專利名稱：：光刻膠膜卷材及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本申請的發(fā)明涉及在保存穩(wěn)定性和對顆粒的抑制方面優(yōu)異的光刻膠膜巻材。
背景技術(shù)：
：制造印刷電路基板所用的光刻膠膜為感光性樹脂層夾在透光性支持膜和保護(hù)膜間的層積膜的形式，在使用時，一邊剝下保護(hù)膜一邊將感光性樹脂層層疊在印刷電路基板上，經(jīng)圖案掩模選擇性地曝光，實施顯影處理后在印刷電路板上形成圖像。使用這樣的光刻膠膜的圖案形成被稱作干膜抗蝕(dryfilmresist),以與使用感光性樹脂組合物溶液的以往的濕式方式相區(qū)別。但是，這樣的光刻膠膜通常被制成巻為巻材狀的產(chǎn)品，在接近巻材的中心部的部位受到外部的壓力，從而感光性樹脂從膜端部滲出，出現(xiàn)被稱為冷流(coldflow)的現(xiàn)象，而成為問題。為了解決這樣的問題，下述專利文獻(xiàn)1中公開了在端面粘合保護(hù)用的樹脂片和片狀干燥劑的光刻膠膜巻材。專利文獻(xiàn)l:日本特開2001-188319號公報但是，對于這樣的光刻膠膜巻材，由于需要另外準(zhǔn)備保護(hù)材料，而產(chǎn)生成本方面的問題。并且，現(xiàn)有技術(shù)中，滲出的感光性樹脂在層疊時剝落而飛散，導(dǎo)致形成顆粒、污染層疊巻材等不良后果。相反，在感光性樹脂層較硬以防滲出的情況下將主巻材(masterroll)沿縫隙切割(slitcut)為一個個巻材時或切斷光刻膠膜巻材以將其加工成片狀時，在感光性樹脂層截面上感光性樹脂成為碎片而飛散，并形成顆粒，導(dǎo)致不良結(jié)果。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述課題，本申請發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠膜巻材，其具有月以上的單位的長期保存性，并且優(yōu)選其抑制了顆粒的產(chǎn)生。本申請發(fā)明所涉及的光刻膠膜巻材是用于在基板上形成感光性樹脂圖案的光刻膠膜巻材，其特征在于，在依次由支持膜、感光性樹脂層、保護(hù)膜形成的光刻膠膜巻材中，上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度大于上述感光性樹脂層的寬度，并且上述感光性樹脂的寬度方向的兩端位于上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的內(nèi)側(cè)。另外，本申請發(fā)明所涉及的光刻膠膜巻材的特征在于，從上述感光性樹脂的寬度方向的兩端到上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的距離均為lmm以上。本申請發(fā)明所涉及的光刻膠膜巻材的制造方法是制造用于在基板上形成感光性樹脂圖案并依次由支持膜、感光性樹脂層、保護(hù)膜形成的光刻膠膜巻材的制造方法，該制造方法的特征在于，在上述支持膜上涂布上述感光性樹脂層，在所涂布的感光性樹脂層上貼合上述保護(hù)膜，從而制造光刻膠膜巻材，所制造的光刻膠膜巻材的特征在于，上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度大于上述感光性樹脂層的寬度，并且上述感光性樹脂的寬度方向的兩端位于上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的內(nèi)側(cè)。并且，本申請發(fā)明所涉及的光刻膠膜巻材的制造方法的特征在于，對上述支持膜平行地涂布1列以上的上述感光性樹脂層從而制造第一光刻膠膜巻材，以及切斷上述第一光刻膠膜巻材制造1巻以上的第二光刻膠膜巻材。通過使用本申請發(fā)明所涉及的光刻膠膜巻材，在常溫長期保存時不會發(fā)生冷流，并且切斷加工時也不產(chǎn)生碎片。圖1是本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材整體的簡圖。圖2是圖1的展開片的截面放大圖。圖3是主巻材的示例的整體簡圖。圖4是圖3的展開片的截面放大圖。具體實施例方式以下，依照附圖詳細(xì)說明本申請的發(fā)明。圖1、圖3是本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材的簡圖，圖2是與圖1的X,-X2線對應(yīng)的截面圖，圖4是與圖3的X3-X4線對應(yīng)的截面圖。此外，本申請發(fā)明中所謂"丙烯酸/甲基丙烯酸"是指丙烯酸和與其對應(yīng)的甲基丙烯酸，所謂的"丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯"是指丙烯酸酯和與其對應(yīng)的甲基丙烯酸酯，所謂的"丙烯?；?甲基丙烯酰基"是指丙烯?；团c其對應(yīng)的甲基丙烯酰基，所謂的"丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基"是指丙烯酰氧基和與其對應(yīng)的甲基丙烯酰氧基。另外，本申請發(fā)明中所謂"主巻材"是指作為制造本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材(第二光刻膠膜巻材)的前階段而制造的光刻膠膜巻材(第一光刻膠膜巻材)。圖1和圖2中，本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材是通過涂布一列寬度小于膜l(由支持膜la和保護(hù)膜lb構(gòu)成)的寬度的感光性樹脂層2制造成的。支持膜la例如為聚對苯二甲酸乙二醇酯樹脂膜，但不限于此；保護(hù)膜lb例如為聚乙烯樹脂膜，但不限于此。本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材按照感光性樹脂層的端側(cè)較支持膜和保護(hù)膜的端側(cè)短lmm以上、更優(yōu)選5mm以上的方式進(jìn)行涂布，從長期保存時抑制冷流的方面來看，其是優(yōu)選的。此外，由于上述構(gòu)成可以在不切斷感光性樹脂層的情況下進(jìn)行切斷以加工光刻膠膜巻材的寬度，所以可以抑制直接切斷感光性樹脂層而導(dǎo)致的碎片的產(chǎn)生，從這一方面來說上述構(gòu)成也是優(yōu)選的。另外，圖3和圖4是本申請發(fā)明的主巻材的例子，其中涂布了兩列寬度小于膜3(由支持膜3a和保護(hù)膜3b構(gòu)成)的寬度的感光性樹脂層4。對其進(jìn)行加工，沿剪裁線5僅切斷膜3而不切斷感光性樹脂層4，從而可以制造圖1和圖2所示的光刻膠膜巻材。這樣，通過對一個主巻材進(jìn)行兩列以上感光性樹脂層的涂布，可以與現(xiàn)有技術(shù)的主巻材同樣地由單個主巻材生產(chǎn)兩巻以上的光刻膠膜巻材。并且，通過適宜調(diào)整此時兩列以上的感光性樹脂層各自的寬度，可以由單個主巻材制造出兩巻以上任意寬度的光刻膠膜巻材。一般來說，感光性元件例如通過在支持體上涂布感光性樹脂組合物并進(jìn)行干燥而得到，并進(jìn)一步根據(jù)需要在上述感光性樹脂組合物層的與支持體相反一側(cè)的面上層積保護(hù)膜。上述支持膜和上述保護(hù)膜在例如厚度、寬度、材質(zhì)、透濕性等要素方面沒有特別限制。此外，對于感光性樹脂層，除要求滿足上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度大于上述感光性樹脂層的寬度、上述感光性樹脂的寬度方向的兩端位于上述支持膜和上述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的內(nèi)側(cè)以外，并沒有特別的限制。作為上述膜，可舉出例如聚酯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、尼龍、聚碳酸酯、聚乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯纖維素三乙酸酯、氯化乙烯-偏二氯乙烯共聚物、賽璐玢等的膜。從透明性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用聚對苯二甲酸乙二醇酯膜、聚乙烯膜、聚丙烯膜等。并且，也可以使用蒸鍍膜，可舉出將無機(jī)粉末等具有吸水能力或吸濕能力的物質(zhì)蒸鍍在上述膜上而成的膜等。作為上述無機(jī)粉末，可舉出例如，活性氧化鋁、硅膠、氫氧化鉀、氯化鈣、氧化藥、溴化鈣、硫酸鈣、石棉、鋅、氯化鋅、溴化鋅、氧化鎂、氯酸鎂、硫酸銅、氧化鋇、沸石、蒙脫石、活性炭、粘土、玻璃棉、硅藻土、分子篩、沸石、硅膠、蒙脫石等。這些可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。作為上述膜，例如可獲得下述物質(zhì)鋁箔、鋁蒸鍍膜、FINEBARRIERAT(商品名，在聚酯膜上蒸鍍氧化鋁而得的物質(zhì)，(株)麗光制造)、亍、7夕/《U了S、亍:y夕/《i;7T、亍、;/夕/《y7H、xy夕/《!J7V(商品名，二氧化硅蒸鍍膜、三菱化學(xué)興人PAX(株)制造)、FINEBARRIERAT(商品名，(株)麗光制造)與B-PE(黑聚乙烯)膜的干燥層壓品、在OPP(雙向拉伸聚丙烯膜)上涂布有遮光用油墨的膜與VMCPP(蒸鍍有鋁的單向拉伸聚丙烯膜)的干燥層壓品等。此外，上述干燥層壓是指如下操作在兩膜間涂布粘結(jié)劑，于溫度40℃60℃左右熱壓合，在室溫預(yù)老化約24小時72小時后在約30℃50℃正式老化12小時36小時左右。本發(fā)明的感光性元件例如通過使用具有吸濕能力或吸水能力的膜或透濕度為020g/(24h'm2的膜作為上述支持體或保護(hù)膜，可以極大地提高耐邊緣熔融的效果。存在上述支持體和保護(hù)膜時，既可以將其中任一個設(shè)置成具有吸濕能力或吸水能力的膜或者透濕度為020g/(24h'm2的膜，也可以將兩個都設(shè)置成具有吸濕能力或吸水能力的膜或者透濕度為020g/(24h'm2的膜。并且，存在上述支持體和保護(hù)膜、并將其中任一個設(shè)置成具有吸濕能力或吸水能力的膜或者透濕度為020g/(24h'm2的膜時，另一個可以使用公知的膜。并且，由于這些支持體和保護(hù)膜隨后必須可以從感光性樹脂組合物層上去除，所以不能實施不可去除的那樣的表面處理、不能采用不可去除的材質(zhì)。這些聚合物膜的厚度優(yōu)選為1100μm，更優(yōu)選為130μm。通過使該厚度為lμm以上，可以獲得為防止在涂布時聚合物膜破損等問題所必須的機(jī)械強(qiáng)度，通過使該厚度為lOOμm以下，可以抑制作業(yè)性的降低、成本的增大。作為保護(hù)膜，優(yōu)選感光性樹脂組合物層與保護(hù)膜的粘結(jié)力小于感光性樹脂組合物層與支持體的粘結(jié)力，并且優(yōu)選魚眼(fisheye)少的膜。上述感光性樹脂層為正型、負(fù)型均可以使用。作為上述感光性樹脂層，可以舉出通過含有(A)粘合劑聚合物、(B)分子內(nèi)具有至少1個可聚合的烯鍵式不飽和基團(tuán)的光聚合性化合物、(C)光聚合引發(fā)劑而形成的層等。作為上述(A)粘合劑聚合物，可舉出例如，丙烯酸類樹脂、苯乙烯類樹脂、環(huán)氧類樹脂、酰胺類樹脂、酰胺環(huán)氧類樹脂、醇酸類樹脂、酚類樹脂等。從堿顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選丙烯酸類樹脂。這些可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。上述(A)粘合劑聚合物例如可以通過對聚合性單體進(jìn)行自由基聚合而制得。作為上述聚合性單體，可舉出例如，苯乙烯、乙烯基甲苯、a-甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、對乙基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、對乙氧基苯乙烯、對氯苯乙烯、對溴苯乙烯等可聚合的苯乙烯衍生物；二丙酮丙烯酰胺等丙烯酰胺；丙烯腈、丁基乙烯醚等乙烯醇的酯類；丙烯酸垸基酯、甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸/甲基丙烯酸四氫糠基酯、2-(二甲氨基)乙基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、N，N-二乙基氨基乙基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、2,3-環(huán)氧丙基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、2，2，2-三氟乙基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、2,2，3,3-四氟丙基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、a-溴丙烯酸/甲基丙烯酸、(x-氯丙烯酸/甲基丙烯酸、卩-呋喃基丙烯酸/甲基丙烯酸、P-苯乙烯基丙烯酸/甲基丙烯酸；馬來酸、馬來酸酐、馬來酸單甲酯、馬來酸單乙酯、馬來酸單異丙酯等馬來酸單酯；富馬酸、肉桂酸、a-氰基肉桂酸、衣康酸、丁烯酸、丙炔酸等。作為上述丙烯酸/甲基丙烯酸烷基酯，可舉出例如通式(i)表示的化合物和這些化合物的烷基被羥基、環(huán)氧基、鹵素基團(tuán)等取代了的化合物等。CH3＝CR1－COOR2。式(i)中，R,表示氫原子或甲基，&表示碳原子數(shù)為112的垸基。作為上述通式(i)中的R2所表示的碳原子數(shù)為112的垸基，可舉出例如，甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基和它們的結(jié)構(gòu)異構(gòu)體。式(i)中，R1表示氫原子或甲基，R2表示碳原子數(shù)為1-12的烷基。作為上述通式(i)所表示的單體，可舉出例如，丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸/甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸/甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸/甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸/甲基丙烯酸戊酯、丙烯酸/甲基丙烯酸己酯、丙烯酸/甲基丙烯酸庚酯、丙烯酸/甲基丙烯酸辛酯、丙烯酸/甲基丙烯酸2-乙基己酯等。這些可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。從堿顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述(A)粘合劑聚合物優(yōu)選含有羧基，例如通過使具有羧基的聚合性單體與其他的聚合性單體進(jìn)行自由基聚合來制造(A)粘合劑聚合物。作為上述具有羧基的聚合性單體，優(yōu)選甲基丙烯酸。并且，從可撓性的觀點(diǎn)出發(fā)，上述(A)粘合劑聚合物優(yōu)選含有苯乙烯或苯乙烯衍生物作為聚合性單體。以上述苯乙烯或苯乙烯衍生物為共聚成分時，為了使密合性和剝離特性均良好，該共聚成分的含量優(yōu)選為0.130重量％，更優(yōu)選為128重量％，特別優(yōu)選為1.527重量％。該含量不足O.l重量％時，密合性有變差的傾向，該含量超過30重量％時，剝離片增大，剝離時間變長。這些粘合劑聚合物可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。做為組合兩種以上使用的情況下的粘合劑聚合物，可舉出例如，由不同共聚成分組成的兩種以上的粘合劑聚合物、不同重均分子量的兩種以上的粘合劑聚合物、不同分散度的兩種以上的粘合劑聚合物等。作為上述(B)光聚合性化合物，可舉出例如，使a，(3-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得到的化合物、2，2-雙[4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基-聚乙氧基)苯基]丙烷、2，2-雙[4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基-聚丙氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基-聚丁氧基)苯基]丙烷、2,2-雙[4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基-聚乙氧基-聚丙氧基)苯基]丙烷等雙酚A系丙烯酸酯化合物和雙酚A系甲基丙烯酸酯化合物、使(x，P-不飽和羧酸與含有縮水甘油基的化合物反應(yīng)而得到的化合物、具有氨酯鍵的丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯化合物等氨酯單體、壬基苯基聚氧亞垸基丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、Y-氯-P-羥丙基-l3，-丙烯酰/甲基丙烯酰氧基乙基-鄰苯二甲酸酯、P-羥基烷基-(3'-丙烯酰/甲基丙烯酰氧基垸基-鄰苯二甲酸酯等鄰苯二甲酸類化合物、丙烯酸/甲基丙烯酸烷基酯等，優(yōu)選以雙酚A系丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯化合物或具有氨酯鍵的丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯化合物為必須成分。這些化合物可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。作為上述使a，(3-不飽和羧酸與多元醇反應(yīng)而得到的化合物，可舉出例如，亞乙基的數(shù)目為214的聚乙二醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、2-乙基-2-(羥甲基)-1,3-丙二醇丙烯酸酯、2-乙基-2-(羥甲基)-1,3-丙二醇甲基丙烯酸酯、亞丙基的數(shù)目為214的聚丙二醇二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、亞乙基的數(shù)目為214且亞丙基的數(shù)目為214的聚乙二醇聚丙二醇二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙垸二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、EO改性三羥甲基丙烷三丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、PO改性三羥甲基丙烷三丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、EO，PO改性三羥甲基丙垸三丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、四羥甲基甲烷三丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、四羥甲基甲垸四丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯等。作為上述2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基聚乙氧基)苯基)丙院，可舉出例如，2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基三乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基四乙氧基)苯基)丙垸、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷、2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基六乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基七乙氧基)苯基)丙烷、2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基八乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基九乙氧基)苯基)丙烷、2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十乙氧基)苯基)丙烷、2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十一乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十二乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十三乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十四乙氧基)苯基)丙垸、2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基十六乙氧基)苯基)丙垸等，2，2-二(4-(甲基丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙垸可以作為BPE-500(商品名，新中村化學(xué)工業(yè)(株)生產(chǎn))由商購獲得，2,2-二(4-(甲基丙烯酰氧基十五乙氧基)苯基)丙垸可以作為BPE-1300(商品名，新中村化學(xué)工業(yè)(株)生產(chǎn))由商購獲得。這些可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。作為上述2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷，可舉出例如，2,2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基二乙氧基八丙氧基)苯基)丙垸、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基四乙氧基四丙氧基)苯基)丙烷、2，2-二(4-(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基六乙氧基六丙氧基)苯基)丙垸等。這些可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。作為上述氨酯單體，可舉出例如，P位具有羥基的丙烯酸類單體和甲基丙烯酸類單體與異佛爾酮二異氰酸酯、2，6-甲苯二異氰酸酯、2,4-甲苯二異氰酸酯、1,6-六亞甲基二異氰酸酯等二異氰酸酯化合物的加成產(chǎn)物、三(丙烯酰氧基/甲基丙烯酰氧基四乙二醇異氰酸酯)六亞甲基異氰脲酸酯、EO改性氨酯二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯、EO，PO改性氨酯二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯等。作為EO改性氨酯二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯，可舉出例如，新中村化學(xué)工業(yè)淋)生產(chǎn)的UA-11(商品名)等。另外，作為EO,PO改性氨酯二丙烯酸酯/甲基丙烯酸酯，可舉出例如新中村化學(xué)工業(yè)淋)生產(chǎn)的UA-13(商品名)等。其中，EO表示氧化乙烯，EO改性的化合物具有氧化乙烯基的嵌段結(jié)構(gòu)。PO表示氧化丙烯，PO改性的化合物具有氧化丙烯基的嵌段結(jié)構(gòu)。作為上述(C)光聚合引發(fā)劑，可舉出例如，二苯甲酮、N,N'-四甲基-4，4'-二氨基二苯甲酮(米氏酮)等N,N'-四垸基-4，4'-二氨基二苯甲酮；2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]_2-嗎啉代-丙烷-1_酮等芳香族酮；浣基蒽醌等醌類；苯偶姻烷基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、烷基苯偶姻等苯偶姻化合物；芐基二甲基縮酮等芐基衍生物；2-(鄰氯苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等的2,4,5-三芳基咪唑二聚物；9-苯基吖啶、1，7-二(9,9，-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物；香豆素系化合物等。兩個2,4,5-三芳基咪唑的芳基的取代基既可以相同而提供對稱的化合物，也可以不同而提供不對稱化合物。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。相對于100重量份(A)成分和(B)成分的總量，上述(A)粘合劑聚合物的混合量優(yōu)選為2090重量份。通過使該混合量為20重量份以上，可以抑制光固化物變得過脆，抑制作為感光性元件的涂膜性的降低，通過使該混合量為90重量份以下，可以得到具有充分的光敏度的感光性樹脂。相對于100重量份(A)成分和(B)成分的總量，上述(B)光聚合性化合物的混合量優(yōu)選為560重量份。通過使該混合量為5重量份以上，可以得到具有充分光敏度的感光性樹脂，通過使該混合量為60重量份以下，可以抑制光固化物變得過脆。相對于100重量份(A)成分和(B)成分的總量，上述(C)光聚合引發(fā)劑的混合量優(yōu)選為0.120重量份。該混合量不足O.l重量份時，光敏度有變得不充分的傾向，該混合量超過20重量份時，曝光時組合物的表面的吸收增大，內(nèi)部的光固化可能變得不充分。另外，上述感光性樹脂組合物中根據(jù)需要可以含有分子內(nèi)具有至少1個陽離子聚合性環(huán)狀醚基的光聚合性化合物、陽離子聚合引發(fā)劑、孔雀石綠等染料、三溴苯基砜、無色結(jié)晶紫等光致顯色劑、熱顯色防止劑、對甲苯磺酰胺等增塑劑、顏料、填充劑、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密合性賦予劑、流平劑、促剝離劑、抗氧化劑、香料、顯像劑、熱交聯(lián)劑等，相對于總量為100重量份的(A)成分和(B)成分，這些成分各自的含量為0.0120重量份左右。這些物質(zhì)可以單獨(dú)使用，或兩種以上組合使用。上述感光性樹脂組合物可以根據(jù)需要溶解于甲醇、乙醇、丙酮、丁酮、2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、甲苯、N，N-二甲基甲酰胺、丙二醇單甲醚等溶劑或它們混合溶劑中，制成固體成分為3060重量％左右的溶液來進(jìn)行涂布。另外，感光性樹脂組合物層的厚度因用途不同而各異，干燥后的厚度優(yōu)選為l200um，更優(yōu)選為1100um，特別優(yōu)選為130um。該厚度小于lum時，工業(yè)上有涂布困難的傾向，該厚度超過200um時，本發(fā)明的效果小，并且靈敏度不充分，抗蝕劑底部的光固化性有變差的傾向。上述涂布可以用例如輥涂、刮刀式涂布(commacoating)、凹版涂布、氣刀涂布、模頭涂布、刮棒涂布、噴涂(^^一3—夕)等公知方法進(jìn)行。并且，干燥可以于70150℃進(jìn)行5分鐘30分鐘左右。另外，從防止后續(xù)工序中有機(jī)溶劑的擴(kuò)散的方面考慮，優(yōu)選感光性樹脂組合物層中殘存的有機(jī)溶劑量為2重量％以下。作為包裝方法，優(yōu)選包在透濕性小的黑色片材(blacksheet)中進(jìn)行包裝。使用上述感光性樹脂層來制造抗蝕劑圖案時，在存在上述保護(hù)膜的情況下，可舉出去除保護(hù)膜后將感光性樹脂組合物層加熱到70130℃左右同時以0.11MPa左右(l10kgf/cn^左右)壓力壓合在電路形成用基板上來進(jìn)行層積的方法等，優(yōu)選在減壓下進(jìn)行層積。被層積的表面通常為金屬面，但沒有特別限制。這樣制作完成了層積的感光性樹脂組合物層上，活性光線通過負(fù)或正掩模圖案照射成圖像狀。作為上述活性光線的光源，可以使用公知的光源，例如碳電弧燈、水銀蒸氣弧光燈、高壓汞燈、氙燈等有效發(fā)射紫外線、可見光等的光源。接下來，曝光后，在感光性樹脂組合物層上存在支持體的情況下，去除支持體，然后利用堿性水溶液、水性顯影液、有機(jī)溶劑等顯影液通過濕法顯影、干法顯影等除去未曝光部分進(jìn)行顯影，從而制造抗蝕劑圖案。作為上述堿性水溶液，可舉出例如，0.15重量％碳酸鈉的稀溶液、0.15重量％碳酸鉀的稀溶液、0.15重量％氫氧化鈉的稀溶液等。上述堿性水溶液的pH優(yōu)選為911的范圍，其溫度調(diào)節(jié)成與感光性樹脂組合物層的顯影性相適應(yīng)。另外，堿性水溶液中也可以混入表面活性劑、消泡劑、有機(jī)溶劑等。作為上述顯影方式，可舉出例如，浸漬方式、噴霧方式、刷(brush)、拍打(slap)等。作為顯影后的處理，根據(jù)需要進(jìn)行6025(TC左右的加熱或進(jìn)行0.210mJ/cn^左右的曝光從而進(jìn)一步固化抗蝕劑圖案來使用。顯影后所進(jìn)行的金屬面的蝕刻可以使用例如氯化銅溶液、氯化鐵溶液、堿性蝕刻溶液等。使用本發(fā)明的感光性元件制造印刷電路板時，以顯影后的抗蝕劑圖案為掩模，用蝕刻、鍍覆等公知方法處理電路形成用基板的表面。作為上述鍍覆方法，例如有銅鍍、焊鍍、鎳鍍、金鍍等。接下來，可以用例如堿性強(qiáng)于顯影所用的堿性水溶液的強(qiáng)堿性水溶液剝離抗蝕劑圖案。作為上述強(qiáng)堿性水溶液，例如使用110重量％氫氧化鈉水溶液、110重量％氫氧化鉀水溶液等。作為上述剝離方式，可舉出例如，浸漬方式、噴霧方式等。另外，形成了抗蝕劑圖案的印刷電路板可以是多層印刷電路板，還可以具有小孔徑通孔。以下，基于合成例、實施例以及比較例詳細(xì)說明本發(fā)明。(合成例1)混合250質(zhì)量份甲基丙烯酸/甲基丙烯酸芐酯的共聚比例以質(zhì)量計為20/80的丙烯酸類共聚物(重均分子量70,000、酸值l90)的40質(zhì)量％丁酮溶液、40質(zhì)量份三羥甲基丙烷丙烯酸酯單體(東亞合成M309)、30質(zhì)量份聚乙二醇二甲基丙烯酸酯(n二4)，進(jìn)而加入0.2質(zhì)量份4，4-二(二乙基氨基)二苯甲酮、4.0質(zhì)量份2，2-二(2-氯苯基)-4,4，5，5-四苯基-l,2-二咪唑、0.2質(zhì)量份孔雀石綠并進(jìn)行攪拌，制備成感光性樹脂組合物1。(實施例1)使用上述感光性樹脂組合物1作為感光性樹脂層，使用聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(膜厚19)im)(帝人杜邦膜株式會社制造，商品名G2)作為支持膜，使用聚乙烯膜(膜厚22pm)(TAMAPOLY株式會社制造，商品名GF816)作為保護(hù)膜，使用涂布器將該感光性樹脂組合物1以寬200mm、厚20μm涂布在寬度為600mm的上述支持膜上，并進(jìn)行干燥形成感光性樹脂層。接下來，以橡膠輥在上述感光性樹脂層上進(jìn)行壓付以便不殘留氣泡，并用寬度為700mm的上述保護(hù)膜進(jìn)行保護(hù)，同時巻取150m，從而制造成主巻材。用復(fù)巻機(jī)對上述主巻材的寬度進(jìn)行截斷，制造距兩端的距離均為25mm、寬度為250mm、膜長150m的如圖1和圖2所示的光刻膠膜巻材，對制造過程中產(chǎn)生的碎片的量進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。并且，以常溫(溫度20℃、濕度50%)保存，對冷流進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。(實施例2)使用感光性樹脂組合物(東京應(yīng)化制，商品名TMMRDF2.5)作為感光性樹脂層，使用聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(膜厚50μm)(帝人杜邦膜株式會社制造，商品名A51)作為支持膜，使用聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(膜厚25pm)(帝人杜邦膜株式會社制造，商品名A31)作為保護(hù)膜，在寬600mm的該支持膜上涂布寬200mm、厚2.5μm的上述感光性樹脂層，并用寬700mm的上述保護(hù)膜進(jìn)行保護(hù)，同時巻取150m，制造成主巻材。用復(fù)巻巻材機(jī)對上述主巻材的寬度進(jìn)行截斷，制造距兩端的距離均為25mm、寬度為250mm、巻長150m的如圖1和圖2所示的光刻膠膜巻材，對制造過程中產(chǎn)生的碎片的量進(jìn)行評價，結(jié)果列于表1。并且，以常溫(溫度20℃、濕度50%)保存，對冷流進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。(實施例3)使用上述感光性樹脂組合物1作為感光性樹脂層，使用聚對苯二甲酸乙二醇酯膜(膜厚19pm)(帝人杜邦膜株式會社制造，商品名G2)作為支持膜，使用聚乙烯膜(膜厚22,)(TAMAPOLY株式會社制造，商品名GF816)作為保護(hù)膜，使用涂布器在寬度為600mm的上述支持膜上涂布兩列寬200mm、厚20pm的上述感光性樹脂組合物1，該感光性樹脂組合物1相對于支持膜平行且兩列之間的間隔為100mm，進(jìn)行干燥，形成感光性樹脂層。接下來，以橡膠輥在上述感光性樹脂層上進(jìn)行壓付以便不殘留氣泡，并用寬度為700mm的上述保護(hù)膜進(jìn)行保護(hù)，同時巻取150m，從而制造成如圖3和圖4所示的主巻材。用復(fù)巻機(jī)對上述主巻材的寬度進(jìn)行截斷，制造2巻距兩端的距離均為25mm、寬度為250mm、巻長150m的如圖1和圖2所示的光刻膠膜巻材。對各光刻膠膜巻材進(jìn)行在制造過程中產(chǎn)生的碎片的量和常溫(溫度20℃、濕度50%)保存中的冷流進(jìn)行了評價。評價結(jié)果為，對于冷流，保存1年以上沒有問題，切斷時未產(chǎn)生碎片，與實施例l同樣地，對于任一評價均獲得良好的結(jié)果。(比較例1)比較例1中，在寬度為600mm的支持膜上以寬600mm、厚20pm涂布感光性樹脂組合物1形成感光性樹脂層，除此以外與實施例1相同地制造得到距兩端的距離均為Omm、寬250mm、巻長150m的光刻膠膜巻材，對制造過程中產(chǎn)生的碎片的量進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。并且，以常溫(溫度20℃、濕度50%)保存，對冷流進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。(比較例2)比較例2中，在寬度為600mm的支持膜上以寬500mm、厚2.5pm涂布感光性樹脂組合物形成感光性樹脂層，除此以外，與實施例2相同地制造得到距兩端的距離均為Omm、寬250mm、巻長150m的光刻膠膜巻材，對制造過程中產(chǎn)生的碎片的量進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。并且，以常溫(溫度20℃、濕度50%)保存，對冷流進(jìn)行評價，結(jié)果列于表l。<table><row><column>評價內(nèi)容j</column><column>實施例1</column><column>比較例1</column><column>實施例2</column><column>比較例2</column></row><row><column>冷流</column><column>〇1年以上沒有問題</column><column>X2周出現(xiàn)冷流</column><column>〇1年以上沒有問題</column><column>X2周出現(xiàn)冷流</column></row><row><column>切斷時碎片的產(chǎn)生情況</column><column>〇未產(chǎn)生</column><column>X產(chǎn)生大量碎片</column><column>〇未產(chǎn)生</column><column>X產(chǎn)生大量碎片</column></row><table>如上所述，由于本申請發(fā)明的光刻膠膜巻材通過以感光性樹脂層的寬度窄于支持膜和保護(hù)膜的形式進(jìn)行涂布來制造，因此在可以在長期保存中抑制冷流的產(chǎn)生這一點(diǎn)上是有效的。進(jìn)而，通過上述構(gòu)成，可以預(yù)先以適當(dāng)?shù)膶挾韧坎几泄庑詷渲?，以此可以在不切斷感光性樹脂層的情況下對光刻膠膜巻材的寬度進(jìn)行切斷以進(jìn)行加工，從而在可以抑制在切斷時產(chǎn)生固體感光性樹脂層的碎片、形成顆粒這一點(diǎn)上是有效的。權(quán)利要求1、一種光刻膠膜卷材，其用于在基板上形成感光性樹脂圖案并依次由支持膜、感光性樹脂層、保護(hù)膜形成，該光刻膠膜卷材的特征在于，所述支持膜和所述保護(hù)膜的寬度大于所述感光性樹脂層的寬度，并且所述感光性樹脂的寬度方向的兩端位于所述支持膜和所述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的內(nèi)側(cè)。2、如權(quán)利要求1所述的光刻膠膜巻材，其特征在于，從所述感光性樹脂的寬度方向的兩端到所述支持膜和所述保護(hù)膜的寬度方向的兩端的距離均為lmm以上。3、一種光刻膠膜巻材的制造方法，所述光刻膠膜巻材用于在基板上形成感光性樹脂圖案并依次由支持膜、感光性樹脂層、保護(hù)膜形成，該制造方法的特征在于，在所述支持膜上涂布所述感光性樹脂層，在所涂布的感光性樹脂層上貼合所述保護(hù)膜，從而制造權(quán)利要求12任一項所述的光刻膠膜巻材。4、如權(quán)利要求3所述的光刻膠膜巻材的制造方法，其特征在于，對所述支持膜平行地涂布1列以上的所述感光性樹脂層從而制造第一光刻膠膜巻材，以及切斷所述第一光刻膠膜巻材制造1巻以上的第二光刻膠膜巻材。全文摘要本發(fā)明提供光刻膠膜卷材及其制造方法，該光刻膠膜卷材在感光性樹脂層具有流動性且柔軟的情況下可以防止冷流，在感光性樹脂層硬的情況下可以抑制切斷時產(chǎn)生碎片。光刻膠膜卷材中，按照感光性樹脂層(2)的寬度小于支持膜(1a)的寬度的形式進(jìn)行涂布，并且按照感光性樹脂層(2)的寬度小于保護(hù)膜(1b)的寬度的形式進(jìn)行粘接。文檔編號G03F7/004GK101203807SQ20068002196公開日2008年6月18日申請日期2006年5月26日優(yōu)先權(quán)日2005年6月20日發(fā)明者齋藤宏二,植松照博,高橋亨申請人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會社