專利名稱：圖像位置測量裝置及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖像位置測量裝置和曝光裝置，其中，圖像位置測量裝置
具備測量在工件上形成的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置的攝影組件；曝光裝置具備該圖 像位置測量裝置，根據(jù)所述圖像位置測量裝置測量到的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置信 息對在工件上形成的圖像的位置進(jìn)行調(diào)整。
背景技術(shù)：
目前，公知的是例如在作為工件的印刷配線基板(以下，有時稱為"基 板"或"感光材料")等上形成配線圖案的激光曝光裝置。該激光曝光裝 置具備載置作為圖像曝光的對象的印刷配線基板的曝光載物臺，且使該曝 光載物臺沿規(guī)定的輸送路徑移動。
具體而言，載置印刷配線基板的曝光載物臺以規(guī)定的速度朝副掃描方 向移動，在規(guī)定的讀取位置，該印刷配線基板上的例如設(shè)在角部的對位孔 (以下稱為"對準(zhǔn)標(biāo)記"或"基準(zhǔn)標(biāo)記")由CCD攝像機(jī)拍攝。然后，對 照由該拍攝得到的印刷配線基板的位置，將描繪坐標(biāo)系中的描繪對象區(qū)域 進(jìn)行坐標(biāo)變換，由此對圖像數(shù)據(jù)實(shí)施對準(zhǔn)處理。
進(jìn)行對準(zhǔn)處理后，曝光載物臺上的印刷配線基板在規(guī)定的曝光位置根 據(jù)圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)制，并利用在多面反射鏡的作用下向主掃描方向偏轉(zhuǎn)的 激光束對其上面形成的感光性涂膜進(jìn)行掃描、曝光處理。由此，在印刷配 線基板上的規(guī)定區(qū)域(描繪區(qū)域)內(nèi)形成基于圖像數(shù)據(jù)(對應(yīng)于配線圖案) 的圖像(潛像)。
還有，形成有圖像(潛像)的印刷配線基板，在曝光載物臺復(fù)位移動 到初始位置后，從曝光載物臺上取下，取下了印刷配線基板的曝光載物臺 向?qū)⑾乱挥∷⑴渚€基板曝光的工序轉(zhuǎn)移(例如，參照專利文獻(xiàn)l)。
這樣，在輸送印刷配線基板的同時調(diào)制/照射激光束，由此，在該基板
上形成圖像的激光曝光裝置中，為了正確地對準(zhǔn)與印刷配線基板的描繪區(qū) 域相對應(yīng)的曝光位置，而對作為曝光位置基準(zhǔn)的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝，基于 該位置(基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù))的測定結(jié)果，使曝光位置對準(zhǔn)適當(dāng)位置。S卩，測 定曝光載物臺上的基板的位置及基板自身的變形，與其相對應(yīng)而對曝光圖 像的位置進(jìn)行修正。
專利文獻(xiàn)1:日本特開2000-338432號公報
但是，用于攝影的透鏡存在變形，即使是CCD攝像機(jī)等攝像元件， 也存在像素間距的誤差或元件本身的變形。雖然這些變形微小，但是對于 對準(zhǔn)標(biāo)記的位置測量精度要求高的情況下，存在不能忽視給予對準(zhǔn)標(biāo)記攝 影精度的影響的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于所述情況而開發(fā)的，其目的在于，提供一種圖像位置 測量裝置和具有該圖像位置測量裝置的曝光裝置，能夠避免攝像元件及透 鏡的變形造成的影響，提高工件上附帶的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置測量精度。
為實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明的第一方面提供一種圖像位置測量裝置，其具備攝影組件，其包括攝像元件及/或透鏡，用于測量在工件上形成的基 準(zhǔn)標(biāo)記的位置；修正組件，其修正所述攝像元件及/或透鏡的變形。
而且，在所述第一方面的圖像位置測量裝置中，所述修正組件也可以 預(yù)先測定由于所述攝像元件及/或所述透鏡的變形產(chǎn)生的攝影圖像的變形， 根據(jù)由測定得到的變形數(shù)據(jù)對攝影圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。
根據(jù)所述構(gòu)成的圖像位置測量裝置，由于得到修正了攝像元件及/或透 鏡的變形的攝影圖像數(shù)據(jù)，故能夠提高基準(zhǔn)標(biāo)記的攝影精度(位置測量精 度)。
另外，所述第一方面的圖像位置測量裝置中，所述攝影組件也可以具 備能用于使所述透鏡以其光軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動及固定的機(jī)構(gòu)。
根據(jù)所述構(gòu)成的圖像位置測量裝置，能夠容易地選擇使用透鏡變形最 小的區(qū)域。另外，雖然通常若提高透鏡的放大率則變形增加，但因?yàn)槟軌?選擇即使透鏡的放大率提高也可以使變形的影響最小的區(qū)域，所以可以使 用價格較低廉的透鏡。因而，在成本方面也有優(yōu)點(diǎn)。
另外，在所述第一方面的圖像位置測量裝置中，也可以將多個所述攝像元件一維排列。
根據(jù)所述構(gòu)成的圖像位置測量裝置，由于變形修正數(shù)據(jù)僅是一維的，因此，能夠容易地修正攝影圖像數(shù)據(jù)。另外，由于透鏡的使用區(qū)域窄，故 也具有可容易地選擇透鏡的變形為最小的部分的優(yōu)點(diǎn)。
另外，所述第一方面的圖像位置測量裝置中，也可以具備能載置所述 工件且能沿著規(guī)定的輸送路移動的載物臺，在使該載物臺移動的同時對在 工件上形成的所述基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。
根據(jù)所述構(gòu)成的圖像位置測量裝置，實(shí)現(xiàn)了相對于工件的處理效率的 提高。由此，生產(chǎn)效率得以提高。
另外，本發(fā)明第二方面提供一種曝光裝置，其具備圖像位置測量裝 置，其具有包括攝像元件及/或透鏡且用于測量在工件上形成的基準(zhǔn)標(biāo)記的 位置的攝影組件和修正所述攝像元件及/或透鏡的變形的修正組件；曝光組 件，其基于圖像數(shù)據(jù)對所述工件進(jìn)行曝光，所述圖像數(shù)據(jù)通過基于由所述 圖像位置測量裝置拍攝的所述基準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息進(jìn)行修正而得到。
根據(jù)所述第二方面的曝光裝置，能夠正確地對工件進(jìn)行曝光處理。
根據(jù)以上的本發(fā)明，可提供一種圖像位置測量裝置和具備該圖像位置 測量裝置的曝光裝置，能夠避免攝像素子和透鏡的變形導(dǎo)致的影響，提高 工件上附帶的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置測量精度。


圖1是表示曝光裝置的概略立體圖2是表示曝光裝置的概略側(cè)視圖3是表示曝光裝置的概略俯視圖4是表示曝光載物臺的概略立體圖5是表示曝光頭組件的概略立體圖6A是表示基于曝光頭組件的曝光區(qū)域的概略俯視圖6B是表示曝光頭部件的排列圖案的概略俯視圖7是表示單一曝光頭部件中的點(diǎn)圖案的排列狀態(tài)的概略俯視圖8是表示對準(zhǔn)組件的概略立體圖9是表示攝影圖像和基準(zhǔn)圖的概略俯視圖10A是表示修正矢量的概略俯視圖10B是修正矢量的說明圖11是表示線性圖像傳感器和透鏡的概略俯視圖12是表示線性圖像傳感器中的攝影圖像和基準(zhǔn)圖的概略俯視圖13是表示由攝影圖像和基準(zhǔn)圖導(dǎo)出的修正量的圖表；
圖14是表示攝像機(jī)部的構(gòu)成的概略立體圖15是表示由攝影圖像和基準(zhǔn)圖導(dǎo)出的修正量的圖表；
圖16是表示曝光開始時期修正程序的控制流程圖。
符號說明
10曝光裝置
20曝光載物臺(載物臺)
28曝光頭組件(曝光組件)
30對準(zhǔn)組件(圖像位置測量裝置)
38攝像機(jī)部(攝影組件)
38A攝像機(jī)主體(攝像元件)
38B透鏡部(透鏡)
50控制部(圖像位置測量裝置)
60感光材料(工件)
70變形修正組件(修正組件)
具體實(shí)施例方式
下面，基于附圖所示的實(shí)施例詳細(xì)說明本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。圖1 是本發(fā)明的曝光裝置的概略立體圖，圖2是曝光裝置的概略側(cè)視圖，圖3 是曝光裝置的概略俯視圖。還有，圖3中，設(shè)箭頭W為寬度方向，設(shè)箭 頭D為移動方向或掃描方向。圖2中，設(shè)箭頭DA為往路方向，設(shè)箭頭 DB為復(fù)路方向。
(曝光裝置的構(gòu)成)
如圖1 圖3所示，曝光裝置10的構(gòu)成為，在將棒狀的方管組裝成框 狀而構(gòu)成的矩形框體12中收容各部分，且在該框體12上鋪設(shè)未圖示的面
板。由此，曝光裝置io具有與外部隔離的構(gòu)成。
框體12具有高的框體部12A和以從該框體部12A的一側(cè)面突出的方 式設(shè)置的載物臺部12B。載物臺部12B的構(gòu)成為，其上面比框體12A低， 操作者站在載物臺部12B的前面時，在大致腰部高度的位置。
在載物臺部12B的上面設(shè)有開閉蓋14。在開閉蓋14的框體部12A側(cè) 的一邊安裝有未圖示的鉸鏈，以該邊作為中心，能夠進(jìn)行開閉動作。而且， 在開閉蓋14處于開放狀態(tài)的載物臺部12B的上面，可以露出曝光載物臺 20 (參考圖4)。
另外，自載物臺部12B—直到框體部12A，延伸設(shè)有作為曝光載物臺 20的移動軌跡基準(zhǔn)的平板18。該平板18支承在被牢固固定于構(gòu)成框體部 12A的方管上的臺架16上。另外，平板18的長度方向(移動方向)一端 部直到載物臺部12B，在曝光載物臺20位于該位置的狀態(tài)下，操作者在 曝光載物臺20上可以載置或取出感光材料60。
另外，在平板18的上面配設(shè)有沿其長度方向彼此平行的一對滑動導(dǎo) 軌22，在曝光載物臺20的下面安裝的截面"- "字狀的腳部20A (參照 圖4)能夠滑動地支承在該滑動導(dǎo)軌22上。而且，曝光載物臺20支承在 該滑動導(dǎo)軌22上，由此，可以幾乎沒有摩擦阻力(在設(shè)有軸承等的情況 下，僅有該軸承的滾動阻力)地沿掃描方向滑動。
另外，在平板18的上面，在一對滑動導(dǎo)軌22間配置有線性電動機(jī)部 24。該線性電動機(jī)部24為應(yīng)用了步進(jìn)電動機(jī)的驅(qū)動力的直線型驅(qū)動源， 其具有沿平板18的長度方向設(shè)置的棒狀定子部(磁鐵部)24A (參照圖 2)、和設(shè)置在曝光載物臺20的下面?zhèn)炔⑴c定子部24A保持規(guī)定間隔配置 的線圈部24B。
因此，曝光載物臺20的構(gòu)成為，利用通過向線圈部24B的通電產(chǎn)生 的磁場和定子部24A的磁場的磁力作用獲得驅(qū)動力，沿著滑動導(dǎo)軌22在 平板18上沿其長度方向(掃描方向)移動。另外，由于其原理和步進(jìn)電 動機(jī)一樣，因此，曝光載物臺20通過定速性、定位精度及始動時、停止 時的轉(zhuǎn)矩變動等電控制，可以進(jìn)行精度高的驅(qū)動控制。
另外，在線性電動機(jī)部24設(shè)有未圖示的線性編碼器。該線性編碼器 的構(gòu)成為，在曝光載物臺20和線圈部24B —起相對定子部24A向掃描方
向相對移動時，將對應(yīng)其往復(fù)移動方向的極性的脈沖信號向脈沖計數(shù)器輸 出與移動量成比例的脈沖數(shù)。
在曝光載物臺20的上面，以通過未圖示的定位裝置定位在規(guī)定位置的狀態(tài)載置作為曝光對象物的矩形平板狀的感光材料60。曝光載物臺20 其載置面上設(shè)有多個槽(省略圖示)，在將感光材料60以定位在規(guī)定位置 的狀態(tài)載置后，通過由真空泵等使槽內(nèi)成為負(fù)壓，從而能夠?qū)⒏泄獠牧?0 吸附保持。
在感光材料60上設(shè)有多個表示其曝光面上的描繪區(qū)域中的曝光位置 基準(zhǔn)的對準(zhǔn)標(biāo)記(基準(zhǔn)標(biāo)記)M。該對準(zhǔn)標(biāo)記M例如圖3所示，由圓形的 貫通孔構(gòu)成，在靠近感光材料60的角部附近各配置1個，合計配置4個。
在曝光載物臺20的平板18上的移動軌跡的大致中間位置配置有曝光 頭組件28 (參照圖5)。曝光頭組件28以架設(shè)在分別立設(shè)于平板18的寬 度方向兩端部的外側(cè)的一對支柱26上的方式設(shè)置，將曝光頭組件28和平 板18之間設(shè)置成使載物臺20能夠通過。
曝光頭組件28的構(gòu)成為，多個曝光頭部件28A沿平板18的寬度方向 排列，使曝光載物臺20以定速移動，同時以規(guī)定的定時自各曝光頭部件 28A向曝光載物臺20上的感光材料60照射多個光束，由此能夠?qū)υ摳泄?材料60的曝光面(描繪區(qū)域)進(jìn)行曝光。
構(gòu)成曝光頭組件28的曝光頭部件28A如圖6B所示，排列成為m行n 列(例如2行5列)的大致矩陣形狀，這多個曝光頭部件28A在與曝光載 物臺20的移動方向(掃描方向)正交的方向(寬度方向)排列。這里， 根據(jù)與感光材料60的寬度的關(guān)系，形成2行5列合計10個曝光頭部件28A。
另外，1個曝光頭部件28A的曝光區(qū)域28B成為以掃描方向?yàn)槎踢叺?矩形形狀，并且相對該掃描方向以規(guī)定的傾斜角傾斜，隨著曝光載物臺20 的移動，在感光材料60上對每個曝光頭部件28A形成帶狀的曝光結(jié)束區(qū) 域28C (參照圖6A)。
另一方面，如圖1所示，在框體部12A內(nèi)，在不妨礙平板18上的曝 光載物臺20的移動的其他位置配設(shè)光源組件48。該光源組件48收容有多 個激光器(半導(dǎo)體激光器)，由該激光器射出的光通過光纖(省略圖示) 導(dǎo)向每個曝光頭部件28A。
各曝光頭部件28A通過作為空間光調(diào)制元件的未圖示的數(shù)字微透鏡 裝置(DMD)，以點(diǎn)單位控制被光纖引導(dǎo)并入射的光束，相對于感光材料 60曝光點(diǎn)圖案。在此，用多個點(diǎn)圖案表現(xiàn)l個像素的濃度。
另外，如圖7所示，曝光區(qū)域28B (1個曝光頭部件28A)由二維排 列(例如4X5)的20個點(diǎn)形成。而且，二維排列的點(diǎn)圖案相對掃描方向 傾斜，由此在掃描方向排列的各點(diǎn)通過在與掃描方向交叉的方向排列的點(diǎn) 間，可縮窄實(shí)質(zhì)上的點(diǎn)間間距。由此，成為實(shí)現(xiàn)高析像度化的構(gòu)成。
另外，如上所述，曝光頭部件28A的傾斜有時因曝光裝置IO的標(biāo)準(zhǔn) 析像度的設(shè)定而在同一掃描線上重復(fù)多個點(diǎn)圖案。這種情況下，只要使對 應(yīng)任何一點(diǎn)圖案(例如圖7中斜線表示的點(diǎn)圖案)的DMD處于常閉狀態(tài)， 設(shè)置不使用的點(diǎn)圖案即可。
在此，對在曝光載物臺20上定位載置的感光材料60的曝光處理中， 將感光材料60載置在曝光載物臺20上，不在沿平板18上的滑動導(dǎo)軌22 向里側(cè)移動時(往路)執(zhí)行，而在暫時到達(dá)平板18的里側(cè)(框體部12A 側(cè))端部后向載物臺部12B返回時(復(fù)路)執(zhí)行。
即，曝光載物臺20的往路行駛是用于得到曝光載物臺20上的感光材 料60的位置信息的移動，作為得到該位置信息的組件，在平板18上配置 有圖8所示的對準(zhǔn)組件30 (圖像位置測量裝置)。對準(zhǔn)組件30設(shè)置在比曝 光頭組件28靠往路方向里側(cè)，架設(shè)在分別立設(shè)于平板18的寬度方向兩端 部的外側(cè)的一對支柱26上。
該對準(zhǔn)組件30包括兩端固定在一對支柱26上的基座部32;相對該 基座部32的掃描方向的一面(與曝光頭組件28對置的面)向平板18的 寬度方向能夠移動地設(shè)置的多個(例如4臺)攝像機(jī)部38。攝像機(jī)部38 通過攝像機(jī)底座40可滑動地安裝在沿基座部32配設(shè)的相互平行的一對導(dǎo) 軌部34上，并且能夠分別獨(dú)立地移動。
再者，攝像機(jī)部38在攝像機(jī)主體38A (攝像元件)的下面設(shè)有透鏡 部38B，在透鏡部38B的突出前端部安裝有環(huán)狀的閃光光源(LED閃光光 源)38C。透鏡部38B以透鏡光軸大致呈垂直的方式向下方配置，從閃光 光源38C發(fā)出的光向曝光載物臺20上的感光材料60照射，將其反射光通 過透鏡部38B輸入到攝像機(jī)主體38A，由此，能夠拍攝感光材料60上的對準(zhǔn)標(biāo)記M。
攝像機(jī)底座40通過各滾珠絲杠機(jī)構(gòu)部36的驅(qū)動，能夠朝平板18的 寬度方向移動，通過曝光載物臺20的移動和基于滾珠絲杠機(jī)構(gòu)部36的驅(qū) 動力的朝平板18的寬度方向的移動，能夠?qū)⑼哥R部38B的光軸配置在感 光材料60的所期望的位置。
在此，攝像機(jī)主體38A (攝像元件)中，存在像素間距的誤差或元件 自身的變形，且透鏡部38B也存在變形。雖然這些變形是微小的，但是在 要求的對準(zhǔn)標(biāo)記M的位置測量精度高的情況下，不能忽視給予對準(zhǔn)標(biāo)記 M的攝影精度的影響。因此，在攝像機(jī)主體38A和透鏡部38B上設(shè)有變 形修正組件70。
作為變形修正組件70，例如如圖9所示，考慮通過拍攝變形修正用的 基準(zhǔn)圖72 (用虛線表示)，并測定視野內(nèi)的圖像的變形(修正矢量H)進(jìn) 行修正。也就是說，該基準(zhǔn)圖72例如用玻璃等精度穩(wěn)定(平時尺寸不變 化)的材質(zhì)制成，用像素(點(diǎn))單位，判斷與實(shí)際攝影圖像(用實(shí)線表示) 的相對位置關(guān)系，從而形成多個鍍鉻圖案K。
例如，在二維區(qū)域CCD的情況中，該鍍鉻圖案K形成格子狀，可以 對圖10A所示的每個區(qū)域74測定修正矢量H(修正方向和修正量)。因此， 根據(jù)其測定結(jié)果，對每個區(qū)域74算出修正矢量H，只要將由該修正量H 導(dǎo)出的變形數(shù)據(jù)作為每個區(qū)域74的固定值保持，就可以在拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記 M時，對攝影圖像數(shù)據(jù)的像素單位(每個區(qū)域74)自動地執(zhí)行修正。
另外，如圖10B所示，也可以為將修正矢量H作為視野內(nèi)的(x，y) 坐標(biāo)的函數(shù)f保持修正的構(gòu)成。即，也可以將修正矢量H的x方向及y方 向的修正量(Hx， Hy)作為(Hx， Hy) = (fl (x， y) ，G (x， y))， (fl、 ￡2: (x， y)的函數(shù))，在拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M時，通過該函數(shù)fl、 f2自動地 修正。
另外，攝像機(jī)主體38A (攝像元件)如圖11所示，理想的是一維排 列的線性圖像傳感器(線性CCD)。該情況下，對準(zhǔn)標(biāo)記M在掃描方向(箭 頭D方向)分割成多列而被拍攝，根據(jù)該結(jié)構(gòu)，如圖12所示，攝像機(jī)主 體38A及透鏡部38B的變形的影響(修正矢量H)由于僅為一個方向(x 方向)(線狀)，因此可以容易地修正攝影圖像數(shù)據(jù)。還有，圖13用圖表表示圖12所示的鍍鉻圖案K上(x方向)的變形量(修正量)Hx。
再有，理想的構(gòu)成是，將透鏡部38B設(shè)成以光軸為中心可以轉(zhuǎn)動(向 正反方向旋轉(zhuǎn))及在任意位置可以固定。即，例如圖14所示，在透鏡部 38B上部固定以與光軸同軸的方式被軸支承的從動齒輪76，且設(shè)有步進(jìn)電 動機(jī)80，該步進(jìn)電動機(jī)80具有與該從動齒輪76嚙合的驅(qū)動齒輪78。根 據(jù)這樣的構(gòu)成，通過步進(jìn)電動機(jī)80的朝正反方向的旋轉(zhuǎn)，從而可經(jīng)由驅(qū) 動齒輪78驅(qū)動從動齒輪76朝正反方向旋轉(zhuǎn)，因此可使透鏡部38B朝正反 方向旋轉(zhuǎn)。
因此，在透鏡部38B，能夠容易地選擇使用變形最小的部位，能夠提 高對準(zhǔn)標(biāo)記M的攝影精度(位置測量精度)。特別是如圖11所示，當(dāng)攝 像機(jī)主體38A為線性圖像傳感器(線性CCD)時，透鏡部38B中透鏡的 使用區(qū)域變窄(成為線性)，故通過其轉(zhuǎn)動(朝正反方向旋轉(zhuǎn))能夠容易 地選擇變形最小的部位。
例如圖15所示，當(dāng)表示x方向的變形量Hx的曲線ci 、 P、 Y分別對 應(yīng)圖ll所示的部位a、 P、 Y時，可以選擇變形量(修正量)Hx的值為 最小的Y部位，對對準(zhǔn)標(biāo)記M進(jìn)行拍攝。由此，即使透鏡的放大率提高， 由于能夠容易地選擇變形影響最小的區(qū)域，故也具有可使用價格較低的透 鏡的優(yōu)點(diǎn)。
總之，曝光載物臺20和感光材料60中，操作者將感光材料60載置 在曝光載物臺20上時，為了確定其相對位置關(guān)系，會產(chǎn)生若干偏移。因 此，需要通過攝像機(jī)部38拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M。
由此，識別曝光載物臺20上載置的感光材料60的位置偏移，對基于 和曝光載物臺20有已知的相對關(guān)系的曝光頭組件28的曝光定時進(jìn)行修 正，由此能夠?qū)⒏泄獠牧?0和圖像數(shù)據(jù)的相對位置(曝光開始位置)最 優(yōu)化。
另外，如圖4所示，在曝光載物臺20上面的往路方向里側(cè)的端部設(shè) 有檢測攝像機(jī)部38的位置并且以此位置為基準(zhǔn)進(jìn)行對準(zhǔn)處理的攝像機(jī)更 正用的基準(zhǔn)刻度S。該基準(zhǔn)刻度S用例如玻璃等精度穩(wěn)定(平時的尺寸不 變化)的材質(zhì)構(gòu)成，在其上面以規(guī)定間隔配置多個標(biāo)記。通過用攝像機(jī)部 38拍攝該標(biāo)記，能夠正確地判斷攝像機(jī)部38相對于曝光載物臺20上面的位置，即使在感光材料60錯位地載置在曝光載物臺20上的情況下，也可 以用攝像機(jī)部38拍攝(測定)對準(zhǔn)標(biāo)記M。
另外，使曝光載物臺20移動的線性電動機(jī)部24、曝光頭部件28A、 攝像機(jī)部38等與控制它們的控制部50連接。通過該控制部50，控制載物 臺20以規(guī)定的速度移動，控制攝像機(jī)部38以規(guī)定的定時對感光材料60 的對準(zhǔn)標(biāo)記M進(jìn)行拍攝，控制曝光頭部件28A以規(guī)定定時對感光材料60 進(jìn)行曝光。
另外，通過該控制部50對攝像機(jī)主體38A及透鏡部38B的變形進(jìn)行 修正。即，該控制部50也具有作為具備變形修正組件70的圖像位置測量 裝置的功能。另外，在攝像機(jī)主體38A為線性圖像傳感器(線性CCD) 的情況下，在用該攝像機(jī)主體38A分割拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M的期間，閃光光 源38C對感光材料60 (對準(zhǔn)標(biāo)記M)連續(xù)地照射光。
在此，進(jìn)一步對賦予在感光材料60上的對準(zhǔn)標(biāo)記M進(jìn)行檢測，并對 掌握感光材料60和曝光頭組件28的相對位置關(guān)系的方法進(jìn)行說明。在控 制部50的攝像機(jī)動作控制部中，當(dāng)輸入曝光載物臺動作控制信號時，就 對攝像機(jī)部38輸出起動信號。通過該起動信號使攝像機(jī)部38起動而成為 攝影待機(jī)狀態(tài)。
另外，在控制部50的觸發(fā)信號生成部，當(dāng)對線性編碼器的輸出脈沖 進(jìn)行計數(shù)的脈沖計數(shù)器取得規(guī)定的計數(shù)值時(例如將與輸送到往路移動的 曝光載物臺20上的感光材料60的對準(zhǔn)標(biāo)記M進(jìn)入攝像機(jī)部38的攝影視 場角內(nèi)的位置對應(yīng)的脈沖數(shù)進(jìn)行計數(shù)時)，生成觸發(fā)信號而將其向攝像機(jī) 動作控制部及閃光發(fā)光控制部輸送。
在該觸發(fā)信號的輸入定時，在攝像機(jī)動作控制部對攝像機(jī)部38輸出 定時信號，攝像機(jī)部38進(jìn)行攝影。另外，在閃光發(fā)光控制部對閃光光源 38C輸出定時信號，閃光光源38C與攝像機(jī)部38的攝影動作連動而發(fā)光。 這樣，使曝光載物臺20的動作定時(移動動作)和基于攝像機(jī)部38的攝 影定時及閃光光源38C的發(fā)光定時取得同步。
另外，將曝光載物臺動作控制信號與感光材料60的尺寸數(shù)據(jù)一起輸 入到寬度方向位置設(shè)定部，通過該寬度方向位置設(shè)定部，控制滾珠絲杠機(jī) 構(gòu)部36的動作，對攝像機(jī)部38相對于平板18的寬度方向位置進(jìn)行調(diào)整。由此，對準(zhǔn)標(biāo)記M成為不易從攝像機(jī)部38的視野離開的構(gòu)成，在曝光載 物臺20的往路移動中，可通過攝像機(jī)部38拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M。
通過攝像機(jī)部38拍攝的數(shù)據(jù)被輸出到攝影數(shù)據(jù)解析部，進(jìn)行攝影數(shù) 據(jù)的解析?；旧嫌捎谂臄z到的圖像數(shù)據(jù)是模擬數(shù)據(jù)(光電轉(zhuǎn)換后，將光 量變換成電壓)，故將該模擬數(shù)據(jù)變換為數(shù)字圖像數(shù)據(jù)，將數(shù)字圖像數(shù)據(jù) 與位置數(shù)據(jù)一起進(jìn)行數(shù)值(濃度值)管理。
將用攝影數(shù)據(jù)解析部解析的數(shù)字圖像數(shù)據(jù)輸出到標(biāo)記提取部，再將提 取出的該對準(zhǔn)標(biāo)記M輸出到標(biāo)記對照部。另外，將與數(shù)字圖像數(shù)據(jù)對應(yīng) 的位置數(shù)據(jù)輸出到曝光位置修正系數(shù)運(yùn)算部。然后，在標(biāo)記對照部中，將 提取出的對準(zhǔn)標(biāo)記M的圖像數(shù)據(jù)和預(yù)先存儲于標(biāo)記數(shù)據(jù)儲存器中的標(biāo)記 數(shù)據(jù)進(jìn)行對照，將表示一致/不一致的信號輸出到曝光位置修正系數(shù)運(yùn)算 部。
在曝光位置修正系數(shù)運(yùn)算部，進(jìn)行對照的結(jié)果是，識別與判斷為一致 的標(biāo)記數(shù)據(jù)對應(yīng)的位置數(shù)據(jù)和原來的(設(shè)計上的)對準(zhǔn)標(biāo)記M的位置數(shù) 據(jù)的誤差，運(yùn)算曝光位置(曝光載物臺20的移動方向的曝光開始位置以 及曝光載物臺20的寬度方向的點(diǎn)的移動位置)的修正系數(shù)，并將其輸出 到曝光控制系統(tǒng)。而且，為了使感光材料60上記錄的圖像的位置成為適 當(dāng)位置，而基于該修正系數(shù)進(jìn)行曝光頭組件28的各曝光頭部件28A的對 圖像記錄(曝光)開始時期等的修正。
即，從根據(jù)輸入的各對準(zhǔn)標(biāo)記M的圖像數(shù)據(jù)(基準(zhǔn)位置數(shù)據(jù))判明 的圖像內(nèi)的對準(zhǔn)標(biāo)記M的位置及對準(zhǔn)標(biāo)記M之間的間距等、和拍攝該對 準(zhǔn)標(biāo)記M時的曝光載物臺20的位置及攝像機(jī)部38的位置，通過運(yùn)算處 理，掌握曝光載物臺20上的感光材料60的位置偏差、相對于移動方向的 傾斜、尺寸精度誤差等，算出感光材料60相對于曝光面(描繪區(qū)域)的 適當(dāng)?shù)钠毓馕恢谩?br> 另外，將對應(yīng)于曝光圖案的圖像數(shù)據(jù)暫且儲存在控制部50內(nèi)的儲存 器內(nèi)。因此，在各曝光頭部件28A進(jìn)行圖像曝光時，基于該儲存器內(nèi)儲存 的曝光圖案的圖像數(shù)據(jù)生成的控制信號以重合于適當(dāng)?shù)钠毓馕恢枚M(jìn)行 圖像曝光的方式被修正控制(對準(zhǔn))。還有，該曝光數(shù)據(jù)是將構(gòu)成圖像的 各像素的濃度用二值(記錄點(diǎn)的有無)表示的數(shù)據(jù)。
另外，如圖2所示，包含平板18上的曝光頭組件28的里側(cè)以相對于 框體部12A內(nèi)的空間進(jìn)一步隔離的方式設(shè)有腔室42。即，在該腔室42內(nèi) 配置曝光頭組件28和對準(zhǔn)組件30，并將平板18從腔室42內(nèi)向載物臺部 12B延設(shè)，僅有曝光載物臺20朝腔室42內(nèi)外移動。
在腔室42的頂部安裝有送風(fēng)管44的一端部，送風(fēng)管44的另一端部 安裝在送風(fēng)機(jī)46的空氣排出口。因此，當(dāng)送風(fēng)機(jī)46動作時，通過送風(fēng)管 44向腔室42內(nèi)送入空氣。
若向腔室42內(nèi)送入空氣，則腔室42內(nèi)形成正壓，通過曝光載物臺 20的移動空間，向載物臺部12B流動。通過該流動，能夠?yàn)楸M可能地回 避灰塵而將曝光頭組件28周圍及對準(zhǔn)組件30周圍的灰塵排出，并且，即 使在開閉蓋14打開時(感光材料60對曝光載物臺20進(jìn)行拆卸時)，通過 壓力差也能夠防止新的灰塵進(jìn)入。
另外，在曝光頭組件28的曝光載物臺20的往路方向面前側(cè)，即靠近 載物臺部12B的一側(cè)，在平板18的整個寬度方向上配置有除電裝置(電 離裝置)52。除電裝置52由中空管狀的吹出部52A和向該吹出部52A供 給離子化的空氣的離子發(fā)生部52B構(gòu)成，將離子化后的空氣吹向平板18。
感光材料60由于其基本材質(zhì)而附帶靜電，且電荷帶電，由此具有吸 引灰塵的性質(zhì)。因?yàn)橥ㄟ^靜電吸引而附著的灰塵僅僅靠空氣流動是不能夠 完全清除的，故需要通過除電裝置52清除。具體而言，在離子發(fā)生部52B 內(nèi)，通過接地電極和放電電極之間產(chǎn)生電暈放電，由此生成離子，通過送 風(fēng)源將該離子引導(dǎo)向吹出部52A吹出，通過將因靜電而帶電的灰塵和不同 極性的離子極性中和，進(jìn)行除電。
由此，在載置感光材料60的曝光載物臺20在平板18上移動時，感
光材料60的表面被除電，從而可除去由于靜電而附著的灰塵，并且，通 過吹送空氣，可除去在曝光載物臺20的上方空間浮游的灰塵。 (曝光裝置的作用) 下面，對以上的曝光裝置10的作用進(jìn)行說明。另外，作為通過曝光 裝置10進(jìn)行圖像曝光的感光材料60，可列舉在作為形成(圖像曝光)印 刷配線基板及液晶顯示元件等的圖案的材料的基板及玻璃板等的表面上 涂敷感光性環(huán)氧樹脂等光致抗蝕劑或者在干薄膜的情況下層壓而成的曝光材料等。
圖16是表示曝光開始時期修正程序的流程圖。首先，將感光材料60載置于曝光載物臺20上(載置面)。然后，通過真空泵等使槽內(nèi)成為負(fù)壓， 將感光材料60吸附保持在載置面上。其后，在步驟100中判斷是否有曝 光開始指示，如果判斷為肯定，則進(jìn)入到步驟102，指示攝像機(jī)部38起動。 另外，在步驟100中判斷為否定時，該程序結(jié)束。
當(dāng)在步驟102中指示攝像機(jī)部38起動時，接著進(jìn)入到步驟104，判 斷感光材料60的尺寸數(shù)據(jù)是否輸入。如果在該步驟104中判斷為肯定， 則進(jìn)入到步驟106，根據(jù)輸入的尺寸數(shù)據(jù)，驅(qū)動控制滾珠絲杠機(jī)構(gòu)部36， 由此調(diào)整攝像機(jī)部38相對于平板18的寬度方向位置。
步驟108中，判斷調(diào)整是否結(jié)束，如果判斷為肯定，則進(jìn)入到步驟 110，開始將感光材料60吸附保持在載置面上的載物臺20的往路移動。 即，通過線性電動機(jī)部24的驅(qū)動力，使曝光載物臺20沿平板18的滑動 導(dǎo)軌22從載物臺部12B朝框體部12A的里側(cè)定速移動。
還有，在曝光載物臺20的往路移動中，在步驟112，將設(shè)在線性電 動機(jī)部24上的線性編碼器的輸出脈沖通過脈沖計數(shù)器計數(shù)，由此識別曝 光載物臺20的位置(即使是線性電動機(jī)部24的驅(qū)動脈沖也可以判別)， 在步驟114中判斷是否是攝影定時。
即，判斷曝光載物臺20的移動方向前端是否在通過攝像機(jī)部38的正 下方的之前的位置，如果判斷為肯定，則進(jìn)入步驟116開始攝影。由此， 由攝像機(jī)部38對預(yù)先附帶于感光材料60上的對準(zhǔn)標(biāo)記M進(jìn)行拍攝。
即，在對準(zhǔn)標(biāo)記M到達(dá)規(guī)定的攝影位置的定時，使攝像機(jī)部38的閃 光光源38C發(fā)光。然后，將照射到感光材料60上的閃光的在感光材料60 上面的反射光，通過透鏡部38B輸入攝像機(jī)主體38A，由此對對準(zhǔn)標(biāo)記M 進(jìn)行拍攝。
然后，在隨后的步驟118中，確認(rèn)曝光載物臺20的位置，在步驟120 中，判斷是否是攝影結(jié)束定時。即，判斷曝光載物臺20的移動方向后端 是否已經(jīng)通過了對準(zhǔn)組件30的正下方，如果判斷為肯定，則進(jìn)入步驟122， 結(jié)束攝影。
另外，在拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M時，通過變形修正組件70修正攝像機(jī)主體
38A及/或透鏡部38B的變形。即，在攝像機(jī)主體38A (攝像元件)是區(qū) 域CCD(二維)的情況下，如圖9所示，將每個區(qū)域74的修正矢量H(變 形修正數(shù)據(jù))作為固定值保持，修正攝影圖像數(shù)據(jù)，或如圖IOA及圖10B 所示，將每個區(qū)域74的修正矢量H (變形修正數(shù)據(jù))作為(x， y)的函 數(shù)保持，修正攝影圖像數(shù)據(jù)。
然后，攝像機(jī)主體38A (攝像元件)是線性CCD (—維)時(參照 圖11)，如圖12所示，其修正矢量H (變形修正數(shù)據(jù))僅在單方向(僅在 x方向)，同樣地修正攝影圖像數(shù)據(jù)。還有，當(dāng)修正矢量H(變形修正數(shù)據(jù)) 僅在單方向(僅在x方向)時，具有能夠容易地修正攝影圖像數(shù)據(jù)的優(yōu)點(diǎn)。 再有，在攝像機(jī)主體38A (攝像元件)是線性CCD (—維).時，對準(zhǔn)標(biāo)記 M在掃描方向(箭頭D方向)被分割成多列而進(jìn)行拍攝，由此也能夠抑 制攝像機(jī)主體38A (攝像元件)的變形的影響。
另外，如圖14所示，若透鏡部38B可以旋轉(zhuǎn)及可以固定，則特別是 在攝像機(jī)主體38A (攝像元件)是線性CCD (—維)的情況下，透鏡使用 區(qū)域變窄，因此，能夠容易地選擇其變形量最小的部位。因此，能夠提高 對準(zhǔn)標(biāo)記M的攝影精度(位置測量精度)。
還有，通常如果提高透鏡的放大率則變形增加，但根據(jù)所述的構(gòu)成， 即使提高透鏡的放大率，也能夠容易地選擇變形的影響最小的區(qū)域，因此 能夠使用較廉價的透鏡。所以，在成本方面也是有優(yōu)點(diǎn)的。
這樣，用攝像機(jī)部38拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記M后，在步驟124解析所拍攝的 數(shù)據(jù)，接著，進(jìn)入步驟126，提取相當(dāng)于對準(zhǔn)標(biāo)記M的圖像數(shù)據(jù)。然后， 在隨后的步驟128內(nèi)，從標(biāo)記數(shù)據(jù)儲存器讀出基準(zhǔn)數(shù)據(jù)，在步驟130內(nèi)， 將拍攝并且提取出的標(biāo)記圖像數(shù)據(jù)和預(yù)先儲存的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)進(jìn)行對照。
其后，在步驟132內(nèi)，根據(jù)對照結(jié)果運(yùn)算曝光位置修正系數(shù)，然后進(jìn) 入到步驟134，將運(yùn)算出的修正系數(shù)數(shù)據(jù)向曝光控制系統(tǒng)輸出。由此，修 正基于曝光頭組件28的各曝光頭部件28A的曝光開始時期等，使感光材 料60上記錄的圖像位置成為適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 另外，在曝光材料60上附帶的對準(zhǔn)標(biāo)記M在載物臺20以規(guī)定的速 度移動的同時被檢測。因此，即使本來的對準(zhǔn)標(biāo)記M為圓形時，若使載 物臺20 —邊移動一邊進(jìn)行拍攝，則攝影圖像雖根據(jù)拍攝時的快門速度等而不同，但大致為橢圓形。
因此，標(biāo)記數(shù)據(jù)儲存器內(nèi)儲存的標(biāo)記數(shù)據(jù)成為加進(jìn)了攝像機(jī)部38的
攝影環(huán)境(快門速度、曝光載物臺20的移動速度等)的圖像(橢圓形圖
像)。即，儲存的不是最初的圓形狀，而是與在攝影環(huán)境下實(shí)際使曝光載
物臺20 —邊移動一邊拍攝而得到的圖像對應(yīng)的標(biāo)記數(shù)據(jù)，由此實(shí)現(xiàn)對照 的適當(dāng)化。
這樣，當(dāng)圖像記錄位置修正(曝光開始時期修正)結(jié)束時，開始使感 光材料60吸附保持在載置面上的曝光載物臺20的復(fù)路移動。g卩，通過線 性電動機(jī)部24的驅(qū)動力，使曝光載物臺20沿著平板18的滑動導(dǎo)軌22從 框體部12A向載物臺部12B側(cè)以定度移動。
另外，在曝光載物臺20的復(fù)路移動中，通過將線性發(fā)動機(jī)部24上設(shè) 置的線性編碼器的輸出脈沖由脈沖計數(shù)器進(jìn)行計數(shù)，由此識別曝光載物臺 20的位置(即使是線性發(fā)動機(jī)部24的驅(qū)動脈沖也能夠判別)。
接著，曝光載物臺20通過曝光頭組件28，但此時，在曝光頭組件28 中，根據(jù)修正過的曝光開始時期，向DMD照射激光，將在DMD的微反 射鏡為接通狀態(tài)時反射的激光通過光學(xué)系統(tǒng)向感光材料60引導(dǎo)，在感光 材料60上(曝光面)成像。
即，按多個線的量的每一個依次讀出控制部50的儲存器中儲存的圖 像數(shù)據(jù)，基于讀出的圖像數(shù)據(jù)在每個曝光頭部件28A中生成控制信號。對 該控制信號，通過進(jìn)行修正控制(對準(zhǔn))，增加相對于對準(zhǔn)測定的感光材 料60的曝光位置偏移的修正，感光材料60以和DMD的使用像素數(shù)大致 相同數(shù)量的像素單位曝光。
這樣，感光材料60與載物臺20—起以定速移動，由此在曝光載物臺 20的移動方向的相反方向，對每個曝光頭部件28A形成帶狀的曝光完成 區(qū)域28C (參照圖6A)。然后，當(dāng)相對于感光材料60的曝光處理結(jié)束， 曝光載物臺20向初始位置復(fù)位移動時，感光材料60解除基于曝光載物臺 20的吸附狀態(tài)，被輸送向未圖示的裝置外的輸送設(shè)備，并輸送到下一工序。
由以上說明可知，該曝光裝置10由于具備對攝像機(jī)主體38A及/或透 鏡部38B的變形進(jìn)行修正的變形修正組件70，因此能夠提高對準(zhǔn)標(biāo)記M 的攝影精度(位置測量精度)。因此，可以正確地執(zhí)行相對于感光材料60的描繪區(qū)域(曝光面)的曝光處理。
另外，本實(shí)施例中，由于用于對在感光材料60上記錄的圖像位置進(jìn)行修正的對準(zhǔn)標(biāo)記M的讀取與曝光載物臺20 (感光材料60)的移動同時進(jìn)行，因此，可以提高處理效率(生產(chǎn)性)。另外，本實(shí)施例中是使曝光載物臺20往復(fù)移動的構(gòu)成，因此能夠?qū)⑵毓忸^組件28和對準(zhǔn)組件30接 近配置，實(shí)現(xiàn)曝光裝置10自身的緊湊化(實(shí)現(xiàn)設(shè)置空間的省空間化)。
另外，在本實(shí)施例中，使用DMD作為空間光調(diào)制元件，使照明時間 一定而進(jìn)行接通與斷開，由此生成點(diǎn)圖案，但也可以通過控制接通時間比 (任務(wù))來進(jìn)行脈沖寬度調(diào)制。另外，也可以使一次照明時間極短，通過 照明次數(shù)來生成點(diǎn)圖案。
再有，在本實(shí)施例中，對具備DMD作為空間光調(diào)制元件的曝光頭組 件28進(jìn)行了說明，但除了這種反射型空間光調(diào)制元件以外，也可以使用 透過型空間光調(diào)制元件(LCD)。例如也可以使用MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)型的空間光調(diào)制元件(SLM: Special Light Modulator)、 或者通過光電效應(yīng)來調(diào)制透過光的光學(xué)元件(PLZT元件)或液晶光柵 (FLC)等液晶光柵陣列等MEMS型以外的空間光調(diào)制元件。
還有，MEMS是將基于以IC制造工藝為基礎(chǔ)的微加工技術(shù)的微型傳 感器、促動器、控制電路集成化的微系統(tǒng)的總稱，MEMS型空間光調(diào)制元 件是指被利用了靜電力的電氣機(jī)械動作驅(qū)動的空間光調(diào)制元件。另外，也 可以使用將Grating Light Valve (GLV)排列多個而構(gòu)成二維狀的空間光調(diào) 制元件。在使用這些反射型空間光調(diào)制元件(GLV)或透過型空間光調(diào)制 元件(LCD)的構(gòu)成中，也可以使用所述激光器以外的其他燈等作為光源。
另外，作為光源可應(yīng)用具備多個合波激光器光源的光纖陣列光源； 將光纖光源陣列化的光纖陣列光源，所述光纖光源具備將從具有1個發(fā)光 點(diǎn)的單一半導(dǎo)體激光器入射的激光射出的1根光纖；將多個發(fā)光點(diǎn)二維狀 排列的光源(例如LD陣列、有機(jī)EL陣列)等。
另外，這種曝光裝置，可以使用通過曝光而直接記錄信息的光子模式 感光材料、由通過曝光而產(chǎn)生的熱記錄信息的加熱模式感光材料的任一 種。在使用光子模式感光材料時，激光裝置使用GaN系半導(dǎo)體激光器、 波長變換固體激光器等，在使用加熱模式感光材料時，激光裝置使用AlGaAs系半導(dǎo)體激光器(紅外激光器)、固體激光器等。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明適用于在印刷配線基板等工件上形成配線圖案等圖像的激光 曝光裝置，由此能夠高精度地進(jìn)行圖像位置的調(diào)整。
權(quán)利要求
1.一種圖像位置測量裝置，其具備攝影組件，其包括攝像元件及/或透鏡，用于測量在工件上形成的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置；修正組件，其修正所述攝像元件及/或透鏡的變形。
2. 如權(quán)利要求l所述的圖像位置測量裝置，其特征在于，所述修正組 件預(yù)先測定由于所述攝像元件及/或所述透鏡的變形產(chǎn)生的攝影圖像的變 形，根據(jù)由測定得到的變形數(shù)據(jù)對攝影圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。
3. 如權(quán)利要求2所述的圖像位置測量裝置，其特征在于，所述變形數(shù) 據(jù)包含根據(jù)通過預(yù)先拍攝作為基準(zhǔn)的圖形所得到的數(shù)據(jù)而算出的數(shù)據(jù)。
4. 如權(quán)利要求l所述的圖像位置測量裝置，其特征在于，所述攝影組 件具備用于使所述透鏡以其光軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動及固定的機(jī)構(gòu)。
5. 如權(quán)利要求l所述的圖像位置測量裝置，其特征在于，所述攝影組 件具有多個攝像元件，該多個攝像元件一維排列。
6. 如權(quán)利要求l所述的圖像位置測量裝置，其特征在于，還具備能載 置所述工件的載物臺，該載物臺能沿著規(guī)定的輸送路移動，在工件上形成 的所述基準(zhǔn)標(biāo)記在該載物臺的移動中被拍攝。
7. —種曝光裝置，其具備圖像位置測量裝置，其具有包括攝像元件及/或透鏡且用于測量在工件 上形成的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置的攝影組件和修正所述攝像元件及/或透鏡的變 形的修正組件；曝光組件，其基于圖像數(shù)據(jù)對所述工件進(jìn)行曝光，所述圖像數(shù)據(jù)通過 基于由所述圖像位置測量裝置拍攝的所述基準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息進(jìn)行修正 而得到。
8. 如權(quán)利要求7所述的曝光裝置，其特征在于，所述修正組件預(yù)先測 定由于所述攝像元件及/或所述透鏡的變形產(chǎn)生的攝影圖像的變形，根據(jù)由 測定得到的變形數(shù)據(jù)對攝影圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行修正。
9. 如權(quán)利要求8所述的曝光裝置，其特征在于，所述變形數(shù)據(jù)包含根 據(jù)通過預(yù)先拍攝作為基準(zhǔn)的圖形所得到的數(shù)據(jù)而算出的數(shù)據(jù)。
10. 如權(quán)利要求7所述的曝光裝置，其特征在于，所述攝影組件具備用于使所述透鏡以其光軸為中心進(jìn)行轉(zhuǎn)動及固定的機(jī)構(gòu)。
11. 如權(quán)利要求7所述的曝光裝置，其特征在于，所述攝影組件具有 多個攝像元件，該多個攝像元件一維排列。
12. 如權(quán)利要求7所述的曝光裝置，其特征在于，還具備能載置所述 工件的載物臺，該載物臺能沿著規(guī)定的輸送路移動，在工件上形成的所述 基準(zhǔn)標(biāo)記在該載物臺的移動中被拍攝。
全文摘要
本發(fā)明提供一種圖像位置測量裝置，其具備攝影組件和修正組件，其中，攝影組件具有攝像元件及/或透鏡，用于測量在工件上形成的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置，修正組件修正所述攝像元件及/或透鏡的變形。曝光裝置具有圖像位置測量裝置和曝光組件，該曝光組件基于圖像數(shù)據(jù)將所述工件進(jìn)行曝光，所述圖像數(shù)據(jù)通過基于由圖像位置測量裝置拍攝的所述基準(zhǔn)標(biāo)記的位置信息進(jìn)行修正而得到。能夠避免由于攝像元件和透鏡的變形所帶來的影響，提高工件上附帶的基準(zhǔn)標(biāo)記的位置測量精度。
文檔編號G03F9/00GK101203810SQ200680022259
公開日2008年6月18日 申請日期2006年6月13日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月28日
發(fā)明者上村寬, 福井隆史 申請人:富士膠片株式會社