專利名稱：：感光性樹(shù)脂組合物及感光性組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明為有關(guān)感光性樹(shù)脂組合物及感光性組件
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體集成電路、液晶顯示元件、印刷電路板等形成圖案所使用的圖像形成方法中，已知多為利用酚醛清漆型酚樹(shù)脂與1,2-重氮醌化合物組合所得的正型光阻的方法。該正型光阻為，未曝光部份為堿不溶性，曝光部份為堿可溶性，在堿顯影時(shí)，曝光部份的光阻被去除。此時(shí)，上述未曝光部份中的1,2-重氮醌化合物會(huì)引起與酚醛清漆型酚樹(shù)脂的相互作用，而形成具有溶解阻礙劑的作用，進(jìn)而形成石威不溶性。又，曝光部份中，1，2-重氮醌化合物因紫外線的照射而分解，即引起所謂Wolff移轉(zhuǎn)而形成茚烯酮(,yf、y亇亍y)。又，此茚烯酮與水反應(yīng)而形成茚羧酸。此茚羧酸因?yàn)樗嵝?，而殘留的酚醛清漆型酚?shù)脂亦具有酚式羥基，故為弱酸性。因此，上述曝光部份對(duì)氫氧化四曱基銨的強(qiáng)堿水溶液為可溶。但是，使用氫氧化四曱基銨等強(qiáng)堿水溶液進(jìn)行顯影時(shí)，常會(huì)使未曝光部份易產(chǎn)生剝離的情形。如此，上述正型光阻則不能具有充分的分辨率。又，使用強(qiáng)堿水溶液時(shí)，在安全性或廢液處理等環(huán)境面上也存在問(wèn)題。因此，即使使用弱堿水溶液，也要求可充分顯影的感光性樹(shù)脂組合物。相對(duì)于前述要求，則需尋求對(duì)感光性樹(shù)脂組合物的特性進(jìn)行改善。例如，已有提案一種含有在酚醛清漆型環(huán)氧化合物與不飽和一元酸所得的反應(yīng)生成物上附加酸酐而得到的化合物的感光性樹(shù)脂組合物(例如，參考專利文獻(xiàn)1~5)。又，例如另有揭示一種含有具羧基的感光性樹(shù)脂的熱硬化性、光硬化性組合物(例如，參考專利文獻(xiàn)6),其中的具羧基的感光性樹(shù)脂是通過(guò)酚醛清漆型酚樹(shù)脂與環(huán)氧化物的反應(yīng)生成物與不飽和一元酸反應(yīng)，使所得的反應(yīng)生成物再與酸酐反應(yīng)而得到的。又，亦有提出一種使用醇式羥基的酚醛清漆型酚樹(shù)脂的醇式羥基與酸酐反應(yīng)所得的酚醛清漆型酚樹(shù)脂的正型感光性樹(shù)脂組合物(例如，參考專利文獻(xiàn)7)。專利文獻(xiàn)1:特開(kāi)昭61-243869號(hào)7>報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開(kāi)平3-253093號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特開(kāi)平6-192387號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4:特開(kāi)平7-41716號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5:特開(kāi)平9—136942號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6:國(guó)際公開(kāi)第02/024774號(hào)小冊(cè)子專利文獻(xiàn)7:特開(kāi)2001-114853號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明者們，由上述專利文獻(xiàn)17所記載的感光性樹(shù)脂組合物開(kāi)始，對(duì)以往的感光性樹(shù)脂組合物進(jìn)行詳細(xì)的研究。其結(jié)果，本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)前述以往的感光性樹(shù)脂組合物，幾乎不能完全滿足優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨.率及密著性等全部特性。即，上述專利文獻(xiàn)1~5所記載的感光性樹(shù)脂組合物，因使用酚醛清漆型環(huán)氧樹(shù)脂，其與使用酚醛清漆型酚樹(shù)脂的情形相比較時(shí)，在耐堿性、基板與光阻的密著性等則有劣化的傾向。又，專利文獻(xiàn)6所記載的感光性樹(shù)脂組合物，雖使用酚醛清漆型酴樹(shù)脂，但并不使用l，2-重氮醌(quinonediazide)化合物。因此，該感光性樹(shù)脂組合物并不具有正型光阻的機(jī)能。又，專利文獻(xiàn)6記載的酚醛清漆型酚樹(shù)脂，并不具有酚式羥基。其結(jié)果，將會(huì)使該感光性樹(shù)脂組合物，例如即使含有重氮醌化合物的情形下，造成該酚醛清漆型酚樹(shù)脂與重氮醌化合物的相互作用并不充分，未曝光部份則會(huì)有未能充分形成堿不溶性的傾向。因此，上述專利文獻(xiàn)6記載的感光性樹(shù)脂組合物，會(huì)有無(wú)法得到良好圖像對(duì)比度的傾向。專利文獻(xiàn)7所記載的感光性樹(shù)脂組合物，使用了酚醛清漆型酚樹(shù)脂及1,2-重氮醌化合物。但是，該酚醛清漆型酚樹(shù)脂的合成步驟更為繁雜，故會(huì)有不容易提升產(chǎn)量的傾向。本發(fā)明就是鑒于上述以往技術(shù)產(chǎn)生的問(wèn)題而提出的，以提供一種即使于弱堿水溶液中亦可充分顯影，具有極為優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著其中，式(A)中，R為羧酸酐殘基。上述(b)成分，以具有羥基及/或胺基的有機(jī)化合物與具有磺基及/或磺酰氯基的1，2-重氮醌化合物反應(yīng)所得的化合物為佳。此情形中，感光性樹(shù)脂組合物具有提升光感度的優(yōu)點(diǎn)。又，具有上述羥基及/或胺基的有機(jī)化合物，以下述式(l)~(3)中任一所示的化合物為佳。此情形中，對(duì)于光照射前與光照射后的顯影液，因可增大感光性樹(shù)脂組合物的溶解度差，感光性樹(shù)脂組合物具有可使圖像對(duì)比度更佳性的感光性樹(shù)脂組合物及感光性組件為目的。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明則提供一種含有(a)酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物，與(b)1，2-重氮醌化合物的感光性樹(shù)脂組合物。上述感光性樹(shù)脂組合物，在酚醛清漆型酚樹(shù)脂所有的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的(a)成分中，進(jìn)一步含有由1,2-重氮醌化合物所形成的(b)成分。如此，可使上述感光性樹(shù)脂組合物顯出更為優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性。又，上述感光性樹(shù)脂組合物作為光阻膜使用時(shí)，在曝光部份中，因(a)成分為酸性，故例如顯影液為弱堿性時(shí)，亦可使上述曝光部份溶解于該顯影液中。因此，在堿顯影時(shí)，使曝光部份溶解于弱堿水溶液，而可使光阻容易地由基材剝離。又，未曝光部中，因1，2-重氮醌化合物與不會(huì)與(a)成分的多元酸酐產(chǎn)生反應(yīng)的酚式羥基會(huì)引起強(qiáng)烈的相互作用而可形成堿不溶性。因此，依本發(fā)明的內(nèi)容，可提供一種即使于弱堿水溶液中亦可充分顯影，且具有極優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性的感光性樹(shù)脂組合物。上述(a)成份，優(yōu)選分子內(nèi)至少具有1個(gè)下述式(A)所示2價(jià)的基。此時(shí)，即使于弱堿水溶液中，亦可充分進(jìn)行顯影。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage7</formula>其中，式(1)~(3)中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R"及R12，分別獨(dú)立為氫原子、取代或未取代的碳原子數(shù)1~5的烷基，或取代或未取代的碳原子數(shù)15的烷氧基，X為單鍵、氧原子或亞苯基。上述感光性樹(shù)脂組合物中，(a)成分的酸價(jià)以30~150mgKOH/g為佳。此時(shí)，上述感光性樹(shù)脂組合物可得到優(yōu)良的耐堿性與顯影性的平衡性。上述感光性樹(shù)脂組合物中，相對(duì)于(a)成分及(b)成分的總量為100質(zhì)量份，(a)成分的添加比例以50~95質(zhì)量^f分，(b)成分的添加比例以5~50質(zhì)量份為佳。此時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物具有提升涂膜性的優(yōu)點(diǎn)。又，本發(fā)明為提供一種，具備有支撐體與在該支撐體上所形成的請(qǐng)求項(xiàng)1~3中任一項(xiàng)記載的感光性樹(shù)脂組合物所得的感光層的感光性組件。該感光性組件，因具備可達(dá)成上述效果的本發(fā)明感光性樹(shù)脂組合物作為感光層，故于弱堿性下亦顯示出極佳的顯影性。于此同時(shí)，此感旋光性組件亦為顯示出極優(yōu)良之光感度、圖像對(duì)比、分辨率及密著性之物。其結(jié)果可使光阻圖型形成具有充分分辨率之圖型。前述感旋光性組件，極適合用于制造具有才及優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比、分辨率及密著性之半導(dǎo)體集成電i各、液晶顯示組件及印刷電路板等。本發(fā)明可提供一種即使于弱堿水溶液下亦可充分顯影，且具有極優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性的感光性樹(shù)脂組合物及感光性組件。圖1為本發(fā)明的感光性組件中，較佳實(shí)施形態(tài)模式的截面圖。符號(hào)說(shuō)明1:感光性組件10:支撐體14:感光層具體實(shí)施方式以下，必要時(shí)將參照附圖，對(duì)本發(fā)明的較佳實(shí)施形態(tài)作詳細(xì)的說(shuō)明。又，附圖中，同一要件除賦予同一符號(hào)以外，將省略重復(fù)的說(shuō)明。又，上下左右等的相關(guān)位置，于無(wú)特別限定時(shí)，將依附圖所示的相關(guān)位置為基準(zhǔn)。又，附圖的尺寸比例并不限定為附圖的比例。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物為含有(a)酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物與(b)1，2-重氮醌化合物。前述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，在由酚醛清漆型酚樹(shù)脂所有的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的(a)成分中，可進(jìn)一步含有由1，2-重氮醌化合物所得的(b)成分。如此，即使顯影液為弱堿性水溶液時(shí)，感光性樹(shù)脂組合物所形成的感光層亦可得到充分良好的顯影。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物具有極優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性。以下，將對(duì)(a)及(b)成分作詳細(xì)的說(shuō)明。(a)成分(a)成分為酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物。該(a)成分以分子內(nèi)至少具有1個(gè)上述式(A)所示2價(jià)基者為佳。此時(shí)，即使于弱堿性水溶液中亦可進(jìn)行充分的顯影。以下，對(duì)酚醛清漆型酚樹(shù)脂作說(shuō)明。本發(fā)明的酚醛清漆型酚樹(shù)脂只要具有酚式羥基就無(wú)特別限定。該酚醛清漆型酚樹(shù)脂，例如可將酚化合物與醛及/或酮作為原料以進(jìn)行縮聚合反應(yīng)而制得。上述酚化合物例如酚、甲酚、二甲酚；乙基酚、丁基酚、三曱基酚等烷基酚；曱氧基酚、2-曱氧基-4-甲基酚等烷氧基酚；乙烯基酚、丙烯基酚等烯基酚；苯基酚等芳基酚；千基酚等芳烷基酚；曱氧基羰基酚等烷氧羰基酚；苯酰氧基酚等芳基羰基酚；氯基酚等卣化酚；兒茶酚、間苯二酚等聚羥基苯；雙酚A、雙酚F等雙酚；oc-或(3-萘等萘化合物；雙羥基曱基-p-曱酚等羥甲基化物；p-羥基苯基-2-乙醇、p-羥基苯基-3-丙醇、p-雍基苯基-4-丁醇等羥基烷基酚；羥基乙基曱酚等羥基烷基曱酚；雙酚的單環(huán)氧乙烯付加物；雙酚的單環(huán)氧丙烯付加物等含醇式羥基的酚化合物；p-羥基苯基乙酸、p-羥基苯基丙酸、p-羥基苯基丁酸、p-羥基肉桂酸、羥基苯曱酸、羥基苯基苯曱酸、羥基苯氧基苯甲酸、二酚酸等含羧基的酚化合物；等等。又，前述酚化合物，可與m-二甲苯等酚以外的化合物縮聚合亦可。其可單獨(dú)使用l種或?qū)?種以上組合使用皆可。上述醛及/或酮，例如曱醛、乙醛、糠醛、苯甲醛、幾基苯甲醛、曱氧基苯甲醛、羥基苯基乙醛、曱氧基苯基乙醛、巴豆醛、氯基乙醛、氯基苯基乙醛、丙酮、甘油醛、乙醛酸、乙醛酸曱酯、乙醛酸苯酯、乙醛酸羥基苯酯、甲酰乙酸、曱酰乙酸曱酯、2-甲酰丙酸、2-甲酰丙酸酸曱酯、丙酮酸、乙酰丙酸、4-乙酰丁酸、丙酮二羧酸、3,3，-4,4，-二苯曱酮四羧酸等。又，曱醛可4吏用其前驅(qū)物的p-曱醛、三惡烷等形態(tài)亦可。其可單獨(dú)使用l種或?qū)?種以上組合使用皆可。上述縮聚合反應(yīng)中，以使用酸性觸媒為佳。此情形中，可使縮聚合反應(yīng)迅速進(jìn)行。前述酸性觸媒，例如鹽酸、硫酸、曱酸、乙酸、p-曱苯磺酸、草酸等。原料的醛及/或酮的含量，相對(duì)于上述酚化合物1摩爾以使用0.7~1摩爾為佳。此情形，可使上述縮聚合反應(yīng)迅速進(jìn)行。其次，將對(duì)多元酸酐進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的多元酸酐，具有由多數(shù)的羧酸所產(chǎn)生的構(gòu)造，其構(gòu)造，只要具有由該羧酸的脫水縮合所得形態(tài)(酸酐)時(shí)，則無(wú)特別限定。該多元酸酐，例如苯二曱酸酐、琥珀酸酐、辛基琥珀酸酐、戊基十二碳烯琥珀酸酐、馬來(lái)酸酐、依康酸酐、四氫苯二甲酸酐、六氫苯二曱酸酐、甲基四氫苯二甲酸酐、甲基六氫苯二曱酸酐、卡巴酸酐、3，6-曱橋四氫苯二甲酸酐、曱基曱橋四氫苯二曱酸酐、四溴苯二曱酸肝、偏苯三酸酐等二元酸酐、聯(lián)苯基四羧酸二酐、萘四羧酸二酐、二苯基醚四羧酸二酐、丁纟克四羧酸二酐、環(huán)戊烷四羧酸二酐、均苯四曱酸酐、二苯曱酮四羧酸二酐等脂肪族、芳香族四元酸二酐等。其可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。其中，以使用二元酸酐為較佳，例如以使用四羥基苯二曱酸酐、琥珀酸酐及六氫苯二甲酸酐中所選出的l種以上為更佳。此情形中，其具有提升圖案形成性的優(yōu)點(diǎn)。其中，圖案形成性是指光阻圖案的形成性。酚醛清漆型酚樹(shù)脂與多元酸酐的反應(yīng)，一般為于50130。C下進(jìn)行，以相對(duì)于酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基1摩爾，使用0.10~0.80摩爾的多元酸酐與之反應(yīng)為佳，又以使用0.15~0.60摩爾進(jìn)行反應(yīng)為更佳，以使用0.20-0.40摩爾進(jìn)行反應(yīng)為最佳。參與反應(yīng)的多元酸酐未達(dá)0.10摩爾時(shí)，與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，其顯影性具有劣化的傾向，參與反應(yīng)的多元酸酐超過(guò)0.80摩爾時(shí)，與上迷范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，其未曝光部的耐^f威性有著劣化的傾向。又，上述反應(yīng)中，必要時(shí)還可含有催化劑。此情形中，可使反應(yīng)更迅速地進(jìn)行。前述催化劑，例如三乙基胺等叔胺、三乙基千基氯化銨等季銨鹽、2-乙基_4-甲基咪唑等咪唑化合物、三苯基次膦等磷化合物。又，上述縮聚合反應(yīng)只要依公知的反應(yīng)條件下進(jìn)行即可。依此方式所得的酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酸價(jià)，以30~150mgKOH/g為佳，以40~140mgKOH/g為更佳，以50~120mgKOH/g為最佳。酸價(jià)未達(dá)30mgKOH/g時(shí)，該酸價(jià)與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，顯示出堿顯影需更長(zhǎng)時(shí)間的傾向。酸價(jià)超過(guò)150mgKOH/g時(shí)，該酸價(jià)與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，其未曝光部份的光阻的耐顯影液性有降低的傾向。此酚醛清漆型酚樹(shù)脂的凝膠滲透色層分析法換算的聚苯乙烯換算重均分子量并未有特別限制，一4殳以300-100000為佳，以1000-50000為更佳，以3000~20000為最佳。此情形中，具有提升涂膜性的優(yōu)點(diǎn)。又，上述酚醛清漆型酚樹(shù)脂的重均分子量較小時(shí)，使用鏈延長(zhǎng)劑以進(jìn)行酚樹(shù)脂的多量體化，使分子量增大至上述重均分子量的范圍亦可。此時(shí)，鏈延長(zhǎng)劑例如可使用可與羧基反應(yīng)的二環(huán)氧化合物或二惡唑化合物，或可與羥基反應(yīng)的二異氫酸酯化合物等。上述酚醛清漆型酚樹(shù)脂的分散度，以110為佳。此情形中，其具有可提升涂膜性的優(yōu)點(diǎn)。其中，分散度是指重均分子量除以數(shù)均分子量所得的值。本發(fā)明中，上述酚醛清漆型酚樹(shù)脂可單獨(dú)使用l種或?qū)?種以上組合使用皆可。將2種以上組合使用的情形中，酚醛清漆型酚樹(shù)脂的組合方式，例如有不同原料所得的2種以上的酚醛清漆型酚樹(shù)脂、不同重均分子量的2種以上的酚醛清漆型酚樹(shù)脂、不同分散度的2種以上的酚醛清漆型酚樹(shù)脂等。(a)成分的感光性樹(shù)脂組合物中的添加比例，例如以(a)成分及(b)成分的總量為IOO質(zhì)量份時(shí)，以5095質(zhì)量份為佳，以5590質(zhì)量份為更佳，以6085質(zhì)量份為最佳。此添加比例未達(dá)50質(zhì)量份時(shí)，與添加比例為上述范圍的情形相比較時(shí)，于感光性樹(shù)脂組合物作為光阻膜使用的情形，此光阻膜具有容易脆化，容易剝離的傾向。此添加比例超過(guò)95質(zhì)量份時(shí)，與添加比例為上述范圍的情形相比較時(shí)，此光阻膜具有感光度不充分的傾向。(b)成分(b)成分為1，2-重氮醌化合物。前述1，2-重氮醌化合物為具有羥基或胺基的有機(jī)化合物(以下亦稱為"有機(jī)化合物")，與具有磺基及/或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物反應(yīng)所得的化合物。此時(shí)，有機(jī)化合物的羥基或胺基與1,2-重氮醌化合物的磺基或磺酰氯基結(jié)合。又，這種結(jié)合在所制得的1,2-重氮醌化合物的分子內(nèi)至少具有1個(gè)以上即可。上述具有磺基及/或磺酰氯基的1，2-重氮醌化合物，例如1，2-萘醌-2-二疊氮一4-磺酸、1，2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酸、原蒽重氮醌磺酸、1,2-萘醌-2-二疊氮-4-磺酰氯、1，2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酰氯、原蒽重氮醌磺酰氯等。其中，又以1，2-萘醌-2-二疊氮-4-磺酸、1,2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酸、1，2-萘醌-2-二疊氮-4-磺酰氯或1,2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酰氯為佳。具有前述磺基及/或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物，因可充分溶解于溶劑中，故可提高與有機(jī)化合物的反應(yīng)效率。上述有機(jī)化合物例如2，3,4-三羥基二苯曱酮、2,4，4'-三羥基二苯曱酮、2,4,6-三羥基二苯曱酮、2,3,6-三羥基二苯曱酮、2,3，4-三羥基-2，-甲基二苯曱酮、2，3,4,4，-四羥基二苯甲酮、2，2，,4，4，-四羥基二苯曱酮、2,3，,4，4，，6-五羥基二苯曱酮、2,2，，3，4,4，-五羥基二苯曱酮、2,2，，3,4，5-五羥基二苯曱酮、2，3，,4，4，,5，,6-六羥基二苯曱酮、2，3,3，，4,4，，5，-六羥基二苯曱酮等多羥基二苯甲酮類;雙(2,4-二羥基苯基)曱烷、雙(2，3，4-三羥基苯基)曱烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4，-羥基苯基)丙烷、2-(2，4-二輕基苯基)-2-(2',4，-二羥基苯基)丙烷、2-(2，3,4-三羥基苯基)-2-(2'，3，，4，-三羥基苯基)丙烷、4，4，-{1-[4-〔2-(4-羥基苯基)-2-丙基〕苯基〕亞乙基}雙酚，3，3，-二甲基-{1-[4-〔2-(3-甲基-4-羥基苯基)-2-丙基〕苯基〕亞乙基}雙酚等雙[(聚)羥基苯基]鏈烷類；三(4-羥基苯基)曱烷、雙(4-羥基-3、5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2，5-二曱基苯基)_4-幾基苯基甲烷、雙(4-羥基-3，5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二曱基苯基)-2-羥基苯基曱烷、雙(4-羥基-2,5-二曱基苯基)-3,4-二羥基苯基曱烷、雙(4-羥基-3,5-二曱基苯基)-3，4-二羥基苯基甲烷等三(羥基苯基)甲烷類或其甲基取代物；雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-3-羥基苯基曱烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基曱烷、雙(3-環(huán)己基-4-羥基苯基)-4-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-曱基苯基)-2-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-2-曱基苯基)-4-羥基苯基曱烷、雙(3-環(huán)己基-2-羥基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(5-環(huán)己基_4-羥基-3-曱基苯基)-4-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-3-曱基苯基)-3-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-4-羥基-3-甲基苯基)-2-羥基苯基曱烷、雙(3-環(huán)己基-2-輕基苯基)-4-羥基苯基曱烷、雙(3-環(huán)己基-2-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(5-環(huán)己基-2-羥基-4-曱基苯基)-2-羥基苯基曱烷、雙(5-環(huán)己基-2-羥基-4-甲基苯基)-4-羥基苯基曱烷等雙(環(huán)己基羥基苯基)(羥基苯基)甲烷類或其曱基取代物；酚、p-甲氧基酚、二甲基酚、氫醌、萘酚、鄰苯二酚、焦培酚、焦培酚單曱基醚、焦培酚-l,3-二曱基醚、沒(méi)食子酸、苯胺、p-胺基二苯基胺、4,4，-二胺基二苯甲酮、酚醛清漆、焦培酚-丙酮樹(shù)脂、p-羥基苯乙烯的單聚合物或其共聚所得的單體的共聚物等。其中又以聚羥基二苯曱酮類、雙[(聚)羥基苯基]鏈烷類、三(羥基苯基)甲烷類、雙(環(huán)己基羥基苯基)(羥基苯基)曱烷類等為佳。又，上述有機(jī)化合物中又以上述式(1)~(3)所示化合物為更佳。此情形中，于光照射前與光照射后中，可增大對(duì)顯影液的溶解度差，故具有可提升圖像對(duì)比度的優(yōu)點(diǎn)。其中，有機(jī)化合物為上述式(l)~(3)所示化合物的情形中，具有石黃基及/或氯磺酰基的1，2-重氮醌化合物以1，2-萘醌-2-二疊氮-4-磺酸、1,2-萘醌-2-二疊氮-5-磺酸、1,2-萘醌-2-二疊氮-4-氯磺?；?,2-萘醌-2-二疊氮-5-氯磺酰為佳。前述具有磺基及/或氯磺酰基的1,2-重氮醌化合物，因與上述式(l)~(3)所示化合物具有良好的相溶性，故可降低(a)成分與(b)成分混合時(shí)所產(chǎn)生的凝聚物的發(fā)生量。又，含有其的感光性樹(shù)脂組合物作為正型光阻的感光性成分使用時(shí)，可形成具有高感度、圖像對(duì)比度、耐熱性等的物。又，有機(jī)化合物于上述式(l)~(3)所示化合物中，又以分別為下述化學(xué)式(4)~(6)所示的化合物為更佳。此情形中，具有提高光感度的優(yōu)點(diǎn)。使用化學(xué)式(4)~(6)所示化合物的1,2-重氮醌化合物的合成方法，例如，將化學(xué)式(4)~(6)所示化合物，與1,2-萘醌-2-二疊氮-氯磺酰添加于二惡烷、THF等溶々某中，并于三乙基胺、三乙醇胺、碳酸堿金屬鹽、碳酸氫堿金屬鹽等堿催化劑存在下進(jìn)行反應(yīng)等方法。此時(shí)使化學(xué)式(4)-(6)所示化合物的羥基與1,2-萘醌-2-二疊氮-氯磺酰的磺?；?jīng)縮合而合成1，2-重氮醌化合物。又，在所制得的1，2-重氮醌化合物的分子內(nèi)，只要具有至少1個(gè)上述化學(xué)式(4)~(6)所示化合物的羥基，與1，2-萘醌-2-二疊氮-氯磺酰的磺?；慕Y(jié)合即可。又，上述1，2-萘醌-2-二疊氮-氯磺酰以1，2-萘醌-2-二疊氮-4-氯磺?；?，2-萘醌-2-二疊氮-5-氯磺酰為較佳。具有磺基及/或氯磺酰基的1，2-重氮醌化合物，可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。(b)成分于感光性樹(shù)脂組合物中的添加比例，在(a)成分及(b)成分的總量為100質(zhì)量份時(shí)，以550質(zhì)量份為佳，以10-45質(zhì)量份為更佳，以15~40質(zhì)量份為最佳。該添加比例未達(dá)5質(zhì)量份時(shí)，添加比例與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，會(huì)有光感度不充分的傾向。(b)成分的添加比例超過(guò)50質(zhì)量份時(shí)，其添加比例與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，得知該感光性樹(shù)脂組合物作為光阻膜使用的情形中，該光阻膜具有容易脆化，且容易剝離的傾向。其它成份本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，除上述(a)成分以外，可再含有不具有羧基的酚樹(shù)脂。此情形中，其具有提升耐^威性的優(yōu)點(diǎn)。不具有羧基的酚樹(shù)脂可使用公知的樹(shù)脂，例如酚醛清漆型酚樹(shù)脂、曱酚型酚樹(shù)脂、雙酚樹(shù)脂；二乙烯基苯、二環(huán)戊二烯等二烯烴化合物與酚化合物經(jīng)加成反應(yīng)所得的多酚化合物；芳烷基卣化物、芳烷基醇或其衍生物與酚化合物經(jīng)反應(yīng)所得的多酚化合物；三吖。秦酚酚醛樹(shù)脂等。其可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。又，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，必要時(shí)，可再含有以提升涂布性、消泡性、平滑性等為目的的界面活性劑。界面活性劑并無(wú)特別限定，但以氟系界面活性劑為佳。前述氟系界面活性劑，例如，BM-IOOO、BM-1100(BM化學(xué)公司制)；美格發(fā)(7、7夕)F142D、美格發(fā)F172、美格發(fā)F173、美格發(fā)F183、美格發(fā)R-08、美格發(fā)R-30、美格發(fā)R-90PM-20、美格發(fā)BL-20(大日本油墨化學(xué)工業(yè)(股)制)；氟羅拉(7口，一H、)FC-135、氟羅拉FC-170C、氟羅拉FC-430、氟羅拉FC-431、氟羅拉FC-4430(住友3M(股)制)；沙氟隆(寸一7口y)S-112、沙氟隆S-113、沙氟隆S-131、沙氟隆S-141、沙氟隆S-145(旭硝子(股)制)；SH-28PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8428(東麗聚硅氧(股)制)等市售品。其可單獨(dú)使用l種或?qū)?種以上組合使用。上述界面活性劑的添加比例，在(a)成分及(b)成分的總量為IOO質(zhì)量份時(shí)，以5質(zhì)量份以下為佳。添加比例超過(guò)5質(zhì)量^"分時(shí)，與添加比例于上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，其圖像對(duì)比度有降低的傾向。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，可含有提升與基材等的粘著性的粘著助劑。前述粘著助劑，例如以官能性硅烷偶合劑為有效。其中，官能性硅烷偶合劑是指具有羧基、曱基丙烯?；?、異氰酸酯基、環(huán)氧基等反應(yīng)性取代基的硅烷偶合劑。官能性硅烷偶合劑，例如三甲氧基硅烷基苯甲酸、y-曱基丙烯氧丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三曱氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基硅烷、P-(3,4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三曱氧基硅烷、三曱氧基硅烷基丙基異氰酸酯、1，3，5-N-三(三甲氧基硅烷基丙基)異氰酸酯等。其可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。上述粘著助劑的添加比例，相對(duì)于(a)成分及(b)成分的總量為100質(zhì)量份以20質(zhì)量份以下為佳。添加比例超過(guò)20質(zhì)量份時(shí)，添加比例與上述范圍內(nèi)的情形相比較時(shí)，會(huì)有容易發(fā)生顯影殘?jiān)膬A向。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，為對(duì)堿顯影液進(jìn)行溶解性的微調(diào)整時(shí)，可使其含有酸或高沸點(diǎn)溶^f某。酸，例如乙酸、丙酸、n-丁酸、iso-丁S臾、n-戊酸、iso-戊酸、苯甲酸、肉桂酸等單羧酸、乳酸、2-羥基丁酸、3-羥基丁酸、水楊酸、m-羥基苯曱酸、p-羥基苯曱酸、2-羥基肉桂酸、3-羥基肉桂酸、4-羥基肉桂酸、5-羥基異苯二曱酸酸、丁香苷酸等羥基單羧酸、草酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、馬來(lái)酸、依康酸、六氫苯二甲酸酸、苯二曱酸、異苯二曱酸酸、對(duì)苯二甲酸、1，2-環(huán)己烷二羧酸、1，2，4-環(huán)己烷三羧酸、偏苯三酸、偏苯四酸、環(huán)戊烷四羧酸、丁烷四羧酸、1,2，5，8-萘四羧酸等多元羧酸、依康酸酐、琥珀酸酐、檬康酸酐、十二烯琥珀酸酐、三卡巴酸酐、馬來(lái)酸酐、六氫苯二曱酸酐、甲基四氬苯二甲酸酐、四氬苯二曱酸酐、1,2,3,4-丁烷四羧酸、環(huán)戊烷四羧酸二酐、苯二曱酸酐、均苯四曱酸酐、偏苯三曱酸酐、二苯曱酮四羧酸肝、乙二醇雙偏苯三酸酐酯、丙三醇三偏苯三酸酐酯等酸酐。又，高沸點(diǎn)溶^某例如N-曱基甲酰胺、N,N-二曱基曱酰胺、N-曱基甲酰苯胺、N-甲基乙酰苯胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-曱基吡咯烷酮、二曱基亞砜、節(jié)基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、1-壬醇、芐醇、乙酸千酯、苯曱酸乙酯、草酸二乙酯、馬來(lái)酸二乙酯、Y-丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、苯基溶纖素乙酸酯等。其可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。上述酸或高沸點(diǎn)溶媒的添加比例，只要可配合用途、涂布方法等進(jìn)行調(diào)整，且可與感光性樹(shù)脂組合物均勻混合時(shí)，則無(wú)特別的限定。但，其添加比例以相對(duì)于感光性樹(shù)脂組合物全量為60質(zhì)量％以下為佳，以40質(zhì)量％以下為更佳。此情形中，具有不易損害感光性樹(shù)脂組合物特性的優(yōu)點(diǎn)。又，本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物中，必要時(shí)，可再含有增感劑、吸光劑(染料)、交聯(lián)劑、增塑劑、顏料、填充材、阻燃劑、穩(wěn)定劑、密著性增加劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、成像(imaging)劑、熱交聯(lián)劑等添加劑。前述添加劑，可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合使用。前述添加劑的添加比例，在無(wú)損于感光性樹(shù)脂組合物特性的范圍時(shí)，并無(wú)特別限定，一般對(duì)感光性樹(shù)脂組合物全量以使用50質(zhì)量％以下為佳。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物的調(diào)制，可依一般的方法予以混合、攪拌即可，于添加填充材料、顏料時(shí)，可使用高速攪拌器、均槳攪拌器、3輥攪拌器等分散機(jī)進(jìn)行分散、混合即可。又，必要時(shí)，可再使用網(wǎng)狀過(guò)濾器、膜式過(guò)濾器等過(guò)濾亦可。其次，將說(shuō)明本發(fā)明的感光性組件。圖1為本發(fā)明的感光性組件中較佳實(shí)施形態(tài)模式的截面圖。圖1中所示的感光性組件1具有在支撐體10上層疊感光層14的構(gòu)造。感光層14為由上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物所形成的層。支撐體10,例如可使用銅、銅系合金、鐵、鐵系合金等金屬片或，聚對(duì)苯二曱酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚乙酯等聚合物薄膜等。支撐體的厚度以1~lOOpm為佳。感光層14,可以將上述本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物作為液狀光阻涂布于支撐體10上予以形成。將感光性樹(shù)脂組合物涂布于支撐體10上時(shí)，必要時(shí)可將該感光性樹(shù)脂組合物溶解于特定溶劑中，以調(diào)制為固形分30~60質(zhì)量％的溶液作為涂布液來(lái)使用。上述溶劑，例如曱醇、乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、辛烷、癸烷、石油醚、石腦油、氫化石腦油、溶劑石腦油、丙酮、曱基異丁酮、曱基乙基酮、環(huán)己酮、曱苯、二曱苯、四曱基苯、N，N-二曱基曱酰胺、乙二醇單乙基醚、乙二醇單曱基醚、乙二醇單丁基醚、二乙二醇單乙基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單丁基醚、二乙二醇二曱基醚、丙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚、二丙二醇二乙基醚、三乙二醇單乙基醚、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙二醇單乙基醚乙酸酯、乙二醇單丁基醚乙酸酯、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、丙二醇單曱基醚乙酸酯、二丙二醇單曱基醚乙酸酯等有機(jī)溶劑、或其混合溶劑等。涂布方法例如有滾筒涂布法、刮刀(Comma)涂布法、凹板(Gravure)涂布法、氣刀涂布法、縫式(Die)涂布法、條狀涂布法等方法。又，溶劑的去除方式，例如將涂布液加熱以^^溶々某揮發(fā)等方式進(jìn)行。此時(shí)的加熱溫度以約70~15(TC為佳，加熱時(shí)間以約5~約30分鐘為佳。依前述方法形成的感光層14中的有機(jī)溶劑殘留量，以后續(xù)步驟中為防止有機(jī)溶劑的擴(kuò)散等觀點(diǎn)而言，以2質(zhì)量％以下為佳。又，感光層14的厚度，依各種用途而有所不同，一般去除溶劑后的厚度以0.5~lOOjim為佳。感光性組件1中，必要時(shí)，可在感光層14的相對(duì)于支撐體側(cè)的相反側(cè)的面Fl被覆保護(hù)薄膜(未圖示)。保護(hù)薄膜例如聚乙烯、聚丙烯等聚合物薄膜等。又，保護(hù)薄膜以具有低魚(yú)眼(fish-eye)的薄膜為佳。保護(hù)薄膜與感光層14間的粘著力，為使保護(hù)薄膜容易由感光層14剝離，以低于感光層14與支撐體10的間的粘著力為佳。感光性組件l,可于支撐體10與感光層14的間，及/或感光層14與保護(hù)薄膜的間可設(shè)置緩沖層、粘著層、光吸收層、氣體阻隔層等中間層或保護(hù)層。感光性組件l,例如可以直接在平板狀的形態(tài)下，或感光層的一側(cè)的面上(未被保護(hù)而露出的面上)與保護(hù)薄膜層疊，在圓筒狀等巻芯上巻取，以滾筒狀的形態(tài)下來(lái)儲(chǔ)存。巻芯只要為以往所使用的就無(wú)特別限定，例如可為聚乙烯樹(shù)脂、聚丙烯初于脂、聚苯乙烯樹(shù)脂、聚二氯乙烯樹(shù)脂、ABS樹(shù)脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)等塑料等。儲(chǔ)存時(shí)，以支撐體為最外側(cè)的方式巻取為佳。又，巻取為滾筒狀的感光性組件(感光性組件滾筒)的端面上，就保護(hù)端面的觀點(diǎn)而言，以設(shè)置阻隔器為佳，此外，就耐邊緣溶解性(edge-fbsion)的觀點(diǎn)而言，以設(shè)置防濕端面阻隔器為佳。又，在捆包感光性組件l時(shí)，以使用透濕性較小的黑色墊片予以包裝為佳。其次，將^t明光阻圖案的形成方法。本發(fā)明的光阻圖案的形成方法是指在基材上將上述感光性組件1以感光層14與基材密接的方式層疊，再將活性光線以圖像狀照射使曝光部顯影而去除。未照射活性光線的部份，因1,2-重氮醌化合物具有引起與酚醛清漆型酚樹(shù)脂的相互作用，起到溶解阻礙劑的作用，故不會(huì)溶解于堿水溶液。又，照射活性光線的部份，因1,2-重氮醌化合物產(chǎn)生光分解，故會(huì)失去溶解阻礙效果，因而使曝光部份相對(duì)于堿水溶液為可溶。本發(fā)明的感光性樹(shù)脂組合物，如上所述般，因具有羧基，故可于弱堿水溶液或稀薄堿水溶液中迅速的進(jìn)行顯影。在基材上使感光層14層疊的方法，例如有在感光性組件具備保護(hù)薄膜的情形中，將保護(hù)薄膜去除后，將感光層14于加熱至70~13(TC左右，同時(shí)對(duì)基材施以0.1~lMPa左右(1~10kgf/cm2左右)的壓力進(jìn)行壓著的方法等。前述層疊步驟可以在減壓下進(jìn)行。對(duì)感光層14所層疊的基材表面，并未有特別限制。相對(duì)于前述基材上所層疊的感光層14，其可經(jīng)由負(fù)型或正型掩模圖案將活性光線以圖^f象狀照射而形成曝光部。此時(shí)，感光層14上所存在的支撐體10相對(duì)于活性光線為透明時(shí)，故可通過(guò)支撐體10而照射活性光線。又，支撐體10相對(duì)于活性光線為遮光性時(shí)，可將支撐體10去除后再對(duì)感光層14照射活性光線?；钚怨饩€的光源，可使用以往公知的光源，例如，碳極電弧燈、水銀蒸氣電弧燈、高壓水銀燈、氱氣燈等可有效放射紫外線、可見(jiàn)光等的光源。又，其亦可使用激光直接描繪曝光法。形成曝光部之后，曝光部以外的感光層(未曝光部)會(huì)殘留，將曝光部以顯影方式去除，而形成光阻圖案。前述曝光部的去除方法有，在感光層14上存在支撐體10的情形中，使用自動(dòng)剝離器等去除支撐體10,再于堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑等顯影液中進(jìn)行濕式顯影，或干式顯影等以去除曝光部的顯影方法等。濕式顯影所使用的堿，例如，碳酸鈉、碳酸鉀、氨等弱堿無(wú)機(jī)化合物；氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬化合物；氫氧化鈣等堿土類金屬化合物；單曱基胺、二甲基胺、三曱基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單丙基胺、二甲基丙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、乙烯二胺、二乙烯三胺、二甲基胺基乙基甲基丙烯酸酯、聚乙烯亞胺等弱堿有機(jī)化合物；氬氧化四甲基銨、氳氧化四乙基銨等。其可單獨(dú)使用1種或?qū)?種以上組合作為水溶液使用亦可。堿性水溶液的pH值以9~11的范圍為佳，其溫度可配合感光層的顯影性予以調(diào)整。又，堿性水溶液中，可再混入界面活性劑、消泡劑、有機(jī)溶劑等。上述顯影方式中，例如可使用浸漬方式、噴灑方式、刷洗方式、沖抹方式等。又，顯影后的處理，必要時(shí)可以加熱至60250。C左右的方式使光阻圖案硬化亦可。依上述光阻圖案的形成方法，光阻膜的曝光部份容易溶解于弱堿水溶液中而由基材剝離。如此，使用弱堿顯影性極佳的本發(fā)明感光性組件1時(shí)，可得到對(duì)比度極佳的微細(xì)光阻圖案。實(shí)施例以下，將以實(shí)施例及比較例為基礎(chǔ)，對(duì)本發(fā)明作更具體的說(shuō)明，但本發(fā)明并不受以下實(shí)施例所限定。酚醛樹(shù)脂All的合成將m-甲酚(酚化合物)與p-甲酚(酚化合物)以質(zhì)量比50:50的比例混合，再于該混合液216質(zhì)量份中，加入甲醛水(醛)54質(zhì)量份。其中，再加入草酸(催化劑)2.2質(zhì)量份后依一般方法進(jìn)行縮合反應(yīng)，而制得重均分子量為10000的酚醛清漆型酚樹(shù)脂。其次，將該酚醛清漆型酚樹(shù)脂85質(zhì)量份與四氬苯二曱酸酐(多元酸酐)23質(zhì)量份、三乙基胺(催化劑)0.9質(zhì)量份混合，使其于100。C下進(jìn)行反應(yīng)，而制得(a)成分(酸價(jià)100mgKOH/g)。此樹(shù)脂稱為酚醛樹(shù)脂All。酚醛樹(shù)脂A12的合成將m-曱酚(酚化合物)與p-甲酚(酚化合物)以質(zhì)量比50:50的比例混合，再于該混合液216質(zhì)量份中，加入甲醛水(醛)54質(zhì)量份。其中，再加入草酸(催化劑)2.2質(zhì)量份后依一般方法進(jìn)行縮合反應(yīng)，而制得重均分子量為10000的酚醛清漆型酚樹(shù)脂。其次，將該酚醛清漆型酚樹(shù)脂85質(zhì)量份與琥珀酸酐(多元酸酐)12質(zhì)量份、三乙基胺(催化劑)0.9質(zhì)量份混合，使其于IO(TC下進(jìn)行反應(yīng)，而制得(a)成分(酸價(jià)80mgKOH/g)。此樹(shù)脂稱為酚醛樹(shù)脂A12。酚醛樹(shù)脂A13的合成將m-曱酚(盼化合物)與p-曱酚(酚化合物)以質(zhì)量比40:60的比例混合，再于該混合液216質(zhì)量份中，加入甲醛水(醛)54質(zhì)量份。其中，再加入草酸(催化劑)2.2質(zhì)量份后依一般方法進(jìn)行縮合反應(yīng)，而制得重均分子量為10000的酚醛清漆型酚樹(shù)脂。其次，將該酚醛清漆型酚樹(shù)脂85質(zhì)量份與六氬苯二曱酸酐(多元酸酐)28質(zhì)量份、三乙基胺(催化劑)0.9質(zhì)量份混合，使其于IO(TC下進(jìn)行反應(yīng)，而制得(a)成分(酸價(jià)120mgKOH/g)。此樹(shù)脂稱為酚醛樹(shù)脂A13。酚醛樹(shù)脂A21的合成將m-甲酚(酚化合物)與p-甲酚(酚化合物)以質(zhì)量比50:50的比例混合，再于該混合液216質(zhì)量份中，加入甲醛水(醛)54質(zhì)量份。其中，再加入草酸(催化劑)2.2質(zhì)量份后依一般方法進(jìn)行縮合反應(yīng)，而制得重量平均分子量10000的酚醛清漆型酚樹(shù)脂。此樹(shù)脂稱為酚醛樹(shù)脂A21。實(shí)施例1~3及比較例1、2依表l所示組成(單位質(zhì)量份)混合(a)成分、(b)成分及其它成分，而制得實(shí)施例1~3及比較例1、2的感光性樹(shù)脂組合物。表1中的化合物的詳細(xì)內(nèi)容如下所示。又，表1中的質(zhì)量為不揮發(fā)成分的質(zhì)量。PCR-1150:酸改性酚酚醛清漆型環(huán)氧丙烯酸酯低聚物(日本化藥股份有限公司制，商品名)，DNQ:相對(duì)于上述化學(xué)式(5)所示化合物1摩爾，使其與3摩爾1,2-萘醌-2-二疊氮-5-氯磺酰反應(yīng)所得的1，2-重氮醌化合物，PGMEA:丙二醇單曱基醚乙酸酯，MEK:曱基乙基酮。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>使用實(shí)施例1~3及比較例1、2的感光性樹(shù)脂組合物溶液，依以下順序制作感光性組件。首先，于寬380mm、厚50pm的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜(以下亦稱為"PET薄膜，，)上，涂布感光性樹(shù)脂組合物的溶液，并使其保持在設(shè)定為IO(TC的熱風(fēng)對(duì)流式干燥機(jī)內(nèi)以形成感光層。此時(shí)，將加熱后的感光層的膜厚度調(diào)整為3pm。其后，在所形成的感光層上，將置于其上的作為保護(hù)薄膜的厚度35nm的聚乙烯薄膜經(jīng)由滾筒加壓而制得被覆有保護(hù)薄膜的感光層的實(shí)施例1~3及比較例1、2的感光性組件。其后，在玻璃板上，將實(shí)施例1~3及比較例1、2的感光性組件的感光層加熱至120。C下進(jìn)行層疊，而制得實(shí)施例1~3及比較例1、2的特性評(píng)估用樣口卩o使用依前述方式所制得的實(shí)施例1~3及比較例1、2的特性評(píng)估用樣品，依下述方式對(duì)未曝光部份進(jìn)行耐堿性評(píng)估及對(duì)曝光部份進(jìn)行顯影性評(píng)估。未曝光部份的耐》威性評(píng)估由特性評(píng)估用樣品去除PET薄膜，在室溫以60秒間浸漬于2.38質(zhì)量％氬氧化四甲基銨水溶液，浸漬后的感光層狀態(tài)以下述基準(zhǔn)以目視方式進(jìn)行評(píng)估。此感光層因尚未進(jìn)行曝光，故其全體作為未曝光部份。所得的結(jié)果如表2所示。A:光阻膜外觀未有異常。B:光阻膜的一部發(fā)生剝離。C:光阻膜的大部份發(fā)生剝離。曝光部^f分的顯影性評(píng)估由特性評(píng)估用樣品去除PET薄膜，使用具有高壓水銀燈的曝光機(jī)(歐克股份有限公司制，商品名HMW-590)以曝光量100mJ/cmS進(jìn)行曝光。曝光后，使用1質(zhì)量％的碳酸鈉水溶液(弱堿)于30°C下進(jìn)行60秒間的顯影，曝光部份的殘留光阻膜的量以下述基準(zhǔn)以目視進(jìn)行評(píng)估。所得的結(jié)果如表2所示。A:玻璃面上完全沒(méi)有光阻膜(顯影性良好)。B:玻璃面上殘留一部份光阻膜。C:玻璃面上殘留大部份光阻膜(顯影性不良)。密著性的評(píng)估由特性評(píng)估用樣品去除PET薄膜，隔著曝光工具，以曝光機(jī)對(duì)感光層進(jìn)行曝光。曝光工具例如可使用具有線/間隔為3/50~30/50(單位pm)的電路圖案的。又，曝光機(jī)例如可使用具有高壓水銀燈的曝光機(jī)(歐克股份有限公司制，商品名HMW-590),其曝光量為100mJ/cm2。曝光后，將1質(zhì)量%的碳酸鈉水溶液(30°C)以對(duì)感光層(光阻膜)噴灑的方式使其顯影。顯影后，測(cè)定未發(fā)生剝離而殘留的光阻膜的最小線寬(nm),以評(píng)估其密著性。所得的結(jié)果如表2所示。表2中，密著性以最小線寬表示，此最小線寬越小時(shí)其密著性越佳。又，表2中，"無(wú)法評(píng)估，，是指因顯影性不良而未能形成圖案的狀態(tài)。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>由表2所示結(jié)果可知，實(shí)施例1~3的感光性樹(shù)脂組合物與比較例1、2的感光性樹(shù)脂組合物相比較，發(fā)現(xiàn)未曝光部份的耐堿性及曝光部份的顯影性極佳，且密著性亦極為優(yōu)良。由此結(jié)果得知，依本
發(fā)明內(nèi)容，確認(rèn)可提供一種即使于弱堿水溶液中，亦可得到充分的顯影，且具有極優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性的感光性樹(shù)脂組合物、感光性組件及光阻圖案的形成方法。依本發(fā)明的內(nèi)容，可提供一種即使于弱堿水溶液中亦可得到充分的顯影，且具有極優(yōu)良光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性的感光性樹(shù)脂組合物及感光性組件。權(quán)利要求1.一種感光性組合物，其特征為，含有(a)由酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物，與(b)1，2-重氮醌化合物。2.如權(quán)利要求1所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述(a)成分在分子內(nèi)至少具有1個(gè)下述式(A)所示的2價(jià)的基，[化l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>式(A)中，R為羧酸酐殘基。3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述(b)成分為具有羥基及/或胺基的有機(jī)化合物與具有磺基及/或磺酰氯基的1，2-重氮醌化合物反應(yīng)所得的化合物。4.如權(quán)利要求3所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述具有羥基及/或胺基的有機(jī)化合物為下述式(1)~(3)中任一所示的化合物，[化2]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>[化3]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>[化4]HO、OH式(1)~(3)中，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R"及R。分別獨(dú)立為氫原子、取代或未取代的碳原子數(shù)1~5的烷基、或取代或未取代的碳原子數(shù)15的烷氧基，X為單鍵、氧原子或亞苯基。5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，所述(a)成分的酸價(jià)為30~150mgKOH/g。6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物，其中，相對(duì)于所述(a)成分及所述(b)成分的總量100質(zhì)量份，所述(a)成分的添加比例為50~95質(zhì)量份，所述(b)成分的添加比例為5~50質(zhì)量份。7.—種感光性組件，其特征為，具備支撐體與在該支撐體上所形成的由權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的感光性樹(shù)脂組合物構(gòu)成的感光層。全文摘要本發(fā)明為提供一種感光性樹(shù)脂組合物，其含有(a)酚醛清漆型酚樹(shù)脂的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)所得的化合物與(b)1，2-重氮醌化合物。上述感光性樹(shù)脂組合物是在酚醛清漆型酚樹(shù)脂所有的酚式羥基與多元酸酐反應(yīng)的形成的(a)成分上，再含有1，2-重氮醌化合物所形成的(b)成分，從而可得到極優(yōu)良的光感度、圖像對(duì)比度、分辨率及密著性。文檔編號(hào)G03F7/023GK101253449SQ20068003128公開(kāi)日2008年8月27日申請(qǐng)日期2006年7月19日優(yōu)先權(quán)日2005年8月30日發(fā)明者澤邊賢,野尻剛申請(qǐng)人:日立化成工業(yè)株式會(huì)社