專利名稱：圖案形成方法、液滴噴出裝置、電光裝置及液晶顯示裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖案形成方法、液滴噴出裝置、電光裝置及液晶顯示裝置。
背景技術(shù)：
在顯示裝置或半導(dǎo)體裝置的制造工序中含有大量圖案形成(構(gòu)圖)工序，該圖案形成工序?qū)⒍逊e在基板上的膜構(gòu)圖成所希望的形狀而形成圖案化膜。
近年來(lái)，在這種圖案形成工序中，為了提高生產(chǎn)率而利用噴墨法，該噴墨法是使向基板上噴出的液滴固化而以自對(duì)準(zhǔn)的方式形成圖案化膜。噴墨法由于能夠在基板上形成與液滴形狀對(duì)應(yīng)的圖案化膜，不需要進(jìn)行用于圖案化的掩膜形成，能夠削減圖案形成工序的工序數(shù)。
但是，在利用噴墨法來(lái)形成圖案化膜的情況下，若著落了的液滴在基板表面不擴(kuò)散潤(rùn)濕，則液滴的凹凸形狀會(huì)反映在圖案形狀中，從而有損于圖案化膜的平坦性和膜厚均勻性。
因此，在這樣的噴墨法中，一直以來(lái)，提出有使著落了的液滴的擴(kuò)散潤(rùn)濕擴(kuò)大的提案。例如，在日本特開2005-131498號(hào)公報(bào)中，通過(guò)使液滴的噴出方向相對(duì)基板的法線傾斜，而對(duì)噴出的液滴付與沿基板的切線方向的速度分量。由此，能夠使著落的液滴沿基板的切線方向以基板的法線方向與噴出方向所形成的角度(傾斜角)的量而擴(kuò)散潤(rùn)濕。
但是，在上述的噴墨法中，在形成不同的膜厚的圖案化膜的情況下，即，在改變每單位面積的總噴出量的情況下，一般地說(shuō)，將每一滴的液滴容量維持為恒定，改變液滴的噴出間隔。例如，在形成薄膜的圖案化膜的情況下，將每一滴的液滴容量維持為恒定，并使基板相對(duì)于噴嘴的掃描速度增加，或延長(zhǎng)噴出動(dòng)作的動(dòng)作周期，從而使液滴的噴出間隔擴(kuò)大。由此，可實(shí)現(xiàn)液滴噴出動(dòng)作的穩(wěn)定化，可確保總噴出量的再現(xiàn)性、即圖案化膜的膜厚再現(xiàn)性。
但是，在上述的特開2005-131498號(hào)公報(bào)中，只考慮了噴出的液滴的飛行彎曲和著落的液滴的飛散，而將噴出方向的傾斜角規(guī)定在較寬的范圍內(nèi)。因此，如圖10所示，在使液滴Fb的噴出間隔W擴(kuò)大來(lái)形成薄膜的圖案化膜的情況下，若噴出方向A的傾斜角θ小，則液滴Fb的著落直徑R1比液滴Fb的噴出間隔W短。而且，著落了的各液滴Fb分別分散在基板Sb上。
結(jié)果，存在各液滴Fb的凹凸形狀反映在圖案化膜的形狀中，使得圖案化膜的膜厚明顯不均勻的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決上述問(wèn)題而提出，目的在于提供一種使由液滴構(gòu)成的圖案化膜之類的圖案的膜厚均勻性提高的圖案形成方法以及液滴噴出裝置。另外本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，提供一種具備使用這樣的液滴噴出裝置形成的圖案的電光裝置以及液晶顯示裝置。
一種圖案形成方法，通過(guò)朝向基板噴出圖案形成材料的液滴，以在基板上形成由液滴構(gòu)成的圖案，所述液滴沿從基板的法線向規(guī)定方向傾斜了規(guī)定角度的方向噴出，并且該噴出在所述規(guī)定方向上按規(guī)定距離進(jìn)行，基于所述液滴的直徑以及所述規(guī)定距離設(shè)定所述規(guī)定角度，以使由著落于基板的各液滴所構(gòu)成的墨點(diǎn)在所述規(guī)定方向上的尺寸是所述規(guī)定距離以上。
一種液滴噴出裝置，通過(guò)朝向基板噴出圖案形成材料的液滴，以在基板上形成由液滴構(gòu)成的圖案。所述液滴沿從基板的法線向規(guī)定方向傾斜了規(guī)定角度的方向噴出，并且該噴出在所述規(guī)定方向上按規(guī)定距離進(jìn)行，該液滴噴出裝置具有噴出口形成面，其與所述基板相對(duì)配置，在該噴出口形成面上排成一列設(shè)置有噴出所述液滴的多個(gè)噴出口；傾動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使所述噴出口形成面繞與所述噴出口所排列的方向平行延伸的傾動(dòng)軸傾動(dòng)；角度設(shè)定機(jī)構(gòu)，其通過(guò)基于所述液滴的直徑以及所述規(guī)定距離來(lái)控制所述傾動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)定所述規(guī)定角度，以使由著落于基板的各液滴構(gòu)成的墨點(diǎn)在所述規(guī)定方向上的尺寸是所述規(guī)定距離以上。
一種電光裝置，具備使用上述裝置而形成圖案的基板。
一種液晶顯示裝置，具備使用上述裝置形成取向膜的基板。


圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中的液晶顯示裝置的立體圖；圖2是表示圖1的液晶顯示裝置的剖面圖；圖3是表示相同實(shí)施方式中的液滴噴出裝置的立體圖；圖4是表示圖3的液滴噴出裝置的液滴噴頭的立體圖；圖5、圖6、圖7是表示相同的液滴噴頭的側(cè)視圖；圖8是說(shuō)明圖3的液滴噴出裝置的液滴噴出動(dòng)作的說(shuō)明圖；圖9是表示圖3的液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)的電方框電路圖；圖10是表示現(xiàn)有例的液滴噴出裝置的概略側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，按照?qǐng)D1～圖9說(shuō)明將本發(fā)明具體化了的一個(gè)實(shí)施方式。首先，對(duì)于具有通過(guò)本發(fā)明的圖案形成方法形成的取向膜(圖案)的作為電光裝置的液晶顯示裝置10進(jìn)行說(shuō)明。圖1是液晶顯示裝置10的立體圖，圖2是圖1的A-A線剖面圖。
在圖1中，在液晶顯示裝置10的下側(cè)具備邊光(edge light)型的背光12，該背光具有LED等光源11，并形成為四邊形板狀。
在背光12的上方具備形成為和背光12大致相同的尺寸的四邊形板狀的液晶面板13。而且，從光源11射出的光向液晶面板13照射。
在液晶面板13上具備相對(duì)設(shè)置的元件基板14和相對(duì)基板15。如圖2所示，這些元件基板14和相對(duì)基板15，經(jīng)由通過(guò)光固化性樹脂構(gòu)成的四邊形框狀的密封材料16而粘合在一起。而且，在這些元件基板14和相對(duì)基板15之間的間隙中封入液晶17。
在元件基板14的下表面(背光12側(cè)的側(cè)面)粘合有偏光板和相位差板等光學(xué)基板18。光學(xué)基板18使來(lái)自背光12的光直線偏光而射向液晶17。在元件基板14的上表面(相對(duì)基板15側(cè)的側(cè)面元件形成面14a)，排列形成在一個(gè)方向(X箭頭方向)的大致整個(gè)區(qū)域上延伸的多個(gè)掃描線Lx。掃描線Lx電連接于在元件基板14的一側(cè)配置的掃描線驅(qū)動(dòng)電路19。以規(guī)定的時(shí)控(timing)從掃描線驅(qū)動(dòng)電路19接收掃描信號(hào)的輸入。另外，在元件形成面14a上排列形成有在Y箭頭方向的大致整個(gè)區(qū)域上延伸的多個(gè)數(shù)據(jù)線Ly。數(shù)據(jù)線Ly電連接于在元件基板14的另一側(cè)配置的數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21，以規(guī)定的時(shí)控從數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21接收基于顯示數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)的輸入。
在元件形成面14a上，在掃描線Lx和數(shù)據(jù)線Ly相交叉的位置上形成有連接于對(duì)應(yīng)的掃描線Lx以及數(shù)據(jù)線Ly并排列成矩陣狀的多個(gè)像素22。在各像素22分別具備TFT等沒(méi)有圖示的控制元件、和由透明導(dǎo)電膜等構(gòu)成的光透過(guò)性的像素電極23。
在圖2中，在各像素22的上側(cè)整體上層疊有實(shí)施了利用研磨(rubbing)處理的取向處理的取向膜24。取向膜24是由取向性聚酰亞胺等取向性高分子構(gòu)成的薄圖案化膜，在對(duì)應(yīng)的像素電極23的附近，起到將液晶17設(shè)定成規(guī)定的取向狀態(tài)的作用。該取向膜24是由噴墨法形成的。即，通過(guò)將在規(guī)定的溶劑中溶解了取向性高分子的作為圖案形成材料的取向膜形成材料F(參考圖6)作為液滴Fb(參考圖7)噴向像素22的整個(gè)上側(cè)，使著落了的液滴Fb干燥，側(cè)耳形成取向膜24。
在所述相對(duì)基板15的上表面上配置有將與來(lái)自光學(xué)基板18的光垂直的直線偏光的光射向外側(cè)(圖2中的上方)的偏光板25。在相對(duì)基板15的下表面(元件基板14側(cè)的側(cè)面電極形成面15a)的整體上層疊有相對(duì)電極26，該相對(duì)電極26與各像素電極23相對(duì)設(shè)置，并由光透過(guò)性的導(dǎo)電膜構(gòu)成。相對(duì)電極26電連接于所述數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21，從該數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路21對(duì)所述相對(duì)電極26施加規(guī)定的共用電位。在相對(duì)電極26的下表面整體上層疊有實(shí)施了采用研磨處理的取向處理的取向膜27。該取向膜27也和所述取向膜24一樣由噴墨法形成，在所述相對(duì)電極26的附近，進(jìn)行著將液晶17設(shè)定為規(guī)定的取向狀態(tài)的工作。
而且，基于線型順次掃描，以規(guī)定的時(shí)控一條條地選擇掃描線Lx，使各像素22的控制元件只在各自選擇期間中成為開啟狀態(tài)。于是，向與各控制元件對(duì)應(yīng)的各像素電極23輸出基于來(lái)自對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)線Ly的顯示數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)信號(hào)。若向各像素電極23輸出數(shù)據(jù)信號(hào)，則基于各像素電極23和相對(duì)電極26之間的電位差，調(diào)制對(duì)應(yīng)的液晶17的取向狀態(tài)。即，按照各像素22調(diào)制來(lái)自光學(xué)基板18的光的偏光狀態(tài)。然后，根據(jù)調(diào)制了的光是否通過(guò)偏光板25，在液晶面板13的上側(cè)顯示基于顯示數(shù)據(jù)的圖像。
接著，按照?qǐng)D3～圖9說(shuō)明用于形成上述取向膜27(取向膜24)的液滴噴出裝置30。
在圖3中，液滴噴出裝置30在本實(shí)施方式中是取向膜形成裝置，在液滴噴出裝置30具備形成為長(zhǎng)方體形狀的基座31，并且在該基座31的上表面，形成有沿其長(zhǎng)度方向(X箭頭方向)延伸的一對(duì)引導(dǎo)槽32。在該基座31的上方，具備與在基座31設(shè)置的X軸電機(jī)MX(參考圖9的左上)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連結(jié)的作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)的基板載置臺(tái)33，并且該基板載置臺(tái)33沿所述引導(dǎo)槽32，以規(guī)定的速度(搬送速度Vx )在X箭頭方向以及逆X箭頭方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)(沿X箭頭方向掃描)。
在基板載置臺(tái)33的上表面，形成有能夠載置以所述相對(duì)電極26為上側(cè)的相對(duì)基板15的載置面34，將被載置了的狀態(tài)的相對(duì)基板15相對(duì)于基板載置臺(tái)33定位固定。此外，在本實(shí)施方式中，雖然形成為在載置面34載置相對(duì)基板15的結(jié)構(gòu)，但并不限于此，也可以是載置以所述各像素電極23為上側(cè)的元件基板14的結(jié)構(gòu)。
在基座31的Y箭頭方向兩側(cè)，配置形成為門型的引導(dǎo)部件35，并且在該引導(dǎo)部件35上形成有在Y箭頭方向上延伸的上下一對(duì)的導(dǎo)軌36。
另外，在引導(dǎo)部件35上具備與在引導(dǎo)部件35設(shè)置的Y軸電極MY(參考圖9的左下)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連結(jié)的滑架37，并且該滑架37可沿導(dǎo)軌36在Y箭頭方向以及逆Y箭頭方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)(沿Y箭頭方向掃描)。在滑架37的內(nèi)部配置有能夠?qū)С龅厥杖菟鋈∠蚰ば纬刹牧螰(參考圖6)的墨盒38，并且該墨盒38收容的取向膜形成材料F可被導(dǎo)出到在滑架37的下方搭載的液滴噴頭41。
圖4是從下方觀察滑架37(液滴噴頭41)的概略立體圖，圖5以及圖6是從Y箭頭方向一側(cè)觀察滑架37以及液滴噴頭41的概略側(cè)視圖。
在圖4中，在滑架37的下側(cè)(圖4的上側(cè))配置有在Y箭頭方向延伸的長(zhǎng)方體形狀的引導(dǎo)載置臺(tái)39。在引導(dǎo)載置臺(tái)39的下表面(圖4的上面)，在引導(dǎo)載置臺(tái)39的Y箭頭方向的大致整個(gè)區(qū)域形成有剖面圓弧狀的凹曲面(引導(dǎo)面39a)。引導(dǎo)面39a形成為，其曲率中心39C(參考圖5的下側(cè)中央)的位置是在引導(dǎo)載置臺(tái)39的正下方，且沿被載置在基板載置臺(tái)33上的狀態(tài)的相對(duì)電極26的上面。
在圖4中，在引導(dǎo)載置臺(tái)39配置有在Y箭頭方向延伸的形成為半圓錐體(蒲鉾狀)形的構(gòu)成傾動(dòng)機(jī)構(gòu)的傾動(dòng)臺(tái)40。在傾動(dòng)臺(tái)40的一側(cè)面，在該引導(dǎo)載置臺(tái)39側(cè)的側(cè)面(圖4中的下面)形成有與所述引導(dǎo)面39a對(duì)應(yīng)的凸曲面(滑動(dòng)面40a)。另外，在傾動(dòng)臺(tái)40的另一側(cè)面，在與該滑動(dòng)面40a相對(duì)的側(cè)面(圖4中的上面)形成有與相對(duì)基板15平行的平面(安裝面40b)。
該傾動(dòng)臺(tái)40，與內(nèi)設(shè)于滑架37的傾動(dòng)電機(jī)MR(參考圖9的右上)的輸出軸驅(qū)動(dòng)連結(jié)，并且接收該傾動(dòng)電機(jī)MR的驅(qū)動(dòng)力，使其滑動(dòng)面40a沿所述引導(dǎo)面39a滑動(dòng)(回動(dòng))。即，該傾動(dòng)臺(tái)40，其滑動(dòng)面40a與所述引導(dǎo)面39a處于同一平面，使其安裝面40b繞位于相對(duì)電極26上的曲率中心39C相對(duì)相對(duì)基板15傾動(dòng)。換言之，安裝面40b繞沿Y箭頭方向延伸的傾動(dòng)軸傾動(dòng)。
而且，向傾動(dòng)電機(jī)MR供給用于使安裝面40b傾動(dòng)的信號(hào)。于是，傾動(dòng)電機(jī)MR以規(guī)定的轉(zhuǎn)速正轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)或反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，使傾動(dòng)臺(tái)40的安裝面40b以曲率中心39C為中心傾動(dòng)。
此外，在本實(shí)施方式中，如圖5的實(shí)線所示，在傾動(dòng)臺(tái)40的配置位置，將安裝面40b的法線方向(以下稱為噴出方向A)和相對(duì)基板15的法線方向(Z箭頭方向)平行的配置位置稱為“初始位置”。另外，如圖5的雙點(diǎn)劃線所示，將傾動(dòng)臺(tái)40的配置位置，即噴出方向A從相對(duì)基板15的法線向X箭頭方向傾斜規(guī)定的角度(傾斜角θ)的狀態(tài)的配置位置稱為“傾斜位置”。
在圖4中，在安裝面40b上固定有沿Y箭頭方向延伸的形成為長(zhǎng)方體形狀的液滴噴頭(以下稱為噴頭)41。在噴頭41的下側(cè)(在圖4中的上側(cè))具備噴嘴板42，并且在該噴嘴板42的相對(duì)基板15側(cè)(圖4中的上側(cè))形成有和安裝面40b平行的作為噴出口形成面的噴嘴形成面42a。在該噴嘴形成面42a，沿Y箭頭方向以等間距地排列形成有作為噴出口的多個(gè)噴嘴N。
在圖5中，各噴嘴N沿噴嘴形成面42a(安裝面40b)的法線方向、即沿所述噴出方向A貫通形成于噴嘴板42，并且在傾動(dòng)臺(tái)40位于“初始位置”時(shí)，各噴嘴N被配置成位于所述曲率中心39C的Z箭頭方向(噴出方向A的相反側(cè))。在本實(shí)施方式中，將所述曲率中心39C、且與各噴嘴N的噴出方向A對(duì)應(yīng)的位置分別稱為著落位置PF。
而且，正轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)傾動(dòng)電機(jī)MR，將傾動(dòng)體40從“初始位置”配置移動(dòng)到“傾斜位置”。于是，如圖5所示，各噴嘴N分別以曲率中心39C(對(duì)應(yīng)的著落位置PF)為轉(zhuǎn)動(dòng)中心向右轉(zhuǎn)動(dòng)，并且使其形成方向相對(duì)于相對(duì)基板15的法線(Z箭頭方向)向X箭頭方向以傾斜角θ傾斜。由此，各噴嘴N，在使其形成方向傾斜時(shí)，能夠維持對(duì)應(yīng)的著落位置PF的位置，能夠?qū)⒑蛯?duì)應(yīng)的著落位置PF之間的距離維持在規(guī)定的距離(飛行距離L)。即，液滴噴出裝置30構(gòu)成為，在改變噴出方向A時(shí)，能夠維持從各噴嘴N噴出的液滴Fb的著落精度。
在圖6中，在各噴嘴N的噴出方向A的相反側(cè)，形成有與所述墨盒38連通的腔室43，向?qū)?yīng)的噴嘴N供給來(lái)自墨盒38的取向膜形成材料F。在各腔室43的噴出方向A的相反側(cè)，粘貼有能夠在噴出方向A及其相反方向上振動(dòng)的振動(dòng)板44，使腔室43內(nèi)的容積擴(kuò)大和/或縮小。在振動(dòng)板44的上側(cè)，配置有與各噴嘴N對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓電元件PZ。各壓電元件PZ接收分別用于驅(qū)動(dòng)控制壓電元件PZ的信號(hào)(壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM參考圖9的左下)而收縮和/或伸張，使對(duì)應(yīng)的振動(dòng)板44在噴出方向A及其相反方向上振動(dòng)。
在此，如圖7所示，在相對(duì)電極26(相對(duì)基板15)上，在形成所述取向膜27的區(qū)域，沿X箭頭方向等間隔(噴出間隔W)地規(guī)定用于使液滴Fb著落的格子點(diǎn)(目標(biāo)位置P)。
接著，在“傾斜位置”配置移動(dòng)傾動(dòng)臺(tái)40，并且開始向X箭頭方向搬送基板載置臺(tái)33。然后，在各著落位置PF位于分別用于使液滴Fb著落的相對(duì)電極26上的位置(目標(biāo)位置P)的時(shí)刻，向各壓電元件PZ供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。
于是，各腔室43的容積擴(kuò)大和/或縮小，各噴嘴N內(nèi)的半月板(取向膜形成材料F的界面)振動(dòng)。若各噴嘴內(nèi)的半月板振動(dòng)，則如圖7所示，與壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM對(duì)應(yīng)的規(guī)定重量的取向膜形成材料F，從對(duì)應(yīng)的噴嘴N，作為具有規(guī)定的直徑(液滴直徑R0參考圖8)的液滴Fb而被噴出。被噴出了的各液滴Fb，沿各個(gè)噴嘴N的形成方向、即傾斜了傾斜角θ的噴出方向A，以規(guī)定的速度(噴出速度Vf)飛行了飛行距離L，最終著落于相對(duì)電極26上的目標(biāo)位置P(著落位置PF)的區(qū)域。
此外，本實(shí)施方式的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，基于預(yù)先按照試驗(yàn)等設(shè)定的波形數(shù)據(jù)WD(參考圖9)而生成，使半月板圓滑地振動(dòng)，將液滴Fb的重量設(shè)定為穩(wěn)定的規(guī)定重量。即，本實(shí)施方式的液滴噴出裝置30，通過(guò)共用的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM(波形數(shù)據(jù)WD)噴出各液滴Fb，使各液滴Fb的直徑分別穩(wěn)定在所述液滴直徑R0。
然后，若液滴Fb著落于目標(biāo)位置P的區(qū)域，則液滴Fb的著落后的形狀沿X箭頭方向以噴出方向A傾斜的量擴(kuò)張。例如，隨著傾斜角θ小，從Z箭頭方向觀察，液滴Fb的著落后的形狀，是以其傾斜角θ所小的量形成為接近于以著落位置PF為中心的圓形狀。相反地，隨著傾斜角θ變大，從Z箭頭方向觀察，液滴Fb的著落后的形狀，是以其傾斜角θ大的量形成為在X箭頭方向延伸的橢圓形狀。
因此，本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過(guò)使著落了的液滴Fb的形狀接近于將噴出方向A作為投影方向的液滴Fb的投影像，能夠規(guī)定作為著落了的液滴Fb在X箭頭方向上的尺寸的著落直徑R1、即由著落了的液滴構(gòu)成墨點(diǎn)在X箭頭方向上的尺寸的下限值。
即，若著落了的液滴Fb的形狀接近于液滴Fb的投影像，則如圖8所示，液滴Fb的著落直徑R1可通過(guò)液滴直徑R0和傾斜角θ由下式導(dǎo)出。
R1＝R0/cosθ而且，對(duì)噴出了的各液滴Fb，通過(guò)其噴出方向A的傾斜，對(duì)其施加與傾斜角θ對(duì)應(yīng)的X箭頭方向的速度分量(切線方向速度Vfx＝Vf×sinθ參考圖7)。另外，對(duì)噴出了的各液滴Fb，通過(guò)相對(duì)基板15的搬送速度Vx，可在逆X箭頭方向上施加與搬送速度Vx對(duì)應(yīng)的相對(duì)速度。
因此，著落了的液滴Fb的形狀，沿X箭頭方向?qū)⑵渲渲睆絉1擴(kuò)張了切線方向速度Vfx和搬送速度Vx的量。即，液滴Fb的著落直徑R1可通過(guò)液滴直徑R0和傾斜角θ由下式導(dǎo)出。
R1≥R0/cosθ而且，在本實(shí)施方式中，在噴出液滴Fb的工序中，設(shè)定傾斜角θ，使得上述著落直徑R1在所述噴出間隔W以上。由此，能夠在X箭頭方向上可靠地接合相對(duì)基板15上排列的液滴Fb彼此。
此外，在本實(shí)施方式的液滴噴出裝置30中，利用液滴直徑R0和噴出間隔W，設(shè)定滿足θ＝arccos(R0/W)的傾斜角θ，但并不限于此，也可以設(shè)定滿足arccos(R0/W)≤θ＜90的傾斜角θ。
接著，按照?qǐng)D9說(shuō)明如上述那樣構(gòu)成的液滴噴出裝置30的電氣結(jié)構(gòu)。
在圖9中，在構(gòu)成角度設(shè)定機(jī)構(gòu)的控制裝置51，具備構(gòu)成傾動(dòng)信息生成機(jī)構(gòu)以及控制機(jī)構(gòu)的CPU、RAM、ROM等。而且，控制裝置51，按照在RAM或ROM等中存儲(chǔ)的各種數(shù)據(jù)以及各種程序，使基板載置臺(tái)33以及滑架37掃描，并且驅(qū)動(dòng)控制噴頭41的各壓電元件PZ。
在控制裝置51連接有輸入裝置52、X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53、Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54、噴頭驅(qū)動(dòng)電路55以及傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56。
輸入裝置52具有啟動(dòng)開關(guān)、停止開關(guān)等操作開關(guān)，并將各種操作信號(hào)輸入到控制裝置51，并且將與在相對(duì)基板15形成的取向膜27的目標(biāo)膜厚相關(guān)的信息作為既定形式的膜厚信息It輸入到控制裝置51。
而且，將膜厚信息It從輸入裝置52輸入到控制裝置51。于是，控制裝置51接收來(lái)自輸入裝置52的膜厚信息It，計(jì)算在相對(duì)電極26上噴出的取向膜形成材料F的總重量，并且基于計(jì)算出的總重量和與波形數(shù)據(jù)WD對(duì)應(yīng)的液滴Fb的重量，計(jì)算液滴Fb的噴出間隔W(各目標(biāo)位置P的位置坐標(biāo))。若計(jì)算各目標(biāo)位置P的位置坐標(biāo)，則控制裝置51生成用于噴出液滴Fb的位圖數(shù)據(jù)BMD和與噴出間隔W對(duì)應(yīng)的傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD并進(jìn)行存儲(chǔ)。
位圖數(shù)據(jù)BMD是使各個(gè)位的值(0或1)對(duì)應(yīng)于相對(duì)電極26上的各目標(biāo)位置P的數(shù)據(jù)，并且是對(duì)應(yīng)于各位的值規(guī)定壓電元件PZ的開啟或關(guān)閉的數(shù)據(jù)。而且，位圖數(shù)據(jù)BMD被規(guī)定成，每當(dāng)各著落位置PF位于對(duì)應(yīng)的各目標(biāo)位置P時(shí)，使液滴Fb噴出。
傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD是使傾斜角θ對(duì)應(yīng)于傾動(dòng)電機(jī)MR的轉(zhuǎn)速的數(shù)據(jù)。該傾斜角θ被設(shè)定為，基于噴出間隔W和與波形數(shù)據(jù)WD對(duì)應(yīng)的液滴直徑R0，滿足θ＝arccos(R0/W)。
X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53，響應(yīng)于與來(lái)自控制裝置51的X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使基板載置臺(tái)33往復(fù)移動(dòng)的X軸電機(jī)MX正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。該X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53連接X(jué)軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEX，輸入來(lái)自X軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEX的檢測(cè)信號(hào)。X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53基于來(lái)自X軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEX的檢測(cè)信號(hào)，計(jì)算基板載置臺(tái)33(相對(duì)基板15)的移動(dòng)方向以及移動(dòng)量，并且生成與基板載置臺(tái)33的現(xiàn)在位置相關(guān)的信息作為載置臺(tái)位置信息SPI。然后，控制裝置51接收來(lái)自X軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路53的載置臺(tái)位置信息SPI，輸出各種信號(hào)。
Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54，響應(yīng)于來(lái)自控制裝置51的與Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)控制信號(hào)，使往復(fù)移動(dòng)滑架37的Y軸電機(jī)MY正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。在該Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54連接Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEY，輸入來(lái)自Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEY的檢測(cè)信號(hào)。Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54基于來(lái)自Y軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MEY的檢測(cè)信號(hào)，計(jì)算滑架37(頭單元30)的移動(dòng)方向以及移動(dòng)量，并且生成與滑架37的現(xiàn)在位置相關(guān)的信息作為滑架位置信息CPI。然后，控制裝置51接收來(lái)自Y軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)電路54的滑架位置信息CPI，輸出各種驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
若詳細(xì)說(shuō)明，則控制裝置51，基于載置臺(tái)位置信息SPI以及滑架位置信息CPI，在相對(duì)基板15侵入滑架37的正下方之前，基于與相對(duì)基板15的掃描量(去動(dòng)或者回退)對(duì)應(yīng)的位圖數(shù)據(jù)BMD，與規(guī)定的方框信號(hào)同步，生成噴出控制信號(hào)SI。然后，控制裝置51在每次掃描滑架37時(shí)，將生成的噴出控制信號(hào)SI順次串行傳送給噴頭驅(qū)動(dòng)電路55。
另外，控制裝置51基于載置臺(tái)位置信息SPI，生成在每次各著落位置PF位于分別對(duì)應(yīng)的目標(biāo)位置P時(shí)、用于使基于波形數(shù)據(jù)WD的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM輸出向壓電元件PZ的信號(hào)(噴出時(shí)控信號(hào)LP)。然后，控制裝置51將生成了的噴出時(shí)控信號(hào)LP順次輸出給噴頭驅(qū)動(dòng)電路55。
在噴頭驅(qū)動(dòng)電路55連接有噴頭41，并且供給來(lái)自控制裝置51的波形數(shù)據(jù)WD、噴出控制信號(hào)SI以及噴出時(shí)控信號(hào)LP。噴頭驅(qū)動(dòng)電路55接收來(lái)自控制裝置51的噴出控制信號(hào)SI，使該噴出控制信號(hào)SI分別對(duì)應(yīng)于各壓電元件PZ并進(jìn)行順次串行/并行變換。然后，噴頭驅(qū)動(dòng)電路55，在每次接收來(lái)自控制裝置51的噴出時(shí)控信號(hào)LP時(shí)，基于串行/并行變換了的噴出控制信號(hào)SI，將基于波形數(shù)據(jù)WD的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM供給向各壓電元件PZ。即，噴頭驅(qū)動(dòng)電路55，在每次各著落位置PF位于目標(biāo)位置P時(shí)，向?qū)?yīng)的壓電元件PZ供給壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM。
傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56，響應(yīng)于來(lái)自控制裝置51的傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD，使傾動(dòng)臺(tái)40傾動(dòng)的傾動(dòng)電機(jī)MR正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。在該傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56上連接傾動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MER，輸入來(lái)自傾動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MER的檢測(cè)信號(hào)。傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56基于來(lái)自傾動(dòng)電機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MER的檢測(cè)信號(hào)，計(jì)算傾動(dòng)臺(tái)40的傾斜角θ(實(shí)際傾斜角)。另外，傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56生成與計(jì)算出的實(shí)際傾斜角相關(guān)的信息作為傾動(dòng)臺(tái)信息RPI，并將其輸出向控制裝置51。
接著，對(duì)于使用上述的液滴噴出裝置30在相對(duì)基板15上形成取向膜27的方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，如圖3所示，在基板載置臺(tái)33上載置相對(duì)基板15。此時(shí)，基板載置臺(tái)33被配置在滑架37的逆X箭頭方向側(cè)，滑架37被配置在引導(dǎo)部件35上的逆Y箭頭方向的最靠邊部。另外，傾動(dòng)臺(tái)40被配置在所述“初始位置”。
從該狀態(tài)，操作輸入裝置52向控制裝置51輸入膜厚信息It。于是，控制裝置51，生成并存儲(chǔ)基于膜厚信息It的位圖數(shù)據(jù)BMD以及傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD。
若生成位圖數(shù)據(jù)BMD以及傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD，則控制裝置51將傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD輸出向傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56，將傾動(dòng)臺(tái)40配置移動(dòng)到“傾斜位置”。若配置移動(dòng)傾動(dòng)臺(tái)40，則控制裝置51接收來(lái)自傾動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)電路56的傾動(dòng)臺(tái)信息RPI，判斷實(shí)際傾斜角是否是與傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD對(duì)應(yīng)的傾斜角θ。即控制裝置51判斷實(shí)際傾斜角是否是滿足θ＝arccos(R0/W)的傾斜角θ。
然后，若判斷為實(shí)際傾斜角是與傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD對(duì)應(yīng)的傾斜角θ(設(shè)置傾動(dòng)臺(tái)40)，則控制裝置51驅(qū)動(dòng)控制Y軸電機(jī)MY，配置移動(dòng)滑架37。然后，在將相對(duì)基板15在X箭頭方向搬送時(shí)，設(shè)置滑架37(各噴嘴N)，使得各著落位置PF位于對(duì)應(yīng)的目標(biāo)位置P的掃描路徑上(X箭頭方向)，若設(shè)置滑架37，則控制裝置51驅(qū)動(dòng)控制X軸電機(jī)MX，開始向X箭頭方向搬送基板載置臺(tái)33(相對(duì)基板15)。
此時(shí)，控制裝置51，使波形數(shù)據(jù)WD與規(guī)定的方框信號(hào)同步，并將波形數(shù)據(jù)WD輸出向噴頭驅(qū)動(dòng)電路55。另外，控制裝置51生成噴出控制信號(hào)SI，該噴出控制信號(hào)SI使與基板載置臺(tái)33的一次的掃描量對(duì)應(yīng)的位圖數(shù)據(jù)BMD與規(guī)定的方框信號(hào)同步，并且控制裝置51將生成了的噴出控制信號(hào)SI順次串行傳送給噴頭驅(qū)動(dòng)電路55。
最終，控制裝置51，基于載置臺(tái)位置信息SPI以及滑架位置信息CPI，在每次各著落位置PF位于相對(duì)電機(jī)26上的各格子點(diǎn)時(shí)，輸出噴出時(shí)控信號(hào)LP，執(zhí)行基于噴出控制信號(hào)SI的液滴噴出動(dòng)作。
即，控制裝置51，在各著落位置PF位于目標(biāo)位置P的時(shí)刻，向各壓電元件PZ供給與波形數(shù)據(jù)WD對(duì)應(yīng)的壓電元件驅(qū)動(dòng)信號(hào)COM，從各噴嘴N一齊噴出取向膜形成材料F的液滴Fb。
此時(shí)，噴出的各液滴Fb，沿分別傾斜了傾斜角θ的噴出方向A以噴出速度Vf飛行，順次著落于沿X箭頭方向以噴出間隔W隔開的目標(biāo)位置P的區(qū)域。著落的各液滴Fb的噴出方向A以接近于著落近似形狀的傾斜角θ傾斜，其著落直徑R1在噴出間隔W以上。而且，著落的各液滴Fb，通過(guò)與其切線方向速度Vfx和搬送速度Vx對(duì)應(yīng)的相對(duì)速度，進(jìn)一步地使其著落直徑R1擴(kuò)張。因此，噴出到相對(duì)電極26上的各液滴Fb分別沿X箭頭方向可靠地接合。
由此，通過(guò)液滴Fb的接合能夠形成由均勻的膜厚構(gòu)成的液狀的膜，通過(guò)干燥該液狀膜能夠形成均勻的膜厚的取向膜27。若在相對(duì)基板15形成取向膜27，則對(duì)該取向膜27實(shí)施公知的研磨處理。
另一方面，以同樣的方法，由液滴噴出裝置30在元件基板14上也形成取向膜24，對(duì)該取向膜24實(shí)施同樣的研磨處理。然后，在元件基板14上形成密封材料16，在由密封材料16圍成的區(qū)域內(nèi)配置液晶17，通過(guò)使元件基板14和相對(duì)基板15粘貼在一起，形成液晶面板13。
接著，以下說(shuō)明這樣構(gòu)成的本實(shí)施方式的效果。
(1)根據(jù)上述實(shí)施方式，基于噴出的液滴Fb的液滴直徑R0和液滴Fb的噴出間隔W，設(shè)定相對(duì)基板15的法線和噴出方向A所呈的傾斜角θ，使得液滴Fb的著落直徑R1在液滴Fb的噴出間隔W以上。
因此，能夠沿與噴出方向A對(duì)應(yīng)的方向可靠地接合著落了的液滴Fb。其結(jié)果是，能夠與噴出間隔W的變更、即取向膜27的目標(biāo)膜厚的變更無(wú)關(guān)地，相互地使在X箭頭方向上排列在相對(duì)基板15上的液滴Fb彼此接合。因此，能夠提高由液滴Fb構(gòu)成的取向膜27的膜厚均勻性。
(2)根據(jù)上述實(shí)施方式，通過(guò)以噴出方向A為投影方向的液滴Fb的投影像來(lái)近似液滴Fb的著落直徑R1。而且，只基于液滴Fb的液滴直徑R0和液滴Fb的噴出間隔W來(lái)設(shè)定噴出方向A和法線所呈的傾斜角θ。
因此，能夠更簡(jiǎn)單地使在X箭頭方向上排列在相對(duì)基板15上的液滴Fb彼此相互接合。
(3)根據(jù)上述實(shí)施方式，噴出方向A在與相對(duì)基板15的掃描方向(X箭頭方向)一致的方向上從相對(duì)基板15的法線傾斜。因此，能夠使液滴Fb的著落直徑R1進(jìn)一步擴(kuò)大相對(duì)基板15的搬送速度Vx的量。其結(jié)果是，能夠更加可靠地提高取向膜27的膜厚均勻性。
(4)，根據(jù)上述實(shí)施方式，控制裝置51，基于液滴Fb的液滴直徑R0和噴出間隔W，生成與傾斜角θ相關(guān)的傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD。然后，基于傾動(dòng)數(shù)據(jù)RD，驅(qū)動(dòng)控制傾動(dòng)電機(jī)MR，使傾斜角θ滿足θ＝arccos(R0/W)。因此，能夠進(jìn)一步可靠地使在X箭頭方向上排列在相對(duì)基板15上的液滴Fb彼此接合。
此外，上述實(shí)施方式還可以如下述這樣進(jìn)行變更。
●在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成為僅基于液滴Fb的液滴直徑R0和噴出間隔W來(lái)設(shè)定傾斜角θ。但并不限于此，例如，也可以構(gòu)成為在液滴Fb的液滴直徑R0和噴出間隔W的基礎(chǔ)上，還基于液滴Fb的表面張力或液滴Fb的粘度、液滴Fb的噴出速度Vf等來(lái)設(shè)定傾斜角θ。即，構(gòu)成為至少基于液滴Fb的液滴直徑R0和液滴Fb的噴出間隔W來(lái)設(shè)定傾斜角θ。
●在上述實(shí)施方式中，從相對(duì)基板15的法線方向觀察，沿噴出方向A的相反側(cè)對(duì)基板載置臺(tái)33進(jìn)行掃描。即，在噴出方向A從相對(duì)基板15的法線傾斜的方向即X箭頭方向上對(duì)基板載置臺(tái)33進(jìn)行掃描。但并不限于此，也可以從相對(duì)基板15的法線觀察，沿噴出方向A來(lái)對(duì)基板載置臺(tái)33進(jìn)行掃描。即，也可以在噴出方向A從相對(duì)基板15的法線傾斜的方向的相反方向即逆X箭頭方向上對(duì)基板載置臺(tái)33進(jìn)行掃描。而且，此時(shí)，還可以構(gòu)成為在液滴Fb的液滴直徑R0和噴出間隔W的基礎(chǔ)上，還基于基板載置臺(tái)33的搬送速度Vx來(lái)設(shè)定傾斜角θ。即，可以構(gòu)成為，至少基于液滴Fb的液滴直徑R0和液滴Fb的噴出間隔W來(lái)設(shè)定傾斜角θ，使得液滴Fb的著落直徑R1在噴出間隔W以上。
●在上述實(shí)施方式中，將傾動(dòng)機(jī)構(gòu)作為傾動(dòng)臺(tái)40而具體化。但并不限于此，例如，也可以構(gòu)成為將基板載置臺(tái)33作為傾動(dòng)機(jī)構(gòu)而具體化，使在基板載置臺(tái)33載置的相對(duì)基板15相對(duì)于噴嘴形成面42a傾動(dòng)。
●在上述實(shí)施方式中，形成了只具備一列的噴嘴N的結(jié)構(gòu)。但并不限定于此，也可以構(gòu)成為具備多列的噴嘴N的結(jié)構(gòu)。
●在上述實(shí)施方式中，將圖案具體化為液晶顯示裝置10的取向膜27。但并不限定于此，例如，也可以具體化為液晶顯示裝置10、在利用由從電子放出元件放出的電子而使熒光物質(zhì)發(fā)光的場(chǎng)效應(yīng)型裝置(FED或SED等)上設(shè)置的各種薄膜、金屬配線、濾色器等。即，只要是由著落了的液滴Fb形成的圖案即可。
●在上述實(shí)施方式中，將基板具體化為液晶顯示裝置10的相對(duì)基板15。
但并不限定于此，也可以將基板具體化為硅基板或撓性基板、或者金屬基板等。
●在上述實(shí)施方式中，將電光裝置具體化為液晶顯示裝置10。
但并不限定于此，例如，也可以將電光裝置具體化為電致發(fā)光裝置。
權(quán)利要求
1.一種圖案形成方法，通過(guò)朝向基板噴出圖案形成材料的液滴，在基板上形成由液滴構(gòu)成的圖案，其特征在于，所述液滴沿從基板的法線向規(guī)定方向傾斜了規(guī)定角度的方向噴出，并且該噴出在所述規(guī)定方向上按每規(guī)定距離進(jìn)行，基于所述液滴的直徑以及所述規(guī)定距離設(shè)定所述規(guī)定角度，使由著落于基板的各液滴所構(gòu)成的墨點(diǎn)在所述規(guī)定方向上的尺寸是所述規(guī)定距離以上。
2.如權(quán)利要求1所述的圖案形成方法，其特征在于，在所述液滴的直徑為R、所述規(guī)定距離為W、所述規(guī)定角度為θ時(shí)，設(shè)定所述規(guī)定角度以滿足arccos(R/W)≤θ＜90。
3.如權(quán)利要求1或2所述的圖案形成方法，其特征在于，所述液滴從形成在噴出口形成面上的多個(gè)噴出口噴出，所述規(guī)定角度通過(guò)以所述基板的法線為基準(zhǔn)使所述噴出口形成面傾動(dòng)來(lái)設(shè)定。
4.如權(quán)利要求3所述的圖案形成方法，其特征在于，在朝向基板噴出液滴時(shí)，所述基板沿所述規(guī)定方向相對(duì)所述噴出口形成面相對(duì)移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的圖案形成方法，其特征在于，形成在基板上的所述圖案是取向膜。
6.一種液滴噴出裝置，通過(guò)朝向基板噴出圖案形成材料的液滴，在基板上形成由液滴構(gòu)成的圖案，其特征在于，所述液滴沿從基板的法線向規(guī)定方向傾斜了規(guī)定角度的方向噴出，并且該噴出在所述規(guī)定方向上按每規(guī)定距離進(jìn)行，該液滴噴出裝置具有噴出口形成面，其與所述基板相對(duì)配置，在該噴出口形成面上排成一列設(shè)置有噴出所述液滴的多個(gè)噴出口；傾動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使所述噴出口形成面繞與所述噴出口所排列的方向平行延伸的傾動(dòng)軸傾動(dòng)；角度設(shè)定機(jī)構(gòu)，其通過(guò)基于所述液滴的直徑以及所述規(guī)定距離來(lái)控制所述傾動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)設(shè)定所述規(guī)定角度，使由著落于基板的各液滴構(gòu)成的墨點(diǎn)在所述規(guī)定方向上的尺寸是所述規(guī)定距離以上。
7.如權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述角度設(shè)定機(jī)構(gòu)具備傾動(dòng)信息生成機(jī)構(gòu)，其基于所述液滴的直徑以及所述規(guī)定距離來(lái)生成用于控制所述傾動(dòng)機(jī)構(gòu)的傾動(dòng)信息，以使所述規(guī)定方向上的所述墨點(diǎn)的外形尺寸是所述規(guī)定距離以上；控制機(jī)構(gòu)，其基于由所述傾動(dòng)信息生成機(jī)構(gòu)生成的傾動(dòng)信息來(lái)控制所述傾動(dòng)機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的液滴噴出裝置，其特征在于，在所述液滴的直徑為R、所述規(guī)定距離為W、所述規(guī)定角度為θ時(shí)，所述傾動(dòng)信息生成機(jī)構(gòu)生成所述傾動(dòng)信息以滿足arccos(R/W)≤θ＜90。
9.如權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于，具備移動(dòng)機(jī)構(gòu)，在朝向基板噴出液滴時(shí)，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述基板和所述噴出口形成面相對(duì)移動(dòng)，所述角度設(shè)定機(jī)構(gòu)控制所述傾動(dòng)機(jī)構(gòu)，以使所述基板相對(duì)于所述噴出口形成面的移動(dòng)方向和所述規(guī)定方向一致。
10.如權(quán)利要求9所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)是可載置所述基板的載置臺(tái)，該載置臺(tái)將其所載置的基板向所述移動(dòng)方向搬送。
11.如權(quán)利要求6～10的任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，在基板上形成的所述圖案是取向膜。
12.一種電光裝置，其特征在于，具備利用權(quán)利要求6～10的任一項(xiàng)所述的裝置而形成圖案的基板。
13.一種液晶顯示裝置，其特征在于，具備利用權(quán)利要求11所述的裝置而形成取向膜的基板。
全文摘要
本發(fā)明的圖案形成方法，通過(guò)朝向基板噴出圖案形成材料的液滴，從而在基板上形成由液滴構(gòu)成的圖案。所述液滴沿從基板的法線向規(guī)定方向傾斜了規(guī)定角度的方向噴出，且該噴出在所述規(guī)定方向上按規(guī)定距離進(jìn)行?；谒鲆旱蔚闹睆揭约八鲆?guī)定距離設(shè)定所述規(guī)定角度，以使著落于基板的由各液滴構(gòu)成的墨點(diǎn)在所述規(guī)定方向上的尺寸是所述規(guī)定距離以上。因此，能夠提高圖案的膜厚均勻性。
文檔編號(hào)G02F1/13GK101020388SQ20071000809
公開日2007年8月22日 申請(qǐng)日期2007年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月13日
發(fā)明者蛭間敬, 春日治, 巖田裕二 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社