專利名稱：圖像處理裝置、圖像描繪裝置及系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及圖像處理裝置、圖像描繪裝置及系統(tǒng)，特別涉及與直接在
基板上描繪以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示(raster data)的布線圖案的描繪裝置連 io接、進行將表示輸入的布線圖案的向量形式的圖像數(shù)據(jù)向描繪用柵格數(shù)據(jù) 展開的RIP處理的圖像處理裝置、具備該圖像處理裝置的圖像描繪裝置及 圖像描繪系統(tǒng)。
背景技術：
15
作為制造印刷布線基板(PWB: Print Wired Board)及平板顯示器(FPD) 的基板等之際的描繪方式，在現(xiàn)有技術中通常采用先將應該在基板上形成 的布線圖案曝光到膠片上，從而制成掩模后，再使用該掩模，通過面曝光， 在基板上描繪所述布線圖案的方式(稱作"模擬描繪方式")。但是近幾年 20來，開始使用不制造掩模，根據(jù)表示布線圖案的數(shù)字數(shù)據(jù)(描繪用柵格數(shù) 據(jù))，直接在基板上描繪布線圖案的數(shù)字描繪方式(例如參照JP特開2004 _ 18492 l號公報)。
在采用數(shù)字描繪方式進行描繪的描繪系統(tǒng)中，設置在基板上進行描繪
25的描繪裝置和與該描繪裝置連接的圖像處理裝置，圖像處理裝置具有輸入
禾U用CAD (Computer Aided Design) /CAM (Computer Aided Manufacturing)
編制的圖像數(shù)據(jù)(表示應該在基板上形成的布線圖案的向量形式，而且是 一定格式的數(shù)據(jù))，對輸入的圖像數(shù)據(jù)進行向描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的RIP (Raster Image Processor)處理，向描繪裝置供給RIP處理后獲得的描繪用柵 30 格數(shù)據(jù)的功能。
可是，因為描繪用柵格數(shù)據(jù)是用和應該由描繪裝置在基板上形成的布 線圖案相同的高分辨率表示的數(shù)據(jù)，所以數(shù)據(jù)量龐大，RIP處理需要花費較 長的時間。因此，使用RIP處理后獲得的描繪用柵格數(shù)據(jù)實際在基板上描 5繪布線圖案制造基板時，例如發(fā)生相鄰的圖案的間隙不足等布線圖案的不 良產(chǎn)生時，需要在修正圖像數(shù)據(jù)以便消除這些不良后，再度進行花費時間 的RIP處理及在基板上進行描繪等后工序，因此存在著嚴重影響基板制造 等作業(yè)的進度，同時還使基板被浪費的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是考慮到上述事實后形成的，其目的在于獲得能夠防止經(jīng)過 利用描繪裝置進行描繪工序后制造的基板由于圖像數(shù)據(jù)而產(chǎn)生不良的現(xiàn)象 的圖像處理裝置、圖像描繪裝置及圖像描繪系統(tǒng)。
為了達到上述目的，第1樣態(tài)所述的發(fā)明涉及的圖像處理裝置，其特
征在于是與直接在基板上描繪以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案的描繪 裝置連接、進行將表示輸入的所述布線圖案的向量形式的圖像數(shù)據(jù)向所述 描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的MP處理的圖像處理裝置，具備檢查單元，該檢查 20 單元在對輸入的所述圖像數(shù)據(jù)進行所述RIP處理之前，檢查經(jīng)過利用所述 描繪裝置進行的描繪工序后制造的基板是否由于所述圖像數(shù)據(jù)而產(chǎn)生不良 的缺陷。
這樣，即使輸入的圖像數(shù)據(jù)，經(jīng)過利用描繪裝置進行的描繪工序后制
造的基板產(chǎn)生不良的缺陷，該缺陷也可以在對圖像數(shù)據(jù)進行RIP處理之前， 利用檢查單元檢知，從而可以根據(jù)檢知的缺陷，在修正圖像數(shù)據(jù)后，進行
RIP處理，能夠防止基板由于圖像數(shù)據(jù)而產(chǎn)生不良的現(xiàn)象。
而且，能夠在進行RIP處理之前，檢知成為上述不良的原因的圖像數(shù)據(jù)的缺陷，不需要徒勞地反復進行RIP處理及利用描繪裝置進行的描繪等
工序，能夠防止輸入的圖像數(shù)據(jù)的缺陷嚴重影響基板制造等作業(yè)的進度， 基板由于上述缺陷而被浪費的問題。
此外，經(jīng)過利用描繪裝置進行的描繪工序后制造的基板是否產(chǎn)生以圖
5像數(shù)據(jù)為原因的不良，還與描繪裝置在基板上描繪布線圖案之際采用的描 繪條件有關?？紤]到這一點，例如在第1樣態(tài)所述的發(fā)明中，檢査單元例
如第2樣態(tài)所述的那樣，在檢查圖像數(shù)據(jù)是否存在缺陷之際，最好取得描 繪裝置在基板上描繪布線圖案之際采用的描繪條件，按照取得的描繪條件， 設定用于判定所述檢查中的缺陷的的閾值，使用設定的閾值進行檢查。
在用CAD/CAM系統(tǒng)編制 生成圖像數(shù)據(jù)的時刻，因為描繪裝置在基 板上描繪布線圖案之際采用的描繪條件不確定，所以即使在該工序中檢査 了有無圖像數(shù)據(jù)的缺陷，也難以有效的減少上述不良。與此不同，RIP處理 因為是將圖像數(shù)據(jù)向與描繪裝置在基板上描繪布線圖案之際采用的描繪條
15 件(例如分辨率等)對應的描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的處理，所以在進行RIP 處理的時刻，能夠確定上述的描繪條件。在第2樣態(tài)所述的發(fā)明中，利用 它，取得上述的描繪條件，按照取得的描繪條件，設定用于判定檢查中的 缺陷的閾值，使用設定的閾值進行檢查，所以能夠高精度地判斷經(jīng)過利用 描繪裝置進行的描繪工序后制造的基板產(chǎn)生的以圖像數(shù)據(jù)為原因的不良的
20缺陷，能夠提高檢査單元檢查的精度。
此外，作為第2樣態(tài)所述的發(fā)明中的描繪條件，例如第3樣態(tài)所述的 那樣，能夠使用描繪布線圖案之際采用的分辨率或基板設定的感光材料的 種類。
另外，在第2樣態(tài)或第3樣態(tài)所述的發(fā)明中，檢查單元作為檢查制造 的基板是否有產(chǎn)生不良的缺陷的處理，例如第4樣態(tài)所述的那樣，能夠構
成至少檢查下述項目中的一個的處理在圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是
否包含圓周長小于第1閾值的圓弧部？在布線圖案中，是否包含始點位置
30 的半徑和終點位置的半徑之差為第2閾值以上的圓弧部？在布線圖案中，
是否包含半徑是第3閾值以上的圓弧部？布線圖案是否存在于到原點的距 離為第4閾值以上的坐標？在圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否存在面積 小于第5閾值的針孔區(qū)域？布線圖案中是否存在與鄰接的圖案互相重疊的 區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖案？布線圖案中是否存在與互相鄰接的圖案 5的間隙小于第7閾值的圖案？
另外，在第1樣態(tài) 第4樣態(tài)任一項所述的發(fā)明中，所述檢查單元， 作為檢查所述制造的基板是否有產(chǎn)生不良的缺陷的處理，例如可以象第4
樣態(tài)所述的那樣，進行至少檢査下述項目中的一個的處理布線圖案中是
否包含使用圓以外的孔眼(aperture)形狀的線？布線圖案中是否包含構成 始點位置和終點位置相同的封閉曲線而且在從始點位置到終點位置的途中 與本線交叉的自我交叉線？
另外，在第1樣態(tài)所述的發(fā)明中，檢查單元，例如最好象第6樣態(tài)所 15述的那樣，還檢查所述圖像數(shù)據(jù)是否有因為所述RIP處理而發(fā)生出錯的缺 陷。這樣，還能夠防止出現(xiàn)將圖像數(shù)據(jù)作為原因，由于RIP處理而發(fā)生出 錯使RIP處理停止，修正圖像數(shù)據(jù)后必須再度進行RIP處理的現(xiàn)象。此外， 作為檢查圖像數(shù)據(jù)是否有因為RIP處理而發(fā)生出錯的缺陷的處理，具體地 說，例如最好象第7樣態(tài)所述的那樣，還可以列舉至少進行檢査下述項目 20中的一個的處理RIP處理可能處理的文字種類以外的文字是否被圖像數(shù) 據(jù)包含？布線圖案的頂點的數(shù)是否是第8閾值以上？構成圖像數(shù)據(jù)的層數(shù) 是否是第9閾值以上？
另外，在第l樣態(tài)所述的發(fā)明中，例如最好象第8樣態(tài)所述的那樣，
25還具備數(shù)據(jù)生成單元，該數(shù)據(jù)生成單元在檢查單元判斷圖像數(shù)據(jù)有缺陷時， 取得判斷有缺陷的部位的所述布線圖案上的坐標，根據(jù)取得的坐標，在可 能與圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案重疊顯示的狀態(tài)下，在所述布線圖案上的所 述部位，生成明示規(guī)定的標記的缺陷部位明示數(shù)據(jù)。這樣，根據(jù)檢査單元
判斷在圖像數(shù)據(jù)中有缺陷的情況，使信息處理裝置(例如實現(xiàn)CAM系統(tǒng)的 30信息處理裝置)的顯示單元顯示所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案之際，利用 數(shù)據(jù)生成單元生成的缺陷部位明示數(shù)據(jù)，從而能夠很容易地在顯示的布線 圖案中判斷為有缺陷的部位明示(重疊顯示)規(guī)定的標記，能夠很容易地 特定布線圖案中相當于缺陷的部分后進行修正的作業(yè)。
5 另外，在第1樣態(tài) 第8樣態(tài)任一項所述的發(fā)明中，例如最好象第9
樣態(tài)所述的那樣，還具備運算單元，該運算單元取得描繪裝置在基板上 描繪布線圖案之際應用的描繪條件，根據(jù)取得的描繪條件和圖像數(shù)據(jù)，運 算描繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描繪所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案描繪時 的在基板上的布線圖案的描繪范圍；位置關系顯示控制單元，該位置關系 10顯示控制單元根據(jù)運算單元運算的描繪范圍，使顯示單元顯示描繪裝置在 現(xiàn)在的描繪條件下描繪圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案描繪時的基板和在基板上 的布線圖案的描繪范圍的位置關系。
在描繪裝置在基板上描繪布線圖案之際的描繪條件中，包含規(guī)定在基
15板上的布線圖案的描繪范圍的信息，該信息的內(nèi)容不適當時，在描繪裝置 對布線圖案的描繪中，有可能性使描繪范圍超出基板，從而產(chǎn)生基板被白
白浪費等不良現(xiàn)象。與此不同，在第9樣態(tài)所述的發(fā)明中，由于根據(jù)描繪 條件和圖像數(shù)據(jù)，運算基板上的布線圖案的描繪范圍，使顯示單元顯示基 板和基板上的布線圖案的描繪范圍的位置關系，所以能夠在描繪裝置在基
20板上實際描繪布線圖案之前，檢查描繪條件中規(guī)定在基板上的布線圖案的 描繪范圍的信息的內(nèi)容是否適當，能夠避免發(fā)生基板被白白浪費等不良現(xiàn) 象。
另外，在第1樣態(tài) 第9樣態(tài)任一項所述的發(fā)明中，例如最好象第10
25樣態(tài)所述的那樣，還具備低分辨率圖像顯示控制單元，該低分辨率圖像 顯示控制單元根據(jù)圖像數(shù)據(jù)，生成用低分辨率表示布線圖案的低分辨率布 線圖案圖像，使顯示單元顯示生成的低分辨率布線圖案圖像；展開單元，
該展開單元當通過指定單元在由低分辨率圖像顯示控制單元而在顯示單元 顯示的低分辨率布線圖案圖像上指定放大顯示對象區(qū)域時，將圖像數(shù)據(jù)中
30相當于放大顯示對象區(qū)域的數(shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開，從而生成用高
分辨率表示放大顯示對象區(qū)域內(nèi)的布線圖案的高分辨率布線圖案圖像；高 分辨率圖像顯示控制單元，該高分辨率圖像顯示控制單元使顯示單元顯示 展開單元生成的高分辨率布線圖案圖像。
,9]
為了避免描繪裝置在基板上描繪的布線圖案有某種不良而使基板被白 白浪費的情況，最好在描繪裝置在基板上描繪布線圖案之前，通過目視事 先檢查描繪什么樣的布線圖案。在現(xiàn)有技術的模擬描繪方式中，使用將膠 片上的布線圖案曝光后制造的掩模，進行通過上述目視的檢查。而在數(shù)字 描繪方式中，因為不制作掩模，所以上述檢查成為使顯示單元顯示描繪用
柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案后進行目視檢查。可是，與顯示單元相比，描繪 用柵格數(shù)據(jù)的分辨率極其高，顯示單元一次可能顯示的布線圖案，周限于 描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案中的極少的一部分。因此，在數(shù)字描繪方 式中的布線圖案的目視檢查，需要一邊適當?shù)貪L動描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的 布線圖案中被顯示單元顯示的部分， 一邊反復進行目視檢查，存在著操作
麻煩，而且還難以掌握顯示單元現(xiàn)在顯示的部分是描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的 布線圖案整體中的哪一部分。另外，通過目視檢查，檢知到布線圖案有不 良時，需要在修正圖像數(shù)據(jù)后，再度進行花費時間的RIP處理，所以嚴重 影響基板制作等的作業(yè)的進度。
與此不同，在第IO樣態(tài)所述的發(fā)明中，因為在生成用低分辨率表示布
線圖案的低分辨率布線圖案圖像后使顯示單元顯示的同時，還通過指定單 元，在顯示單元顯示的低分辨率布線圖案圖像上指定放大顯示對象區(qū)域后， 將圖像數(shù)據(jù)中相當于放大顯示對象區(qū)域的數(shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開， 從而能夠生成用高分辨率表示放大顯示對象區(qū)域內(nèi)的布線圖案的高分辨率
布線圖案圖像后使顯示單元顯示，所以通過指定單元，在低分辨率布線圖 案圖像上指定放大顯示對象區(qū)域后，能夠對圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中的 所需的部分進行目視檢查，在使操作簡單的同時，還能夠很容易地掌握作 為高分辨率布線圖案圖像顯示的部分的布線圖案整體上的位置。另外，因 為將圖像數(shù)據(jù)中相當于指定的放大顯示對象區(qū)域的數(shù)據(jù)向高分辨率柵格數(shù)
據(jù)(高分辨率布線圖案圖像)展開后使顯示單元顯示，所以不必在顯示高分辨率布線圖案圖像之前進行RIP處理。另外，通過目視檢査，檢知到布 線圖案有不良的情況時，也不必多次進行花費時間的RIP處理，能夠避免 影響基板制作等的作業(yè)的進度。
另外，在第IO樣態(tài)所述的發(fā)明中，描繪裝置在基板上描繪的布線圖案，
配置多個片后構成，這些片則由多個相當于單一的電路圖案的相同的單位 布線圖案排列而成時，例如最好象第11樣態(tài)所述的那樣，采用下述結構 低分辨率圖像顯示控制單元，作為低分辨率布線圖案圖像，生成用低分辨 率表示布線圖案整體的圖像后顯示；展開單元，在表示布線圖案整體的低
分辨率布線圖案圖像上，作為放大顯示對象區(qū)域，指定特定的片時，只將 圖像數(shù)據(jù)中相當于特定的片內(nèi)的單一的特定單位布線圖案的數(shù)據(jù)向高分辨 率柵格數(shù)據(jù)展開，作為特定片的高分辨率布線圖案圖像，在只對特定單位 布線圖案顯示布線圖案的同時，還對其它的單位布線圖案，生成只顯示表 示外緣的框線的圖像。
利用描繪裝置在基板上描繪的布線圖案(布線圖案整體)，是相當于配 置多個片的布線圖案(該片由多個相當于單一的電路圖案的相同的單位布 線圖案排列而成)時，目視檢查通常只對布線圖案整體內(nèi)的各單位布線圖 案中的一個進行。根據(jù)這一點，在第ll樣態(tài)所述的發(fā)明中，因為在將多個
相同的單位布線圖案排列而成的特定的片，作為放大顯示對象區(qū)域指定時， 生成特定片的高分辨率布線圖案圖像(該高分辨率布線圖案圖像只顯示特 定的單位布線圖案，對于其它的單位布線圖案，則只顯示表示外緣的框線)， 所以能夠在短時間內(nèi)生成 顯示被作為放大顯示對象區(qū)域指定的特定片的 高分辨率布線圖案圖像。
另外，在第IO樣態(tài)所述的發(fā)明中，例如最好象第12樣態(tài)所述的那樣， 還具備距離運算 顯示單元，該距離運算 顯示單元通過指定單元在由高 分辨率圖像顯示控制單元而在顯示單元顯示的高分辨率布線圖案圖像上指 定距離測定對象的2點時，運算指定的2點間的距離后，使顯示單元顯示。
在數(shù)字描繪方式中，因為用某個分辨率在基板上描繪描繪用柵格數(shù)據(jù) 表示的布線圖案，所以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案及在基板上實際描 繪的布線圖案中的各部的位置，受到圓整誤差的影響，對于圖像數(shù)據(jù)表示 的布線圖案而言，將描繪時的分辨率中相鄰的像素的距離作為最大地變動。 5因此，最好檢查布線圖案中是否存在面積小于第5閾值的針孔區(qū)域？布線 圖案中是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖
案？布線圖案中是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于第7閾值的圖案？
等等，在展開圖像數(shù)據(jù)后獲得的高分辨率柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案上進行 最終性的檢查。
在第12樣態(tài)所述的發(fā)明中，因為在高分辨率布線圖案圖像上指定距離 測定對象的2點時，計算指定的2點間的距離后，使顯示單元顯示，所以 能夠在根據(jù)高分辨率布線圖案圖像對布線圖案進行的目視檢查中，能夠正 確而且容易地最終性地檢查有無面積小于第5閾值的針孔區(qū)域？有無與鄰 15接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖案？有無與互相鄰接的 圖案的間隙小于第7閾值的圖案？等等，能夠實現(xiàn)目視檢查的省力化。
第13樣態(tài)所述的發(fā)明涉及的圖像描繪裝置，其特征在于具備第l樣
態(tài) 第12樣態(tài)任一項所述的圖像處理裝置，根據(jù)該圖像處理裝置獲得的所
20述描繪用柵格數(shù)據(jù)，向描繪面上進行描繪。所以和第1樣態(tài)所述的發(fā)明同 樣，能夠防止將圖像數(shù)據(jù)作為原因，經(jīng)過利用曝光裝置進行的描繪工序后 制造的印刷布線基板產(chǎn)生不良的情況。
第14樣態(tài)所述的發(fā)明涉及的圖像描繪系統(tǒng)，其特征在于，包含CAD 25 (Computer Aided Design)系統(tǒng)及CAM (Computer Aided Manufacturing)
系統(tǒng)中的至少一個，這些系統(tǒng)生成所述向量形式的圖像數(shù)據(jù)；第1樣態(tài) 第12樣態(tài)任一項所述的圖像處理裝置；描繪裝置，該描繪裝置根據(jù)該圖像 處理裝置獲得的所述描繪用柵格數(shù)據(jù)，向描繪面上進行描繪。所以能夠防 止將圖像數(shù)據(jù)作為原因，經(jīng)過利用曝光裝置進行的描繪工序后制造的印刷 30 布線基板產(chǎn)生不良的情況。
以上講述的本發(fā)明，在對表示布線圖案的向量形式的圖像數(shù)據(jù)進行RIP 處理之前，檢査圖像數(shù)據(jù)中是否有經(jīng)過利用曝光裝置進行的描繪工序后制
造的印刷布線基板產(chǎn)生不良的缺陷，所以具有優(yōu)異的效果能夠防止將圖 5像數(shù)據(jù)作為原因，經(jīng)過利用曝光裝置進行的描繪工序后制造的印刷布線基 板產(chǎn)生不良的情況。


io 圖1是本實施方式涉及的基板描繪系統(tǒng)的簡要結構圖。
圖2是一并表示圖像處理裝置中的數(shù)據(jù)的流動的功能方框圖。
圖3是表示數(shù)據(jù)檢査處理的內(nèi)容的流程圖。
圖4A是為了講述圓弧部圓弧部的始終點、中心點的偏移檢查而繪制的 形象圖。
15 圖4B是為了講述孔眼形狀的檢査而繪制的形象圖。
圖4C是為了講述自我交叉線的檢査而繪制的形象圖。 圖4D是為了講述格伯數(shù)據(jù)的結構(層)而繪制的形象圖。 圖5A是為了講述數(shù)據(jù)檢査處理中的重疊不足圖案的檢查而繪制的形 象圖。
20 圖5B是為了講述數(shù)據(jù)檢查處理中的重疊不足圖案的檢查而繪制的形象圖。
圖6是表示格伯出錯文件的一個例子的形象圖。
圖7是表示出錯部位顯示的一個例子的形象圖。
圖8是表示布局確認處理的內(nèi)容的流程圖。
25 圖9是表示布局顯示畫面的一個例子的形象圖。
圖10A是表示布局顯示畫面中布線圖案旋轉90。的形象圖。 圖IOB是表示布局顯示畫面中布線圖案旋轉180°的形象圖。 圖IIA是表示布局顯示畫面中布線圖案X方向反轉顯示的形象圖。 圖IIB是表示布局顯示畫面中布線圖案Y方向反轉顯示的形象圖。
30 圖12是表示柵格顯示處理的內(nèi)容的流程圖。
圖13是表示描繪單位(布線圖案整體)內(nèi)塊的配置的一個例子的形象圖。
圖M是表示柵格顯示畫面的一個例子的形象圖。 圖15是表示用柵格顯示畫面顯示塊的狀態(tài)的形象圖。 5 圖16是表示用柵格顯示畫面顯示片的狀態(tài)的形象圖。
圖17是表示在布線圖案的柵格顯示中顯示表示指定的2點間的距離的 狀態(tài)的形象圖。
圖中IO—基板描繪系統(tǒng)；12—曝光裝置；14一圖像處理裝置；18— 計算機；24—作業(yè)注冊GUI; 28—數(shù)據(jù)檢查處理部；30—布局確認GUI;
io32—布局顯示處理部；34—柵格顯示GUI; 36—RIP處理部。
具體實施例方式
下面，參照附圖，詳細講述本發(fā)明的實施方式的一個例子。圖1表示 15出本實施方式涉及的基板描繪系統(tǒng)10。基板描繪系統(tǒng)10，與第14樣態(tài)的 圖像描繪系統(tǒng)對應，具備作為將表示輸入的描繪用柵格數(shù)據(jù)(Raster data) 的布線圖案直接描繪到表面涂敷了感光材料的基板上的描繪裝置的曝光裝 置12。作為曝光裝置12，例如可以采用使用數(shù)字微型鏡像器件(DMD)等 空間光調(diào)制元件，將按照描繪用柵格數(shù)據(jù)調(diào)制的光束照射到基板上，從而 20在基板上描繪布線圖案的結構。被曝光裝置12描繪了布線圖案的基板，經(jīng) 過顯影、蝕刻、洗滌、剪切、穿孔等眾所周知的工序后，作為可以安裝形 成了布線圖案的電路元件的印刷布線基板(PWB)整形。
曝光裝置12，與向曝光裝置12供給描繪用柵格數(shù)據(jù)的圖像處理裝置 25 14連接，該圖像處理裝置14，通過LAN等網(wǎng)絡16作媒介，分別與作為 CAD/CAM系統(tǒng)發(fā)揮作用的多臺計算機18連接。此外，在圖1中，作為一 個例子，表示出3臺計算機18，但該計算機18的臺數(shù)并不局限于上述情況。 用CAD系統(tǒng)(作為CAD系統(tǒng)發(fā)揮作用的計算機18)進行設計被印刷布線 基板安裝的電子電路，或者設計相當于印刷布線基板應該形成的布線圖案 30 (后文講述的塊(單位布線圖案))等工序，通過網(wǎng)絡16作媒介，將記述
了布線圖案的規(guī)定的格式的數(shù)據(jù)，向作為CAM系統(tǒng)發(fā)揮作用的別的計算機 18 (也可以是同一個計算機)輸出。
在CAM系統(tǒng)(作為CAM系統(tǒng)發(fā)揮作用的計算機18)中，輸入記述了 5布線圖案的數(shù)據(jù)后，就進行編輯工序，例如決定在向基板上描繪輸入的數(shù) 據(jù)所表示的布線圖案時如何配置(布局)？或者決定在穿孔工序中應該在 基板的哪個位置穿孔？或者和布線圖案一起附加應該描繪的注釋等。然后， 生成用向量形式(作為始點及終點等的點的坐標和連接它的線及面的方程 式等的參數(shù)、涂黑及特殊效果等的描繪信息的集合表現(xiàn)圖像的數(shù)據(jù)形式) io記述在一次描繪中應該在基板上描繪的所有的布線圖案的圖像數(shù)據(jù)(以下 稱作"格伯數(shù)據(jù)(Gerberdata)")，該格伯數(shù)據(jù)通過網(wǎng)絡16作媒介，向圖像 處理裝置14傳輸。此外，用上述編輯工序決定的基板上的穿孔位置，被作 為鉆孔數(shù)據(jù)，向給基板穿孔的鉆孔機(未圖示)輸出。
另一方面，圖像處理裝置14與本發(fā)明涉及的圖像處理裝置對應，由個
人用計算機(PC)等構成，包含CPU、存儲器、HDD22 (參照圖2)、作為 顯示單元的顯示器、鍵盤、鼠標等。給圖像處理裝置14的HDD22，分別 裝入作為圖2表示的作業(yè)注冊GUI (Graphical User Interface) 24、數(shù)據(jù)受 理處理部26、數(shù)據(jù)檢查處理部28、布局確認GUI30、布局顯示處理部32、
柵格顯示GUI34、 RIP處理部36、作業(yè)顯示GUI38及曝光裝置控制部40 發(fā)揮作用的各種應用程序。另外，在HDD22中，分別設置旨在存放CAM 系統(tǒng)取得的格伯數(shù)據(jù)的接收格伯數(shù)據(jù)文件夾44、旨在存放經(jīng)過了數(shù)據(jù)檢查 處理部28的數(shù)據(jù)檢查處理(詳細情況將在后文講述)的格伯數(shù)據(jù)的檢查過 的格伯數(shù)據(jù)文件夾46、旨在存放通過作業(yè)注冊GUI24作媒介輸入的作業(yè)條
件信息的作業(yè)條件信息文件夾48、旨在存放經(jīng)過了 RIP處理部36的RIP 處理后獲得的描繪用柵格數(shù)據(jù)的描繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50。此外，本實施 方式涉及的圖像處理裝置14，最多可以連接兩臺曝光裝置12。另外，曝光 裝置12和圖像處理裝置14，還與第13樣態(tài)的圖像描繪裝置對應。
接著，作為實施方式的作用，按照順序，講述為了根據(jù)格伯數(shù)據(jù)獲得
描繪用柵格數(shù)據(jù)而在圖像處理裝置14中進行的一系列的處理。
在本實施方式中，用CAM系統(tǒng)生成的格伯數(shù)據(jù)，圖像處理裝置14通 過網(wǎng)絡作媒介，被可存取的存儲介質54 (例如作為CAM系統(tǒng)發(fā)揮作用的 5 計算機18內(nèi)置的HDD設置的圖像處理裝置14可存取地設定的特定文件 夾)存儲 保管。作業(yè)注冊GUI24，在可以在圖像處理裝置14的顯示器上 顯示的畫面中，包含為了指令取得來自存儲介質54的格伯數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)取得 指令畫面，在顯示器上顯示該數(shù)據(jù)取得指令畫面的狀態(tài)下，用戶操作鍵盤 及鼠標等，指令取得來自存儲介質54的特定的格伯數(shù)據(jù)后，該指令通過作 io 業(yè)注冊GUI24作媒介，輸入數(shù)據(jù)受理處理部26，數(shù)據(jù)受理處理部26經(jīng)由 網(wǎng)絡16，從存儲介質54中讀出后取得指令的特定的格伯數(shù)據(jù)，將取得的格 伯數(shù)據(jù)存放到接收格伯數(shù)據(jù)文件夾44中。
此外，在可以通過計算機18實現(xiàn)的CAD/CAM系統(tǒng)中，有各種規(guī)格*功 15 能的系統(tǒng)，數(shù)據(jù)受理處理部26從存儲介質54中取得格伯數(shù)據(jù)后，檢查取 得的格伯數(shù)據(jù)的格式，按照需要，進行向一定的格式的格伯數(shù)據(jù)變換的處 理后，還進行存放到接收格伯數(shù)據(jù)文件夾44中的處理。
另外，作業(yè)注冊GUI24，在可以在圖像處理裝置14的顯示器上顯示的 20畫面中，包含為了指令檢查存放到接收格伯數(shù)據(jù)文件夾44中的格伯數(shù)據(jù)的 檢查指令畫面。雖然圖示中省略了，但是在該檢查指令畫面中設置著旨 在一覽顯示接收格伯數(shù)據(jù)文件夾44存放的格伯數(shù)據(jù)的文件名等的顯示欄； 對于從被該顯示欄一覽顯示的各格伯數(shù)據(jù)中，作為處理對象選擇的格伯數(shù) 據(jù)，旨在輸入描繪布線圖案時的描繪條件(例如分辨率、描繪布線圖案使 25用的曝光裝置12的機種、描繪模式、描繪布線圖案的基板的尺寸、格伯數(shù) 據(jù)表示的布線圖案的旋轉及反轉(鏡像)的有無及旋轉角度，的反轉(鏡 像)方向、涂敷在基板上的感光材料的種類等)以及描繪布線圖案的基板 的枚數(shù)等作業(yè)條件的輸入欄；旨在指令執(zhí)行從所述顯示欄一覽顯示的各格 伯數(shù)據(jù)中，作為處理對象選擇的格伯數(shù)據(jù)進行檢査處理的按鈕。 30
在上述檢查指令畫面被顯示器顯示的狀態(tài)下，用戶通過鍵盤及鼠標， 從檢查指令畫面內(nèi)的顯示欄一覽顯示的格伯數(shù)據(jù)中，選擇處理對象的格伯 數(shù)據(jù)，進行將處理對象的格伯數(shù)據(jù)的作業(yè)條件輸入檢查指令畫面的輸入欄 的操作后，表示輸入的作業(yè)條件的作業(yè)條件信息，就作為處理對象的格伯 5數(shù)據(jù)的作業(yè)條件，被作業(yè)條件信息文件夾48存放。然后，選擇檢查指令畫 面內(nèi)的按鈕，指令執(zhí)行對處理對象的格伯數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)檢查處理后，該指
令就通過作業(yè)注冊GUI24作媒介，被輸入數(shù)據(jù)檢查處理部28，由該數(shù)據(jù)檢 查處理部28進行圖3所示的數(shù)據(jù)檢查處理。此外，該數(shù)據(jù)檢查處理是相當 于本發(fā)明涉及的檢查單元的處理；執(zhí)行數(shù)據(jù)檢査處理的數(shù)據(jù)檢查處理部28， io 與本發(fā)明涉及的檢查單元對應。
該數(shù)據(jù)檢查處理，是對處理對象的格伯數(shù)據(jù)，檢查有沒有RIP處理部 36進行的RIP處理中發(fā)生出錯的缺陷及成為經(jīng)過曝光裝置12在基板上描 繪布線圖案后制造的印刷布線基板產(chǎn)生不良的原因的缺陷的處理，首先在 15步驟100中，在從檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46調(diào)出處理對象的格伯數(shù)據(jù)同 時，還從作業(yè)條件信息文件夾48調(diào)出與該格伯數(shù)據(jù)對應的作業(yè)條件信息。
在步驟102中，按照在步驟100中調(diào)出的作業(yè)條件信息包含的描繪時 的分辨率，設定在后文講述的處理中使用的閾值thl、 th2、 th6。此外，雖 20然詳情后述，但是閾值thl是檢查有無圓周長極其小(例如數(shù)ixm左右)的 微小圓弧部之際使用的圓周長的閾值，閾值th2是檢查有無始終點的半徑存 在差異的圓弧之際使用的半徑差的閾值，閾值th6是檢查有無和鄰接的圖案 重疊(重疊區(qū)域)的寬度較小的圖案之際使用的寬度的閾值，在步驟102 中，設定閾值thl、 th2、 th6，使它們分別隨著描繪時的分辨率變高(即曝 25光裝置12在基板上描繪的布線圖案中的像素的間隔變小)而變小。
另外在步驟104中，按照在步驟100中調(diào)出的作業(yè)條件信息包含的描 繪時的分辨率，設定在后文講述的處理中使用的閾值th5、 th7。雖然詳情后 述，但是閾值th5是檢查面積有無微小的針孔區(qū)域之際使用的面積的閾值， 30閾值th7是檢查有無和相鄰的圖案的間隙較小的圖案之際使用的間隙的閾值。曝光裝置12在基板上描繪布線圖案時，基板上描繪的布線圖案中的曝 光部分和非曝光部分的交界(邊緣部分)的明了度，與涂敷在基板上的感 光材料的曝光量一濃度特性等斜率的大小息息相關，經(jīng)過蝕刻工序后，在 基板上形成的布線圖案中邊緣部的位置，曝光部分和非曝光部分中在蝕刻 5工序中除去的一側的面積向大的方向偏移與邊緣部分的明了度的大對應的 偏移量。而且，上述針孔區(qū)域的面積及相鄰的圖案的間隔，伴隨著邊緣部 分的位置的偏移而變化。
對于邊緣部分的明了度的變化而言的針孔區(qū)域的面積及相鄰的圖案的 io間隔的變化方向，隨著描繪布線圖案中的曝光部分在蝕刻工序中是成為剩 下的一側(圖案部)還是成為除去的一側(間隙部)而不同，這可以根據(jù) 感光材料的種類(是負還是正)進行判斷，另外感光材料的曝光量一濃度 特性等斜率的大小也能夠根據(jù)感光材料的種類判斷。在本實施方式中，在 各種感光材料上描繪布線圖案制造印刷布線基板時，測定邊緣部分的實際 15的位置對于本來的位置而言有多大程度的偏移，測定結果作為表格被HDD 存儲，在步驟104中，與描繪時的分辨率對應地設定閾值th5、 th7后，參 照上述表格，取得與涂敷在基板上的感光材料的種類對應的邊緣部分的偏 移量，按照取得的偏移量修正閾值th5、 th7，設定與描繪時的分辨率和感光 材料的種類對應的閾值th5、 th7。
可是，在上述RIP處理部36中，進行將格伯數(shù)據(jù)(詳細地說是被檢査 過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46存放的格伯數(shù)據(jù))向柵格形式(位圖形式)的描繪 用柵格數(shù)據(jù)展開的RIP處理。在該RIP處理中，可能處理的文字種類受到 限制，可能處理的文字種類以外的文字(例如半角假名文字等)被RIP處
理對象的格伯數(shù)據(jù)包含時，在檢知到這種文字的階段，成為出錯，停止RIP 處理。因此，在隨后的步驟106中，從前頭依次參照處理對象的格伯數(shù)據(jù)， 進行檢查在RIP處理中是否包含可能處理的文字種類以外的文字的檢查處 理。步驟106的檢查處理完畢后，向步驟108移行，判定是否檢知了在步 驟106的檢查處理中包含這種文字。判定是否定時，向步驟112移行；判
定是肯定時，向步驟110移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是在處理對象
的格伯數(shù)據(jù)中包含RIP處理可能處理的文字種類以外的文字的出錯的出錯
種類信息存放到存儲器中后，向步驟112移行。
另外，圓周長極其小(例如數(shù)lim左右)的微小圓弧部被布線圖案包 5含時，因為該微小圓弧部成為經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造 的印刷布線基板的不良的原因，所以最好置換成直線。因此，在隨后的步 驟112中，進行檢查規(guī)定圓周長小于閾值thl的微小圓弧部的數(shù)據(jù)是否被處 理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢査處理。此外，由于閾值thl在前文講述的步驟 102中，按照描繪時的分辨率設定，所以能夠精度良好地檢查成為印刷布線 io基板的不良的原因的微小圓弧部是否被布線圖案包含。步驟112的檢査處 理完畢后，向步驟114移行，判定在步驟112的檢查處理中是否檢知了這 種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟118移行；判定是肯定時，向步驟116移 行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī)定微小圓弧部的數(shù)據(jù)被處理對象的格 伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息和在格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的微小 15圓弧部的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向步驟118移行。
另外，作為例子，如圖4A所示，始點中的半徑L1和終點中的半徑L2 之差(I LI—L2|)成為一定值(例如數(shù)十um左右)以上的圓弧部被布線 圖案包含時，該圓弧部也成為經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造
的印刷布線基板的不良的原因，所以是不希望的。因此，在隨后的步驟118 中，進行檢查規(guī)定半徑差(IL1一L21)為閾值th2以上的圓弧部的數(shù)據(jù)是否 被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢査處理。此外，閾值th2也在前文講述的步 驟102中，按照描繪時的分辨率設定，所以能夠高精度地檢査成為印刷布 線基板的不良的原因的有半徑差的微小圓弧部是否被布線圖案包含。步驟
118的檢查處理完畢后，向步驟120移行，判定在步驟118的檢查處理中是 否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟124移行；判定是肯定時，向 步驟122移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī)定有半徑差的微小圓弧部 的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息和在格伯數(shù)據(jù)表 示的布線圖案上的有半徑差的微小圓弧部的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向步驟124移行。
另外，半徑過大(例如一千數(shù)百mm左右)的圓弧部， 一般在布線圖 案中不使用，所以這種半徑過大的圓弧部被布線圖案包含時，該圓弧部也 有可能成為經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造的印刷布線基板的 5 不良的原因。因此，在步驟124中，進行檢査規(guī)定半徑為閾值th3以上的圓 弧部的數(shù)據(jù)是否被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢査處理。步驟124的檢查 處理完畢后，向步驟126移行，判定在步驟124的檢査處理中是否檢知了 這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟130移行；判定是肯定時，向步驟128 移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī)定半徑過大的微小圓弧部的數(shù)據(jù)被 io處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息和在格伯數(shù)據(jù)表示的布線 圖案上的半徑過大的微小圓弧部的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向 步驟130移行。
另外，格伯數(shù)據(jù)，作為例子也如圖4B所示，指定孔眼的形狀、始點位 15置及終點位置，從而作為線，描繪使被指定的形狀的孔眼，從始點位置向 終點位置移動時的軌跡。如果孔眼的形狀是圓，那么就與孔眼的移動方向 無關，線的寬度成為一定(-圓的直徑)。另一方面，孔眼的形狀不是圓時， 線的寬度隨著孔眼的移動方向而變。因此，使用圓以外的形狀的孔眼描繪 的線被布線圖案包含時，該線也有可能成為經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描 20繪工序后制造的印刷布線基板的不良的原因。因此，在步驟130中，進行 檢查使用圓以外的形狀的孔眼描繪線的數(shù)據(jù)是否被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包 含的檢查處理。步驟130的檢查處理完畢后，向步驟132移行，判定在步 驟130的檢査處理中是否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟136移 行；判定是肯定時，向步驟134移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是使用 25圓以外的形狀的孔眼描繪線的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出 錯種類信息和在格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的使用圓以外的形狀的孔眼描 繪線的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向步驟136移行。
另外，作為例子，也如圖4C所示，始點位置和終點位置相同(成為閉 30合的曲線)，在從始點位置到終點位置為止的途中和自己的線交叉的自我交 叉線， 一般不被布線圖案。這種自我交叉線也有可能成為經(jīng)過利用曝光裝
置12進行的描繪工序后制造的印刷布線基板的不良的原因。因此，在隨后 的步驟136中，進行檢查規(guī)定自我交叉線的數(shù)據(jù)是否被處理對象的格伯數(shù) 據(jù)包含的檢查處理。步驟136的檢查處理完畢后，向步驟138移行，判定 5 在步驟136的檢查處理中是否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟142 移行；判定是肯定時，向步驟140移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī) 定自我交叉線的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息和 在格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的自我交叉線的位置的坐標信息存儲到存儲 器中后，向步驟142移行。 io
另外，在RIP處理中，RIP處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的頂點的數(shù)，也 有上限(例如2048個)，在RIP處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含超過上限的數(shù)的 頂點時，在檢知該上限以上的頂點數(shù)的階段，成為出錯，停止RIP處理。 因此，在步驟142中，進行檢查處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的頂點的數(shù)是否
15 是閾值th8 (= RIP處理中的上限)以上的檢査處理。步驟142的檢査處理 完畢后，向步驟144移行，判定在步驟142的檢查處理中頂點的數(shù)是否是 閾值th8以上。判定是否定時，向步驟148移行；判定是肯定時，向步驟 146移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是上限以上的數(shù)的頂點被處理對象的 格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息存儲到存儲器中后，向步驟148移行。
20
另夕卜，格伯數(shù)據(jù)，作為例子，也如圖4D所示，在將目的的圖像(布線 圖案)分解成多層的圖像后表示的同時，附加指令將各層的圖像相加或相 減的數(shù)據(jù)是表示目的的圖像(布線圖案)的數(shù)據(jù)。在RIP處理中，構成RIP 處理對象的格伯數(shù)據(jù)的層的數(shù)有上限(例如1024個)，在用RIP處理對象
25的格伯數(shù)據(jù)超過上限的數(shù)的層構成時，在檢知該上限以上的層數(shù)的階段， 成為出錯，停止RIP處理。因此，在步驟148中，進行檢查構成處理對象 的格伯數(shù)據(jù)的層數(shù)是否是閾值th9 (:RIP處理中的上限)以上的檢査處理。 步驟148的檢查處理完畢后，向步驟150移行，判定在步驟148的檢查處 理中層數(shù)是否是閾值th9以上。判定是否定時，向步驟154移行；判定是肯
30定時，向步驟152移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是構成處理對象的格 伯數(shù)據(jù)的層數(shù)超過上限的出錯的出錯種類信息存儲到存儲器中后，向步驟
148移行。
另外，在布線圖案中，存在到格伯數(shù)據(jù)的原點的距離過大(例如一千 5幾百mm左右)的部分時，在利用曝光裝置12進行的描繪工序中，因為如 上所述，到的原點的距離過大的部分的描繪位置超出基板，所以不能制造 適當?shù)挠∷⒉季€基板的可能性大。這樣，在步驟154中，進行檢查在表示 處理對象的格伯數(shù)據(jù)的布線圖案中是否包含到格伯數(shù)據(jù)的原點的距離為閾 值th4以上的部分的檢查處理。步驟154的檢查處理完畢后，向步驟156移行，判定在步驟154的檢查處理中是否檢知了這種部分。判定是否定時， 向步驟160移行；判定是肯定時，向步驟158移行，將表示檢知的出錯(缺 陷)是在表示處理對象的格伯數(shù)據(jù)的布線圖案中包含到格伯數(shù)據(jù)的原點的 距離過大的部分的出錯的出錯種類信息和表示在格伯數(shù)據(jù)所表示的布線圖 案上的到上述原點的距離過大的部分的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向步驟160移行。
另外，面積微小的針孔區(qū)域一般不被布線圖案使用，但是這種微小面 積的針孔區(qū)域被布線圖案包含時，該微小面積的針孔區(qū)域也有可能成為經(jīng) 過利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造的印刷布線基板的不良的原因。
因此，在步驟160中，進行檢査規(guī)定面積小于閾值th5的針孔區(qū)域的數(shù)據(jù)是 否被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢查處理。此外，因為閾值th5在上文講述 的步驟104中按照描繪時的分辨率及基板上的感光材料的種類設定，所以 能夠高精度地檢查成為印刷布線基板的不良的原因的微小面積的針孔部是 否被布線圖案包含。步驟160的檢查處理完畢后，向步驟162移行，判定
在步驟160的檢查處理中是否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟166 移行；判定是肯定時，向步驟164移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī) 定微小面積的針孔區(qū)域的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種 類信息和在格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的微小面積的針孔區(qū)域的位置的坐 標信息存儲到存儲器中后，向步驟166移行。
另外，在格伯數(shù)據(jù)中，將目的的圖像(布線圖案)中的任意的區(qū)域涂
黑時，往往取代使用指令涂黑的命令，作為例子，也如圖5A所示，指令多
個線的描繪，從而設定指令涂黑所需區(qū)域的數(shù)據(jù)，以便使相鄰的線的一部
分重疊(將重疊的部分稱作"重疊區(qū)域")，這時重疊區(qū)域的寬度OUL不足后，在經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造的印刷布線基板上的布 線圖案中，相當于上述重疊區(qū)域的部分，有可能和在描繪工序中未被描繪 的部分成為相同的狀態(tài)。
因此，在步驟166中，進行檢查規(guī)定重疊區(qū)域的寬度小于閾值th6的圖案(線等)的數(shù)據(jù)是否被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢查處理。此外，因 為閾值th6在上文講述的步驟102中按照描繪時的分辨率設定，所以能夠高 精度地檢查成為印刷布線基板的不良的原因的重疊區(qū)域的寬度不足的圖案 是否被布線圖案包含。步驟166的檢查處理完畢后，向步驟168移行，判 定在步驟166的檢查處理中是否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟172移行；判定是肯定時，向步驟170移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是 規(guī)定重疊區(qū)域的寬度不足的圖案的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯 的出錯種類信息和在格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的重疊區(qū)域的寬度不足的 圖案的位置的坐標信息存儲到存儲器中后，向步驟172移行。
另外，作為例子，如圖5B所示，和相鄰的圖案的間隙GAP不足的圖
案被布線圖案包含時，該圖案成為經(jīng)過利用曝光裝置12進行的描繪工序后 制造的印刷布線基板的不良的原因的可能性大。因此，在步驟172中，進 行檢查規(guī)定和相鄰的圖案的間隙GAP小于閾值th7的圖案的數(shù)據(jù)是否被處 理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的檢查處理。此外，因為閾值th7在上文講述的步驟
104中按照描繪時的分辨率及基板上的感光材料的種類設定，所以能夠高精 度地檢查成為印刷布線基板的不良的原因的間隙不足的圖案是否被布線圖 案包含。步驟172的檢査處理完畢后，向步驟174移行，判定在步驟172 的檢査處理中是否檢知了這種數(shù)據(jù)。判定是否定時，向步驟178移行；判 定是肯定時，向步驟176移行，將表示檢知的出錯(缺陷)是規(guī)定間隙不足的圖案的數(shù)據(jù)被處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的出錯的出錯種類信息和在格
伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上的間隙不足的圖案的位置的坐標信息存儲到存儲
器中后，向步驟178移行。
在步驟178中，根據(jù)出錯種類信息等出錯信息是否被存儲器存儲，在 5上述各檢査處理中判定是否檢知了處理對象的格伯數(shù)據(jù)的某個出錯(缺 陷)。判定是否定時(根本沒有檢知到出錯時)，向步驟180移行，將處理 對象的格伯數(shù)據(jù)存放到檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46中，結束數(shù)據(jù)檢査處理。
另一方面，步驟178的判定是肯定時(檢知到一個以上的出錯時)，向 io步驟182移行，首先調(diào)出存儲器存儲的出錯信息，判定調(diào)出的出錯信息是 否包含坐標信息。然后，出錯信息包含坐標信息時、即檢知到在處理對象 的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案上可能明示出錯部位的出錯時，根據(jù)調(diào)出的出 錯信息(出錯種類信息及坐標信息)，生成旨在明示處理對象的格伯數(shù)據(jù)表 示的布線圖案上出錯部位的格伯出錯文件，將生成的格伯出錯文件附加給 處理對象的格伯數(shù)據(jù)。此外，步驟182的處理，是與本發(fā)明涉及的數(shù)據(jù)生 成單元對應的處理；進行步驟182的處理的數(shù)據(jù)檢査處理部28，也與本發(fā) 明涉及的數(shù)據(jù)生成單元對應。
本實施方式涉及的格伯出錯文件，是可能作為格伯數(shù)據(jù)處理的數(shù)據(jù)，
作為例子，如圖6所示，采用在格伯標題部和格伯結束代碼的之間，記述
規(guī)定明示出錯部位(調(diào)出的出錯信息包含的坐標信息表示的位置)的規(guī)定
的標記(孔眼)的形狀及尺寸的標記數(shù)據(jù)(在圖6中表記為"指定孔眼形 狀")和規(guī)定在布線圖案上的規(guī)定的標記的明示位置的坐標數(shù)據(jù)(在圖6中 表記為"出錯項目n x， y坐標指定")的結構。在步驟182中，在根據(jù)調(diào) 25出的出錯信息包含的坐標信息，設定上述的坐標數(shù)據(jù)的同時，還在被坐標 數(shù)據(jù)規(guī)定的各個出錯部位設定上述標記數(shù)據(jù)，以便明示與各個出錯種類對 應的標記，生成格伯出錯文件。
然后，在步驟184中，通過作業(yè)注冊GUI24作媒介，使顯示器顯示所 30定的短信，從而通知在處理對象的格伯數(shù)據(jù)中檢知到出錯的情況，同時還
通過作業(yè)注冊GUI24作媒介，使顯示器顯示檢知到的出錯的內(nèi)容，結束數(shù) 據(jù)檢查處理。此外，出錯內(nèi)容的顯示，如果被檢知的出錯是難以明示出錯 部位的出錯(檢知出錯時，沒有存儲坐標信息的出錯)，例如象構成處理對 象的格伯數(shù)據(jù)的層數(shù)超過上限等那樣，就只在顯示器上顯示通知出錯內(nèi)容
5的短信；但是如果被檢知的出錯是可能明示出錯部位的出錯(檢知出錯時,
存儲了坐標信息的出錯)，就根據(jù)在步驟182中生成的格伯出錯文件，使顯 示器顯示出錯部位明示圖像，作為例子，如圖7所示，使被標記數(shù)據(jù)規(guī)定 的標記分別與處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案中格伯出錯文件的坐標 數(shù)據(jù)指示的出錯部位重疊顯示。此外，還可以在放大顯示特定的出錯部位 io的同時，按照用戶的指令依次切換放大顯示的出錯部位。
在圖7所示的出錯部位明示圖像中，在布線圖案上的各出錯部位，顯 示尺寸及形狀中至少有一個互不相同的標記60A 60D中與各出錯部位中 的出錯種類對應的標記，這樣用戶能夠很容易地知道格伯數(shù)據(jù)表示的布線
15圖案中的出錯部位的位置及各出錯部位中的出錯種類。另外，因為格伯出 錯文件是可能作為格伯數(shù)據(jù)處理的形式，所以將被附加格伯出錯文件的處 理對象的格伯數(shù)據(jù)傳輸給作為CAM系統(tǒng)發(fā)揮作用的計算機18，還能夠在 該計算機18的顯示器顯示圖7所示的那種出錯部位明示圖像。這樣，能夠 根據(jù)出錯檢查處理檢知的出錯，更加容易地在CAM系統(tǒng)上進行修正格伯數(shù)
20 據(jù)的作業(yè)。
這樣地進行上述數(shù)據(jù)檢査處理后，能夠防止將格伯數(shù)據(jù)作為原因經(jīng)過 利用曝光裝置12進行的描繪工序后制造的印刷布線基板產(chǎn)生不良的現(xiàn)象的 同時，還能夠在進行RIP處理之前，檢知成為上述不良的原因的格伯數(shù)據(jù) 25的缺陷，不需要徒勞地反復進行RIP處理及利用曝光裝置12進行的描繪工 序，能夠防止格伯數(shù)據(jù)的缺陷嚴重影響基板制造等作業(yè)的進度，防止基板 由于上述缺陷而被浪費的問題。
對于經(jīng)過數(shù)據(jù)檢查處理的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案，希望確認其布局 (布線圖案對基板而言的描繪范圍的位置及布線圖案的水平面內(nèi)的角度、 表里的朝向)時，用戶操作鍵盤及鼠標等，指令布局確認GUI30在顯示器 io顯示布局確認指令畫面，從上述顯示欄一覽顯示的格伯數(shù)據(jù)中選擇處理對 象的格伯數(shù)據(jù)，選擇布局確認指令畫面內(nèi)的按鈕，從而指令執(zhí)行對選擇處 理對象的格伯數(shù)據(jù)的布局確認處理。該指令通過布局確認GUI30做媒介輸 入布局顯示處理部32，由布局顯示處理部32進行圖8所示的布局確認處理。
15 在布局確認處理中，首先在步驟200中，在從檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件
夾46中調(diào)出指定的處理對象的格伯數(shù)據(jù)的同時，還從作業(yè)條件信息文件夾 48中調(diào)出與處理對象的格伯數(shù)據(jù)對應的作業(yè)條件信息。在步驟202中，在 利用布局確認GUI30使顯示器顯示旨在顯示可能確認處理對象的格伯數(shù)據(jù) 表示的布線圖案的布局的圖像的布局確認畫面(參照圖9)的同時，還根據(jù)
20在步驟200中調(diào)出的作業(yè)條件信息包含的基板的尺寸等信息，在布局確認 畫面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示表示基板的外緣的框線(在圖9中表記為"基 板框")。
在步驟204中，使顯示器顯示要求用戶指定基板上的原點的位置的短 25信后，判定用戶是否指定了基板上的原點的位置，直到判定是肯定為止， 反復進行步驟204。按照顯示器顯示的短信，用戶指定基板上的原點的位置 (通常是基板上的中心位置)后，移行到步驟206，根據(jù)處理對象的格伯數(shù) 據(jù)，生成將該處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案與布局確認畫面內(nèi)的圖 像顯示區(qū)域顯示的框線的尺寸吻合后縮小顯示的布線圖案圖像。 30
另外在步驟208中，根據(jù)處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的格伯數(shù)據(jù)的原點
和基板上的原點的位置關系、與處理對象的格伯數(shù)據(jù)對應的作業(yè)條件信息 包含的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案的旋轉及反轉(鏡像)的有無及旋轉角 度 的反轉(鏡像)方向以及用戶指定的基板上的原點的位置，按照現(xiàn)在
5的作業(yè)條件信息，計算將在基板上描繪處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖 案時的基板上的原點作為基準的布線圖案的描繪范圍的位置、旋轉角度、
反轉的有無及方向。此外，步驟208和前文講述的步驟200都相當于本發(fā) 明涉及的運算單元的處理，進行步驟200、 208的處理的布局顯示處理部32 與本發(fā)明涉及的運算單元對應。 io
然后，在步驟210中，根據(jù)步驟208的演算結果，按照需要，對在步 驟206中生成的布線圖案圖像，進行水平面內(nèi)的旋轉及表里朝向的反轉后， 顯示布局確認畫面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域中步驟208運算的位置(圖9所示的 狀態(tài))將根據(jù)演算結果按照需要在水平面位置進行后，使顯示運算的位置 15 (圖9所示的狀態(tài))。此外，步驟210相當于本發(fā)明涉及的位置關系顯示控 制單元的處理，進行步驟210的處理的布局顯示處理部32與本發(fā)明涉及的 位置關系顯示控制單元對應。
布局確認畫面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示布線圖案圖像后，用戶檢定顯示 的布線圖案圖像對于基板而言的位置及水平面內(nèi)的角度、表里的朝向對于
30 表示基板的外緣的框線來說是否適當。在這里，判斷布線圖案圖像對于基 板而言的位置不適當時，用戶暫時結束布局確認畫面的顯示后，修正規(guī)定 處理對象的格伯數(shù)據(jù)包含的格伯數(shù)據(jù)的原點和基板上的原點的位置關系的 數(shù)據(jù)，從而修正將在基板上描繪了處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案時 的基板上的原點作為基準的布線圖案的描繪范圍的位置。
另外，判斷布線圖案圖像的水平面內(nèi)的角度不適當時，用戶選擇旋轉 指令按鈕，指令布線圖案的旋轉。此外，在布局確認畫面中，設置著旨在 使布線圖案旋轉互不相同的角度(例如卯。、180° 、 270° )的多個按鈕， 選擇與所需的旋轉角度對應的旋轉指令按鈕。選擇旋轉指令按鈕后，步驟
212的判定為肯定時，向步驟214移行，使布局確認畫面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域 顯示布線圖案圖像旋轉與選擇的旋轉指令按鈕對應的旋轉角度后，向步驟 216移行。例如對于圖9所示的布線圖案圖像指令旋轉90°時，布線圖案 圖像就如圖10A所示地旋轉；對于圖9所示的布線圖案圖像指令旋轉180 °時，布線圖案圖像就如圖IOB所示地旋轉。
另外，判斷布線圖案圖像的表里的朝向不適當時，用戶選擇鏡像指令 按鈕，從而指令布線圖案的表里的朝向反轉(鏡像)。此外，在布局確認畫 面中，作為鏡像指令按鈕，設置著旨在使布線圖案旋轉互不相同的方向(例 如x方向、y方向)的多個按鈕，選擇與所需的旋轉方向對應的鏡像指令按
鈕。選擇鏡像指令按鈕后，步驟216的判定為肯定時，向步驟218移行， 使布局確認畫面內(nèi)的圖像顯示區(qū)域顯示布線圖案圖像的表里的朝向向與選 擇的鏡像指令按鈕對應的反轉方向反轉后，向步驟220移行。例如對于圖9 所示的布線圖案圖像，指令使表里的朝向向x方向反轉時，布線圖案圖像 的表里的朝向就如圖IIA所示地反轉；對于圖9所示的布線圖案圖像，指
令使表里的朝向向y方向反轉時，布線圖案圖像的表里的朝向就如圖11B 所示地反轉。
另外，指令結束顯示布局確認畫面后，步驟220的判定為肯定時，向 步驟222移行，判定在上述處理中，是否指令變更對于布線圖案而言的布局(水平面內(nèi)的旋轉或表里朝向的反轉)。判定是否定時，不進行任何處理地結束，而判定是肯定時，向步驟224移行，與對于布線圖案指令的水平 面內(nèi)的旋轉或表里朝向的反轉對應，修正處理對象的格伯數(shù)據(jù)的作業(yè)條件 信息包含的布線圖案的旋轉及反轉的有無及旋轉角度 反轉的方向等數(shù)據(jù) 中的對應的部分，將修正后的作業(yè)條件信息存入作業(yè)條件信息文件夾48后， 5 結束布局確認處理。
經(jīng)過上述布局確認處理后，因為能夠在實際在基板上描繪布線圖案之 前確認按照現(xiàn)在的作業(yè)條件信息在基板上描繪處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的 布線圖案時的布線圖案的布局(對基板而言的布線圖案的描繪范圍的位置 io 及布線圖案的水平面內(nèi)的角度及表里朝向)是否適當，所以能夠避免發(fā)生 基板被浪費等不良情況。
另外，柵格顯示GUI34，在可以在圖像處理裝置14的顯示器上顯示的 畫面中，包含為了指令顯示將檢査過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46存放的特定的格
15伯數(shù)據(jù)的一部分向柵格數(shù)據(jù)展開后在顯示器上顯示的柵格顯示指令畫面。 雖然圖示中省略了，但是在該柵格顯示指令畫面中設置著旨在一覽顯示 檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46存放的格伯數(shù)據(jù)的文件名等的顯示欄；旨在指 令執(zhí)行對從所述顯示欄一覽顯示的各格伯數(shù)據(jù)中，作為處理對象選擇的格 伯數(shù)據(jù)進行柵格顯示的按鈕。
20
想對檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46存放的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案進行 目視檢查時，用戶操作鍵盤及鼠標，指令柵格顯示GUB4在顯示器上顯示 柵格顯示指令畫面，在顯示器顯示柵格顯示指令畫面的狀態(tài)下，從上述顯 示欄一覽顯示的格伯數(shù)據(jù)中選擇處理對象的格伯數(shù)據(jù)，選擇柵格顯示指令 25 畫面內(nèi)的按鈕，從而指令執(zhí)行對處理對象的格伯數(shù)據(jù)而言的柵格顯示處理。 該指令通過柵格顯示GUI34作媒介輸入RIP處理部36，由RIP處理部36 執(zhí)行圖12所示的柵格顯示處理。
在柵格顯示處理中，首先在步驟230中，在將指定的處理對象的格伯 30數(shù)據(jù)從檢查過的格伯數(shù)據(jù)文件夾46中調(diào)出的同時，還從作業(yè)條件信息文件
夾48中調(diào)出與處理對象的格伯數(shù)據(jù)對應的作業(yè)條件信息。在步驟232中， 將所有的處理對象的格伯數(shù)據(jù)向低分辨率的柵格數(shù)據(jù)(整體示意圖像)展 開。此外，從格伯數(shù)據(jù)向柵格數(shù)據(jù)的展開，例如能夠通過在存儲器上確保 與輸出的柵格數(shù)據(jù)的分辨率對應的尺寸的描繪區(qū)域， 一邊從前頭起依次參 5照格伯數(shù)據(jù)， 一邊在描繪區(qū)域反復描繪線等的處理來進行。這樣，能夠獲 得用低分辨率顯示處理對象的格伯數(shù)據(jù)所表示的整個布線圖案的整體示意 圖像。
在隨后的步驟234中，利用柵格顯示GUB4，在顯示器顯示旨在顯示 io處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案的柵格圖像的柵格顯示畫面(參照圖 14)。另外，如圖14所示，在該柵格顯示畫面中，設置著旨在顯示低分辨 率的整體示意圖像的整體示意顯示區(qū)域和旨在顯示與表示布線圖案的分辨 率相比分辨率高的詳細顯示圖像的詳細顯示區(qū)域，利用柵格顯示GUI34， 在柵格顯示畫面內(nèi)的整體示意顯示區(qū)域顯示經(jīng)過步驟232的處理后獲得的 15 整體示意圖像。此外，步驟232、 234是相當于本發(fā)明涉及的低分辨率圖像 顯示控制單元的處理，進行步驟232、 234的處理的RIP處理部36與本發(fā) 明涉及的低分辨率圖像顯示控制單元對應。
可是，在基板上描繪布線圖案時的描繪單位(曝光裝置12用一次描繪
20 在基板上描繪的所有的布線圖案)，稱作面板(或工件)，但是作為最終產(chǎn)
品的印刷布線基板，特別是被手機及PDA (Personal Digtal Assistant)等小 型的機器安裝的印刷布線基板時，因其尺寸大大小于面板的尺寸，所以作 為例子，如圖13所示，往往在面板內(nèi)排列許多最終產(chǎn)品的單位——"塊"。 另外，塊的尺寸較小等時，將排列多個表示相同的布線圖案的塊形成的片
25作為單位，進行來自面板的基板的切出，經(jīng)過向切出的面板內(nèi)的各塊安裝 電路元件等工序后，進行面板內(nèi)的各塊的切出。在本實施方式涉及的柵格 顯示處理中，作為在詳細顯示區(qū)域指定詳細顯示圖像的顯示范圍的方法， 準備著在整體示意顯示區(qū)域顯示的整體示意圖像上，指定詳細顯示范圍的 方法，和在整體示意圖像上，將所需的塊或面板作為詳細顯示對象指定的
30方法，也如圖14所示，在柵格顯示畫面中，設置著旨在用塊單位指令詳細
顯示的按鈕64A和旨在用片單位指令詳細顯示的按鈕64B。
在隨后的步驟236中，在整體示意顯示區(qū)域顯示的整體示意圖像上， 描繪表示詳細顯示范圍的框(參照圖14)，從而判定是否在詳細顯示區(qū)域指 5定應該作為詳細顯示圖像顯示的詳細顯示范圍。步驟236的判定是否定時， 向步驟238移行，判定是選擇整體示意圖像內(nèi)的特定的塊，選擇按鈕64A， 從而用塊單位指令詳細顯示？還是選擇整體示意圖像內(nèi)的特定的片，選擇 按鈕64B，從而用片單位指令詳細顯示？步驟238的判定也是否定時，返 回步驟236，反復進行步驟236、 238，直到步驟236或步驟238的判定是 io 肯定為止。
用戶用上述某個指定方法，進行指令詳細顯示的操作后，步驟236或 步驟238的判定是肯定時，向步驟240移行，識別被用戶指定的詳細顯示 范圍。就是說，在整體示意圖像上描繪表示詳細顯示范圍的框時，將描繪
15 的框內(nèi)認作詳細顯示范圍；在用塊單位指令詳細顯示時，將在整體示意圖 像上選擇的整個特定的塊認作詳細顯示范圍；在用片單位指令詳細顯示時， 將在整體示意圖像上選擇的整個特定的片認作詳細顯示范圍。
另外，在隨后的步驟242中，判定在步驟240中識別的詳細顯示范圍 20內(nèi)，是否存在多個相同的布線圖案(表示相同的布線圖案的塊)，根據(jù)判定 結果，設定詳細顯示范圍中進行從格伯數(shù)據(jù)向柵格數(shù)據(jù)的展開的范圍。例 如在用塊單位指令詳細顯示時，因為詳細顯示范圍內(nèi)不存在多個相同的 布線圖案，所以在步驟240中識別的詳細顯示范圍被原封不動地設定成柵 格展開范圍。另一方面，用片單位指令詳細顯示時，以及被指令在整體示 25意圖像上描繪的范圍的詳細顯示時，詳細顯示范圍內(nèi)有可能存在多個表示 相同的布線圖案的塊。如果詳細顯示范圍內(nèi)不存在多個表示相同的布線圖 案的塊，詳細顯示范圍就被原封不動地設定成柵格展開范圍。而如果詳細 顯示范圍內(nèi)存在多個表示相同的布線圖案的塊，那么就某個塊以外的各塊 除外的范圍，就被設定成柵格展開范圍。 30
在隨后的步驟224中，從處理對象的格伯數(shù)據(jù)中抽出相當于柵格展開
范圍的格伯數(shù)據(jù)，將抽出的格伯數(shù)據(jù)向高分辨率的柵格數(shù)據(jù)展開。此外， 考慮到進行后文講述的距離的運算 顯示，上述柵格數(shù)據(jù)的分辨率，最好 和描繪時的分辨率相同。但是也可以調(diào)整分辨率，以便將表示布線圖案的
5詳細顯示圖像整體納入柵格顯示范圍內(nèi)的詳細顯示區(qū)域。另外，如果步驟
242設定的柵格展開范圍和步驟240識別的柵格展開范圍相同，那么上述的 柵格數(shù)據(jù)就與詳細顯示范圍內(nèi)的表示相同的布線圖案的詳細顯示圖像一 致。因為在詳細顯示范圍內(nèi)存在多個表示相同的布線圖案的塊，所以將詳 細顯示范圍內(nèi)的一部分區(qū)域設定成柵格展開范圍時，將表示從柵格展開范 io圍除外的塊的外緣的框線數(shù)據(jù)，追加到上述柵格數(shù)據(jù)中，從而生產(chǎn)表示詳 細顯示范圍內(nèi)的布線圖案的詳細顯示圖像。然后，在隨后的步驟226中， 利用柵格顯示GUI34,在柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域顯示經(jīng)過步驟224 的處理后獲得的詳細顯示圖像。
此外，步驟242、 244相當于本發(fā)明涉及的展開單元的處理，步驟246
相當于本發(fā)明涉及的高分辨率圖像顯示控制單元的處理，進行步驟242 246的處理的RIP處理部36分別與本發(fā)明涉及的展開單元及高分辨率圖像 顯示控制單元對應。
這樣，用塊單位指令詳細顯示時，作為例子，如圖15所示，在柵格顯
示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域中，只詳細顯示作為詳細顯示對象選擇的單一的
塊的布線圖案。另外，用片單位指令詳細顯示時，作為例子，如圖16所示， 在柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域中，詳細顯示作為詳細顯示對象選擇的 單一的片的布線圖案，但是選擇的片內(nèi)排列多個表示相同的布線圖案的塊時，如圖16所示，只詳細顯示該多個塊中的單一的塊的布線圖案，對于剩
余的塊，則只顯示表示其外緣的框線。
這樣，在柵格顯示處理中，只對處理對象的格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案 中柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域顯示的部分，生成高分辨率的柵格數(shù)據(jù)
30后顯示，所以與通過RIP處理，將所有的處理對象的格伯數(shù)據(jù)向描繪用柵
格數(shù)據(jù)展開后，使用該描繪用柵格數(shù)據(jù)柵格顯示布線圖案時相比，能夠高 速地進行布線圖案的柵格顯示，同時對于柵格顯示的布線圖案通過目視檢 查發(fā)現(xiàn)不良時，也不必進行多次花費時間的RIP處理。
可是，柵格數(shù)據(jù)的分辨率和描繪時的分辨率相同時，在柵格顯示畫面 內(nèi)的詳細顯示區(qū)域，作為例子，也如圖17所示，顯示按照利用曝光裝置12 進行描繪時的基板上的像素間隔和顯示器上的像素間隔(顯示圓點的間隔) 之比放大顯示的布線圖案。但在本實施方式中，在該狀態(tài)下，還可以運算*顯 20 示在顯示的布線圖案上指定的任意的2點間的距離。運算 顯示指定的任 意的2點間的距離，能夠在顯示的布線圖案上指定所需的2點(在圖17中 表記為"始點""終點")的位置后(在布線圖案上顯示這樣連接2點的輔 助線)，進行規(guī)定的操作來加以指令。
在隨后的步驟248中，判定是否進行上述操作后，指令運算 顯示布
線圖案上的任意的2點間的距離。步驟248的判定是否定時，向步驟252 移行，判定是否指令切換柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域顯示的布線圖案 圖像的顯示。步驟252的判定也是否定時，向步驟254移行，判定是否指 令結束柵格顯示畫面的顯示。步驟254的判定也是否定時，返回步驟248，
反復進行步驟248、 252、 254，直到步驟248、 252、 254中的某個判定是肯定為止。
在這里，進行前文講述的操作，從而指令運算，顯示布線圖案上指定 的任意的2點間的距離時，步驟248的判定為肯定時，向步驟250移行， 5運算指定的2點間的距離后顯示。此外，由于利用曝光裝置12描繪時，基 板上的像素間隔根據(jù)描繪時的分辨率已知，所以可以先計算出指定的2點 間的X方向像素數(shù)及Y方向像素數(shù)，再將計算出的像素數(shù)與基板上的像素 間隔相乘，從而求出指定的2點間在基板上的X方向距離及Y方向距離， 最后根據(jù)該X方向距離及Y方向距離，通過計算后求出指定的2點間的距 io 離。圖17表示出將計算指定的2點間的距離的結果和求出的X方向距離及 Y方向距離一起在顯示欄68中顯示的狀態(tài)。步驟250是相當于本發(fā)明涉及 的距離運算 顯示單元的處理，進行步驟250的處理的RIP處理部36與本 發(fā)明涉及的距離運算 顯示單元對應。
在數(shù)字描繪方式中，因為以規(guī)定的分辨率在基板上描繪描繪用柵格數(shù)
據(jù)表示的布線圖案，所以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案中的曝光部和未 曝光部的交界位置，受到圓整誤差的影響，對于格伯數(shù)據(jù)表示的布線圖案， 將描繪時的分辨率中相鄰的像素的距離作為最大地變動，伴隨著該變動， 基板上實際描繪的布線圖案中的曝光部和未曝光部的交界位置也變動。因
20 此，最好對于描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案進行目視檢查，最終確認相 鄰的圖案的間隙的大小等。在本實施方式涉及的柵格顯示處理中，指令對 在柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域顯示的布線圖案(詳細顯示圖像)上指
定的任意的2點間進行距離的運算 顯示后，因為運算 顯示指定的2點
間的距離(反映圓整誤差的距離)，所以能夠正確而且容易確認相鄰的圖案的
25間隙的大小，能夠減輕進行目視檢査的用戶的負擔。
另外，指令對在柵格顯示畫面內(nèi)的詳細顯示區(qū)域顯示的布線圖案圖像 進行顯示切換(變更詳細顯示范圍等)時，步驟252的判定為肯定時，返 回步驟236，按照來自用戶的指令，反復進行步驟236以后的處理。另外， 30指令結束柵格顯示畫面的顯示時，步驟254的判定為肯定時，就結束柵格 顯示處理。在執(zhí)行上述柵格顯示處理期間，在用戶進行的目視檢査時，檢
知布線圖案例如有相鄰的圖案間隙不足等不良現(xiàn)象時，在作為CAM系統(tǒng)發(fā) 揮作用的計算機18等中，進行修正處理對象的格伯數(shù)據(jù)以便消除檢知的不 良的作業(yè)后，再度進行上述柵格顯示處理(目視檢查)。 5
另外，在目視檢查中沒有檢知到布線圖案的不良時，用戶指令執(zhí)行對 處理對象的格伯數(shù)據(jù)進行RIP處理。這樣，RIP處理部36從檢査過的格伯 數(shù)據(jù)文件夾46中調(diào)出RIP處理對象的格伯數(shù)據(jù)，對調(diào)出的所有的處理對象 的格伯數(shù)據(jù)進行向高分辨率的描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的RIP處理，將RIP處
io理后獲得的描繪用柵格數(shù)據(jù)存入描繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50。結束RIP處理 后，用戶指令向基板描繪描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案。于是，曝光裝 置控制部40從作業(yè)條件信息文件夾48中讀出對應的作業(yè)條件信息，向曝 光裝置12輸出，同時還從描繪用柵格數(shù)據(jù)文件夾50中依次讀出描繪用柵 格數(shù)據(jù)，向曝光裝置12輸出。這樣，曝光裝置12就按照上述的作業(yè)條件
15信息，在基板上描繪描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的布線圖案。
此外，本發(fā)明涉及的檢查單元進行的檢查處理，作為數(shù)據(jù)處理，不局 限于圖3所示的各檢查處理，毫無疑問，在不脫離本發(fā)明的范圍內(nèi)，可以 采用其它任意的檢査處理，例如檢查有無粗細小于閾值的線？或者檢查是
20否包含指令變更布線圖案整體的倍率的數(shù)據(jù)？等。
另外，在本實施方式中，作為與本發(fā)明涉及的圖像處理裝置連接的描 繪裝置，以曝光裝置12為例進行了講述。但是，能夠與本發(fā)明涉及的圖像 處理裝置連接的描繪裝置，并不局限于上述裝置，也可以是噴墨型，使用
25液體噴出型的描繪頭，將金屬粒子及金屬粒子的前驅體附著在基板上，從 而在基板上描繪布線圖案的描繪裝置。作為這種描繪裝置，例如可以列舉
JP特開2005—40665號公報、JP特開2005—47073號公報、JP特開2005 —47085號公報、JP特開2005 — 81710號公報、JP特開2005 — 81711號公 報、JP特開2005—481716號公報、JP特開2005 — 96332號公報、JP特開 302005 — 96338號公報、JP特開2005—96345號公報等記述的描繪裝置。
權利要求
1、一種圖像處理裝置，與直接在基板上描繪以描繪用柵格數(shù)據(jù)表示的線圖案的描繪裝置連接、進行將表示所輸入的所述布線圖案的向量形式的圖像數(shù)據(jù)向所述描繪用柵格數(shù)據(jù)展開的RIP處理，其特征在于所述圖像處理裝置具備檢查單元，該檢查單元在對所輸入的所述圖像數(shù)據(jù)進行所述RIP處理之前，針對所述圖像數(shù)據(jù)，檢查是否存在經(jīng)過利用所述描繪裝置進行的描繪工序后制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷。
2、如權利要求l所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢査單元，在檢査所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在缺陷時，取得所述描繪裝置在所述基板上 描繪所述布線圖案之際采用的描繪條件，按照取得的描繪條件，設定用于 判定所述檢査中的所述缺陷的的閾值，使用所設定的閾值進行所述檢査。
3、 如權利要求2所述的圖像處理裝置，其特征在于所述描繪條件， 15是描繪所述布線圖案之際采用的分辨率或在所述基板上設置的感光材料的種類。
4、 如權利要求2所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢查單元， 作為檢查是否在所述制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷的處理，進行至少檢 查下述項目中的一個的處理在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否包含圓周長小于第1閾值的圓弧部；在所述布線圖案中，是否包含始點位置的半徑與終點位置的半徑之差 為第2閾值以上的圓弧部；在所述布線圖案中，是否包含半徑為第3閾值以上的圓弧部； 所述布線圖案是否存在自原點的距離為第4閾值以上的坐標；在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否存在面積小于第5閾值的針 孔區(qū)域；在所述布線圖案中，是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小 于第6閾值的圖案；以及 30 在所述布線圖案中，是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于第7閾值 的圖案。
5、 如權利要求3所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢查單元， 作為檢查是否在所述制造的基板中會產(chǎn)生不良的缺陷的處理，進行至少檢 查下述項目中的一個的處理在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否包含圓周長小于第1閾值的圓弧部；在所述布線圖案中，是否包含始點位置的半徑與終點位置的半徑之差 為第2閾值以上的圓弧部；在所述布線圖案中，是否包含半徑為第3閾值以上的圓弧部； 10 所述布線圖案是否存在自原點的距離為第4閾值以上的坐標；在所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案中，是否存在面積小于第5閾值的針 孔區(qū)域；在所述布線圖案中，是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于第6閾值的圖案；以及 15 在所述布線圖案中，是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于第7閾值的圖案。
6、 如權利要求l所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢查單元， 至少進行檢查下述項目中的一個的處理所述布線圖案中是否包含使用圓以外的孔眼形狀的線； 20 在所述布線圖案中，是否包含構成始點位置和終點位置相同的封閉曲線而且在從始點位置到終點位置的途中與本線交叉的自我交叉線。
7、 如權利要求l所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢査單元， 還檢査所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在因所述RIP處理而會發(fā)生出錯的缺陷。
8、 如權利要求7所述的圖像處理裝置，其特征在于所述檢查單元， 25作為檢查所述圖像數(shù)據(jù)中是否存在因所述RIP處理而會發(fā)生出錯的缺陷的處理，至少進行檢查下述項目中的一個的處理所述圖像數(shù)據(jù)中是否包含了所述RIP處理中可能處理的文字種類以外 的文字；所述布線圖案的頂點的數(shù)量是否是第8閾值以上；以及 30 構成所述圖像數(shù)據(jù)的層數(shù)是否是第9閾值以上。
9、 如權利要求1所述的圖像處理裝置，其特征在于還具備數(shù)據(jù)生 成單元，該數(shù)據(jù)生成單元在所述檢查單元得出所述圖像數(shù)據(jù)有缺陷的判斷 時，取得判斷有所述缺陷的部位的所述布線圖案上的坐標，根據(jù)取得的坐 標，生成缺陷部位明示數(shù)據(jù)，該缺陷部位明示數(shù)據(jù)以能與所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案重疊顯示的狀態(tài)，在所述布線圖案上的所述部位明示規(guī)定的 標記。
10、 如權利要求l所述的圖像處理裝置，其特征在于，還具備 運算單元，該運算單元取得所述描繪裝置在所述基板上描繪所述布線圖案之際應用的描繪條件，根據(jù)取得的描繪條件和所述圖像數(shù)據(jù)，運算當 10所述描繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描繪所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案時 在所述基板上的所述布線圖案的描繪范圍；和位置關系顯示控制單元，該位置關系顯示控制單元根據(jù)所述運算單元 運算的描繪范圍，使顯示單元顯示當所述描繪裝置在現(xiàn)在的描繪條件下描 繪所述圖像數(shù)據(jù)表示的布線圖案時的、所述基板與在所述基板上的所述布15線圖案的描繪范圍之間的位置關系。
11、 如權利要求l所述的圖像處理裝置，其特征在于，還具備 低分辨率圖像顯示控制單元，該低分辨率圖像顯示控制單元根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)，生成用低分辨率表示所述布線圖案的低分辨率布線圖案圖像， 并使顯示單元顯示生成的低分辨率布線圖案圖像； 20 展開單元，該展開單元當通過指定單元在由所述低分辨率圖像顯示控制單元而在所述顯示單元顯示的低分辨率布線圖案圖像上指定了放大顯 示對象區(qū)域時，將所述圖像數(shù)據(jù)中相當于所述放大顯示對象區(qū)域的數(shù)據(jù)向 高分辨率柵格數(shù)據(jù)展開，從而生成用高分辨率表示所述放大顯示對象區(qū)域內(nèi)的布線圖案的高分辨率布線圖案圖像；和高分辨率圖像顯示控制單元，該高分辨率圖像顯示控制單元使所述顯示單元顯示由所述展開單元生成的高分辨率布線圖案圖像。
12、 如權利要求11所述的圖像處理裝置，其特征在于所述描繪裝 置在基板上描繪的布線圖案，配置多個片后構成，這些片則由多個相當于 單一的電路圖案的相同的單位布線圖案排列而成；30 所述低分辨率圖像顯示控制單元，作為所述低分辨率布線圖案圖像，生成并顯示用低分辨率表示所述布線圖案整體的圖像；所述展開單元，當在表示所述布線圖案整體的低分辨率布線圖案圖像 上，作為所述放大顯示對象區(qū)域，被指定了特定的片時，只將所述圖像數(shù) 據(jù)中相當于所述特定的片內(nèi)的單一的特定單位布線圖案的數(shù)據(jù)向高分辨 5率柵格數(shù)據(jù)展開，作為所述特定片的高分辨率布線圖案圖像，只對所述特 定單位布線圖案顯示布線圖案，而對其它的單位布線圖案則只顯示表示外 緣的框線的圖像。
13、 如權利要求11所述的圖像處理裝置，其特征在于還具備距離運算 顯示單元，該距離運算 顯示單元當通過指定單元在由所述高分辨10率圖像顯示控制單元而在所述顯示單元顯示的高分辨率布線圖案圖像上指定了距離測定對象的2點時，運算所指定的2點間的距離，并顯示在所 述顯示單元上。
14、 一種圖像描繪裝置，其特征在于具備權利要求1 13任一項所述的圖像處理裝置，根據(jù)該圖像處理裝置獲得的所述描繪用柵格數(shù)據(jù)，向描繪面上進行描繪 。
15、 一種圖像描繪系統(tǒng)，其特征在于，包含CAD系統(tǒng)及CAM系統(tǒng)中的至少一個，這些系統(tǒng)生成所述向量形式的 圖像數(shù)據(jù)；權利要求1 13任一項所述的圖像處理裝置；以及描繪裝置，該描繪裝置根據(jù)該圖像處理裝置獲得的所述描繪用柵格數(shù) 據(jù)，向描繪面上進行描繪。
全文摘要
一種圖像處理裝置，在通過RIP處理向描繪用柵格數(shù)據(jù)展開前，取得用于在基板上直接描繪的表示布線圖案的向量形式的格伯數(shù)據(jù)(100)，根據(jù)描繪時的分辨率或基板上的感光材料的種類設定檢查處理的閾值后(102、104)，檢出是否包含圓周長小于閾值th1的圓弧部；是否包含半徑之差為閾值th2以上的圓弧部；是否存在面積小于閾值th5的針孔區(qū)域；是否存在與鄰接的圖案互相重疊的區(qū)域的寬度小于閾值th6的圖案；以及是否存在與互相鄰接的圖案的間隙小于閾值th7的圖案(106～176)，當檢出出錯時，生成用于明示出錯位置的格伯出錯文件，并將出錯位置顯示在顯示屏上(182、184)。從而防止因廣播數(shù)據(jù)的原因發(fā)生用描繪裝置的描繪過程中造成的基板不良。
文檔編號G03F7/20GK101198908SQ200680021719
公開日2008年6月11日 申請日期2006年6月12日 優(yōu)先權日2005年6月16日
發(fā)明者豐福貴司, 尾崎幸久 申請人:富士膠片株式會社