式，因?yàn)槭褂锚M縫噴嘴進(jìn)行涂布，由此產(chǎn)生涂布性、產(chǎn)率的問題。即，無法避免用于形成著色層的放射線敏感性組合物對(duì)狹縫噴嘴的污染，因此必須進(jìn)行狹縫噴嘴的洗滌工序。該洗滌工序中通常使用用于形成著色層的放射線敏感性組合物的主溶劑洗滌狹縫噴嘴，但如果其對(duì)主溶劑的溶解性低的話，則在噴嘴部分殘留的用于形成著色層的放射線敏感性組合物成為凸起而殘留，會(huì)產(chǎn)生如下問題在襯底上涂布用于形成著色層的放射線敏感性組合物時(shí)相對(duì)于噴嘴的行進(jìn)方向產(chǎn)生條紋的問題；用于形成著色層的放射線敏感性組合物的干燥物落下并附著在襯底上，形成缺陷而使產(chǎn)率降低的問題。因此，用于形成著色層的放射線敏感性組合物的干燥物對(duì)溶劑的再溶解性變得重要。
另一方面，通過在用于形成著色層的放射線敏感性組合物中并用高沸點(diǎn)溶劑可以抑制干燥物的產(chǎn)生，但是難以充分蒸發(fā)，會(huì)由于產(chǎn)生粘附、真空焙烤的時(shí)間變長(zhǎng)而引起產(chǎn)率降低。并且，由于高沸點(diǎn)溶劑種類的選擇、添加量不同，在涂布用于形成著色層的放射線敏感性組合物后的真空焙烤工序中，溶劑蒸發(fā)時(shí)組合物中含有的微小氣泡顯露在涂膜表面，還有在干燥后直接以弧坑狀缺陷(以下稱為“暴沸孔”)殘留的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種用于形成著色層的放射線敏感性組合物，其在狹縫噴嘴部分上產(chǎn)生的用于形成著色層的放射線敏感性組合物的干燥物的溶劑再溶解性高，且沒有暴沸孔。
本發(fā)明的其它目的在于提供一種用于形成著色層的放射線敏感性組合物，其通過使用以雙丙甘醇二甲醚作為必須成分的溶劑作為溶劑，使其干燥物的溶劑再溶解性得到顯著改善。
本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點(diǎn)由以下說明闡明。
根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)的第一方面通過放射線敏感性組合物實(shí)現(xiàn)，所述放射線敏感性組合物的特征在于含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑，(E)溶劑含有5～40重量％的雙丙甘醇二甲醚，且其用于形成著色層。
本發(fā)明所稱的“著色層”是指包括用于濾色器的像素和/或黑底的層。
根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)的第二方面通過濾色器的形成方法實(shí)現(xiàn)，該方法的特征在于至少包含下述(1)～(4)的工序(1)在襯底上形成本發(fā)明的上述放射線敏感性組合物涂膜的工序；(2)將上述涂膜的至少一部分曝光的工序；(3)使曝光后的涂膜顯影的工序；(4)熱處理顯影后的涂膜的工序。
本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)的第三方面通過具有由本發(fā)明的上述放射線敏感性組合物形成的著色層的濾色器實(shí)現(xiàn)。
根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)的第四方面通過具有上述濾色器而成的彩色液晶顯示面板實(shí)現(xiàn)。
具體實(shí)施例方式
下面詳細(xì)說明本發(fā)明。
用于形成著色層的放射線敏感性組合物-(A)著色劑-本發(fā)明的著色劑其色調(diào)沒有特別限制，可以根據(jù)所得濾色器的用途適當(dāng)選擇，顏料、染料或天然色素均可。
濾色器要求高純度、高透射性的顯色和耐熱性，因此作為本發(fā)明的著色劑，優(yōu)選顯色性高且耐熱分解性高的著色劑，例如顏料，特別優(yōu)選有機(jī)顏料和/或炭黑。
作為上述有機(jī)顏料，例如是在カラ一インデツクス(染料索引)(C.I.；TheSociety of Dyers and Colourists公司發(fā)行)中的顏料(pigment)分類的化合物，具體來說可列舉下述染料索引(C.I.)編號(hào)的化合物。
C.I.顏料黃83、C.I.顏料黃128、C.I.顏料黃138、C.I.顏料黃139、C.I.顏料黃150、C.I.顏料黃151、C.I.顏料黃152、C.I.顏料黃153、C.I.顏料黃154、C.I.顏料黃155、C.I.顏料黃156、C.I.顏料黃166、C.I.顏料黃168、C.I.顏料黃175、C.I.顏料黃185；C.I.顏料紫19、C.I.顏料紫23、C.I.顏料紫29、C.I.顏料紫32、C.I.顏料紫36、C.I.顏料紫38；C.I.顏料紅177、C.I.顏料紅202、CI.顏料紅206、C.I.顏料紅207、C.I.顏料紅208、C.I.顏料紅209、C.I.顏料紅215、C.I.顏料紅216、C.I.顏料紅220、C.I.顏料紅224、C.I.顏料紅226、C.I.顏料紅242、C.I.顏料紅243、C.I.顏料紅245、C.I.顏料紅254、C.I.顏料紅255、C.I.顏料紅264、C.I.顏料紅265；C.I.顏料藍(lán)15、C.I.顏料藍(lán)15:3、C.I.顏料藍(lán)15:4、C.I.顏料藍(lán)15:6、C.I.顏料藍(lán)60；C.I.顏料綠7、C.I.顏料綠36；C.I.顏料黑1、C.I.顏料黑7。
上述有機(jī)顏料可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
并且，上述有機(jī)顏料可以通過例如硫酸重結(jié)晶法、溶劑洗滌法或它們的組合精制后使用。
并且，作為無機(jī)顏料可列舉例如氧化鈦、硫酸鋇、碳酸鈣、鋅白、硫酸鉛、鉛黃、鋅黃、氧化鐵紅(紅色氧化鐵(III))、鎘紅、群青、普魯士藍(lán)、氧化鉻綠、鈷綠、棕土、鈦黑、氧化鐵黑(合成鉄黑)、炭黑等。
這些無機(jī)顏料可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
在將本發(fā)明的放射線敏感性組合物用于形成像素時(shí)，優(yōu)選使用1種或以上的有機(jī)顏料作為著色劑，此外，在用于形成黑底時(shí)，優(yōu)選使用2種或以上的有機(jī)顏料和/或炭黑作為著色劑。
作為用于形成黑底的炭黑可列舉例如SAF、SAF-HS、ISAF、ISAF-LS、ISAF-HS、HAF、HAF-LS、HAF-HS、NAF、FEF、FEF-HS、SRF、SRF-LM、SRF-LS、GPF、ECF、N-339、N-351等爐墨；FT、MT等熱裂炭黑；乙炔黑等。
這些炭黑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
在本發(fā)明中，上述各種顏料可以根據(jù)需要將其粒子表面用聚合物改性使用。作為改性顏料粒子表面的聚合物，可列舉例如特開平8-259876號(hào)公報(bào)等中所述的聚合物、市售的各種顏料分散用聚合物或低聚物等。
并且，本發(fā)明的著色劑可根據(jù)需要和分散劑一起使用。
作為上述分散劑、可列舉例如陽離子型、陰離子型、非離子型、兩性、硅氧烷類、氟類等表面活性劑。
作為上述表面活性劑的具體例子，可列舉聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯烷基苯基醚；聚乙二醇二月桂酯、聚乙二醇二硬脂酸酯等聚乙二醇二酯；脫水山梨糖醇脂肪酸酯；脂肪酸改性聚酯；叔胺改性聚氨酯；聚乙烯亞胺類等，此外還有以下面商品名表示的KP(信越化學(xué)工業(yè)(株)制造)、ポリフロ一(共榮化學(xué)(株)制造)、エフトツプ(ト一ケムプロダクツ(株)制造)、メガフアツク(大日本インキ化學(xué)工業(yè)(株)制造)、フロラ一ド(住友スリ一エム(株)制造)、アサヒガ一ド、サ一フロン(以上由旭硝子(株)制造)、Disperbyk-101、Disperbyk-103、Disperbyk-107、Disperbyk-110、Disperbyk-111、Disperbyk-115、Disperbyk-130、Disperbyk-160、Disperbyk-161、Disperbyk-162、Disperbyk-163、Disperbyk-164、Disperbyk-165、Disperbyk-166、Disperbyk-170、Disperbyk-180、Disperbyk-182、Disperbyk-2000、Disperbyk-2001(以上由ビツクケミ一·ジャパン(株)制造)、ソルスパ一スS5000、ソルスパ一スS12000、ソルスパ一スS13240、ソルスパ一スS13940、ソルスパ一スS17000、ソルスパ一スS20000、ソルスパ一スS22000、ソルスパ一スS24000、ソルスパ一スS24000GR、ソルスパ一スS26000、ソルスパ一スS27000、ソルスパ一スS28000(以上由アビシア(株)制造)、EFKA46、EFKA47、EFKA48、EFKA745、EFKA4540、EFKA4550、EFKA6750、EFKALP4008、EFKA LP4009、EFKA LP4010、EFKA LP4015、EFKA LP4050、EFKALP4055、EFKA LP4560、EFKA LP4800、EFKA Polymer400、EFKA Polymer401、EFKA Polymer402、EFKA Polymer403、EFKA Polymer450、EFKA Polymer451、EFKA Polymer453(以上由エフカケミカルズ(株)制造)等。
這些表面活性劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
相對(duì)于100重量份著色劑，表面活性劑的使用量?jī)?yōu)選為50重量份或以下，更優(yōu)選為0～30重量份。
-(B)堿溶性樹脂-本發(fā)明中的堿溶性樹脂對(duì)(A)著色劑起粘合劑作用，且在制造濾色器時(shí)，對(duì)在其顯影處理工序中使用的顯影液、特別優(yōu)選對(duì)堿性顯影液具有可溶性的樹脂。例如可以列舉具有羧基、酚羥基、磺酸等酸性官能團(tuán)的聚合性不飽和單體和其它可共聚的不飽和單體(以下稱為“共聚性不飽和單體”)的共聚物。
作為具有羧基的聚合性不飽和單體(以下稱為“含有羧基的不飽和單體”。)，可以列舉例如(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不飽和單羧酸；馬來酸、馬來酸酐、富馬酸、衣康酸、衣康酸酐、檸康酸、檸康酸酐、中康酸等不飽和二羧酸或其酸酐；3元或以上的不飽和多元羧酸或其酸酐；琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元或以上的多元羧酸的單[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯；ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯等兩末端具有羧基和羥基的聚合物的單(甲基)丙烯酸酯等。
這些含有羧基的不飽和單體中，特別優(yōu)選(甲基)丙烯酸、琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等。
上述含有羧基的不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
作為具有酚羥基的聚合性不飽和單體，可列舉例如鄰羥基苯乙烯、間羥基苯乙烯、對(duì)羥基苯乙烯、鄰羥基-α-甲基苯乙烯、間羥基-α-甲基苯乙烯、對(duì)羥基-α-甲基苯乙烯、N-鄰羥基苯基馬來酰亞胺、N-間羥基苯基馬來酰亞胺、N-對(duì)羥基苯基馬來酰亞胺等。
這些具有酚羥基的聚合性不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
作為具有磺酸基的聚合性不飽和單體，可列舉例如異戊二烯磺酸、對(duì)苯乙烯磺酸等。
這些具有磺酸基的聚合性不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
作為共聚性不飽和單體，可列舉有例如聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等在聚合物分子鏈末端上具有單(甲基)丙烯酰基的大分子單體(以下僅稱為“大分子單體”。)N-苯基馬來酰亞胺、N-鄰甲基苯基馬來酰亞胺、N-間甲基苯基馬來酰亞胺、N-對(duì)甲基苯基馬來酰亞胺、N-鄰甲氧基苯基馬來酰亞胺、N-間甲氧基苯基馬來酰亞胺、N-對(duì)甲氧基苯基馬來酰亞胺等N-(取代)芳基馬來酰亞胺，N-環(huán)己基馬來酰亞胺等N-位取代馬來酰亞胺；苯乙烯、α-甲基苯乙烯、鄰乙烯基甲苯、間乙烯基甲苯、對(duì)乙烯基甲苯、對(duì)氯苯乙烯、鄰甲氧基苯乙烯、間甲氧基苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、鄰乙烯基芐基甲基醚、間乙烯基芐基甲基醚、對(duì)乙烯基芐基甲基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、間乙烯基芐基縮水甘油基醚、對(duì)乙烯基芐基縮水甘油基醚等芳香族乙烯基化合物；茚、1-甲基茚等茚；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥丁酯、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基雙丙甘醇酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸聯(lián)環(huán)戊二烯酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯等不飽和羧酸酯；(甲基)丙烯酸2-氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙酯等不飽和羧酸氨基烷基酯；(甲基)丙烯酸縮水甘油基酯等不飽和羧酸縮水甘油酯；乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯；乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基縮水甘油基醚等不飽和醚；(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、亞乙基二氰等丙烯腈化合物；(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羥乙基(甲基)丙烯酰胺等不飽和酰胺；1，3-丁二烯、異戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共軛二烯等。
這些共聚性不飽和單體中，優(yōu)選大分子單體、N-位取代馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸芐基酯、甘油單(甲基)丙烯酸酯等。并且，在大分子單體中特別優(yōu)選聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體，在N-位取代馬來酰亞胺中特別優(yōu)選N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺。
上述共聚性不飽和單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
作為本發(fā)明優(yōu)選的堿溶性樹脂，可以列舉含有羧基的不飽和單體和共聚性不飽和單體的共聚物(下面只稱為“含有羧基的共聚物“)。
作為含有羧基的共聚物，優(yōu)選含有(a)含有羧基的不飽和單體，和(b)選自聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸芐基酯和(甲基)丙烯酸甘油酯的至少一種，根據(jù)情況還含有(c)選自苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯中至少一種的單體混合物的共聚物(下面稱為“含有羧基的共聚物(I)”)，特別優(yōu)選含有(a)以(甲基)丙烯酸為必要成分，根據(jù)情況還含有琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯和/或ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯的含有羧基的不飽和單體，和(b)選自聚苯乙烯大分子單體、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體、N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸芐基酯和甘油單(甲基)丙烯酸酯的至少一種，根據(jù)情況還含有(c)選自苯乙烯、α-甲基苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯和(甲基)丙烯酸苯酯的至少一種的單體的混合物的共聚物(以下稱為“含有羧基的共聚物(II))”。
含有羧基的共聚物(II)的具體例子，可列舉(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、
(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物等。
含有羧基的共聚物中含有羧基的不飽和單體的共聚比例優(yōu)選為5～50重量％，更優(yōu)選為10～40重量％。如果含有羧基的不飽和單體的共聚比例小于5重量％，則得到的放射線敏感性組合物對(duì)堿性顯影劑的溶解性有降低的傾向，另一方面，如果超過50重量％，則對(duì)堿性顯影劑的溶解性變得過大，在用堿性顯影劑顯影時(shí)，存在容易引起著色層從襯底脫落、著色層表面的膜粗糙的傾向。
本發(fā)明的堿溶性樹脂用凝膠滲透色譜法(GPC，洗脫溶劑四氫呋喃)測(cè)定的聚苯乙烯換算的重均分子量(以下稱為“Mw”)優(yōu)選為3,000～300,000，更優(yōu)選為3,000～100,000。
另外，本發(fā)明的堿溶性樹脂用凝膠滲透色譜法(GPC，洗脫溶劑四氫呋喃)測(cè)定的聚苯乙烯換算的數(shù)均分子量(以下稱為“Mn”)優(yōu)選為3,000～60,000，更優(yōu)選為3,000～25,000。
并且，本發(fā)明的堿溶性樹脂的Mw與Mn之比(Mw/Mn)優(yōu)選為1～5，更優(yōu)選為1～4。
通過使用具有這樣特定Mw或Mn的堿溶性樹脂，可以獲得顯影性優(yōu)良的放射線敏感性組合物，由此可以形成具有清晰圖案邊緣的著色層，同時(shí)顯影時(shí)在未曝光部分的襯底上和遮光層上很難產(chǎn)生殘?jiān)?、浮?地汚れ)、膜殘留等。
在本發(fā)明中，堿溶性樹脂可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
相對(duì)于100重量份(A)著色劑，本發(fā)明的堿溶性樹脂的使用量?jī)?yōu)選為10～1,000重量份，更優(yōu)選為20～500重量份。堿溶性樹脂的使用量小于10重量份的話，有例如堿顯影性降低、未曝光部分的襯底上或遮光層上產(chǎn)生浮垢、膜殘留的可能性，另一方面，如果超過1,000重量份，則由于相對(duì)著色劑濃度降低，有時(shí)難以實(shí)現(xiàn)薄膜的目標(biāo)色濃度。
(C)多官能性單體本發(fā)明的多官能性單體是具有2個(gè)或以上聚合性不飽和鍵的單體。
作為多官能性單體，可以列舉例如乙二醇、丙二醇等亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯；聚乙二醇、聚丙二醇等聚亞烷基二醇的二(甲基)丙烯酸酯；甘油、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元或以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、它們的二羧酸改性物；聚酯、環(huán)氧樹脂、聚氨酯樹脂、醇酸樹脂、有機(jī)硅樹脂、螺環(huán)樹脂等的低聚(甲基)丙烯酸酯；兩末端羥基聚-1，3-丁二烯、兩末端羥基聚異戊二烯、兩末端羥基聚己內(nèi)酯等兩末端羥基化取合物的二(甲基)丙烯酸酯、三[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]磷酸酯等。
在這些多官能性單體中，優(yōu)選3元或以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯、它們的二羧酸改性物，具體來說，優(yōu)選三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中出于著色層強(qiáng)度高、著色層表面的平滑性優(yōu)良、且在未曝光部分的襯底上和遮光層上難以產(chǎn)生浮垢、膜殘留等考慮，特別優(yōu)選三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯。
這些多官能性單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
相對(duì)于100重量份(B)堿溶性樹脂，本發(fā)明中多官能性單體的使用量?jī)?yōu)選為5～500重量份，更優(yōu)選為20～300重量份。此時(shí)，多官能性單體使用量小于5重量份的話，著色層的強(qiáng)度、表面平滑性有降低的傾向，另一方面，如果超過500重量份，會(huì)有例如堿顯影性降低，或者容易在未曝光部分的襯底上或遮光層上產(chǎn)生浮垢、膜殘留等的傾向。
本發(fā)明中除了多官能性單體以外，還可以并用具有1個(gè)聚合性不飽和鍵的單官能性單體。
作為上述單官能性單體可以列舉例如上述(B)堿溶性樹脂中舉出的含有羧基的不飽和單體、共聚性不飽和單體或N-乙烯基琥珀酰亞胺、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基苯鄰二甲酰亞胺、N-乙烯基-2-哌啶酮、N-乙烯基-ε-己內(nèi)酰胺、N-乙烯基吡咯、N-乙烯基吡咯烷、N-乙烯基咪唑、N-乙烯基咪唑啉、N-乙烯基吲哚、N-乙烯基二氫吲哚、N-乙烯基苯并咪唑、N-乙烯基咔唑、N-乙烯基哌啶、N-乙烯基哌嗪、N-乙烯基嗎啉、N-乙烯基吩嗪等N-乙烯基衍生物；N-(甲基)丙烯?；鶈徇?，此外還有市售的商品名為M-5300、M-5400、M-5600(以上由東亞合成(株)制造)等。
這些單官能性單體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。相對(duì)于多官能性單體和單官能性單體合計(jì)重量，單官能性單體的使用比例優(yōu)選為90重量％或以下，更優(yōu)選為50重量％或以下。如果單官能性單體的使用比例超過90重量％，則著色層的強(qiáng)度、表面平滑性有降低的傾向。
(D)光聚合引發(fā)劑本發(fā)明的光聚合引發(fā)劑是可以通過可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等曝光產(chǎn)生可引發(fā)上述(C)多官能性單體和根據(jù)情況使用的單官能性單體聚合的活性種的化合物。
作為這樣的光聚合引發(fā)劑，例如可列舉苯乙酮化合物、聯(lián)二咪唑化合物、三嗪化合物、苯偶姻化合物、二苯甲酮化合物、α-二酮化合物、多核醌(多核キソン)化合物、呫噸酮化合物、重氮化合物等。
本發(fā)明中，光聚合引發(fā)劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用，作為本發(fā)明的光聚合引發(fā)劑，優(yōu)選選自苯乙酮化合物、聯(lián)二咪唑化合物和三嗪化合物中的至少一種。
相對(duì)于100重量份(C)多官能性單體或它與單官能性單體的總量，本發(fā)明的光聚合引發(fā)劑的一般使用量?jī)?yōu)選為0.01～80重量份，更優(yōu)選為1～60重量份。這時(shí)，光聚合引發(fā)劑的使用量如小于0.01重量份，則利用曝光的固化變得不充分，有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的可能性，另一方面，如果超過80重量份，會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從襯底脫落的傾向。
在本發(fā)明的優(yōu)選光聚合引發(fā)劑中，作為苯乙酮化合物的具體例子可列舉2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、1-羥基環(huán)己基·苯基酮、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)等。
在這些苯乙酮化合物中，優(yōu)選2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁烷-1-酮、1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)等。
上述苯乙酮化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
本發(fā)明中，相對(duì)于100重量份(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量，使用苯乙酮化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí)的使用量?jī)?yōu)選為0.01～80重量份，更優(yōu)選為1～60重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1～30重量份。苯乙酮化合物的使用量如小于0.01重量份，則利用曝光的固化變得不充分，有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的傾向，另一方面，如果超過80重量份，會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從襯底脫落的傾向。
作為上述聯(lián)二咪唑化合物的具體例子，可列舉有2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四(4-乙氧基羰基苯基)-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2-溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4-二溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4，6-三溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑等。
在這些聯(lián)二咪唑化合物中，優(yōu)選2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑等，特別優(yōu)選2，2’-雙(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑。
上述聯(lián)二咪唑化合物對(duì)溶劑的溶解性優(yōu)良，不會(huì)產(chǎn)生未溶解物、析出物等異物，且敏感度高，在少量能量的曝光下就可以充分進(jìn)行固化反應(yīng)，同時(shí)對(duì)比度高，未曝光部分不會(huì)發(fā)生固化反應(yīng)，因此曝光后的涂膜可以明確區(qū)分對(duì)顯影液不溶的固化部分和對(duì)顯影液具有高溶解性的未固化部分，因此可以形成沒有側(cè)壁腐蝕(アンダ一カツト)的著色層圖案按照規(guī)定排列酏置的高精細(xì)濾色器。上述聯(lián)二咪唑化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
本發(fā)明中，相對(duì)于100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量，使用聯(lián)二咪唑化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí)的使用量?jī)?yōu)選為0.01～40重量份，更優(yōu)選為1～30重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為1～20重量份。如聯(lián)二咪唑化合物的使用量小于0.01重量份，則由于曝光引起的固化變得不充分，有獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器變得困難的可能性，另一方面，如果超過40重量份，則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層從襯底脫落、容易引起著色層表面的膜粗糙的傾向。
本發(fā)明中，使用聯(lián)二咪唑化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí)，從進(jìn)一步改善敏感度來考慮，優(yōu)選與下述的氫供體并用。
這里所稱的“氫供體”是指可向由曝光從聯(lián)二咪唑化合物產(chǎn)生的自由基提供氫原子的化合物。
作為本發(fā)明中的氫供體，優(yōu)選下述定義的硫醇化合物、胺化合物。
上述硫醇化合物包括以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核，分子內(nèi)具有1個(gè)或以上、優(yōu)選1～3個(gè)，更優(yōu)選1～2個(gè)直接鍵合到該母核上的巰基的化合物(以下稱為“硫醇?xì)涔w”)。
上述胺化合物包括以苯環(huán)或雜環(huán)作為母核，在分子內(nèi)具有1個(gè)或以上、優(yōu)選1～3個(gè)，更優(yōu)選1～2個(gè)直接鍵合到該母核上的氨基的化合物(以下稱為“胺氫供體”)。
另外，這些氫供體可以同時(shí)具有巰基和氨基。
以下更具體地說明這些氫供體。
硫醇?xì)涔w可以分別具有1個(gè)或以上苯環(huán)或雜環(huán)，還可以同時(shí)具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個(gè)或以上這些環(huán)時(shí)，可以形成稠合環(huán)，也可以不形成稠合環(huán)。
硫醇?xì)涔w在具有2個(gè)或以上巰基時(shí)，只要?dú)埩粲兄辽?個(gè)游離的巰基，殘留巰基的1個(gè)或以上即可以被烷基、芳烷基或芳基取代。進(jìn)而只要?dú)埩粲兄辽?個(gè)游離巰基，可以具有通過亞烷基等2價(jià)有機(jī)基團(tuán)鍵合2個(gè)硫原子的結(jié)構(gòu)單元、或者2個(gè)硫原子以二硫化物的形態(tài)鍵合的結(jié)構(gòu)單元。
進(jìn)而，硫醇?xì)涔w在巰基以外的位置可以被羧基、取代或未取代的烷氧基羰基、取代或未取代的苯氧基羰基、腈基等取代。
作為這樣的硫醇?xì)涔w的具體例子，可列舉2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并唑、2-巰基苯并咪唑、2，5-二巰基-1，3，4-噻二唑、、2-巰基-2，5-二甲基氨基吡啶等。
這些硫醇?xì)涔w中，優(yōu)選2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并唑等，特別優(yōu)選2-巰基苯并噻唑。
胺氫供體可以分別具有1個(gè)或以上苯環(huán)或雜環(huán)，還可以同時(shí)具有苯環(huán)和雜環(huán)二者。具有2個(gè)或以上這些環(huán)時(shí)，可以形成稠合環(huán)，也可以不形成稠合環(huán)。
并且，胺氫供體可以用烷基或取代烷基取代1個(gè)或以上氨基，并且氨基以外的位置也可以被羧基、取代或未取代的烷氧基羰基、取代或未取代的苯氧基羰基、腈基等取代。
作為這樣的胺氫供體的具體例子，可列舉有4，4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯基氰等。
在這些胺氫供體中，優(yōu)選4，4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等，特別優(yōu)選4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。
另外，即使是在聯(lián)二咪唑化合物以外的光聚合引發(fā)劑的情況下，胺氫供體也具有敏化劑的作用。
在本發(fā)明中，氫供體可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用，但是由于高敏感度、形成的著色層在顯影時(shí)難以從襯底上脫落以及著色層強(qiáng)度也高，優(yōu)選將1種或以上的硫醇?xì)涔w與1種或以上的胺氫供體組合使用。
作為優(yōu)選的硫醇?xì)涔w與胺氫供體組合的具體例子，可列舉2-巰基苯并噻唑/4，4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并噻唑/4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并唑/4，4’-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并唑/4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等。更優(yōu)選的組合有2-巰基苯并噻唑/4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巰基苯并唑/4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮等，特別優(yōu)選的組合為2-巰基苯并噻唑/4，4’-雙(二乙基氨基)二苯甲酮。
在硫醇?xì)涔w與胺氫供體的組合中，硫醇?xì)涔w與胺氫供體的重量比優(yōu)選為1∶1～1∶4，更優(yōu)選為1∶1～1∶3。
在本發(fā)明中，相對(duì)于100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量，氫供體與聯(lián)二咪唑化合物并用時(shí)的使用量?jī)?yōu)選為0.01～40重量份，更優(yōu)選為1～30重量份，特別優(yōu)選1～20重量份。如氫供體的使用量小于0.01重量份，則會(huì)有敏感度改良效果降低的傾向，另一方面，如果超過40重量份，則會(huì)有形成的著色層在顯影時(shí)容易從襯底脫落的傾向。
作為上述三嗪化合物的具體例子，可列舉2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪等具有鹵代甲基的三嗪化合物。
在這些三嗪化合物中，特別優(yōu)選2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪。
上述三嗪化合物可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
在本發(fā)明中，相對(duì)于100重量份的(C)多官能性單體或它和單官能性單體的總量，使用三嗪化合物作為光聚合引發(fā)劑時(shí)的使用量?jī)?yōu)選為0.01～40重量份，更優(yōu)選為1～30重量份，特別優(yōu)選為1～20重量份。如三嗪化合物的使用量小于0.01重量份，則由于曝光引起的固化變得不充分，有可能難以獲得著色層圖案按規(guī)定排列配置的濾色器，另一方面，如果超過40重量份，則會(huì)有在顯影時(shí)形成的著色層容易從襯底脫落的傾向。
(E)溶劑本發(fā)明的溶劑是以雙丙甘醇二甲醚為必須成分的溶劑。
溶劑中的雙丙甘醇二甲醚的含量比例為5～40重量％，優(yōu)選為15～35重量％，特別優(yōu)選為20～30重量％。如雙丙甘醇二甲醚的含量比例小于5重量％，則放射線敏感性組合物的干燥物、暴沸孔等的抑制效果有可能降低，另一方面，如果超過40重量％，則有溶劑溶解力降低，析出不溶物的可能性。
本發(fā)明中的溶劑可以含有與雙丙甘醇二甲醚不同的溶劑(下面稱為“其他溶劑”)。
作為其他溶劑，只要是分散或溶解構(gòu)成放射線敏感性組合物的上述(A)～(D)成分、添加劑成分，且和這些成分不反應(yīng)，具有適度的揮發(fā)性的溶劑，即可適宜選擇使用。作為可列舉的期望溶劑之一，優(yōu)選沸點(diǎn)小于150℃，更優(yōu)選為130℃或以上、小于150℃的溶劑(下面稱為“低沸點(diǎn)溶劑”)。本發(fā)明中所稱的“沸點(diǎn)”是指在1個(gè)大氣壓下的值。
作為低沸點(diǎn)溶劑的具體例子，可列舉丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2-庚酮、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸異戊酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯等。
在這些低沸點(diǎn)溶劑中，優(yōu)選丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、2-庚酮、乙酸異戊酯等，特別優(yōu)選丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單甲醚乙酸酯。
上述低沸點(diǎn)溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
溶劑中低沸點(diǎn)溶劑的含量比例優(yōu)選為10～60重量％，更優(yōu)選為20～50重量％，特別優(yōu)選為20～45重量％。如果低沸點(diǎn)溶劑的含量比例小于10重量％，則有可能由于產(chǎn)生粘附、真空焙烤時(shí)間變長(zhǎng)而引起產(chǎn)率降低，另一方面，如果超過60重量％，則放射線敏感性組合物的干燥物抑制效果有可能會(huì)變得不充分。
在本發(fā)明中，作為其他溶劑可為優(yōu)選列舉沸點(diǎn)在150℃或以上、小于180℃的溶劑，更優(yōu)選列舉155～180℃的溶劑(其中不包括雙丙甘醇二甲醚)(以下稱為“中沸點(diǎn)溶劑”)作為期望溶劑的一種。
作為中沸點(diǎn)溶劑的具體例子，可列舉乙二醇單正丁醚、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、環(huán)己酮、3-乙氧基丙酸乙酯、丁酸正丁酯、乙酰乙酸甲酯等。
在這些中沸點(diǎn)溶劑中，優(yōu)選乙二醇單正丁醚、乙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、環(huán)己酮、3-乙氧基丙酸乙酯等，特別優(yōu)選丙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、環(huán)己酮、3-乙氧基丙酸乙酯。
上述中沸點(diǎn)溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
溶劑中的中沸點(diǎn)溶劑的含量比例優(yōu)選為30～70重量％，更優(yōu)選為30～60重量％，特別優(yōu)選為30～50重量％。如果中沸點(diǎn)溶劑的含量比例小于30重量％，則會(huì)有容易產(chǎn)生放射線敏感性組合物干燥物的傾向，另一方面，如果超過70重量％，則有可能由于產(chǎn)生粘附、真空焙烤時(shí)間變長(zhǎng)而引起產(chǎn)率降低。
進(jìn)而，在本發(fā)明中，與上述各種溶劑一起作為其他溶劑之一，還可以并用沸點(diǎn)超過180℃的溶劑(下面稱為“高沸點(diǎn)溶劑”)。
作為高沸點(diǎn)溶劑的具體例子，可列舉有芐基乙基醚、二己醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、芐醇、乙酸芐基酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、γ-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇單苯基醚乙酸酯等。
上述高沸點(diǎn)溶劑可以單獨(dú)使用或?qū)?種或以上混合使用。
如果更具體地表示本發(fā)明溶劑中各溶劑的含量比例，則優(yōu)選雙丙甘醇二甲醚為5～40重量％，低沸點(diǎn)溶劑為10～60重量％，中沸點(diǎn)溶劑為30～70重量％，高沸點(diǎn)溶劑為20重量％或以下，更優(yōu)選雙丙甘醇二甲醚為15～35重量％，低沸點(diǎn)溶劑為20～50重量％，中沸點(diǎn)溶劑為30～60重量％，高沸點(diǎn)溶劑為20重量％或以下，特別優(yōu)選雙丙甘醇二甲醚為20～30重量％，低沸點(diǎn)溶劑為20～45重量％，中沸點(diǎn)溶劑為30～50重量％，高沸點(diǎn)溶劑為20重量％或以下。通過使用這樣的混合溶劑，能獲得顯著抑制放射線敏感性組合物的干燥物、暴沸孔等的產(chǎn)生，不會(huì)由于粘附的產(chǎn)生、真空焙燒時(shí)間長(zhǎng)而帶來產(chǎn)率降低、且不會(huì)析出不溶物的良好的放射線敏感性組合物。
對(duì)本發(fā)明的放射線敏感性組合物中的溶劑總使用量沒有特別限制，從得到的組合物的涂布性、穩(wěn)定性等觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使固體成分(除去該組合物溶劑的各成分的合計(jì)濃度)達(dá)到5～50重量％，特別優(yōu)選達(dá)到10～40重量％的量是適宜的。
-其他添加劑-本發(fā)明的放射線敏感性組合物含有上述(A)～(E)，根據(jù)需要還可以含有其他添加劑。
作為上述其他添加劑，可列舉例如玻璃、氧化鋁等填充劑；聚乙烯醇、聚(氟代烷基丙烯酸酯)等高分子化合物；非離子表面活性劑、陽離子表面活性劑、陰離子表面活性劑等表面活性劑；乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3，4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巰基丙基三甲氧基硅烷等附著促進(jìn)劑；2，2-硫代雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，6-二叔丁基苯酚等抗氧化劑；2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯代苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等紫外線吸收劑；聚丙烯酸鈉等抗凝聚劑。
濾色器的形成方法接著，說明使用本發(fā)明的放射線敏感性組合物(下面只稱為“用于形成著色層的組合物”。)形成本發(fā)明的濾色器的方法。
本發(fā)明的濾色器的形成方法至少包括下述(1)～(4)的工序(1)在襯底上形成用于形成著色層的組合物的涂膜的工序；(2)將上述涂膜的至少一部分曝光的工序；(3)使曝光后的涂膜顯影的工序；(4)熱處理顯影后的涂膜的工序。
以下依次說明這些工序。
-工序(1)-首先，根據(jù)需要，在襯底的表面上以分區(qū)形成像素的部分的方式來形成遮光層，在該襯底上涂布用于形成著色層的組合物后，在減壓下進(jìn)行真空焙燒，蒸發(fā)除去溶劑，形成涂膜。
作為在該工序中使用的襯底，例如可列舉玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亞胺、聚酰亞胺、聚醚砜、環(huán)烯烴的開環(huán)聚合物及其加氫產(chǎn)物等。
并且，根據(jù)期望，還可以對(duì)這些襯底適當(dāng)?shù)貙?shí)施利用硅烷偶聯(lián)劑等進(jìn)行的化學(xué)藥品處理、等離子體處理、離子鍍敷、濺射、氣相反應(yīng)法、真空蒸鍍等前處理。
作為在襯底上涂布用于形成著色層的組合物的方法沒有特別的限制，優(yōu)選狹縫-旋轉(zhuǎn)涂布法、非旋轉(zhuǎn)涂布法等使用狹縫噴嘴的方法(下面稱為“狹縫噴嘴涂布法”)。
在狹縫噴嘴涂布法中，根據(jù)狹縫-旋轉(zhuǎn)涂布法和非旋轉(zhuǎn)涂布法、涂布襯底的大小，其條件有所不同，例如通過非旋轉(zhuǎn)涂布法涂布第5代玻璃襯底(1,100mm×1,250mm)時(shí)，從狹縫噴嘴吐出的用于形成著色層的組合物的吐出量?jī)?yōu)選為500～2,000微升/秒，更優(yōu)選為800～1,500微升/秒，并且涂布速度優(yōu)選為500～1,500mm/秒，更優(yōu)選為700～1,200mm/秒。
作為用于形成著色層的組合物的固體成分，優(yōu)選為10～20重量％，更優(yōu)選為13～18重量％。
真空焙燒的條件為真空度優(yōu)選為0.1～1.0托，更優(yōu)選為0.2～0.5托左右，溫度優(yōu)選為60～120℃，更優(yōu)選為70～110℃左右，另外焙燒時(shí)間優(yōu)選為1～5分鐘，更優(yōu)選為2～4分鐘左右。
以除去涂膜后的膜厚計(jì)，形成涂膜的厚度優(yōu)選為0.1～10μm，更優(yōu)選為0.2～8.0μm，特別優(yōu)選為0.2～6.0μm。
-工序(2)-然后，將形成的涂膜的至少一部分曝光。對(duì)涂膜的一部分進(jìn)行曝光時(shí)，通常通過具有適當(dāng)圖案的光掩模進(jìn)行曝光。
作為曝光使用的放射線，可列舉例如可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等。優(yōu)選波長(zhǎng)在190～450nm范圍的放射線。
放射線的曝光量?jī)?yōu)選為10～10,000J/m2左右。
-工序(3)-然后，使用顯影液進(jìn)行顯影，溶解除去涂膜的未曝光部分。
作為上述顯影液，優(yōu)選例如含有碳酸鈉、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨、膽堿、1，8-二氮雜雙環(huán)-[5.4.0]-7-十一碳烯、1，5-二氮雜雙環(huán)-[4.3.0]-5-壬烯等水溶液的堿性顯影液。
在上述堿性顯影液中還可以適量添加例如甲醇、乙醇等水溶性有機(jī)溶劑、表面活性劑。另外，在堿性顯影后通常進(jìn)行水洗。
作為顯影處理方法可以采用噴淋顯影法、噴霧顯影法、浸漬顯影法、葉片攪拌(液盛り)顯影法等。
顯影條件優(yōu)選在常溫下進(jìn)行5～300秒左右。
-工序(4)-然后，可以通過加熱處理(下面稱為“后焙烤”)在襯底上形成著色層。
后焙烤條件優(yōu)選在180～230℃下進(jìn)行20～40分鐘左右。
在本發(fā)明濾色器的形成方法中，使用分散了紅色、綠色或藍(lán)色顏料的各用于形成著色層的組合物重復(fù)上述工序(1)～(4)，在同一襯底上形成紅色像素圖案、綠色像素圖案和藍(lán)色像素圖案，從而可以在襯底上形成以規(guī)定排列配置紅色、綠色和藍(lán)色三原色像素圖案的著色層。但是，在本發(fā)明中，對(duì)各種顏色的像素圖案的形成順序沒有特別限制。
這樣形成的像素的膜厚優(yōu)選為0.5～5.0μm，更優(yōu)選為1.5～3.0μm。
本發(fā)明的用于形成著色層的組合物含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑作為必要成分，(E)溶劑含有5～40重量％的雙丙甘醇二甲醚。特別優(yōu)選的組合物的具體例子如下面的(i)～(ix)所述。
(i)用于形成著色層的組合物，其中(B)成分包含含羧基的共聚物(II)，(D)成分含有選自苯乙酮化合物、聯(lián)二咪唑化合物和三嗪化合物中的至少一種。
(ii)上述(i)的用于形成著色層的組合物，其中(B)成分包含含羧基的共聚物(II)，(D)成分中的苯乙酮化合物含有選自2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙酮-1，2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁酮-1和1，2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰肟)中的至少一種，(D)成分中的聯(lián)二咪唑化合物含有選自2，2’-雙(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑、2，2’-雙(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑和2，2’-雙(2，4，6-三氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-聯(lián)二咪唑中的至少一種，(D)成分中的三嗪化合物含有2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-雙(三氯甲基)-s-三嗪。
(iii)上述(i)或(ii)的用于形成著色層的組合物，其中(B)成分中的含羧基的共聚物(II)含有選自(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯、(甲基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/α-甲基苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸烯丙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/琥珀酸單[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/苯乙烯/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸苯酯共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/(甲基)丙烯酸芐基酯/聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚苯乙烯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸2-羥乙酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸苯酯/聚甲基丙烯酸甲酯大分子單體共聚物、(甲基)丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物和(甲基)丙烯酸/ω-羧基聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/(甲基)丙烯酸芐基酯/甘油單(甲基)丙烯酸酯共聚物中的至少一種。
(iv)上述(i)、(ii)或(iii)的用于形成著色層的組合物，其中(C)成分含有選自三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的至少一種。
(v)上述(i)、(ii)、(iii)或(iv)的用于形成著色層的組合物，其中(A)成分含有有機(jī)顏料和/或炭黑。
(vi)上述(i)、(ii)、(iii)、(iv)或(v)的用于形成著色層的組合物，其中(E)成分含有10～60重量％的低沸點(diǎn)溶劑。(vii)上述(vi)的用于形成著色層的組合物，其中低沸點(diǎn)溶劑含有選自丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚和丙二醇單甲醚乙酸酯中的至少一種。
(viii)上述(vi)或(Vii)的用于形成著色層的組合物，其中(E)成分還含有30～70重量％的中沸點(diǎn)溶劑。
(ix)上述(viii)的用于形成著色層的組合物，其中中沸點(diǎn)溶劑含有選自丙二醇單乙醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、環(huán)己酮和3-乙氧基丙酸乙酯中的至少一種。
并且，本發(fā)明優(yōu)選的濾色器具有(x)由上述(i)、(ii)、(iii)、(iv)、(v)、(vi)、(vii)、(viii)或(ix)的用于形成著色層的組合物形成的像素和/或黑底。
而且，本發(fā)明優(yōu)選的彩色液晶顯示面板具有(xi)上述(x)的濾色器。
如上所述，本發(fā)明的用于形成著色層的組合物由于干燥物的溶劑再溶解性高，暴沸孔的產(chǎn)生也少，因此可特別適用于使用狹縫噴嘴涂布法形成濾色器。
實(shí)施例下面列舉實(shí)施例更具體地說明本發(fā)明。但是本發(fā)明不限于下述實(shí)施例。
實(shí)施例1通過球磨機(jī)處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料紅254/C.I.顏料紅177＝80/20(重量比)的混合物、4重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、6重量份作為(B)堿溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚重量比＝20/30/20/30，Mw＝9,500，Mn＝5,000)和75重量份作為(E)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯，制備預(yù)分散液(R1)。
接著，混合100重量份的預(yù)分散液(R1)、5重量份作為(B)堿溶性樹脂的甲基丙烯酸/琥珀酸單(2-甲基丙烯酰氧基乙基)酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯共聚物(共聚重量比＝25/10/30/20/15，Mw＝12,000，Mn＝6,500)、10重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發(fā)劑的2-甲基-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮-1和作為(E)溶劑的25重量份雙丙甘醇二甲醚、25重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、75重量份的乙酸3-甲氧基丁酯、50重量份的環(huán)己酮，制備用于形成著色層的組合物(R1-1)。
根據(jù)下面的順序?qū)Φ玫降挠糜谛纬芍珜拥慕M合物(R1-1)進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
干燥物的溶劑再溶解性評(píng)價(jià)在玻璃襯底上涂布用于用于形成著色層的組合物(R1-1)，在23℃、濕度為50％的條件下風(fēng)干30分鐘后，將附著了干燥涂膜的玻璃襯底在丙二醇單甲醚乙酸酯中浸漬10分鐘。此時(shí)根據(jù)干燥涂膜的再溶解狀態(tài)，以下面3個(gè)等級(jí)來評(píng)價(jià)。
○在浸漬中干燥涂膜完全溶解，△浸漬10分鐘后還殘留部分干燥涂膜，×浸漬10分鐘后干燥涂膜幾乎沒有或完全沒有溶解。
暴沸孔的評(píng)價(jià)在表面形成防止鈉離子溶出的SiO2膜的鈉玻璃(300mm×400mm)上，使用旋涂器涂布用于形成著色層的組合物(R1-1)后，真空焙烤至真空度達(dá)到0.3托，形成膜厚為2.5μm的涂膜。
然后，用光學(xué)顯微鏡觀察得到的襯底，數(shù)出涂膜的5mm×400mm四方的規(guī)定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的暴沸孔的數(shù)目，根據(jù)下述3個(gè)等級(jí)評(píng)價(jià)。
○小于500個(gè)，△500個(gè)或以上，小于1000個(gè)，×1000個(gè)或以上。
實(shí)施例2
在實(shí)施例1中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(R1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?0重量份雙丙甘醇二甲醚和125重量份3-乙氧基丙酸乙酯以外，和實(shí)施例1進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(R1-2)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
實(shí)施例3在實(shí)施例1中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(R1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?0重量份雙丙甘醇二甲醚、50重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、25重量份二甘醇甲基乙基醚和50重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例1進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(R1-3)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
實(shí)施例4在實(shí)施例1中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(R1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?7重量份雙丙甘醇二甲醚、17重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、19重量份二甘醇甲基乙基醚和37重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例1進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(R1-4)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
比較例1在實(shí)施例1中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(R1)，將添加的溶劑改變?yōu)?5重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、75重量份乙酸3-甲氧基丁酯和75重量份環(huán)己酮以外，和實(shí)施例1進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(R1-5)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
比較例2在實(shí)施例1中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(R1)，將添加的溶劑改變?yōu)?0重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、75重量份3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份二甘醇甲基乙基醚以外，和實(shí)施例1進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(R1-6)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1。
表1 實(shí)施例5和實(shí)施例1一樣處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料綠36/C.I.顏料黃138/C.I.顏料黃150＝50/40/10(重量比)的混合物、4重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、5重量份作為(B)堿溶性樹脂的甲基丙烯酸/ω-羧基聚己內(nèi)酯單丙烯酸酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯/甘油單甲基丙烯酸酯共聚物(共聚重量比＝15/10/20/10/35/10，Mw＝6,000，Mn＝3,000)和76重量份作為(E)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯，制備預(yù)分散液(G1)。
接著，混合100重量份的預(yù)分散液(G1)、5重量份作為(B)堿溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯/甘油單甲基丙烯酸酯共聚物(共聚重量比＝15/25/15/35/10，Mw＝13,500，Mn＝6,000)、10重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發(fā)劑的2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)丁酮-1和作為(E)溶劑的75重量份雙丙甘醇二甲醚、50重量份丙二醇甲醚乙酸酯和50重量份乙酸3-甲氧基丁酯，制備用于形成著色層的組合物(G1-1)。
對(duì)得到的用于形成著色層的組合物(G1-1)進(jìn)行和實(shí)施例1相同的評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
實(shí)施例6在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?0重量份雙丙甘醇二甲醚、25重量份丙二醇單甲醚乙酸酯和100重量份3-乙氧基丙酸乙酯以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-2)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
實(shí)施例7在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?5重量份雙丙甘醇二甲醚、25重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、50重量份3-乙氧基丙酸乙酯和25重量份二甘醇甲基乙基醚以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-3)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
實(shí)施例8在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?5重量份雙丙甘醇二甲醚、75重量份丙二醇單甲醚乙酸酯和75重量份3-乙氧基丙酸乙酯以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-4)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
實(shí)施例9在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?5重量份雙丙甘醇二甲醚、50重量份丙二醇單甲醚乙酸酯和50重量份二甘醇甲基乙基醚以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-5)，進(jìn)行評(píng)價(jià)。并評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
實(shí)施例10在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?4重量份雙丙甘醇二甲醚、14重量份丙二醇甲醚乙酸酯和35重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-6)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
比較例3在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的溶劑改變?yōu)?5重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、50重量份3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份二甘醇甲基乙基醚以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-7)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
比較例4在實(shí)施例5中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(G1)，將添加的溶劑改變?yōu)?25重量份3-乙氧基丙酸乙酯和50重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例5進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(G1-8)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表2。
表2 實(shí)施例11和實(shí)施例1一樣處理15重量份作為(A)著色劑的C.I.顏料藍(lán)15/C.I.顏料紫23＝90/10(重量比)的混合物、5重量份(換算成固體成分)作為分散劑的Disperbyk-2001、4重量份作為(B)堿溶性樹脂的丙烯酸/甲基丙烯酸2-羥乙酯/N-苯基馬來酰亞胺/苯乙烯/甲基丙烯酸苯酯/聚甲基丙烯酸甲酯大單體共聚物(共聚重量比＝15/10/20/10/35/10，Mw＝23,000，Mn＝11,000)和76重量份作為(E)溶劑的丙二醇單甲醚乙酸酯，制備預(yù)分散液(B1)。
接著，混合100重量份的預(yù)分散液(B1)、10重量份作為(B)堿溶性樹脂的甲基丙烯酸/N-苯基馬來酰亞胺/α-甲基苯乙烯/甲基丙烯酸芐基酯(共聚重量比＝20/25/25/30，Mw＝43,000，Mn＝21,000)、20重量份作為(C)多官能性單體的二季戊四醇六丙烯酸酯、5重量份作為(D)光聚合引發(fā)劑的2-甲基-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉代-1-丙酮-1和作為(E)溶劑的65重量份雙丙甘醇二甲醚、88重量份丙二醇單甲醚乙酸酯和97重量份3-乙氧基丙酸乙酯，制備用于形成著色層的組合物(B1-1)。
對(duì)得到的用于形成著色層的組合物(B1-1)進(jìn)行和實(shí)施例1相同的評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
實(shí)施例12在實(shí)施例11中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(B1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?5重量份雙丙甘醇二甲醚、23重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、32重量份二甘醇甲基乙基醚和130重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例11進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(B1-2)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
實(shí)施例13在實(shí)施例11中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(B1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?2重量份雙丙甘醇二甲醚、23重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、32重量份二甘醇甲基乙基醚、131重量份乙酸3-甲氧基丁酯和32重量份環(huán)己酮以外，和實(shí)施例11進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(B1-3)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
實(shí)施例14在實(shí)施例11中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(B1)，將添加的(E)溶劑改變?yōu)?0重量份雙丙甘醇二甲醚、26重量份二甘醇甲基乙基醚和100重量份乙酸3-甲氧基丁酯以外，和實(shí)施例11進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(B1-4)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
比較例5在實(shí)施例11中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(B1)，將添加的溶劑改變?yōu)?6重量份丙二醇單甲醚乙酸酯和194重量份3-乙氧基丙酸乙酯以外，和實(shí)施例11進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(B1-5)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
比較例6在實(shí)施例11中，除了相對(duì)于100重量份預(yù)分散液(B1)，將添加的溶劑改變?yōu)?8重量份丙二醇單甲醚乙酸酯、97重量份乙酸3-甲氧基丁酯和65重量份環(huán)己酮以外，和實(shí)施例11進(jìn)行相同的操作，制備用于形成著色層的組合物(B1-6)，并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3。
表3
權(quán)利要求
1.一種放射線敏感性組合物，其特征在于含有(A)著色劑、(B)堿溶性樹脂、(C)多官能性單體、(D)光聚合引發(fā)劑和(E)溶劑，(E)溶劑含有5～40重量％的雙丙甘醇二甲醚，其用于形成著色層。
2.如權(quán)利要求1所述的放射線敏感性組合物，其中，(E)溶劑含有10～60重量％的沸點(diǎn)小于150℃的溶劑。
3.如權(quán)利要求2所述的放射線敏感性組合物，其中，(E)溶劑還含有30～70重量％的沸點(diǎn)在150℃或以上、小于180℃的溶劑(其中，不包括雙丙甘醇二甲醚)。
4.濾色器的形成方法，其特征在于至少包括下述(1)～(4)的工序(1)在襯底上形成權(quán)利要求1～3任何一項(xiàng)所述的放射線敏感性組合物涂膜的工序；(2)將上述涂膜的至少一部分曝光的工序；(3)使曝光后的涂膜顯影的工序；(4)熱處理顯影后的涂膜的工序。
5.如權(quán)利要求4所述的方法，其中，在工序(1)中，使用狹縫噴嘴在襯底上涂布放射線敏感性組合物。
6.一種濾色器，其特征在于具有由權(quán)利要求1～3任何一項(xiàng)所述的放射線敏感性組合物形成的著色層。
7.一種彩色液晶顯示面板，其特征在于具有權(quán)利要求6所述的濾色器。
全文摘要
一種放射線敏感性組合物，其含有著色劑、堿溶性樹脂、多官能性單體、光聚合引發(fā)劑和溶劑，該溶劑含有5～40重量％的雙丙甘醇二甲醚，且其用于形成著色層。該組合物在狹縫噴嘴部分產(chǎn)生的干燥物的溶劑再溶解性高，并且不產(chǎn)生暴沸孔。
文檔編號(hào)G02B5/20GK1881081SQ20061010603
公開日2006年12月20日 申請(qǐng)日期2006年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月16日
發(fā)明者服部達(dá)哉, 河本達(dá)慶, 荒井雅史, 小林和博 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社