專利名稱：：輻射敏感樹脂組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種輻射敏感樹脂組合物，該組合物適合作為用于利用各種類型的輻射進(jìn)行微加工的抗蝕劑，所述輻射例如遠(yuǎn)紫外線(例如KrF、ArF或F2準(zhǔn)分子激光)、X射線(例如同步輻射)和帶電粒子束(例如電子束)。
背景技術(shù)：
：在以制造集成電路器件為代表的微加工領(lǐng)域中，用于精細(xì)圖案光刻的設(shè)計規(guī)則快速發(fā)展，以實現(xiàn)高度集成化和成本降低。隨著該發(fā)展，強(qiáng)烈需要開發(fā)穩(wěn)定地進(jìn)行精細(xì)加工的光刻方法。為了響應(yīng)這種動向，已經(jīng)提出了作為抗蝕劑的感度由于酸的催化作用而得到改善的多種包含輻射敏感產(chǎn)酸劑的化學(xué)放大型抗蝕劑，所述輻射敏感產(chǎn)酸劑在暴露于輻射時產(chǎn)生酸。例如，專利文獻(xiàn)l公開了一種具有叔丁基或叔丁氧羰基保護(hù)基的樹脂與輻射敏感產(chǎn)酸劑的組合。專利文獻(xiàn)2公開了一種具有甲硅烷基保護(hù)基的樹脂與輻射敏感產(chǎn)酸劑的組合。此外，已經(jīng)對化學(xué)放大型抗蝕劑做了許多報道，例如包含如下組分的抗蝕劑具有縮醛或縮酮保護(hù)基的樹脂；以及輻射敏感產(chǎn)酸劑(參見例如專利文獻(xiàn)3)。專利文獻(xiàn)1:日本專利爿>開特開昭59-45439專利文獻(xiàn)2:日本專利公開特開昭60-52845專利文獻(xiàn)3:日本專利>^開特開平2-25850然而，隨著用于精細(xì)圖案光刻法的設(shè)計規(guī)則的發(fā)展，暴露了由駐波引起的圖案線寬波動、由駐波引起的圖案外形劣化、納米邊緣粗糙或LEF(線端縮短；一種線圖案的膜厚度朝圖案邊緣方向變薄的現(xiàn)象)等方面的問題。具體地，當(dāng)通過處理例如蝕刻將具有所述問題的圖案傳遞給襯底時，可能降低圖案的線寬精確度，導(dǎo)致集成電路器件的電特性等的顯著下降(參見，例如非專利文獻(xiàn)l、2、3和4)。因此，除了常規(guī)化學(xué)放大型抗蝕劑所需要的分辨率性能之外，上述性能對于應(yīng)對精細(xì)化集成電路器件也是非常重要的。非專利文獻(xiàn)1:J.Photopolym.Sci.Tech.(1998)，第571頁非專利文獻(xiàn)2:Proc.SPIE第3333巻，第313頁非專利文獻(xiàn)3:Proc.SPIE第3333巻，第634頁非專利文獻(xiàn)4:J.Vac.Sci.Technol.B16(1)，(1998)，第69頁
發(fā)明內(nèi)容考慮這些實際情況而完成了本發(fā)明。因此，本發(fā)明的目的是提供一種輻射敏感樹脂組合物，該組合物包含輻射敏感產(chǎn)酸劑，充分抑制由駐波引起的圖案線寬波動和圖案外形劣化，并提供在納米邊緣粗糙度和LEF方面改善的抗蝕劑圖案，所述輻射敏感產(chǎn)酸劑在感應(yīng)有效輻射方面具有優(yōu)異的分辨率性能，并且熱穩(wěn)定性和儲存穩(wěn)定性極好，所述有效輻射包括各種類型的輻射，例如極紫外線或遠(yuǎn)紫外線(例如KrF、ArF或F2準(zhǔn)分子激光或EUV)、X射線(例如同步輻射)和帶電粒子束(例如電子束)。由下面的描述，本發(fā)明的其它目的和優(yōu)點將變得明顯。本發(fā)明提供一種輻射敏感樹脂組合物，其特征在于所述組合物包含(A)輻射敏感產(chǎn)酸劑，所述輻射敏感產(chǎn)酸劑包含具有由下式(l-a)表示的結(jié)構(gòu)和由下式(l-b)表示的結(jié)構(gòu)的化合物，和磺酰亞胺化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage6</formula>(1-b)其中，在式(l-a)中，每個R1、每個112和每個113獨立地表示氫原子、羥基、具有110個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷基、具有1~10個^^、子的線型、支化或環(huán)狀烷氧基、或叔丁氧羰基甲氧基，并且滿足下列條件中的至少一個條件兩個或更多個Ri分別是除氫原子之外的基團(tuán)，兩個或更多個R2分別是除氫原子之外的基團(tuán)，和兩個或更多個R3分別是除氳原子之外的基團(tuán)，以及其中，在式(l-b)中，每個W獨立地表示氫原子、氟原子或三氟曱基，并且一個或更多個W分別是氟原子或三氟甲基。在下文中，將詳細(xì)地描述本發(fā)明。產(chǎn)酸劑(A)本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物的特征在于包含輻射敏感產(chǎn)酸劑(在下文中稱為"產(chǎn)酸劑(A)"),所述產(chǎn)酸劑(A)包含具有由式(l-a)表示的結(jié)構(gòu)和由式(l-b)表示的結(jié)構(gòu)的化合物(在下文中稱為"產(chǎn)酸劑(l)，，)，和磺酰亞胺化合物。在式(l-a)中，由R1、議2和113表示的具有1~10個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷基的例子包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、新戊基、2-甲基-l-丁基、2-甲基-2-丁基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙基己基、正壬基、正癸基、環(huán)戊基和環(huán)己基。作為替代方案，由R1、W和Rs表示的具有1~10個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷氧基的例子包括甲H基、乙氧基、正丙氧基、異丙氡基、正丁氧基、異丁緣、仲丁lL&、叔丁緣、正戊g、新戊lL^、2-曱基-l-丁氡基、2-甲基-2-丁氡基、正己H基、正庚氧基、正辛氡基、2-乙基己氣基、正壬氧基、正癸氡基、環(huán)戊氧基和環(huán)己氧基。在式(l-a)中，RiRS必須滿足下列條件中的至少一個務(wù)降兩個或更多個Ri分別是除氫原子之外的基團(tuán)，兩個或更多個W分別是除氫原子之外的基團(tuán)，和兩個或更多個RS分別是除氫原子之外的基團(tuán)。當(dāng)R1、W或ie中的兩個或更多個分別是除氫原子之外的基團(tuán)時，這樣的除氫原子之外的基團(tuán)優(yōu)選為羥基、甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、仲丁基、叔丁基、甲氧基、叔丁氧基或叔丁氧羰基甲氧基等，尤其優(yōu)選甲基、乙基、異丙基、叔丁氧基或叔丁氧羰基曱氧基等。在下文中，式(l-a)表示的結(jié)構(gòu)和由下式(l-b)表示的結(jié)構(gòu)分別稱為"锍陽離子(a)"和"磺酸根陰離子(b)"。锍陽離子(a)的具體實例包括2，3-二羥基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二羥基苯基二苯基锍陽離子、2，5-二羥基苯基二苯基锍陽離子、2,6-二羥基苯基二苯基锍陽離子、3，4-二羥基苯基二苯基锍陽離子、3，5-二羥基苯基二苯基锍陽離子、2，4，6-三羥基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-3-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-4-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-5-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-6-甲基苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-4-曱基苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-5-曱基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-3-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-曱基-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-5-羥基苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-3-甲緣苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-4-甲総苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-5-曱猛苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-6-甲緣苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-4-甲猛苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-5-甲lL&苯基二苯基锍陽離子、2-甲lL^-3-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-甲lL^-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-甲氧基-5-羥基苯基二苯基锍陽離子、3-甲IL^-4-鞋基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-3-叔丁lL&苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-4-叔丁fL^苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-5-叔丁IL^苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-6-叔丁ft^苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-4-叔丁絲苯基二苯基銃陽離子、3-羥基-5-叔丁絲苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁lL^-3-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁IL^-5-羥基苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁H^-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-3-叔丁氧n甲H&苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-4-叔丁氧n甲H&苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-5-叔丁氧裝基甲lL&苯基二苯基锍陽離子、2-羥基-6-叔丁氧叛基甲IL^苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-4-叔丁氧氣基曱H^苯基二苯基锍陽離子、3-羥基-5-叔丁氧g甲lL^苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧叛基甲氧基-3-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧g甲IL^-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧g甲氧基-5-羥基苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁氧n曱氧基-4-羥基苯基二苯基锍陽離子、2,3-二曱基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二甲基苯基二苯基锍陽離子、2，5-二甲基苯基二苯基锍陽離子、2,6-二甲基苯基二苯基锍陽離子、3,4-二曱基苯基二苯基锍陽離子、3,5-二甲基苯基二苯基銃陽離子、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍陽離子、2,3-二乙基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二乙基苯基二苯基锍陽離子、2,5-二乙基苯基二苯基锍陽離子、2，6-二乙基苯基二苯基锍陽離子、3，4-二乙基苯基二苯基锍陽離子、3，5-二乙基苯基二苯基锍陽離子、2，4，6-三乙基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二正丙基苯基二苯基锍陽離子、2，4,6-三正丙基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二異丙基苯基二苯基锍陽離子、2，4,6-三異丙基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二正丁基苯基二苯基锍陽離子、2,4，6-三正丁基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二異丁基苯基二苯基锍陽離子、2,4，6-三異丁基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二仲丁基苯基二苯基锍陽離子、2,4,6-三仲丁基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二叔丁基苯基二苯基锍陽離子、2，4,6-三叔丁基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正丙基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-異丙基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正丁基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-叔丁基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正己基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正辛基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正癸基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正環(huán)己基苯基二苯基锍陽離子、2-曱基-3-甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-5-甲緣苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-6-甲猛苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-4-甲H&苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-5-甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2-甲猛-3-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-甲|1&-4-甲基苯基二苯1>锍陽離子、2-甲lL^-5-甲基苯基二苯基锍陽離子、3-曱氧基-4-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正丙氧基苯基二苯基锍陽離子、2-曱基-4-異丙猛苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正丁緣苯基二苯&锍陽離子、2-甲基-4-正己lL&苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正辛？L^苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-正癸lL&苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-環(huán)己lt^^^二苯^^锍陽離子、2-甲基-3-叔丁lL&苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-5-叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-6-叔丁*^苯基二苯基銃陽離子、3-甲基-4-叔丁IL^苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-5-叔丁fL&苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁|1^-3-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁絲-4-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁緣-5-甲基苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁絲-4-甲基苯基二苯基锍陽離子、4-叔丁氧基-2，6-二甲基苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-3-叔丁氧絲甲ItJ^苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-4-叔丁氧羰基甲IU^苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-5-叔丁氧n甲IL^苯基二苯基锍陽離子、2-甲基-6-叔丁氧羰基甲緣苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-4-叔丁氧絲曱緣苯基二苯基锍陽離子、3-甲基-5-叔丁氧絲甲猛苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧g甲猛-3-甲基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧絲甲甲基苯基二苯^&锍陽離子、2-叔丁氧m^甲氧基-5-甲基苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁氧絲甲氧基-4-甲基苯基二苯基锍陽離子、4-叔丁氧録甲氧基-2,6-二曱基苯基二苯基锍陽離子、2，3-二甲猛苯基二苯基锍陽離子、2,4-二甲H&苯基二苯基锍陽離子、2,5-二甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2，6-二甲猛苯基二苯基锍陽離子、3,4-二甲lL^苯基二苯基锍陽離子、3，5-二甲氧基苯基二苯^^锍陽離子、2,4,6-三甲|1^苯基二苯基锍陽離子、2-甲H^-3-叔丁H^苯基二苯基銃陽離子、2-曱氧基-4-叔丁氧基苯基二苯基锍陽離子、2-曱氧基-5-叔丁錄苯基二苯基锍陽離子、2-曱猛-6-叔丁氧基苯基二苯基锍陽離子、3-甲lL^-4-叔丁IL&苯基二苯基锍陽離子、3-甲IL^-5-叔丁lL&苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-3-曱H&苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-4-甲IU^苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁lL^-5-甲ILi苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁氧基-4-甲H&苯基二苯基锍陽離子、2,3-二叔丁氧基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、2，5-二叔丁猛苯基二苯基锍陽離子、2,6-二叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、3,4-二叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、3,5-二叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、2,4,6-三叔丁氧基苯基二苯基锍陽離子、2-甲氧R^曱HJ^苯基二苯基锍陽離子、2-甲lL^-4-叔丁氧羰基甲IL^苯基二苯基锍陽離子、2-甲HJ^5-叔丁氧羰基甲猛苯基二苯基锍陽離子、2-甲緣-6-叔丁氧絲甲猛苯基二苯基锍陽離子、3-甲HJ^4-叔丁氧n甲氧基苯基二苯基锍陽離子、3-甲lL^-5-叔丁氧絲甲緣苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧絲甲fl^-3-曱IL^苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧氣基甲曱IL^苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧g曱氧基-5-甲H^苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁氧M甲M-4-甲緣苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-3-叔丁氧餘甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-4-叔丁氧絲甲猛苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁H^-5-叔丁氧氛基甲lL^苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧基-6-叔丁氧羰基甲ll^苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁ll^-4-叔丁氧m^甲lL&苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁IL^-5-叔丁氧m^甲IL&苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧氣基曱？L^-3-叔丁氧苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧叛基曱lL^-4-叔丁氧苯基二苯基锍陽離子、2-叔丁氧歉基甲lL^-5-叔丁氧苯基二苯基锍陽離子、3-叔丁氧n甲氧基-4-叔丁氧苯基二苯基锍陽離子、2，3-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2，4-二叔丁氧a&甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2，5-二叔丁氧甲HJ^苯基二苯基锍陽離子、2，6-二叔丁氧g甲氧基苯基二苯基锍陽離子、3，4-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍陽離子、3，5-二叔丁氧絲甲氧基苯基二苯基锍陽離子、2,4，6-三叔丁氧g甲緣苯基二苯基锍陽離子、苯基雙(2，3-二曱基苯基)锍陽離子、苯基雙(2,4-二甲基苯基)锍陽離子、苯基雙(2,5-二甲基苯基)锍陽離子、苯基雙(2，6-二甲基苯基)锍陽離子、苯基雙(3，4-二甲基苯基)锍陽離子、苯基雙(3，5-二甲基苯基)锍陽離子、苯基雙(2，4,6-三曱基苯基)锍陽離子、三(2,3-二甲基苯基)锍陽離子、三(2，4-二甲基苯基)锍陽離子、三(2,5-二甲基苯基)锍陽離子、三(2,6-二曱基苯基)锍陽離子、三(3,4-二曱基苯基)锍陽離子、三(3，5-二曱基苯基)锍陽離子和三(2,4,6-三甲基苯基)锍陽離子。這些锍陽離子(a)中，優(yōu)選2,4-二羥基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二甲基苯基二苯基锍陽離子、2,6-二曱基苯基二苯基锍陽離子、2，4，6-三甲基苯基二苯基锍陽離子、2,4,6-三乙基苯基二苯基锍陽離子、2,4,6-三異丙基苯基二苯基锍陽離子、2,4-二叔丁緣苯基二苯基锍陽離子、2,4-二叔丁氧縣甲錄苯基二苯基锍陽離子、4-叔丁錄-2，6-二甲基苯基二苯基锍陽離子、4-叔丁氧絲甲緣-2,6-二曱基苯基二苯基锍陽離子等。接下來，在式(l-b)中，優(yōu)選氟原子和三氟甲基作為由議4表示的基團(tuán)?；撬岣庪x子(b)的具體實例包括2-氟M酸根陰離子、3-氟M酸才艮陰離子、4-氟M酸根陰離子、2,3-二氟^t酸根陰離子、2，4-二氟M酸根陰離子、2,5-二氟^t酸根陰離子、2，6-二氟M酸才艮陰離子、3,4-二氟M酸根陰離子、3,5-二氟^t酸根陰離子、2，4，6-三氟M酸根陰離子、2，3，5,6-四氟^t酸根陰離子、2,3,4，5，6-五氟^t酸根陰離子、2-氟-3-三氟曱基M酸根陰離子、2-氟-4-三氟甲基^t酸根陰離子、2-氟-5-三氟甲基輛酸根陰離子、2-氟-6-三氟甲基輛酸根陰離子、3-氟-4-三氟甲基輛酸根陰離子、3-氟-5-三氟甲基M酸根陰離子、2-三氟甲基-3-氟M酸根陰離子、2-三氟甲基-4-氟M酸根陰離子、2-三氟甲基-5-氟M酸根陰離子、3-三氟甲基-4-氟M酸根陰離子、2-三氟甲基M酸根陰離子、3-三氟甲基^t酸根陰離子、4-三氟甲基^t酸根陰離子、2,3-雙(三氟曱基)苯磺酸根陰離子、2，4-雙(三氟甲基)M酸根陰離子、2，5-雙(三氟曱基)M酸根陰離子、2，6-雙(三氟甲基)^t酸根陰離子、3,4-雙(三氟曱基)^t酸根陰離子、3,5-雙(三氟曱基)M酸根陰離子、2，4，6-三(三氟甲基)M酸根陰離子、2，3，5,6-四(三氟甲基)^t酸根陰離子和2，3，4，5，6-五(三氟甲基)M酸才艮陰離子。這些磺酸根陰離子(b)中，優(yōu)選4-氟^酸根陰離子、2,4-二氟笨璜酸根陰離子、2,6-二氟^t酸根陰離子、2,3，4，5，6-五氟^t酸根陰離子、4-三氟甲基^t酸根陰離子、2,4-雙(三氟甲基)^t酸根陰離子、2,4,6-三(三氟甲基)^t酸根陰離子、2,3,4，5，6-五(三氟甲基)M酸根陰離子等。本發(fā)明中優(yōu)選使用的產(chǎn)酸劑(l)的具體實例包括4-氟M酸2,4-二羥基苯基二苯基锍、2,4-二氟苯磺酸2，4-二羥基苯基二苯基锍、2,6-二氟苯磺酸2,4-二羥基苯基二苯基銃、2,3,4，5,6-五氟苯磺酸2,4-二羥基苯基二苯基锍、4-三氟甲基笨璜酸2,4-二羥基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)M酸2，4-二羥基苯基二苯基锍、2,4,6-三(三氟曱基)^t酸2,4-二羥基苯基二苯基锍、2，3，4,5,6-五(三氟甲基)笨璜酸2，4-二羥基苯基二苯基锍、4-氟M酸2,4-二甲基苯基二苯基锍、2，4-二氟輛酸2,4-二曱基苯基二苯基锍、2，6-二氟苯磺酸2,4-二曱基苯基二苯基锍、2,3，4，5，6-五氟苯磺酸2,4-二甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基笨鏡酸2，4-二曱基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)^黃酸2,4-二甲基苯基二苯基锍、2，4,6-三(三氟甲基)苯磺酸2，4-二甲基苯基二苯基锍、2,3,4，5，6-五(三氟甲基)苯磺酸2，4-二甲基苯基二苯基锍、4-氟苯磺酸2,6-二甲基苯基二苯基锍、2,4-二氟輛酸2,6-二曱基苯基二苯基銃、2，6-二氟樹酸2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，3,4,5，6-五氟輛酸2，6-二甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基M酸2,6-二甲基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)M酸2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，4,6-三(三氟曱基)苯磺酸2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，3,4，5,6-五(三氟曱基)^黃酸2,6-二甲基苯基二苯基锍、4-氟M酸3,5-二甲基苯基二苯基锍、2，4-二氟樹酸3,5-二甲基苯基二苯基锍、2，6畫二氟輛酸3，5-二甲基苯基二苯基锍、2,3，4，5，6-五氟輛酸3，5-二甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基笨璜酸3，5-二甲基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟曱基)苯磺酸3，5-二曱基苯基二苯基锍、2,4，6-三(三氟甲基)笨璜酸3，5-二甲基苯基二苯基锍、2，3,4，5,6-五(三氟曱基)苯磺酸3,5-二甲基苯基二苯基锍、4-氟M酸2，4,6-三甲基苯基二苯基銃、2，4-二氟輛酸2,4,6-三曱基苯基二苯基锍、2，6-二氟苯磺酸2,4,6-三甲基苯基二苯基锍、2,3，4，5，6-五氟苯磺酸2,4,6-三甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基M酸2,4,6-三甲基苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)M酸2,4,6-三甲基苯基二苯基銃、2，4,6-三(三氟曱基)苯磺酸2,4,6-三曱基苯基二苯基锍、2,3,4，5,6-五(三氟甲基)苯磺酸2,4,6-三曱基苯基二苯基锍、4-氟笨璜酸2，4，6-三乙基苯基二苯基锍、2，4-二氟笨璜酸2,4,6-三乙基苯基二苯基锍、2，6-二氟笨璜酸2，4，6-三乙基苯基二苯基锍、2，3,4，5，6-五氟糾酸2,4，6-三乙基苯基二苯基锍、4-三氟甲基樹酸2，4，6畫三乙基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)M酸2，4，6-三乙基苯基二苯J^锍、2,4,6-三(三氟甲基)笨璜酸2，4,6-三乙基苯基二苯基锍、2，3，4,5,6-五(三氟甲基)M酸2,4，6-三乙基苯基二苯基锍、4-氟M酸2,4，6-三異丙基苯基二苯基锍、2，4-二氟苯磺酸2,4,6-三異丙基苯基二苯基锍、2,6-二氟苯磺酸2，4，6畫三異丙基苯基二苯基锍、2,3,4，5,6-五氟^Pt酸2,4,6-三異丙基苯基二苯基锍、4-三氟甲基M酸2,4，6-三異丙基苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)苯磺酸2,4,6-三異丙基苯基二苯基锍、2,4，6-三(三氟甲基)M酸2，4,6-三異丙基苯基二苯基锍、2,3,4，5,6-五(三氟甲基)苯磺酸2，4，6-三異丙基苯基二苯基锍、4-氟苯磺酸2，4-二叔丁H^苯基二苯基锍、2，4-二氟輛酸2，4-二叔丁氧基苯基二苯基锍、2,6-二氟苯磺酸2，4-二叔丁氧基苯基二苯基锍、2,3，4，5，6-五氟輛酸2，4-二叔丁緣苯基二苯基锍、4-三氟甲基輛酸2,4-二叔丁lL^苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)笨晴酸2，4-二叔丁ltJ^苯基二苯基锍、2，4,6-三(三氟甲基)笨璜酸2，4-二叔丁|1^苯基二苯基锍、2,3,4，5，6國五(三氟甲基)樹酸2,4-二叔丁錄苯基二苯基锍、4-氟糾酸2,6-二叔丁氧基苯基二苯基锍、2,4-二氟糾酸2,6-二叔丁H&苯基二苯基锍、2，6-二氟糾酸2，6-二叔丁猛苯基二苯基锍、2,3，4，5，6-五氟輛酸2,6-二叔丁氧基苯基二苯基锍、4-三氟甲基M酸2，6-二叔丁氧基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)M酸2,6-二叔丁ft^苯基二苯基锍、2，4,6-三(三氟甲基)M酸2,6-二叔丁IL^苯基二苯基锍、2，3,4,5,6-五(三氟甲基)笨璜酸2,6-二叔丁氧基苯基二苯基锍、4-氟苯磺酸3，5-二叔丁IL^苯基二苯基锍、2，4-二氟苯磺酸3，5-二叔丁IL^苯基二苯基锍、2,6-二氟苯磺酸3，5-二叔丁IL^苯基二苯基锍、2，3,4，5,6-五氟樹酸3，5-二叔丁猛苯基二苯基锍、4-三氟甲基苯磺酸3,5-二叔丁IL^苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)苯磺酸3，5-二叔丁氧基苯基二苯基锍、2，4，6-三(三氟甲基)^黃酸3，5-二叔丁錄苯基二苯基锍、2，3，4，5，6-五(三氟甲基)苯磺酸3,5-二叔丁氧基苯基二苯基锍、4-氟M酸2，4,6-三叔丁HJ^苯基二苯基銃、2，4-二氟笨晴酸2,4,6-三叔丁IL^苯基二苯基锍、2,6-二氟樹酸2，4,6-三叔丁緣苯基二苯基锍、2，3，4,5,6-五氟^t酸2,4,6-三叔丁lL&苯基二苯基锍、4-三氟甲基^t酸2,4,6-三叔丁lt^苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)苯磺酸2，4,6-三叔丁氧基苯基二苯基锍、2,4，6-三(三氟甲基)樹酸2,4,6-三叔丁IUL苯基二苯基锍、2，3,4,5,6-五(三氟曱基)M酸2,4,6-三叔丁lL&苯基二苯基锍、4-氟M酸2,4-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、2，4-二氟^黃酸2,4-二叔丁氧叛基曱？L&苯基二苯基锍、2，6-二氟樹酸2,4-二叔丁氧餘曱絲苯基二苯基锍、2，3,4，5,6國五氟苯磺酸2，4-二叔丁氧羰基甲lL&苯基二苯基锍、4-三氟甲基^黃酸2,4-二叔丁氧g甲緣苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)M酸2，4-二叔丁氧羰基甲緣苯基二苯基锍、2,4，6-三(三氟甲基)輛酸2，4-二叔丁氧叛基曱絲苯基二苯基锍、2，3，4，5，6-五(三氟甲基)糾酸2，4-二叔丁氧羰基甲猛苯基二苯基锍、4-氟糾酸2，6-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、2,4-二氟樹酸2，6-二叔丁氧絲甲緣苯基二苯基锍、2，6-二氟輛酸2,6-二叔丁氧狄甲緣苯基二苯基锍、2，3,4,5,6-五氟樹酸2，6-二叔丁氧羰基甲lL^苯基二苯基锍、4-三氟甲基M酸2,6-二叔丁氧g甲lL&苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)笨璜酸2，6-二叔丁氧羰基甲^苯基二苯基锍、2，4，6-三(三氟甲基)苯磺酸2，6-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、2，3，4，5，6-五(三氟甲基)^黃酸2,6-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、4-氟糾酸3,5-二叔丁氧羰基甲H^苯基二苯基锍、2,4-二氟轉(zhuǎn)酸3，5-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、2,6-二氟笨晴酸3,5-二叔丁氧羰基甲緣苯基二苯基锍、2，3,4，5，6-五氟糾酸3，5-二叔丁氧絲甲IL^苯基二苯基锍、4-三氟甲基笨璜酸3，5-二叔丁IUl基甲氧基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)^黃酸3，5-二叔丁氧羰基甲H^苯基二苯基锍、2,4,6-三(三氟甲基)M酸3，5-二叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、2,3,4，5,6-五(三氟曱基)笨!黃酸3，5-二叔丁氧絲甲絲苯基二苯基锍、4-氟糾酸2,4,6-三叔丁氧JH^甲緣苯基二苯基锍、2,4-二氟樹酸2，4，6-三叔丁氧織甲猛苯基二苯基锍、2，6-二氟糾酸2,4,6-三叔丁氧絲甲|1^苯基二苯基锍、2，3,4,5，6-五氟苯磺酸2,4,6-三叔丁氧羰基甲氧基苯基二苯基锍、4-三氟甲基苯磺酸2,4,6-三叔丁氧絲曱緣苯基二苯基锍、2，4-雙(三氟甲基)輛酸2,4,6-三叔丁氧羰基曱緣苯基二苯基銃、2,4，6-三(三氟甲基)M酸2，4，6-三叔丁氧絲曱緣苯基二苯基銃、2,3,4，5，6-五(三氟甲基)輛酸2,4,6-三叔丁氧縣甲錄苯基二苯基锍、4-氟糾酸4-叔丁緣-2,6-二甲基苯基二苯基锍、2，4-二氟苯磺酸4-叔丁猛-2,6-二甲基苯基二苯基锍、2，6-二氟笨璜酸4-叔丁H^-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，3,4,5,6-五氟M酸4-叔丁lL^-2,6-二甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基輛酸4-叔丁猛-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)笨晴酸4-叔丁|^-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，4，6-三(三氟甲基)苯磺酸4-叔丁氧基-2,6-二甲基苯基二苯基锍、2，3，4,5，6-五(三氟甲基)^黃酸4-叔丁H^-2,6-二甲基苯基二苯基锍、4-氟M酸4-叔丁氧羰基甲IL^-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2,4-二氟笨璜酸4-叔丁氧羰基甲氧基-2，6-二曱基苯基二苯基锍、2，6-二氟輛酸4-叔丁氧絲甲M-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，3，4，5,6-五氟糾酸4-叔丁氧絲甲緣-2，6-二甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基^酸4-叔丁氧a&甲IL^-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2,4-雙(三氟甲基)絲酸4-叔丁氧絲曱|1&-2，6-二甲基苯基二苯基锍、2，4,6-三(三氟曱基)^t酸4-叔丁fm甲IL^-2,6-二甲基苯基二苯基锍和2,3，4,5，6-五(三氟甲基)笨璜酸4-叔丁氧羰基甲緣-2,6-二甲基苯基二笨基銳。這些產(chǎn)酸劑(l)中，優(yōu)選2,4,6-三(三氟曱基)^t酸2，4-二羥基苯基二苯基锍、2,3，4,5，6-五(三氟甲基)^黃酸2，4-二曱基苯基二苯基锍、2，4-二氟苯磺酸2,4，6-三甲基苯基二苯基銃、4-三氟甲基苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍、4-三氟甲基苯磺酸2,4,6-三乙基苯基二苯基锍、2,4-二氟笨璜酸2，4，6-三異丙基苯基二苯基锍、2，3，4，5，6-五氟樹酸4-叔丁猛-2,6-二甲基苯基二苯基锍、2，4，6-三(三氟甲基)輛酸4-叔丁氧絲甲氧基-2，6-二甲基苯基二苯基锍等。特別地，優(yōu)選2,4-二氟^t酸2，4，6-三曱基苯基二苯基锍、4-三氟甲基苯磺酸2,4，6-三甲基苯基二苯基锍等。在本發(fā)明中，這些產(chǎn)酸劑(l)可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物4吏用。本發(fā)明的產(chǎn)酸劑(A)包含與產(chǎn)酸劑(l)組合的磺酰亞胺化合物?；酋啺坊衔锏膶嵗ㄓ上率?6)表示的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>其中，在式(6)中，X表示二價基團(tuán)，例如亞烷基、亞芳基或亞烷氧基，R"表示一價基團(tuán)，例如烷基、芳基、囟代烷基或卣代芳基?；酋啺坊衔锏木唧w實例包括N-(三氟甲磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(三氟甲磺酰lL^)鄰苯二甲酰亞胺、N-(三氟甲磺酰lL&)二苯基馬來酰亞胺、]\-(三氟甲磺酰猛)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二曱酰亞胺、N-(三氟甲磺酰HiO-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-(三氟甲磺酰IUO雙環(huán)[2.2.1庚烷-5，6-氧-2，3-二曱酰亞胺、N-(三氟甲磺酰HiO萘酰亞胺、N-(九氟正丁^酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(九氟正丁磺酰氧基)鄰苯二曱酰亞胺、N-(九氟正丁磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(九氟正丁磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、N-(九氟正丁磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、]\-(九氟正丁磺酰|1^)雙環(huán)[2.2.1庚烷-5,6-成-2,3-二甲酰亞胺、N-(九氟正丁磺酰IL^)萘酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰HJ0琥珀酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰HiO鄰苯二甲酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰HiO二苯基馬來酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰氧基)-7-氧雜雙環(huán)[2丄l庚-5-烯-2，3-二曱酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰|1&)雙環(huán)[2.2.1庚烷-5,6-氧-2，3-二曱酰亞胺、N-(10-樟腦磺酰IU0萘酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰lL^)琥珀酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰H^)鄰苯二甲酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰lL^)二苯基馬來酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-(4-甲基笨璜酰IU+7-氧雜雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2,3-二曱酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰氧基)雙環(huán)[2,2.1庚烷-5,6-氧-2,3-二甲酰亞胺、N-(4-甲基苯磺酰li^)萘酰亞胺、N-(2-三反甲基苯磺酰氧基)琥珀酰亞胺、N-(2-三氟曱基苯磺酰氧基)鄰苯二曱酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(2-三氟甲基笨璜酰H&)雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-(2-三氟甲基笨璜酰H&)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.11庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺、N-(2-三氟曱基笨璜酰HSO雙環(huán)[2.2.1庚烷-5，6-咸-2，3-二甲酰亞胺、N-(2-三氟甲基苯磺酰氧基)萘酰亞胺、N-(4-氟苯磺酰lL&)琥珀酰亞胺、N-(4-氟笨璜酰HiO鄰苯二甲酰亞胺、N-(4-氟^t酰氧基)二苯基馬來酰亞胺、N-(4-氟^t酰氧基)雙環(huán)[2,2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、]\-(4-氟笨璜酰|1^)-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-(4-氟^t酰lL&)雙環(huán)[2.2.1]庚烷-5,6-氧-2，3-二甲酰亞胺、N-(4-氟笨璜酰氧基)萘酰亞胺、N-[(5-甲基-5-羧甲基雙環(huán)[2丄l庚烷-2-基)磺酰氧基琥珀酰亞胺、N-[(5-曱基-5-羧甲基雙環(huán)[2.2.1]庚烷-2-基)磺酰IL^]鄰苯二甲酰亞胺、N-(5-甲基-5-羧甲基雙環(huán)[2丄l庚烷-2-基)磺酰氧基二苯基馬來酰亞胺、]\-[(5-甲基-5-羧曱基雙環(huán)[2.2.1庚烷-2-基)磺酰|1^]雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-[(5-甲基-5-羧甲基雙環(huán)[2.2.1庚烷-2-基)磺酰氧基-7-氧雜雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺、N-[(5-甲基-5-羧曱基雙環(huán)[2.2.1]庚烷-2-基)磺酰氧基雙環(huán)[2.2.11庚烷畫5,6畫氧醒2，3-二甲酰亞胺和N-[(5-甲基畫5國羧甲基雙環(huán)[2.2.1庚烷-2-基)磺酰|1&萘酰亞胺。在本發(fā)明中，這些磺酰亞胺化合物可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。在本發(fā)明中，產(chǎn)酸劑(A)任選地還可以包含除產(chǎn)酸劑(l)和磺酰亞胺化合物之外的產(chǎn)酸劑(在下文中，稱為"另外的產(chǎn)酸劑")。另外的產(chǎn)酸劑的實例包括鑣鹽化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、重氮甲烷化合物和將磺酸酯(oximesulfonate)化合物。在下文中將描述這些另外的產(chǎn)酸劑。鎰鹽4t合物鎩鹽化合物的實例包括碘偷鹽、锍鹽、錛鹽、重氮鹽、銨鹽和吡咬镥鹽。鎩鹽化合物的具體實例包括三氟甲磺酸雙(對叔丁基苯基)碘镥、九氟正丁磺酸雙(對叔丁基苯基)碘錫、鄰三氟甲基M酸雙(對叔丁基苯基)碘輸、對三氟曱基苯磺酸雙(對叔丁基苯基)碘鏃、10-樟腦磺酸雙(對叔丁基苯基)16碘镥、對甲苯磺酸雙(對叔丁基苯基)硤镥、芘磺酸雙(對叔丁基苯基)碘镥、正十二烷基M酸雙(對叔丁基苯基)碘镥、笨晴酸雙(對叔丁基苯基)碘錫、2，4-二氟^酸雙(對叔丁基苯基)碘镥、正辛磺酸雙(對叔丁基苯基)碘櫞、三氟甲磺酸二苯M輸、九氟正丁磺酸二苯M纖、鄰三氟甲基M酸二苯絲纖、對三氟甲基輛酸二苯純镥、10-樟腦磺酸二苯M鎩、對曱M酸二苯M像、芘磺酸二^^镥、正十二烷基^t酸二苯lJ^镥、M酸二苯JJ^镥、2,4-二氟^t酸二苯M镥、正辛磺酸二苯M鏞、三氟曱磺酸三苯基锍、九氟正丁磺酸三苯基锍、鄰三氟甲基M酸三苯基锍、對三氟甲基M酸三苯基锍、10-樟腦磺酸三苯基锍、對甲M酸三苯基锍、芘磺酸三苯基锍、正十二烷基苯磺酸三苯基锍、苯磺酸三苯基锍、2，4-二氟^t酸三苯基锍、正辛磺酸三苯基锍、三氟甲磺酸對甲基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對甲基苯基二苯基锍、鄰三氟曱基M酸對甲基苯基二苯基锍、對三氟甲基^t酸對甲基苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對甲基苯基二苯基锍、對甲^t酸對甲基苯基二苯基锍、芘磺酸對甲基苯基二苯基锍、正十二烷基^t酸對甲基苯基二苯基锍、M酸對甲基苯基二苯基锍、2，4-二氟M酸對甲基苯基二苯基锍、正辛磺酸對甲基苯基二苯基锍、三氟曱磺酸對乙基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對乙基苯基二苯基锍、鄰三氟甲基^t酸對乙基苯基二苯基锍、對三氟甲基M酸對乙基苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對乙基苯基二苯基锍、對甲M酸對乙基苯基二苯基锍、芘磺酸對乙基苯基二苯基锍、正十二烷基M酸對乙基苯基二苯基锍、笨璜酸對乙基苯基二苯基锍、2，4-二氟M酸對乙基苯基二苯基锍、正辛磺酸對乙基苯基二苯基锍、三氟甲磺酸對異丙基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對異丙基苯基二苯基锍、鄰三氟甲基^t酸對異丙基苯基二苯基锍、對三氟曱基M酸對異丙基苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對異丙基苯基二苯基锍、對甲M酸對異丙基苯基二苯基锍、芘磺酸對異丙基苯基二苯基锍、正十二烷基M酸對異丙基苯基二苯基锍、^t酸對異丙基苯基二苯基銃、2,4-二氟M酸對異丙基苯基二苯基锍、正辛磺酸對異丙基苯基二苯基锍、三氟甲磺酸對叔丁基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對叔丁基苯基二苯基锍、鄰三氟甲基M酸對叔丁基苯基二苯基锍、對三氟甲基M酸對叔丁基苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對叔丁基苯基二苯基锍、對曱M酸對叔丁基苯基二苯基锍、芘磺酸對叔丁基苯基二苯基锍、正十二烷基M酸對叔丁基苯基二苯基锍、M酸對叔丁基苯基二苯基锍、2，4-二氟^t酸對叔丁基苯基二苯基锍、正辛磺酸對叔丁基苯基二苯基锍、三氟甲磺酸對甲氧基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對甲lt^苯基二苯基锍、鄰三氟甲基M酸對甲ltj^苯基二苯基锍、對三氟甲基^t酸對甲ftJ^苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對曱氧基苯基二苯基锍、對甲M酸對甲I^苯基二苯基锍、芘磺酸對甲ll^苯基二苯基锍、正十二烷基^t酸對甲lt^苯基二苯^^锍、M酸對甲氧基苯基二苯基锍、2,4-二氟^t酸對甲lL&苯基二苯基锍、正辛磺酸對甲lL^苯基二苯基锍、三氟甲磺酸對叔丁lL&苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對叔丁lL^苯基二苯基锍、鄰三氟曱基M酸對叔丁lL^苯基二苯基锍、對三氟甲基^t酸對叔丁IL^苯基苯基二苯基锍、10-樟腦磺酸對叔丁氧基苯基二苯基锍、對曱^t酸對叔丁IL^苯基二苯基锍、芘磺酸對叔丁H&苯基二苯基锍、正十二烷基^t酸對叔丁H&苯基二苯基锍、苯磺酸對叔丁lL&苯基二苯基锍、2,4-二氟M酸對叔丁H&苯基二苯基锍、正辛磺酸對叔丁^^苯基二苯基锍、三氟甲磺酸對叔丁氧甲氧基苯基二苯基锍、九氟正丁磺酸對叔丁氧羰基甲IL&苯基二苯基锍、鄰三氟甲基M酸對叔丁氧絲曱緣苯基二苯基锍、對三氟甲基M酸對叔丁氧羰基曱IL^苯基二苯基銃、10-樟腦磺酸對叔丁氧羰基甲H&苯基二苯基锍、對甲M酸對叔丁氧l^甲lL^苯基二苯基銃、芘磺酸對叔丁氧g甲氧基苯基二苯基锍、正十二烷基^^酸對叔丁氧羰基甲n^苯基二苯基锍、M酸對叔丁氧g甲氧基苯基二苯基锍、2,4-二氟^t酸對叔丁氧g甲iL&苯基二苯基锍和正辛磺酸對叔丁氧n甲H&苯基二苯基锍。砜化合物砜化合物的實例包括p-酮砜和p-磺酰砜。砜化合物的具體實例包括苯甲酰甲基苯基砜、均三甲苯基苯甲酰甲基砜、二(苯基磺g)甲烷、l，l-二(苯基磺g)環(huán)戊烷、l，l-二(苯基磺?；?環(huán)己烷和4-三苯甲酰曱基砜?；撬狨セ衔锘撬狨セ衔锏膶嵗ㄍ榛撬狨?、g代烷基磺酸酯、芳基磺酸酯和亞氨基磺酸酯。磺酸酯化合物的具體實例包括安息香曱苯磺酸酯、焦掊酚三三氟曱磺酸酯、焦掊酚三甲磺酸三酯、硝基節(jié)基-9,10-二乙氡基蒽-2-磺酸酯、a-羥甲基安息香甲苯磺酸酯、a-羥曱基安息香正辛磺酸酯、a-羥甲基安息香正十二烷磺酸酯和(X-羥甲基安息香三氟甲磺酸酯。重氮曱烷化合物重氮甲烷化合物的例子包括由下式(7)表示的化合物<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>其中，在式(7)中，每個R"獨立地表示具有1~20個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷基、具有620個碳原子的芳基、具有7~20個碳原子的芳烷基或任何具有雜原子和1~20個碳原子的其它一價有機(jī)基團(tuán)，并且這些烷基、芳基和芳烷基可以被取代。重氮甲烷化合物的具體實例包括雙(三氟甲基磺酰基)重氮曱烷、雙(叔丁基磺?；?重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺?；?重氮甲烷、雙(苯基磺?；?重氮甲烷、雙(對甲基苯基磺酰基)重氮甲烷、雙(1,4-二氧雜螺[4.5癸烷-7-磺?；?重氮甲烷、雙(1,5-二氧雜螺[5.5十一烷-8-磺?；?重氮甲烷、雙(3,3-二甲基-l，5-二氧雜螺[5.5十一烷-8-磺iL&)重氮曱烷、甲基磺?；h(huán)己基磺?；氐淄?、甲基磺g苯基磺?；氐淄?、甲基磺?；鶎谆交酋；氐淄?、叔丁基磺酰基環(huán)己基磺,重氮甲烷、叔丁基磺酰基苯基磺?；氐獣跬?、叔丁基磺?；鶎趸交酋；氐淄?、環(huán)己基磺?；?,4-二氧雜螺[4.5癸烷-7-磺醃基重氮甲烷、環(huán)己基磺酰基1,5-二氧雜螺[5.5十一烷-8-磺?；氐淄楹铜h(huán)己基磺酰基3，3-二甲基-l,5-二氧雜螺[5.5]十一烷-8-磺醃基重氮甲烷。將磺酸酯化合物脬磺酸酯化合物的實例包括(5-正丙基磺酰氧基亞氨基-5H-噻吩-2-亞基)(2-甲基苯基)乙腈和2,2,2-三氟-1-[4-{3-(4-[2，2,2-三氟-1-(1-正丙磺酰猛亞JL^)乙基]苯IU0正丙HS4苯基]乙烷肟1-正丙磺酸酯。在本發(fā)明中，這些另外的產(chǎn)酸劑可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。在本發(fā)明中，相對于100重量份后文所述的樹脂(B)，所用的產(chǎn)酸劑(A)的量通常為0.01~20重量份，優(yōu)選0.1~15重量份，尤其優(yōu)選0.3~8重量份。在這種情況下，如果所用的產(chǎn)酸劑(A)的量少于給定范圍，則可能出現(xiàn)由駐波導(dǎo)致的圖案線寬波動和圖案外形劣化。另一方面，如果所用的產(chǎn)酸劑(A)的量超過給定范圍，則圖案外形可能變?yōu)橄蚯暗腻F形形式。此外，相對于全部產(chǎn)酸劑(A)，所用的磺酰亞胺化合物的比例通常為0.1~20wt%,優(yōu)選l15wt。/。。在這種情況下，如果所用的磺酰亞胺化合物的比例少于給定范圍，則可能出現(xiàn)分辨率變差或線邊緣粗糙(LER)。另一方面，如果所用的磺酰亞胺化合物的比例超過給定范圍，則圖案外形可能變?yōu)門頂形式。此外，相對于全部產(chǎn)酸劑(A)，所用的另外的產(chǎn)酸劑的比例通常為5wtV。以下，優(yōu)選3wt。/。以下。;這種情況下，如果所用的另外的產(chǎn)酸劑的比例超過給定值，則可能降低本發(fā)明的預(yù)期效果。樹脂組分除了產(chǎn)酸劑(A)之外，本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物通常包含樹脂組分。樹脂組分的實例包括(i)不溶或難溶于堿的具有酸敏基團(tuán)的樹脂，該樹脂通過酸敏基團(tuán)的解離而變得易溶于堿(在下文中，稱為"含有酸敏基團(tuán)的樹脂")，(ii)可溶于堿的樹脂與溶解控制劑的混合物，以及(iii)可溶于堿的樹脂與在酸存在下能夠交聯(lián)該可溶于堿的樹脂的交聯(lián)劑的混合物。優(yōu)選地，使用含有酸敏基團(tuán)的樹脂。在下文中，將描述含有酸敏基團(tuán)的樹脂。描述含有酸敏基團(tuán)的樹脂的短語"不溶或難溶于堿"指的是這樣一種性質(zhì)，即在利用由包含含酸敏基團(tuán)的樹脂的輻射敏感樹脂組合物形成的抗蝕劑膜形成抗蝕劑圖案時采用的堿性顯影條件下顯影后，僅用含酸敏基團(tuán)的樹脂得到的膜而不是抗蝕劑膜保留初始厚度的50%以上。本發(fā)明的含有酸敏基團(tuán)的樹脂沒有特別限制。其優(yōu)選實例包括具有由下式(2)表示的重復(fù)單元(在下文中，稱為"重復(fù)單元(2)")、由下式(3)表示的重復(fù)單元(在下文中，稱為"重復(fù)單元(3)")和/或由下式(4)表示的重復(fù)單元(在下文中，稱為"重復(fù)單元(4)")的樹脂(在下文中，稱為"樹脂(B)，，)(R0)姐、(OH)n②10CH+0=Co(R3)p(bR9)(3)R,11(4)20其中，在式(2)中，RS表示氫原子或甲基，W表示除叔丁氧基和-O-Z(Z是除叔丁基之外的一價酸敏基團(tuán))之外的一價有機(jī)基團(tuán)，m是0~3的任意整數(shù)，n是l3的任意整數(shù)，多個W可以彼此相同或不同，其中，在式(3)中，W表示氫原子或甲基，W表示除叔丁氧基和-O-Z(Z是除叔丁基之外的一價酸敏基團(tuán))之外的一價有機(jī)基團(tuán)，W表示叔丁基，p是03的任意整數(shù)，q是l3的任意整數(shù)，多個RS可以彼此相同或不同，以及其中，在式(4)中，R"表示氫原子或甲基，R"表示叔丁基。由式(2)中的R6和式(3)中的R8表示的一價有機(jī)基團(tuán)的實例包括具有1~12個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷基、具有6~20個碳原子的一價芳烴基、含氧原子的一價有機(jī)基團(tuán)和含氮原子的一價有機(jī)基團(tuán)。烷基的實例包括甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、2-曱基丙基、l-甲基丙基、叔丁基、環(huán)戊基和環(huán)己基。作為替代方案，一價芳烴基的實例包括苯基、鄰曱苯基、間曱苯基、對甲苯基、2,4-二甲苯基、2，6-二甲苯基、3,5-二曱苯基、2,4,6-三甲苯基、鄰異丙苯基、間異丙苯基、對異丙苯基、芐基、苯乙基、l-萘基和2-萘基。作為替代方案，含氧一價有機(jī)基團(tuán)的實例包括羧基；具有1~8個碳原子的線型、支化或環(huán)狀羥烷基，例如羥甲基、l-羥乙基、2-羥乙基、l-羥丙基、2-羥丙基、3-羥丙基、l-羥丁基、2-羥丁基、3-羥丁基、4-羥丁基、3-羥環(huán)戊基和4-羥環(huán)己基；具有1~8個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷氡基，例如甲lL基、乙氡基、正丙氡基、異丙氡基、正丁氧基、2-甲基丙|L^、l-甲基丙緣、叔丁lL^、環(huán)戊SJ^和環(huán)己H^;具有2~9個^^、子的線型烷氧羰氧基，例如甲氧羰氡基、乙氧羰氡基、正丙氧羰氧基和正丁氧羰lL^;具有3~10個碳原子的線型、支化或環(huán)狀(1-烷氧烷IL^))^,例如(l-甲氧乙猛)甲基、(l-乙氧乙猛)甲基、(l-正丙氧乙猛)甲基、(1-正丁氧乙氧基)甲基、(l-環(huán)戊氧乙氧基)甲基、(l-環(huán)己氧乙氧基)甲基、(1-甲氧丙HiO甲基和(i-乙氧丙S^)甲基；以及具有3~10個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷氧羰氧烷基，例如甲氧羰氧甲基、乙氧羰氧甲基、正丙氧羰氧甲基、異丙氧羰氧甲基、正丁氧羰氧曱基、叔丁氧羰氧甲基、環(huán)戊氧羰氧甲基和環(huán)己氧羰氧甲基。作為替代方案，含氮原子的一價有機(jī)基團(tuán)的實例包括氰基；以及具有29個碳原子的線型、支化或環(huán)狀氰烷基，例如氰甲基、l-氰乙基、2-氰乙基、l-氰丙基、2-氰丙基、3-氰丙基、l-氰丁基、2-氰丁基、3-氰丁基、4-氰丁基、3-氰環(huán)戊基和4-氰環(huán)己基。優(yōu)選用在本發(fā)明中的重復(fù)單元(2)的實例包括通過使化合物中的可聚合不飽和鍵斷裂得到的重復(fù)單元，所述化合物例如2-羥基苯乙烯、3-羥基苯乙烯、4-羥基苯乙烯、2-羥基-a-甲基苯乙烯、3-羥基-a-甲基苯乙烯、4-羥基-a-甲基苯乙烯、2-甲基-3-羥基苯乙烯、4-甲基-3-羥基苯乙烯、5-曱基-3-羥基苯乙烯、2-甲基-4-羥基苯乙烯、3-甲基-4-羥基苯乙烯、3，4-二羥基苯乙烯和2,4,6-三羥基苯乙烯。在樹脂(B)中，這些重復(fù)單元(2)可以單獨存在或者以它們中兩種或更多種的組合存在。此外，優(yōu)選用在本發(fā)明中的重復(fù)單元(3)的實例包括通過使化合物中的可聚合不飽和鍵斷裂得到的重復(fù)單元，所述化合物例如2-叔丁氧基苯乙烯、3-叔丁氧基苯乙烯、4-叔丁氧基苯乙烯、2-叔丁氧基-a-甲基苯乙烯、3-叔丁氧基-a-甲基苯乙烯、4-叔丁氧基-a-甲基苯乙烯、2-甲基-4-叔丁氧基苯乙烯和3-曱基-4-叔丁氧基苯乙烯。在樹脂(B)中，這些重復(fù)單元(3)可以單獨存在或者以它們中兩種或更多種的組合存在。此外，重復(fù)單元(4)是衍生自丙烯酸叔丁酯或甲基丙烯酸叔丁酯的單元。這些單元均是優(yōu)選的。在樹脂(B)中，這些重復(fù)單元(4)可以單獨存在或者以它們中兩種或更多種的組合存在。除了重復(fù)單元(2)~(4)之外，樹脂(B)還可以具有其它重復(fù)單元(在下文中，稱為"另外的重復(fù)單元")。所述另外的重復(fù)單元的實例包括通過使化合物(在下文中，稱為"另外的含酸敏基團(tuán)的苯乙烯化合物")中的可聚合不飽和鍵斷裂得到的單元，在所述化合物中提供重復(fù)單元(2)的羥基苯乙烯或a-甲基苯乙烯中酚羥基的氫原子被除叔丁基之外的一價酸敏基團(tuán)取代；以及通過使例如下列的化合物中的可聚合不飽和鍵斷裂得到的單元乙烯基芳族化合物，例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、2-甲基苯乙烯、3-曱基苯乙烯、4-甲基苯乙烯、2-甲氧基苯乙烯、3-甲氧基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯和4-(2-叔丁氧羰乙氧基)苯乙烯；(曱基)丙烯酸酯，例如(甲基)丙烯酸曱酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(曱基)丙烯酸異丙酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(曱基)丙烯酸2-曱基丙酯、(曱基)丙烯酸l-甲基丙酯、(甲基)丙烯酸正戊酯、(甲基)丙烯酸新戊酯、(甲基)丙烯酸正己酯、(曱基)丙烯酸2-乙基己酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、(曱基)丙烯酸3-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(曱基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸l-甲基環(huán)戊酯、(曱基)丙烯酸l-乙基環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸1-甲基金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸1-乙基金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸8-甲基-8-三環(huán)癸基酯、(甲基)丙烯酸8-乙基-8-三環(huán)癸基酯、(甲基)丙烯酸3_甲基_3-四環(huán)十二碳烯基酯、(甲基)丙烯酸3-乙基-3-四環(huán)十二碳烯基酯和2,5-二甲基己烷-2,5-二(甲基)丙烯酸酯；不飽和羧酸(酐)，例如(曱基)丙烯酸、巴豆酸、馬來酸、馬來酸酐、富馬酸和肉桂酸；不飽和羧酸的羧烷基酯，例如(甲基)丙烯酸2-羧乙酯、(甲基)丙烯酸2-羧丙酯和(甲基)丙烯酸3-羧丙酯；不飽和腈化合物，例如(甲基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、巴豆腈、馬來腈和反丁烯二腈；不飽和酰胺化合物，例如(甲基)丙烯酰胺、N，N-二甲基(甲基)丙烯酰胺、巴豆酰胺、馬來酰胺和富馬酰胺；不飽和酰亞胺化合物，例如馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺和N-環(huán)己基馬來酰亞胺；以及其它含氮乙烯基化合物，例如N-乙烯基-s-己內(nèi)酰胺、N-乙烯基吡咯烷酮、2-乙烯基吡咬、3-乙烯基吡咬、4-乙烯基吡咬、2-乙烯基咪唑和4-乙烯基咪唑。所述另外的含酸敏基團(tuán)的苯乙烯化合物中的一價酸敏基團(tuán)的實例包括取代的甲基、1-取代的乙基、l-支化烷基、三有機(jī)甲硅烷基、三有機(jī)甲鍺烷基、烷氧羰基、?；鸵粌r環(huán)狀酸敏基。取代的甲基的實例包括曱氧甲基、甲石危甲基、乙氧曱基、乙石危曱基、(2-甲氧乙氧基)甲基、節(jié)氧甲基、節(jié)硫曱基、苯甲酰甲基、溴苯曱酰甲基、甲氧苯甲酰甲基、甲硫苯甲酰甲基、a-甲基苯曱酰甲基、環(huán)丙基甲基、爺基、二苯基甲基、三苯基甲基、溴節(jié)基、硝基節(jié)基、曱氧千基、甲硫節(jié)基、乙氧節(jié)基、乙硫節(jié)基、胡椒基、甲氧羰甲基、乙氧羰甲基、正丙氧羰甲基、異丙氧羰甲基、正丁氧羰甲基和叔丁氧羰甲基。1-取代的乙基的實例包括1-甲氧乙基、1-甲硫乙基、1,1-二曱氧乙基、l-乙氧乙基、l-乙疏乙基、l，l-二乙氧乙基、l-乙氧丙基、l-丙氧乙基、1-環(huán)己氧乙基、l-苯氧乙基、l-苯硫乙基、l，l-二苯氧乙基、l-節(jié)氧乙基、l-節(jié)硫乙基、l-環(huán)丙乙基、l-苯乙基、l，l-二苯乙基、1-甲氧羰乙基、1-乙氧羰乙基、1-正丙氧羰乙基、1-異丙氧羰乙基、1-正丁氧羰乙基和1-叔丁氧羰乙基。1-支化烷基的實例包括異丙基、l-甲基丙基、l，l-二曱基丙基、1-甲基丁基和1,1-二甲基丁基。三有機(jī)曱硅烷基的實例包括三曱基甲硅烷基、乙基二甲基甲硅烷基、甲基二乙基甲硅烷基、三乙基曱硅烷基、異丙基二甲基甲硅烷基、甲基二異丙基甲硅烷基、三異丙基甲硅烷基、叔丁基二甲基甲硅烷基、甲基二叔丁基甲硅烷基、三叔丁基甲硅烷基、苯基二甲基甲硅烷基、曱基二苯基甲硅垸基和三苯基甲硅烷基。三有機(jī)甲鍺烷基的實例包括三曱基甲鍺烷基、乙基二曱基曱鍺烷基、甲基二乙基甲鍺烷基、三乙基甲鍺烷基、異丙基二甲基甲鍺烷基、甲基二異丙基甲鍺烷基、三異丙基甲鍺烷基、叔丁基二甲基甲鍺烷基、甲基二叔丁基甲鍺烷基、三叔丁基甲鍺烷基、苯基二甲基甲鍺烷基、甲基二苯基曱鍺烷基和三苯基甲鍺烷基。烷氧羰基的實例包括甲氧羰基、乙氧羰基、異丙氧羰基和叔丁氧羰基。?；膶嵗ㄒ阴；?、丙酰基、丁?；?、庚?；⒓乎；?、戊酰基、新戊?；?、異戊?；?、月桂?；?、肉豆寇?；?、棕櫚?；⒂仓；?、草?；?、丙二酰基、琥珀酰基、戊二?；?、已二?；?、胡椒?；?、辛二?；?、壬二?；?、癸二?；⒈；⒈蝉；?、曱基丙烯?；?、巴豆酰基、油酰基、馬來?；?、富馬酰基、中康?；?、樟腦?；⒈郊柞；?、鄰苯二甲酰基、間苯二甲酰基、對苯二甲?；⑤刘；⒓妆锦；?、氬化阿托?；⑼絮；?、肉桂酰基、糠?；?、噻吩甲?；?、煙?；?、異煙?；?、對甲苯磺?；图谆酋；?。此外，一價環(huán)狀酸敏基的實例包括環(huán)丙基、環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)己烯基、4-甲氧基環(huán)己基、四氫呋喃基、四氫吡喃基、四氫噻吩基、四氫噻喃基、3-溴四氫吡喃基、4-甲氧基四氫吡喃基、4-甲氧基四氫蓉喃基和3-四氫漆吩-l,l-二氧化物基團(tuán)。這些一價酸敏基團(tuán)中，優(yōu)選芐基、l-甲氧乙基、l-乙氧乙基、三甲基甲硅烷基、叔丁氧羰基、叔丁氧羰甲基、四氫呋喃基、四氫吡喃基、四氫噢汾基或四氫漆喃基等。優(yōu)選用在本發(fā)明中的另外的重復(fù)單元的實例包括通過使化合物中的可聚合不飽和鍵斷裂得到的單元，所述化合物例如4-(l-乙氧乙氧基)苯乙烯、4-(l-乙氧乙氧基)-a-曱基苯乙烯、4-(2-乙基-2-丙氧基)苯乙烯、4-(2-乙基-2-丙氧基)-a-甲基苯乙烯和苯乙烯。在樹脂(B)中，這些另外的重復(fù)單元可以單獨存在或者以它們中兩種或更多種的組合存在。樹脂(B)還可以具有支化單元(在下文中，稱為"酸敏支化單元")，其中通過使可聚合不飽和鍵斷裂形成的兩個或更多個結(jié)構(gòu)單元通過酸敏連接基結(jié)合。具有這樣的酸敏支化單元的樹脂(B)給出粘度比沒有支化單元的線型樹脂低的樹脂溶液。結(jié)果，產(chǎn)生分子量較高的樹脂，從而進(jìn)一步改善抗蝕劑的耐熱性并改善分辨率。此外，降低了聚合物的分子鏈活動性，導(dǎo)致抑制熱變形并改善耐熱性。此外，在酸的作用下使酸敏連接基解離，從而使樹脂中的支化單元斷裂，以產(chǎn)生較低分子量的樹脂，導(dǎo)致在酸存在下樹脂溶解性的進(jìn)一步改善并改善分辨率。優(yōu)選用在酸敏支化單元中的酸敏連接基的實例包括由下式(8)表示的二價酯基和由下式(9)表示的二價碳酸酯基<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(8〉<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(9〉其中，在式(8)和(9)中，每個R"獨立地表示具有1~5個碳原子的烷基或具有6~14個碳原子的芳基。例如可以通過由下式(IO)~(12)表示的任意多元醇與具有一個可聚合不飽和鍵的一價羧酸進(jìn)行酯化反應(yīng)來合成給出具有由式(8)表示的二價酯基的酸敏支化單元的可聚合不飽和單體<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>16其中，在式(10)中，每個R15與式(8)和(9)中的每個R"相同，R表示i價有機(jī)基團(tuán)(前提是可以具有一個或更多個伯醇羥基或仲醇鞋基)或者在1=2時表示單鍵，并且i是24的任意整數(shù)，其中，在式(ll)中，每個R15與式(8)和(9)中的每個R"相同，R17表示具有1~5個碳原子的烷基(前提是可以具有一個或更多個伯羥基或仲羥基)，j是24的任意整數(shù)，a是04的任意整數(shù)，并且(j+a)S6，以及其中，在式(12)中，每個R15與式(8)和(9)中的每個R"相同，R18表示具有1~5個碳原子的烷基(前提是可以具有一個或更多個伯羥基或仲羥基)，R19表示x價有機(jī)基團(tuán)(前提是可以具有一個或更多個伯羥基或仲羥基)、-O-、-S-、-CO-或-SOr，k是l或2，b是03的任意整數(shù)，x是24的任意整數(shù)。作為替代方案，例如可以通過如下步驟合成給出具有由式(9)表示的二價碳酸酯基的酸敏支化單元的可聚合不飽和單體利用光氣等將由式(10)~(12)表示的任意多元醇轉(zhuǎn)化為聚(氯曱酸酯)，以及使該聚(氯甲酸酯)與具有一個可聚合不飽和鍵的一元醇進(jìn)行酯化反應(yīng)。由式(10)表示的多元醇的實例包括二元醇，例如2,3-二甲基-2，3-丁二醇、2,3-二乙基-2，3-丁二醇、2，3-二正丙基-2，3-丁二醇、2，3-二苯基國2,3-丁二醇、2,4-二甲基-2，4-戊二醇、2,4-二乙基-2，4-戊二醇、2，4-二正丙基-2,4-戊二醇、2，4-二苯基-2,4-戊二醇、2,5-二甲基-2，5-己二醇、2,5-二乙基-2，5-己二醇、2，5-二正丙基-2,5-己二醇、2,5-二苯基-2，5-己二醇、2，6-二曱基-2,6-庚二醇、2，6-二乙基-2,6-庚二醇、2，6-二正丙基-2，6-庚二醇、2，6-二苯基-2，6-庚二醇、2，7-二曱基-2，7-辛二醇、2，7-二乙基-2,7國辛二醇、2,7-二正丙基-2,7-辛二醇和2，7-二苯基-2,7-辛二醇；三元醇，例如2,4-二甲基-2,4-二羥基-3-(2-羥丙基)戊烷、2,4-二乙基-2,4-二羥基-3-(2-羥丙基)戊烷、2,5-二甲基-2,5-二羥基-3-(2-羥丙基)己烷和2,5-二乙基-2,5-二羥基-3-(2-羥丙基)己烷；以及四元醇，例如2，4-二甲基-2,4-二羥基-3，3-二(2-羥丙基)戊烷、2,4-二乙基-2，4-二羥基-3,3-二(2-羥丙基)戊烷、2,5-二曱基-2,5-二羥基-3,4-二(2-羥丙基)己烷和2,5-二乙基-2，4-二羥基-3,4-二(2-羥丙基)己烷。作為替代方案，由式(ll)表示的多元醇的實例包括1，4-二(2-羥丙基)苯、1,3-二(2-羥丙基)苯、1，3,5-三(2-羥丙基)苯和1,2,4,5-四(2-羥丙基)苯。作為替代方案，由式(12)表示的多元醇的實例包括2,2-二{4-(2-羥丙基)苯基}丙烷、1，2,2-三{4-(2-羥丙基)苯基}丙烷、1,2，3,4-四{4-(2-羥丙基)苯基}丁烷、二{4-(2-羥丙基)苯基}醚、二{4-(2-羥丙基)苯基}硫醚、二{4-(2-羥丙基)苯基}酮和二{4-(2-羥丙基)苯基}砜。這些多元醇中，優(yōu)選由式(10)表示的多元醇。更優(yōu)選使用2,3-二甲基-2，3-丁二醇、2,4-二甲基-2,4-戊二醇、2，5-二曱基-2,5-己二醇、2,6-二曱基-2,6-庚二醇、2,7-二甲基-2,7-辛二醇等。尤其優(yōu)選使用2，5-二甲基-2,5-己二醇。此外，用于合成出具有由式(8)表示的二價酯基的酸敏支化單元的可聚合不飽和單體的具有一個可聚合不飽和鍵的一價羧酸的實例包括(甲基)丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、馬來酸、富馬酸、衣康酸、2-(甲基)丙烯酰氧乙基羧酸和4-(甲基)丙烯醜氧環(huán)己基羧酸。作為替代方案，用于合成出具有由式(9)表示的二價碳酸酯基的酸敏支化單元的可聚合的不飽和單體的具有一個可聚合不飽和鍵的一元醇的實例包括羥基苯乙烯，例如2-羥基苯乙烯、3-羥基苯乙烯、4-羥基苯乙烯、2-異丙烯基苯酚、3-異丙烯基苯酚和4-異丙烯基苯酚；以及(甲基)丙烯酸羥烷基酯，例如(甲基)丙烯酸-2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羥丁酯、(甲基)丙烯酸3-羥丁酯和(甲基)丙烯酸-4-羥丁酯。在本發(fā)明中，酸敏支化單元優(yōu)選為由下式(5)表示的單元，其具體實例包括通過使化合物中的兩個可聚合不飽和鍵斷裂得到的單元，所述化合物例如2，5-二甲基己烷-2,5-二丙烯酸酯、2，6-二曱基庚烷-2，6-二丙烯酸酯和2，7-二曱基辛烷-2，7-二丙烯酸酯<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>其中，在式(5)中，每個1112獨立地表示氫原子或甲基，r是04的任意整數(shù)。在樹脂(B)中，這些酸敏支化單元可以單獨存在或者以它們中兩種或更多種的組合存在。特別優(yōu)選用在本發(fā)明中的樹脂(B)的具體實例包括4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁氡基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/4-(1-乙氧乙氧基)苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁|1&苯乙烯/苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯/4-(1-乙氧乙IUO苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯/苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯/4-(1-乙氧乙氧基)苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯/苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/2,5-二甲基己烷-2,5-二(甲基)丙烯酸酯共聚物和4-羥基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯/2，5-二甲基己烷-2,5-二(甲基)丙烯酸酯共聚物。在樹脂(B)中，重復(fù)單元(2)的含量優(yōu)選為60~80mol%,尤其優(yōu)選<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>為6575mo1。/。。重復(fù)單元(3)和(4)的總含量優(yōu)選為10~40mol%,尤其優(yōu)選為10~35mol%。另外的重復(fù)單元的含量通常為25mol。/o以下，優(yōu)選為10moP/Q以下。酸敏支化單元的含量通常為10moP/。以下，優(yōu)選5molQ/o以下。在這種情況下，如果重復(fù)單元(2)的含量低于給定范圍，則抗蝕劑圖案對襯底的粘附性趨于下降。另一方面，如果重復(fù)單元(2)的含量超過給定范圍，則顯影后的對比度趨于下降。另外，如果重復(fù)單元(3)和(4)的總含量低于給定范圍，則分辨率趨于下降。另一方面，如果重復(fù)單元(3)和(4)的總含量超過給定范圍，則抗蝕劑圖案對襯底的粘附性趨于下降。另外，如果另外的重復(fù)單元的含量超過給定值，則抗蝕劑圖案對襯底的粘附性趨于下降或者分辨率趨于下降。此外，如果酸敏支化單元的含量超過給定值，則所得的樹脂在溶劑中的溶解性趨于下降。通過凝膠滲透色鐠(GPC)測量的樹脂(B)的換算為聚苯乙烯的重均分子量(在下文中，稱為"Mw")優(yōu)選為1,000~150,000，更優(yōu)選3,000~100,000。另外，Mw與通過凝膠滲透色鐠(GPC)測量的樹脂(B)的換算為聚苯乙烯的數(shù)均分子量(在下文中，稱為"Mn")的比(Mw/Mn)通常為1~10,優(yōu)選為1~5。在本發(fā)明中，這些樹脂(B)可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物^f吏用。添加劑優(yōu)選本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物還應(yīng)該含有酸擴(kuò)^L控制劑，該酸擴(kuò)散控制劑具有控制由產(chǎn)酸劑(A)在曝光時產(chǎn)生的酸在抗蝕劑膜中的擴(kuò)散現(xiàn)象的作用，以《更抑制非曝光區(qū)中的不希望的化學(xué)反應(yīng)。使用這樣的酸擴(kuò)散控制劑進(jìn)一步改善組合物的儲存穩(wěn)定性并改善作為抗蝕劑的分辨率。另外，使用這樣的酸擴(kuò)散控制劑防止抗蝕劑圖案的線寬由于在從曝光到曝光后熱處理的曝光后延遲(PED)的波動而改變，從而具有極好的工藝穩(wěn)定性。所述酸擴(kuò)散控制劑優(yōu)選為在抗蝕劑圖案形成步驟中其堿度不隨曝光或熱處理而改變的含氮有機(jī)化合物。這樣的含氮有機(jī)化合物的實例包括由下式(13)表示的化合物(在下文中，稱為"含氮化合物(i)"):R幼一N—R幼(13)其中，在式(13)中，每個R"獨立地表示氫原子、烷基、芳基或芳烷基，并且這些烷基、芳基和芳烷基中的每一個可以被取代；在一個分子中具有兩個氮原子的二氨基化合物(在下文中，稱為"含氮化合物(ii)");在一個分子中具有三個或更多個氮原子的二氨基聚合物(在下文中，稱為"含氮化合物(iii)");以及含有酰胺基的化合物、脲化合物、含氮雜環(huán)化合物和N,N-二曱基丙烯酰胺聚合物(共聚物)。含氮化合物(i)的實例包括線型、支化或環(huán)狀一烷基胺，例如正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺和環(huán)己胺；線型、支化或環(huán)狀二烷基胺，例如二正丁胺、二正戊胺、二正己胺、二正庚胺、二正辛胺、二正壬胺、二正癸胺、甲基環(huán)己基胺和二環(huán)己胺；線型、支化或環(huán)狀三烷基胺，例如三乙胺、三正丙胺、三正丁胺、三正戊胺、三正己胺、三正庚胺、三正辛胺、三正壬胺、三正癸胺、環(huán)己基二甲基胺、甲基二環(huán)己基胺和三環(huán)己胺；線型、支化或環(huán)狀烷醇胺，例如乙醇胺、二乙醇胺和三乙醇胺；以及芳族胺，例如苯胺、N-甲基苯胺、N,N-二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4國甲基苯胺、4-硝基苯胺、二苯胺、三苯胺和l-萘胺。含氮化合物(ii)的實例包括乙二胺、N,N，N'，N'-四甲基乙二胺、N，N，N'，N'，-四(2-羥丙基)乙二胺、四亞甲基二胺、六亞甲基二胺、4,4'-二氨基二苯基甲烷、4，4'-二絲二苯基醚、4,4'-二絲苯曱酮、4,4'-二絲二苯胺、2,2'-二(4-樣苯基)丙烷、2-(3-絲苯基)-2-(4-絲苯基)丙烷、2-(4畫氨基苯基)-2-(3-羥基苯基)丙烷、2-(4-氨基苯基)-2-(4-羥基苯基)丙烷、1,4-二[l-(4-狄苯基)-l-甲基乙基苯和l,3-二[l-(4-絲苯基H-甲基乙基苯。含氮化合物(iii)的實例包括聚氮丙啶、聚烯丙胺和N-(2-二甲氨基乙基)丙烯酰胺聚合物(共聚物)。含有酰胺基的化合物的實例包括甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N,N-二曱基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二曱基乙酰胺、丙酰胺、苯甲酰胺、吡咯烷酮和N-甲基吡咯烷酮。脲化合物的實例包括脲、甲基脲、1,1-二甲基脲、1，3-二甲基脲、1,1,3,3-四甲^JIU1，3-二苯基脲和三丁J^IL脲。含氮雜環(huán)化合物的實例包括咪唑，例如咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑和2-苯基苯并咪唑；吡啶，例如吡啶、2-甲基吡咬、4-曱基吡啶、2-乙基吡咬、4-乙基吡啶、2-苯基他咬、4-笨基p比咬、2-甲基-4-苯基吡啶、煙堿、煙酸、煙酸酰胺、會啉、8-羥基會啉和吖啶；以及吡溱、吡唑、歧溱、查喔啉、嘌呤、吡咯烷、派咬、嗎啉、4-甲基嗎啉、p底溱、1,4-二甲基哌溱和1，4-二氮二環(huán)[2.2.2]辛烷。N，N-二甲基丙烯酰胺聚合物(共聚物)的實例包括4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/N，N-二甲基丙烯酰胺共聚物和4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/苯乙烯/N，N-二甲基丙烯酰胺共聚物。此外，可以將具有酸敏基團(tuán)的堿前體(例如，N-(叔丁氧g)哌咬、N-(叔丁氧g)咪唑、N-(叔丁氧n)苯并咪唑、N-(叔丁氧g)-2苯基苯并咪唑、N-(叔丁氧n)二正辛胺、N-(叔丁氧n)二乙醇胺、N-(叔丁氧n)二環(huán)己胺或N-(叔丁氧a^)二苯胺)用作起酸擴(kuò)散控制劑作用的含氮有機(jī)化合物。這些含氮有機(jī)化合物中，優(yōu)選含氮化合物(i)、含氮雜環(huán)化合物、N,N-二甲基丙烯酰胺聚合物(共聚物)、具有酸M團(tuán)的堿前體等。這些酸擴(kuò)散控制劑可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。相對于100重量份含酸敏基團(tuán)的樹脂或可溶于堿的樹脂，所用的酸擴(kuò)1t控制劑的量通常為15重量份以下，優(yōu)選0.001~10重量份，尤其優(yōu)選0.0055重量份。在這種情況下，如果所用的酸擴(kuò)散控制劑的量超過給定值，則作為抗蝕劑的感度或曝光區(qū)的可顯影性趨于下降。如果所用的酸擴(kuò)散控制劑的量小于0.001重量份，則在某些工藝條件下抗蝕劑圖案的圖案外形或尺寸保真度可能降低。本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物中還可以添加含氛基的蒽衍生物。含羧基的蒽衍生物的具體實例包括蒽-9-羧酸、蒽-9，10-二羧酸、10-羧甲基蒽-9-羧酸、10-甲氧羰基蒽-9-羧酸、10-叔丁氧羰基蒽-9-羧酸、10-甲氧羰甲基蒽-9-羧酸和10-叔丁氧羰甲基蒽-9-羧酸。這些含氛基的蒽衍生物可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。相對于100重量份含酸敏基團(tuán)的樹脂或可溶于堿的樹脂，所用的含氛基的蒽衍生物的量通常為40重量份以下，更優(yōu)選20重量份以下，尤其優(yōu)選10重量份以下。在這種情況下，如果所用的含羧基的蒽衍生物的量超過給定量，則感度趨于下降。此外，還可以向本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物中添加除了含氣基的蒽衍生物之外的染料(在下文中，稱為"額外的染料")。額外的染料優(yōu)選具有高的遠(yuǎn)紫外線吸收性的任何物質(zhì)。其實例包括其它的蒽衍生物，例如蒽-9-羧酸曱氧絲甲酯、蒽-9-羧酸-叔丁氧羰基甲酯、9-曱氧a^甲基蒽和9-叔丁氧M^甲基蒽；咔喳衍生物，例如9-呻唑基乙酸、N-(甲氧羰基曱基)^唑和N-(叔丁氧氛基甲基)^唑；以及苯甲酮衍生物，例如苯曱酮-2-羧酸、苯曱酮-4-羧酸、苯甲酮-2-羧酸叔丁氧羰基甲酯和苯甲酮-4-羧酸叔丁氧g甲酯。這些額外的染料可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。相對于含氯基的蒽衍生物和額外的染料的總量，所用的額外的染料的比例通常為20wt。/o以下，優(yōu)選10wto/。以下。此外，可以向本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物中添加表現(xiàn)出改善組合物的涂布性、光條紋、抗蝕劑可顯影性等作用的表面活性劑。這樣的表面活性劑的實例包括聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯正辛基酚醚、聚氧乙烯正壬基酚醚、聚二月桂酸乙二醇酯和聚二硬脂酸乙二醇酯，并且包括可以從市場上以例如下列商品名購得的產(chǎn)品EFTOPEF301、EF303和EF352(由TOHKEMPRODUCTSCORPORATION生產(chǎn))，MEGAFACF171和F173(由DainipponInkandChemicals,Inc.生產(chǎn))，F(xiàn)luoradFC430和FC431(由Sumitomo3M,Ltd.生產(chǎn))，AsahiGuardAG710、SurflonS-382、SCIOI、SC102、SC103、SC104、SC105和SC106(由AsahiGlassCo.,Ltd.生產(chǎn))，KP341(由Shin-EtsuChemicalCo.,Ltd，生產(chǎn))以及PolyflowNo.75和No.95(由KyoeishaChemicalCo.，Ltd.生產(chǎn))。這些表面活性劑可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用。相對于100重量份含酸敏基團(tuán)的樹脂或可溶于堿的樹脂，所用的表面活性劑的量通常為2重量份以下。此外，除了蒽衍生物(A)和額外的染料之外，本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物可以添加例如一種或更多種玟瑰紅等。相對于100重量份含酸敏基團(tuán)的樹脂或可溶于堿的樹脂，所用的玟瑰紅等的量通常為50重量份以下。另外，添加除了上述那些之外的染料和/或顏料可以使曝光區(qū)的潛像顯現(xiàn)并在曝光時緩解光暈的影響。添加粘附助劑可以改善對襯底的粘附性。此外，還可以向其中加入防光暈劑(例如4-羥基-4'-甲基查耳酮)、成形改善劑(formimprover)、儲存穩(wěn)定劑、消泡劑等。組合物溶液在使用時，通常通過如下步驟以組合物溶液形式制備本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物將各組分均勻地溶于溶劑中，使得總的固體含量通常落在0.1~50wt%內(nèi)，優(yōu)選在1~40wt%內(nèi)，然后通過孔徑為約0.2nm的過濾器過濾所得的組合物。用于制備所述組合物溶液的溶劑的實例包括乙二醇單烷基醚乙酸酯，例如乙二醇單甲醚乙酸酯、乙二醇單乙醚乙酸酯、乙二醇單正丙醚乙酸酯和乙二醇單正丁醚乙酸酯；丙二醇單烷基醚，例如丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單正丙醚和丙二醇單正丁醚；丙二醇二烷基醚，例如丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇二正丙醚和丙二醇二正丁醚；丙二醇單烷基醚乙酸酯，例如丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單正丙醚乙酸酯和丙二醇單正丁醚乙酸酯；脂肪族羧酸酯，例如甲酸正戊酯、甲酸異戊酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸異丙酯、丙酸正丁酯和丙酸異丁酯；乳酸酯，例如乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸正丙酯和乳酸異丙酯；其它酯，例如羥基乙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸曱酯、3-曱氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丁酸3-甲基-3-曱氧基丁酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙酮酸甲酯和丙酮酸乙酯；芳香烴，例如曱苯和二甲苯；酮，例如甲基乙基酮、2-戊酮、2-己酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮和環(huán)己烷；酰胺，例如N-曱基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺和N-甲基吡咯烷酮；以及內(nèi)酯，例如Y-丁內(nèi)酯。這些溶劑可以單獨使用或者以它們中兩種或更多種的混合物使用?？刮g劑圖案的形成為了由本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物形成抗蝕劑圖案，通過適當(dāng)?shù)耐扛卜椒?例如，旋涂法、流延涂布法或輥涂法)將由此制備的組合物溶液涂覆在襯底(例如，硅晶片或覆鋁晶片)上，以形成抗蝕劑膜。在任選的預(yù)先在約70~160。C的溫度下的熱處理或預(yù)烘焙(在下文中，稱為"PB")之后，通過指定掩模圖案使抗蝕劑膜曝光。例如，優(yōu)選極紫外線或遠(yuǎn)紫外線例如[KrF準(zhǔn)分子激光(波長248nm)、ArF準(zhǔn)分子激光(波長193nm)、F2準(zhǔn)分子激光(波長157nm)和EUV(波長13nm等)]或帶電粒子束例如電子束作為用在曝光中的輻射。根據(jù)例如另外的產(chǎn)酸劑的類型，也可以使用X射線(例如同步輻射)或常規(guī)紫外線[例如i射線(波長365nm)。此外，根據(jù)輻射敏感樹脂組合物的配方組成、每種添加劑的類型等適當(dāng)?shù)剡x擇曝光M例如曝光劑量。在本發(fā)明中，為了穩(wěn)定地形成高度精確的精細(xì)抗蝕劑圖案，優(yōu)選在曝光后，在70~160。C的溫度下進(jìn)行30秒以上的熱處理或曝光后烘焙(在下文中，稱為"PEB，，)。在這種情況下，如果PEB溫度低于70'C，貝'J感度可能在較大程度上隨襯底的類型而變化。然后，通過在通常在1050。C下10~200秒、優(yōu)選1530'C下15~100秒、尤其優(yōu)選在2025。C下15~卯秒的條件下利用堿性顯影液顯影形成指定抗蝕劑圖案。例如，將含有以通常為1~10wt%、優(yōu)選1~5wt%、尤其優(yōu)選1~3wt的濃度溶解的堿性化合物(例如，堿金屬氫氧化物、氨水、單烷基胺、二烷基胺或三烷基胺、單烷醇胺、二烷醇胺或三烷醇胺、雜環(huán)胺、四烷基銨氫氧化物、膽堿、1,8-二氮雜雙環(huán)-[5.4.0-7-十一碳烯或1,5-二氮雜雙環(huán)-[4.3.0卜5-壬烯)的堿性水溶液用作堿性顯影液。例如，還可以將適量可溶于水的有機(jī)溶劑(例如曱醇或乙醇)或表面活性劑加入所述堿性水溶液中。在形成這樣的抗蝕劑圖案的過程中，可以將保護(hù)膜設(shè)置在抗蝕劑膜上，以避免包含在環(huán)境或氣氛中的堿性雜質(zhì)等的影響。圖1是顯示測量由駐波引起的線寬波動值測定結(jié)果的一個實例的圖；圖2是用于描述由駐波引起的圖案外形劣化程度評價方法的線圖案縱剖面的示意圖；圖3是用于描述納米邊緣粗糙度評價方法的線圖案縱剖面示意圖；圖4是用于描述LEF評價方法的圖案的平面示意圖；以及圖5是顯示用于描述LEF評價方法的圖案平面觀察結(jié)果的一個實例的圖。具體實施方式在下文中，將參照附圖更具體地描述本發(fā)明。然而，本發(fā)明不以任何方式受限于這些實例。合成例1將101g4-乙酰氧基苯乙烯、42g4-叔丁氧基苯乙烯、5g苯乙烯、6g偶氮二異丁腈(AIBN)和lg叔十二烷基硫醇溶于160g丙二醇單甲醚中，隨后在氮氣氛中在保持在70。C的反應(yīng)溫度下聚合16小時。聚合后，將反應(yīng)溶液逐滴加入到大量正己烷中，固化所產(chǎn)生的樹脂并純化。隨后，向該已純化的樹脂中再次加入150g丙二醇單曱醚，再加入300g甲醇、80g三乙胺和15g水。當(dāng)混合物在沸點下回流時，進(jìn)行水解反應(yīng)8小時。反應(yīng)后，減壓蒸出溶劑和三乙胺。將所得的樹脂溶于丙酮中。然后，將該溶液逐滴加入到大量水中并固化。過濾所產(chǎn)生的白色粉末并在50。C下減壓干燥過夜。所得的樹脂的Mw=16,000，Mw/Mn=1.7，13C-NMR分析的結(jié)果是4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/苯乙烯的共聚摩爾比為72:23:5。將該樹脂稱為"樹脂(B-1)"。在包括流量為l.Oml/分鐘、四氫呋喃用作洗脫溶劑和柱溫為40。C的分析條件下，利用由TOSOHCORP.生產(chǎn)的GPC柱(兩個G2000HXL柱、一個G3000HXL柱和一個G4000HXL柱)并將單分散聚苯乙烯用作標(biāo)準(zhǔn)物，通過凝膠滲透色譜法(GPC)測量樹脂(B-1)和在下面的合成例2~4中得到的每種樹脂的Mw和Mw/Mn。合成例2將100g4-乙酰氧基苯乙烯、25g丙烯酸叔丁酯、18g苯乙烯、6gAIBN和lg叔十二烷基硫醇溶于230g丙二醇單曱醚中，隨后在氮氣氛中在保持在70'C的反應(yīng)溫度下聚合16小時。聚合后，將反應(yīng)溶液逐滴加入到大量正己烷中，固化所產(chǎn)生的樹脂并純化。隨后，向該已純化的樹脂中再次加入150g丙二醇單甲醚，再加入300g甲醇、80g三乙胺和15g水。當(dāng)混合物在沸點下回流時，進(jìn)行水解反應(yīng)8小時。反應(yīng)后，減壓蒸出溶劑和三乙胺。將所得的樹脂溶于丙酮中。然后，將該溶液逐滴加入到大量水中并固化。過濾所產(chǎn)生的白色粉末并在50'C下減壓干燥過夜。所得的樹脂的Mw=11,500，Mw/Mn=1.6,13C-NMR分4斤的結(jié)果是4-羥基苯乙烯/丙烯酸叔丁酯/苯乙烯的共聚摩爾比為61:19:20。將該樹脂稱為"樹脂(B-2)"。合成例3將173g4-乙酰氧基苯乙烯、56g4-叔丁氧基苯乙烯、11g2，5-二甲基己烷-2,5-二丙烯酸酯、14gAIBN和llg叔十二烷基硫醇溶于240g丙二醇單甲醚中，隨后在氮氣氛中在保持在70。C的反應(yīng)溫度下聚合16小時。聚合后，將反應(yīng)溶液逐滴加入到大量正己烷中，固化所產(chǎn)生的樹脂并純化，隨后在50。C下減壓干燥3小時。隨后，向該l卯g已純化的樹脂中再次加入150g丙二醇單甲醚，再加入300g甲醇、100g三乙胺和15g水。當(dāng)混合物在沸點下回流時，進(jìn)行水解反應(yīng)8小時。反應(yīng)后，減壓蒸出溶劑和三乙胺。將所得的樹脂溶于丙酮中。然后，將該溶液逐滴加入到大量水中并固化。過濾所產(chǎn)生的白色粉末并在50。C下減壓干燥過夜。所得樹脂的Mw=27,000,Mw/Mn=2.6，"C-NMR分析的結(jié)果是4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/2，5-二甲基己烷-2，5-二丙烯酸酯的共聚摩爾比為75:22:3。將該樹脂稱為"樹脂(B-3)"。合成例4在此所用的溶劑在鈉金屬存在下回流6小時、隨后在氮氣氛中蒸餾后使用。另外，每種單體在利用干燥的氮氣鼓泡l小時、隨后在氮氣36氛中蒸餾后使用。將含有溶于200g環(huán)己烷的37.6g4-(l-乙氧乙氧基)苯乙烯、ll.Og4-叔丁氧基苯乙烯和1.4g苯乙烯的溶液置于干燥的耐壓瓶中，并用具有孔的冠狀瓶蓋和Neoprene(商品名；由Dupont生產(chǎn))墊片密封該瓶。然后，將該耐壓瓶冷卻到-20。C。然后，向其中依次加入2.96ml含有以1.83mol/l的濃度溶于環(huán)己烷的正丁基鋰的溶液和0.98gN,N，N'，N'-四甲基乙二胺。反應(yīng)在保持在-20'C的溫度下進(jìn)行l(wèi)小時。然后，通過注入l.Og甲醇終止反應(yīng)。在該步驟中，溶液由紅色變?yōu)闊o色。結(jié)果，證實了反應(yīng)的終止。隨后，用200g3wt。/。的草酸水溶液清洗反應(yīng)溶液。然后，向其中加入200g丙二醇單甲醚和1.5g對曱苯磺酸。通過在室溫(2325。C)下攪拌3小時進(jìn)行水解反應(yīng)。然后，將反應(yīng)溶液逐滴加入到大量水中并固化得到樹脂。過濾所產(chǎn)生的白色粉末并在50'C下減壓干燥過夜。所得的樹脂的Mw=16,000，Mw/Mn=1.3，13C-NMR分才斤的結(jié)果是4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯/苯乙烯的共聚摩爾比為72:23:5。將該樹脂稱為"樹脂(B-4)"。在本文中，通過如下方式評價每種抗蝕劑感度在變化的曝光劑量下使在硅晶片上形成的抗蝕劑膜曝光，隨后立即對晶片進(jìn)行PEB，隨后進(jìn)行堿性顯影，然后用水清洗，隨后干燥，以形成抗蝕劑圖案。在該方法中，將形成線寬為130nm的線和空間(l:l)圖案(1L1S)的曝光劑量定義為最佳曝光劑量，該最佳曝光劑量評價感度。分辨率將在最佳曝光劑量下曝光時分辨出的線和空間圖案(1L1S)中的線的最小尺寸定義為分辨率。由駐波引起的線寬波動值在硅晶片上形成的抗蝕劑膜的厚度以O(shè).Olum的增量在0.2um到0.4um范圍內(nèi)變化，在最佳曝光劑量下在0.3um的膜厚下利用CD(臨界尺寸)掃描電子顯微鏡S-9220(商品名；由HitachiHigh-TechnologiesCorp.生產(chǎn))測量設(shè)計線寬為130nm的線和空間圖案(1L1S)的線寬。繪出測量結(jié)果的一個實例的圖如圖l所示。在該方法中，將在0.24~0.35um的膜厚下圖案的線寬的最大值和最小值之間的差定義為"由駐波引起的線寬波動值"。由駐波引起的形狀劣化度在最佳曝光劑量下利用掃描電子顯微鏡S-4200(商品名；由HitachiHigh-TechnologiesCorp.生產(chǎn))觀察線寬為130nm的線和空間圖案(1L1S)中的線的截面，以測量線中粗糙區(qū)域的寬度。線的縱剖面示意圖如圖2所示(注意粗糙度比實際的粗糙度放大了)。在圖2中，附圖標(biāo)記1表示線，附圖標(biāo)記3表示襯底。在該方法中，將所述線的側(cè)邊的粗糙度的寬度b定義為"由駐波引起的形狀劣化度"。納米邊#糙度在最佳曝光劑量下利用CD掃描電子顯微鏡S-9220(商品名；由HitachiHigh-TechnologiesCorp.生產(chǎn))，見察線寬為130nm的線和空間圖案(1L1S)。線的縱剖面示意圖如圖3所示(注意粗糙度比實際的粗糙度放大了)。在圖3中，附圖標(biāo)記l表示線。在該方法中，將沿著所述線的側(cè)邊出現(xiàn)的粗糙度的最大寬度c定義為"納米邊緣M度"。LEF:在最佳曝光劑量下利用CD掃描電子顯微鏡S-9220(商品名；由HitachiHigh-TechnologiesCorp.生產(chǎn))觀察線寬為130nm的線和空間圖案(1L1S)。圖案的平面示意圖如圖4所示，觀察結(jié)果的一個實例如圖5所示。圖4(a)是圖案的平面示意圖，圖4(b)是沿圖4(a)中的剖面線A-A切開的線的縱剖面的局部剖面圖。附圖標(biāo)記l表示圖案中的線，附圖標(biāo)記t表示膜厚度，附圖標(biāo)記2表示圖案中的空間，附圖標(biāo)記3表示襯底。圖4(b)中的膜厚度較薄的邊緣d對應(yīng)于圖5中看起來較白的邊緣d。在該方法中，測量每條線中的邊緣d的尺寸，將由在總計25條線的中央部分中的15條線確定的平均值定義為"LEF"。實施例1~13和對比例1~2混合如表l(注份是指重量份)中所示的組分，以制備均勻的溶液。然后，通過孔徑為0.2nm的Teflon(注冊商標(biāo))膜過濾器過濾溶液，以制備組合物溶液。隨后，通過旋涂法將每種組合物溶液涂覆到硅晶片上。然后，釆用如表2所示的溫度和時間對硅晶片進(jìn)行PB，以形成膜厚度為0.3|im的抗蝕劑膜。然后，使用KrF準(zhǔn)分子激光曝光裝置NSR-S203B(商品名；由NikonCorp.生產(chǎn))在變化的曝光劑量下通過掩模圖案使每個抗蝕劑膜曝光于KrF準(zhǔn)分子激光(波長248nm)下。然后，采用如表2所示的溫度和時間對硅晶片進(jìn)行PEB。然后，利用作為顯影液的2.38wt。/。氫氧化四甲銨水溶液在23。C下對晶片進(jìn)行60秒顯影，然后用水清洗30秒，隨后干燥，以形成抗蝕劑圖案。每個實施例和對比例的評價結(jié)果如表3所示。在表l中，除了樹脂(B)之外的各組分如下產(chǎn)酸劑(A)A-l:2,4-二氟糾酸2,4，6-三甲基苯基二苯基锍A-2:4-三氟甲基苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍A-3:N-(三氟甲磺酰IU0雙環(huán)[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二甲酰亞胺A-4:N-(5-甲基-5-羧甲基雙環(huán)[2.2.1庚烷-2-基)磺酰lL^]琥珀酰亞胺A-5:N-(九氟正丁磺酰HJ0雙環(huán)[2.2.1庚-5-烯-2，3-二甲酰亞胺A-6:糾酸三苯基锍A-7:10-樟腦磺酸雙(4-叔丁基苯基)碘镥酸擴(kuò)散控制劑C-l:2-苯基苯并咪唑添加劑D-l:9-蒽羧酸溶劑S-l:乳酸乙酯S-2:丙二醇單曱醚乙酸酯表l<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>工業(yè)實用性本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物在分辨率、圖案外形、密度依賴性和環(huán)境耐受性等方面極好。另外，本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物極其有效地抑制了由基于襯底反射的駐波引起的線寬波動和圖案外形劣化，還在納米邊,糙度和LEF方面得到改善。因此，本發(fā)明的輻射敏感樹脂組合物尤其可用作化學(xué)放大型抗蝕劑等，用于制造可能會追求越來越精細(xì)的圖案的集成電路器件。權(quán)利要求1.一種輻射敏感樹脂組合物，其特征在于包含(A)輻射敏感產(chǎn)酸劑，所述輻射敏感產(chǎn)酸劑包含具有由下式(l-a)表示的結(jié)構(gòu)和由下式(l-b)表示的結(jié)構(gòu)的化合物，和磺酰亞胺化合物，(1-a)(1-b)其中，在式(l-a)中，每個R1、每個I^和每個RS獨立地表示氬原子、羥基、具有1~10個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷基、具有110個碳原子的線型、支化或環(huán)狀烷lL基、或叔丁氧羰基甲氣基，并且滿足下列4Ht中的至少一個條件兩個或更多個Ri分別是除氬原子之外的基團(tuán)，兩個或更多個R2分別是除氫原子之外的基團(tuán)，和兩個或更多個R3分別是除氳原子之外的基團(tuán)，以及其中，在式(l-b)中，每個議4獨立#示氫原子、氟原子或三氟甲基，并且一個或更多個W分別是氟原子或三氟甲基。2.根據(jù)權(quán)利要求l的輻射敏感樹脂組合物，其特征在于還包含(B)具有由下式(2)表示的重復(fù)單元、由下式(3)表示的重復(fù)單元和/或由下式(4)表示的重復(fù)單元的樹脂<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>(4)其中，在式(2)中，RS表示氫原子或甲基，W表示除叔丁氧基和-O-Z(Z是除叔丁基之外的一價酸敏基團(tuán))之外的一價有機(jī)基團(tuán)，m是0~3的任意整數(shù)，n是l3的任意整數(shù)，多個W可以彼此相同或不同，其中，在式(3)中，W表示氫原子或甲基，RS表示除叔丁氧基和-O-Z(Z是除叔丁基之外的一價酸敏基團(tuán))之外的一價有機(jī)基團(tuán)，R"表示叔丁基，p是03的任意整數(shù)，q是l3的任意整數(shù)，多個議8可以彼此相同或不同，以及其中，在式(4)中，R"表示氫原子或甲基，R"表示叔丁基。3.根據(jù)權(quán)利要求2的輻射敏感樹脂組合物，其中所述作為組分(B)的樹脂是還具有支化單元的樹脂，在所述支化單元中由可聚合的不飽和鍵斷裂形成的兩個或更多個結(jié)構(gòu)單元通過酸敏連接基結(jié)合。4.根據(jù)權(quán)利要求3的輻射敏感樹脂組合物，其中在所述作為組分(B)的樹脂中的所述支化單元是由下式(5)表示的單元，其中由可聚合的不飽和鍵斷裂形成的兩個結(jié)構(gòu)單元通過酸敏連接基結(jié)合<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，在式(5)中，每個R"獨立地表示氫原子或甲基，r是04的任意整數(shù)。5.根據(jù)權(quán)利要求l的輻射敏感樹脂組合物，其特征在于組分(A)中的磺酰亞胺化合物由下式(6)表示<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>其中，在式(6)中，X表示二價基團(tuán)，例如亞烷基、亞芳基或亞烷氧基，R"表示一價基團(tuán)，例如烷基、芳基、卣代烷基或g代芳基。6.根據(jù)權(quán)利要求l的輻射敏感樹脂組合物，其特征在于組分(A)中的具有由式(l-a)表示的結(jié)構(gòu)和由式(l-b)表示的結(jié)構(gòu)的化合物是2,4-二氟苯磺酸2，4,6-三甲基苯基二苯基锍或4-三氟甲基苯磺酸2，4，6-三甲基苯基二苯基锍。全文摘要本發(fā)明提供一種輻射敏感樹脂組合物，該組合物包含在分辨率性能、熱穩(wěn)定性和儲存穩(wěn)定性方面極好的輻射敏感產(chǎn)酸劑，該組合物抑制由駐波引起的線寬波動和圖案外形劣化，并提供在納米邊緣粗糙度和LEF方面改善的抗蝕劑圖案。所述輻射敏感樹脂組合物的特征在于(A)包含锍鹽化合物和磺酰亞胺化合物的輻射敏感產(chǎn)酸劑，所述锍鹽化合物例如2，4-二氟苯磺酸2，4，6-三甲苯基二苯基锍、4-三氟甲基苯磺酸2，4，6-三甲苯基二苯基锍等。優(yōu)選的是所述組合物還包含(B)樹脂，例如4-羥基苯乙烯/4-叔丁氧基苯乙烯共聚物、4-羥基苯乙烯/(甲基)丙烯酸叔丁酯等。文檔編號G03F7/039GK101313246SQ200680043960公開日2008年11月26日申請日期2006年11月21日優(yōu)先權(quán)日2005年11月25日發(fā)明者永井智樹,矢田勇二申請人:Jsr株式會社