專利名稱：Lcd曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及LCD曝光機(jī)設(shè)備，具體地說，涉及一種LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡 裝置。
背景技術(shù)：
目前，傳統(tǒng)的LCD曝光機(jī)，由于料件加工及組裝誤差的緣故，容易導(dǎo)致其球座的兩平 面接觸貼合不良，從而影響到曝光品質(zhì)。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種曝光品質(zhì)好的LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降 平衡裝置。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案本實(shí)用新型的LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置，包括吸附平臺、定位銷、定位座、 光罩玻璃，所述光罩玻璃設(shè)在吸附平臺的上面，吸附平臺與定位座通過定位銷活動(dòng)連接， 其特征在于還包括第一吸附球座、第二吸附球座，所述第一吸附球座固定在吸附平臺的 底面上，第二吸附球座位于第一吸附球座下方，該第一吸附球座與第二吸附球座浮動(dòng)接觸， 所述第二吸附球座與定位座連接固定。所述第二吸附球座與第一吸附球座浮動(dòng)接觸的一面為一凹球面，所述第一吸附球座與 第二吸附球座相配合的面為一凸球面。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型的第一吸附球座固定在吸附平臺的底面上，第二吸 附球座位于第一吸附球座下方，該第一吸附球座與第二吸附球座浮動(dòng)接觸，其中第二吸附 球座與第一吸附球座浮動(dòng)接觸的一面為一凹球面，第一吸附球座與第二吸附球座相配合的 面為一凸球面，即它們是通過兩凹凸球面浮動(dòng)接觸，且兩球面加工時(shí)配套了磨合加工，從 而保證了加工質(zhì)量，從而本實(shí)用新型使吸附平臺與光罩玻璃能夠?qū)崿F(xiàn)更好的密合貼附，在 升降過程中采用髙真空固定，吸附平臺與光罩玻璃接觸時(shí)切換至低真空能讓第二吸附球座 與第一吸附球座浮動(dòng)，從而使吸附平臺與光罩玻璃很好的貼合，從而大大地提高了曝光機(jī) 的曝光品質(zhì)；此外，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、加工容易，易形成批量生產(chǎn)。


以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的第一吸附球座的示意圖。圖3為本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的第二吸附球座的示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1、 2、 3所示，它是本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 一種LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置，包括吸附平臺1、定位銷2、定位座3、光罩玻 璃4,其中曝光照射是照射在光罩玻璃4上，所述光罩玻璃4設(shè)在吸附平臺1的上面，吸 附平臺1與定位座3通過定位銷2活動(dòng)連接，其特征在于還包括第一吸附球座5、第二 吸附球座6,所述第一吸附球座5固定在吸附平臺1的底面上，第二吸附球座6位于第一 吸附球座5下方，該第一吸附球座5與第二吸附球座6浮動(dòng)接觸，所述第二吸附球座6 與定位座3連接固定。所述第二吸附球座6與第一吸附球座5浮動(dòng)接觸的一面為一凹球面 61,所述第一吸附球座5與第二吸附球座6相配合的面為一凸球面51。如圖2所示，它是本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的第一吸附球座的示 意圖。從圖中可看到第一吸附球座5和凸球面51。如圖3所示，它是本實(shí)用新型LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置的第二吸附球座的示 意圖。從圖中可看到第二吸附球座6和凹球面61。本實(shí)用新型使用時(shí)，第一吸附球座5與第二吸附球座6浮動(dòng)接觸，其中第二吸附球座 6與第一吸附球座5浮動(dòng)接觸的一面為凹球面61,第一吸附球座5與第二吸附球座6相配 合的面為凸球面51,即它們是通過兩凹凸球面浮動(dòng)接觸，且兩球面加工時(shí)配套了磨合加 工，從而保證了加工質(zhì)量，從而本實(shí)用新型使吸附平臺1與光罩玻璃4能夠?qū)崿F(xiàn)更好的密 合貼附，在升降過程中采用髙真空固定，吸附平臺l與光罩玻璃4接觸時(shí)切換至低真空能 讓第二吸附球座6與第一吸附球座5浮動(dòng)，從而使吸附平臺1與光罩玻璃4很好的貼合， 從而大大地提高了曝光機(jī)的曝光品質(zhì)，實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的功效?？傊?，本實(shí)用新型雖然例舉了上述優(yōu)選實(shí)施方式，但是應(yīng)該說明，顯然本領(lǐng)域的技術(shù) 人員可以進(jìn)行各種變化和改型。因此，除非這樣的變化和改型偏離了本實(shí)用新型的范圍， 否則都應(yīng)該包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置，包括吸附平臺(1)、定位銷(2)、定位座(3)、光罩玻璃(4)，所述光罩玻璃(4)設(shè)在吸附平臺(1)的上面，吸附平臺(1)與定位座(3)通過定位銷(2)活動(dòng)連接，其特征在于還包括第一吸附球座(5)、第二吸附球座(6)，所述第一吸附球座(5)固定在吸附平臺(1)的底面上，第二吸附球座(6)位于第一吸附球座(5)下方，該第一吸附球座(5)與第二吸附球座(6)浮動(dòng)接觸，所述第二吸附球座(6)與定位座(3)連接固定。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置，其特征在于所述第 二吸附球座(6)與第一吸附球座(5)浮動(dòng)接觸的一面為一凹球面(61)，所述第一吸附 球座(5)與第二吸附球座(6)相配合的面為一凸球面(51)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種LCD曝光機(jī)球座浮動(dòng)升降平衡裝置，包括吸附平臺、定位銷、定位座、光罩玻璃，所述光罩玻璃設(shè)在吸附平臺的上面，吸附平臺與定位座通過定位銷活動(dòng)連接，其特征在于還包括第一吸附球座、第二吸附球座，所述第一吸附球座固定在吸附平臺的底面上，第二吸附球座位于第一吸附球座下方，該第一吸附球座與第二吸附球座浮動(dòng)接觸，所述第二吸附球座與定位座連接固定。由于采用了上述結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型曝光品質(zhì)好，結(jié)構(gòu)簡單、加工容易，易形成批量生產(chǎn)。
文檔編號G03F7/20GK201122231SQ200720054209
公開日2008年9月24日 申請日期2007年7月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月17日
發(fā)明者夏衛(wèi)平 申請人:志圣科技(廣州)有限公司