專利名稱：涂布設(shè)備及其防止接頭未拔取的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種涂布設(shè)備中用來防止接頭未拔取的裝置。
背景技術(shù)：
圖l表示在現(xiàn)有黃光工藝中，對晶片涂布光刻膠的設(shè)備?，F(xiàn)有涂布設(shè)備
100包括儲液瓶10、中繼室20、泵30、回吸閥(suckback valve)40與噴嘴50。 儲液瓶10中儲存光刻膠液，當(dāng)泵30運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，光刻膠液會從儲液瓶10依次 經(jīng)由中繼室20、泵30、回吸閥40而從噴嘴50噴出至晶片5上進(jìn)行涂布。
在儲液瓶10與中繼室20之間的管路70上設(shè)有氣泡傳感器60,當(dāng)儲液 瓶10中的光刻膠液用盡時(shí)，空氣會從管路70進(jìn)入中繼室20而在管路70上 產(chǎn)生氣泡，此時(shí)氣泡傳感器60感測到氣泡，會發(fā)出信號至機(jī)臺(未示出)， 在機(jī)臺中具有電路200，如第2圖所示，指示燈80連接至該電路200，氣泡 傳感器60的信號從結(jié)點(diǎn)90輸入，使指示燈80亮起，此時(shí)操作人員根據(jù)亮 起的指示燈80而得知儲液瓶10中的光刻膠液已經(jīng)用盡，因此需更換新的儲 液并瓦10。
在更換新的儲液瓶IO之后，需要用氮?dú)鈱σ浩?0中的光刻膠液加壓， 以便將儲液瓶10的光刻膠液中固有的微小氣泡排出，因此操作人員會將連 接至氮?dú)饧訅貉b置(未示出)的接頭15 (參照圖1 )連接至儲液瓶10進(jìn)行 加壓，等氣泡排除完成后，操作人員會將接頭15拔除，并操作機(jī)臺使指示 燈80熄滅，然后繼續(xù)進(jìn)行噴涂作業(yè)。
在此工藝中，若作業(yè)人員忘記將接頭15從儲液瓶10移除，則仍然可以 操作機(jī)臺使指示燈80熄滅，然后繼續(xù)進(jìn)行噴涂作業(yè)，但是由于氮?dú)饧訅貉b 置仍然連接到儲液瓶10并持續(xù)加壓，光刻膠液涂布至晶片5上的厚度會產(chǎn) 生異常，同時(shí)過大的壓力會損壞泵30以及回吸閥40。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種防止接頭未拔取的裝置，藉此若接頭未從儲
液瓶拔除，則無法操作機(jī)臺使指示燈熄滅，如此使操作人員可以檢查接頭拔 除與否，而避免產(chǎn)生接頭未拔除的狀況。
本發(fā)明的防止接頭未拔取的裝置的優(yōu)選實(shí)施例包括鑰匙、基座以及指示 裝置。鑰匙設(shè)于接頭上，基座被設(shè)置成與儲液瓶保持適當(dāng)距離，指示裝置具 有一電路，鑰匙與基座分別連接到該電路。當(dāng)鑰匙與連接到基座時(shí)，使該電 路形成閉路，當(dāng)鑰匙脫離基座時(shí)，使該電路形成開路，且通過該適當(dāng)距離， 接頭脫離工作裝置后鑰匙才能連接到基座。指示裝置還包括指示燈，連接到 該電路，當(dāng)指示燈亮起時(shí)，通過鑰匙與連接到基座使該電路成為閉路，而使 指示燈熄滅。
在上述優(yōu)選實(shí)施例中，該鑰匙可為插接件，通過插入基座而連接。 在另一優(yōu)選實(shí)施例中，鑰匙為無線電發(fā)射器，基座設(shè)有接收器，當(dāng)鑰匙 與基座接近至感應(yīng)距離時(shí)，鑰匙以無線電波與基座連接，感應(yīng)距離需小于適
當(dāng)距離。
為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特
舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖示，作詳細(xì)說明如下


圖1為現(xiàn)有的涂布設(shè)備的示意圖。
圖2為現(xiàn)有的連接到圖1的涂布設(shè)備的機(jī)臺中的電路。
圖3a、 3b為本發(fā)明的涂布設(shè)備的示意圖。
圖4為本發(fā)明的連接到圖3a、 3b涂布設(shè)備的機(jī)臺中的電路。
附圖標(biāo)記說明
5: 晶片10儲液瓶;
20:中繼室30泵
40:回p及閥50噴嘴
60:氣泡傳感器70管路
80:指示燈90結(jié)點(diǎn)
100:涂布設(shè)備152:鑰匙
154:基座200:電路
400:電路470: 5負(fù)載480指示燈490結(jié)點(diǎn)
500涂布設(shè)備510儲液瓶(工作裝置)
520中繼室530泵
540回吸閥550噴嘴
560氣泡傳感器570管路
具體實(shí)施例方式
圖3a、 3b表示本發(fā)明的涂布設(shè)備的示意圖。本發(fā)明的涂布設(shè)備500包 括儲液瓶(工作裝置)510、中繼室520、泵530、回吸閥(suckbackvalve) 540以及噴嘴550。儲液瓶510中儲存光刻膠液，當(dāng)泵530運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，光刻膠 液會從儲液瓶510依次經(jīng)由中繼室520、泵530、回吸閥540而從噴嘴550 噴出至晶片5上進(jìn)行涂布。
在儲液瓶510與中繼室520之間的管路570上設(shè)有氣泡傳感器560,當(dāng) 儲液瓶510中的光刻膠液用盡時(shí)，空氣會從管路570進(jìn)入中繼室520而在管 路570上產(chǎn)生氣泡，此時(shí)氣泡傳感器560感測到氣泡，會發(fā)出信號至機(jī)臺(未 示出)。
在機(jī)臺中具有電路400，如圖4所示，指示燈480被連接到電路400上， 氣泡傳感器560的信號從結(jié)點(diǎn)490輸入電路400，使指示燈480點(diǎn)亮。
回到圖3a，操作人員根據(jù)點(diǎn)亮的指示燈480得知儲液瓶510中的光刻膠 液已經(jīng)用盡，因此更換新的儲液瓶510，同時(shí)將連接至氮?dú)饧訅貉b置(未示 出)的接頭15連接至儲液瓶510,進(jìn)行排除光刻膠液中固有微小氣泡的作業(yè)， 在接頭15上設(shè)有鑰匙152，在與儲液瓶510具有適當(dāng)距離d處設(shè)有基座154， 鑰匙152與基座154分別連接到電路400中結(jié)點(diǎn)490與負(fù)栽470之間。當(dāng)鑰 匙152與基座154分離時(shí)，即接頭15仍連接到儲液瓶510時(shí)，結(jié)點(diǎn)490與 負(fù)載470之間呈開路的狀態(tài)，當(dāng)指示燈480亮起時(shí)，即使操作機(jī)臺也無法使 指示燈480熄滅。
圖3b表示接頭15從儲液瓶510移除并將設(shè)置于接頭15的鑰匙152插 接在基座154上，由此圖4所示的電路400中，負(fù)載470與結(jié)點(diǎn)490之間的 回路由于鑰匙152連接到基座154而形成閉路，這樣才可操作機(jī)臺使指示燈 480熄滅，而繼續(xù)進(jìn)行后續(xù)的噴涂作業(yè)。
在本實(shí)施例中鑰匙152為插接件，通過插接于基座154而使負(fù)載470與
結(jié)點(diǎn)490之間的回路形成閉路。但是鑰匙152也可使用無線的方式與基座154 產(chǎn)生連接，例如鑰匙152為無線電發(fā)射器，基座154設(shè)有接收器，當(dāng)鑰匙152 與基座154接近至感應(yīng)距離時(shí)，產(chǎn)生電性連接而使負(fù)載470與結(jié)點(diǎn)490之間 的回路形成閉路。
通過本發(fā)明的鑰匙152與基座154,使得在未拔除接頭15的情況下，負(fù) 載470與結(jié)點(diǎn)490之間的回路形成開路，無法通過操作機(jī)臺使指示燈480熄 滅，可以藉此提醒作業(yè)人員接頭15尚未拔除，避免人為的疏失而影響產(chǎn)品 的良品率或造成設(shè)備的損壞。
本發(fā)明的防止接頭未拔取的裝置可以應(yīng)用于半導(dǎo)體黃光工藝、旋轉(zhuǎn)涂布 工藝以及其他需要防止接頭未拔除的工藝中。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許改動與潤飾，因此 本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種防止接頭未拔取裝置，用于接頭，該接頭可拆卸地連接到工作裝置，該防止接頭未拔取裝置包括鑰匙，設(shè)于該接頭上；基座，設(shè)置成與該工作裝置保持適當(dāng)距離；指示裝置，具有電路，該鑰匙與該基座分別連接到該電路，其中當(dāng)該鑰匙與連接到該基座時(shí)，該電路形成閉路，當(dāng)該鑰匙脫離該基座時(shí)，該電路形成開路，且通過該適當(dāng)距離，該接頭脫離該工作裝置后該鑰匙才能連接到該基座。
2. 如權(quán)利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該鑰匙為插接件， 通過插入該基座而連接。
3. 如權(quán)利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該鑰匙為無線電發(fā) 射器，該基座設(shè)有接收器，當(dāng)該鑰匙與該基座接近至感應(yīng)距離時(shí)，該鑰匙以 無線電波與該基座連接。
4. 如權(quán)利要求3所述的防止接頭未拔取裝置，其中該感應(yīng)距離小于該 適當(dāng)距離。
5. 如權(quán)利要求1所述的防止接頭未拔取裝置，其中該指示裝置還包括 指示燈，連接到該電路，當(dāng)該指示燈亮起時(shí)，通過該鑰匙與連接到該基座使 該電路成為閉路，而使該指示燈熄滅。
6. —種涂布設(shè)備，包括 儲液瓶，儲存涂布液體； 噴嘴；泵，連接該儲液瓶與該噴嘴；中繼室，連接該泵與該儲液瓶；氣泡感應(yīng)器，設(shè)于該儲液瓶與該中繼室的管路上；接頭，可拆卸地連接到該儲液瓶；鑰匙，設(shè)于該接頭上；基座，設(shè)置成與該儲液瓶保持適當(dāng)距離；指示裝置，具有電路以及指示燈，該指示燈以及該氣泡感應(yīng)器連接到該 電路，其中該涂布液體通過該泵的運(yùn)轉(zhuǎn)，從該儲液瓶經(jīng)由該中繼室、該泵而 從該噴嘴噴出，當(dāng)該儲液瓶中的該涂布液體用盡時(shí)，該氣泡感應(yīng)器感應(yīng)到氣 泡而輸出信號至該電路使該指示燈亮起，該鑰匙與該基座分別連接到該電 路，當(dāng)該鑰匙與連接到該基座時(shí)，該電路形成閉路，而使該指示燈熄滅，且 通過該適當(dāng)距離，該接頭脫離該儲液瓶后該鑰匙才能連接到該基座。
7. 如權(quán)利要求6所述的涂布設(shè)備，其中該鑰匙為插接件，通過插入該 基座而連接。
8. 如權(quán)利要求6所述的涂布設(shè)備，其中該鑰匙為無線電發(fā)射器，該基 座設(shè)有接收器，當(dāng)該鑰匙與該基座接近至感應(yīng)距離時(shí)，該鑰匙以無線電波與 該基座連才妾。
9. 如權(quán)利要求8所述的涂布設(shè)備，其中該感應(yīng)距離小于該適當(dāng)距離。
10. 如權(quán)利要求6所述的涂布設(shè)備，其中該涂布設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體的黃 光工藝。
11. 如權(quán)利要求6所述的涂布設(shè)備，其中該涂布設(shè)備應(yīng)用于旋轉(zhuǎn)涂布玻 璃的工藝。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種防止接頭未拔取裝置，用于接頭，該接頭可拆卸地連接到工作裝置，該防止接頭未拔取裝置包括鑰匙、基座以及指示裝置。鑰匙被設(shè)在接頭上，基座設(shè)置成與工作裝置保持適當(dāng)距離，指示裝置具有電路，鑰匙與基座分別連接到該電路。當(dāng)鑰匙連接到基座時(shí)，該電路形成閉路，當(dāng)鑰匙脫離基座時(shí)，該電路形成開路，且通過該適當(dāng)距離，接頭脫離工作裝置后鑰匙才能連接到基座。
文檔編號G03F7/16GK101174091SQ200610143310
公開日2008年5月7日 申請日期2006年11月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月3日
發(fā)明者楊盛華, 梁景泯 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司